JPH11135060A - 飛行時間型質量分析計 - Google Patents
飛行時間型質量分析計Info
- Publication number
- JPH11135060A JPH11135060A JP9300257A JP30025797A JPH11135060A JP H11135060 A JPH11135060 A JP H11135060A JP 9300257 A JP9300257 A JP 9300257A JP 30025797 A JP30025797 A JP 30025797A JP H11135060 A JPH11135060 A JP H11135060A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- electric field
- potential
- closed orbit
- sector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/40—Time-of-flight spectrometers
- H01J49/408—Time-of-flight spectrometers with multiple changes of direction, e.g. by using electric or magnetic sectors, closed-loop time-of-flight
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 閉じた軌道に対するイオンの打ち込み法及び
取り出し法を備えた飛行時間型質量分析計を提供する 【解決手段】 複数の扇形電場によって構成された閉軌
道に、イオンを打ち込むための入射軌道とイオンを取り
出すための出射軌道を設けた。また、閉軌道を構成して
いる扇形電場の電極部に、イオン入射及びイオン出射の
ための孔を設けた。また、入出射軌道を構成している扇
形電場の電極部に、閉軌道を周回中のイオンを通過させ
るための孔を設けた。また、閉軌道へのイオン打ち込み
の際には、イオン打ち込み用の孔を有する扇形電場の電
極の電位をオフ(ゼロポテンシャル)またはイオン入射
軌道を構成している扇形電場の電極の電位をオンにし、
閉軌道からのイオン取り出しの際には、イオン取り出し
用の孔を有する扇形電場の電極の電位をオフ(ゼロポテ
ンシャル)またはイオン出射軌道を構成している扇形電
場の電極の電位をオンにするようにした。
取り出し法を備えた飛行時間型質量分析計を提供する 【解決手段】 複数の扇形電場によって構成された閉軌
道に、イオンを打ち込むための入射軌道とイオンを取り
出すための出射軌道を設けた。また、閉軌道を構成して
いる扇形電場の電極部に、イオン入射及びイオン出射の
ための孔を設けた。また、入出射軌道を構成している扇
形電場の電極部に、閉軌道を周回中のイオンを通過させ
るための孔を設けた。また、閉軌道へのイオン打ち込み
の際には、イオン打ち込み用の孔を有する扇形電場の電
極の電位をオフ(ゼロポテンシャル)またはイオン入射
軌道を構成している扇形電場の電極の電位をオンにし、
閉軌道からのイオン取り出しの際には、イオン取り出し
用の孔を有する扇形電場の電極の電位をオフ(ゼロポテ
ンシャル)またはイオン出射軌道を構成している扇形電
場の電極の電位をオンにするようにした。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、飛行時間型質量分
析計の閉じた軌道におけるイオンの打ち込み法、及び、
イオンの取り出し法に関する。
析計の閉じた軌道におけるイオンの打ち込み法、及び、
イオンの取り出し法に関する。
【0002】
【従来の技術】飛行時間型質量分析計は、イオンが電場
によって加速される際、質量の小さなイオンほど加速さ
れやすく、質量の大きなイオンほど加速されにくいこと
を利用して、イオンがイオン検出器に到達するまでに要
する時間(飛行時間)の差を測定することによって、イ
オンの質量分析を行なう装置である。
によって加速される際、質量の小さなイオンほど加速さ
れやすく、質量の大きなイオンほど加速されにくいこと
を利用して、イオンがイオン検出器に到達するまでに要
する時間(飛行時間)の差を測定することによって、イ
オンの質量分析を行なう装置である。
【0003】飛行時間型質量分析計においては、イオン
の飛行距離が長いほど、イオンの質量差が飛行時間の違
いとなって現れやすいので、飛行距離を長くすることが
装置の分解能を高める一つの方法となっている。
の飛行距離が長いほど、イオンの質量差が飛行時間の違
いとなって現れやすいので、飛行距離を長くすることが
装置の分解能を高める一つの方法となっている。
【0004】図1は、扇形電場を利用した飛行時間型質
量分析計の閉じた軌道を示したものである。旋回角度が
180゜よりも大きなふたつの扇形電場を対向して配置
することにより、電場内でイオンを8の字状に多数回周
回させることができる。その結果、飛行距離と飛行時間
が長くなり、原理的には、飛行時間型質量分析計の分解
能を高めることができる。
量分析計の閉じた軌道を示したものである。旋回角度が
180゜よりも大きなふたつの扇形電場を対向して配置
することにより、電場内でイオンを8の字状に多数回周
回させることができる。その結果、飛行距離と飛行時間
が長くなり、原理的には、飛行時間型質量分析計の分解
能を高めることができる。
【0005】ところが、実際には、上述のような扇形電
場で作られた閉じた軌道は、イオンの打ち込みや取り出
しが困難であるため、このようなタイプの飛行時間型質
量分析計は利用されることがないのが現状である。
場で作られた閉じた軌道は、イオンの打ち込みや取り出
しが困難であるため、このようなタイプの飛行時間型質
量分析計は利用されることがないのが現状である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の技術では、閉じた軌道から成る飛行時間型質量分析
計の実用化は、イオンの打ち込みや取り出しの方法がな
いため困難であった。
来の技術では、閉じた軌道から成る飛行時間型質量分析
計の実用化は、イオンの打ち込みや取り出しの方法がな
いため困難であった。
【0007】本発明の目的は、上述した点に鑑み、閉じ
た軌道に対するイオンの打ち込み法及び取り出し法を備
えた飛行時間型質量分析計を提供することにある。
た軌道に対するイオンの打ち込み法及び取り出し法を備
えた飛行時間型質量分析計を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の飛行時間型質量分析計は、複数の扇形電場
によって構成された閉軌道に、イオンを打ち込むための
入射軌道とイオンを取り出すための出射軌道を設けたこ
とを特徴としている。
め、本発明の飛行時間型質量分析計は、複数の扇形電場
によって構成された閉軌道に、イオンを打ち込むための
入射軌道とイオンを取り出すための出射軌道を設けたこ
とを特徴としている。
【0009】また、閉軌道を構成している扇形電場の電
極部に、イオン入射及びイオン出射のための孔を設けた
ことを特徴としている。
極部に、イオン入射及びイオン出射のための孔を設けた
ことを特徴としている。
【0010】また、閉軌道への入出射軌道を構成してい
る扇形電場の電極部に、閉軌道を周回中のイオンを通過
させるための孔を設けたことを特徴としている。
る扇形電場の電極部に、閉軌道を周回中のイオンを通過
させるための孔を設けたことを特徴としている。
【0011】また、複数の扇形電場によって構成された
閉軌道へのイオン打ち込みの際には、イオン打ち込み用
の孔を有する扇形電場の電極の電位をオフ(ゼロポテン
シャル)またはイオン入射軌道を構成している扇形電場
の電極の電位をオンにし、該閉軌道からのイオン取り出
しの際には、イオン取り出し用の孔を有する扇形電場の
電極の電位をオフ(ゼロポテンシャル)またはイオン出
射軌道を構成している扇形電場の電極の電位をオンにす
るようにしたことを特徴としている。
閉軌道へのイオン打ち込みの際には、イオン打ち込み用
の孔を有する扇形電場の電極の電位をオフ(ゼロポテン
シャル)またはイオン入射軌道を構成している扇形電場
の電極の電位をオンにし、該閉軌道からのイオン取り出
しの際には、イオン取り出し用の孔を有する扇形電場の
電極の電位をオフ(ゼロポテンシャル)またはイオン出
射軌道を構成している扇形電場の電極の電位をオンにす
るようにしたことを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図2は本発明の一実施例である。
閉じた軌道は、対向して配置された、旋回角度が180
゜よりも大きいふたつの扇形電場1及び2と、両扇形電
場間を8の字状に軌道を交差させてイオンが飛行する自
由飛行空間3及び4で構成されている。イオンは、イオ
ン源5からパルス的に出射され、イオン検出器6に向か
って飛行する。ゲート7は、予め決められた速度範囲の
イオンのみを通過できるようにするために設けられてい
る。
施の形態を説明する。図2は本発明の一実施例である。
閉じた軌道は、対向して配置された、旋回角度が180
゜よりも大きいふたつの扇形電場1及び2と、両扇形電
場間を8の字状に軌道を交差させてイオンが飛行する自
由飛行空間3及び4で構成されている。イオンは、イオ
ン源5からパルス的に出射され、イオン検出器6に向か
って飛行する。ゲート7は、予め決められた速度範囲の
イオンのみを通過できるようにするために設けられてい
る。
【0013】ゲート7を出たイオンは、通常の状態では
扇形電場1の電極に衝突してしまうが、本発明の場合
は、イオンが通過できるように電極に孔が開けられてい
る。さらに、これらイオンの運動方向が扇形電場1によ
って曲げられないように、イオン通過時の扇形電場1の
電極電位はオフ(ゼロポテンシャル)になっている。目
的のイオンが孔を通過した後、そのイオンが再び扇形電
場1に達する前に、扇形電場1の電位はオンになり、正
常な値の電圧が設定される。このようにして、イオンは
閉じた軌道内に入射され、8の字状の周回軌道を回り始
める。
扇形電場1の電極に衝突してしまうが、本発明の場合
は、イオンが通過できるように電極に孔が開けられてい
る。さらに、これらイオンの運動方向が扇形電場1によ
って曲げられないように、イオン通過時の扇形電場1の
電極電位はオフ(ゼロポテンシャル)になっている。目
的のイオンが孔を通過した後、そのイオンが再び扇形電
場1に達する前に、扇形電場1の電位はオンになり、正
常な値の電圧が設定される。このようにして、イオンは
閉じた軌道内に入射され、8の字状の周回軌道を回り始
める。
【0014】こうして閉軌道に導入されたイオンが、必
要な回数だけ8の字状の周回を終えると、扇形電場2の
電極の電位がオフ(ゼロポテンシャル)に設定される。
その結果、周回中のイオンは扇形電場2の電極に開けら
れた孔を通って、閉軌道の外に取り出され、イオン検出
器6に到達する。
要な回数だけ8の字状の周回を終えると、扇形電場2の
電極の電位がオフ(ゼロポテンシャル)に設定される。
その結果、周回中のイオンは扇形電場2の電極に開けら
れた孔を通って、閉軌道の外に取り出され、イオン検出
器6に到達する。
【0015】図3は、入出射軌道が閉軌道の内側にある
場合の例を示している。8の字状の閉軌道は、対向して
配置された、旋回角度が180゜よりも大きいふたつの
扇形電場8及び9で構成され、入射軌道及び出射軌道は
両扇形電場間のイオンの自由飛行空間に設けられた別の
扇形電場10及び11で構成されている。
場合の例を示している。8の字状の閉軌道は、対向して
配置された、旋回角度が180゜よりも大きいふたつの
扇形電場8及び9で構成され、入射軌道及び出射軌道は
両扇形電場間のイオンの自由飛行空間に設けられた別の
扇形電場10及び11で構成されている。
【0016】イオン源12からパルス的に出射されたイ
オンは、ゲート13を通って、入射軌道である扇形電場
10に入る。このとき、扇形電場10は電極の電位がオ
ンの状態であり、正常な値の電圧が設定されている。扇
形電場10を電極の曲面に沿って飛行したイオンは、電
極の電位がオフ(ゼロポテンシャル)の状態にある扇形
電場11の電極に開けられた孔を通って、扇形電場8及
び9で形成された閉軌道を8の字状に周回し始める。
オンは、ゲート13を通って、入射軌道である扇形電場
10に入る。このとき、扇形電場10は電極の電位がオ
ンの状態であり、正常な値の電圧が設定されている。扇
形電場10を電極の曲面に沿って飛行したイオンは、電
極の電位がオフ(ゼロポテンシャル)の状態にある扇形
電場11の電極に開けられた孔を通って、扇形電場8及
び9で形成された閉軌道を8の字状に周回し始める。
【0017】イオンが再び扇形電場10に接近する時ま
でには、扇形電場10の電極の電位はオフ(ゼロポテン
シャル)の状態になっており、イオンは扇形電場10の
電極に開けられた孔を通り抜けて、閉軌道内の周回を続
けることができる。
でには、扇形電場10の電極の電位はオフ(ゼロポテン
シャル)の状態になっており、イオンは扇形電場10の
電極に開けられた孔を通り抜けて、閉軌道内の周回を続
けることができる。
【0018】こうして閉軌道に導入されたイオンが、必
要な回数だけ周回を終えると、扇形電場11の電極の電
位がオンになり、正常な値の電圧が設定される。そし
て、周回中に扇形電場11に到達したイオンは、扇形電
場11の電極の曲面に沿って飛行し、閉軌道の外に取り
出され、イオン検出器14に到達する。
要な回数だけ周回を終えると、扇形電場11の電極の電
位がオンになり、正常な値の電圧が設定される。そし
て、周回中に扇形電場11に到達したイオンは、扇形電
場11の電極の曲面に沿って飛行し、閉軌道の外に取り
出され、イオン検出器14に到達する。
【0019】図4は、扇形電場が閉軌道と入出射軌道で
共用される場合の例を示している。閉軌道は扇形電場1
5、16、17、及び18で構成され、入出射軌道は扇
形電場16と18で構成されている。
共用される場合の例を示している。閉軌道は扇形電場1
5、16、17、及び18で構成され、入出射軌道は扇
形電場16と18で構成されている。
【0020】イオン源19からパルス的に出射されたイ
オンは、ゲート20を通って、入射軌道である扇形電場
16に入る。このとき、扇形電場16の電極の電位はオ
フ(ゼロポテンシャル)の状態であり、イオンは扇形電
場16の電極に開けられた孔を通って閉軌道に入射され
る。この直後、扇形電場16の電極の電位はオンの状態
になり、入射されたイオンは、扇形電場15、16、1
7、及び18で構成された閉軌道を周回し始める。
オンは、ゲート20を通って、入射軌道である扇形電場
16に入る。このとき、扇形電場16の電極の電位はオ
フ(ゼロポテンシャル)の状態であり、イオンは扇形電
場16の電極に開けられた孔を通って閉軌道に入射され
る。この直後、扇形電場16の電極の電位はオンの状態
になり、入射されたイオンは、扇形電場15、16、1
7、及び18で構成された閉軌道を周回し始める。
【0021】扇形電場15と17の間には、ゲート21
が設けられているが、これは、周回中に速度の速いイオ
ンが速度の遅いイオンを追い越すことを防ぐために挿入
されているものである。ゲートは、必ずしも必要でない
が、周回中に速度の速いイオンが速度の遅いイオンを追
い越して、スペクトルが複雑になることを防止する意味
で有用なものである。
が設けられているが、これは、周回中に速度の速いイオ
ンが速度の遅いイオンを追い越すことを防ぐために挿入
されているものである。ゲートは、必ずしも必要でない
が、周回中に速度の速いイオンが速度の遅いイオンを追
い越して、スペクトルが複雑になることを防止する意味
で有用なものである。
【0022】閉軌道に導入されたイオンが、必要な回数
だけ周回を終えると、扇形電場18の電極の電位がオフ
(ゼロポテンシャル)になり、目的のイオンは扇形電場
18に開けられた孔を通って閉軌道から取り出される。
こうして取り出されたイオンは、イオン検出器22に到
達する。
だけ周回を終えると、扇形電場18の電極の電位がオフ
(ゼロポテンシャル)になり、目的のイオンは扇形電場
18に開けられた孔を通って閉軌道から取り出される。
こうして取り出されたイオンは、イオン検出器22に到
達する。
【0023】以上のように、入出射軌道にはさまざまな
ものが工夫可能である。従って、飛行時間型質量分析計
を構成できるものであれば、例えば、リフレクトロンの
ようなものを用いてもよいし、四重極レンズかアインツ
エルレンズ等を含んでいてもよい。また、それらを適当
に組み合わせた物であってもよい。
ものが工夫可能である。従って、飛行時間型質量分析計
を構成できるものであれば、例えば、リフレクトロンの
ようなものを用いてもよいし、四重極レンズかアインツ
エルレンズ等を含んでいてもよい。また、それらを適当
に組み合わせた物であってもよい。
【0024】以上、3つの実施例について記述したが、
これらから明らかになった本発明の最低必要な要件は次
のようなものである。
これらから明らかになった本発明の最低必要な要件は次
のようなものである。
【0025】(1)イオン源とイオン検出器、及びその
間の自由飛行空間のみでも飛行時間型質量分析計と成り
うること。また、入出射軌道の一部と入出射しようとす
る閉軌道の一部が一致しているか、または、少なくとも
一点で接していること。
間の自由飛行空間のみでも飛行時間型質量分析計と成り
うること。また、入出射軌道の一部と入出射しようとす
る閉軌道の一部が一致しているか、または、少なくとも
一点で接していること。
【0026】(2)入出射軌道と閉軌道において一方の
軌道が他方の軌道と重なる場合、軌道を構成する扇形電
場の重なり部分の電極に孔を開けていること。この孔
は、電場に影響がない場合は開けたままでよい。しか
し、電場を大きく乱す場合には、細かいメッシュ等を張
ることによって、イオンを通過可能にすると同時に電場
の乱れを小さくするようにしてもよい。
軌道が他方の軌道と重なる場合、軌道を構成する扇形電
場の重なり部分の電極に孔を開けていること。この孔
は、電場に影響がない場合は開けたままでよい。しか
し、電場を大きく乱す場合には、細かいメッシュ等を張
ることによって、イオンを通過可能にすると同時に電場
の乱れを小さくするようにしてもよい。
【0027】(3)閉軌道への入射、または、閉軌道か
らの出射の際、適当なタイミングで扇形電場の電極の電
位のオン/オフを切り替える操作を必要とすること。
らの出射の際、適当なタイミングで扇形電場の電極の電
位のオン/オフを切り替える操作を必要とすること。
【0028】
【発明の効果】本発明の結果、複数の扇形電場によって
構成される閉軌道は、入出射機構を備えたことによって
イオンの打ち込みと取り出しが容易に行なえるようにな
り、イオンの周回回数を増やして飛行距離を延ばすこと
ができ、飛行時間型質量分析計の分解能を向上させるこ
とが可能になった。
構成される閉軌道は、入出射機構を備えたことによって
イオンの打ち込みと取り出しが容易に行なえるようにな
り、イオンの周回回数を増やして飛行距離を延ばすこと
ができ、飛行時間型質量分析計の分解能を向上させるこ
とが可能になった。
【図1】 従来の例を示す図である。
【図2】 本発明の一実施例を示す図である。
【図3】 本発明の一実施例を示す図である。
【図4】 本発明の一実施例を示す図である。
1〜4・・・扇形電場、5・・・イオン源、6・・・イオン検出
器、7・・・ゲート、8〜11・・・扇形電場、12・・・イオ
ン源、13・・・ゲート、14・・・イオン検出器、15〜1
8・・・扇形電場、19・・・イオン源、20〜21・・・ゲー
ト、22・・・イオン検出器。
器、7・・・ゲート、8〜11・・・扇形電場、12・・・イオ
ン源、13・・・ゲート、14・・・イオン検出器、15〜1
8・・・扇形電場、19・・・イオン源、20〜21・・・ゲー
ト、22・・・イオン検出器。
Claims (8)
- 【請求項1】複数の扇形電場によって構成された閉軌道
に、イオンを打ち込むための入射軌道とイオンを取り出
すための出射軌道を設けたことを特徴とする飛行時間型
質量分析計。 - 【請求項2】閉軌道を構成している扇形電場の電極部
に、閉軌道へのイオン入射のための孔、及び、閉軌道か
らのイオン出射のための孔を設けたことを特徴とする飛
行時間型質量分析計。 - 【請求項3】閉軌道への入出射軌道を構成している扇形
電場の電極部に、閉軌道を周回中のイオンを通過させる
ための孔を設けたことを特徴とする飛行時間型質量分析
計。 - 【請求項4】前記イオン入射及びイオン出射のための
孔、または、前記周回中のイオンを通過させるための孔
に、細かいメッシュを張ったことを特徴とする請求項2
または3記載の飛行時間型質量分析計。 - 【請求項5】複数の扇形電場によって構成された閉軌道
へのイオン打ち込みの際には、イオン打ち込み用の孔を
有する扇形電場の電極の電位をオフ(ゼロポテンシャ
ル)またはイオン入射軌道を構成している扇形電場の電
極の電位をオンにし、該閉軌道からのイオン取り出しの
際には、イオン取り出し用の孔を有する扇形電場の電極
の電位をオフ(ゼロポテンシャル)またはイオン出射軌
道を構成している扇形電場の電極の電位をオンにするよ
うにしたことを特徴とする飛行時間型質量分析計。 - 【請求項6】180゜より大きい旋回角度を有する2つ
の扇形電場を対向配置して8の字状にイオンが飛行でき
る閉軌道を構成させ、該閉軌道を構成する扇形電場の電
極にイオン打ち込み用の孔とイオン取り出し用の孔を設
け、該閉軌道にイオンを打ち込む際にはイオン打ち込み
用の孔を有する扇形電場の電極の電位をオフ(ゼロポテ
ンシャル)にし、該閉軌道からイオンを取り出す際には
イオン取り出し用の孔を有する扇形電場の電極の電位を
オフ(ゼロポテンシャル)にするようにしたことを特徴
とする請求項1、2、4及び5記載の飛行時間型質量分
析計。 - 【請求項7】180゜より大きい旋回角度を有する2つ
の扇形電場を対向配置して8の字状にイオンが飛行でき
る閉軌道を構成させ、2つの扇形電場間の自由飛行空間
にイオン打ち込み用の扇形電場とイオン取り出し用の扇
形電場を設け、該イオン打ち込み用の扇形電場及びイオ
ン取り出し用の扇形電場には、閉軌道を周回中のイオン
を通過させるための孔を設け、該閉軌道にイオンを打ち
込む際には該イオン打ち込み用の扇形電場の電極の電位
をオンにし、該閉軌道からイオンを取り出す際には該イ
オン取り出し用の扇形電場の電極の電位をオンにするよ
うにしたことを特徴とする請求項1、3、4及び5記載
の飛行時間型質量分析計。 - 【請求項8】180゜より小さい旋回角度を有する4つ
の扇形電場を対向配置して8の字状にイオンが飛行でき
る閉軌道を構成させ、該閉軌道を構成する扇形電場の電
極にイオン打ち込み用の孔とイオン取り出し用の孔を設
け、該閉軌道にイオンを打ち込む際にはイオン打ち込み
用の孔を有する扇形電場の電極の電位をオフ(ゼロポテ
ンシャル)にし、該閉軌道からイオンを取り出す際には
イオン取り出し用の孔を有する扇形電場の電極の電位を
オフ(ゼロポテンシャル)にするようにしたことを特徴
とする請求項1、2、4及び5記載の飛行時間型質量分
析計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9300257A JPH11135060A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | 飛行時間型質量分析計 |
| US09/183,224 US6300625B1 (en) | 1997-10-31 | 1998-10-30 | Time-of-flight mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9300257A JPH11135060A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | 飛行時間型質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11135060A true JPH11135060A (ja) | 1999-05-21 |
Family
ID=17882616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9300257A Pending JPH11135060A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | 飛行時間型質量分析計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6300625B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11135060A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002175771A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Ulvac Japan Ltd | イオン注入装置 |
| US6906321B2 (en) | 2003-07-25 | 2005-06-14 | Shimadzu Corporation | Time-of-flight mass spectrometer |
| US6949736B2 (en) | 2003-09-03 | 2005-09-27 | Jeol Ltd. | Method of multi-turn time-of-flight mass analysis |
| JP2005347150A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Jeol Ltd | 飛行時間型質量分析計 |
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