JPH11167067A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
顕微鏡対物レンズInfo
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- JPH11167067A JPH11167067A JP9332202A JP33220297A JPH11167067A JP H11167067 A JPH11167067 A JP H11167067A JP 9332202 A JP9332202 A JP 9332202A JP 33220297 A JP33220297 A JP 33220297A JP H11167067 A JPH11167067 A JP H11167067A
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- pair
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Abstract
(57)【要約】
【課題】紫外線領域から可視光線領域までの波長範囲に
渡って諸収差特に色収差を良好に補正し、接着剤の劣化
の無い顕微鏡対物レンズを提供する。 【解決手段】物体側から遠い側に配置され、全体が負の
屈折力を有し、単レンズのみで構成された第１レンズ群
Ｇ１と、物体側から近い側に配置され、全体が正の屈折
力を有し、単レンズのみで構成され、正レンズと負レン
ズとを空気間隔ｓを隔てて構成し且つ所定の条件を満足
したレンズ対Ｐを少なくとも１組以上有し、レンズ対Ｐ
を構成するレンズ以外に少なくとも１枚以上の単独の正
レンズ及び少なくとも１枚以上の単独の負レンズを有す
る第２レンズ群Ｇ２と、を含む顕微鏡対物レンズを提供
する。
渡って諸収差特に色収差を良好に補正し、接着剤の劣化
の無い顕微鏡対物レンズを提供する。 【解決手段】物体側から遠い側に配置され、全体が負の
屈折力を有し、単レンズのみで構成された第１レンズ群
Ｇ１と、物体側から近い側に配置され、全体が正の屈折
力を有し、単レンズのみで構成され、正レンズと負レン
ズとを空気間隔ｓを隔てて構成し且つ所定の条件を満足
したレンズ対Ｐを少なくとも１組以上有し、レンズ対Ｐ
を構成するレンズ以外に少なくとも１枚以上の単独の正
レンズ及び少なくとも１枚以上の単独の負レンズを有す
る第２レンズ群Ｇ２と、を含む顕微鏡対物レンズを提供
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡対物レンズ
に関し、特に、無限遠補正型の顕微鏡対物レンズに関す
る。
に関し、特に、無限遠補正型の顕微鏡対物レンズに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来からの半導体素子の製造工程に用い
られる顕微鏡対物レンズは、大半が可視光線領域や赤外
線領域で使用されている。この場合は、主に、ＹＡＧレ
ーザ等を顕微鏡本体に搭載して、半導体ＩＣパターン上
の異物等にレーザ光を照射し、ＩＣパターンの回路の一
部を切断除去（リペア・マーキング）を行っている。
られる顕微鏡対物レンズは、大半が可視光線領域や赤外
線領域で使用されている。この場合は、主に、ＹＡＧレ
ーザ等を顕微鏡本体に搭載して、半導体ＩＣパターン上
の異物等にレーザ光を照射し、ＩＣパターンの回路の一
部を切断除去（リペア・マーキング）を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現在、
ＩＣパターン上の保護膜の硬化剤除去等という目的で、
リペア・マーキング時に紫外線を用いる加工が要求され
るようになっている。ところが、肉眼観察或いは可視光
線領域に感度特性を有するテレビカメラによる観察等を
行うと同時に、ＹＡＧレーザを利用した高調波等の紫外
線領域でＩＣパターン上の保護膜の硬化剤除去等を行う
場合には、次のような問題点が存在する。すなわち、可
視光線領域において結像条件を満たすように焦点合わせ
をしたとしても、紫外線領域では結像条件を満たさず、
そのために、ＹＡＧレーザを利用した高調波等のレーザ
スポットをＩＣパターンの正確な位置に照射することが
できない。あるいは、正確に照射するためには、肉眼で
見ることのできないＹＡＧレーザを利用した高調波等の
レーザスポットを数回照射して焦点合わせをしなければ
ならないという問題点が存在した。
ＩＣパターン上の保護膜の硬化剤除去等という目的で、
リペア・マーキング時に紫外線を用いる加工が要求され
るようになっている。ところが、肉眼観察或いは可視光
線領域に感度特性を有するテレビカメラによる観察等を
行うと同時に、ＹＡＧレーザを利用した高調波等の紫外
線領域でＩＣパターン上の保護膜の硬化剤除去等を行う
場合には、次のような問題点が存在する。すなわち、可
視光線領域において結像条件を満たすように焦点合わせ
をしたとしても、紫外線領域では結像条件を満たさず、
そのために、ＹＡＧレーザを利用した高調波等のレーザ
スポットをＩＣパターンの正確な位置に照射することが
できない。あるいは、正確に照射するためには、肉眼で
見ることのできないＹＡＧレーザを利用した高調波等の
レーザスポットを数回照射して焦点合わせをしなければ
ならないという問題点が存在した。
【０００４】また、紫外線領域を使用するということも
あって、接合レンズの接合面に使用する接着剤が劣化し
てしまうという問題も存在する。従って、本発明は、前
項の問題点に鑑み、紫外線領域から可視光線領域までの
波長範囲に渡って諸収差特に色収差を良好に補正し、接
着剤の劣化の無い顕微鏡対物レンズを提供することを目
的とする。
あって、接合レンズの接合面に使用する接着剤が劣化し
てしまうという問題も存在する。従って、本発明は、前
項の問題点に鑑み、紫外線領域から可視光線領域までの
波長範囲に渡って諸収差特に色収差を良好に補正し、接
着剤の劣化の無い顕微鏡対物レンズを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、物体側から
遠い側に配置され、全体が負の屈折力を有し、単レンズ
のみで構成された第１レンズ群Ｇ１と、物体側から近い
側に配置され、全体が正の屈折力を有し、単レンズのみ
で構成され、正レンズと負レンズとを空気間隔ｓを隔て
て構成したレンズ対Ｐを少なくとも１組以上有し、レン
ズ対Ｐを構成するレンズ以外に少なくとも１枚以上の単
独の正レンズ及び少なくとも１枚以上の単独の負レンズ
を有する第２レンズ群Ｇ２と、を含み、波長ｅ線におけ
るレンズ対Ｐの負レンズの屈折率とレンズ対Ｐの正レン
ズの屈折率との差が、０．０２４以上で、波長ｅ線にお
けるレンズ対Ｐの正レンズのアッベ数は、９５以上で、
波長ｅ線におけるレンズ対Ｐの負レンズのアッベ数は、
７０以下で、顕微鏡対物レンズの全長をｌとし、レンズ
対Ｐの空気間隔をｓとし、空気間隔をはさんで、レンズ
対Ｐの正レンズの曲率半径をｒ２ｐとし、レンズ対Ｐの
負レンズの曲率半径をｒ２ｎとしたとき、以下の条件を
満足する顕微鏡対物レンズを提供する。
遠い側に配置され、全体が負の屈折力を有し、単レンズ
のみで構成された第１レンズ群Ｇ１と、物体側から近い
側に配置され、全体が正の屈折力を有し、単レンズのみ
で構成され、正レンズと負レンズとを空気間隔ｓを隔て
て構成したレンズ対Ｐを少なくとも１組以上有し、レン
ズ対Ｐを構成するレンズ以外に少なくとも１枚以上の単
独の正レンズ及び少なくとも１枚以上の単独の負レンズ
を有する第２レンズ群Ｇ２と、を含み、波長ｅ線におけ
るレンズ対Ｐの負レンズの屈折率とレンズ対Ｐの正レン
ズの屈折率との差が、０．０２４以上で、波長ｅ線にお
けるレンズ対Ｐの正レンズのアッベ数は、９５以上で、
波長ｅ線におけるレンズ対Ｐの負レンズのアッベ数は、
７０以下で、顕微鏡対物レンズの全長をｌとし、レンズ
対Ｐの空気間隔をｓとし、空気間隔をはさんで、レンズ
対Ｐの正レンズの曲率半径をｒ２ｐとし、レンズ対Ｐの
負レンズの曲率半径をｒ２ｎとしたとき、以下の条件を
満足する顕微鏡対物レンズを提供する。
【０００６】 ０．０００１＜ｓ／ｌ＜０．０１ （１） ０．９５＜ｒ２ｐ／ｒ２ｎ＜１．０５ （２）
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明では、上述のように、全て
単レンズを用いている。従って、接着面が存在しないの
で、接着剤の劣化は無くなっている。また、レンズ対Ｐ
の屈折率差を０．０２４以上とし、レンズ対Ｐの正レン
ズのアッベ数を９５以上とし、レンズ対Ｐの負レンズの
アッベ数を７０以下とし、条件（１）及び（２）を満足
することで、球面収差等の単色収差と色収差とを同時に
良好に補正することが可能になる。
単レンズを用いている。従って、接着面が存在しないの
で、接着剤の劣化は無くなっている。また、レンズ対Ｐ
の屈折率差を０．０２４以上とし、レンズ対Ｐの正レン
ズのアッベ数を９５以上とし、レンズ対Ｐの負レンズの
アッベ数を７０以下とし、条件（１）及び（２）を満足
することで、球面収差等の単色収差と色収差とを同時に
良好に補正することが可能になる。
【０００８】もし、レンズ対Ｐの屈折率差を０．０２４
未満にすると、正レンズと負レンズとが向かい合った面
での曲率半径が小さくなり、高次の球面収差が発生し、
第１レンズ群で良好な収差の補正ができなくなる。特
に、紫外線領域で発生する高次の収差と可視光線領域で
発生する高次の収差とのバランスがくずれて、収差の補
正が極めて困難になる。
未満にすると、正レンズと負レンズとが向かい合った面
での曲率半径が小さくなり、高次の球面収差が発生し、
第１レンズ群で良好な収差の補正ができなくなる。特
に、紫外線領域で発生する高次の収差と可視光線領域で
発生する高次の収差とのバランスがくずれて、収差の補
正が極めて困難になる。
【０００９】また、レンズ対Ｐの正レンズのアッベ数を
９５未満にすると、紫外線領域と可視光線領域での各波
長の球面収差、コマ収差等の発生に多大なずれを生じ、
各波長の諸収差を同時に補正することが困難になる。更
に、正レンズと負レンズとのアッべ数の差が小さくな
り、色収差を除去しようとする場合に、正レンズと凹レ
ンズのパワーを強くしなければならず、球面収差、コマ
収差等の高次収差の発生を招くことになる。
９５未満にすると、紫外線領域と可視光線領域での各波
長の球面収差、コマ収差等の発生に多大なずれを生じ、
各波長の諸収差を同時に補正することが困難になる。更
に、正レンズと負レンズとのアッべ数の差が小さくな
り、色収差を除去しようとする場合に、正レンズと凹レ
ンズのパワーを強くしなければならず、球面収差、コマ
収差等の高次収差の発生を招くことになる。
【００１０】レンズ対Ｐの負レンズのアッベ数を７０よ
り大きくすると、正レンズのアッべ数と負レンズのアッ
べ数との差が小さくなって、前述したように高次収差の
発生を招く。尚、ここで、レンズ対Ｐの負レンズのアッ
ベ数を６７以上とすると、更に良い結果が得られる。そ
の理由は、レンズ対Ｐの負レンズのアッベ数を極端に小
さくしてしまうと、正レンズのアッベ数と負レンズのア
ッベ数との差が大きくなり、球面収差、コマ収差等の諸
収差の補正には有利になるが、負レンズの分散が大きく
なる。従って、波長による収差の差が大きくなり、同時
に収差を補正するのが困難になる。また、最短波長と最
長波長とで色収差を補正すると、中間波長の色収差が補
正されない等の不都合を招き良好な色収差補正ができな
くなる。
り大きくすると、正レンズのアッべ数と負レンズのアッ
べ数との差が小さくなって、前述したように高次収差の
発生を招く。尚、ここで、レンズ対Ｐの負レンズのアッ
ベ数を６７以上とすると、更に良い結果が得られる。そ
の理由は、レンズ対Ｐの負レンズのアッベ数を極端に小
さくしてしまうと、正レンズのアッベ数と負レンズのア
ッベ数との差が大きくなり、球面収差、コマ収差等の諸
収差の補正には有利になるが、負レンズの分散が大きく
なる。従って、波長による収差の差が大きくなり、同時
に収差を補正するのが困難になる。また、最短波長と最
長波長とで色収差を補正すると、中間波長の色収差が補
正されない等の不都合を招き良好な色収差補正ができな
くなる。
【００１１】上記（１）の条件及び（２）の条件は、色
収差を良好に補正するための条件であり、条件（１）を
満足しつつ、条件２を満足させるようにする。上記
（２）の条件は、第２レンズ群の前述の空気間隔の条件
で構成させたレンズ対Ｐの正レンズと負レンズの向かい
合わせた側の曲率半径の比を規定するものである。条件
（２）を満たすこと、つまり、レンズ対Ｐの正レンズと
負レンズの向かい合わせた側の曲率半径をほぼ同じ値に
することにより、色収差の補正及び各波長での球面収
差、コマ収差等の高次の収差を同時に補正することが可
能になる。条件（２）の上限を越えると、空気間隔が広
くなってしまい、良好な色収差補正ができなくなる。ま
た、条件（２）の下限を越えると、硝子同士が接触して
しまい、製造上無理なレンズ構成になってしまう。
収差を良好に補正するための条件であり、条件（１）を
満足しつつ、条件２を満足させるようにする。上記
（２）の条件は、第２レンズ群の前述の空気間隔の条件
で構成させたレンズ対Ｐの正レンズと負レンズの向かい
合わせた側の曲率半径の比を規定するものである。条件
（２）を満たすこと、つまり、レンズ対Ｐの正レンズと
負レンズの向かい合わせた側の曲率半径をほぼ同じ値に
することにより、色収差の補正及び各波長での球面収
差、コマ収差等の高次の収差を同時に補正することが可
能になる。条件（２）の上限を越えると、空気間隔が広
くなってしまい、良好な色収差補正ができなくなる。ま
た、条件（２）の下限を越えると、硝子同士が接触して
しまい、製造上無理なレンズ構成になってしまう。
【００１２】ここで、更に、レンズ対Ｐを３つ設け、３
つのレンズ対に条件（１）及び（２）を満足させること
が好ましい。この様にすることで、更に、色収差を良好
に補正した顕微鏡対物レンズを提供することができる。
また、本発明では、請求項３乃至７をそれぞれ満足する
こと、つまり、多数のレンズを用いることが好ましい。
多数のレンズを用いることで、球面収差や歪曲収差とい
った単色収差を良好に補正できる。
つのレンズ対に条件（１）及び（２）を満足させること
が好ましい。この様にすることで、更に、色収差を良好
に補正した顕微鏡対物レンズを提供することができる。
また、本発明では、請求項３乃至７をそれぞれ満足する
こと、つまり、多数のレンズを用いることが好ましい。
多数のレンズを用いることで、球面収差や歪曲収差とい
った単色収差を良好に補正できる。
【００１３】更に、紫外線の透過光量を増すために、石
英や蛍石を用いることが好ましい。
英や蛍石を用いることが好ましい。
【００１４】
【実施例】以下に図１を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。本発明に係る実施例は、倍率βが５０倍
で、焦点距離ｆが４．０ｍｍで、開口数Ｎ．Ａ．が０．
４で、作動距離Ｗ．Ｄ．が５．０ｍｍの顕微鏡対物レン
ズである。ここで、作動距離Ｗ．Ｄ．は、第２レンズ群
Ｇ２の最も物体側のレンズの面の頂点から物体面までの
距離である。また、倍率βは、焦点距離２００ｍｍの結
像レンズを付けたときの倍率である。
細に説明する。本発明に係る実施例は、倍率βが５０倍
で、焦点距離ｆが４．０ｍｍで、開口数Ｎ．Ａ．が０．
４で、作動距離Ｗ．Ｄ．が５．０ｍｍの顕微鏡対物レン
ズである。ここで、作動距離Ｗ．Ｄ．は、第２レンズ群
Ｇ２の最も物体側のレンズの面の頂点から物体面までの
距離である。また、倍率βは、焦点距離２００ｍｍの結
像レンズを付けたときの倍率である。
【００１５】第１レンズ群Ｇ１は、両凹負レンズＬ１と
両凹負レンズＬ２とで構成される。当然、第１レンズ群
Ｇ１の屈折力は、負である。第２レンズ群Ｇ２は、物体
面から遠い側から近い側に向かって順に、物体側に凸面
を向けたメニスカス形状の正レンズＬ３、物体側に凸面
を向けたメニスカス形状の正レンズＬ４、両凸正レンズ
Ｌ５、両凹負レンズＬ６、両凸正レンズＬ７、両凹負レ
ンズＬ８、両凸正レンズＬ９、両凸正レンズＬ１０と両
凹負レンズＬ１１とが空気間隔０．２ｍｍ離されて構成
された第１レンズ対Ｐ１、両凸正レンズＬ１２と両凹負
レンズＬ１３とが空気間隔０．２ｍｍ離されて構成され
た第２レンズ対Ｐ２、両凸正レンズＬ１４、両凸正レン
ズＬ１５、両凹負レンズＬ１６と両凸正レンズＬ１７と
が空気間隔０．２ｍｍ離されて構成された第３レンズ対
Ｐ３、両凹負レンズＬ１８、両凸正レンズＬ１９及び物
体側に凹面を向けたメニスカス形状の正レンズＬ２０と
から構成される。尚、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群
Ｇ２とは、最も大きい空気間隔によって分けられる。
両凹負レンズＬ２とで構成される。当然、第１レンズ群
Ｇ１の屈折力は、負である。第２レンズ群Ｇ２は、物体
面から遠い側から近い側に向かって順に、物体側に凸面
を向けたメニスカス形状の正レンズＬ３、物体側に凸面
を向けたメニスカス形状の正レンズＬ４、両凸正レンズ
Ｌ５、両凹負レンズＬ６、両凸正レンズＬ７、両凹負レ
ンズＬ８、両凸正レンズＬ９、両凸正レンズＬ１０と両
凹負レンズＬ１１とが空気間隔０．２ｍｍ離されて構成
された第１レンズ対Ｐ１、両凸正レンズＬ１２と両凹負
レンズＬ１３とが空気間隔０．２ｍｍ離されて構成され
た第２レンズ対Ｐ２、両凸正レンズＬ１４、両凸正レン
ズＬ１５、両凹負レンズＬ１６と両凸正レンズＬ１７と
が空気間隔０．２ｍｍ離されて構成された第３レンズ対
Ｐ３、両凹負レンズＬ１８、両凸正レンズＬ１９及び物
体側に凹面を向けたメニスカス形状の正レンズＬ２０と
から構成される。尚、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群
Ｇ２とは、最も大きい空気間隔によって分けられる。
【００１６】以下の表１に実施例の諸量を示す。表１中
で、ｎ＝ 1.43494が蛍石で、ｎ＝ 1.46012が石英を示し
ている。
で、ｎ＝ 1.43494が蛍石で、ｎ＝ 1.46012が石英を示し
ている。
【００１７】
【表１】 β ＝５０Ｘ ｆ ＝４．０ｍｍ Ｎ．Ａ．＝０．４ Ｗ．Ｄ．＝５．０ｍｍ 面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数 ｒ ｄ ｎ ν １ -13.249 1.3 1.43494 95.49 Ｌ１ Ｇ１ ２ 5.690 0.7 ３ -20.270 1.5 1.46012 68.09 Ｌ２ ４ 22.899 4.5 ５ -16.200 3.0 1.43494 95.49 Ｌ３ Ｇ２ ６ -13.130 0.3 ７ -26.787 3.0 1.46012 68.09 Ｌ４ ８ -8.549 0.3 ９ 239.120 3.0 1.43494 95.49 Ｌ５ １０ -27.500 0.5 １１ -36.119 I.5 1.46012 68.09 Ｌ６ １２ 10.612 1.0 １３ 18.350 3.0 1.43494 95.49 Ｌ７ １４ -22.088 1.0 １５ -12.354 1.5 1.46012 68.09 Ｌ８ １６ 21.600 1.5 １７ 23.580 4.0 1.43494 95.49 Ｌ９ １８ -22.565 0.2 １９ 18.750 4.0 1.43494 95.49 Ｌ１０ Ｐ１ ２０ -16.600 0.2 ２１ -16.385 1.5 1.46012 68.09 Ｌ１１ Ｐ１ ２２ 15.440 1.0 ２３ 16.869 4.0 1.43494 95.49 Ｌ１２ Ｐ２ ２４ -23.900 0.2 ２５ -25.000 2.3 1.46012 68.09 Ｌ１３ Ｐ２ ２６ 17.900 1.5 ２７ 32.000 4.6 1.43494 95.49 Ｌ１４ ２８ -17.300 0.2 ２９ 27.600 4.6 1.43494 95.49 Ｌ１５ ３０ -24.820 1.5 ３１ -18.228 2.3 1.46012 68.09 Ｌ１６ Ｐ３ ３２ 10.284 0.2 ３３ 10.130 4.0 1.43494 95.49 Ｌ１７ Ｐ３ ３４ -18.700 0.5 ３５ -20.640 1.5 1.46012 68.09 Ｌ１８ ３６ 78.547 0.15 ３７ 17.900 3.0 1.43494 95.49 Ｌ１９ ３８ -38.430 0.15 ３９ 8.056 3.0 1.46012 68.09 Ｌ２０ ４０ 13.000 本実施例で、レンズ対の負レンズの屈折率とレンズ対の
正レンズの屈折率との差は０．０２５で、レンズ対の正
レンズのアッベ数は９５．４９で、負レンズのアッベ数
は６８．０９である。また、条件式の値は、表２の通り
である。
正レンズの屈折率との差は０．０２５で、レンズ対の正
レンズのアッベ数は９５．４９で、負レンズのアッベ数
は６８．０９である。また、条件式の値は、表２の通り
である。
【００１８】
【表２】 （ｓ／ｌ） （ｒ２ｐ／ｒ２ｎ） ２０，２１面 ０．００２７７ １．０１３ ２４，２５面 ０．００２７７ ０．９５６ ３２，３３面 ０．００２７７ ０．９８５ 図１に示した実施例の収差を図２に示す。球面収差図で
は、ｅ線、ＹＡＧレーザの発振波長の第４高調波(266n
m) 、ＹＡＧレーザの発振波長の第３高調波(355nm) 及
びＹＡＧレーザの発振波長の第２高調波(532nm) の各々
についての球面収差を示している。球面収差図より、球
面収差が良好に補正されていることがわかる。
は、ｅ線、ＹＡＧレーザの発振波長の第４高調波(266n
m) 、ＹＡＧレーザの発振波長の第３高調波(355nm) 及
びＹＡＧレーザの発振波長の第２高調波(532nm) の各々
についての球面収差を示している。球面収差図より、球
面収差が良好に補正されていることがわかる。
【００１９】また、非点収差図及び歪曲収差図中、Ｙ
は、焦点距離２００ｍｍの結像レンズを付けたときの像
高を示す。非点収差は像高Ｙ＝１０ｍｍについて示して
おり、サジタル面Ｓ及びメリジオナル面Ｍについて良好
な補正がされていることがわかる。歪曲収差も同様に像
高Ｙ＝１０ｍｍについて示されており、良好な補正がさ
れていることがわかる。
は、焦点距離２００ｍｍの結像レンズを付けたときの像
高を示す。非点収差は像高Ｙ＝１０ｍｍについて示して
おり、サジタル面Ｓ及びメリジオナル面Ｍについて良好
な補正がされていることがわかる。歪曲収差も同様に像
高Ｙ＝１０ｍｍについて示されており、良好な補正がさ
れていることがわかる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、上記のような構成にしたの
で、請求範囲の条件を効果的に利用することにより、紫
外線領域から可視光線領域までの色収差やその他の諸収
差を良好に補正し、接合レンズでの構成を排除した、無
限遠補正型の顕微鏡対物レンズを実現することができ
た。
で、請求範囲の条件を効果的に利用することにより、紫
外線領域から可視光線領域までの色収差やその他の諸収
差を良好に補正し、接合レンズでの構成を排除した、無
限遠補正型の顕微鏡対物レンズを実現することができ
た。
【図１】図１は、本発明の実施例のレンズ構成図であ
る。
る。
【図２】図２は、実施例の収差図である。
Ｇ１ 第１レンズ群 Ｇ２ 第２レンズ群 Ｐ１ 第１レンズ対 Ｐ２ 第２レンズ対 Ｐ３ 第３レンズ対
Claims (8)
- 【請求項１】物体側から遠い側に配置され、全体が負の
屈折力を有し、単レンズのみで構成された第１レンズ群
と、 物体側から近い側に配置され、全体が正の屈折力を有
し、単レンズのみで構成され、正レンズと負レンズとを
空気間隔を隔てて構成したレンズ対を少なくとも１組以
上有し、前記レンズ対を構成するレンズ以外に少なくと
も１枚以上の単独の正レンズ及び少なくとも１枚以上の
単独の負レンズを有する第２レンズ群と、を含み、 波長ｅ線における前記レンズ対の負レンズの屈折率と前
記レンズ対の正レンズの屈折率との差が、０．０２４以
上で、 波長ｅ線における前記レンズ対の正レンズのアッベ数
は、９５以上で、 波長ｅ線における前記レンズ対の負レンズのアッベ数
は、７０以下で、 顕微鏡対物レンズの全長をｌとし、前記レンズ対の空気
間隔をｓとし、前記空気間隔をはさんで、前記レンズ対
の正レンズの曲率半径をｒ２ｐとし、前記レンズ対の負
レンズの曲率半径をｒ２ｎとしたとき、以下の条件を満
足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。 ０．０００１＜ｓ／ｌ＜０．０１ ０．９５＜ｒ２ｐ／ｒ２ｎ＜１．０５ - 【請求項２】前記レンズ対を３つ以上有し、該３つのレ
ンズ対の全ては以下の条件を満足することを特徴とする
請求項１記載の顕微鏡対物レンズ。 ０．０００１＜ｓ／ｌ＜０．０１ ０．９５＜ｒ２ｐ／ｒ２ｎ＜１．０５ - 【請求項３】前記第２レンズ群は、正屈折力のレンズを
１０枚以上有することを特徴とする請求項１または２記
載の顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項４】前記第２レンズ群は、両凸形状の正屈折力
レンズを８枚以上有することを特徴とする請求項１乃至
３記載の顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項５】前記第２レンズ群は、負屈折力のレンズを
５枚以上有することを特徴とする請求項１乃至４記載の
顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項６】前記第２レンズ群は、１５枚以上の単レン
ズから構成されることを特徴とする請求項１乃至５記載
の顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項７】前記第１レンズ群は、２枚の負屈折力のレ
ンズのみからなることを特徴とする請求項１乃至６記載
の顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項８】前記顕微鏡対物レンズは石英及び蛍石によ
って構成されることを特徴とする請求項１乃至７記載の
顕微鏡対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9332202A JPH11167067A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 顕微鏡対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9332202A JPH11167067A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 顕微鏡対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11167067A true JPH11167067A (ja) | 1999-06-22 |
Family
ID=18252327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9332202A Pending JPH11167067A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 顕微鏡対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11167067A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6507442B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-01-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens |
| US6819498B1 (en) | 2002-03-19 | 2004-11-16 | Olympus Optical Co., Ltd. | Two-wavelength antireflection film and objective lens coated with two-wavelength antireflection film |
| US6822805B2 (en) | 2001-07-09 | 2004-11-23 | Olympus Corporation | Objective lens |
| US6859331B2 (en) * | 2002-09-27 | 2005-02-22 | Olympus Corporation | Objective |
| JP2007206404A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Olympus Corp | 対物レンズ及びそれを備えた光学装置 |
| KR101287608B1 (ko) * | 2012-04-16 | 2013-07-19 | 한국생산기술연구원 | 자외선용 대물 렌즈 |
-
1997
- 1997-12-02 JP JP9332202A patent/JPH11167067A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6507442B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-01-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens |
| US6822805B2 (en) | 2001-07-09 | 2004-11-23 | Olympus Corporation | Objective lens |
| US6819498B1 (en) | 2002-03-19 | 2004-11-16 | Olympus Optical Co., Ltd. | Two-wavelength antireflection film and objective lens coated with two-wavelength antireflection film |
| US6859331B2 (en) * | 2002-09-27 | 2005-02-22 | Olympus Corporation | Objective |
| JP2007206404A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Olympus Corp | 対物レンズ及びそれを備えた光学装置 |
| KR101287608B1 (ko) * | 2012-04-16 | 2013-07-19 | 한국생산기술연구원 | 자외선용 대물 렌즈 |
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