JPH11149259A - Color filter - Google Patents

Color filter

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Publication number
JPH11149259A
JPH11149259A JP33238097A JP33238097A JPH11149259A JP H11149259 A JPH11149259 A JP H11149259A JP 33238097 A JP33238097 A JP 33238097A JP 33238097 A JP33238097 A JP 33238097A JP H11149259 A JPH11149259 A JP H11149259A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
color filter
light
protective film
transmitting protective
Prior art date
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Pending
Application number
JP33238097A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keizo Ishikawa
桂三 石川
Saburo Harada
三郎 原田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP33238097A priority Critical patent/JPH11149259A/en
Publication of JPH11149259A publication Critical patent/JPH11149259A/en
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 反射率が高く、かつ、乱反射の極めて少ない
反射型のカラーフィルタを提供する。 【解決手段】 基板に設けた反射層上に光透過性保護膜
を介して複数色の着色パターンからなる着色層を設けて
カラーフィルタとし、反射層と着色層の間に位置する光
透過性保護膜により、着色層形成時の現像液による反射
層の侵食を防止し、また、この光透過性保護膜により、
感光性着色材料の残留物発生を防止する。
(57) [Problem] To provide a reflection type color filter having a high reflectance and extremely small irregular reflection. SOLUTION: A color filter composed of a plurality of colored patterns is provided on a reflective layer provided on a substrate via a light-transmitting protective film to form a color filter, and a light-transmissive protection positioned between the reflective layer and the colored layer is provided. The film prevents the erosion of the reflective layer by the developer during the formation of the colored layer.
Prevents the generation of residues of the photosensitive coloring material.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はカラーフィルタに係
り、特に反射型液晶表示装置用のカラーフィルタに関す
る。
The present invention relates to a color filter, and more particularly to a color filter for a reflection type liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして、カ
ラーの液晶表示装置が注目されており、このカラー液晶
表示装置は反射型と透過型とに分けられる。反射型のカ
ラー液晶表示装置は、一般に、基板に設けたアルミニウ
ム等の金属からなる反射層の上に複数の色(通常、赤
(R)、緑(G)、青(B)の3原色)からなる着色層
を備えた(必要に応じてブラックマトリックスや平坦化
層も備える)カラーフィルタと、薄膜トランジスタ(T
FT素子)を備えたTFTアレイ基板とを向かい合わ
せ、所定の間隙をもたせて貼り合わせており、この間隙
部に液晶材料が注入されている。
2. Description of the Related Art In recent years, a color liquid crystal display device has attracted attention as a flat display. The color liquid crystal display device is classified into a reflection type and a transmission type. A reflection type color liquid crystal display device generally has a plurality of colors (usually three primary colors of red (R), green (G), and blue (B)) on a reflection layer made of a metal such as aluminum provided on a substrate. A color filter having a coloring layer made of (including a black matrix and a flattening layer as necessary) and a thin film transistor (T
A TFT array substrate provided with an FT element is attached to the substrate with a predetermined gap therebetween, and a liquid crystal material is injected into the gap.

【0003】反射型のカラー液晶表示装置に使用される
上記のようなカラーフィルタは、例えば、基板上に反射
層を形成し、この反射層上に感光性の着色材料を塗布し
て所定のフォトマスクを介して露光した後、現像を行っ
て着色パターンを形成し、このような操作を赤(R)、
緑(G)、青(B)の3色分、必要に応じてブラックマ
トリックスや平坦化層を加えた4色あるいは5色分繰り
返すことにより作製される。
The above-described color filter used in a reflection type color liquid crystal display device is, for example, formed by forming a reflection layer on a substrate, applying a photosensitive coloring material on the reflection layer, and forming a predetermined photo-resist. After exposure through a mask, development is performed to form a colored pattern, and such an operation is performed in red (R),
It is produced by repeating three colors of green (G) and blue (B), and four or five colors including a black matrix and a flattening layer as necessary.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
反射型カラー液晶表示装置用のカラーフィルタでは、反
射層の反射率が不十分であり、鮮明な表示画像が得られ
ないという問題があった。これは、上述のように反射層
上に塗布した感光性着色材料層を露光した後の現像工程
において、アルミニウム等の金属材料からなる反射層が
現像液により侵食され、反射層の反射率が低下すること
が原因となっている。また、反射層を構成する金属材料
は、感光性着色材料との密着性が高いため、現像後に反
射層上に不要な感光性着色材料が残留し、この残留物に
よって乱反射が生じて画像品質に悪影響を与えるという
問題もあった。
However, in the conventional color filter for a reflection type color liquid crystal display device, there is a problem that the reflectance of the reflection layer is insufficient and a clear display image cannot be obtained. This is because, in the developing step after exposing the photosensitive coloring material layer applied on the reflective layer as described above, the reflective layer made of a metal material such as aluminum is eroded by the developer, and the reflectance of the reflective layer is reduced. It is caused. In addition, since the metal material constituting the reflective layer has high adhesion to the photosensitive coloring material, unnecessary photosensitive coloring material remains on the reflective layer after development, and the residue causes irregular reflection to reduce image quality. There was also the problem of adverse effects.

【0005】本発明は、上述のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、反射率が高く、かつ、乱反射の極めて
少ない反射型のカラーフィルタを提供することを目的と
する。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a reflection-type color filter having a high reflectance and extremely little irregular reflection.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明のカラーフィルタは、基板と、該基板
上に設けた反射層と、該反射層上に光透過性保護膜を介
して複数色の着色パターンからなる着色層を備えるよう
な構成とした。
In order to achieve such an object, a color filter according to the present invention comprises a substrate, a reflective layer provided on the substrate, and a light-transmitting protective film on the reflective layer. And a colored layer composed of a plurality of colored patterns.

【0007】そして、前記光透過性保護膜を無機酸化物
からなる薄膜とするような構成、前記光透過性保護膜を
有機樹脂からなる薄膜とするような構成、あるいは、前
記反射層が金属材料からなる層であり、前記光透過性保
護膜を前記反射層の表面を処理して生成した金属酸化物
からなる薄膜とするような構成とした。
The light-transmitting protective film may be a thin film made of an inorganic oxide, the light-transmitting protective film may be a thin film made of an organic resin, or the reflective layer may be made of a metal material. Wherein the light-transmitting protective film is a thin film made of a metal oxide formed by treating the surface of the reflective layer.

【0008】また、前記着色層を覆う平坦化層を備える
ような構成とした。
[0008] Further, a structure is provided in which a flattening layer covering the coloring layer is provided.

【0009】上記のような本発明では、反射層と着色層
の間に位置する光透過性保護膜が、着色層形成時の現像
液による反射層の侵食を防止するとともに、光透過性保
護膜は感光性着色材料に対して低い密着性を示す。
In the present invention as described above, the light-transmitting protective film located between the reflective layer and the colored layer prevents the reflective layer from being eroded by the developing solution at the time of forming the colored layer, and the light-transmitting protective film is formed. Shows low adhesion to the photosensitive coloring material.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施形態に
ついて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The preferred embodiments of the present invention will be described below.

【0011】図1は本発明のカラーフィルタの一実施形
態を示す概略縦断面図である。図1に示されるカラーフ
ィルタ1は、基板2上に形成された反射層3、この反射
層3上に光透過性保護膜4を介して形成された着色層5
を備えており、着色層5は赤色着色パターン5R、緑色
着色パターン5Gおよび青色着色パターン5Bから構成
されている。
FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing one embodiment of the color filter of the present invention. The color filter 1 shown in FIG. 1 includes a reflective layer 3 formed on a substrate 2 and a colored layer 5 formed on the reflective layer 3 with a light-transmitting protective film 4 interposed therebetween.
The coloring layer 5 includes a red coloring pattern 5R, a green coloring pattern 5G, and a blue coloring pattern 5B.

【0012】基板2は、各種のガラス基板、金属基板、
樹脂基板、これらの2種以上の材料からなる複合基板等
を使用することができ、その厚みは、カラーフィルタ1
の用途等を考慮して適宜設定することができ、例えば、
0.3〜10mm程度とすることができる。
The substrate 2 includes various glass substrates, metal substrates,
A resin substrate, a composite substrate made of two or more of these materials, or the like can be used.
It can be appropriately set in consideration of the use of, for example,
It can be about 0.3 to 10 mm.

【0013】反射層3は、アルミニウム、クロム、金、
銀、銅等の金属薄膜で形成され、厚みは500〜100
00Å、好ましくは1000〜3000Åの範囲で設定
することができる。このような反射層3は、蒸着法、ス
パッタリング法、CVD法、イオンプレーティング法等
の公知の薄膜形成方法により形成することができる。
The reflecting layer 3 is made of aluminum, chromium, gold,
It is formed of a thin metal film such as silver or copper and has a thickness of 500 to 100.
The angle can be set in the range of 00 °, preferably 1000 to 3000 °. Such a reflective layer 3 can be formed by a known thin film forming method such as an evaporation method, a sputtering method, a CVD method, and an ion plating method.

【0014】光透過性保護膜4は、着色層5を形成する
段階において感光性着色材料を露光した後の現像工程で
使用する現像液により上述の反射層3が侵食され反射率
が低下するのを防止するとともに、着色層5の非形成領
域に感光性着色材料が残存するのを防止するためのもの
である。この光透過性保護膜4は、SiO2 、Al2O3
、MgO、In2 O3 、SnO2 、Ta2 O5 、Y2
O3 、PbTiO3 、ZnO、ITO(酸化インジウム
スズ)等の無機酸化物の薄膜、アクリル系樹脂、エポキ
シ系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、ポリイミド系樹脂、
プロピニル系樹脂等の有機樹脂からなる薄膜、および、
上述の反射層3の表面に処理を施して生成させたγ−A
l2 O3 、Cr2 O3 等の金属酸化膜の薄膜のいずれか
による単層構造、あるいは、同種あるいは異種の材料に
よる多層構造であってもよい。
In the light-transmitting protective film 4, the reflection layer 3 is eroded by a developing solution used in a developing step after exposing the photosensitive coloring material in the stage of forming the coloring layer 5, and the reflectance is lowered. And to prevent the photosensitive coloring material from remaining in the region where the coloring layer 5 is not formed. This light-transmitting protective film 4 is made of SiO 2 , Al 2 O 3
, MgO, In 2 O 3 , SnO 2 , Ta 2 O 5 , Y 2
A thin film of an inorganic oxide such as O 3 , PbTiO 3 , ZnO, ITO (indium tin oxide), an acrylic resin, an epoxy resin, a vinyl ether resin, a polyimide resin,
A thin film made of an organic resin such as a propynyl-based resin, and
Γ-A generated by processing the surface of the above-mentioned reflective layer 3
It may have a single-layer structure made of a thin film of a metal oxide film such as l 2 O 3 or Cr 2 O 3 , or a multi-layer structure made of the same or different materials.

【0015】上述の無機酸化物の薄膜からなる光透過性
保護膜4は、抵抗加熱蒸着法、スパッタリング法、EB
真空蒸着法、熱CVD法、プラズマCVD法、イオンプ
レーティング法等により形成することができ、厚みは5
0〜10000Å、好ましくは100〜3000Åの範
囲で設定することができる。また、上述の有機樹脂薄膜
からなる光透過性保護膜4は、有機樹脂材料を塗布して
乾燥、硬化させることにより形成することができ、厚み
は0.1〜3.0μm、好ましくは0.2〜1.0μm
の範囲で設定することができる。さらに、上述の金属酸
化物の薄膜からなる光透過性保護膜4は、反射層3の表
面を硫酸等で処理したり、陽極酸化処理を施すことによ
り形成することができ、厚みは50〜10000Å、好
ましくは100〜1000Åの範囲で設定することがで
きる。
The light-transmitting protective film 4 made of the above-mentioned inorganic oxide thin film is formed by a resistance heating evaporation method, a sputtering method, an EB method, or the like.
It can be formed by a vacuum evaporation method, a thermal CVD method, a plasma CVD method, an ion plating method, or the like, and has a thickness of 5
It can be set in the range of 0-10000 °, preferably 100-3000 °. The light-transmitting protective film 4 made of the above-mentioned organic resin thin film can be formed by applying an organic resin material, drying and curing, and has a thickness of 0.1 to 3.0 μm, preferably 0.1 to 3.0 μm. 2 to 1.0 μm
Can be set in the range. Further, the light-transmitting protective film 4 made of the above-mentioned metal oxide thin film can be formed by treating the surface of the reflective layer 3 with sulfuric acid or the like or by performing anodizing treatment, and has a thickness of 50 to 10000Å. , Preferably in the range of 100 to 1000 °.

【0016】着色層5は、公知のポジ型あるいはネガ型
の感光性レジストに着色材を含有させた感光性着色材料
を用いた顔料分散法により形成することができる。すな
わち、光透過性保護膜4上に所望の感光性着色材料を塗
布し、この塗布膜を所定のフォトマスクを介して露光
し、その後、現像液を使用して不要部分を除去してパタ
ーンを形成することができる。
The coloring layer 5 can be formed by a pigment dispersion method using a photosensitive coloring material obtained by adding a coloring material to a known positive or negative photosensitive resist. That is, a desired photosensitive coloring material is applied on the light-transmitting protective film 4, and the applied film is exposed through a predetermined photomask, and then unnecessary portions are removed using a developing solution to form a pattern. Can be formed.

【0017】本発明のカラーフィルタ1は、上述のよう
に反射層3上に光透過性保護膜4を備えているので、こ
の現像工程で使用する現像液による反射層3の侵食、例
えば、アルカリ現像液によるアルミニウム反射層の腐食
が発生することがない。したがって、本発明のカラーフ
ィルタ1の反射層3は反射率の高い状態に維持されるこ
とになる。また、反射層3に比べて光透過性保護膜4
は、感光性着色材料に対する密着性が低く、着色層5の
形成段階において露光後の不要な感光性着色材料が残存
するのを有効に防止することができる。したがって、本
発明のカラーフィルタ1は乱反射の極めて少ないものと
なる。
Since the color filter 1 of the present invention is provided with the light-transmitting protective film 4 on the reflective layer 3 as described above, the reflective layer 3 is eroded by the developer used in the developing step, for example, alkali. Corrosion of the aluminum reflective layer by the developer does not occur. Therefore, the reflection layer 3 of the color filter 1 of the present invention is maintained at a high reflectance state. Further, the light-transmitting protective film 4 is
Has low adhesion to the photosensitive coloring material, and can effectively prevent unnecessary photosensitive coloring material after exposure from remaining in the stage of forming the coloring layer 5. Therefore, the color filter 1 of the present invention has very little irregular reflection.

【0018】尚、本発明のカラーフィルタは、着色層5
を構成する各着色パターンの間に位置するようにブラッ
クマトリックスを備えるものであってもよい。この場
合、ブラックマトリックスは基板2上に形成されたも
の、反射層3上に形成されたもの、光透過性保護膜4上
に形成されたもの、および、隣接する着色パターンの境
界上に形成されたもの等のいずれであってもよく、遮光
性樹脂、クロム等の金属により形成することができる。
但し、感光性の遮光性樹脂を用いて露光、現像によりブ
ラックマトリックスを形成する場合は、現像液による反
射層3の侵食を防止するために、基板2上に直接ブラッ
クマトリックスを形成するか、あるいは、光透過性保護
膜4を形成した後にブラックマトリックスを形成する必
要がある。
The color filter according to the present invention has a color layer 5
May be provided with a black matrix so as to be located between the respective colored patterns constituting. In this case, the black matrix is formed on the substrate 2, the one formed on the reflective layer 3, the one formed on the light-transmitting protective film 4, and the one formed on the boundary between adjacent colored patterns. Any of these may be used, and can be formed of a light-shielding resin or a metal such as chromium.
However, when a black matrix is formed by exposure and development using a photosensitive light-shielding resin, the black matrix is formed directly on the substrate 2 in order to prevent erosion of the reflective layer 3 by a developer, or After forming the light-transmitting protective film 4, it is necessary to form a black matrix.

【0019】また、本発明のカラーフィルタは、図2に
示されるように、着色層15を覆う平坦化層6を備える
ものであってもよい。平坦化層6は、例えば、アクリル
系樹脂、エポキシ系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、ポリ
イミド系樹脂、プロピニル系樹脂等の有機樹脂を用いて
形成することができ、光透過性保護膜4が有機樹脂によ
り形成されている場合、同系の有機樹脂を使用すること
が好ましい。
Further, the color filter of the present invention may include a flattening layer 6 which covers the coloring layer 15 as shown in FIG. The flattening layer 6 can be formed using, for example, an organic resin such as an acrylic resin, an epoxy resin, a vinyl ether resin, a polyimide resin, or a propynyl resin, and the light-transmitting protective film 4 is made of an organic resin. When formed, it is preferable to use a similar organic resin.

【0020】[0020]

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

【0021】基板として、厚み1.1mmのガラス基板
(コーニング社製 7059ガラス)を準備した。この
基板上に真空蒸着法によりアルミニウム反射層(厚み3
000Å)を形成した。
As a substrate, a glass substrate having a thickness of 1.1 mm (7059 glass manufactured by Corning Incorporated) was prepared. An aluminum reflective layer (thickness 3) was formed on this substrate by vacuum evaporation.
000 °).

【0022】次に、アルミニウム反射層上にスパッタリ
ング法によりSiO2 からなる光透過性保護膜(厚み3
00Å)を形成した。
Next, a light-transmitting protective film (thickness: 3) made of SiO 2 is formed on the aluminum reflective layer by sputtering.
00Å).

【0023】次いで、光透過性保護膜上に赤色着色パタ
ーン用の感光性着色材料(フジハント(株)製CR−2
000)をスピンコーティング法により塗布し、所定の
フォトマスクを介して塗布膜を露光し、その後、現像液
(フジハント(株)製専用現像液CD)を用いて現像
し、その後、基板を230℃に60分間保持して着色層
を硬化させ赤色の着色パターンを形成した。
Next, a photosensitive coloring material for red coloring pattern (CR-2 manufactured by Fuji Hunt Co., Ltd.) is formed on the light transmitting protective film.
000) by spin coating, exposing the coating film through a predetermined photomask, and then developing using a developer (exclusive developer CD manufactured by Fuji Hunt Co., Ltd.). For 60 minutes to cure the colored layer to form a red colored pattern.

【0024】さらに、緑色着色パターン用の感光性着色
材料(フジハント(株)製CG−2000)および青色
着色パターン用の感光性着色材料(フジハント(株)製
CB−2000)を使用して、上記と同様にして緑色の
着色パターン、青色の着色パターンを形成しカラーフィ
ルタ(実施例1)とした。
Further, a photosensitive coloring material for green coloring pattern (CG-2000 manufactured by Fuji Hunt Co., Ltd.) and a photosensitive coloring material for blue coloring pattern (CB-2000 manufactured by Fuji Hunt Co., Ltd.) are used. A green color pattern and a blue color pattern were formed in the same manner as described above to obtain a color filter (Example 1).

【0025】また、SiO2 からなる光透過性保護膜を
形成する代わりに、アルミニウム反射層上にスピンコー
ティング法によりアクリル系樹脂(日立化成(株)製H
P−1008−IM1)を塗布し硬化させて光透過性保
護膜(厚み0.8μm)を形成し、他は上記の実施例1
と同様にして、カラーフィルタ(実施例2)を作製し
た。
Also, instead of forming a light-transmitting protective film made of SiO 2 , an acrylic resin (Hitachi Chemical Co., Ltd.
P-1008-IM1) was applied and cured to form a light-transmitting protective film (thickness: 0.8 μm).
In the same manner as in the above, a color filter (Example 2) was produced.

【0026】さらに、SiO2 からなる光透過性保護膜
を形成する代わりに、アルミニウム反射層の表面に陽極
酸化法により酸化処理を施してγ−Al2 O3 からなる
光透過性保護膜(厚み300Å)を形成し、他は上記の
実施例1と同様にして、カラーフィルタ(実施例3)を
作製した。
Further, instead of forming the light-transmitting protective film made of SiO 2 , the surface of the aluminum reflective layer is oxidized by anodizing to form a light-transmitting protective film (thickness) of γ-Al 2 O 3. A color filter (Example 3) was fabricated in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the color filter was 300 °).

【0027】一方、比較として、光透過性保護膜を形成
しない他は、上記の実施例1と同様にして、カラーフィ
ルタ(比較例1)を作製した。
On the other hand, for comparison, a color filter (Comparative Example 1) was produced in the same manner as in Example 1 except that the light-transmitting protective film was not formed.

【0028】このように作製したカラーフィルタ(実施
例1〜3、比較例1)について、下記の方法によりアル
ミニウム反射層の反射率を測定した。
With respect to the color filters (Examples 1 to 3 and Comparative Example 1) thus manufactured, the reflectance of the aluminum reflective layer was measured by the following method.

【0029】反射率の測定方法 オリンパス光学工業(株)製の分光光度顕微鏡AH−2
を用いて反射測定モードにて測定を行った。
Method for measuring reflectance AO-2 spectrophotometer manufactured by Olympus Optical Co., Ltd.
The measurement was carried out in a reflection measurement mode using.

【0030】反射率の測定の結果、本発明のカラーフィ
ルタ(実施例1〜3)は、着色層の非形成領域において
いずれも400〜700nmの波長域で反射率が98%
以上であり、かつ、乱反射の発生程度が極めて低く、反
射型の液晶表示装置用のカラーフィルタとして十分に実
用に供し得ることが確認された。
As a result of the measurement of the reflectance, the color filters of the present invention (Examples 1 to 3) exhibited a reflectance of 98% in the wavelength region of 400 to 700 nm in the region where the colored layer was not formed.
As described above, the degree of occurrence of irregular reflection is extremely low, and it has been confirmed that the color filter can be sufficiently practically used as a color filter for a reflection type liquid crystal display device.

【0031】これに対して、光透過性保護膜を備えてい
ないカラーフィルタ(比較例1)は、着色層の非形成領
域における400〜700nmの波長域での反射率が6
0〜70%と低く、反射型の液晶表示装置に使用するた
めには反射率が不十分であった。また、乱反射の発生が
見られ、光学顕微鏡により観察した結果、アルミニウム
反射層と着色層との間に、他の色の着色層を形成する際
に使用した感光性着色材料の残留物が存在することが確
認された。
On the other hand, the color filter having no light-transmitting protective film (Comparative Example 1) has a reflectance of 6 in the wavelength region of 400 to 700 nm in the region where the colored layer is not formed.
The reflectance was as low as 0 to 70%, and the reflectance was insufficient for use in a reflective liquid crystal display device. In addition, irregular reflection was observed, and as a result of observation with an optical microscope, there was a residue of the photosensitive coloring material used in forming the coloring layer of another color between the aluminum reflecting layer and the coloring layer. It was confirmed that.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によればカ
ラーフィルタは、基板に設けた反射層上に光透過性保護
膜を介して複数色の着色パターンからなる着色層が備え
られているので、反射層と着色層の間に位置する光透過
性保護膜によって、着色層形成時の現像液による反射層
の侵食が防止され、反射率の高い反射型のカラーフィル
タが可能となるとともに、光透過性保護膜によって反射
層の感光性着色材料に対する密着性を低下させることが
でき、製造段階での感光性着色材料の残留を有効に防止
でき、乱反射の極めて少ない反射型のカラーフィルタが
可能となる。
As described in detail above, according to the present invention, a color filter is provided with a colored layer composed of a plurality of colored patterns on a reflective layer provided on a substrate via a light-transmitting protective film. Since the light-transmitting protective film located between the reflective layer and the colored layer prevents the reflective layer from being eroded by the developer during the formation of the colored layer, the reflective color filter having a high reflectance can be obtained. The light-transmitting protective film can reduce the adhesion of the reflective layer to the photosensitive coloring material, effectively prevent the photosensitive coloring material from remaining in the manufacturing stage, and provide a reflective color filter with extremely low diffuse reflection. It becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のカラーフィルタの一実施形態を示す概
略縦断面図である。
FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing one embodiment of a color filter of the present invention.

【図2】本発明のカラーフィルタの他の実施形態を示す
概略縦断面図である。
FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view showing another embodiment of the color filter of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…カラーフィルタ 2…基板 3…反射層 4…光透過性保護膜 5…着色層 6…平坦化層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color filter 2 ... Substrate 3 ... Reflection layer 4 ... Light transmitting protective film 5 ... Coloring layer 6 ... Planarization layer

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板と、該基板上に設けた反射層と、該
反射層上に光透過性保護膜を介して複数色の着色パター
ンからなる着色層を備えることを特徴とするカラーフィ
ルタ。
1. A color filter comprising: a substrate; a reflective layer provided on the substrate; and a colored layer formed of a plurality of colored patterns on the reflective layer via a light-transmitting protective film.
【請求項2】 前記光透過性保護膜は、無機酸化物から
なる薄膜であることを特徴とする請求項1に記載のカラ
ーフィルタ。
2. The color filter according to claim 1, wherein the light-transmitting protective film is a thin film made of an inorganic oxide.
【請求項3】 前記光透過性保護膜は、有機樹脂からな
る薄膜であることを特徴とする請求項1に記載のカラー
フィルタ。
3. The color filter according to claim 1, wherein the light-transmitting protective film is a thin film made of an organic resin.
【請求項4】 前記反射層は金属材料からなる層であ
り、前記光透過性保護膜は前記反射層の表面を処理して
生成した金属酸化物からなる薄膜であることを特徴とす
る請求項1に記載のカラーフィルタ。
4. The reflection layer is a layer made of a metal material, and the light-transmitting protective film is a thin film made of a metal oxide generated by treating a surface of the reflection layer. 2. The color filter according to 1.
【請求項5】 前記着色層を覆うように平坦化層を備え
ることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに
記載のカラーフィルタ。
5. The color filter according to claim 1, further comprising a flattening layer covering the coloring layer.
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