JPH11146667A

JPH11146667A - 超音波モータ装置

Info

Publication number: JPH11146667A
Application number: JP9308631A
Authority: JP
Inventors: Toyoichi Aizawa; 豊一相澤
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1997-11-11
Filing date: 1997-11-11
Publication date: 1999-05-28

Abstract

(57)【要約】【課題】この発明は、円筒形状に形成されたステータ
を、その振動を阻害することなく、しかも、騒音が発生
しにくいように、簡易な構成で安定に保持することがで
き、ロータの駆動効率の向上を促進し得る超音波モータ
装置を提供することを目的としている。【解決手段】円筒形状に形成された圧電素子１５ａの内
周及び外周のいずれか一方の面に全面電極１５ｃを形成
し、他方の面に複数の分割電極１５ｂ１，１５ｂ２を圧
電素子１５ａの円周に沿って配列形成したステータ１５
を備え、複数の分割電極１５ｂ１，１５ｂ２と全面電極
１５ｃとの間に高周波の駆動信号を供給してステータ１
５を振動させ、ステータ１５に圧接されたロータ１４を
回転駆動する超音波モータ装置であって、ステータ１５
をその外周面をゴム１７で覆って保持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、超音波振動する
円筒形状のステータにロータを圧接させる構造を有する
超音波モータ装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、首記の如き超音波モータ
装置は、ステータとなる円筒形状の圧電素子に高周波の
交流電圧を印加して、約２０ｋＨｚ以上の超音波振動を
発生させることにより、該ステータに圧接されたロータ
を回転駆動させるようにしたもので、構造が簡単で小型
軽量化に適するとともに、低速回転時でも高いトルクが
得られる上、駆動音も少なく静かであるという種々の利
点を有している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構造となされた従来の超音波モータ装置では、そ
のステータの保持が困難になるという問題が生じてい
る。すなわち、円筒形状に形成されたステータは、駆動
時に、その外周面，内周面及び両端面の全ての面が変位
する。このため、ステータのどこを保持するようにして
も、その正規の振動を阻害することになり、ロータの駆
動効率が劣化してしまうからである。

【０００４】なお、従来では、円筒形状に形成されたス
テータに対して、その両端面から挟み込んだり外周面を
はめ込んだりする簡易保持も多く行なわれているが、こ
のような簡易保持では、ステータと保持部材との間で騒
音が発生し易くなるという不都合が生じる。

【０００５】そこで、この発明は上記事情を考慮してな
されたもので、円筒形状に形成されたステータを、その
振動を阻害することなく、しかも、騒音が発生しにくい
ように、簡易な構成で安定に保持することができ、ロー
タの駆動効率の向上を促進し得る極めて良好な超音波モ
ータ装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係る超音波モ
ータ装置は、円筒形状に形成された圧電素子と、この圧
電素子の内周及び外周のいずれか一方の面に形成される
全面電極と、圧電素子の他方の面に該圧電素子の円周に
沿って配列形成された複数の分割電極と、この複数の分
割電極と全面電極との間に高周波の駆動信号を供給して
圧電素子を振動させる駆動手段と、圧電素子に圧接され
該圧電素子の振動を受けて回転駆動されるロータと、圧
電素子の外周面を覆って保持するゴムとを備えるように
したものである。

【０００７】上記のような構成によれば、圧電素子の外
周面をゴムによって覆って保持するようにしたので、簡
易な構成で圧電素子の半径方向の変位がゴムによって吸
収されることになるため、圧電素子をその振動を阻害す
ることなく、しかも、騒音が発生しにくいように、安定
に保持することができるようになり、ロータの駆動効率
を向上させることができる。

【０００８】また、この発明に係る超音波モータ装置
は、円筒形状に形成された圧電素子と、この圧電素子の
内周及び外周のいずれか一方の面に形成される全面電極
と、圧電素子の他方の面に、該圧電素子の中心軸方向の
一端部近傍を除いて、該圧電素子の円周に沿って配列形
成された複数の分割電極と、この複数の分割電極と全面
電極との間に高周波の駆動信号を供給して圧電素子を振
動させる駆動手段と、圧電素子に圧接され該圧電素子の
振動を受けて回転駆動されるロータと、圧電素子の複数
の分割電極が形成されない部分を保持する保持手段とを
備える用にしたものである。

【０００９】さらに、この発明に係る超音波モータ装置
は、円筒形状に形成された圧電素子と、この圧電素子の
内周及び外周のいずれか一方の面に形成される全面電極
と、圧電素子の他方の面に、該圧電素子の中心軸方向の
中央部近傍を除く両側に、該圧電素子の円周に沿って配
列形成された複数の分割電極と、この複数の分割電極と
全面電極との間に高周波の駆動信号を供給して圧電素子
を振動させる駆動手段と、圧電素子に圧接され該圧電素
子の振動を受けて回転駆動されるロータと、圧電素子の
複数の分割電極が形成されない部分を保持する保持手段
とを備えるようにしたものである。

【００１０】上記のような構成によれば、圧電素子の中
心軸方向の一端部近傍または中央部近傍を除いて分割電
極を形成するようにしたので、圧電素子の分割電極の形
成されていない部分はほとんど変形しないため、この部
分を保持するようにすれば、圧電素子をその振動を阻害
することなく、しかも、騒音が発生しにくいように、安
定に保持することが可能となる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の第１の実施の形
態について図面を参照して詳細に説明する。図１におい
て、符号１１は有底円筒形状に形成された筐体である。
この筐体１１の内部には、円筒形状に形成された支持体
１２が、同心的に収容されている。この支持体１２は、
その一端面を筐体１１の底面１１ａに接触させた状態
で、筐体１１内に固定されている。

【００１２】この支持体１２の他端部には、鍔部１２ａ
が形成されている。そして、この支持体１２には、その
鍔部に１２ａに近い側から、リング状に形成されたワッ
シャ１３、リング状に形成されたロータ１４及び円筒形
状に形成されたステータ１５が、順に遊挿されている。

【００１３】また、この支持体１２には、その筐体１１
の底面１１ａに取着されている端部側の外周面にねじ溝
１２ｂが形成されている。そして、このねじ溝１２ｂ
に、リング状に形成され、その内周面にねじ溝１６ａが
形成された加圧部材１６が螺着されることにより、ロー
タ１４とステータ１５とが所定の圧力で接触されるよう
になっている。

【００１４】このステータ１５は、図２に示すように、
円筒形状に形成された圧電素子１５ａの外周面に、その
円周方向に沿って等間隔に４つに分割された分割電極１
５ｂ１，１５ｂ２（他の２つの分割電極は図では見えな
い）を被着するとともに、該圧電素子１５ａの内周面全
体に、全面電極１５ｃを被着することにより構成されて
いる。

【００１５】このステータ１５の４つの分割電極１５ｂ
１，１５ｂ２には、それぞれ半田１５ｄ１，１５ｄ２
（他の２つの半田は図では見えない）によって接続され
たリード線１５ｅ１，１５ｅ２，１５ｅ３，１５ｅ４を
介して、隣り合う分割電極１５ｂ１，１５ｂ２間で相互
に位相が９０°ずれた、約２０ｋＨｚ以上の周波数を有
する駆動信号が供給されている。

【００１６】また、上記ステータ１５の全面電極１５ｃ
は、半田１５ｆによって接続されたリード線１５ｇを介
して接地されている。このため、ステータ１５を構成す
る圧電素子１５ａは、その４つの分割電極１５ｂ１，１
５ｂ２に対応する４つの領域が、順番に半径方向及び中
心軸方向に圧縮・伸張されることになる。

【００１７】すなわち、このステータ１５は、その長さ
が、円周に沿って一方向に規則的な変化を繰り返すこと
になる。これにより、このステータ１５の一端面に圧接
されたロータ１４は、ステータ１５との摩擦によって回
転駆動されるようになり、ここに、超音波モータ装置が
回転駆動されることになる。

【００１８】再び図１に示すように、ロータ１４の外周
縁部には、筐体１１の開口端よりも外方に突出する筒状
部１４ａが形成されている。この筒状部１４ａの突出方
向先端部の外周面には、ねじ溝１４ｂが形成されてい
る。そして、この超音波モータ装置は、ロータ１４のね
じ溝１４ｂを図示しない被回転駆動体に連結して、回転
力を伝達している。

【００１９】ここで、上記ステータ１５は、その外周面
に円筒形状に形成されたゴム１７が嵌合されている。こ
のゴム１７は、ワッシャ１３，ロータ１４，スタータ１
５及び加圧部材１６が取り付けられた支持体１２を、筐
体１１内に収容し固定したときに、ステータ１５の外周
面と筐体１１の内周面との間に圧入される。つまり、ス
テータ１５は、ゴム１７を介して筐体１１に保持される
ことになる。

【００２０】上記した第１の実施の形態によれば、ステ
ータ１５の外周面と筐体１１の内周面との間にゴム１７
を圧入するという簡易な構成で、ステータ１５の半径方
向の変位がゴム１７によって吸収されることになるた
め、ステータ１５をその振動を阻害することなく、しか
も、騒音が発生しにくいように、安定に保持することが
できるようになり、ロータ１４の駆動効率を向上させる
ことができる。

【００２１】図３は、この第１の実施の形態の変形例を
示している。すなわち、図３において、図２と同一部分
に同一符号を付して説明すると、前記ゴム１７に代え
て、円筒形状に形成された異方性導電ゴム１８によっ
て、ステータ１５の外周面を覆うようにしている。この
異方性導電ゴム１８の外周面には、ステータ１５の４つ
の分割電極１５ｂ１，１５ｂ２とそれぞれ電気的に導通
した給電用電極１８ａ１，１８ａ２（他の２つの給電用
電極は図では見えない）が形成されている。

【００２２】そして、各リード線１５ｅ１，１５ｅ２，
１５ｅ３，１５ｅ４を介して供給された駆動信号は、そ
れぞれ、給電用電極１８ａ１，１８ａ２から異方性導電
ゴム１８を介して、対応する分割電極１５ｂ１，１５ｂ
２に導かれ、ステータ１５の振動に供される。このよう
な変形例によれば、上記と同様にステータ１５の半径方
向の振動が異方性導電ゴム１８によって吸収されるの
で、ステータ１５をその振動を阻害することなく、しか
も、騒音が発生しにくいように、安定に保持することが
できる。

【００２３】また、異方性導電ゴム１８に分割電極１５
ｂ１，１５ｂ２と導通し、各リード線１５ｅ１，１５ｅ
２，１５ｅ３，１５ｅ４と接続される給電用電極１８ａ
１，１８ａ２を形成するようにしたので、図２に示した
半田１５ｄ１，１５ｄ２付けの部分に無関係に、ステー
タ１５の外周面全体を異方性導電ゴム１８で覆うことが
でき、ステータ１５をより安定に保持することが可能と
なる。

【００２４】図４は、この発明の第２の実施の形態を示
している。これは、図４において、図２と同一部分に同
一符号を付して説明すると、ステータ１５を構成する圧
電素子１５ａの外周面のうち、前記加圧部材１６に接触
される側の端部近傍に、４つの分割電極１５ｂ１，１５
ｂ２を形成しない領域１５ｈを設けるようにしたもので
ある。

【００２５】このような構成によれば、４つの分割電極
１５ｂ１，１５ｂ２にそれぞれ駆動信号を与えて、ステ
ータ１５を振動させるようにした場合、圧電素子１５ａ
は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、その４つの分割
電極１５ｂ１，１５ｂ２の形成されている部分のみが、
半径方向及び中心軸方向に圧縮・伸張される。

【００２６】そして、圧電素子１５ａの、４つの分割電
極１５ｂ１，１５ｂ２の形成されていない領域１５ｈ、
つまり、図５（ａ），（ｂ）に矢印で示す部分は、ほと
んど変形されないようになる。このため、この領域１５
ｈの部分を保持するようにすれば、ステータ１５をその
振動を阻害することなく、しかも、騒音が発生しにくい
ように、安定に保持することが可能となる。

【００２７】図６は、図４に示した構造のステータ１５
を保持する手段を示している。図６において、図１と同
一部分に同一符号を付して説明すると、前記ゴム１７を
削除し、前記加圧部材１６をその外周面が筐体１１の内
周面に接触される形状としている。

【００２８】そして、支持体１２にワッシャ１３，ロー
タ１４及びステータ１５を遊挿し、加圧部材１６を螺着
した状態で、加圧部材１６とステータ１５とを接着す
る。また、支持体１２を筐体１１内に固定する際に、加
圧部材１６の外周面と筐体１１の内周面とを接着する。
これにより、ステータ１５は、その加圧部材１６に接触
される側、つまり、４つの分割電極１５ｂ１，１５ｂ２
の形成されていない領域１５ｈ側の端部が、加圧部材１
６を介して筐体１１に保持されることになる。

【００２９】図７は、この発明の第３の実施の形態を示
している。これは、図７において、図２と同一部分に同
一符号を付して説明すると、前記圧電素子１５ａの中心
軸方向の中央部分に、その外周面に沿って、４つの分割
電極１５ｂ１，１５ｂ２を形成しない領域１５ｉを設け
るようにしたものである。

【００３０】すなわち、４つの分割電極１５ｂ１，１５
ｂ２は、それぞれが、圧電素子１５ａの中心軸方向に２
分割されることになる。この場合、２分割されて図７の
右側の同一円周上に配列された４つの分割電極１５ｂ１
Ｒ，１５ｂ２Ｒには、それぞれ半田１５ｄ１Ｒ，１５ｄ
２Ｒによって接続されたリード線１５ｅ１Ｒ，１５ｅ２
Ｒ，１５ｅ３Ｒ，１５ｅ４Ｒを介して、隣り合う分割電
極１５ｂ１Ｒ，１５ｂ２Ｒ間で互いに位相が９０°ずれ
た駆動信号が供給されている。

【００３１】また、２分割されて図７の左側の同一円周
上に配列された４つの分割電極１５ｂ１Ｌ，１５ｂ２Ｌ
には、それぞれ半田１５ｄ１Ｌ，１５ｄ２Ｌによって接
続されたリード線１５ｅ１Ｌ，１５ｅ２Ｌ，１５ｅ３
Ｌ，１５ｅ４Ｌを介して、隣り合う分割電極１５ｂ１
Ｌ，１５ｂ２Ｌ間で互いに位相が９０°ずれた駆動信号
が供給されている。

【００３２】そして、図７の右側の同一円周上に配列さ
れた４つの分割電極１５ｂ１Ｒ，１５ｂ２Ｒに供給され
る駆動信号と、図７の左側の同一円周上に配列された４
つの分割電極１５ｂ１ｌ，１５ｂ２ｌに供給される駆動
信号とは、圧電素子１５ａの中心軸方向に隣り合う分割
電極１５ｂ１Ｒ，１５ｂ１Ｌ及び１５ｂ２Ｒ，１５ｂ２
Ｌ間で、互いに位相が１８０°ずれるように設定されて
いる。

【００３３】このような構成によれば、８つの分割電極
１５ｂ１Ｒ，１５ｂ２Ｒ，１５ｂ１Ｌ，１５ｂ２Ｌにそ
れぞれ駆動信号を与えて、ステータ１５を振動させるよ
うにした場合、圧電素子１５ａは、図８（ａ），（ｂ）
に示すように、分割電極１５ｂ１Ｒ，１５ｂ２Ｒ，１５
ｂ１Ｌ，１５ｂ２Ｌの形成されている部分のみが、半径
方向及び中心軸方向に圧縮・伸張される。

【００３４】そして、圧電素子１５ａの中心軸方向の中
央部で、各分割電極１５ｂ１Ｒ，１５ｂ２Ｒ，１５ｂ１
Ｌ，１５ｂ２Ｌの形成されていない領域１５ｉ、つま
り、図８（ａ），（ｂ）に矢印で示す部分は、ほとんど
変形されないようになる。このため、この領域１５ｉの
部分を保持するようにすれば、ステータ１５をその振動
を阻害することなく、しかも、騒音が発生しにくいよう
に、安定に保持することが可能となる。

【００３５】図９は、図７に示した構造のステータ１５
を保持する手段を示している。図９において、図１と同
一部分に同一符号を付して説明すると、前記ゴム１７を
削除し、前記筐体１１の内周面に、ステータ１５の各分
割電極１５ｂ１Ｒ，１５ｂ２Ｒ，１５ｂ１Ｌ，１５ｂ２
Ｌの形成されていない領域１５ｉに接触される突起部１
１ｂを形成している。

【００３６】そして、ワッシャ１３，ロータ１４及びス
テータ１５を遊挿し、加圧部材１６を螺着した支持体１
２を筐体１１内に固定する際に、ステータ１５の領域１
５ｉと筐体１１の突起部１１ｂとを接着する。これによ
り、ステータ１５は、その中心軸方向の中央部、つま
り、分割電極１５ｂ１Ｒ，１５ｂ２Ｒ，１５ｂ１Ｌ，１
５ｂ２Ｌの形成されていない領域１５ｉが、突起部１１
ｂを介して筐体１１に保持されることになる。

【００３７】図１０は、この発明の第４の実施の形態を
示している。これは、図１０において、図４と同一部分
に同一符号を付して説明すると、圧電素子１５ａの外周
面の一端部近傍に設けられた、４つの分割電極１５ｂ
１，１５ｂ２が形成されていない領域１５ｈの一部に、
振動検出用電極１５ｊを形成したものである。

【００３８】ここで、図１１は、ステータ１５の４つの
分割電極１５ｂ１，１５ｂ２に与える駆動信号を生成す
るための駆動回路を示している。図１１において、符号
１９は発振回路で、約２０ｋＨｚ以上の周波数の発振信
号を出力可能なものである。この発振回路１９から出力
された発振信号は、バッファ２０を介した後、駆動信号
として分割電極１５ｂ１に供給される。また、発振回路
１９から出力された発振信号は、インバータバッファ２
１を介して極性反転された後、駆動信号として分割電極
１５ｂ３（分割電極１５ｂ１と圧電素子１５ａの中心軸
対称の位置にある）に供給される。

【００３９】一方、上記発振回路１９から出力された発
振信号は、９０°位相遅延回路２２に供給されて位相が
９０°遅延された後、図示の切替状態にある回転方向切
替スイッチ２３及びバッファ２４を介して、駆動信号と
して分割電極１５ｂ２に供給される。

【００４０】また、上記９０°位相遅延回路２２に供給
されて位相が９０°遅延された発振信号は、図示の切替
状態にある回転方向切替スイッチ２３を通りインバータ
バッファ２５によって極性反転された後、駆動信号とし
て分割電極１５ｂ４（分割電極１５ｂ２と圧電素子１５
ａの中心軸対称の位置にある）に供給される。

【００４１】すなわち、ステータ１５の各分割電極１５
ｂ１〜１５ｂ４には、隣り合う分割電極１５ｂ１〜１５
ｂ４間でそれぞれ相互に位相が９０°ずれた駆動信号が
供給されている。このため、ステータ１５を構成する圧
電素子１５ａは、その隣り合う２つの分割電極（１５ｂ
１，１５ｂ２），（１５ｂ２，１５ｂ３），（１５ｂ
３，１５ｂ４），（１５ｂ４，１５ｂ１）に対応する各
領域が、９０°づつ順番に厚み方向に圧縮・伸張される
ことになる。

【００４２】このため、このステータ１５は、その厚み
が、円周に沿って一方向に規則的な変化を繰り返すこと
になる。これにより、このステータ１５に圧接されたロ
ータ１４は、ステータ１５との摩擦によって回転駆動さ
れるようになり、ここに、超音波モータが一方向に回転
駆動されることになる。

【００４３】なお、上記回転方向切替スイッチ２３が図
示と逆の切替状態に制御されると、９０°位相遅延回路
２２から出力された発振信号は、インバータバッファ２
６によって極性反転されて、バッファ２４及びインバー
タバッファ２５に供給されるようになる。

【００４４】このため、上記ステータ１５は、その厚み
が、円周に沿って上記と逆方向に規則的な変化を繰り返
すことになる。これにより、ステータ１５に圧接された
ロータ１４は、ステータ１５との摩擦によって上記と逆
方向に回転駆動されるようになり、ここに、超音波モー
タが他方向に回転駆動されることになる。

【００４５】そして、上記のように圧電素子１５ａが振
動されると、上記振動検出用電極１５ｊから、その振動
に対応した検出信号が発生され、位相比較回路２７に供
給される。この位相比較回路２７は、入力された検出信
号と、発振回路１９から出力される発振信号との位相を
比較して、最適周波数の発振信号が得られるように発振
回路１９を制御している。

【００４６】図１２は、この発明の第５の実施の形態を
示している。これは、図１２において、図７と同一部分
に同一符号を付して説明すると、圧電素子１５ａの外周
面の中央部近傍に設けられた、分割電極１５ｂ１Ｒ，１
５ｂ２Ｒ，１５ｂ１Ｌ，１５ｂ２Ｌが形成されていない
領域１５ｉの一部に、振動検出用電極１５ｋを形成した
ものである。

【００４７】このような構成によっても、振動検出用電
極１５ｋから得られた圧電素子１５ａの振動に対応した
検出信号に基づいて、８つの分割電極１５ｂ１Ｒ，１５
ｂ２Ｒ，１５ｂ１Ｌ，１５ｂ２Ｌに与える駆動信号を生
成するための発振回路（図示せず）の周波数を最適な値
に制御することができる。なお、この発明は上記した各
実施の形態に限定されるものではなく、この外その要旨
を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができ
る。

【００４８】

【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
円筒形状に形成されたステータを、その振動を阻害する
ことなく、しかも、騒音が発生しにくいように、簡易な
構成で安定に保持することができ、ロータの駆動効率の
向上を促進し得る極めて良好な超音波モータ装置を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る超音波モータ装置の第１の実施
の形態を示す側断面図。

【図２】同第１の実施の形態におけるステータの詳細な
構造を示す斜視図。

【図３】同第１の実施の形態におけるステータの変形例
を示す斜視図。

【図４】この発明に係る超音波モータ装置の第２の実施
の形態を示す斜視図。

【図５】同第２の実施の形態におけるステータの変位を
示す側断面図。

【図６】同第２の実施の形態におけるステータの保持手
段を示す側断面図。

【図７】この発明に係る超音波モータ装置の第３の実施
の形態を示す斜視図。

【図８】同第３の実施の形態におけるステータの変位を
示す側断面図。

【図９】同第３の実施の形態におけるステータの保持手
段を示す側断面図。

【図１０】この発明に係る超音波モータ装置の第４の実
施の形態を示す斜視図。

【図１１】同第４の実施の形態における駆動回路を示す
ブロック構成図。

【図１２】この発明に係る超音波モータ装置の第５の実
施の形態を示す斜視図。

【符号の説明】

１４…ロータ、１５…ステータ、１７…ゴム。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円筒形状に形成された圧電素子と、この
圧電素子の内周及び外周のいずれか一方の面に形成され
る全面電極と、前記圧電素子の他方の面に該圧電素子の
円周に沿って配列形成された複数の分割電極と、この複
数の分割電極と前記全面電極との間に高周波の駆動信号
を供給して前記圧電素子を振動させる駆動手段と、前記
圧電素子に圧接され該圧電素子の振動を受けて回転駆動
されるロータと、前記圧電素子の外周面を覆って保持す
るゴムとを具備してなることを特徴とする超音波モータ
装置。
【請求項２】前記ゴムは、前記圧電素子の外周面と、
前記圧電素子を内部に収容する円筒形状の筐体の内周面
との間に圧入されることを特徴とする請求項１記載の超
音波モータ装置。
【請求項３】前記ゴムは、異方性導電ゴムであり、そ
の外周面に、前記圧電素子の外周面に形成された電極と
導通する給電用電極が形成されることを特徴とする請求
項１または２記載の超音波モータ装置。
【請求項４】円筒形状に形成された圧電素子と、この
圧電素子の内周及び外周のいずれか一方の面に形成され
る全面電極と、前記圧電素子の他方の面に、該圧電素子
の中心軸方向の一端部近傍を除いて、該圧電素子の円周
に沿って配列形成された複数の分割電極と、この複数の
分割電極と前記全面電極との間に高周波の駆動信号を供
給して前記圧電素子を振動させる駆動手段と、前記圧電
素子に圧接され該圧電素子の振動を受けて回転駆動され
るロータと、前記圧電素子の前記複数の分割電極が形成
されない部分を保持する保持手段とを具備してなること
を特徴とする超音波モータ装置。
【請求項５】円筒形状に形成された圧電素子と、この
圧電素子の内周及び外周のいずれか一方の面に形成され
る全面電極と、前記圧電素子の他方の面に、該圧電素子
の中心軸方向の中央部近傍を除く両側に、該圧電素子の
円周に沿って配列形成された複数の分割電極と、この複
数の分割電極と前記全面電極との間に高周波の駆動信号
を供給して前記圧電素子を振動させる駆動手段と、前記
圧電素子に圧接され該圧電素子の振動を受けて回転駆動
されるロータと、前記圧電素子の前記複数の分割電極が
形成されない部分を保持する保持手段とを具備してなる
ことを特徴とする超音波モータ装置。
【請求項６】前記圧電素子の前記複数の分割電極が形
成されない部分に、該圧電素子の振動を検出する振動検
出用電極を形成し、この振動検出用電極の出力に基づい
て、前記駆動手段で生成される駆動信号の周波数が制御
されることを特徴とする請求項４または５記載の超音波
モータ装置。
【請求項７】前記駆動手段は、前記圧電素子の中心軸
方向に隣り合う２つの分割電極に、互いに位相が１８０
°ずれた駆動信号を供給することを特徴とする請求項５
記載の超音波モータ装置。