JPH1116489A - 画像表示装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 画像表示パネルの真空引きのときに予めゲッ
ターを空焼きして内部ガスを放出させ、不活性ガス導入
封止後に、このゲッターを加熱し、活性化することによ
り、画像表示パネル内の不純物ガスを吸収させ、パネル
内に不純物ガスを残留させないようにする。 【解決手段】 ＰＤＰパネル６にチップ排気管９を形成
する工程と、このＰＤＰパネル６のチップ排気管９内に
ゲッターＡ’ＳＳＹ５を組み入れる工程と、このゲッタ
ーＡ’ＳＳＹ５を空焼きしながらＰＤＰパネル６を真空
引きする工程と、真空引きされたＰＤＰパネル６に不活
性ガス１０７を導入する工程と、不活性ガス導入後のＰ
ＤＰパネル６のゲッターＡ’ＳＳＹ５を含むチップ排気
管９の途中でガス封止切りする工程と、ガス封止された
ＰＤＰパネル６のチップ排気管９内のゲッターＡ’ＳＳ
Ｙ５を加熱しながら該ゲッターＡ’ＳＳＹ５を活性化す
る工程とを有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はプラズマアドレス
液晶表示装置やプラズマ表示装置等に適用して好適な画
像表示装置及びその製造方法に関する。更に詳しくは画
像表示パネルの真空引きのときに予めゲッターを空焼き
して内部のガスを放出させ、その後の画像表示パネルの
不活性ガス導入封止後に、外部からゲッターを局部的に
加熱しながら活性化することにより、画像表示パネル内
の水分や、窒素ガス、炭酸ガス（以下不純物ガスとい
う）等を吸収させ、パネル内に不純物ガスを残留させな
いようにした画像表示装置及びその製造方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年、陰極線管（ＣＲＴ）に比べて奥行
きが短いプラズマアドレス液晶表示装置（Ｐlasma Ａdd
ress Ｌiquid Ｃrystal Ｄisplay；以下ＰＡＬＣパネル
ともいう）やプラズマ表示装置（Ｐlasma Ｄisplay Ｐa
nnel；以下ＰＤＰパネルともいう）が開発されている。

【０００３】例えばＰＤＰパネルでは２枚のガラス基板
の一方の面にそれぞれ電極が形成され、放電ギャップ
（プラズマ放電させる電極間の距離）を保った状態で電
極形成面が対向され、その２枚の基板端部周囲にスペー
サを挟んで接着するようにして密封された後、そのフラ
ットパネルが真空引きされ、Ｎｅ、ＡｒやＫｒ等の不活
性ガスが導入される。

【０００４】このようなフラットパネルでは放電ギャッ
プが２００〜３００μｍ程度と小さいため、スパッタイ
オンポンプや、ターボポンプ、ロータリーポンプ等を用
いた真空引きだけでは、到達真空度に限界があり、不活
性ガス封入後も不純物ガスが画像表示パネル内に残留す
る。そこで、パネル内に残留した不純物ガスをゲッター
によって吸収するゲッタリング工程が採用される。

【０００５】このゲッタリング工程では、まず、乾燥容
器や窒素ボックス等の中で保管されたＺｒＡｌ（ジルコ
ニウムアルミニウム）合金などのゲッターが画像表示パ
ネルに形成されたゲッター溜りの途中に組み入れられ、
その後、ロータリポンプや、ターボポンプ、イオンポン
プ等を用いて画像表示パネルが真空引きされる。真空引
き後の画像表示パネルには不活性ガスが導入され、ガス
導入後の画像表示パネルがガス封止切りされる。ガス封
止されたチップ管内のゲッターは加熱されて活性化され
る。

【０００６】これにより、スパッタイオンポンプや、タ
ーボポンプ、ロータリーポンプ等で真空引きできなかっ
た放電ギャップが２００〜３００μｍ程度のフラットパ
ネルでも、パネル内に残留した不純物ガスをゲッターに
よって吸収できるという特徴を有している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、乾燥容
器や窒素ボックス等の中でゲッターが保管されているた
め、不本意にゲッターに含まれた水分、窒素ガス、炭酸
ガス等がゲッタリング工程の際に活性化され、放出ガス
となって画像表示パネル内に拡散してしまう場合が多く
なる。

【０００８】ここで拡散された放出ガスは画像表示パネ
ル内に元々残留していたガスと共にゲッターで吸収され
るが、ゲッター自身が放出したガスを再吸収した分だ
け、そのゲッターのガス吸収能力が低下してしまう、い
わゆる、自家中毒と呼ばれる現象を引き起こす。

【０００９】この現象によって、ゲッターからの放出ガ
スが画像表示パネル内に残留してしまい、この放出ガス
によって画像表示パネルが異常放電を起こしたり、電極
がスパッタされて電極劣化が速められたりする。従っ
て、画像表示パネルの長寿命化の妨げとなったり、その
信頼性や表示品質の低下につながるという問題がある。

【００１０】本発明は上記した課題に鑑み創作されたも
のであり、画像表示パネルの真空引きのときに予めゲッ
ターを空焼きして内部ガスを放出させ、不活性ガス導入
封止後に、このゲッターを加熱しながら活性化すること
により、画像表示パネル内の不純物ガスを吸収させ、パ
ネル内に不純物ガスを残留させないようにした画像表示
装置及びその製造方法を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明に係る画像表示
装置の製造方法では、画像表示パネル内にゲッターを組
み入れる工程と、このゲッターを空焼きしながら画像表
示パネルを真空引きする工程と、真空引きされた画像表
示パネルに不活性ガスを導入する工程と、不活性ガス導
入後の画像表示パネルをガス封止切りする工程と、ガス
封止された画像表示パネル内のゲッターを加熱しながら
該ゲッターを活性化する工程とを有しているものであ
る。

【００１２】本発明に係る画像表示装置の製造方法で
は、画像表示パネルに組み入れられたゲッターを、画像
表示パネルの不活性ガス導入封止前の真空引きのときに
空焼きしてガスを放出したので、そのゲッターを不活性
ガス導入封止後に加熱しながら活性化することにより、
従来のゲッタリング工程に比べて自己が放出したガスよ
りも、数倍も多い水分、窒素ガス、炭酸ガス等の不純物
ガスを画像表示パネルから吸収できる。

【００１３】従って、これら不純物ガスを画像表示パネ
ル内から一掃できるので、上記の不純物ガスを原因とす
る従来のような異常放電が無くなり、スパッタによる電
極劣化も無くなって電極寿命も伸びることから、画像表
示装置の長寿命化を図ることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながらこの発
明の実施の形態について説明をする。

【００１５】図１は本発明の実施の形態としての画像表
示装置の製造方法に使用する製造装置の構成例を示す図
である。

【００１６】本実施の形態では画像表示パネルの真空引
きのときに予めゲッターを空焼きし、そのゲッターに、
不活性ガス導入封止後の画像表示パネル内の水分や、窒
素ガス、炭酸ガス（以下不純物ガスという）等を吸収さ
せることにより、パネル内に不純物ガスを残留させない
ようにした。

【００１７】画像表示装置の一例となるプラズマディス
プレイパネル（以下ＰＤＰパネルという）６の製造方法
について説明する。例えば、ＰＤＰパネル６の真空引
き、不活性ガス導入封止切り及びゲッタリング処理に使
用する装置は、図１に示すようにＰＤＰパネル６のチッ
プ排気管９に継ぎ手１０１が接続される。この継ぎ手１
０１には分岐管１０３が配管され、真空引き管路１０２
Ａとガス導入管路１０２Ｂに分岐される。

【００１８】真空引き管路１０２Ａの先端にはメインバ
ルブ１０３が接続され、排気動作がオン・オフされる。
このメインバルブ１０３には排気装置１０４が接続さ
れ、ＰＤＰパネル６が排気される。排気装置１０４とし
てはロータリポンプ及びイオン拡散ポンプまたはターボ
ポンプとを使用する。

【００１９】ガス導入管路１０２Ｂの先端にはサブバル
ブ１０５が接続され、ガス導入動作がオン・オフされ
る。このサブバルブ１０５にはガスボンベ１０６が接続
され、Ｎｅや、Ａｒ、Ｋｒ等の不活性ガス１０７が導入
される。

【００２０】ＰＤＰパネル６のチップ排気管９の外側に
は加熱手段１０が設けられ、チップ排気管９内に組み入
れられたゲッター組み立て体（以下ゲッターＡ’ＳＳＹ
という）５が加熱される。加熱手段１０としては、炉、
電気封止治具、高周波誘導加熱等を使用する。

【００２１】ＰＤＰパネル６は図２に示すようなフラッ
トパネル構造を有している。上部ガラス基板１１の一方
の面には蛍光体１２と透明の表示電極１３とが積層して
形成され、下部ガラス基板１４の一方の面にはアノード
電極１５Ａ、１５Ｂ，１５Ｃ・・・、カソード電極１６
Ａ、１６Ｂ・・・が形成される。これらの電極形成面が
対向され、セルスペーサ１７を挟んで放電ギャップ（プ
ラズマ放電させる電極間の距離）が一定に保たれた状態
で、この２枚の基板１２、１４が接着されて密封され
る。

【００２２】セルスペーサ１７には隔壁１７Ａ、１７Ｂ
・・・が形成され、この隔壁１７Ａ、１７Ｂ・・・によ
って表示画素を構成する放電チャネルが区分けされる。
この区分けによって生じた放電チャネルはＰＤＰパネル
６の排気口（図示せず）に接続される。このＰＤＰパネ
ル６の排気口とチップ排気管９とをフリットガラス８に
より溶接する。

【００２３】次に、電極形成工程等が済んだＰＤＰパネ
ル６のチップ排気管９内にゲッターＡ’ＳＳＹ５を組み
入れる。このゲッターＡ’ＳＳＹ５を構成する単体のゲ
ッター１はＺｒＡｌ（ジルコニウムアルミニウム）合金
やＭｇＡｌ（マグネシウムアルミニウム）合金、それら
の粉末状体などからなる。ゲッター単体では図３に示す
ようにリング状を成しており、厚みｔが１ｍｍ程度であ
り、外径Ｄ１が６ｍｍ程度であり、内径Ｄ２が４ｍｍ程
度である。

【００２４】このようなゲッター１は流通過程において
缶詰または窒素を封入したコンテナによって搬送された
り保管されているが、ゲッター製造後はガス吸収能力低
下を抑えるために真空密封保管することが望ましい。従
って、購入後はゲッター１を真空中で空焼きして真空デ
シケータや真空封止容器に移して保管する。空焼き後の
ゲッターを耐熱性の真空容器に入れて保管してもよい。
大気中に曝す機会をなるべく少なくすることで、ゲッタ
ー１のガス吸収能力の低下が抑えられる。また、耐熱性
の真空容器に入れて保管するようにした場合には、真空
容器に入れたままのゲッター１をそのままプリベーク処
理することができ、作業を軽減できる。

【００２５】ゲッターＡ’ＳＳＹ５は次のように形成す
る。まず、真空封止容器からゲッター１を取り出して、
図４に示すようにゲッター１を組み立てる。組み立て作
業は真空中で行うことが好ましいが、現状では乾燥雰囲
気の大気中もしくは不活性ガス雰囲気中で行われる。

【００２６】ゲッター１の数はＰＤＰパネル６の大きさ
にもよるが、例えば、２０〜３０インチ程度のパネルで
はゲッター１を１０個積み重ね、この１０個のゲッター
１を金属性の支持体２Ａ〜２Ｄによって４箇所で溶接す
ることにより一体化する。各々の支持体２Ａ〜２Ｄは上
部折曲げ部３Ａ〜３Ｄと下部折曲げ部４Ａ〜４Ｄとを有
し、上部折曲げ部３Ａ〜３Ｄ、下部折曲げ部４Ａ〜４Ｄ
は図１に示したようにチップ排気管９中に留まるように
するため、弾性を持たせたバネ構造にする。これによ
り、本実施の形態では高さｈが２０ｍｍ程度で、一辺の
長さｌが１０〜１４ｍｍ程度で上部折曲げ部３Ａ〜３
Ｄ、下部折曲げ部４Ａ〜４Ｄが外側に広がったゲッター
Ａ’ＳＳＹ５が完成する。

【００２７】完成したゲッターＡ’ＳＳＹ５をＰＤＰパ
ネル６の排気口に近いチップ排気管９内に組み入れる。
チップ排気管９の口径ｄは図１に示すように、ＰＤＰパ
ネル６の大きさにもよるが、２０〜３０インチ程度のパ
ネルで１０〜１４ｍｍ程度である。支持体２Ａ〜２Ｄは
ゲッターＡ’ＳＳＹ５を保持した状態でＰＤＰパネル６
の排気口から２０ｍｍ程度の位置であって、チップ排気
管９中に留まるように配置する。

【００２８】その後、チップ排気管９を継ぎ手１０１に
接続し、メインバルブ１０３をオン（開く）し、サブバ
ルブ１０５をオフ（閉じる）し、ゲッターＡ’ＳＳＹ５
を空焼きしながらＰＤＰパネル６を真空引きする。この
とき、ゲッターＡ’ＳＳＹ５をチップ排気管９の外部か
ら加熱手段１０により加熱しながら排気装置１０４によ
りＰＤＰパネル６を排気する。加熱温度は３００〜６０
０゜Ｃ程度で、加熱時間は５〜７分程度である。この加
熱処理は繰り返し行ってもよい。

【００２９】図５はＺｒＡｌ合金を使用したゲッター
Ａ’ＳＳＹ５を真空中で空焼きしたときの特性図であ
る。縦軸は排気装置の真空度（Ｔorr）であり、横軸は
加熱時間（分）である。この特性図によれば、ゲッター
Ａ’ＳＳＹ５を空焼きし始めてから１．５分を経過する
と、ゲッターＡ’ＳＳＹ５からガスが出始め、２．５分
で真空度が最大値に達し、６分を経過するころにはガス
がほぼ出き切っている。図５の中で斜線で示した部分が
放出ガス量の目安となる。

【００３０】ＰＤＰパネル６の真空引き及びゲッター
Ａ’ＳＳＹ５の空焼きが終了したら、次にＰＤＰパネル
６に不活性ガス１０７を導入する。このとき、図１に示
すようにメインバルブ１０３をオフ（閉じる）し、サブ
バルブ１０５をオン（開く）する。このときに、加熱手
段１０によってゲッターＡ’ＳＳＹ５を加熱してもよ
い。

【００３１】その後、不活性ガス導入後のＰＤＰパネル
６のゲッターＡ’ＳＳＹ５を含むチップ排気管９の途中
でガス封止切りする。ガス封止切りはチップ排気管９を
７００〜８００゜Ｃ程度に加熱溶融することにより行
う。封止切り後の形状７を図１の破線で示している。

【００３２】その後、ガス封止されたＰＤＰパネル６の
チップ排気管９内のゲッターＡ’ＳＳＹ５を活性化す
る。加熱温度は７００〜９００゜Ｃ程度で、加熱時間は
１０分程度である。この活性化により、ＰＤＰパネル６
から不純物ガスがゲッターＡ’ＳＳＹ５に吸収されてゲ
ッタリング処理が完了する。

【００３３】このように、本実施の形態の画像表示装置
の製造方法によれば、ＰＤＰパネル６のチップ排気管９
内に組み入れられたゲッターＡ’ＳＳＹ５を、ＰＤＰパ
ネル６の不活性ガス導入封止前の真空引きのときに空焼
きして不純物ガスを放出したので、そのゲッターＡ’Ｓ
ＳＹ５を不活性ガス導入封止後に加熱しながら活性化す
ることにより、従来のゲッタリング工程に比べて自己が
放出したガスを吸収することがなく、従来よりも多量水
分、窒素ガス、炭酸ガス等の不純物ガスをＰＤＰパネル
６から吸収できる。

【００３４】従って、これら不純物ガスをＰＤＰパネル
６内から従来よりも減少できるので、従来のような不純
物ガスを原因とする異常放電が少なくなり、しかも、ス
パッタによる電極劣化も少なくなって電極寿命も伸びる
ことから、ＰＤＰパネル６の長寿命化を図ることができ
る。

【００３５】これにより、高信頼度かつ高表示品質のプ
ラズマディスプレイ装置を製造することができる。この
プラズマディスプレイ装置は不活性ガス１０７が封じ込
まれたＰＤＰパネル６と、このＰＤＰパネル６に付随し
て形成されたチップ排気管９（ゲッター収納部）と、こ
のチップ排気管９内に組み入れられたゲッターＡ’ＳＳ
Ｙ５とを備え、このゲッターＡ’ＳＳＹ５は、ＰＤＰパ
ネル６の不活性ガス導入封止前の真空引きのときに加熱
されてガス出しされたものであって、不活性ガス導入封
止後に加熱されて活性化されたものである。

【００３６】プラズマディスプレイ装置の動作原理を以
下に説明する。図２に示した所定の放電チャネルに対応
するアノード電極１５Ａとカソード電極１６Ａとの間に
所定電圧（アドレス電圧）が印加されると、その放電チ
ャネル部分のガスが選択的にイオン化されて小規模なプ
ラズマ放電を起こす。その内部ではアノード電位による
放電維持に必要な壁電荷が保持される。この状態で表示
電極１３にデータ電圧が印加されると、その放電チャネ
ルに対応する壁電荷によって表示電極１３とカソード電
極１６Ａとの間で大規模なプラズマ放電が発生し、この
プラズマ放電による光は蛍光体１２を介して発光する。
これにより、画素単位に表示ができる。放電チャネルを
順次走査することで二次元画像表示ができる。

【００３７】本実施の形態では画像表示装置としてＰＤ
Ｐパネル６の場合について説明したが、プラズマアドレ
ス液晶表示パネル（ＰＡＬＣパネル）の場合にも同様な
効果が得られる。

【００３８】ＰＡＬＣパネル１００は図６に示すように
液晶表示セル２０と、プラズマセル３０と、それらの間
に介在する誘電体シート２３を積層したフラットパネル
構造を有している。誘電体シート２３は薄板ガラス等で
構成される。液晶表示セル２０は透明基板２１を用いて
構成される。透明基板２１の一方の面には所定の間隔を
保持してデータ電極２２が設けられる。透明基板２１は
図示しないがスペーサによって所定間隔を保持して誘電
体シート２３に接合される。透明基板２１と誘電体シー
ト２３との間には液晶が充填されて液晶層２４が形成さ
れる。

【００３９】一方、プラズマセル３０はガラス基板３１
を用いて構成される。ガラス基板３１の内側には複数の
溝部３２が並列に形成される。各溝部３２は誘電体シー
ト２３で密封されており、個々に分離された溝部３２が
放電チャネル（プラズマ室）を構成する。放電チャネル
にはＮｅ、ＡｒやＫｒ等の不活性ガスが導入される。溝
部３２の底部にはプラズマ電極を構成する互いに平行な
アノード電極３３及びカソード電極３４が溝部３２に沿
って設けられる。

【００４０】この溝部３２がＰＡＬＣパネル１００の排
気口（図示せず）に接続される。このＰＡＬＣパネル１
００の排気口と図１に示したようなチップ排気管９とが
フリットガラスにより溶接される。

【００４１】ＰＡＬＣパネルの動作原理を以下に説明す
る。所定の放電チャネルに対応するアノード電極３３と
カソード電極３４との間に所定電圧（アドレス電圧）が
印加されると、その放電チャネル部分のガスが選択的に
イオン化されてプラズマ放電を発生する。その内部はア
ノード電位に維持される。この状態でデータ電極２２に
データ電圧が印加されると、その放電チャネルに対応し
て列方向に並ぶ複数の画素の液晶層２４に誘電体シート
２３を介してデータ電圧が書き込まれる。

【００４２】プラズマ放電が終了すると、放電チャネル
は浮遊電位となり、各画素の液晶層２４に書き込まれた
データ電圧は次の書き込み期間（１フレーム後）まで保
持される。この場合、放電チャネルはサンプリングスイ
ッチとして機能し、各画素の液晶層２４はキャパシタと
して機能する。従って、各画素の液晶層２４に書き込ま
れたデータ電圧によって液晶が動作することから、パネ
ル下部に設けられたバックライトからの光を透過するこ
とにより画素単位に表示ができる。放電チャネルを順次
走査することで二次元画像表示ができる。

【００４３】本実施の形態ではチップ排気管９内にゲッ
ターＡ’ＳＳＹ５を組み入れる場合について説明した
が、ＰＤＰパネル６やＰＡＬＣパネル１００の電極形成
工程等において、ゲッター溜まり（ゲッター収納部）を
形成し、その中にゲッタータＡ’ＳＳＹ５を予め組み入
れて置き、真空引き及びガス封止切り工程が済んだ後
に、外部から加熱してそのゲッターＡ’ＳＳＹ５を活性
化してもよい。これによっても同様な効果が得られる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る画像
表示装置の製造方法によれば、画像表示パネルに組み入
れられたゲッターを、画像表示パネルの不活性ガス導入
封止前の真空引きのときに空焼きしてガスを放出したの
で、そのゲッターを不活性ガス導入封止後に加熱しなが
ら活性化することにより、従来のゲッタリング工程に比
べて自己が放出したガスを吸収することがなく、従来よ
りも多量の水分、窒素ガス、炭酸ガス等の不純物ガスを
画像表示パネルから吸収できる。

【００４５】従って、これら不純物ガスを画像表示パネ
ル内から従来比で減少させ得るので、上記の不純物ガス
を原因とする従来のような異常放電が無くなり、スパッ
タによる電極劣化も無くなって電極寿命も伸びることか
ら、画像表示装置の長寿命化を図ることができる。

【００４６】このような画像表示装置の製造方法はプラ
ズマアドレス液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置
等の製造に適用して極めて効果が大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態としての画像表示装置の製造方法で
使用する製造装置の構成例を示す図である。

【図２】ＰＤＰパネル６の構成例を示す図である。

【図３】ＰＤＰパネル６のゲッタリングに使用するゲッ
ターの外観図である。

【図４】ゲッターＡ’ＳＳＹ５の組み立て時の説明図で
ある。

【図５】ゲッターＡ’ＳＳＹ５の真空中空焼き時の特性
図である。

【図６】ＰＡＬＣパネル１００の構成例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１・・・ゲッター、２Ａ〜２Ｄ・・・金属性の支持体、
３Ａ〜３Ｄ・・・上部折曲げ部、４Ａ〜４Ｄ・・・下部
折曲げ部、５・・・ゲッターＡ’ＳＳＹ、６・・・ＰＤ
Ｐパネル（画像表示パネル）、７・・・ガス封止切り後
の形状、８・・・フリットガラス、９・・・チップ排気
管、１０・・・加熱手段、１１・・・上部ガラス基板、
１２・・・蛍光体、１３・・・表示電極、１４・・・下
部ガラス基板、１５Ａ〜１５Ｃ，３３・・・アノード電
極、１６Ａ，１６Ｂ，３４・・・カソード電極、１７・
・・セルスペーサ、１８，１０７・・・不活性ガス、２
０・・・液晶表示セル、３０・・・プラズマセル、２１
・・・透明基板、２２・・・データ電極、２３・・・誘
電体シート、２４・・・液晶層、３１・・・ガラス基
板、３２・・・溝部（放電チャネル）、１００・・・Ｐ
ＡＬＣパネル（画像表示パネル）、１０１・・・継ぎ
手、１０２・・・分岐管、１０２Ａ・・・真空引き管
路、１０２Ｂ・・・ガス導入管路、１０３・・・メイン
バルブ、１０４・・・排気装置、１０５・・・サブバル
ブ、１０６・・・ガスボンベ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 画像表示パネル内にゲッターを組み入れ
   る工程と、 前記ゲッターを空焼きしながら前記画像表示パネルを真
   空引きする工程と、 真空引きされた前記画像表示パネルに不活性ガスを導入
   する工程と、 不活性ガス導入後の前記画像表示パネルをガス封止切り
   する工程と、 ガス封止された前記画像表示パネル内のゲッターを加熱
   しながら該ゲッターを活性化する工程とを有しているこ
   とを特徴とする画像表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】 画像表示パネルに排気管を形成する工程
   と、 前記画像表示パネルの排気管内にゲッターを組み入れる
   工程と、 前記ゲッターを空焼きしながら前記画像表示パネルを真
   空引きする工程と、 真空引きされた前記画像表示パネルに不活性ガスを導入
   する工程と、 不活性ガス導入後の前記画像表示パネルのゲッターを含
   む排気管の途中でガス封止切りする工程と、 ガス封止された前記画像表示パネルの排気管内のゲッタ
   ーを加熱しながら該ゲッターを活性化する工程とを有し
   ていることを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置
   の製造方法。
3. 【請求項３】 前記画像表示パネルに組み入れるゲッタ
   ーを真空容器または耐熱性の真空容器に入れて保管する
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の画像表
   示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 不活性ガスが封じ込まれた画像表示パネ
   ルと、 前記画像表示パネルに付随して形成されたゲッター収納
   部と、 前記ゲッター収納部内に組み入れられたゲッターとを備
   え、 前記ゲッターは、 前記画像表示パネルの不活性ガス導入封止前の真空引き
   のときに加熱されてガス出しされたものであって、不活
   性ガス導入封止後に加熱されて活性化されたものである
   ことを特徴とする画像表示装置。