JPH11140712A - 防塵衣用換気装置 - Google Patents
防塵衣用換気装置Info
- Publication number
- JPH11140712A JPH11140712A JP9306880A JP30688097A JPH11140712A JP H11140712 A JPH11140712 A JP H11140712A JP 9306880 A JP9306880 A JP 9306880A JP 30688097 A JP30688097 A JP 30688097A JP H11140712 A JPH11140712 A JP H11140712A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- air
- chemical
- clean
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Professional, Industrial, Or Sporting Protective Garments (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】作業者の人体から発生する汗などの分泌物の成
分で化学汚染源となる化学物質が、防塵衣の中から換気
機構を介してクリーンルーム内へ排出されることを抑制
することができる防塵衣用換気装置を提供する。 【解決手段】集塵ユニット2bと給排気ユニット2cと
からなる換気機構2を換気管2aを介して防塵衣1のフ
ード1aに接続し、カセット式の構造の化学フィルター
3を換気機構2の排気側に隣接させて付設する。給排気
ユニット2cを作動させると、防塵衣1の内部空気が吸
引されて集塵ユニット2bで除塵された後化学フィルタ
ー3で化学汚染源となる化学物質も除去され、清浄な空
気がクリーンルーム内へ排出されて常時清浄な製造環境
が維持されるとともに、クリーンルーム内の清浄な空気
が給排気ユニット2cから吸入されて防塵衣1の内部空
気が換気される。
分で化学汚染源となる化学物質が、防塵衣の中から換気
機構を介してクリーンルーム内へ排出されることを抑制
することができる防塵衣用換気装置を提供する。 【解決手段】集塵ユニット2bと給排気ユニット2cと
からなる換気機構2を換気管2aを介して防塵衣1のフ
ード1aに接続し、カセット式の構造の化学フィルター
3を換気機構2の排気側に隣接させて付設する。給排気
ユニット2cを作動させると、防塵衣1の内部空気が吸
引されて集塵ユニット2bで除塵された後化学フィルタ
ー3で化学汚染源となる化学物質も除去され、清浄な空
気がクリーンルーム内へ排出されて常時清浄な製造環境
が維持されるとともに、クリーンルーム内の清浄な空気
が給排気ユニット2cから吸入されて防塵衣1の内部空
気が換気される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイス,
磁気ディスク,液晶などとそれらを組み込んだ製造物を
クリーンルーム内で製造する際に着用する防塵衣の換気
装置に関する。
磁気ディスク,液晶などとそれらを組み込んだ製造物を
クリーンルーム内で製造する際に着用する防塵衣の換気
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイス,磁気ディスク,液晶な
どおよびそれらを組み込んだ製造物の製造過程で空気中
の塵埃が混入あるいは付着すると、製造物の性能を著し
く劣化させて良品率を低下させることになる。そこで、
塵埃の影響を回避するために、塵埃を極力減少させたク
リーンルームを設置し、その中で製造作業に従事する作
業者には防塵衣を着用させ、作業者からの発塵を含んだ
防塵衣の内部空気を防塵衣に装着した集塵ユニットと給
排気ユニットとからなる換気機構を介して換気すること
により、常時クリーンルーム内を清浄な製造環境状態に
維持することが従来から広く一般に実施されてきた。
どおよびそれらを組み込んだ製造物の製造過程で空気中
の塵埃が混入あるいは付着すると、製造物の性能を著し
く劣化させて良品率を低下させることになる。そこで、
塵埃の影響を回避するために、塵埃を極力減少させたク
リーンルームを設置し、その中で製造作業に従事する作
業者には防塵衣を着用させ、作業者からの発塵を含んだ
防塵衣の内部空気を防塵衣に装着した集塵ユニットと給
排気ユニットとからなる換気機構を介して換気すること
により、常時クリーンルーム内を清浄な製造環境状態に
維持することが従来から広く一般に実施されてきた。
【0003】以下、従来の技術についての詳細を図2に
より説明する。図2は、従来の防塵衣用換気装置の装着
状態の一例を示す背面図であって、作業者がクリーンル
ーム内で頭部にフード1aを有する宇宙型の防塵衣1を
着用して全身を被覆した状態を表している。図2におい
て、高性能エアーフィルターと活性炭とを一括してユニ
ットにまとめた集塵ユニット2bと、防塵衣1の内部空
気を換気するための給排気ユニット2cとからなる換気
機構2が、給気・排気を一対とする往復通路を有する換
気管2aを介して防塵衣1の上部に配設されたフード1
aに接続されている。
より説明する。図2は、従来の防塵衣用換気装置の装着
状態の一例を示す背面図であって、作業者がクリーンル
ーム内で頭部にフード1aを有する宇宙型の防塵衣1を
着用して全身を被覆した状態を表している。図2におい
て、高性能エアーフィルターと活性炭とを一括してユニ
ットにまとめた集塵ユニット2bと、防塵衣1の内部空
気を換気するための給排気ユニット2cとからなる換気
機構2が、給気・排気を一対とする往復通路を有する換
気管2aを介して防塵衣1の上部に配設されたフード1
aに接続されている。
【0004】防塵衣1の着用によりクリーンルーム内の
清浄な製造環境状態から隔離された作業者が、給排気ユ
ニット2cを作動させると、防塵衣1の内部空気が換気
管2aの排気通路を介して吸引されて集塵ユニット2b
を通過中に除塵され、清浄な空気となって給排気ユニッ
ト2cの排気口からクリーンルーム内へ排出されるとと
もに、クリーンルーム内の清浄な空気が給排気ユニット
2cの給気口から吸入されて換気管2aの給気通路を介
して防塵衣1の中へ供給され、防塵衣1の内部空気が換
気される。
清浄な製造環境状態から隔離された作業者が、給排気ユ
ニット2cを作動させると、防塵衣1の内部空気が換気
管2aの排気通路を介して吸引されて集塵ユニット2b
を通過中に除塵され、清浄な空気となって給排気ユニッ
ト2cの排気口からクリーンルーム内へ排出されるとと
もに、クリーンルーム内の清浄な空気が給排気ユニット
2cの給気口から吸入されて換気管2aの給気通路を介
して防塵衣1の中へ供給され、防塵衣1の内部空気が換
気される。
【0005】従来は、上記によってクリーンルーム内の
空気中に含まれる塵埃量を極力少なくして常時清浄な製
造環境状態を維持していた。
空気中に含まれる塵埃量を極力少なくして常時清浄な製
造環境状態を維持していた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、半導体デバ
イス,磁気ディスク,液晶などの製造技術が進歩してそ
れら部材の加工要求水準が高度化してきたことに伴っ
て、作業者の人体から発生する汗などの分泌物の成分か
らなる化学物質が防塵衣の中から換気機構を介してクリ
ーンルーム内へ排出されると、塵埃とは別にこの化学物
質が製造物に混入あるいは付着して製造物の品質を低下
させる恐れがあるという化学汚染の問題点があった。
イス,磁気ディスク,液晶などの製造技術が進歩してそ
れら部材の加工要求水準が高度化してきたことに伴っ
て、作業者の人体から発生する汗などの分泌物の成分か
らなる化学物質が防塵衣の中から換気機構を介してクリ
ーンルーム内へ排出されると、塵埃とは別にこの化学物
質が製造物に混入あるいは付着して製造物の品質を低下
させる恐れがあるという化学汚染の問題点があった。
【0007】本発明は前記の問題点に鑑みてなされたも
のであり、作業者の人体から発生する汗などの分泌物の
成分で化学汚染源となる化学物質が、防塵衣の中から換
気機構を介してクリーンルーム内へ排出されることを抑
制することができ、クリーンルーム内で製造される製造
物の品質低下を回避することができる防塵衣用換気装置
を提供することを目的とする。
のであり、作業者の人体から発生する汗などの分泌物の
成分で化学汚染源となる化学物質が、防塵衣の中から換
気機構を介してクリーンルーム内へ排出されることを抑
制することができ、クリーンルーム内で製造される製造
物の品質低下を回避することができる防塵衣用換気装置
を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば前述の目
的は、クリーンルーム内で着用する防塵衣の内部空気を
換気するための集塵ユニットと給排気ユニットとからな
る換気機構を備えた防塵衣用換気装置において、防塵衣
の中で発生した化学物質を吸収するための化学フィルタ
ーを換気機構に付設した構成とすることによって達成さ
れる。そして、化学フィルターはカセット式の構造であ
ることが効果的であり、また、化学フィルターはアンモ
ニアガス吸収機能を有することが好ましい。
的は、クリーンルーム内で着用する防塵衣の内部空気を
換気するための集塵ユニットと給排気ユニットとからな
る換気機構を備えた防塵衣用換気装置において、防塵衣
の中で発生した化学物質を吸収するための化学フィルタ
ーを換気機構に付設した構成とすることによって達成さ
れる。そして、化学フィルターはカセット式の構造であ
ることが効果的であり、また、化学フィルターはアンモ
ニアガス吸収機能を有することが好ましい。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明は、クリーンルーム内で着
用する防塵衣の内部空気を換気するための集塵ユニット
と給排気ユニットとからなる換気機構を備えた防塵衣用
換気装置に、防塵衣の中で発生した化学物質を吸収する
ための化学フィルターを付設して構成された防塵衣用換
気装置であって、化学フィルターとしては、化学汚染源
となる化学物質を化学的に効率良く吸収するために、吸
収対象の化学物質によってイオン交換式,触媒式,吸着
式などのいずれか最適な化学反応方式のものを選択して
適用される。
用する防塵衣の内部空気を換気するための集塵ユニット
と給排気ユニットとからなる換気機構を備えた防塵衣用
換気装置に、防塵衣の中で発生した化学物質を吸収する
ための化学フィルターを付設して構成された防塵衣用換
気装置であって、化学フィルターとしては、化学汚染源
となる化学物質を化学的に効率良く吸収するために、吸
収対象の化学物質によってイオン交換式,触媒式,吸着
式などのいずれか最適な化学反応方式のものを選択して
適用される。
【0010】本発明の防塵衣用換気装置によれば、防塵
衣の中で発生した塵埃は集塵ユニットにより除去される
とともに、化学物質は化学フィルターにより除去される
ので、作業者の人体から発生する塵埃と併せて汗などの
分泌物の成分で化学汚染源となる化学物質も除去された
清浄な空気が防塵衣の中からクリーンルーム内へ排出さ
れ、クリーンルーム内を常時塵埃および化学汚染源とな
る化学物質の少ない清浄な製造環境状態に維持すること
ができる。
衣の中で発生した塵埃は集塵ユニットにより除去される
とともに、化学物質は化学フィルターにより除去される
ので、作業者の人体から発生する塵埃と併せて汗などの
分泌物の成分で化学汚染源となる化学物質も除去された
清浄な空気が防塵衣の中からクリーンルーム内へ排出さ
れ、クリーンルーム内を常時塵埃および化学汚染源とな
る化学物質の少ない清浄な製造環境状態に維持すること
ができる。
【0011】そして、化学フィルターはカセット式の構
造であるために着脱が容易であり、さらに、化学フィル
ターはアンモニアガス吸収機能を有するので、作業者の
汗などの分泌物の成分のうち化学汚染源となるアンモニ
ア成分を主体に吸収できる。以下、本発明の実施例につ
いての詳細を図1により説明する。図1は、本発明によ
る防塵衣用換気装置の装着状態の実施例を示す背面図で
あって、作業者がクリーンルーム内で頭部にフード1a
を有する宇宙型の防塵衣1を着用して全身を被覆した状
態を表している。
造であるために着脱が容易であり、さらに、化学フィル
ターはアンモニアガス吸収機能を有するので、作業者の
汗などの分泌物の成分のうち化学汚染源となるアンモニ
ア成分を主体に吸収できる。以下、本発明の実施例につ
いての詳細を図1により説明する。図1は、本発明によ
る防塵衣用換気装置の装着状態の実施例を示す背面図で
あって、作業者がクリーンルーム内で頭部にフード1a
を有する宇宙型の防塵衣1を着用して全身を被覆した状
態を表している。
【0012】図1において、高性能エアーフィルターと
活性炭とを一括してユニットにまとめた集塵ユニット2
bと、防塵衣1の内部空気を換気するための給排気ユニ
ット2cとからなる換気機構2が、給気・排気を一対と
する往復通路を有する換気管2aを介して防塵衣1の上
部に配設されたフード1aに接続され、換気機構2の排
気側にはカセット式の構造の化学フィルター3が着脱具
3aによって装着されている。
活性炭とを一括してユニットにまとめた集塵ユニット2
bと、防塵衣1の内部空気を換気するための給排気ユニ
ット2cとからなる換気機構2が、給気・排気を一対と
する往復通路を有する換気管2aを介して防塵衣1の上
部に配設されたフード1aに接続され、換気機構2の排
気側にはカセット式の構造の化学フィルター3が着脱具
3aによって装着されている。
【0013】防塵衣1の着用によりクリーンルーム内の
清浄な製造環境状態から隔離された作業者が、給排気ユ
ニット2cを作動させると、防塵衣1の内部空気が換気
管2aの排気通路を介して吸引されて集塵ユニット2b
を通過中に除塵され、給排気ユニット2cの排気側に隣
接して付設されている化学フィルター3へ流入し、化学
フィルター3を通過する過程で吸収対象の化学物質が吸
収され、塵埃と併せて化学汚染源となる化学物質も除去
された清浄な空気がクリーンルーム内へ排出されるとと
もに、クリーンルーム内の清浄な空気が給排気ユニット
2cの給気口から吸入されて換気管2aの給気通路を介
して防塵衣1の中へ供給されることにより、防塵衣1の
内部空気が換気される。 (実施例)高性能エアーフィルターと活性炭とを一括し
てユニットにまとめた集塵ユニットと防塵衣の内部空気
を換気するための給排気ユニットとを幅約15cm,奥
行き約10cm,高さ約18cmの直方体形状の中に配
設して換気機構を形成し、この換気機構の排気側に幅約
15cm,奥行き約10cm,高さ約3cmの外枠寸法
を有する枠縁を設けてその開閉可能な一端から化学フィ
ルターの着脱ができるようにしたものを用意し、この枠
縁にイオン交換繊維からなるアンモニアの吸収を対象と
したカセット式の化学フィルターを挿入して固定したも
のを宇宙型の防塵衣に装着することにより防塵衣用換気
装置を構成した。 (比較例)実施例と同じ集塵ユニットと給排気ユニット
とを実施例と同じ寸法の直方体形状の中に配設した換気
機構を用意し、これを宇宙型の防塵衣に装着することに
より防塵衣用換気装置を構成した。
清浄な製造環境状態から隔離された作業者が、給排気ユ
ニット2cを作動させると、防塵衣1の内部空気が換気
管2aの排気通路を介して吸引されて集塵ユニット2b
を通過中に除塵され、給排気ユニット2cの排気側に隣
接して付設されている化学フィルター3へ流入し、化学
フィルター3を通過する過程で吸収対象の化学物質が吸
収され、塵埃と併せて化学汚染源となる化学物質も除去
された清浄な空気がクリーンルーム内へ排出されるとと
もに、クリーンルーム内の清浄な空気が給排気ユニット
2cの給気口から吸入されて換気管2aの給気通路を介
して防塵衣1の中へ供給されることにより、防塵衣1の
内部空気が換気される。 (実施例)高性能エアーフィルターと活性炭とを一括し
てユニットにまとめた集塵ユニットと防塵衣の内部空気
を換気するための給排気ユニットとを幅約15cm,奥
行き約10cm,高さ約18cmの直方体形状の中に配
設して換気機構を形成し、この換気機構の排気側に幅約
15cm,奥行き約10cm,高さ約3cmの外枠寸法
を有する枠縁を設けてその開閉可能な一端から化学フィ
ルターの着脱ができるようにしたものを用意し、この枠
縁にイオン交換繊維からなるアンモニアの吸収を対象と
したカセット式の化学フィルターを挿入して固定したも
のを宇宙型の防塵衣に装着することにより防塵衣用換気
装置を構成した。 (比較例)実施例と同じ集塵ユニットと給排気ユニット
とを実施例と同じ寸法の直方体形状の中に配設した換気
機構を用意し、これを宇宙型の防塵衣に装着することに
より防塵衣用換気装置を構成した。
【0014】上記の実施例および比較例における防塵衣
用換気装置を装着した宇宙型の防塵衣を着用した作業者
が、クラス10のクリーンルーム内で磁気ディスク用記
録媒体の製造作業に約1時間従事した過程において、そ
れぞれ防塵衣の内部空気が集塵ユニットに流入する入口
と、その空気が所定の経路を通過した後にクリーンルー
ム内に排出される出口との2箇所で、塵埃およびアンモ
ニアの含有状況を調査するとともに、製造物である磁気
ディスク用記録媒体の表面の化学汚染状況を調査した。
用換気装置を装着した宇宙型の防塵衣を着用した作業者
が、クラス10のクリーンルーム内で磁気ディスク用記
録媒体の製造作業に約1時間従事した過程において、そ
れぞれ防塵衣の内部空気が集塵ユニットに流入する入口
と、その空気が所定の経路を通過した後にクリーンルー
ム内に排出される出口との2箇所で、塵埃およびアンモ
ニアの含有状況を調査するとともに、製造物である磁気
ディスク用記録媒体の表面の化学汚染状況を調査した。
【0015】上記の実施例ならびに比較例に関する調査
の結果を表1に示す。
の結果を表1に示す。
【0016】
【表1】 表1によれば、実施例のように集塵ユニットと給排気ユ
ニットとから構成されている換気機構に化学フィルター
を付設した防塵衣用換気装置においては、塵埃とアンモ
ニア成分のいずれも除去され、製造物の表面に化学汚染
の痕跡がないことがわかる。また、比較例のように集塵
ユニットと給排気ユニットのみで構成されている換気機
構を備えた防塵衣用換気装置においては、集塵ユニット
によって除塵はできるものの、アンモニア成分は除去さ
れないために製造物の表面に局部的な化学汚染の痕跡が
あることがわかる。
ニットとから構成されている換気機構に化学フィルター
を付設した防塵衣用換気装置においては、塵埃とアンモ
ニア成分のいずれも除去され、製造物の表面に化学汚染
の痕跡がないことがわかる。また、比較例のように集塵
ユニットと給排気ユニットのみで構成されている換気機
構を備えた防塵衣用換気装置においては、集塵ユニット
によって除塵はできるものの、アンモニア成分は除去さ
れないために製造物の表面に局部的な化学汚染の痕跡が
あることがわかる。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、クリーンルーム内で着
用する防塵衣の内部空気を換気するための集塵ユニット
と給排気ユニットとからなる換気機構を備えた防塵衣用
換気装置において、防塵衣の中で発生した化学物質を吸
収するための化学フィルターを換気機構に付設した構成
とすることによって、集塵ユニットにより塵埃が除去さ
れるとともに化学フィルターにより化学汚染源となる化
学物質が除去された清浄空気が防塵衣の中からクリーン
ルーム内へ排出されるので、クリーンルーム内を常時塵
埃および化学汚染源となる化学物質の少ない清浄な製造
環境状態に維持することができるため、クリーンルーム
内で製造される製造物の表面汚染を低減・抑制すること
ができ、製造物の品質低下を回避することが可能とな
る。
用する防塵衣の内部空気を換気するための集塵ユニット
と給排気ユニットとからなる換気機構を備えた防塵衣用
換気装置において、防塵衣の中で発生した化学物質を吸
収するための化学フィルターを換気機構に付設した構成
とすることによって、集塵ユニットにより塵埃が除去さ
れるとともに化学フィルターにより化学汚染源となる化
学物質が除去された清浄空気が防塵衣の中からクリーン
ルーム内へ排出されるので、クリーンルーム内を常時塵
埃および化学汚染源となる化学物質の少ない清浄な製造
環境状態に維持することができるため、クリーンルーム
内で製造される製造物の表面汚染を低減・抑制すること
ができ、製造物の品質低下を回避することが可能とな
る。
【図1】本発明による防塵衣用換気装置の装着状態の実
施例を示す背面図
施例を示す背面図
【図2】従来の防塵衣用換気装置の装着状態の一例を示
す背面図
す背面図
1・・・・・・防塵衣 1a・・・・フード 2・・・・・・換気機構 2a・・・・換気管 2b・・・・集塵ユニット 2c・・・・給排気ユニット 3・・・・・・化学フィルター 3a・・・・着脱具
Claims (3)
- 【請求項1】クリーンルーム内で着用する防塵衣の内部
空気を換気するための集塵ユニットと給排気ユニットと
からなる換気機構を備えた防塵衣用換気装置において、
前記防塵衣の中で発生した化学物質を吸収するための化
学フィルターを前記換気機構に付設してなる防塵衣用換
気装置。 - 【請求項2】化学フィルターは、カセット式の構造であ
ることを特徴とする請求項1記載の防塵衣用換気装置。 - 【請求項3】化学フィルターは、アンモニアガス吸収機
能を有することを特徴とする請求項1または2記載の防
塵衣用換気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9306880A JPH11140712A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | 防塵衣用換気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9306880A JPH11140712A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | 防塵衣用換気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11140712A true JPH11140712A (ja) | 1999-05-25 |
Family
ID=17962368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9306880A Pending JPH11140712A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | 防塵衣用換気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11140712A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685299B1 (ko) | 2006-02-22 | 2007-02-22 | (주)기하동문기술사건축사사무소 | 집진장치가 구비된 안전조끼 |
| KR200454085Y1 (ko) | 2009-02-17 | 2011-06-15 | 이명진 | 약액전용 보호구 |
| KR101059581B1 (ko) | 2008-10-10 | 2011-08-26 | 건국대학교 산학협력단 | 동물실용 무균작업복 |
| KR101059580B1 (ko) | 2008-10-10 | 2011-08-26 | 건국대학교 산학협력단 | 생물,동물실험실용 안전복 |
| JP2012052263A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 防塵服 |
| CN111345525A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-06-30 | 南京华翼电子科技有限公司 | 基于微机和传感器监测的防护服电控系统及电路控制方法 |
| CN111602906A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-09-01 | 河南亚都实业有限公司 | 一种清洁防护服 |
-
1997
- 1997-11-10 JP JP9306880A patent/JPH11140712A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685299B1 (ko) | 2006-02-22 | 2007-02-22 | (주)기하동문기술사건축사사무소 | 집진장치가 구비된 안전조끼 |
| KR101059581B1 (ko) | 2008-10-10 | 2011-08-26 | 건국대학교 산학협력단 | 동물실용 무균작업복 |
| KR101059580B1 (ko) | 2008-10-10 | 2011-08-26 | 건국대학교 산학협력단 | 생물,동물실험실용 안전복 |
| KR200454085Y1 (ko) | 2009-02-17 | 2011-06-15 | 이명진 | 약액전용 보호구 |
| JP2012052263A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 防塵服 |
| CN111345525A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-06-30 | 南京华翼电子科技有限公司 | 基于微机和传感器监测的防护服电控系统及电路控制方法 |
| CN111345525B (zh) * | 2020-05-25 | 2020-08-25 | 南京华翼电子科技有限公司 | 基于微机和传感器监测的防护服电控系统及电路控制方法 |
| CN111602906A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-09-01 | 河南亚都实业有限公司 | 一种清洁防护服 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11140712A (ja) | 防塵衣用換気装置 | |
| US8286630B2 (en) | Apparatus for recycling moisture exhaled from worker within dry room to the worker | |
| CN116900844B (zh) | 一种氧化铝陶瓷板生产加工设备及方法 | |
| CN215092525U (zh) | 一种立轴端面磨床吸尘与冷却砂轮装置 | |
| CN111577371A (zh) | 一种用于矿井湿热治理的装置及方法 | |
| KR20170098394A (ko) | 방진 항균 마스크 | |
| JP3519513B2 (ja) | 装置本体部取付け型空調装置 | |
| JP2000303245A (ja) | ヘルメット一体型防塵マスク | |
| CN213994626U (zh) | 一种新型防尘防毒面罩 | |
| KR200320056Y1 (ko) | 도장용 집진기 | |
| KR19990014607A (ko) | 1회용 방진마스크 | |
| JPH1151432A (ja) | 粉塵除去用エアーシャワーシステム | |
| CN208121122U (zh) | 一种高炉渣沟防堵收尘机构 | |
| CN208614396U (zh) | 加工轴承专用数控机床车刀刀头的检测装置 | |
| CN223455651U (zh) | 一种装饰装修墙面打磨组件 | |
| CN215470166U (zh) | 一种干式磨床吸尘与冷却砂轮装置 | |
| CN212280094U (zh) | 一种平面口罩生产装置 | |
| CN222326191U (zh) | 局部负压洁净台 | |
| CN222449529U (zh) | 一种硬质合金加工用无心磨床 | |
| CN214054565U (zh) | 高效的邦迪管切断机 | |
| CN221694621U (zh) | 一种肩背式激光清洗机 | |
| JP2554052B2 (ja) | 清浄作業台 | |
| CN216543634U (zh) | 一种带吸尘功能的分切刀 | |
| CN220971897U (zh) | 一种自动进料砂光机的排屑装置 | |
| CN221871606U (zh) | 一种磨床工作台 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031217 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031225 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040217 |