JPH11147706A5 - - Google Patents

Description

また、前記純化処理終了後、インナーチャンバー３内の処理室４を真空下として処理材の脱気を行なうが、処理室４の真空排気は、耐ハロゲン対策として水封ポンプを使用することから、真空度は１０〜３０Ｔｏｒｒが排気限界であり、そのため高純度を得ることができない。なお、高真空排気装置を設けて、１０^−１Ｔｏｒｒに排気することが考えられるが、高濃度ガスのトラップ装置等が必要で、また排気装置の耐久性に問題がある。
さらに、ヒータ５がインナーチャンバー３と炉殻内面との空間に配設した構成であるため、ヒータ５を補修するには、前記インナーチャンバー３を解体する必要があり、メンテナンスが非常に面倒である等多くの課題を有する。なお、６は純化処理用ガス供給手段、７は不活性ガス供給手段で、８はガス排気手段である。

その後、冷却室１０内でほぼ１０Ｔｏｒｒまで真空排気し、この真空状態で純化処理済の処理材Ｗは、約４００℃になるまで自然放冷されるとともに、処理材Ｗ中の塩化化合物が除去されて最終脱気が行なわれる。
ついで、前記冷却室１０内および中間扉フード４０内にＮ_２ガスが供給されてほぼ大気圧まで復圧したのち、加熱室３０内を同様に復圧する。処理材Ｗは冷却室１０内で循環ファン２２の回転にもとづく冷却気体通路２０から噴出する冷却ガス（Ｎ_２ガス）による対流冷却により約４０℃に冷却されたのち、装入・抽出扉２５の開により炉外に抽出されることになる。この場合、冷却室１０内は区画ダンパー２４により２室に区画されるため効率的に処理材Ｗを冷却する。

【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の黒鉛材の純化処理炉の断面図。
【図２】 図１のII−II線断面図。
【図３】 図１のIII−III線断面図。
【図４】 加熱室の炉殻部分の断面図。
【図５】 加熱室と冷却室のヒートパターン図。
【図６】 加熱室と冷却室の圧力パターン図。
【図７】 公知の黒鉛材の純化処理炉の断面図。
【符号の説明】
１０…冷却室、１２…キャリッジ、１８…リフター、１９…バッフル、２１…ガスクーラ、２２…循環ファン、２４…区画ダンパー、２５…装入・抽出扉、２９…クランプシリンダ、３０…加熱室、３１…炉殻、３３…断熱材、３３ａ…黒鉛ファイバー成形体、３３ｂ…黒鉛製保護板、３７…電熱ヒータ、３８…リフター、４０…中間扉フード、４４，４５…中間扉、４５…クランプシリンダ、Ｗ…処理材（黒鉛材）。