JPH11129477A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
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- JPH11129477A JPH11129477A JP31651697A JP31651697A JPH11129477A JP H11129477 A JPH11129477 A JP H11129477A JP 31651697 A JP31651697 A JP 31651697A JP 31651697 A JP31651697 A JP 31651697A JP H11129477 A JPH11129477 A JP H11129477A
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- Japan
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- recording head
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- Pending
Links
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 3
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 生産性の低下を招くこと無く、インク滴の吐
出効率を向上すること。 【解決手段】 流路形成基板５を、リザーバ８と、両面
に形成された第１、第２圧力発生室９、１０と、第１圧
力発生室９とリザーバ８とを接続するインク供給口１１
と、インク供給口側で第１、第２圧力発生室９、１０を
接続する圧力発生室接続口１３と、ノズル開口６に対向
する位置にノズル連通孔１４とにより構成し、インク滴
吐出時にインク供給口側に逆流したインクの内、一部を
圧力発生室接続口１３から第２圧力発生室１０に流れ込
ませてインク滴の吐出に寄与させる。
出効率を向上すること。 【解決手段】 流路形成基板５を、リザーバ８と、両面
に形成された第１、第２圧力発生室９、１０と、第１圧
力発生室９とリザーバ８とを接続するインク供給口１１
と、インク供給口側で第１、第２圧力発生室９、１０を
接続する圧力発生室接続口１３と、ノズル開口６に対向
する位置にノズル連通孔１４とにより構成し、インク滴
吐出時にインク供給口側に逆流したインクの内、一部を
圧力発生室接続口１３から第２圧力発生室１０に流れ込
ませてインク滴の吐出に寄与させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ノズル開口とリザ
ーバに連通する圧力発生室のインクを圧力発生手段によ
り加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインク
ジェット式記録ヘッドに関する。
ーバに連通する圧力発生室のインクを圧力発生手段によ
り加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインク
ジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドは、共通の
インク室とノズル開口に連通する圧力発生室を、圧力発
生手段、例えば圧力発生室に設けられた発熱素子や、圧
力発生室の一部を変形させることができるように設けら
れた圧電振動子等により加圧してインク滴を吐出させる
ように構成されている。図４は、圧力発生手段として圧
電振動子を使用したインクジェット式記録ヘッドの一例
を示すものであって、リザーバ２０、インク供給口２
１、及び圧力発生室２２を区画、形成する流路形成基板
２３と、一方の開口を封止する弾性板２４と、各圧力発
生室２２に連通するノズル開口２５が穿設されたノズル
プレート２６とを積層して流路ユニット２７を形成し、
ホルダ２８に収容された圧電振動子２９の先端が圧力発
生室２２の領域に当接するようにホルダ２８の開口面３
０に固定して構成されている。なお、図中符号３１は、
シールド部材を兼ねる固定枠を示す。
インク室とノズル開口に連通する圧力発生室を、圧力発
生手段、例えば圧力発生室に設けられた発熱素子や、圧
力発生室の一部を変形させることができるように設けら
れた圧電振動子等により加圧してインク滴を吐出させる
ように構成されている。図４は、圧力発生手段として圧
電振動子を使用したインクジェット式記録ヘッドの一例
を示すものであって、リザーバ２０、インク供給口２
１、及び圧力発生室２２を区画、形成する流路形成基板
２３と、一方の開口を封止する弾性板２４と、各圧力発
生室２２に連通するノズル開口２５が穿設されたノズル
プレート２６とを積層して流路ユニット２７を形成し、
ホルダ２８に収容された圧電振動子２９の先端が圧力発
生室２２の領域に当接するようにホルダ２８の開口面３
０に固定して構成されている。なお、図中符号３１は、
シールド部材を兼ねる固定枠を示す。
【０００３】この流路基板２３は、圧電振動子により圧
力発生室が膨張した場合にはリザーバのインクを速やか
に圧力発生室に流入させ、また圧力発生室が縮小された
場合には圧力発生室のインクをノズル開口からのインク
滴として効率的に吐出するために、図５に示したように
圧力発生室２２とリザーバ２０とを適当な流体インピー
ダンスを備えるように、圧力発生室２２の幅よりも絞ら
れた貫通孔からなる供給口２１により両者が接続されて
いる。
力発生室が膨張した場合にはリザーバのインクを速やか
に圧力発生室に流入させ、また圧力発生室が縮小された
場合には圧力発生室のインクをノズル開口からのインク
滴として効率的に吐出するために、図５に示したように
圧力発生室２２とリザーバ２０とを適当な流体インピー
ダンスを備えるように、圧力発生室２２の幅よりも絞ら
れた貫通孔からなる供給口２１により両者が接続されて
いる。
【０００４】このような流路形成基板を異方性エッチン
グにより形成しようとすると、シリコン単結晶基板の大
半の領域に貫通孔が形成されるため、流路形成基板の剛
性が低下して、組み立て作業が困難となる。また剛性を
高めようとしてシリコン単結晶基板の厚みを厚くする
と、エッチング時間が長くなり生産性が低下するという
問題がある。
グにより形成しようとすると、シリコン単結晶基板の大
半の領域に貫通孔が形成されるため、流路形成基板の剛
性が低下して、組み立て作業が困難となる。また剛性を
高めようとしてシリコン単結晶基板の厚みを厚くする
と、エッチング時間が長くなり生産性が低下するという
問題がある。
【０００５】このような問題を解消するため、図６
（イ）、（ロ）に示したようにシリコン単結晶基板３２
の両面にそれぞれ凹部からなる第１、第２圧力発生室３
３、３４を形成し、各圧力発生室３３、３４にはリザー
バ３５と連通する若干絞られた凹部からなる第１、第２
インク供給口３６、３７を設け、さらにノズル開口３８
に対向する領域に貫通孔からなるノズル連通孔３９を形
成したものが提案されている（特開平9-123448号公
報）。
（イ）、（ロ）に示したようにシリコン単結晶基板３２
の両面にそれぞれ凹部からなる第１、第２圧力発生室３
３、３４を形成し、各圧力発生室３３、３４にはリザー
バ３５と連通する若干絞られた凹部からなる第１、第２
インク供給口３６、３７を設け、さらにノズル開口３８
に対向する領域に貫通孔からなるノズル連通孔３９を形
成したものが提案されている（特開平9-123448号公
報）。
【０００６】これによれば、シリコン単結晶基板３２の
貫通孔が占める比率が少なくなるため、剛性を確保で
き、このためシリコン単結晶基板の厚みを薄くできて、
エッチング時間の短縮と材料費の節減を図ることが可能
となる。
貫通孔が占める比率が少なくなるため、剛性を確保で
き、このためシリコン単結晶基板の厚みを薄くできて、
エッチング時間の短縮と材料費の節減を図ることが可能
となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６
（ハ）に示したように圧電振動子の変位により膨張、収
縮を受ける第１圧力発生室３３のインクは、それぞれノ
ズル連通孔３９側と第１のインク供給口３７の流体イン
ピーダンスに対応して流量Ｑ１、Ｑ２でノズル連通孔３
９と第１インク供給口３６とに流れ込み、ノズル連通孔
３９に流れ込んだ流量Ｑ１のインクは、さらにノズル開
口３８と第２の圧力発生室３４との流体インピーダンス
に対応して流量Ｑ１1、Ｑ１2に分流し、最終的に量Ｑ１
1のインクだけがインク滴としてノズル開口３８から吐
出することになる。このため、圧電振動子による第１圧
力発生室３３の容積変化量の４０乃至５０％程度のイン
クがインク滴として吐出することになり、吐出口率が低
いという問題がある。本発明はこのような問題に鑑みて
なされたものであって、その目的とするところは製造効
率の低下を招くこと無く、インク滴の吐出効率を向上す
ることができるインクジェット式記録ヘッドを提供する
ことである。
（ハ）に示したように圧電振動子の変位により膨張、収
縮を受ける第１圧力発生室３３のインクは、それぞれノ
ズル連通孔３９側と第１のインク供給口３７の流体イン
ピーダンスに対応して流量Ｑ１、Ｑ２でノズル連通孔３
９と第１インク供給口３６とに流れ込み、ノズル連通孔
３９に流れ込んだ流量Ｑ１のインクは、さらにノズル開
口３８と第２の圧力発生室３４との流体インピーダンス
に対応して流量Ｑ１1、Ｑ１2に分流し、最終的に量Ｑ１
1のインクだけがインク滴としてノズル開口３８から吐
出することになる。このため、圧電振動子による第１圧
力発生室３３の容積変化量の４０乃至５０％程度のイン
クがインク滴として吐出することになり、吐出口率が低
いという問題がある。本発明はこのような問題に鑑みて
なされたものであって、その目的とするところは製造効
率の低下を招くこと無く、インク滴の吐出効率を向上す
ることができるインクジェット式記録ヘッドを提供する
ことである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、弾性板と、流路形成基板
と、ノズル開口を備えたノズルプレートとを積層して構
成された流路ユニットと、圧力発生手段とを備えたイン
クジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板
が、リザーバと、圧力発生手段側と前記ノズルプレート
側に形成された凹部からなる第１、第２圧力発生室と、
第１圧力発生室と前記リザーバとを接続するインク供給
口と、前記インク供給口側の端部で第１、第２圧力発生
室を接続する圧力発生室接続口と、前記ノズル開口に対
向する位置にノズル連通孔とを備えるようにした。
るために本発明においては、弾性板と、流路形成基板
と、ノズル開口を備えたノズルプレートとを積層して構
成された流路ユニットと、圧力発生手段とを備えたイン
クジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板
が、リザーバと、圧力発生手段側と前記ノズルプレート
側に形成された凹部からなる第１、第２圧力発生室と、
第１圧力発生室と前記リザーバとを接続するインク供給
口と、前記インク供給口側の端部で第１、第２圧力発生
室を接続する圧力発生室接続口と、前記ノズル開口に対
向する位置にノズル連通孔とを備えるようにした。
【０００９】
【作用】インク滴吐出時インク供給口側に逆流したイン
クの内、一部が圧力発生室接続口から第２圧力発生室に
流れ込んでインク滴の吐出に寄与するから、リザーバへ
の戻り分が少なくなってインク滴として吐出するインク
量が増加する。
クの内、一部が圧力発生室接続口から第２圧力発生室に
流れ込んでインク滴の吐出に寄与するから、リザーバへ
の戻り分が少なくなってインク滴として吐出するインク
量が増加する。
【００１０】
【発明の実施の態様】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すものであって、圧力発生手段を構成する軸方
向に伸縮する圧電振動子１は、その先端を流路ユニット
２を構成する弾性板３に当接した状態でヘッドホルダ４
に固定されている。この流路ユニット２は、弾性板３
と、流路形成基板５と、ノズル開口６を備えたノズルプ
レート７とを積層して構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すものであって、圧力発生手段を構成する軸方
向に伸縮する圧電振動子１は、その先端を流路ユニット
２を構成する弾性板３に当接した状態でヘッドホルダ４
に固定されている。この流路ユニット２は、弾性板３
と、流路形成基板５と、ノズル開口６を備えたノズルプ
レート７とを積層して構成されている。
【００１１】流路形成基板５は、貫通孔として形成され
るリザーバ８と、圧電振動子１側とノズルプレート７側
に形成された凹部からなる第１、第２圧力発生室９、１
０と、第１圧力発生室９に連通する凹部として形成され
たインク供給口１１と、このインク供給口側において第
１、第２圧力発生室９、１０を区画する壁１２を貫通す
る圧力発生室接続口１３と、ノズル開口６に対向する貫
通孔からなるノズル連通孔１４を形成して構成されてい
る。
るリザーバ８と、圧電振動子１側とノズルプレート７側
に形成された凹部からなる第１、第２圧力発生室９、１
０と、第１圧力発生室９に連通する凹部として形成され
たインク供給口１１と、このインク供給口側において第
１、第２圧力発生室９、１０を区画する壁１２を貫通す
る圧力発生室接続口１３と、ノズル開口６に対向する貫
通孔からなるノズル連通孔１４を形成して構成されてい
る。
【００１２】そして、インク供給口１１は、その流体イ
ンピーダンスがノズル開口６のインピーダンスよりも大
きくなるように構成されている。
ンピーダンスがノズル開口６のインピーダンスよりも大
きくなるように構成されている。
【００１３】この実施例において、圧電振動子１が収縮
して第１圧力発生室９が膨張すると、リザーバ８のイン
クがインク供給口１１から第１圧力発生室９側に流れ込
み圧力発生室接続口１３で第２圧力発生室１０にも分流
し、第１、第２圧力発生室９、１０にインクが供給され
る。
して第１圧力発生室９が膨張すると、リザーバ８のイン
クがインク供給口１１から第１圧力発生室９側に流れ込
み圧力発生室接続口１３で第２圧力発生室１０にも分流
し、第１、第２圧力発生室９、１０にインクが供給され
る。
【００１４】圧電振動子１が伸長して弾性板３がノズル
プレート側に押圧されると、ノズル連通孔１４側には量
Ｑ１の、圧力発生室接続口１３側には量Ｑ２のインクが
流れる。ノズル連通孔１４側に流れ込んだ量Ｑ１のイン
クは、ノズル開口６にＱ１1、また第２圧力発生室１０
にＱ１2が分流する。
プレート側に押圧されると、ノズル連通孔１４側には量
Ｑ１の、圧力発生室接続口１３側には量Ｑ２のインクが
流れる。ノズル連通孔１４側に流れ込んだ量Ｑ１のイン
クは、ノズル開口６にＱ１1、また第２圧力発生室１０
にＱ１2が分流する。
【００１５】一方、インク供給口１１側に流れ込んだ量
Ｑ２のインクの内、量Ｑ２1が圧力発生室接続口１３か
ら第２圧力発生室１０を通り、ノズル開口６に流れ込
む。ノズル開口６の流体インピーダンスがインク供給口
１１の流体インピーダンスよりも小さいため、圧力発生
室接続口１３を経由して第２の圧力発生室１０に流れ込
むインク量Ｑ21が、ノズル連通孔１４を経由して第２の
圧力発生室１０に流れ込むインク量Ｑ12よりも多くなる
から、インク滴として吐出されるインク量が増加する。
Ｑ２のインクの内、量Ｑ２1が圧力発生室接続口１３か
ら第２圧力発生室１０を通り、ノズル開口６に流れ込
む。ノズル開口６の流体インピーダンスがインク供給口
１１の流体インピーダンスよりも小さいため、圧力発生
室接続口１３を経由して第２の圧力発生室１０に流れ込
むインク量Ｑ21が、ノズル連通孔１４を経由して第２の
圧力発生室１０に流れ込むインク量Ｑ12よりも多くなる
から、インク滴として吐出されるインク量が増加する。
【００１６】すなわち、第１圧力発生室９の容積変化量
の６０乃至８０％がインク滴として吐出することにな
り、１つの圧電振動子の作用を受ける圧力発生室を２つ
備えたインクジェット式記録ヘッドの吐出効率４０乃至
５０％に比較して大幅に吐出効率が向上する。
の６０乃至８０％がインク滴として吐出することにな
り、１つの圧電振動子の作用を受ける圧力発生室を２つ
備えたインクジェット式記録ヘッドの吐出効率４０乃至
５０％に比較して大幅に吐出効率が向上する。
【００１７】なお、上述の実施例のおいては、圧力発生
手段として縦振動モードの圧電振動子を使用した記録ヘ
ッドに例を採って説明したが、たわみモードの圧電振動
子や、また圧力発生室にバブルを発生させる加熱素子を
内蔵させた記録ヘッドに適用しても同様の作用を奏す
る。
手段として縦振動モードの圧電振動子を使用した記録ヘ
ッドに例を採って説明したが、たわみモードの圧電振動
子や、また圧力発生室にバブルを発生させる加熱素子を
内蔵させた記録ヘッドに適用しても同様の作用を奏す
る。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
弾性板と、流路形成基板と、ノズル開口を備えたノズル
プレートとを積層して構成された流路ユニットと、圧力
発生手段とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおい
て、流路形成基板は、リザーバと、圧力発生手段側とノ
ズルプレート側に形成された凹部からなる第１、第２圧
力発生室と、第１圧力発生室とリザーバとを接続するイ
ンク供給口と、インク供給口側の端部で第１、第２圧力
発生室を接続する圧力発生室接続口とを備えるようにし
たので、ノズル開口に対向する位置にノズル連通孔イン
ク滴吐出時にインク供給口側に逆流したインクの内、一
部を圧力発生室接続口から第２圧力発生室に流れ込ませ
てインク滴の吐出に寄与させることができて、インク滴
として吐出するインク量を増加させることができる。
弾性板と、流路形成基板と、ノズル開口を備えたノズル
プレートとを積層して構成された流路ユニットと、圧力
発生手段とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおい
て、流路形成基板は、リザーバと、圧力発生手段側とノ
ズルプレート側に形成された凹部からなる第１、第２圧
力発生室と、第１圧力発生室とリザーバとを接続するイ
ンク供給口と、インク供給口側の端部で第１、第２圧力
発生室を接続する圧力発生室接続口とを備えるようにし
たので、ノズル開口に対向する位置にノズル連通孔イン
ク滴吐出時にインク供給口側に逆流したインクの内、一
部を圧力発生室接続口から第２圧力発生室に流れ込ませ
てインク滴の吐出に寄与させることができて、インク滴
として吐出するインク量を増加させることができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図２】同上記録ヘッドの流路形成基板を拡大して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】同上記録ヘッドに形成される流路を模式的に示
す図である。
す図である。
【図４】縦振動モードの圧電振動子をアクチュエータと
するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す組立斜視
図である。
するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す組立斜視
図である。
【図５】記録ヘッドを構成するスペーサを拡大して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図６】図（イ）乃至（ハ）は、インクジェット式記録
ヘッドの一例を示す断面図、これを構成するスペーサを
拡大して示す斜視図と、流路を模式的に示す図である。
ヘッドの一例を示す断面図、これを構成するスペーサを
拡大して示す斜視図と、流路を模式的に示す図である。
１ 圧電振動子 ２ 流路ユニット ５ 流路形成基板 ７ ノズルプレート ８ リザーバ ９ 第１圧力発生室 １０ 第２圧力発生室 １１ インク供給口 １３ 圧力発生室接続口 １４ ノズル連通孔
Claims (4)
- 【請求項１】 弾性板と、流路形成基板と、ノズル開口
を備えたノズルプレートとを積層して構成された流路ユ
ニットと、圧力発生手段とを備えたインクジェット式記
録ヘッドにおいて、 前記流路形成基板が、リザーバと、圧力発生手段側と前
記ノズルプレート側に形成された凹部からなる第１、第
２圧力発生室と、第１圧力発生室と前記リザーバとを接
続するインク供給口と、前記インク供給口側の端部で第
１、第２圧力発生室を接続する圧力発生室接続口と、前
記ノズル開口に対向する位置にノズル連通孔とを有する
インクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記ノズル開口の流体インピーダンス
が、前記インク供給口の流体インピーダンスよりも小さ
く設定されている請求項１に記載のインクジェット式記
録ヘッド。 - 【請求項３】 前記圧力発生手段が、圧電振動子により
構成されている請求項１に記載のインクジェット式記録
ヘッド。 - 【請求項４】 前記圧力発生手段が、発熱素子により構
成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31651697A JPH11129477A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31651697A JPH11129477A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11129477A true JPH11129477A (ja) | 1999-05-18 |
Family
ID=18077987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31651697A Pending JPH11129477A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11129477A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6557985B2 (en) | 1999-01-29 | 2003-05-06 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
-
1997
- 1997-10-31 JP JP31651697A patent/JPH11129477A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6557985B2 (en) | 1999-01-29 | 2003-05-06 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030402 |