JPH11154393A - 不揮発性半導体メモリ - Google Patents

不揮発性半導体メモリ

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JPH11154393A
JPH11154393A JP31989097A JP31989097A JPH11154393A JP H11154393 A JPH11154393 A JP H11154393A JP 31989097 A JP31989097 A JP 31989097A JP 31989097 A JP31989097 A JP 31989097A JP H11154393 A JPH11154393 A JP H11154393A
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Kaoru Tokushige
重 芳 徳
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 音声や画像等を扱うためにプログラムを大き
な単位で行うことができ、大容量ファイル装置に適した
不揮発性メモリを提供する。 【解決手段】 複数の不揮発性メモリセルがマトリクス
状に配設されたメモリセルアレイ(300)と、制御コ
マンドをデコードするコマンドデコード手段(230)
と、このコマンドデコード手段の出力に基づいて選択さ
れた行に属する所定数の複数のメモリセルについて順次
レジスタとの間でデータをシリアル転送してページ単位
のプログラムおよび読み出しを行うページモード動作の
不揮発性半導体メモリにおいて、レジスタは通常のペー
ジ単位の整数倍のデータ保持領域を有するページレジス
タ(310)であり、コマンドデコード手段によるデコ
ード結果に基づき、プログラム単位を指定するコマンド
が含まれているときには所定数を指定されたページ単位
にする制御手段(200)とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はページ単位でプログ
ラムおよび読み出しを行う形式の不揮発性半導体メモリ
に係り、特にファイル用途に特化された大容量不揮発性
半導体メモリに関するものである。
【0002】
【従来の技術】マルチメディア時代を迎えて画像や音声
の記録が重要となっており、参照されるメモリ容量は飛
躍的に増加し、しかも高速の書き込みおよび読み出しが
要求されている。このような観点から大容量の不揮発性
メモリを用いた大容量ファイルシステムが提案されてお
り、この大容量ファイルシステムでは特にプログラム速
度の高速化が要求されている。ここで、不揮発性の半導
体メモリとしては電気的に書き込み可能なEEPROM
(Electrically Erasable & Programable Read Only Me
mory)が一般的である。
【0003】半導体メモリの高速化動作モードとしては
種々のものが提案されているが、ページモードはその中
で最も良く知られているものである。これは通常のメモ
リ動作では行アドレスと列アドレスとを別個に指定する
のに対し、ページモードでは行アドレス一定のまま列ア
ドレスを順次指定し、列アドレスの変化に伴い指定され
たメモリセルの記憶データを出力センス回路から順次出
力できるようにしたものである。特にNANDタイプの
EEPROMでは、書き込み・消去時にメモリセルに流
れる電流が少ない点を考慮し、ページ単位(256ビッ
ト〜数Kビット)での読み出し、書き込みが通常となっ
ている。
【0004】図8は従来のページモード動作が可能な不
揮発性メモリのブロック構成図である。同図によれば、
8つのNANDセルを基本単位としてマトリクス状に構
成されたメモリセルアレイ100が設けられ、その各ビ
ット線には、ビット線の電位を判定してメモリセルのデ
ータを読み出すセンスアンプ110と、読み出し、書き
込み時のデータをラッチしておくデータレジスタ120
が接続される。またこのデータレジスタは、カラムアド
レスに対応して選択されたカラムデコーダ130の出力
により選択的にデータの出力、入力が行なえるよう構成
される。与えられたカラムアドレスを一時保持するカラ
ムアドレスバッファ140がカラムデコーダ130に接
続されている。また、ロウアドレスバッファ150によ
り保持されたロウアドレスはロウデコーダはロウデコー
ダ160によりデコードされ、ワード線が選択される。
なお、ここでいうセンスアンプはデータを確定させるた
めの比較回路を含む概念であるものとする。
【0005】一方、I/Oバッファ回路210より入力
されるチップイネーブル(NCE)、読み出し(NRE)、
書き込み(NWE)、消去等の各モードを制御するコマン
ドコードをはじめとする各種コマンドはコマンドレジス
タ220に入力されており、コマンドデコーダ230に
よりデコードされ、制御回路200に与えられる。制御
回路200は各モードに応じてデータレジスタ120、
カラムデコーダ130、ロウデコーダ160等を制御す
るとともに、各モードで必要となる種々の電圧を発生す
るために電圧発生回路240を制御する。
【0006】図9は図8における8NANDセルの詳細
構成を示す回路図であって、制御ゲートとチャネルの間
に浮遊ゲートを有する8つのメモリセルMCがビット線
とGND間に直列に接続されて構成されるNAND束2
個の構成を示したもので、各メモリセルの制御ゲートに
はワード線WLが接続されており、ビット線とNAND
束の間にはゲートがセレクト線SL(1)に接続された
選択トランジスタT1が、NAND束とGND(接地)
間にはゲートがセレクト線SL(2)に接続された選択
トランジスタT2がそれぞれ設けられている。
【0007】読み出し時には、NAND束中の選択され
たメモリセルのゲートは低レベルに設定され、NAND
束中残りの7個のメモリセルの制御ゲートは高レベルに
設定される。また、選択トランジスタT1のゲート(セ
レクト線SL(1))と、選択トランジスタT2のゲー
ト(セレクト線SL(2))は、高レベルに設定され
る。
【0008】NAND構造の不揮発性半導体メモリで
は、図10に示すように書き込まれたメモリセルのしき
い値は正に分布するが、NAND束中の非選択トランジ
スタのゲート電圧(Hレベル)より書き込み後のしきい
値が低い値となるようメモリセルへの電子の注入量が制
御される。このため選択メモリセルのしきい値電圧が正
であれば、ビット線BLとGND間に電流は流れずビッ
ト線は高レベルとなる。逆に選択メモリセルのしきい値
電圧が負であればビット線とGND間にセル電流が流れ
ビット線は低レベルとなる。このビット線の電位をセン
スすることにより、メモリセルデータの読み出しを行な
う。
【0009】次に、書き込み動作について説明する。図
11(a)に示すように、書き込みを行うメモリセルの
制御ゲートに接続されたワード線には20V程度の高電
圧(Vpp)がロウデコーダより供給され、同じNAND
束の他の7個のメモリセルの制御ゲートに接続されたワ
ード線には10V程度の中間電圧(VPI)が供給され
る。
【0010】この時選択されたメモリセルを含むNAN
D束とビット線間の選択トランジスタのゲートにはセレ
クト線SL(1)を通じて12Vの電位が与えられ、N
AND束とGND線間の選択トランジスタのゲートには
セレクト線SL(2)を通じて0Vが与えられる。この
状態で、ビット線を0Vにすると、選択トランジスタに
より選択されたNAND束中のすべてのメモリセルのド
レイン、ソース、及びチャネルの電位は0Vとなるた
め、選択されたメモリセルの制御ゲートとチャネル間に
20Vの電位差が生じ、図11(b)に示すように、基
板から電子が浮遊ゲートに注入される。このとき同じN
AND束中の他の7個のメモリセルの制御ゲートとチャ
ネル間には10Vの電位差が生じるが、10Vの電位差
では電子の注入がほとんど生じないように浮遊ゲートと
チャネル間の酸化膜厚を設定しているため、他の7個の
メモリセルには“0”データが書き込まれない。また、
図11(c)に示すように、ビット線を10V程度の書
き込み禁止ドレイン電圧(VDPI)にすると選択され
たメモリセルの制御ゲートとチャネル間の電位差は10
Vとなり、書き込みが行なわれない。この時同じNAN
D束中の他の7個のメモリセルの制御ゲートとチャネル
間には電位差が生じないため、書き込みが行なわれな
い。このようにして選択されたメモリセルに“0”デー
タを書き込む場合はビット線に0Vを、また“1”デー
タを書き込む場合はビット線にVDPIの電圧を供給す
ることにより、データの書き込みを行なう。
【0011】最後に消去動作について説明する。図12
(a)に示すように、消去は基板を20V(Vpp)、制
御ゲートを0Vに設定することにより、浮遊ゲート中の
電子を基板に引き抜いて消去が行なわれる。このとき選
択トランジスタのゲートストレスを緩和するためセレク
ト線は20V(Vpp)に設定される。さらに、図12
(a)(b)に示すように、メモリアレイ内のP−N接
合部がフォワードバイアス状態とならないよう、ビット
線、GND線はオープンにされ、この結果これらはほぼ
Vppの電位となる。
【0012】このようにトンネル電流で書き込みが行な
われるNAND構造半導体メモリでは、書き込み時にビ
ット線に流れる電流は小さいため、数1000個のメモ
リセルに同時に書き込みを行なうことが可能であり、高
速の大容量メモリとしての使用が注目されている。
【0013】図13は、現在実用化されている4Mビッ
ト NAND構造不揮発性半導体メモリの典型的な構成
を示す図面であり、カラムデコーダ130で制御される
カラム方向に512ビット×8(I/O)=4096本
のビット線が配置され、ロウ方向に128NAND束×
8ビット=1024本のワード線が配置された様子を示
している。
【0014】図14はこのメモリにおける種々の動作を
説明するもので、図14(a)および(b)はこのメモ
リにデータを書き込む場合、図15(a)および(b)
はデータの読み出しを行う場合をそれぞれ示している。
【0015】まず、データ書き込みの場合には、各ビッ
ト線に接続された各データレジスタに、I/Oバッファ
回路から512回データを入力した後(図14
(a))、選択行の4096ビットに一括して書き込み
が行なわれる(図14(b))。すなわち、ページモー
ドの書き込みを行っている。
【0016】また読み出し時には、2つのモードがあ
る。まず、選択された行のメモリセルのデータをデータ
レジスタに転送した後に特定カラムアドレスのデータの
みを読み出すランダム読み出しモード(図15(a))
と、選択された行のメモリセルのデータをデータレジス
タに転送した後にデータレジスタの内容だけを順次読み
出すページ内読み出しモード(図15(b))に分けら
れる。ロウ・アドレス(ページアドレス)が切り換わる
場合はランダム読み出し状態となり、メモリセルのデー
タ読み出しに10μsec の時間を要するが、カラムアド
レス(ページ内アドレス)が切り換わる場合はページ読
み出しが可能となり、70nsecの高速読み出しが行なえ
る。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】ページモード動作の不
揮発性メモリは高速読み出しには適しているが、一般に
プログラム単位はセクタ単位でデバイス毎に決まってお
り、意図的に特殊な書き込みを行わない限りプログラム
単位を変更することができない。
【0018】例えば、16MビットのNANDセルでは
1ページは264バイト(256バイト+ユーザ領域8
バイト)、32MビットのNANDセルでは1ページは
528バイト(512バイト+ユーザ領域16バイト)
となっている。
【0019】ところが、音声や画像等のデータは1つの
データの単位は256あるいは512バイトとは限ら
ず、さらに大きい単位が使用されることがあり、また使
用したいという希望がある。例えば、標準のプログラム
サイズを超える単位、例えば1024バイト、あるいは
2048バイト単位でプログラムを行えば1回当たりの
プログラム時間は変わらないので、不揮発メモリ全体で
は書き込み速度を2〜16倍に上げることが考えられる
が、従来の装置では上述したようにプログラム単位が固
定されているため、このようなプログラムを行うことが
できず、大容量ファイルを扱う上でデータ活用効率上の
障害となっている。
【0020】本発明はこのような問題を解決するために
なされたもので、特に、プログラム単位を自由に設定す
ることができる不揮発性メモリを提供することを目的と
する。
【0021】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数の
不揮発性メモリセルがマトリクス状に配設されたメモリ
セルアレイと、制御コマンドをデコードするコマンドデ
コード手段と、前記コマンドデコード手段の出力に基づ
いて選択された行に属する所定数の複数のメモリセルに
ついて順次レジスタとの間でデータをシリアル転送して
ページ単位のプログラムおよび読み出しを行う不揮発性
半導体メモリにおいて、前記レジスタは通常のページ単
位の整数倍のデータ保持領域を有するページレジスタで
あり、前記コマンドデコード手段によるデコード結果に
基づき、プログラム単位を指定するコマンドが含まれて
いるときには前記所定数を指定されたページ単位にする
制御手段とを備えたことを特徴とする。
【0022】また、本発明によれば、複数の不揮発性メ
モリセルがマトリクス状に配設されたメモリセルアレイ
と、プログラム単位を指定する部分を含む制御コマンド
をデコードするコマンドデコード手段と、カラムアドレ
スデータをデコードして前記メモリセルアレイのビット
線を活性化するカラムアドレスデコード手段と、ロウア
ドレスデータをデコードして前記メモリセルアレイのワ
ード線を活性化するロウアドレスデコード手段と、前記
デコード回路の出力に基づいて選択された行に属する所
定数の複数のメモリセルについてプログラムデータおよ
び読み出しデータを保持し、通常のページ単位の整数倍
のサイズを有するページレジスタと、前記コマンドデコ
ード手段によるデコード結果に基づき、プログラム単位
を指定するコマンドが含まれているときには前記所定数
を指定されたページ単位として、プログラムおよび読み
出しの制御を行う制御手段と、指定されたページ単位の
開始アドレスを指定するポインタ手段と、データ書き込
み、読み出しに必要な電圧を発生する電圧発生手段と、
前記指定されたプログラム単位が前記ページレジスタの
一部であるときには、プログラム単位外のページレジス
タアドレスにプログラムを禁止するデータを書き込むマ
スク発生手段と、読み出し時に読み出しデータをセンス
するセンス手段とを備えたことを特徴とする。
【0023】これらの不揮発性半導体メモリでは、デバ
イス内部に大きなサイズのバッファメモリを有し、この
バッファメモリの範囲でページサイズを自由に設定でき
るようになっているので、必要に応じプログラム単位を
大きくでき、書き込み速度を向上させて装置全体の動作
時間の短縮化が可能となる。したがって、この不揮発性
半導体メモリは膨大なデータを記憶、転送する必要のあ
る音声や画像のためのファイル装置に好適である。
【0024】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施の一形態
にかかる不揮発性メモリについて詳細に説明する。
【0025】図1は本発明にかかる不揮発性半導体記憶
装置の実施例を示すブロック図である。同図において、
従来の図8と同じ構成要素には同じ参照番号を付してそ
の詳細な説明は省略する。
【0026】図1におけるメモリアレイ部の周辺回路
や、メモリセルの読み出し書き込み時のビット線電位、
ワード線電位、選択トランジスタのゲート電位の関係は
従来例と同じである。
【0027】しかし、メモリセルアレイ部300は、所
定数のカラムごとに分割可能となっている点、従来のデ
ータレジスタ120が固定されたページ単位のデータを
保持するだけの容量を有していたのに対し、この実施の
形態ではメモリセルアレイの全カラムアドレスに対応し
た容量を有するページレジスタ310となっている点、
ページサイズの指定があったときに指定されなかった部
分をプログラム時にマスクするマスク発生部320、分
割ページの先頭アドレスを指定するためのポインタ33
0を有している点が従来と異なる。
【0028】さらに詳述すると、メモリセルアレイ30
0は横方向がNバイトのカラムアドレスで1つの単位と
なっており、これを4つ備えて全体では4Nバイトのカ
ラムアドレスを有している。一方、縦方向にはmのロウ
アドレスを有しているが、これは8ロウで構成されるN
AND束を1ブロックとしてその集合体である。
【0029】以下に示す本発明の実施の形態ではこの不
揮発性メモリはN=512バイト単位で最小512バイ
ト、最大2Kバイト(4N)のプログラムが可能である
ものとする。
【0030】以下、本発明にかかる不揮発性メモリの動
作を説明する。
【0031】図2はプログラム動作を説明する概略構成
図であり、図1から動作上必要のある構成要素のみを抽
出して表したものである。
【0032】入力されたコマンドはコマンドデコーダ2
30によりデコードされ、そのデコード結果は制御回路
200に与えられ、さらに制御回路200からカラムデ
コーダ130、ポインタ330、ロウデコーダ160、
および電圧発生回路240がそれぞれ駆動される。
【0033】図3は本発明において重要な、コマンド中
のページサイズ指定コマンドを示す図表である。このペ
ージサイズ指定コマンドはセットアップコマンドと称さ
れており、1バイトのサイズを有している。図3に示す
ようにA、B、C、D・・・がN、2N、4N、8N・
・・に対応しており2のべき乗の関係となっている。図
2ではメモリセルアレイは4Nのサイズを有しているた
め、セットアップコマンドとして指定されるのはA、
B、Cのいずれかであり、以下の説明ではセットアップ
コマンドはAであり、サイズNが指定されるものとして
説明する。
【0034】図4はプログラム動作の概略を示すシーケ
ンス説明図であり、左から右へ時間が進行するときにメ
モリ装置に対して与えられるコマンドやデータを示して
いる。また、図4中○印は原則として1バイト=8ビッ
トの情報量を示す。なお、ページモードの選択およびペ
ージ(ロウアドレス)の選択はすでに行われているもの
とする。
【0035】前述したように、セットアップコマンドに
よりページサイズが決まっているので、次にどの位置の
ページ単位をプログラム対象とするかを指定する。
【0036】このため、A0〜A7のカラムアドレスが
取り込まれるが、そのうちの上位2ビットはどのページ
部分がプログラム対象かを示すN選択データとなる。図
2では2番目のページ部分をプログラム対象ページ部分
としている。したがって、ポインタ330はこのN選択
データに基づいて選択されたページ部分の先頭アドレス
(ni )を出力する。したがって、カラムデコーダ13
0は指定された先頭アドレスのビット線からそのページ
部分の最終アドレス(ni+N )のビット線までを順次活
性化する。プログラム対象ページ部分のアドレス対応し
てプログラムデータが順次取り込まれ、ページレジスタ
310に格納される。
【0037】一方、制御回路200はマスク発生部22
0に対してプログラム対象でないページ部分についてマ
スキング指示を行う。すなわち、マスク発生部220は
図2における第1番目、第3番目、第4番目のページ部
分についてはすべてのアドレスに対しデータ“1”を発
生し、ページレジスタ310にセットする。
【0038】これらの準備が整った時点でプログラム実
行コマンド(10H)が与えられ、ページレジスタの内
容は選択ページの各アドレスに書き込まれる。この際、
すべてがデータ“1”となっているプログラム対象でな
いページ部分についてはプログラムが禁止されるので、
結局プログラム対象ページ部分のみにプログラムが行わ
れることになる。
【0039】なお、ページレジスタ310から選択ペー
ジのプログラム対象ページ部分へプログラムを行う際に
は図1には示されていないベリファイ手段を用いて、公
知の自動リードおよびベリファイ動作を行わせることに
より完全にプログラムができるまでプログラム動作が繰
り返される。
【0040】図5はリード動作の概略を示す概略構成図
であり、図2と同様に動作上必要のある構成要素のみを
抽出して表したものである。
【0041】基本的に図2の場合と同様であるので、詳
細な説明は省略するが、コマンドがリード命令であり、
そのために従来技術として前述したようにメモリの各部
分に印加される電圧が異なっている。
【0042】図6はリードコマンドにおけるページサイ
ズ指定コマンドを示す図表である。このページサイズ指
定はプログラム時のページサイズ指定コマンドに良く似
ており、a、b、c、d・・・がページサイズN、2
N、4N、8N・・・に対応しており2のべき乗の関係
となっている。
【0043】図5と図2は対応しているので、ページサ
イズ指定コマンドはサイズNを指定するaであり、指定
ページ部分は4分割中の第2の部分となる。
【0044】図7はリード動作の概略を示すシーケンス
説明図であり、図4の場合と同様に左から右へ時間が進
行するときにメモリ装置に対して与えられるコマンドや
データを示しており、ページモードの選択およびページ
(ロウアドレス)の選択はすでに行われているものとす
る。
【0045】読み出すページ単位はNであるので、どの
位置のページ単位をリード対象とするかを指定するため
に、A0〜A7のカラムアドレスが取り込まれるが、そ
のうちの上位2ビットはどのページ部分がプログラム対
象かを示すN選択データとなる。図2では2番目のペー
ジ部分をプログラム対象ページ部分としている。したが
って、ポインタ330はこのN選択データに基づいて選
択されたページ部分の先頭アドレス(ni )を決定す
る。
【0046】プログラム動作の場合と異なり、リード動
作にあってはぺ一ジアドレスをインクリメントしながら
メモリセルからの読み出しが行われるので、選択ページ
(行)に属するすべてのメモリセルのデータはページレ
ジスタに転送される。そしてこのページレジスタに格納
されたデータのうち、先に求めておいた選択されたペー
ジ部分に属するアドレスni からni+N までのデータが
出力部からシリアルに出力されることになる。
【0047】以上の実施の形態においては、メモリセル
アレイとしてNAND型のものを用いたが、他の形式の
メモリセル、例えば多層多結晶シリコンや強誘電体膜を
用いたものであっても良い。
【0048】また、メモリ装置を構成するデコーダ、レ
ジスタ等は公知のあらゆる形式の者を用いることができ
る。
【0049】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ページ
サイズをコマンドに基づいて変更可能にしているので、
画像や音声のような大容量データを扱うファイル装置に
応用した場合でもページサイズを大きく設定することに
より、高速のプログラムが可能となり、装置全体の動作
時間の短縮化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる不揮発性メモリの一実施形態の
概略構成を示すブロック図である。
【図2】図1に示した不揮発性メモリにおけるプログラ
ム動作の説明図である。
【図3】プログラムコマンド中のページサイズ指定コマ
ンドを示す図表である。
【図4】プログラム時に不揮発性メモリに与えられるコ
マンド、アドレス、データを示すシーケンス図である。
【図5】図1に示した不揮発性メモリにおけるリード動
作の説明図である。
【図6】リードコマンド中のページサイズ指定コマンド
を示す図表である。
【図7】リード時に不揮発性メモリに与えられるコマン
ド、アドレス、データを示すシーケンス図である。
【図8】従来の不揮発性メモリの一例を示すブロック図
である。
【図9】8NANDセルの一例を示す回路図である。
【図10】セルの記憶データによる閾値の分布を示すグ
ラフである。
【図11】セルへのデータ書き込みを示す説明図であ
る。
【図12】セルからのデータ消去を示す説明図である。
【図13】典型的なメモリセルアレイの例を示す説明図
である。
【図14】データプログラム動作を示す説明図である。
【図15】データリード動作を示す説明図である。
【符号の説明】
100,300 メモリセルアレイ 110 センスアンプ 120 データレジスタ 130 カラムデコーダ 140 カラムアドレスバッファ 200 制御回路 210 入出力バッファ 220 コマンドレジスタ 230 コマンドデコーダ 240 電圧発生回路 310 ページレジスタ 320 マスク発生部 330 ポインタ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の不揮発性メモリセルがマトリクス状
    に配設されたメモリセルアレイと、制御コマンドをデコ
    ードするコマンドデコード手段と、前記コマンドデコー
    ド手段の出力に基づいて選択された行に属する所定数の
    複数のメモリセルについて順次レジスタとの間でデータ
    をシリアル転送してページ単位のプログラムおよび読み
    出しを行う不揮発性半導体メモリにおいて、 前記レジスタは通常のページ単位の整数倍のデータ保持
    領域を有するページレジスタであり、 前記コマンドデコード手段によるデコード結果に基づ
    き、プログラム単位を指定するコマンドが含まれている
    ときには前記所定数を指定されたページ単位にする制御
    手段とを備えたことを特徴とする不揮発性半導体メモ
    リ。
  2. 【請求項2】前記ページレジスタは通常のページ単位の
    2のべき乗のサイズを有し、前記プログラム単位は前記
    ページレジスタのサイズの範囲内で通常のページ単位の
    2のべき乗倍として指定されることを特徴とする請求項
    1に記載の不揮発性半導体メモリ。
  3. 【請求項3】前記ページレジスタ内のプログラム部分以
    外のアドレスにプログラムを禁止するデータを書き込む
    マスク発生手段をさらに備えた請求項1に記載の不揮発
    性半導体メモリ。
  4. 【請求項4】前記プログラムを禁止するデータはオール
    “1”データであることを特徴とする請求項3に記載の
    不揮発性半導体メモリ。
  5. 【請求項5】前記制御コマンドは、プログラム単位を指
    定するコマンド部分を含み、前記コマンドデコーダは前
    記プログラム単位を指定するコマンド部分のデコード結
    果を前記マスク発生手段に与えることを特徴とする請求
    項3に記載の不揮発性半導体メモリ。
  6. 【請求項6】複数の不揮発性メモリセルがマトリクス状
    に配設されたメモリセルアレイと、 プログラム単位を指定する部分を含む制御コマンドをデ
    コードするコマンドデコード手段と、 カラムアドレスデータをデコードして前記メモリセルア
    レイのビット線を活性化するカラムアドレスデコード手
    段と、 ロウアドレスデータをデコードして前記メモリセルアレ
    イのワード線を活性化するロウアドレスデコード手段
    と、 前記デコード回路の出力に基づいて選択された行に属す
    る所定数の複数のメモリセルについてプログラムデータ
    および読み出しデータを保持し、通常のページ単位の整
    数倍のサイズを有するページレジスタと、 前記コマンドデコード手段によるデコード結果に基づ
    き、プログラム単位を指定するコマンドが含まれている
    ときには前記所定数を指定されたページ単位として、プ
    ログラムおよび読み出しの制御を行う制御手段と、 指定されたページ単位の開始アドレスを指定するポイン
    タ手段と、 データ書き込み、読み出しに必要な電圧を発生する電圧
    発生手段と、 前記指定されたプログラム単位が前記ページレジスタの
    一部であるときには、プログラム単位外のページレジス
    タアドレスにプログラムを禁止するデータを書き込むマ
    スク発生手段と、 読み出し時に読み出しデータをセンスするセンス手段と
    を備えた不揮発性半導体メモリ。
  7. 【請求項7】前記メモリセルは、チャネルと制御ゲート
    間に浮遊ゲートを有する複数個のセルがビット線とグラ
    ンド間に直列接続されたNAND束をなすNAND型メ
    モリセルアレイをなすことを特徴とする請求項6に記載
    の不揮発性半導体メモリ。
  8. 【請求項8】前記制御コマンドは、ページサイズを指定
    するセットアップコマンド、カラムアドレス指定、ペー
    ジ位置指定コマンドを少なくとも含むことを特徴とする
    請求項6に記載の不揮発性半導体メモリ。
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