JPH11145092A - ウェットキャリアレス洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハにダストが付着することを防止したオ
リエンテーションフラット位置合わせ機構を備えたウェ
ットキャリアレス洗浄装置を提供する。 【解決手段】 本発明に係るウェットキャリアレス洗浄
装置は、オリエンテーションフラット位置合わせ機構２
９を備えている。オリエンテーションフラット位置合わ
せ機構２９は、水平回転軸の回りに回転する円筒状の回
転体１４を有し、キャリア１６に収容されたウエハの周
縁下端を回転体１４の円筒面１５に接触させ、回転体１
４の回転によりウエハを垂直面内で回転させる回転ロー
ラ１８と、回転体１４の円筒面１５をクリーニングする
ローラクリーニング機構３０と、回転体１４及び位置決
めバー２２の近傍のゾーンのダストを吸引、排気する局
所排気チューブ３２とを備えている。ローラクリーニン
グ機構３０は、ブラシ又はワイパ３４と、ブラシ又はワ
イパ３４を駆動する駆動装置３６とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェットキャリア
レス洗浄装置に関し、更に詳しくは、ウエハにダストが
付着することを防止したウェットキャリアレス洗浄装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造過程では、ウエハのプ
ロセス処理毎に、例えばエッチング処理前にウエハを洗
浄していて、洗浄にあたっては、例えばウェットキャリ
アレス洗浄装置を用いて洗浄している。ウェットキャリ
アレス洗浄装置（以下、簡単に洗浄装置と言う）は、ウ
エハキャリアからウエハを取り出し、ウエハだけを洗浄
液に浸漬して洗浄する装置であって、ウエハを洗浄する
洗浄槽と、オリエンテーションフラットの向きが所定の
傾きに揃えられたウエハを搬送するロボットと、オリエ
ンテーションフラットの向きを所定の傾きに揃えるオリ
エンテーションフラット位置合わせ機構（以下、簡単に
位置合わせ機構と言う）とを備えている。ここで、図２
を参照して、従来の洗浄装置の設けられている位置合わ
せ機構の構成を説明する。図２（ａ）及び（ｂ）は、そ
れぞれ、従来の洗浄装置の要部、すなわち位置合わせ機
構の構成を示す正面図及び側面図である。位置合わせ機
構１２は、図２に示すように、水平回転軸の回りに回転
する円筒状の回転体１４を有し、ウエハキャリア（以
下、簡単にキャリアと言う）１６に収容されたウエハの
周縁下端を回転体１４の円筒面１５に接触させ、回転体
１４の回転によりウエハを垂直面内で回転させる回転ロ
ーラ１８を備えている。また、位置合わせ機構１２は、
上縁部でウエハの周縁下端を支持しつつ、ウエハの回転
に伴い下降して来るオリエンテーションフラット縁２０
をウエハ下端で所定の傾きに位置決めする位置決めバー
２２と、回転ローラ１８を回転させる回転ベルト２４及
びパルスモータ２６とを備えている。

【０００３】洗浄装置を用いてウエハを洗浄する際、先
ず、位置合わせ機構１２を用いてウエハのオリエンテー
ションフラット縁を揃える。揃える際、多数枚のウエハ
を収容したキャリアを位置合わせ機構にセットし、回転
している円筒面１５と位置決めバー２２の上縁部とにキ
ャリア１６内のウエハ周縁下端を接触させる。この結
果、ウエハは、オリエンテーションフラットが下降して
きて位置決めバー２２及び円筒面１５に接触するまで回
転して、そこでウエハの回転が停止し、到来したオリエ
ンテーションフラット縁２０が位置決めバー２２の上縁
部及び円筒面１５に接触して停止した状態になり、これ
により、キャリア内の全てのウエハのオリエンテーショ
ンフラット縁の向きが所定の傾きに揃う（図２（ｂ）参
照）。次いで、オリエンテーションフラット縁２０の揃
えられたウエハをロボットによりキャリア１６から取り
出し、洗浄槽の位置にまで搬送し、洗浄する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の洗浄
装置の位置合わせ機構では、ウエハ周縁下端と円筒面と
の接触によりウエハ周縁下端からダストが生じ、また、
ウエハが回転しているときにはウエハ周縁とキャリア内
壁とが擦れ合って同様にダストが生じ、そして、これら
のダストが回転体の円筒面に付着する。しかも、ダスト
の発生量は、ウエハの処理枚数が増加するに従って増加
し、ウエハに付着するという問題があった。この問題
は、洗浄した後であっても、ダストがウエハに異物とし
て残留していて、半導体装置の特性不良が生じるという
問題を引き起こしていた。以上のような事情に照らし
て、本発明の目的は、ウエハにダストが付着することを
防止した位置合わせ機構を備えたウェットキャリアレス
洗浄装置を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者は、回転ローラ
を定期的にクリーニングすることを検討した。しかし、
回転体の円筒面上のダスト量は低減するものの、クリー
ニング中、洗浄装置の使用を停止する必要があり、洗浄
装置の処理能力が低下するという別の問題が発生した。
そこで、本発明者は、鋭意検討の結果、ロボットによっ
てウエハをキャリアから取り出した後、次のキャリアが
位置合わせ機構にセットされるまでの間、位置合わせ機
構が運転停止状態で待機していることに着目し、その間
に回転体の円筒面のダストを除去することを検討し、本
発明を完成するに至った。

【０００６】上記目的を達成するために、本発明に係る
ウェットキャリアレス洗浄装置は、ウエハキャリアに収
容され、垂直に保持されたウエハのオリエンテーション
フラットの向きを所定の傾きに揃えるオリエンテーショ
ンフラット位置合わせ機構を備えたウェットキャリアレ
ス洗浄装置であって、オリエンテーションフラット位置
合わせ機構が、水平回転軸の回りに回転する円筒状回転
体を有し、ウエハキャリアに収容されたウエハの周縁下
端を回転体の円筒面に接触させ、回転体の回転によりウ
エハを垂直面内で回転させる回転ローラと、上縁部でウ
エハの周縁下端を支持しつつ、ウエハの回転に伴い下降
して来るオリエンテーションフラット縁をウエハ下端で
所定の傾きに位置決めする位置決めバーとを備えてい
る、ウェットキャリアレス洗浄装置において、オリエン
テーションフラット位置合わせ機構が、回転体の円筒面
に接触して円筒面上のダストを除去する除去手段と、除
去手段を駆動して、円筒面に近接、離間させる駆動手段
とを有する特徴としている。除去手段は、例えばブラシ
またはワイパである。尚、回転ローラ及び位置決めバー
は、それぞれ昇降自在であってもよい。

【０００７】本発明により、回転体の円筒面のクリーニ
ングが自動化され、人手によりクリーニングすることな
く、円筒面に付着しているダストを除去することが可能
になる。

【０００８】好適には、位置決めバー及び回転ローラの
双方の近傍で下方に延在するチューブであって、チュー
ブ全長にわたり吸引口が形成されている局所排気チュー
ブを備えている。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に、実施形態例を挙げ、添付
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつより
詳細に説明する。実施形態例 本実施形態例は、本発明の好適な実施形態例である。図
１（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、本実施形態例のウェ
ットキャリアレス洗浄装置（以下、簡単に洗浄装置と言
う）の要部、すなわちオリエンテーションフラット位置
合わせ機構（以下、簡単に位置合わせ機構と言う）の構
成を示す正面図及び側面図である。本実施形態例の洗浄
装置は、従来の洗浄装置に比べ、位置合わせ機構２９
が、回転体１４の円筒面１５をクリーニングするローラ
クリーニング機構３０と、回転体１４及び位置決めバー
２２の近傍のゾーンのダストを吸引、排気する局所排気
チューブ３２とを備えている。尚、説明の都合上、図１
（ａ）は、ローラクリーニング機構３０を省いて描いて
いる。図１では、図２と同じものには同じ符号を付して
その説明を省略する。

【００１０】ローラクリーニング機構３０は、回転体１
４の円筒面１５に接触して円筒面１５上のダストを除去
する除去手段と、除去手段を駆動して、円筒面１５に近
接、離間させる駆動手段とから構成され、ダストがシー
ケンス制御により除去可能なようにされている。除去手
段は、例えばブラシ又はワイパ３４であり、駆動手段
は、市販の駆動装置３６である。局所排気チューブ３２
は、位置決めバー２２及び回転ローラ１８の双方の近傍
で下方に延在し、チューブ全長にわたり、チューブ長手
方向に沿った吸引口３３が形成されている。尚、位置合
わせ機構２９は、更に、回転ローラ１８及び位置決めバ
ー２２をそれぞれ自在に昇降させるシリンダ付きの昇降
装置３８と、位置合わせ機構２９自体を昇降させるシリ
ンダ付きの昇降装置４０とを備えている。

【００１１】ウェットキャリアレス洗浄装置２８を使用
してウエハを洗浄するには、先ず、局所排気チューブ３
２により回転体１４の近傍のゾーンを局所排気しつつ、
従来と同様、ウエハを収容しているウエハキャリア（以
下、簡単にキャリアと言う）１６を位置合わせ機構２９
にセットし、ウエハのオリエンテーションフラット縁２
０の向きを所定の傾きに、例えば水平に揃える。続い
て、昇降機構３８により回転ローラ１８を上昇させ、オ
リエンテーションフラットの傾きの揃えられたウエハを
ロボットによりキャリア１６から取り出して搬送し、洗
浄槽にて洗浄する。キャリア１６は、洗浄後のウエハを
収容するように、人手等により所定位置に運搬される。
また、ロボットによってウエハをキャリアから取り出し
た後、次のキャリアが位置合わせ機構２９にセットされ
るまでの間、すなわち位置合わせ機構２９が運転停止状
態で待機している間、駆動装置３６を駆動して、回転し
ている回転体１５にブラシ又はワイパ３４を近接させて
接触させ、円筒面１５をクリーニングする。クリーニン
グにより生じたダストは、局所排気チューブ３２により
排出される。これにより、ダストがウエハに付着するこ
とはない。

【００１２】

【発明の効果】本発明によれば、オリエンテーションフ
ラット位置合わせ機構が、回転体の円筒面に接触して円
筒面上のダストを除去する除去手段と、除去手段を駆動
して、円筒面に近接、離間させる駆動手段とを有する。
これにより、ウエハのオリエンテーションフラットの向
きを所定の傾きに揃えた後、次のウエハのオリエンテー
ションフラットの傾きを揃えるまでのオリエンテーショ
ンフラット位置合わせ機構の待機中に、円筒面に付着し
たダストを除去することができる。また、回転体のクリ
ーニングが自動化され、人手によりクリーニングを行う
必要がない。更に、円筒面のクリーニングのためにウェ
ットキャリアレス洗浄装置の運転を停止する必要がな
く、従って、ウェットキャリアレス洗浄装置の処理能力
を低下させることなく上記の効果を奏することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、本実施形
態例のウェットキャリアレス洗浄装置のオリエンテーシ
ョンフラット位置合わせ機構の構成を示す正面図及び側
面図である。

【図２】図２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、従来のウ
ェットキャリアレス洗浄装置のオリエンテーションフラ
ット位置合わせ機構の構成を示す正面図及び側面図であ
る。

【符号の説明】

１２……位置合わせ機構、１４……回転体、１５……円
筒面、１６……キャリア、１８……回転ローラ、２０…
…オリエンテーションフラット縁、２２……位置決めバ
ー、２４……回転ベルト、２６……パルスモータ、２９
……位置合わせ機構、３０……ローラクリーニング機
構、３２……局所排気チューブ、３３……吸引口、３４
……ブラシ又はワイパ、３６……駆動装置、３８……昇
降装置、４０……昇降装置。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハキャリアに収容され、垂直に保持
   されたウエハのオリエンテーションフラットの向きを所
   定の傾きに揃えるオリエンテーションフラット位置合わ
   せ機構を備えたウェットキャリアレス洗浄装置であっ
   て、 オリエンテーションフラット位置合わせ機構が、水平回
   転軸の回りに回転する円筒状回転体を有し、ウエハキャ
   リアに収容されたウエハの周縁下端を回転体の円筒面に
   接触させ、回転体の回転によりウエハを垂直面内で回転
   させる回転ローラと、上縁部でウエハの周縁下端を支持
   しつつ、ウエハの回転に伴い下降して来るオリエンテー
   ションフラット縁をウエハ下端で所定の傾きに位置決め
   する位置決めバーとを備えている、ウェットキャリアレ
   ス洗浄装置において、 オリエンテーションフラット位置合わせ機構が、回転体
   の円筒面に接触して円筒面上のダストを除去する除去手
   段と、 除去手段を駆動して、円筒面に近接、離間させる駆動手
   段とを有することを特徴とするウェットキャリアレス洗
   浄装置。
2. 【請求項２】 除去手段が、ブラシまたはワイパである
   ことを特徴とする請求項１に記載のウェットキャリアレ
   ス洗浄装置。
3. 【請求項３】 位置決めバー及び回転ローラの双方の近
   傍で下方に延在するチューブであって、チューブ全長に
   わたり吸引口が形成されている局所排気チューブを備え
   ていることを特徴とする請求項１又は２に記載のウェッ
   トキャリアレス洗浄装置。
4. 【請求項４】 回転ローラ及び位置決めバーが、それぞ
   れ昇降自在であることを特徴とする請求項１又は２に記
   載のウェットキャリアレス洗浄装置。