JPH1114700A

JPH1114700A - Ｉｃソケットの特性試験機

Info

Publication number: JPH1114700A
Application number: JP9162975A
Authority: JP
Inventors: Yoshito Fukazawa; 沢義人深; Hideki Wakamatsu; 松秀樹若; Yoshio Usuda; 田圭夫臼
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Microelectronics Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Priority date: 1997-06-19
Filing date: 1997-06-19
Publication date: 1999-01-22

Abstract

(57)【要約】【課題】ＩＣソケットの接触子とＩＣの端子との接触
抵抗等の電気的特性を、品質保証限度内の所望の温度に
て容易に測定することのできるＩＣソケットの特性試験
機を提供する。【解決手段】弾性形状に形成され、先端にコンタクト
部を有する接触子がハウジングに設けられ、加圧手段の
加圧アームによって試料ＩＣの端子がコンタクト部に圧
力接触せしめられるＩＣソケットを試験するものであっ
て、加圧アームを外部操作可能に壁部に貫装すると共
に、試料ＩＣ及びＩＣソケットを内装し、少なくともＩ
Ｃソケットの品質保証限度を超える耐冷、耐熱性能を有
する温度槽と、温度槽の雰囲気温度を設定値に制御する
温度制御手段とを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性形状に形成さ
れ、先端にコンタクト部を有する接触子がハウジングに
設けられ、加圧手段の加圧アームによって試料ＩＣの端
子がコンタクト部に圧力接触せしめられるＩＣソケット
の特性試験機に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、各種電気機器の縮小化に伴い、内
蔵されるＩＣも小型化が推し進められ、表面実装ＩＣと
呼ばれる薄型のＩＣの占める割合が増えてきている。ま
た、高集積化による、ＩＣの端子数の増加、端子間隔及
び端子幅の縮小化も著しく、それらのＩＣの端子変形を
防止してＩＣの特性試験を確実に行う必要がある。そこ
で、品質的に保証されたＩＣソケットの出現が強く望ま
れている。

【０００３】図７はこの種の従来のＩＣソケットの構成
及びその試験動作の概略説明図である。同図において、
載置台１０１上にソケットボード１０２が固定され、こ
のソケットボード１０２の表面部にＩＣソケット１１０
が装着される。ＩＣソケット１１０は、中央部をその上
面から高さ方向の途中まで刳り抜かれたハウジング１１
１を有している。このハウジング１１１を平面方向で見
てその周囲に多数の孔１１２が千鳥に穿設されると共
に、これらの孔１１２に弾性形状の湾曲部を有する接触
子１１３がそれぞれ嵌挿されている。

【０００４】この場合、ＩＣソケット１１０の裏面の中
央部に対向する載置台１０１の表面が凹状に形成され、
ここに接触子１１３のリード接続端が突出している。そ
して、このリード接続端に接続されたリード線ｘ₂が図
示省略の電気的特性測定器に接続される。なお、ソケッ
トボード１０２の所定の位置にＩＣソケット１１０を装
着するために、ハウジング１１１に形成されたダボ１１
５とソケットボード１０２に形成されたダボ穴１０３と
を嵌合させている。

【０００５】一方、多数の接触子１１３の各湾曲部の先
端がコンタクト部１１６を形成し、試料ＩＣ１０４の試
験に際して、このコンタクト部１１６に試料ＩＣ１０４
の端子１０５がそれぞれ接触するように載置される。ま
た、試料ＩＣ１０４の端子１０５にも必要に応じてリー
ド線ｘ₁が接続され、リード線ｘ₂と共に、図示省略の
電気的特性測定器に接続される。

【０００６】試料ＩＣの電気特性試験に際して、試料Ｉ
Ｃ１０４の端子１０５を接触子１１３に圧力接触させる
べく、枡を伏せた形の加圧端部１０６を有する加圧アー
ム１０７が設けられている。この加圧アーム１０７はＡ
矢印方向に往復駆動されて加圧及び加圧開放が行われ
る。なお、加圧動作における加圧アーム１０７の移動量
によって接触子１１３の湾曲端の変位量が決まり、この
変位量に応じて接触圧力が決まる関係にある。

【０００７】しかして、電気的特性測定器は、リード線
ｘ₁，ｘ₂を介して、抵抗値、インダクタンス、キャパ
シタンス等を測定して試料ＩＣの電気的特性と併せて、
加圧、開放の回数の多少や、接触子の変位量の多少によ
る特性の推移等の解析を行うことにより、ＩＣソケット
自体の電気的特性をも評価していた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述したＩＣソケット
の電気的特性評価において、ＩＣソケットの接触子１１
３と試料ＩＣ１０４の端子１０５との間の接触抵抗の測
定、繰返し圧接に伴う特性の推移が、室温の環境を基準
にして行われていたため、ＩＣソケット１１０が実際に
使用される高温又は低温の環境下での値が得られなかっ
た。仮に、実際の使用環境に合わせてＩＣソケット１１
０の試験をしようとすれば、高温槽や低温槽を設備しな
ければならず、また、煩雑な操作と時間を必要とした。

【０００９】また従来は、ＩＣソケット１１０の接触子
１１３に対する試料ＩＣ１０４の端子１０５の接触圧力
を、ヒンジやエアーシリンダ等の機械的な動作の終了点
に設定していたので、これを調整するにはＩＣソケット
１１０の構造や寸法が変わる度に金型の修正や、調整部
材の調達を余儀なくされた。さらに、上述した従来の方
法では、温度や接触圧力と関連付けた耐久性試験ができ
難かった。

【００１０】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたもので、第１の目的は、ＩＣソケットの接触子とＩ
Ｃの端子との接触抵抗等の電気的特性を、品質保証限度
内の所望の温度にて容易に測定することのできるＩＣソ
ケットの特性試験機を提供することにある。

【００１１】第２の目的は、ＩＣソケットの接触子とＩ
Ｃの端子との接触抵抗等の電気的特性を測定するに際
し、簡易な操作により所望の接触圧力を実現することの
できるＩＣソケットの特性試験機を提供することにあ
る。

【００１２】第３の目的は、温度環境、接触圧力と関連
付けた耐久性の試験を可能にするＩＣソケットの特性試
験機を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のＩＣソ
ケットの特性試験機は、弾性形状に形成され、先端にコ
ンタクト部を有する接触子がハウジングに設けられ、加
圧手段の加圧アームによって試料ＩＣの端子がコンタク
ト部に圧力接触せしめられるＩＣソケットの特性を試験
するものであって、加圧アームを外部操作可能に壁部に
貫装すると共に、試料ＩＣ及びＩＣソケットを内装し、
少なくともＩＣソケットの品質保証限度を超える耐冷、
耐熱性能を有する温度槽と、温度槽の雰囲気温度を設定
値に制御する温度制御手段と、を備えたものである。

【００１４】請求項２に記載のＩＣソケットの特性試験
機は請求項１に記載のものにおいて、加圧手段は、接触
子のコンタクト部と試料ＩＣの端子との接触圧力を設定
値に制御する圧力制御手段を備え圧力制御手段は、軸支
されたボールねじ、このボールねじを回転させる電動機
及びボールねじに螺合され、このボールねじの回転によ
って加圧アームをボールねじの軸方向に直進移動させる
直進移動機構と、圧力設定値として加圧アームの直進移
動距離を設定する圧力設定手段、加圧アームの圧力を測
定する圧力センサ、加圧アームの測定された圧力が設定
された直進移動距離に対応する圧力設定値に一致するよ
うに電動機を制御する電動機制御手段と、を備えたもの
である。

【００１５】請求項３に記載のＩＣソケットの特性試験
機は請求項１に記載のものにおいて、加圧手段は、加圧
アームによる加圧回数を設定する加圧回数設定手段と、
設定された加圧回数だけ加圧アームを往復移動させるよ
うに電動機制御手段に指令を加える加圧回数制御手段
と、設定された加圧回数と実際の加圧回数とを表示する
表示手段と、を備え、さらに、温度槽内に設けられ、Ｉ
Ｃソケットを搭載すると共に、加圧アームの直進移動機
構の中心とＩＣソケットのコンタクト部に端子が接触せ
しめられる試料ＩＣの中心とを一致させるように、少な
くとも加圧アームの直進移動方向と直交する二次元方向
に移動可能な位置調整機構、を備えたものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を好適な実施形態に
基づいて詳細に説明する。図１中の（ａ）は本発明の一
実施形態の全体構成を示す正面図であり、（ｂ）はその
側面図である。これら各図において、ＩＣソケットの特
性試験機１は縦に長い箱型の外形形状を有し、その内部
空間が上、中、下の三段に仕切られており、底部に４個
のキャスター２及び４個の固定脚３が取付けられ、頂部
にパトライトと称されるアラームランプ４が取付けられ
ている。そして、内部が仕切られたうちの下段部５は各
種機器の収納等に使用される。中段部６には内部温度槽
１１Ａと、外部温度槽１１Ｂとでなる二重の温度槽１１
が設置され、その正面部にはこの温度槽１１に試験対象
のＩＣソケット及び試料ＩＣの納入、取出しを行う正面
扉１２が設けられている。正面扉１２の中央部は内部を
透視できる透視窓１３になっている。また、中段部６の
側方には温度槽１１から電線ケーブルを引出して電気的
特性測定器（いずれも図示を省略）に接続するための貫
通孔１４が設けられている。一方、内部が仕切られたう
ちの上段部７の正面部に制御パネル２０が取付けられて
いる。

【００１７】図２中の（ａ）は図１に示した実施形態の
Ａ−Ａ矢視断面図であり、（ｂ）は同じく図１に示した
実施形態のＢ−Ｂ矢視断面図である。図中、図１と同一
の符号を付した要素はそれぞれ同一の要素を示してい
る。

【００１８】ここで、中段部６に設置された温度槽１１
の内側温度槽１１Ａは熱伝導率の小さい複数の支持部材
１５によって外側温度槽１１Ｂ内に保持されている。こ
こで、正面扉１２は外側温度槽１１Ｂの正面壁部と一体
的に構成され、内側温度槽１１Ａの正面壁部も連結部材
１６によって正面扉１２と一体化され、その中央部に透
視窓１７を備えている。しかして、温度槽１１に対する
被試験体の納入、取出しは、二重の温度槽ではあっても
正面扉１２のみを開閉操作すれば済むことになる。

【００１９】温度槽１１の後背部の空間には内部雰囲気
の撹拌に使用する撹拌装置４０が設けられている。この
撹拌装置４０はダクト４１と、ファン４２と、これを駆
動する電動機４３とで構成されており、さらに、撹拌装
置４０が設置された部位の外側に、図示省略の液体窒素
ボンベに管接続された電磁弁５１が取付けられている。
そして、この電磁弁５１を介して、冷却用の窒素ガスを
ダクト４１に導入するように電磁弁５１とダクト４１と
が管接続されている。また、ダクト４１を通して温度槽
１１の内部の雰囲気ガスを撹拌するために、温度槽１１
の側壁に通風孔４４，４５が設けられ、ファン４２がそ
の一方から雰囲気ガスを噴射すると共に、他方から吸入
するようになっている。通風孔４４，４５を接続するダ
クト４１の途中に、図２では省略した電気ヒータ５２が
設置されている。従って、ダクト４１内に低温の窒素ガ
スを供給するとその供給量に応じて温度槽１１の雰囲気
温度は低下し、電気ヒータ５２に通電すると電流値に応
じて雰囲気温度は上昇する。

【００２０】この場合、電気ヒータ５２の電流と窒素ガ
スの流量とを調節することによって、温度槽１１の内部
温度を、例えば、メモリ等の品質保証限度を超す−３０
℃から＋１３５℃まで制御可能になっており、温度槽１
１の材質も当然のことながらこの温度範囲に見合った耐
冷、耐熱性能を有している。

【００２１】次に、温度槽１１の内底部には前述の載置
台１０１を頂部に水平に取付けた位置調整機構１００が
設置されている（直進移動機構の構成を示す後述する図
３及び図４の拡大断面図をも参照）。この位置調整機構
１００はその詳細な説明を省略するが、水平面内での二
次元の微調整と、僅かな角度調整が可能なものである。
そして、載置台１０１には、圧力センサ６１及びスプリ
ング６２を介して、試験対象のＩＣソケット１１０が搭
載、固定される。なお、圧力センサ６１のリード線は内
側温度槽１１Ａ及び外側温度槽１１Ｂの各側壁を通し
て、例えば、内部を仕切った上段部７に設置される制御
装置に接続される。また、ＩＣソケット１１０の近傍の
雰囲気温度を検出するために、内側温度槽１１Ａの内底
部から上方に突出した温度センサ５３が設けられてい
る。

【００２２】次に、ＩＣソケット１１０に対向する温度
槽１１の頂部及び仕切り板８に貫通孔が形成され、この
貫通孔に加圧アーム１０７が上下動可能に装着されてい
る。この加圧アーム１０７の下端部には前述の加圧端部
１０６が取付けられ、さらに、この加圧アームが装置本
体の上段部７に設けられた直進移動機構７０によって上
下に往復駆動される構成になっている。

【００２３】図３は直進移動機構７０の詳細な構成を図
２（ａ）に対応させて示した拡大断面図であり、図４は
この直進移動機構７０の詳細な構成を図２（ｂ）に対応
させて示した拡大断面図である。これら各図において、
図２と同一の符号を付したものはそれぞれ同一の要素を
示している。ここで、仕切り板８上に正面部が開放した
箱型の支持体７１が固定されている。

【００２４】この支持体７１を構成する背面板７２の内
側中央部には、一対の軸受７３によってボールねじ７４
が縦方向に支持されており、このボールねじ７４の上端
部が支持体７１の頂部を貫通し、そこにベルト車７５が
結合されている。また、背面板の裏側中央部には一般に
サーボモータと称される電動機７６が取付けられ、この
電動機７６の出力軸にもベルト車７５が結合され、これ
らのベルト車７５間にベルト７７が掛けられている。

【００２５】また、支持体７１を構成する各側面板７８
の内側にはそれぞれ上下方向に配置したガイド８１と、
このガイド８１に摺動して上下に移動可能な摺動部材８
２とが設けられ、さらに、両側の摺動部材８２間に水平
部材８３が装架されている。この水平部材８３には、ボ
ールねじ７４と螺合するナット８４が取付けられてい
る。しかして、電動機７６を駆動するとボールねじ７４
が回動せしめられ、電動機７６の回転方向を切替えるこ
とによって、水平部材８３は上下に往復駆動される。

【００２６】この水平部材８３には中心を振り分けにし
て一対の軸受８５が装着され、この軸受８５にそれぞれ
嵌挿された一対の軸８６にもう一つの水平部材８７が取
付けられている。さらに、水平部材８７の下側に互いに
平行になった一対の加圧アーム１０７の一端部が取付け
られ、これらの加圧アーム１０７はスライドベアリング
等を介して仕切り板８、外部温度槽１１Ｂ及び内部温度
槽１１Ａを貫通し、その他端に加圧端部１０６が取付け
られている。

【００２７】なお、図３中に示したように、内部温度槽
１１Ａの底部に取付けられた温度センサ５３の先端がＩ
Ｃソケット１１０の近傍に位置している。また、図４中
に示したように、載置台１０１とＩＣソケット１１０と
の間にスプリング６２と圧力センサ６１とが設けられ、
この圧力センサ６１のリード線が内側温度槽１１Ａ及び
外側温度槽１１Ｂの各側壁を貫通して上段部７に収納さ
れる制御装置に接続されている。

【００２８】図５は制御パネル２０の構成を示したもの
で、その左上方に電源スイッチ２１と、加圧回数の設定
値及び実加圧回数を表示するカウンタ２３と、加圧アー
ム１０７がその上限にて停止している時間、すなわち、
加圧開放時間を設定する上限停止タイマ２５と、加圧ア
ーム１０７がその下限にて停止している時間、すなわ
ち、加圧時間を設定する下限停止タイマ２６とが取付け
られている。また、制御パネルの左下方には非常停止ス
イッチ２２、スタートスイッチ２７、ストップスイッチ
２８を含む運転モード設定スイッチ群２９と、加圧アー
ムの移動距離を設定する移動距離設定スイッチ群３０と
が取付けられている。また、制御パネルの右上方には加
圧アーム１０７の押圧力を表示する圧力計６２と、温度
槽の内部温度の設定値及び実祭の温度を表示する温度計
５５とが取付けられている。さらに、制御パネル２０の
右下方には加圧アームの移動距離の設定値を表示する移
動距離表示器６３と、温度槽１１の温度を上昇設定した
り下降設定したりする温度設定器としてのスイッチ群５
４とが設けられている。

【００２９】図６は正面パネル２０の操作状態に応じて
電動機７６、電磁弁５１及び電気ヒータ５２を制御する
制御装置の主要部を示したブロック図である。同図にお
いて、交流電源２０１には、電源スイッチ２１及び非常
停止スイッチ２２を介して、電動機７６を制御する電動
機制御部７９が接続されている。また、非常停止スイッ
チ２２の負荷側には撹拌装置４０と、温度槽１１の温度
を制御する温度制御部５６が接続されている。

【００３０】このうち、撹拌装置４０はダクト４１内に
設置したファン４２を駆動する電動機４３に通電する。
温度制御部５６は温度設定器５４による設定値が温度セ
ンサ５３による検出値と一致するように電気ヒータ５２
に対する電流及び電磁弁５１の開閉を制御する。なお、
温度計５５は温度センサ５３による検出温度及び温度設
定器５４の設定値の両方を表示する。一方、駆動距離設
定スイッチ群６０によって設定された直進移動距離が移
動距離表示器６３に表示され、加圧アームの移動距離と
設定値とが一致するように電動機制御部７９が電動機７
６を制御する。

【００３１】また、加圧アーム１０７の加圧、加圧開放
の回数を設定する回数設定器２３の設定値とスタート指
令によってその回数を計数するカウンタ２４の値とが一
致したとき、電動機制御部７９は電動機７６の動作を停
止させる。このとき、電動機制御部７９は上限停止タイ
マ２５に設定された時間だけ上限位置で停止させ、さら
に、下限停止タイマ２６に設定された時間だけ下限位置
で停止させる。電動機制御部７９には上述したスタート
スイッチ２７、ストップスイッチ２８を含む運転モード
設定スイッチ群２９が接続されている。

【００３２】上記のように構成された本実施形態の動作
について、試験手順に従って説明する。先ず、本試験機
の動力源として、商用の交流電源２０１を接続すると共
に、液体窒素ボンベ２０２を配管接続する。

【００３３】次に、制御パネル２０による設定操作をす
る。このとき、制御パネル２０の温度設定器５４として
の高温、低温のボタンを操作して、−３０℃から＋１３
５℃の範囲の任意の温度に設定する。その設定値が温度
計５５に表示される。続いて、直進移動機構７０による
加圧アーム１０７の上限停止位置と下限停止位置を駆動
距離設定スイッチ群６０により設定する。このとき、直
進駆動距離が駆動距離表示器６３に表示される。この結
果、駆動距離に対応した圧力設定が行われる。また、上
限停止位置における加圧アーム１０７の停止時間を上限
停止タイマ２５により、下限停止位置における加圧アー
ム１０７の停止時間を下限停止タイマ２６によりそれぞ
れ設定する。さらに、加圧アーム１０７が上限停止位置
から下限停止位置に移動し、再び上限停止位置に戻る動
作の繰返し回数を回数設定器２３によって設定する。

【００３４】次に、試験用試料の装着操作を行う。これ
には、ＩＣソケット１１０に試料ＩＣをセットし、ＩＣ
ソケット試験機１の正面扉１２を開き、位置調整機構１
００上の載置台１０１にＩＣソケット１１０をセットす
る。このとき、温度槽１１の貫通孔１４を用いて外部に
用意してある電気特性測定器とＩＣソケット１１０とを
コネクタ等により電気的に接続する。また、正面扉１２
を開いている間に、加圧アーム１０７の直進移動機構７
０の中心と試料ＩＣ１０４の中心とを一致させるよう
に、位置調整機構１００を操作する。

【００３５】次に、試験の開始と終了操作に移る。この
場合、制御パネル２０の電源スイッチ２１をオン操作し
た後、温度設定器５４に含まれる温調スイッチを操作し
て、昇温又は降温を開始する。温度槽１１の雰囲気温度
が設定温度に到達した段階にて、スタートスイッチ２７
を押し操作して試験を開始する。これによって加圧アー
ム１０７が下降→停止→上昇→停止を繰返す。この加圧
アーム１０７の動作が回数設定器２３によって設定され
た回数に到達すると、加圧動作は停止する。続いて、加
圧アーム１０７を下降させた状態を保持してＩＣソケッ
トの電気的特性を測定し、解析する。必要があれば、再
びスタートスイッチ２７を操作して実質的な試験動作を
繰返す。若し、試験の途中で試験を中止する必要があれ
ばストップスイッチ２８を押し操作して即時、試験を中
止する。装置全体の非常停止が必要な場合には非常停止
スイッチ２２をオフ操作すれば、電源が切断されると同
時に、電磁弁５１も非励磁状態にされて窒素ガスの供給
も停止される。

【００３６】なお、制御パネル２０に設けた、「リセッ
ト」「照明」「自動」「オンライン」「１サイクル」等
のスイッチ群は運転モード設定スイッチ２９として図６
の制御装置中に記載したが、これらの各機能については
本発明を理解する上で必ずしも必要ではないのでその説
明を省略する。

【００３７】以上の説明によって明らかなように、本実
施形態によれば、ＩＣソケットの品質保証限度内の全て
の温度条件における各種の接触子の接触圧に対する接触
抵抗値等の特性の推移、接触回数に対する接触抵抗値等
の特性の推移の計測が可能になる。

【００３８】特に、本実施形態によれば、加圧アーム１
０７の動作ストロークを電動機７６の回転角を制御する
技法、すなわち、電動機７６の回転をボールねじ７４に
て直進運動に変換し加圧アーム１０７の上下動としてい
るため、電動機の駆動をティーチングしてプログラムす
るだけで動作準備が完了する。このため、各種試料に対
応するための段取り作業が平易で作業に要する時間を短
縮することができる。

【００３９】なお、上記実施形態では電動機制御部７９
をブロックで示したが、その機能を実現するためにマイ
クロコンピュータを使用しても良く、さらに、他の機能
をマイクロコンピュータに持たせることも可能であり、
この点については当業者において随時変更して良いこと
は言うまでもない。

【００４０】

【発明の効果】請求項１に記載のＩＣソケットの特性試
験機によれば、ＩＣソケットの品質保証限度を超える耐
冷、耐熱性能を有する温度槽を用い、この温度槽の雰囲
気温度を設定値に制御するので、ＩＣソケットの接触子
とＩＣの端子との接触抵抗等の電気的特性を、品質保証
限度内の所望の温度にて容易に測定することができる。

【００４１】請求項２に記載のＩＣソケットの特性試験
機よれば、接触子のコンタクト部と試料ＩＣの端子との
接触圧力を設定値に制御する圧力制御手段を備えている
ので、ＩＣソケットの接触子とＩＣの端子との接触抵抗
等の電気的特性を測定するに際し、簡易な操作により所
望の接触圧力を実現することができる効果もある。

【００４２】請求項３に記載のＩＣソケットの特性試験
機によれば、加圧アームによる加圧回数を設定し、その
回数だけ加圧動作を実行するので、温度環境、接触圧力
と関連付けた耐久性の試験を可能にするという効果も得
られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の全体構成を示す正面図及
び側面図。

【図２】図１に示した実施形態の正面部及び側面部にお
ける縦断面図。

【図３】図２示した断面図の要部拡大断面図。

【図４】図２示した断面図の要部拡大断面図。

【図５】図１に示した実施形態の制御バネルの構成を示
す正面図。

【図６】図１に示した実施形態の制御部の構成を示すブ
ロック図。

【図７】従来のＩＣソケットの構成及びその試験動作の
概略説明図。

【符号の説明】

１ＩＣソケットの特性試験機１１温度槽１２正面扉１４貫通孔２０制御パネル４０撹拌装置４１ダクト４２ファン５１電磁弁５３温度センサ６１圧力センサ７０直進移動機構７４ボールねじ７６電動機７９電動機制御部１００位置調整機構１０１載置台１０４試料ＩＣ１０６加圧端部１０７加圧アーム１１０ＩＣソケット１１１ハウジング１１３接触子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者臼田圭夫神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１東芝マイクロエレクトロニクス株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弾性形状に形成され、先端にコンタクト部
を有する接触子がハウジングに設けられ、加圧手段の加
圧アームによって試料ＩＣの端子が前記コンタクト部に
圧力接触せしめられるＩＣソケットの特性試験機であっ
て、前記加圧アームを外部操作可能に壁部に貫装すると共
に、前記試料ＩＣ及び前記ＩＣソケットを内装し、少な
くとも前記ＩＣソケットの品質保証限度を超える耐冷、
耐熱性能を有する温度槽と、前記温度槽の雰囲気温度を設定値に制御する温度制御手
段と、を備えたＩＣソケットの特性試験機。
【請求項２】前記加圧手段は、前記接触子のコンタクト部と前記試料ＩＣの端子との接
触圧力を設定値に制御する圧力制御手段を備え前記圧力
制御手段は、軸支されたボールねじ、このボールねじを回転させる電
動機及び前記ボールねじに螺合され、このボールねじの
回転によって前記加圧アームを前記ボールねじの軸方向
に直進移動させる直進移動機構と、圧力設定値として前記加圧アームの直進移動距離を設定
する圧力設定手段、前記加圧アームの圧力を測定する圧
力センサ、前記加圧アームの測定された圧力が設定され
た直進移動距離に対応する圧力設定値に一致するように
前記電動機を制御する電動機制御手段と、を備えた請求項１に記載のＩＣソケットの特性試験機。
【請求項３】前記加圧手段は、前記加圧アームによる加圧回数を設定する加圧回数設定
手段と、設定された加圧回数だけ前記加圧アームを往復移動させ
るように前記電動機制御手段に指令を加える加圧回数制
御手段と、設定された加圧回数と実際の加圧回数とを表示する表示
手段と、を備え、さらに、前記温度槽内に設けられ、前記ＩＣソケットを
搭載すると共に、前記加圧アームの直進移動機構の中心
と前記ＩＣソケットのコンタクト部に端子が接触せしめ
られる試料ＩＣの中心とを一致させるように、少なくと
も前記加圧アームの直進移動方向と直交する二次元方向
に移動可能な位置調整機構、を備えた請求項１に記載のＩＣソケットの特性試験機。