JPH11149675A - 光ディスク製造方法およびそれに用いる装置 - Google Patents
光ディスク製造方法およびそれに用いる装置Info
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- JPH11149675A JPH11149675A JP31749397A JP31749397A JPH11149675A JP H11149675 A JPH11149675 A JP H11149675A JP 31749397 A JP31749397 A JP 31749397A JP 31749397 A JP31749397 A JP 31749397A JP H11149675 A JPH11149675 A JP H11149675A
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- adhesive sheet
- double
- disk
- disk substrate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】精度の高い光ディスクを効率よく生産すること
ができる光ディスク製造方法およびそれに用いる装置を
提供する提供する。 【構成】剥離テープ1下面に複数の粘着シート3が所定
間隔で並べられてなるテープ30を準備し、このテープ
30の粘着シート3を第1ディスク基板9の上面に貼り
つけることにより、上記粘着シート3を第1ディスク基
板9に仮止めして仮止め品23とし、この仮止め品23
から剥離テープ1を剥離させて粘着シート3を露呈さ
せ、この露呈した粘着シート3の上に第2ディスク基板
を載置し、その状態で仮止め品23と第2ディスク基板
を真空中で加圧して貼り合わせて貼り合わせ品とし、こ
の貼り合わせ品を加圧または加熱加圧環境下に保持する
ことにより接着するようにした。
ができる光ディスク製造方法およびそれに用いる装置を
提供する提供する。 【構成】剥離テープ1下面に複数の粘着シート3が所定
間隔で並べられてなるテープ30を準備し、このテープ
30の粘着シート3を第1ディスク基板9の上面に貼り
つけることにより、上記粘着シート3を第1ディスク基
板9に仮止めして仮止め品23とし、この仮止め品23
から剥離テープ1を剥離させて粘着シート3を露呈さ
せ、この露呈した粘着シート3の上に第2ディスク基板
を載置し、その状態で仮止め品23と第2ディスク基板
を真空中で加圧して貼り合わせて貼り合わせ品とし、こ
の貼り合わせ品を加圧または加熱加圧環境下に保持する
ことにより接着するようにした。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、両面粘着シートを
介して2枚のディスク基板を接着して光ディスクを製造
する光ディスク製造方法およびそれに用いる装置に関す
るものである。
介して2枚のディスク基板を接着して光ディスクを製造
する光ディスク製造方法およびそれに用いる装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】光ディスクは、少なくとも一面に記録層
を有する2枚のディスク基板を、互いに接合して形成さ
れる。このようなディスク基板の接合は、例えば、特開
昭61−80534号公報に示されているように、2枚
のディスク基板の間に接着剤を挟み、両ディスク基板を
互いに加圧することにより接着することが行われてい
る。
を有する2枚のディスク基板を、互いに接合して形成さ
れる。このようなディスク基板の接合は、例えば、特開
昭61−80534号公報に示されているように、2枚
のディスク基板の間に接着剤を挟み、両ディスク基板を
互いに加圧することにより接着することが行われてい
る。
【0003】ところが、このような接着剤を用いる接着
法によると、接着剤をディスク基板に塗布する面倒な作
業が必要である。しかも、接着剤を均一に塗布すること
が困難で貼り合わせたディスク基板の平行度が悪くなっ
たり、接着剤に空気が混入して接合部に気泡が生じたり
する場合があり、品質面にも問題があった。また、ディ
スク基板を加圧した際に接着剤がディスク基板の周辺部
からはみ出してバリを生じるため、このバリ取り作業が
必要になる等、生産性や作業性等の面からも好ましいも
のではなかった。
法によると、接着剤をディスク基板に塗布する面倒な作
業が必要である。しかも、接着剤を均一に塗布すること
が困難で貼り合わせたディスク基板の平行度が悪くなっ
たり、接着剤に空気が混入して接合部に気泡が生じたり
する場合があり、品質面にも問題があった。また、ディ
スク基板を加圧した際に接着剤がディスク基板の周辺部
からはみ出してバリを生じるため、このバリ取り作業が
必要になる等、生産性や作業性等の面からも好ましいも
のではなかった。
【0004】そこで、接着剤を使用せずに2枚のディス
ク基板を接着する装置として、特開平3−230338
号公報に示す光ディスク製造装置が提案されている。こ
の装置は、図24に示すように、ディスク基板供給装置
41と、両面粘着シート供給装置42と、接着治具43
および治具開閉装置44と、ディスク基板46を搬送,
反転させる搬送装置47と、真空プレス装置48と、治
具移動装置52と、剥離フィルム把持機構49と、完成
品置場50とを備えている。そして、2枚のディスク基
板46を両面粘着シート51を介して真空プレスにより
接合することが行われる。すなわち、まず、第1ディス
ク基板46と両面粘着シート51とを真空プレスにより
接合し、ついで、剥離フィルム53を剥離フィルム把持
機構49により剥がして反転させ、つぎに、両面粘着シ
ート51が貼着された第1ディスク基板46に第2ディ
スク基板46を真空プレスにより接合することにより、
2枚のディスク基板46を接着することが行われる。
ク基板を接着する装置として、特開平3−230338
号公報に示す光ディスク製造装置が提案されている。こ
の装置は、図24に示すように、ディスク基板供給装置
41と、両面粘着シート供給装置42と、接着治具43
および治具開閉装置44と、ディスク基板46を搬送,
反転させる搬送装置47と、真空プレス装置48と、治
具移動装置52と、剥離フィルム把持機構49と、完成
品置場50とを備えている。そして、2枚のディスク基
板46を両面粘着シート51を介して真空プレスにより
接合することが行われる。すなわち、まず、第1ディス
ク基板46と両面粘着シート51とを真空プレスにより
接合し、ついで、剥離フィルム53を剥離フィルム把持
機構49により剥がして反転させ、つぎに、両面粘着シ
ート51が貼着された第1ディスク基板46に第2ディ
スク基板46を真空プレスにより接合することにより、
2枚のディスク基板46を接着することが行われる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記装
置では、2枚のディスク基板46を接着して1枚の光デ
ィスクを得るのに、真空プレスを2回行う必要がある。
しかも、その真空プレスのたびに行われる真空引きに時
間がかかることから、生産性が極めて悪く、結果的にコ
スト高になるという問題がある。また、上記のように真
空プレスを2回行って接着した光ディスクは、歪みやそ
りが大きく精度が低いという問題もある。
置では、2枚のディスク基板46を接着して1枚の光デ
ィスクを得るのに、真空プレスを2回行う必要がある。
しかも、その真空プレスのたびに行われる真空引きに時
間がかかることから、生産性が極めて悪く、結果的にコ
スト高になるという問題がある。また、上記のように真
空プレスを2回行って接着した光ディスクは、歪みやそ
りが大きく精度が低いという問題もある。
【0006】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、精度の高い光ディスクを効率よく生産すること
ができる光ディスク製造方法およびそれに用いる装置を
提供することをその目的とする。
もので、精度の高い光ディスクを効率よく生産すること
ができる光ディスク製造方法およびそれに用いる装置を
提供することをその目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の光ディスク製造方法は、2枚のディスク基
板を両面粘着シートを介して接着して光ディスクを製造
する方法であって、剥離テープ下面に複数のディスク状
の両面粘着シートが所定間隔で並べられてなるテープを
準備し、このテープの両面粘着シートを第1ディスク基
板の上面に貼りつけることにより、上記両面粘着シート
を第1ディスク基板に仮止めして仮止め品とし、この仮
止め品から剥離テープを剥離させて両面粘着シートを露
呈させ、この露呈した両面粘着シートの上に第2ディス
ク基板を載置し、その状態で仮止め品と第2ディスク基
板を真空中で加圧して貼り合わせて貼り合わせ品とし、
この貼り合わせ品を加圧または加熱加圧環境下に保持す
ることにより接着することを要旨とする。
め、本発明の光ディスク製造方法は、2枚のディスク基
板を両面粘着シートを介して接着して光ディスクを製造
する方法であって、剥離テープ下面に複数のディスク状
の両面粘着シートが所定間隔で並べられてなるテープを
準備し、このテープの両面粘着シートを第1ディスク基
板の上面に貼りつけることにより、上記両面粘着シート
を第1ディスク基板に仮止めして仮止め品とし、この仮
止め品から剥離テープを剥離させて両面粘着シートを露
呈させ、この露呈した両面粘着シートの上に第2ディス
ク基板を載置し、その状態で仮止め品と第2ディスク基
板を真空中で加圧して貼り合わせて貼り合わせ品とし、
この貼り合わせ品を加圧または加熱加圧環境下に保持す
ることにより接着することを要旨とする。
【0008】また、本発明の光ディスク製造装置は、2
枚のディスク基板を両面粘着シートを介して接着して光
ディスクを製造する装置であって、剥離テープ下面に複
数のディスク状の両面粘着シートが所定間隔で並べられ
てなるテープを供給するテープ供給手段と、テープ下面
の両面粘着シートを第1ディスク基板上面に貼りつける
ことによりテープ下面に露呈した両面粘着シートと第1
ディスク基板を仮止めして仮止め品とする仮止め手段
と、この仮止め品から剥離テープを剥離して両面粘着テ
ープを露呈させる剥離手段と、この露呈した両面粘着シ
ートの上に第2ディスク基板を載置して仮止め品と第2
ディスク基板を真空中で加圧して貼り合わせて貼り合わ
せ品とする貼り合わせ手段と、この貼り合わせ品を加圧
または加熱加圧環境下に保持して接着する接着手段とを
備えていることを要旨とする。
枚のディスク基板を両面粘着シートを介して接着して光
ディスクを製造する装置であって、剥離テープ下面に複
数のディスク状の両面粘着シートが所定間隔で並べられ
てなるテープを供給するテープ供給手段と、テープ下面
の両面粘着シートを第1ディスク基板上面に貼りつける
ことによりテープ下面に露呈した両面粘着シートと第1
ディスク基板を仮止めして仮止め品とする仮止め手段
と、この仮止め品から剥離テープを剥離して両面粘着テ
ープを露呈させる剥離手段と、この露呈した両面粘着シ
ートの上に第2ディスク基板を載置して仮止め品と第2
ディスク基板を真空中で加圧して貼り合わせて貼り合わ
せ品とする貼り合わせ手段と、この貼り合わせ品を加圧
または加熱加圧環境下に保持して接着する接着手段とを
備えていることを要旨とする。
【0009】すなわち、本発明は、両面粘着シートと両
ディスク基板を真空中で加圧して貼り合せ、さらにこの
貼り合せ品を加圧または加熱加圧環境下に保持すること
により接着する。したがって、光ディスク内に気泡が入
らず、歪みや変形が生じにくい高精度の光ディスクが得
られる。また、従来は、第1ディスク基板の貼りつけと
第2ディスク基板の貼りつけとのそれぞれについて真空
プレスを行い、合計2回の真空プレスが必要であったも
のが、1回ですむようになる。そのうえ、貼り合わせ品
を、連続的に加圧または加熱加圧環境下に保持すること
により接着することから、生産性が飛躍的に向上し、コ
ストダウンを図ることができる。
ディスク基板を真空中で加圧して貼り合せ、さらにこの
貼り合せ品を加圧または加熱加圧環境下に保持すること
により接着する。したがって、光ディスク内に気泡が入
らず、歪みや変形が生じにくい高精度の光ディスクが得
られる。また、従来は、第1ディスク基板の貼りつけと
第2ディスク基板の貼りつけとのそれぞれについて真空
プレスを行い、合計2回の真空プレスが必要であったも
のが、1回ですむようになる。そのうえ、貼り合わせ品
を、連続的に加圧または加熱加圧環境下に保持すること
により接着することから、生産性が飛躍的に向上し、コ
ストダウンを図ることができる。
【0010】本発明において、第1ディスク基板上面へ
のテープの貼りつけが、弾性体の押し付けによって行わ
れる場合には、ディスク基板に対する負荷が少なくなる
うえ、均一に押し付けることができ、光ディスクの歪み
や変形が生じにくくなる。
のテープの貼りつけが、弾性体の押し付けによって行わ
れる場合には、ディスク基板に対する負荷が少なくなる
うえ、均一に押し付けることができ、光ディスクの歪み
や変形が生じにくくなる。
【0011】本発明において、弾性体の押し付け面が、
円錐状もしくは球面状に形成されている場合には、両面
粘着シートと第1ディスク基板とは、まず、中心部から
接触し、弾性体の変形に伴って順次周辺に向かって押し
つけられて貼り合わせられる。したがって、気泡が押し
出されながら貼り合わせが行われ、粘着シートと第1デ
ィスク基板との接触面に気泡が生じにくい。また、中心
から周辺に向かって徐々に加圧されるため、両ディスク
基板に偏った歪みを与えることが少ない。
円錐状もしくは球面状に形成されている場合には、両面
粘着シートと第1ディスク基板とは、まず、中心部から
接触し、弾性体の変形に伴って順次周辺に向かって押し
つけられて貼り合わせられる。したがって、気泡が押し
出されながら貼り合わせが行われ、粘着シートと第1デ
ィスク基板との接触面に気泡が生じにくい。また、中心
から周辺に向かって徐々に加圧されるため、両ディスク
基板に偏った歪みを与えることが少ない。
【0012】本発明において、弾性体が、貼りつけ面を
転動するロールである場合には、両面粘着シートと第1
ディスク基板とは、まず、片方の端から接触して他方の
端部に向かって徐々に気泡が押し出されながら貼り合せ
られる。このため、粘着シートと第1ディスク基板との
接触面に気泡が生じにくい。
転動するロールである場合には、両面粘着シートと第1
ディスク基板とは、まず、片方の端から接触して他方の
端部に向かって徐々に気泡が押し出されながら貼り合せ
られる。このため、粘着シートと第1ディスク基板との
接触面に気泡が生じにくい。
【0013】本発明において、弾性体が、ゴム硬度が5
0度以下のものである場合には、両ディスク基板に対す
る負荷が小さく、歪みや変形が生じにくい。
0度以下のものである場合には、両ディスク基板に対す
る負荷が小さく、歪みや変形が生じにくい。
【0014】本発明において、弾性体の押し付けによる
両面粘着シートの第1ディスク基板上面への貼りつけ
が、室温以上70℃以下(好ましくは、50℃以上70
℃以下)で行われる場合には、両面粘着シートが軟化す
るため、気泡を充分に除去して貼りつけることができ
る。しかも、両面粘着シートの劣化が生じない。
両面粘着シートの第1ディスク基板上面への貼りつけ
が、室温以上70℃以下(好ましくは、50℃以上70
℃以下)で行われる場合には、両面粘着シートが軟化す
るため、気泡を充分に除去して貼りつけることができ
る。しかも、両面粘着シートの劣化が生じない。
【0015】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を詳
しく説明する。
しく説明する。
【0016】図1は、本発明の光ディスク製造装置の一
実施の形態を示す。図において、30はテープであり、
剥離テープ1の下面にディスク状両面粘着シート(以下
「粘着シート」という)3が所定間隔で列状に並べられ
ている。このテープ30は、供給ロール2aから繰り出
され、前方(図示の右側)の巻き取りロール2bによっ
て巻き取られて送られるようになっている。7はインデ
ックステーブルであり、図2に示すように、円板状に形
成され、上面にステージ8が円周状に設けられている。
そして、これらステージ8の上に第1ディスク基板9が
載置され、第1ディスク基板9と粘着シート3との貼り
合わせ等が行われる。10は第1ディスク基板9と粘着
シート3とを貼り合わせて仮止めする貼り合わせ装置で
ある。11は仮止め品23から剥離テープ1を剥離する
剥離ロールである。
実施の形態を示す。図において、30はテープであり、
剥離テープ1の下面にディスク状両面粘着シート(以下
「粘着シート」という)3が所定間隔で列状に並べられ
ている。このテープ30は、供給ロール2aから繰り出
され、前方(図示の右側)の巻き取りロール2bによっ
て巻き取られて送られるようになっている。7はインデ
ックステーブルであり、図2に示すように、円板状に形
成され、上面にステージ8が円周状に設けられている。
そして、これらステージ8の上に第1ディスク基板9が
載置され、第1ディスク基板9と粘着シート3との貼り
合わせ等が行われる。10は第1ディスク基板9と粘着
シート3とを貼り合わせて仮止めする貼り合わせ装置で
ある。11は仮止め品23から剥離テープ1を剥離する
剥離ロールである。
【0017】より詳しく説明すると、上記テープ30
は、図3および図4に示すように、剥離テープ1の下面
に粘着シート3が所定間隔で一列に並び、この粘着シー
ト3の下面に下側剥離テープ4が貼着されている。上記
テープ30の粘着シート3中心には、第1ディスク基板
9の中心穴に対応する中心穴22が穿設されている。そ
して、上記下側剥離テープ4の下側に傷つき防止用の合
紙40aが重ねられた状態で供給ロール2aに巻き取ら
れている。
は、図3および図4に示すように、剥離テープ1の下面
に粘着シート3が所定間隔で一列に並び、この粘着シー
ト3の下面に下側剥離テープ4が貼着されている。上記
テープ30の粘着シート3中心には、第1ディスク基板
9の中心穴に対応する中心穴22が穿設されている。そ
して、上記下側剥離テープ4の下側に傷つき防止用の合
紙40aが重ねられた状態で供給ロール2aに巻き取ら
れている。
【0018】上記テープ30の繰り出し部には、テンシ
ョンコントローラーおよび蛇行制御ガイド(ともに図示
せず)が設けられている。また、テープ30が送られる
途中に設けられた各ロールは、テープ30と同じ幅の溝
もしくはガイドを有したものが用いられ、テープ30が
供給ロール2aから巻き取りロール2bまで真っ直ぐに
送られるようになっている。
ョンコントローラーおよび蛇行制御ガイド(ともに図示
せず)が設けられている。また、テープ30が送られる
途中に設けられた各ロールは、テープ30と同じ幅の溝
もしくはガイドを有したものが用いられ、テープ30が
供給ロール2aから巻き取りロール2bまで真っ直ぐに
送られるようになっている。
【0019】供給ロール2aから繰り出されたテープ3
0は(図1に戻る)、まず、合紙40aが取り除かれて
リール40に巻き取られ、テープ30がテープクリーニ
ング装置5を通ってクリーニングされる。上記テープク
リーニング装置5は、図5に示すように、内部に除電装
置12を備えた吸引器13が、テープ30の上下面に配
設されて構成されている。そして、上記除電装置12に
より、テープ30の静電気等が除去され、細かい埃等の
汚れが吸引器13によって吸引除去されるようになって
いる。
0は(図1に戻る)、まず、合紙40aが取り除かれて
リール40に巻き取られ、テープ30がテープクリーニ
ング装置5を通ってクリーニングされる。上記テープク
リーニング装置5は、図5に示すように、内部に除電装
置12を備えた吸引器13が、テープ30の上下面に配
設されて構成されている。そして、上記除電装置12に
より、テープ30の静電気等が除去され、細かい埃等の
汚れが吸引器13によって吸引除去されるようになって
いる。
【0020】ついで、上記テープ30は(図1に戻
る)、剥離装置6によって下側剥離テープ4が剥離され
る。上記剥離装置6は、図6に示すように、上記テープ
30を一対のニップロール15の間に除去テープ14と
ともに挟み込み、下側剥離テープ4を上記除去テープ1
4に接着させる。そして、この除去テープ14を下方の
巻き取りロール16に巻き取ることにより、上記下側剥
離テープ4を剥ぎ取り、粘着シート3を下向きに露呈さ
せるようになっている。そして、図7に示すように、粘
着シート3が下向きに露呈されたテープ30が、インデ
ックステーブル7上に載置された第1ディスク基板9
と、その上側に待機している貼り合わせ装置10との間
に送られるようになっている。
る)、剥離装置6によって下側剥離テープ4が剥離され
る。上記剥離装置6は、図6に示すように、上記テープ
30を一対のニップロール15の間に除去テープ14と
ともに挟み込み、下側剥離テープ4を上記除去テープ1
4に接着させる。そして、この除去テープ14を下方の
巻き取りロール16に巻き取ることにより、上記下側剥
離テープ4を剥ぎ取り、粘着シート3を下向きに露呈さ
せるようになっている。そして、図7に示すように、粘
着シート3が下向きに露呈されたテープ30が、インデ
ックステーブル7上に載置された第1ディスク基板9
と、その上側に待機している貼り合わせ装置10との間
に送られるようになっている。
【0021】一方、インデックステーブル7上に、第1
ディスク基板9が供給される。すなわち(図2に戻
る)、まず、インデックステーブル7の前側に設けられ
たディスク置場17から、移載ロボット(図示せず)に
よって、第1ディスク基板9がインデックステーブル7
のステージ8上に載置される(図2に示すポジション
A)。ステージ8上に載置された第1ディスク基板9
は、図8に示すように、ステージ8に設けられた吸引孔
19から吸引器31によって空気を吸引し、吸着固定さ
れる。ついで、インデックステーブル7が右方向に約3
0度回転し(図2に示すポジションB)、第1ディスク
基板9のクリーニングが行われる。
ディスク基板9が供給される。すなわち(図2に戻
る)、まず、インデックステーブル7の前側に設けられ
たディスク置場17から、移載ロボット(図示せず)に
よって、第1ディスク基板9がインデックステーブル7
のステージ8上に載置される(図2に示すポジション
A)。ステージ8上に載置された第1ディスク基板9
は、図8に示すように、ステージ8に設けられた吸引孔
19から吸引器31によって空気を吸引し、吸着固定さ
れる。ついで、インデックステーブル7が右方向に約3
0度回転し(図2に示すポジションB)、第1ディスク
基板9のクリーニングが行われる。
【0022】上記第2ポジションBでのクリーニング
は、図9に示すように、クリーニングカバー18で第1
ディスク基板9が覆われ、吹き込み口18aから除電エ
アを吹き込むとともに吸引口18bから吸引し、第1デ
ィスク基板9表面に付着した細かい埃等の静電気を中和
して除去しやすくし、その埃等を除去するようになって
いる。
は、図9に示すように、クリーニングカバー18で第1
ディスク基板9が覆われ、吹き込み口18aから除電エ
アを吹き込むとともに吸引口18bから吸引し、第1デ
ィスク基板9表面に付着した細かい埃等の静電気を中和
して除去しやすくし、その埃等を除去するようになって
いる。
【0023】第1ディスク基板9がクリーニングされる
と、インデックステーブル7がさらに90度回転し(図
2に示すポジションC)、第1ディスク基板9が、供給
されたテープ30の下面に露呈する粘着シート3の下側
に位置決めされる(図7参照)。そして、テープ30の
粘着シート3下面と、第1ディスク基板9の上面とが貼
り合わせられ、仮止め品23が形成される。
と、インデックステーブル7がさらに90度回転し(図
2に示すポジションC)、第1ディスク基板9が、供給
されたテープ30の下面に露呈する粘着シート3の下側
に位置決めされる(図7参照)。そして、テープ30の
粘着シート3下面と、第1ディスク基板9の上面とが貼
り合わせられ、仮止め品23が形成される。
【0024】上記貼り合わせ装置10は、下面(押し付
け面)が略円錐状に形成された弾性体20を備え、上記
弾性体20が昇降しうるようになっている。上記弾性体
20の中心には、粘着シート3の中心穴22および第1
ディスク基板9の中心穴24に突入して位置決めする位
置決め用の心棒21が配設されている。上記弾性体20
は、ゴム硬度が5度以上50度以下のゴムで形成されて
いる。
け面)が略円錐状に形成された弾性体20を備え、上記
弾性体20が昇降しうるようになっている。上記弾性体
20の中心には、粘着シート3の中心穴22および第1
ディスク基板9の中心穴24に突入して位置決めする位
置決め用の心棒21が配設されている。上記弾性体20
は、ゴム硬度が5度以上50度以下のゴムで形成されて
いる。
【0025】上記貼り合わせ装置10には、上記弾性体
20を加熱する加熱装置(図示せず)が設けられてお
り、加熱状態の弾性体20を押し付けることにより加熱
状態で貼りつけを行うようになっている。これにより、
粘着シート3を軟化させ、気泡の押し出しが容易にな
る。このときの加熱温度としては、70℃以下に設定す
るのが好ましく、より好ましくは50℃以上60℃以下
である。70℃を超えると、第1ディスク基板9が軟化
し、ひずみ、そりが大きくなるからである。
20を加熱する加熱装置(図示せず)が設けられてお
り、加熱状態の弾性体20を押し付けることにより加熱
状態で貼りつけを行うようになっている。これにより、
粘着シート3を軟化させ、気泡の押し出しが容易にな
る。このときの加熱温度としては、70℃以下に設定す
るのが好ましく、より好ましくは50℃以上60℃以下
である。70℃を超えると、第1ディスク基板9が軟化
し、ひずみ、そりが大きくなるからである。
【0026】第1ディスク基板9と粘着シート3との貼
りつけは、つぎのようにして行われる。すなわち、ま
ず、図10に示すように、弾性体20が下降し、心棒2
1をテープ30に穿設された粘着シート3の中心穴22
に突入させる。これにより、粘着シート3と弾性体20
との位置合わせをするとともに、シート30をピンと張
って、円錐状の弾性体20下面に粘着シート3の部分を
沿わせる。
りつけは、つぎのようにして行われる。すなわち、ま
ず、図10に示すように、弾性体20が下降し、心棒2
1をテープ30に穿設された粘着シート3の中心穴22
に突入させる。これにより、粘着シート3と弾性体20
との位置合わせをするとともに、シート30をピンと張
って、円錐状の弾性体20下面に粘着シート3の部分を
沿わせる。
【0027】ついで、図11に示すように、第1ディス
ク基板9が載置されたステージ8が押し上げられ、シー
ト30が第1ディスク基板9の上に弾性体20の弾性力
によって押し付けられ、粘着シート3下面と第1ディス
ク基板9の上面とが貼りつけられ、仮止め品23が形成
される。このとき、心棒21が第1ディスク基板9の中
心穴24に突入することにより、粘着シート3と第1デ
ィスク基板9との位置合わせが行われる。また、上記弾
性体20の下面が、円錐状に形成されているため、粘着
シート3と第1ディスク基板9とは、まず、中心部から
接触し、弾性体20の弾性変形に伴って順次周辺に向か
って貼りつけられる。このように、気泡が押し出されな
がら貼りつけが行われるため、粘着シート3と第1ディ
スク基板9との接触面に気泡が生じにくい。また、中心
から周辺に向かって徐々に加圧されるため、第1ディス
ク基板9に与える歪みが少ない。
ク基板9が載置されたステージ8が押し上げられ、シー
ト30が第1ディスク基板9の上に弾性体20の弾性力
によって押し付けられ、粘着シート3下面と第1ディス
ク基板9の上面とが貼りつけられ、仮止め品23が形成
される。このとき、心棒21が第1ディスク基板9の中
心穴24に突入することにより、粘着シート3と第1デ
ィスク基板9との位置合わせが行われる。また、上記弾
性体20の下面が、円錐状に形成されているため、粘着
シート3と第1ディスク基板9とは、まず、中心部から
接触し、弾性体20の弾性変形に伴って順次周辺に向か
って貼りつけられる。このように、気泡が押し出されな
がら貼りつけが行われるため、粘着シート3と第1ディ
スク基板9との接触面に気泡が生じにくい。また、中心
から周辺に向かって徐々に加圧されるため、第1ディス
ク基板9に与える歪みが少ない。
【0028】つぎに、図12に示すように、弾性体20
が上昇するとともに、ステージ8が下降する。このと
き、剥離テープ1は、粘着シート3に密着したまま仮止
め品23の下降に伴って下りてくる。そして、図13に
示すように、剥離ロール11が左右に移動することによ
り、仮止め品23の上面から剥離テープ1を剥離させ
る。これにより、粘着シート3が上向きに露呈された仮
止め品23がステージ8上に載置された状態になる。剥
離された剥離テープ1は、巻き取りロール2bに巻き取
られる。
が上昇するとともに、ステージ8が下降する。このと
き、剥離テープ1は、粘着シート3に密着したまま仮止
め品23の下降に伴って下りてくる。そして、図13に
示すように、剥離ロール11が左右に移動することによ
り、仮止め品23の上面から剥離テープ1を剥離させ
る。これにより、粘着シート3が上向きに露呈された仮
止め品23がステージ8上に載置された状態になる。剥
離された剥離テープ1は、巻き取りロール2bに巻き取
られる。
【0029】ついで、インデックステーブル7がさらに
約90度回転し(図2に示すポジションD)、上記仮止
め品23の上面に第2ディスク基板が載置される。
約90度回転し(図2に示すポジションD)、上記仮止
め品23の上面に第2ディスク基板が載置される。
【0030】第2ディスク基板27は、インデックステ
ーブル7の後方に設けられたディスク置場25から、移
載ロボット(図示せず)によって、ディスククリーニン
グ装置26内に移載され、クリーニングされたのち、図
14に示すように、上記仮止め品23の上面に載置され
る。
ーブル7の後方に設けられたディスク置場25から、移
載ロボット(図示せず)によって、ディスククリーニン
グ装置26内に移載され、クリーニングされたのち、図
14に示すように、上記仮止め品23の上面に載置され
る。
【0031】上記ディスククリーニング装置26は、図
15に示すように、ケース28内に第2ディスク基板2
7を入れて蓋28aをし、ケース28の底面部から除電
エアを吹き込むとともに吸引することにより、第2ディ
スク基板27表面に付着した細かい埃等を除去するよう
になっている。
15に示すように、ケース28内に第2ディスク基板2
7を入れて蓋28aをし、ケース28の底面部から除電
エアを吹き込むとともに吸引することにより、第2ディ
スク基板27表面に付着した細かい埃等を除去するよう
になっている。
【0032】仮止め品23上に第2ディスク基板27が
載置されると、インデックステーブル7がさらに約45
度回転し(図2に示すポジションE)、上記仮止め品2
3および第2ディスク基板27を真空中で加圧して貼り
合せることが行われる。
載置されると、インデックステーブル7がさらに約45
度回転し(図2に示すポジションE)、上記仮止め品2
3および第2ディスク基板27を真空中で加圧して貼り
合せることが行われる。
【0033】すなわち、図16に示すように、プレス板
32を備えた真空チャンバ33で上記仮止め品23およ
び第2ディスク基板27を覆い、吸引口33aから真空
チャンバ33内を吸引して真空にする。そして、図17
に示すように、真空チャンバ33内を吸引しながらプレ
ス板32を下降させ、真空中で仮止め品23および第2
ディスク基板27を加圧して貼り合せ、貼り合せ品29
を得る。このように、真空中で加圧して貼り合せを行う
ことから、気泡が充分排出されながら貼り合わせが行わ
れるため、粘着シート3と第2ディスク基板27との接
触面に気泡が生じにくい。このときの真空チャンバ33
内の真空度は、100Torr以下に設定するのが好ま
しく、さらに好ましくは30Torr以下である。な
お、工業的に連続生産する現実性を考慮すれば、真空度
の下限値は、1Torr程度である。
32を備えた真空チャンバ33で上記仮止め品23およ
び第2ディスク基板27を覆い、吸引口33aから真空
チャンバ33内を吸引して真空にする。そして、図17
に示すように、真空チャンバ33内を吸引しながらプレ
ス板32を下降させ、真空中で仮止め品23および第2
ディスク基板27を加圧して貼り合せ、貼り合せ品29
を得る。このように、真空中で加圧して貼り合せを行う
ことから、気泡が充分排出されながら貼り合わせが行わ
れるため、粘着シート3と第2ディスク基板27との接
触面に気泡が生じにくい。このときの真空チャンバ33
内の真空度は、100Torr以下に設定するのが好ま
しく、さらに好ましくは30Torr以下である。な
お、工業的に連続生産する現実性を考慮すれば、真空度
の下限値は、1Torr程度である。
【0034】そして、インデックステーブル7がさらに
約45度回転し(図2に示すポジションF)、上記貼り
合わせ品29を加圧(例えば、10kg/cm2×室
温)もしくは加熱加圧(例えば、6kg/cm2×60
℃)環境下に所定時間(例えば1分)保持することによ
り接着を行う。上記接着は、オートクレーブのような装
置によって行われる。このように、加圧もしくは加熱加
圧環境下に保持することにより接着を行うため、貼り合
わせ品29の全体が上下方向に均一に加圧され、光ディ
スクの平行度が良好になる。また、均一な加圧力により
均一に接着が行われる。
約45度回転し(図2に示すポジションF)、上記貼り
合わせ品29を加圧(例えば、10kg/cm2×室
温)もしくは加熱加圧(例えば、6kg/cm2×60
℃)環境下に所定時間(例えば1分)保持することによ
り接着を行う。上記接着は、オートクレーブのような装
置によって行われる。このように、加圧もしくは加熱加
圧環境下に保持することにより接着を行うため、貼り合
わせ品29の全体が上下方向に均一に加圧され、光ディ
スクの平行度が良好になる。また、均一な加圧力により
均一に接着が行われる。
【0035】接着が終了すると、インデックステーブル
7がさらに約30度回転し(図2に示すポジション
G)、移載ロボット(図示せず)により、製品が製品置
場に移載される。上記一連の操作によって、光ディスク
の製造が行われる。
7がさらに約30度回転し(図2に示すポジション
G)、移載ロボット(図示せず)により、製品が製品置
場に移載される。上記一連の操作によって、光ディスク
の製造が行われる。
【0036】なお、上記実施の形態では、弾性体20の
下面(押し付け面)を略円錐状に形成したが、これに限
定されるものではなく、球面状に形成してもよい。
下面(押し付け面)を略円錐状に形成したが、これに限
定されるものではなく、球面状に形成してもよい。
【0037】図18は、本発明の第2の実施の形態を示
す光ディスク製造装置である。この装置は、貼り合せ装
置10に、下面が円錐状の弾性体20を用いる代わりに
弾性ロール34が設けられている。また、第1ディスク
基板9が載置されるステージ8にも、下側弾性ロール3
5が設けられている。それ以外は図1に示す装置と同様
であり、同様の部分には同じ符号を付している。
す光ディスク製造装置である。この装置は、貼り合せ装
置10に、下面が円錐状の弾性体20を用いる代わりに
弾性ロール34が設けられている。また、第1ディスク
基板9が載置されるステージ8にも、下側弾性ロール3
5が設けられている。それ以外は図1に示す装置と同様
であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【0038】この装置で粘着テープ3を第1ディスク基
板9に貼りつける場合には、第1ディスク基板9が、供
給されたテープ30の下面に露呈する粘着シート3の下
側に位置決めされたのち、図19に示すように、弾性ロ
ール34が下降してテープ30を押し下げ、粘着テープ
3の一端と第1ディスク基板9の一端とを当接させる。
ついで、図20に示すように、上記弾性ロール34と下
側弾性ロール35が、テープ30と第1ディスク基板9
とを挟み込んだ状態で他端側に向かって転動することに
より、第1ディスク基板9に粘着シート3が貼りつけら
れるようになっている。
板9に貼りつける場合には、第1ディスク基板9が、供
給されたテープ30の下面に露呈する粘着シート3の下
側に位置決めされたのち、図19に示すように、弾性ロ
ール34が下降してテープ30を押し下げ、粘着テープ
3の一端と第1ディスク基板9の一端とを当接させる。
ついで、図20に示すように、上記弾性ロール34と下
側弾性ロール35が、テープ30と第1ディスク基板9
とを挟み込んだ状態で他端側に向かって転動することに
より、第1ディスク基板9に粘着シート3が貼りつけら
れるようになっている。
【0039】上記装置では、粘着シート3と第1ディス
ク基板9とは、まず、片方の端から接触して他方の端部
に向かって徐々に気泡が押し出されながら貼りつけられ
るため、粘着シート3と第1ディスク基板9との接触面
に気泡が生じにくい。それ以外は、図1に示す装置と同
様の作用効果を奏する。
ク基板9とは、まず、片方の端から接触して他方の端部
に向かって徐々に気泡が押し出されながら貼りつけられ
るため、粘着シート3と第1ディスク基板9との接触面
に気泡が生じにくい。それ以外は、図1に示す装置と同
様の作用効果を奏する。
【0040】図21は、本発明の第3の実施の形態を示
す光ディスク製造装置である。この装置は、貼り合せ装
置10に、下面が円錐状の弾性体20を用いる代わりに
弾性ロール34が設けられている。それ以外は図1に示
す装置と同様であり、同様の部分には同じ符号を付して
いる。
す光ディスク製造装置である。この装置は、貼り合せ装
置10に、下面が円錐状の弾性体20を用いる代わりに
弾性ロール34が設けられている。それ以外は図1に示
す装置と同様であり、同様の部分には同じ符号を付して
いる。
【0041】この装置で粘着テープ3を第1ディスク基
板9に貼りつける場合には、第1ディスク基板9が、供
給されたテープ30の下面に露呈する粘着シート3の下
側に位置決めされたのち、図22に示すように、弾性ロ
ール34が下降してテープ30を押し下げ、粘着テープ
3の一端と第1ディスク基板9の一端とを当接させる。
ついで、図23に示すように、上記弾性ロール34が、
粘着シート3付きの剥離テープ1の上で他端側に向かっ
て転動することにより、第1ディスク基板9に粘着シー
ト3が貼りつけられるようになっている。
板9に貼りつける場合には、第1ディスク基板9が、供
給されたテープ30の下面に露呈する粘着シート3の下
側に位置決めされたのち、図22に示すように、弾性ロ
ール34が下降してテープ30を押し下げ、粘着テープ
3の一端と第1ディスク基板9の一端とを当接させる。
ついで、図23に示すように、上記弾性ロール34が、
粘着シート3付きの剥離テープ1の上で他端側に向かっ
て転動することにより、第1ディスク基板9に粘着シー
ト3が貼りつけられるようになっている。
【0042】上記装置では、粘着シート3と第1ディス
ク基板9とは、まず、片方の端から接触して他方の端部
に向かって徐々に気泡が押し出されながら貼り合せられ
るため、粘着シート3と第1ディスク基板9との接触面
に気泡が生じにくい。それ以外は、図1に示す装置と同
様の作用効果を奏する。
ク基板9とは、まず、片方の端から接触して他方の端部
に向かって徐々に気泡が押し出されながら貼り合せられ
るため、粘着シート3と第1ディスク基板9との接触面
に気泡が生じにくい。それ以外は、図1に示す装置と同
様の作用効果を奏する。
【0043】なお、上記各実施の形態では、弾性体2
0,弾性ロール34,下側弾性ロール35の材質として
ゴムを用いたが、特に限定されるものではなく、ウレタ
ン,スポンジ,シリコーンゴム,SBR(スチレンブタ
ジエンゴム),クロロプレンゴム,アクリルゴム,フッ
素ゴム等各種のものが用いられる。また、上記弾性体2
0,弾性ロール34,下側弾性ロール35として、ゴム
硬度5度以上50度以下のものを用いたが、10度以上
40度以下であれば、一層効果的である。
0,弾性ロール34,下側弾性ロール35の材質として
ゴムを用いたが、特に限定されるものではなく、ウレタ
ン,スポンジ,シリコーンゴム,SBR(スチレンブタ
ジエンゴム),クロロプレンゴム,アクリルゴム,フッ
素ゴム等各種のものが用いられる。また、上記弾性体2
0,弾性ロール34,下側弾性ロール35として、ゴム
硬度5度以上50度以下のものを用いたが、10度以上
40度以下であれば、一層効果的である。
【0044】
【発明の効果】以上のように、本発明は、光ディスク内
に気泡が入らず、歪みや変形が生じにくい高精度の光デ
ィスクが得られる。また、従来は、第1ディスク基板の
貼りつけと第2ディスク基板の貼りつけとのそれぞれに
ついて真空プレスを行い、合計2回の真空プレスが必要
であったものが、1回ですむようになる。そのうえ、貼
り合わせ品を、連続的に加圧または加熱加圧環境下に保
持することにより接着することから、生産性が飛躍的に
向上し、コストダウンを図ることができる。
に気泡が入らず、歪みや変形が生じにくい高精度の光デ
ィスクが得られる。また、従来は、第1ディスク基板の
貼りつけと第2ディスク基板の貼りつけとのそれぞれに
ついて真空プレスを行い、合計2回の真空プレスが必要
であったものが、1回ですむようになる。そのうえ、貼
り合わせ品を、連続的に加圧または加熱加圧環境下に保
持することにより接着することから、生産性が飛躍的に
向上し、コストダウンを図ることができる。
【0045】本発明において、第1ディスク基板上面へ
のテープの貼りつけが、弾性体の押し付けによって行わ
れる場合には、ディスク基板に対する負荷が少なくなる
うえ、均一に押し付けることができ、光ディスクの歪み
や変形が生じにくくなる。
のテープの貼りつけが、弾性体の押し付けによって行わ
れる場合には、ディスク基板に対する負荷が少なくなる
うえ、均一に押し付けることができ、光ディスクの歪み
や変形が生じにくくなる。
【0046】本発明において、弾性体の押し付け面が、
円錐状もしくは球面状に形成されている場合には、両面
粘着シートと第1ディスク基板とは、まず、中心部から
接触し、弾性体の変形に伴って順次周辺に向かって押し
つけられて貼り合わせられる。したがって、気泡が押し
出されながら貼り合わせが行われ、粘着シートと第1デ
ィスク基板との接触面に気泡が生じにくい。また、中心
から周辺に向かって徐々に加圧されるため、両ディスク
基板に偏った歪みを与えることが少ない。
円錐状もしくは球面状に形成されている場合には、両面
粘着シートと第1ディスク基板とは、まず、中心部から
接触し、弾性体の変形に伴って順次周辺に向かって押し
つけられて貼り合わせられる。したがって、気泡が押し
出されながら貼り合わせが行われ、粘着シートと第1デ
ィスク基板との接触面に気泡が生じにくい。また、中心
から周辺に向かって徐々に加圧されるため、両ディスク
基板に偏った歪みを与えることが少ない。
【0047】本発明において、弾性体が、貼りつけ面を
転動するロールである場合には、両面粘着シートと第1
ディスク基板とは、まず、片方の端から接触して他方の
端部に向かって徐々に気泡が押し出されながら貼り合せ
られる。このため、粘着シートと第1ディスク基板との
接触面に気泡が生じにくい。
転動するロールである場合には、両面粘着シートと第1
ディスク基板とは、まず、片方の端から接触して他方の
端部に向かって徐々に気泡が押し出されながら貼り合せ
られる。このため、粘着シートと第1ディスク基板との
接触面に気泡が生じにくい。
【0048】本発明において、弾性体が、ゴム硬度が5
0度以下のものである場合には、両ディスク基板に対す
る負荷が小さく、歪みや変形が生じにくい。
0度以下のものである場合には、両ディスク基板に対す
る負荷が小さく、歪みや変形が生じにくい。
【0049】本発明において、弾性体の押し付けによる
両面粘着シートの第1ディスク基板上面への貼りつけ
が、室温以上70℃以下で行われる場合には、両面粘着
シートが軟化するため、気泡を充分に除去して貼りつけ
ることができる。しかも、両面粘着シートの劣化が生じ
ない。
両面粘着シートの第1ディスク基板上面への貼りつけ
が、室温以上70℃以下で行われる場合には、両面粘着
シートが軟化するため、気泡を充分に除去して貼りつけ
ることができる。しかも、両面粘着シートの劣化が生じ
ない。
【図1】本発明の一実施の形態の光ディスク製造装置を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図2】インデックステーブルを上から見た状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図3】テープを示す断面図である。
【図4】上記テープを下から見た図である。
【図5】テープクリーニング装置を示す説明図である。
【図6】剥離装置を示す説明図である。
【図7】貼りつけの待機状態を示す説明図である。
【図8】インデックステーブル上に第1ディスク基板が
載置された状態を示す説明図である。
載置された状態を示す説明図である。
【図9】ディスククリーニング装置を示す説明図であ
る。
る。
【図10】貼り付けの操作を示す説明図である。
【図11】貼り付けの操作を示す説明図である。
【図12】貼り付けの操作を示す説明図である。
【図13】仮止め品から剥離テープを剥離させる状態を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図14】仮止め品に第2ディスク基板を載置した状態
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図15】ディスククリーニング装置を示す説明図であ
る。
る。
【図16】真空チャンバがセットされた状態を示す説明
図である。
図である。
【図17】真空中で加圧する状態を示す説明図である。
【図18】本発明の第2の実施の形態の光ディスク製造
装置を示す説明図である。
装置を示す説明図である。
【図19】貼り付けの操作を示す説明図である。
【図20】貼り付けの操作を示す説明図である。
【図21】本発明の第3の実施の形態の光ディスク製造
装置を示す説明図である。
装置を示す説明図である。
【図22】貼り付けの操作を示す説明図である。
【図23】貼り付けの操作を示す説明図である。
【図24】従来例の光ディスク製造装置を示す斜視図で
ある。
ある。
1 剥離テープ 3 粘着シート 9 第1ディスク基板 20 弾性体 23 仮止め品 30 テープ
Claims (12)
- 【請求項1】 2枚のディスク基板を両面粘着シートを
介して接着して光ディスクを製造する方法であって、剥
離テープ下面に複数のディスク状の両面粘着シートが所
定間隔で並べられてなるテープを準備し、このテープの
両面粘着シートを第1ディスク基板の上面に貼りつける
ことにより、上記両面粘着シートを第1ディスク基板に
仮止めして仮止め品とし、この仮止め品から剥離テープ
を剥離させて両面粘着シートを露呈させ、この露呈した
両面粘着シートの上に第2ディスク基板を載置し、その
状態で仮止め品と第2ディスク基板を真空中で加圧して
貼り合わせて貼り合わせ品とし、この貼り合わせ品を加
圧または加熱加圧環境下に保持することにより接着する
ことを特徴とする光ディスク製造方法。 - 【請求項2】 第1ディスク基板上面への両面粘着シー
トの貼りつけが、弾性体の押し付けによって行われる請
求項1記載の光ディスク製造方法。 - 【請求項3】 弾性体の押し付け面が、円錐状もしくは
球面状に形成されている請求項2記載の光ディスク製造
方法。 - 【請求項4】 弾性体が、貼りつけ面を転動するロール
である請求項2記載の光ディスク製造方法。 - 【請求項5】 弾性体が、ゴム硬度が50度以下のもの
である請求項2〜4のいずれか一項に記載の光ディスク
製造方法。 - 【請求項6】 弾性体の押し付けによる両面粘着シート
の第1ディスク基板上面への貼りつけが、室温以上70
℃以下で行われる請求項2〜5のいずれか一項に記載の
光ディスク製造方法。 - 【請求項7】 2枚のディスク基板を両面粘着シートを
介して接着して光ディスクを製造する装置であって、剥
離テープ下面に複数のディスク状の両面粘着シートが所
定間隔で並べられてなるテープを供給するテープ供給手
段と、テープ下面の両面粘着シートを第1ディスク基板
上面に貼りつけることによりテープ下面に露呈した両面
粘着シートと第1ディスク基板を仮止めして仮止め品と
する仮止め手段と、この仮止め品から剥離テープを剥離
して両面粘着テープを露呈させる剥離手段と、この露呈
した両面粘着シートの上に第2ディスク基板を載置して
仮止め品と第2ディスク基板を真空中で加圧して貼り合
わせて貼り合わせ品とする貼り合わせ手段と、この貼り
合わせ品を加圧または加熱加圧環境下に保持して接着す
る接着手段とを備えていることを特徴とする光ディスク
製造装置。 - 【請求項8】 仮止め手段における第1ディスク基板上
面への両面粘着シートの貼りつけが、弾性体の押し付け
によって行われる請求項7記載の光ディスク製造装置。 - 【請求項9】 弾性体の押し付け面が、円錐状もしくは
球面状に形成されている請求項8記載の光ディスク製造
装置。 - 【請求項10】 弾性体が、貼りつけ面を転動するロー
ルである請求項8記載の光ディスク製造装置。 - 【請求項11】 弾性体が、ゴム硬度が50度以下のも
のである請求項8〜10のいずれか一項に記載の光ディ
スク製造装置。 - 【請求項12】 弾性体の押し付けによる両面粘着シー
トの第1ディスク基板上面への貼りつけが、室温以上7
0℃以下で行われる請求項8〜11のいずれか一項に記
載の光ディスク製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31749397A JPH11149675A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 光ディスク製造方法およびそれに用いる装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31749397A JPH11149675A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 光ディスク製造方法およびそれに用いる装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11149675A true JPH11149675A (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=18088855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31749397A Pending JPH11149675A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 光ディスク製造方法およびそれに用いる装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11149675A (ja) |
-
1997
- 1997-11-18 JP JP31749397A patent/JPH11149675A/ja active Pending
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