JPH11147613A - 原版搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】レチクルが収容されたケースをケースライブラ
リにセットするだけで露光前にレチクルに行う必要があ
る各種の処理を自動的に行う。 【解決手段】レチクルＲが収容されているケース３１が
ケースライブラリ１１に挿入され、ケース検出器１１４
でケース３１がケースライブラリ１１に収容されたこと
が検出されると、ケース３１はケースロック機構１１２
によりロックされる。搬送アーム１２１はレチクルＲを
ケース３１から抜き取り、バーコードリーダ１３まで搬
送する。バーコードリーダ１３は、レチクルＲのバーコ
ードＢＣを読取る。制御装置１７はその読取り結果をホ
ストコンピュータ２０に通信する。ホストコンピュータ
２０は読取り結果に基づいてレチクルを識別し、レチク
ルＲをレチクル洗浄機１４、ゴミ検査機１５もしくはペ
リクル貼付機１６のいずれに搬送するか指示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マスクやレチクル
などの原版が収容された複数個のケースをケースライブ
ラリに収容し、ケースの中の原版を洗浄機やゴミ検査機
などの各種処理装置へ搬送する原版搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、原版（以下、レチクル）上に
形成されたパターンをペリクルで覆ったまま照明し、そ
のパターンを投影光学系を介して感光基板（以下、ウエ
ハと呼ぶ）に露光する投影露光装置が知られている。ペ
リクルは周知のように、ペリクル枠の一方の端面にペリ
クル膜を貼り付けたものである。ペリクルを使用するこ
とにより、パターンに直接ごみが付着しないようにな
る。ペリクル枠の高さは、投影光学系の焦点深度よりも
パターン面から離れた位置にペリクル膜が配設されるよ
うに設定され、ペリクル膜にごみや塵が付着しても感光
基板上でごみの像がぼけ、パターン転写不良が防止され
る。ペリクルでパターンが覆われたマスクをここではペ
リクル付きレチクルと呼ぶ。

【０００３】このように、露光の前準備としてレチクル
にはペリクルを貼り付ける必要があり、従来から、レチ
クル洗浄機と、ゴミ検査機と、ペリクル貼付機とにそれ
ぞれレチクルを搬送している。レチクルは取扱いやすい
ように１枚１枚ケースに収容されており、そのケースは
ケースライブラリのスロットと呼ばれる棚に一つづつセ
ットされる。そして、ケースライブラリから搬送装置に
よりレチクルを取り出し、レチクルをレチクル洗浄機、
ゴミ検査機、ペリクル貼付機にそれぞれ搬送する。

【０００４】そして従来は、次のような手順でペリクル
が張付けられる。 ケース内にレチクルを収容する。 そのケースをケースライブラリに収容して、作業者が
ケースをロックする。 どのケースのレチクルに対してどの処理を行うかを作
業者が入力する。これはケースライブラリのスロット番
号と処理内容とを対応づけて指令する。 入力された手順にしたがって、搬送装置が所定のスロ
ット番号に収容されているケースからペリクルを取り出
して所定の処理装置へ搬送する。 処理の終了したレチクルは元のスロットのケースに搬
送される。 作業者がケースロックを解除してケースをライブラリ
から抜き取り、露光機のライブラリにセットする。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、作業者
がケースのロックの指示と処理手順を入力する必要があ
り、作業者が行う処理が多く煩雑である。いったん入力
した処理手順を変更する場合には、再度全ての手順を入
力しなければならない。また、作業者がいちいち手順を
入力するので時間がかかるし、入力ミスの可能性も否定
できない。また処理の終了したレチクルを取り出す際、
ケースロックを作業者が解除する必要があり、煩雑であ
る。

【０００６】本発明の目的は、原版が収容されたケース
をケースライブラリにセットするだけで露光前に原版に
行う必要がある各種の処理を自動的に行うようにした原
版搬送装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図面
に対応づけて本発明を説明する。 （１）請求項１の発明は、原版Ｒが収容されたケース３
１を複数個収容するケースライブラリ１１と、ケースラ
イブラリ１１に収容されているケース３１の中の原版Ｒ
を各種処理装置１４，１５，１６へ搬送する搬送装置１
２とを有する原版搬送装置１２に適用される。そして、
上記目的は、ケース３１がケースライブラリ１１に収容
されたことを検出する検出手段１１４と、原版Ｒを識別
する識別手段１３と、ケース３１がケースライブラリ１
１に収容されたことが検出手段１１４で検出されると、
識別手段１３による識別結果にしたがって原版Ｒを搬送
装置１２によりいずれかの処理装置１４，１５，１６へ
搬送するように指令を行う制御手段１７とを具備するこ
とにより達成される。 （２）請求項２の発明は、請求項１記載の原版搬送装置
において、ケース３１をケースライブラリ１１に固定す
る固定手段１１２を有し、制御手段１７は、検出手段１
１４でケース３１がケースライブラリ１１に収容された
ことが検出されると、固定手段１１２でケースライブラ
リ１１を固定するように指令を行うことを特徴とするも
のである。 （３）請求項３の発明は、請求項２記載の原版搬送装置
において、制御手段１７は、処理装置１４，１５，１６
での作業が終了したことを検出すると、搬送装置１２に
よりその原版Ｒをケースライブラリ１１に搬送してケー
ス３１内に戻し、固定手段１１２で固定されているケー
ス３１の固定を解除することを特徴とするものである。 （４）請求項４の発明は、請求項１〜３に記載の原版搬
送装置１２において、処理装置１４，１５，１６をそれ
ぞれ、原版Ｒを洗浄する洗浄機１４と、原版Ｒのゴミの
有無を検査するゴミ検査機１５と、原版Ｒにペリクルを
貼り付けるペリクル貼付機１６としたものである。

【０００８】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が実施の形態に限定されるものではない。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は本発明による原版搬
送装置をペリクル自動貼付装置に適用した場合の一実施
の形態を示す斜視図である。図１に示すように、ペリク
ル自動貼付装置１０は、レチクルが収容されたレチクル
ケースをそれぞれ複数収容可能な３つのレチクルライブ
ラリ１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ（１１で代表して説明する
場合もある）と、それぞれのレチクルライブラリ１１
Ａ，１１Ｂ，１１Ｃのレチクルケースからレチクルを取
り出して搬送する搬送装置１２と、搬送装置１２の経路
に設けられレチクルのバーコードを読取るバーコードリ
ーダ１３と、レチクルやペリクルを洗浄する洗浄機１４
と、ペリクルとレチクルのゴミを検査するゴミ検査機１
５と、レチクルにペリクルを張付けるペリクル貼付機１
６、これら各装置を制御する制御装置１７とを備えて構
成される。制御装置１７は、ケースライブラリ１１と、
搬送装置１２と、バーコードリーダ１３と、レチクル洗
浄機１４と、ゴミ検査機１５と、ペリクル貼付機１６を
それぞれ操作する。１８はペリクル自動貼付装置１０が
設置されるベースである。

【００１０】半導体製造ラインではペリクル自動貼付装
置１０が複数台用いられ、図２に示すように、たとえば
全自動貼付装置１０Ａ〜１０Ｃはそれぞれの制御装置１
７Ａ〜１７Ｃを介してホストコンピュータ２０で統括し
て制御するようにしている。ホストコンピュータ２０に
は、レチクルに関する情報を記憶する記憶装置２１が設
けられている。記憶装置２１には、レチクルごとに割当
てられたＩＤコードをアドレスとして、たとえば、レチ
クルの処理の状況、露光工程での使用時期などが記憶さ
れる。記憶装置２１に記憶したレチクル情報に基づい
て、露光前の各種処理が実行され、露光に際しては照明
条件を含む種々の露光条件が読み出されて設定される。

【００１１】図３はペリクル付きレチクルＲを示し、レ
チクルＲの裏面ＳＲには図示しないパターンが形成さ
れ、このパターンを覆うようにペリクルＰが貼り付けら
れている。レチクルＲの裏面ＳＲにはバーコードＢＣが
設けられている。このバーコードＢＣにはレチクルＲの
種類等の情報が書込まれている。

【００１２】図４はケースライブラリ１１の詳細を示す
図である。ケースライブラリ１１の前面には複数のスロ
ットが設けられ、各スロットにそれぞれ１つのケース３
１がセットされる。スロットの前面には図示しない開閉
扉が設けられ、この開閉扉を押し開いてケース３１が作
業者によりセットされる。ケース３１にも図示しない開
閉扉が設けられており、ケースライブラリ１１にはケー
ス開閉扉開閉機構１１１が設けられている。ケース３１
にはケースライブラリ１１にケース３１をロックするた
めの爪３１ａが設けられおり、ケースライブラリ１１に
はこの爪３１ａと係合してケース３１をケースライブラ
リ１１内でロックするケースロック機構１１２が設けら
れている。ケース３１内でレチクルは固定されており、
ケースライブラリ１１には、ケース内のレチクルロック
機構と接続されている爪３１ｂを操作することによりそ
のロックを解除し、再度動作させるためのレチクルロッ
ク解除機構１１３が設けられている。

【００１３】さらに図４に示すように、ケースライブラ
リ１１にはケース３１の有無を検出するケース検出器１
１４と、ケース３１内のレチクルの有無を検出するレチ
クル検出器１１５が設けられている。ケース検出器１１
４はフォトインタラプタであり、ケース３１から突出す
る遮光板３１ｃがフォトインタラプタの間に介在するか
しないかによりケース３１の有無を検出する。レチクル
検出器１１５は投射光がレチクルの側面から反射して受
光されたときにレチクルがケース３１内にあることを検
出する。

【００１４】図４において、符号１２１は搬送装置１２
の一部を構成する搬送アームであり、搬送アーム１２１
はレチクルＲを真空吸着して搬送する。この搬送アーム
１２１は、不図示の移動機構により図４の左右、上下方
向に移動可能とされている。

【００１５】このように構成されたペリクル張付装置の
手順を図５および図６のフローチャートにより説明す
る。作業者がケース３１をケースライブラリ１１に挿入
すると、ケース検出器１１４によりケース３１の挿入が
検出され、図５に示すプログラムが実行される。このプ
ログラムはペリクル自動貼付装置１０の制御装置１７に
格納されている。

【００１６】ステップＳ１において、ケースロック機構
１１２でケース３１をロックし、ステップＳ２において
開閉機構１１１にケース３１の開閉扉を開く。ステップ
Ｓ３では、搬送アーム１２１をケース３１に挿入させ、
レチクルを吸着する。ステップＳ４において、レチクル
ロック解除機構１１３でケース３１内でのレチクルロッ
クを解除してステップＳ５に進む。ステップＳ５におい
て、搬送アーム１２１によりレチクルをケース３１から
抜取り、ステップＳ６において、搬送装置１２でバーコ
ードリーダ１３まで搬送し、そこでレチクルに設けられ
たバーコードを読取って制御装置１７に読取り結果を出
力する。制御装置１７はホストコンピュータ２０へその
結果を通信する。ホストコンピュータ２０は、その読取
り結果にしたがって、記憶装置２１に記憶されているレ
チクルＩＤコードアドレスをアクセスして、そのレチク
ルの現在までの処理状況を読み出し、次の処理内容を制
御装置１７に通信する。

【００１７】ステップＳ７では、ホストコンピュータ２
０からレチクルに対する処理の指示を受信し、ステップ
Ｓ８で指示にしたがってステップＳ９，Ｓ１１，Ｓ１３
のいずれかに進む。ステップＳ９に進むとレチクルをレ
チクル洗浄機１４へ搬送してステップＳ１０でレチクル
を洗浄する。ステップＳ１１に進むとレチクルをレチク
ル貼付機１５へ搬送してステップＳ１２でペリクルをレ
チクルに張付る。ステップＳ１３に進むとレチクルをゴ
ミ検査機１６へ搬送してステップＳ１４でゴミ検査を行
う。

【００１８】ステップＳ１６で各装置から処理完了信号
が出力されたと制御装置１７が判定すると、制御装置１
７は処理終了信号をホストコンピュータ２０へ通信す
る。これにより、ホストコンピュータ２０の記憶装置２
１には、そのレチクルのＩＤコードアドレスで指定され
る領域にレチクルの処理状況が書込まれる。

【００１９】ステップＳ１７において、搬送装置１２に
よりレチクルをケース３１まで搬送する。ステップＳ１
８では、ケース３１内に搬送されたレチクルがロックさ
れるようにレチクルロック解除機構１１３を操作する。
これにより、レチクルはケース３１内でロックされる。
ステップＳ１９では搬送アーム１２１によるレチクルの
吸着を解除し、ステップＳ２０において、搬送アーム１
２１をケース３１から抜取る。ステップＳ２１におい
て、扉開閉機構１１によりケース３１の開閉扉を閉じ、
ステップＳ２２において、ケースロック機構１１２によ
りケース３１のロックを解除する。これによりこの処理
を終了する。これにより、作業者はレチクルケース３１
をケースライブラリ１１から抜取ることができる。

【００２０】以上のようにこの実施の形態では、作業者
がレチクルケース３１をケースライブラリ１１に挿入す
るだけで、レチクルに対して必要な各種処理が自動的に
実行される。したがって、レチクルケース３１をロック
する操作が不要となり、また事前にレチクルに対する処
理内容を入力する作業が不要となり、作業効率が向上す
る。さらに、入力ミスによる誤動作も防止できる。さら
にまた、処理が終了したレチクル３１がケースライブラ
リ１１のケース３１内に戻されるとケースロックが自動
的に解除されるから、処理の終了したケースを作業者が
何等の操作をすることなくケースライブラリ１１から抜
取ることができる。

【００２１】以上では、ＩＤコードをバーコードで表す
ようにしたが、２次元コード、文字コードなどどのよう
な識別マークでも良い。

【００２２】レチクルのバーコードを搬送装置１２の経
路中に設けるようにしたが、ケースライブラリ１１内に
バーコードリーダを設置して、ケースライブラリ１１内
でバーコードを読取ってもよい。また、制御装置１７を
全自動貼付装置１０に設置して図５および図６のフロー
チャートを実行するようにしたが、ホストコンピュータ
２０で同様な処理を実行するようにしてもよい。さら
に、レチクル洗浄機、ゴミ検査機、ペリクル貼付機を備
えた全自動貼付装置について説明したが、複数の処理装
置のいずれか一方にレチクルを搬送するものであれば、
各種の装置を組合せた自動搬送装置に本発明を適用でき
る。

【００２３】以上の実施の形態と請求項との対応におい
て、レチクルＲが原版を、バーコードリーダ１３が識別
手段を、制御装置１７が制御手段を、ケースロック機構
１１２が固定手段を、それぞれ構成する。

【００２４】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、原版が収容されたケースをケースライブラリに挿入
するだけで所定の処理装置に自動的に原版が搬送される
ので、作業者はいちいち原版に対する処理内容を入力す
る必要がなく、作業効率が向上し、入力ミスによる誤っ
た処理を実行することもない。とくに請求項３の発明に
よれば、処理の終了したレチクルがケース内に戻される
とケースのロックが解除されるから、作業者は何等の操
作をすることなくケースをライブラリから抜取ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による全自動貼付装置の構
成を示す斜視図

【図２】本発明の実施の形態によるホストコンピュータ
と全自動貼付装置との接続関係を示す図

【図３】本発明の実施の形態によるペリクル付きレチク
ルを示す斜視図

【図４】本発明の実施の形態によるケースライブラリを
詳細に説明する図

【図５】処理手順例を示すフローチャート

【図６】図５に引続くフローチャート

【符号の説明】

１０ 全自動貼付装置 １１Ａ〜１１Ｃ レチクルライブラリ １２ 搬送装置 １３ バーコードリーダ １４ レチクル洗浄機 １５ ゴミ検査機 １６ ペリクル貼付機 １７ 制御装置 ２０ ホストコンピュータ ３１ レチクルケース １１１ 扉開閉機構 １１２ ケースロック機構 １１３ レチクルロック解除機構 １１４ ケース検出器 １１５ レチクル検出器 １２１ 搬送アーム ＢＣ バーコード Ｒ レチクル

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】原版が収容されたケースを複数個収容する
   ケースライブラリと、 前記ケースライブラリに収容されているケースの中の原
   版を各種処理装置へ搬送する搬送装置とを有する原版搬
   送装置において、 前記ケースが前記ケースライブラリに収容されたことを
   検出する検出手段と、前記原版を識別する識別手段と、 前記ケースが前記ケースライブラリに収容されたことが
   前記検出手段で検出されると、前記識別手段による識別
   結果にしたがって前記原版を前記搬送装置によりいずれ
   かの処理装置へ搬送するように指令を行う制御手段とを
   具備することを特徴とする原版搬送装置。
2. 【請求項２】請求項１の原版搬送装置において、 前記ケースを前記ケースライブラリに固定する固定手段
   を有し、 前記制御手段は、前記検出手段で前記ケースが前記ケー
   スライブラリに収容されたことが検出されると、前記搬
   送装置による搬送の前に、前記固定手段で前記ケースラ
   イブラリを固定するように指令を行うことを特徴とする
   原版搬送装置。
3. 【請求項３】請求項２記載の原版搬送装置において、 前記制御手段は、前記処理装置での作業が終了したこと
   を検出すると、前記搬送装置によりその原版を前記ケー
   スライブラリに搬送して前記ケース内に戻し、前記固定
   手段による前記ケースの固定を解除することを特徴とす
   る原版搬送装置。
4. 【請求項４】請求項１〜３に記載の原版搬送装置におい
   て、 前記処理装置は、前記原版を洗浄する洗浄機と、前記原
   版のゴミの有無を検査するゴミ検査機と、前記原版にペ
   リクルを貼り付けるペリクル貼付機であることを特徴と
   する原版搬送装置。