JPH11179645A

JPH11179645A - ワイヤソ−用溝ロ−ラ

Info

Publication number: JPH11179645A
Application number: JP36363597A
Authority: JP
Inventors: Tatsunobu Kobayashi; 達宜小林; Yoshiki Kitamura; 芳樹北村; Kazuaki Sugitani; 和明杉谷; Takumi Kiyama; 匠木山
Original assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp
Priority date: 1997-12-15
Filing date: 1997-12-15
Publication date: 1999-07-06

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な操作によって溝ローラの動バランス
の調整が行え、これによりウェーハの平坦度の向上や、
インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の低減が図れる
ワイヤソー用溝ローラを提供する。【解決手段】各溝ローラ１２の動バランスの調整を行
う際には、環状ガイド溝５１に沿って、一対のバランス
ウエイト５０を各スリーブ端板４０の端板部４０ａの外
面上で、時計回りまたは反時計回りに回動させてバラン
スをとるので、簡単な操作により溝ローラ１２の動バラ
ンスの調整ができる。これにより、ウェーハの平坦度の
向上やインゴット切断時におけるワイヤ断線の発生率の
低減が図れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はワイヤソー用溝ロ
ーラ、詳しくは簡単な操作によって溝ローラの動バラン
スを調整することができ、これによりウェーハの平坦度
の向上やインゴット切断時のワイヤ断線の発生率の低減
が図れるワイヤソー用溝ローラに関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、繰出しボビン（またはリ
ールともいう）から導出されたインゴット切断用のワイ
ヤが、複数本の溝ローラに対してコイル状に巻き架けら
れた後、巻取ボビンに巻き取られる装置構成となってい
る。したがって、例えば単結晶シリコンなどのインゴッ
トの切断時には、ラッピングオイルに遊離砥粒（以下、
単に砥粒という場合がある）を含むスラリー状の砥液を
インゴットに一定量連続供給しながら、往復走行するワ
イヤ列に１本のインゴットを相対的に押し付けて、砥粒
の研削作用により、１本のインゴットを多数枚のウェー
ハに切断することとなる。具体的には、ワイヤ列の往復
走行時に、砥液中の遊離砥粒を各ワイヤによりインゴッ
トの切断溝の底部に押し付けながら削り取って切断す
る。溝ローラは台金を所定厚さのウレタンゴムでライニ
ングし、このウレタンゴム外周面にローラ溝を刻設した
ものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ワイヤソー
の溝ローラは、通常、使用による溝形状の変形や磨耗な
どを考慮し、定期的に、ワイヤソーから取り外して、そ
の外周面を、研削したり切削したりする改削を行い、新
しいローラ溝を刻設している。このローラ溝は、ウレタ
ンゴムライニングの外周面に刻設されている。改削を繰
り返すと、このウレタンゴムの厚さが薄くなり、溝ロー
ラ全体の動バランスがくずれやすくなる。また、所定の
厚さ以下になったときは、台金を生かして、ライニング
のウレタンゴムを取り除き、再ライニングし、テーパ部
などの傷みなどを除去する。この状況を繰り返すと、当
初、動バランスがとられていても、徐々にバランスがく
ずれてくるという欠点があった。

【０００４】このように、溝ローラにおいては、鋼製の
台金の外周面に所定厚さのウレタンゴムのライニングが
施されるので、その台金の精度向上は配慮されるもの
の、このライニングの厚さムラにより狂いが生じやすい
動バランスについては、ほとんど配慮がなされていなか
った。この結果、各溝ローラの改削を行うたびに、その
回転軸に軸振動が生じることになった。このため、ワイ
ヤソーの運転時には、これらの溝ローラ間でワイヤが局
部的に引っ張られたり、緩められたりする現象が起きて
しまっていた。よって、得られたウェーハの平坦度が劣
化するとともに、ワイヤに過負荷がかかってワイヤ断線
のおそれがあった。しかも、このような現象は、それま
でのワイヤの往復速度が１００ｍ／分だった時期に対し
て、５００〜１０００ｍ／分と高速化した今日において
顕著化している。

【０００５】そこで、発明者らは、鋭意研究を重ねた結
果、溝ローラの端面に予め移動可能にバランスウエイト
を取り付けておけば、バランスウエイトを溝ローラの端
面内で所定方向へ移動させるだけで、簡単に溝ローラの
動バランスがとれることを突き止め、この発明を完成さ
せた。

【０００６】

【発明の目的】この発明は、簡単な操作によって溝ロー
ラの動バランスの調整が行え、これによりウェーハの平
坦度を向上させ、インゴット切断時のワイヤ断線の発生
率を低減することができるワイヤソー用溝ローラを提供
することを、その目的としている。また、この発明は、
バランス調整がしやすいワイヤソー用溝ローラを提供す
ることを、その目的としている。さらに、この発明は、
細かいバランス調整を簡単に行うことができるワイヤソ
ー用溝ローラを提供することを、その目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、１本のインゴットを多数枚のウェーハに切断するワ
イヤソーにあって、ワイヤがコイル状に巻き架けられる
ワイヤソー用溝ローラにおいて、このワイヤソー用溝ロ
ーラの端面に、バランスウエイト移動手段を介して、バ
ランスウエイトを移動可能に設けたワイヤソー用溝ロー
ラである。

【０００８】この発明が適用されるワイヤソーはどのよ
うな種類のものでもよい。例えば、インゴットを動かし
てワイヤ列に押圧、接触させ切断するものでもよく、反
対にワイヤ列を動かしてインゴットに押圧、接触させて
切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にインゴ
ット下面が当接するものでもよく、また、ワイヤ列の下
部にインゴット上面が押し当てられるものでもよい。ま
た、切断に使用される砥液としては、例えば平均粒径１
０〜５０μｍのＳｉＣなどの砥粒を含む周知のものを使
用することができる。ワイヤソーにより切断されるイン
ゴットとしては、例えばシリコン単結晶、化合物半導体
単結晶、磁性材料、石英、セラミックスなどが挙げられ
る。

【０００９】ここでいうバランスウエイト移動手段と
は、溝ローラの一端面または両端面において、バランス
ウエイトを所定方向へ移動することができる手段であれ
ばよく、限定されない。例えば、この溝ローラの端面に
バランスウエイト移動用のガイド溝やガイド突条を、楕
円配置、多角配置または任意の湾曲形状に配置したもの
でもよい。バランスウエイトは適当な重量を有するもの
であればよく、その形状、大きさなどは任意である。ま
た、この溝ローラの端面の全体に多数のウエイト嵌合部
やウエイト係合部を配設し、そのいずれかにバランスウ
エイトを固定するものでもよい。なお、バランスウエイ
トの移動方法は、作業者の手作業でもよいし、駆動源を
用いた自動化された移動でもよい。

【００１０】請求項２の発明は、上記バランスウエイト
移動手段は、上記溝ローラの端面の中心点を中心にして
真円配置された環状スライド溝を有しているとともに、
上記バランスウエイトはこの環状スライド溝に沿って移
動可能に設けられた請求項１に記載のワイヤソー用溝ロ
ーラである。なお、このようなスライド溝の場合、移動
するバランスウエイトが溝ローラの回転により離脱また
は位置ずれしないように、例えば溝形状を断面楔形にし
たり、あり溝としたり、バランスウエイトを位置固定用
のストッパねじなどの各種固定具で固定してもよい。こ
のことは、請求項３の発明にあっても同様である。

【００１１】請求項３の発明は、上記バランスウエイト
移動手段は、上記ローラ端面の中心点を中心にして放射
状に延びた直線状スライド溝を有しているとともに、上
記バランスウエイトはこの直線状スライド溝に沿って移
動可能に設けられた請求項１に記載のワイヤソー用溝ロ
ーラである。直線状スライド溝の本数は、１本、２本、
３本、４本、５本以上の任意本数でよい。各直線状スラ
イド溝に最低１個のバランスウエイトが配置される。

【００１２】請求項４の発明は、上記バランスウエイト
は複数個使用されている請求項１〜請求項３のうちのい
ずれか１項に記載のワイヤソー用溝ローラである。バラ
ンスウエイトの使用個数は、２個、３個、４個、５個以
上の複数個でよい。使用されるバランスウエイトの個数
が増えるほど、微細なバランス調整を行うことができ
る。

【００１３】

【作用】この発明によれば、各溝ローラの動バランスを
調整する際は、バランスウエイト移動手段により、バラ
ンスウエイトを溝ローラの端面上で移動させてこの動バ
ランスをとる。このため、簡単な操作によって溝ローラ
の動バランスの調整を行うことができる。この結果、ウ
ェーハの平坦度の向上やインゴット切断中のワイヤ断線
の発生率が低減する。

【００１４】特に、請求項２の発明によれば、溝ローラ
のバランス調整時に、バランスウエイトを、ローラ端面
（溝ローラの軸方向の端面で、円筒体または円柱体の底
面）に真円状に配置された環状スライド溝に沿って少し
ずつスライドさせる。そして、その途中、動バランスが
とれた位置で、このバランスウエイトを例えばネジで環
状スライド溝に固定する。

【００１５】また、請求項３の発明によれば、溝ローラ
の動バランス調整時に、バランスウエイトを、溝ローラ
の端面の中心点を中心に放射状に延びた直線状スライド
溝に沿って少しずつスライドさせ、途中、動バランスが
とれた位置でこのウエイトを固定する。このように、ス
ライド溝に嵌合、ガイドさせながらバランスウエイトを
移動するので、動バランスの調整が比較的容易になる。

【００１６】また、請求項４の発明によれば、バランス
ウエイト移動手段を用いて、複数個のバランスウエイト
を同時に、または個別に移動させて溝ローラの動バラン
スを調整する。このため、細かいバランス調整を比較的
簡単に行うことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を図面を
参照して説明する。図１はこの発明の第１実施例に係る
ワイヤソー用溝ローラ（以下、単に溝ローラ）が適用さ
れたワイヤソーの要部模式図である。図２は同溝ローラ
の組み付け部周辺の拡大断面図である。図３は同溝ロー
ラの斜視図である。図４は同溝ローラの拡大側面図であ
る。

【００１８】図１において、１０は第１実施例の溝ロー
ラが適用されたワイヤソーであり、このワイヤソー１０
は、ＣＺ法により引き上げられた単結晶シリコン製のイ
ンゴットＩを多数枚のウェーハにワイヤ切断する装置で
ある。ワイヤソー１０は、多数本のワイヤを横一列に束
ねた形状のワイヤ列１１を有している。ワイヤ列１１
は、正面視して逆三角形状に配置された３本の溝ローラ
１２間で、駆動モータにより往復走行される。上側に配
置された２本の溝ローラ１２の中間がインゴットＩの切
断位置となっている。この切断位置の両側部の上方に
は、砥液をワイヤ列１１上に連続供給する図外の砥液供
給部が例えば一対配設されている。

【００１９】ワイヤ１１ａは、繰出しリール１３のボビ
ン２０から導出され、これらの溝ローラ１２に架け渡さ
れた後、巻取リール１５のボビン２１に巻き取られてい
る。繰出しリール１３および巻取リール１５の回転軸
は、駆動モータ１６，１７の出力軸にそれぞれ連結され
ている。各駆動モータ１６，１７を駆動、回転すると、
一対の軸受１８に軸支された各ボビン２０，２１が、そ
の軸線を中心として図１における時計回り方向または反
時計回り方向に回転して、ワイヤ１１ａが往復走行す
る。なお、図１において、１９はインゴットＩを固定す
るカーボンベッド、１９ａはインゴットＩの昇降台であ
る。次に、図２〜図４を参照しながら、第１実施例に係
る溝ローラ１２を詳細に説明する。

【００２０】図２に示すように、第１実施例に係る各溝
ローラ１２は、それぞれ所定間隔をあけて配置された一
対の軸受３０，３１間に軸支されている。各軸受３０，
３１は、連結プレート（アーム）３２ａを介して、外部
部材に固定された円筒ケーシング３２を有している。こ
の円筒ケーシング３２には、インナスリーブ３３が内嵌
されている。インナスリーブ３３の内部には、６個のベ
アリング３４を介して、回転軸３５，３６が周方向へ回
転自在に装着されている。また、インナスリーブ３３の
外面で連結プレート（またはアーム）３２ａとの間には
水冷ジャケットが配設され、これらの加熱を防止してい
る。回転軸３５の外側の端部は外部に突出しており、こ
の突出部分にプーリ３７が固着されている。プーリ３７
には、図外の回転モータからの回転力を伝えるＶベルト
が掛け渡されている。しかも、この回転軸３５の内側の
端部には、その中心部に短尺で内ねじが切られたボルト
孔３５ａが形成されている。また、回転軸３６の中心部
には、軸線に沿ったボルト孔３６ａが、この両端面を貫
通して穿孔されている。これらのボルト孔３５ａ，３６
ａには、溝ローラ１２の中心部を通って、長尺ボルト３
８が挿通されている。この際、長尺ボルト３８の先端部
の外ねじ部３８ａが、内ねじが切られたボルト孔３５ａ
にしっかりとねじ込まれることで、溝ローラ１２が両側
の回転軸３５，３６と一体化する。

【００２１】溝ローラ１２は、鋼製で厚肉な円筒状の台
金１２Ａを有している。台金１２Ａの外周面には、ピッ
チの短い平行溝である多数本のワイヤ溝１２ａが刻設さ
れている（図２の部分拡大図および図３参照）。しか
も、このワイヤ溝１２ａが刻設されたローラ外周面に
は、ウレタンゴム１２ｃが厚さ５〜２０ｍｍでライニン
グされている。ローラ外周面をウレタンゴム１２ｃで被
覆しているのである。また、台金１２Ａの中央部から両
端部付近にかけては、比較的薄肉なローラ補強筒材３９
が内嵌されている。なお、このローラ補強筒材３９は必
ずしも必要ではない。さらに、図２〜図４に示すよう
に、この台金１２Ａの両端部には、スリーブ端板４０が
内嵌されている。スリーブ端板４０の端板部４０ａは厚
肉に形成されており、その中心部には長尺ボルト３８の
挿通孔４０ｂが穿孔されている。しかも、この端板部４
０ａの外縁部の外面には、２つのスリットを挟んで環状
配置された２個の突条部４０ｃが一体的に設けられてい
る。

【００２２】各突条部４０ｃは、上記回転軸３５，３６
の溝ローラ１２側の端面に環状配置された２個の凹部３
５ｂ，３６ｂに、それぞれ嵌合されている。換言する
と、回転軸端部の１対の突起が各スリットに嵌合してい
る。これにより、軸受３１の回転軸３６および溝ローラ
１２の両スリーブ端板４０を通して、長尺ボルト３８の
先端部の外ねじ部３８ａが、軸受３０のボルト孔３５ａ
にねじ込まれることで、これらの３つの部材１２，３
５，３６が一体的に周方向へ回転する。すなわち、図外
の回転モータによりプーリ３７を回転すると、回転軸３
５、溝ローラ１２および回転軸３６が、一体的に回転す
る。

【００２３】なお、図２において、４１はプーリ３７側
へのベアリング３４の外部突出を防止する内蓋リングで
ある。４２は内蓋リング４１に掛合する外蓋リングであ
る。４３は回転軸３５に螺着されて、内蓋リング４２を
固定する止めリングである。４４，４５は溝ローラ１２
側へのベアリング３４の外部突出を防止する蓋リングで
ある。４６は軸受３１側の円筒ケーシング３２に外嵌さ
れて、長尺ボルト３８の頭部３８ｂを被う厚肉なキャッ
プである。４７はプーリ３７中央部に配設されたシール
材である。４８はベアリング３４の位置決め用の幅広の
リングである。

【００２４】次に、図４を参照して、この第１実施例の
溝ローラ１２の特長である、両スリーブ端板４０の端板
部４０ａの外面に配設されたバランスウエイト５０、お
よび、これを移動可能にしたバランスウエイト移動手段
について説明する。図４に示すように、各スリーブ端板
４０の端板部４０ａの外面には、この外面の中心点を中
心にして真円配置されたバランスウエイト移動手段の一
例である環状スライド溝５１が周設されている。各環状
スライド溝５１は、奥側へ徐々に広がった断面台形のあ
り溝である。これらの環状スライド溝４１に、例えば重
量５〜１０ｇで断面台形の小さな錘であるバランスウエ
イト５０がそれぞれ移動可能に２個嵌合、配設されてい
る。各バランスウエイト５０は、ビス５２を介して位置
固定される。

【００２５】次に、この溝ローラ１２が配備されたワイ
ヤソー１０によるインゴットＩの切断方法を説明する。
図１に示すように、ワイヤソー１０は、砥液を砥液供給
部から供給しながら、駆動モータ１６により繰出しリー
ル１３のボビン２０を回転させて、ワイヤ１１ａを導出
する一方、駆動モータ１７により巻取リール１５のボビ
ン２１を回転させてワイヤ１１ａを巻き取る。そして、
適宜、各ボビン２０，２１の回転方向を変えることで、
ワイヤ１１ａを往復走行させる。このとき、図外の回転
モータによって各溝ローラ１２用のプーリ３７を回転さ
せ、これにより軸受３０，３１間で溝ローラ１２を回転
させる（図２および図３参照）。これにより、３本の溝
ローラ１２間でもワイヤ列１１が往復走行し、このワイ
ヤ列１１の往復走行時に、上方からインゴットＩをワイ
ヤ列１１へ押し付ける。これにより、１本のインゴット
Ｉが何枚ものウェーハに切断される。すなわち、ワイヤ
列１１の往復走行時に、砥液中の遊離砥粒がワイヤ列１
１のワイヤ１１ａにより切断溝の底部に擦りつけられる
ことにより、その底部が徐々に削り取られ、最終的に多
数枚の薄いウェーハが切断される。

【００２６】ところで、この第１実施例において、ワイ
ヤソー１０の３本の溝ローラ１２は、その外周面のワイ
ヤ溝１２ａを改削した後において、得られたウェーハの
平坦度の向上や、インゴットＩの切断時のワイヤ１１ａ
の断線発生率の低減を図るために、動バランスの調整が
行われる。すなわち、ライニングされたウレタンゴム１
２ｃの溝を研削または切削し直したりする場合には、そ
の後に、動バランスの調整が行われる。なお、このウレ
タンゴム１２ｃが薄くなりすぎたときには、このウレタ
ンゴム１２ｃ自体を剥がして、作製し直す。この実施例
では、このような改削等により、溝ローラ１２の動バラ
ンスがくずれた場合には、図４に示すように、両スリー
ブ端板４０の端板部４０ａの外面において、それぞれ２
個配置された各バランスウエイト５０の位置固定用のビ
ス５２を緩める。その後、バランスウエイト５０を、環
状スライド溝５１に沿って、図４の時計回りまたは反時
計回り方向に少しずつ回動させる。途中で動バランスが
とれたら、その位置で各ビス５２をねじ込み、バランス
ウエイト５０を固定する。

【００２７】動バランスのとり方としては、例えば各溝
ローラ１２のそれぞれの外周に反射シールを取り付け、
ファイバセンサなどによって回転中の反射シールを監視
することで、回転数と角度原点を検出する。一方、各溝
ローラ１２の上方に加速度センサを配置し、これらの加
速度センサによりそれぞれの振動変位を求め、この振動
変位、振動変位の計測位置および回転数などから各溝ロ
ーラ１２のアンバランス量を求める。その外、一般的な
振動計を用いて各溝ローラ１２の振動数を検出し、これ
に基づき各溝ローラ１２のアンバランス量を求める。そ
して、このアンバランス量が所定の範囲を超えていた場
合には、バランス調整を行う。

【００２８】このように、各溝ローラ１２の両端部に内
嵌されたスリーブ端板４０の外面上でバランスウエイト
５０を移動させてバランスをとるようにしたので、従
来、ウレタンゴム１２ｃのライニングを伴うローラ溝１
２ａの改削を行う際に問題となっていた動バランスが、
比較的簡単な操作でとれる。これにより、ウレタンゴム
１２ｃのライニングを行うたび、溝ローラ１２の回転軸
に軸振動が生じて、これらの溝ローラ１２間において、
ワイヤ１１ａが局部的に引っ張られたり、緩められたり
する現象が起きていたことが解消される。この結果、ウ
ェーハの平坦度の向上や、インゴット切断時のワイヤ断
線の発生率の低減が図れる。しかも、このように環状ス
ライド溝５１に嵌合、ガイドされながらバランスウエイ
ト５０を移動するので、動バランスの調整がさらに簡単
になる。また、１つの環状スライド溝５１に２個のバラ
ンスウエイト５０を取り付けたので、これらのバランス
ウエイト５０の移動量を適宜加減することで、微細な動
バランスの調整が比較的容易になる。

【００２９】次に、図５に基づいて、この発明の第２実
施例に係るワイヤソー用溝ローラを説明する。図５はこ
の発明の第２実施例に係るワイヤソー用溝ローラの拡大
側面図である。図５に示すように、第２実施例の溝ロー
ラ６０は、その台金１２Ａの両端に内嵌された両スリー
ブ端板６１の端板部６１ａの外面において、第１実施例
の環状スライド溝５１に代えて、バランスウエイト移動
手段の他の例である直線状スライド溝６２を設けた例で
ある。直線状スライド溝６２は、端板部６１ａの外面の
中心点を中心に放射状に対向配置された２本の溝（半径
方向に延びる溝）であって、それぞれの断面形状は、環
状スライド溝４１と同様に、奥側へ徐々に広がった断面
台形のあり溝である。なお、図５において、６１ｂはボ
ルト孔であり、６１ｃは端板部６１ａの外縁部の外面
に、一定ピッチで環状配置された多数個の突条部であ
る。これらの突条部６１ｃは、第１実施例の場合と同様
に、対応する回転軸３５，３６の凹部３５ｂ，３６ｂに
嵌合される。

【００３０】第２実施例の溝ローラ６０の使用にあって
は、溝ローラ６０の動バランスの調整時に、バランスウ
エイト５０を、端板部６１ａの外面上で半径方向へ延び
た直線状スライド溝６２に沿って、互いに離反する方向
または近接する方向へ少しずつスライドさせ、途中、動
バランスがとれた位置で、位置固定用のビス５２により
バランスウエイト５０を固定する。その他の構成、作用
および効果は、第１実施例と同様であるので、説明を省
略する。なお、バランスウエイトの取付方としては、上
記実施例の他にも例えば錘を両面テープにより取り付け
る方法、磁力により取り付ける方法なども考えられる。
いずれもきわめて簡単に調整を行うことができるという
利点を有している。また、上記実施例では、ウオータジ
ャケットにより軸受け部を冷却するように構成したた
め、温度上昇による溝ローラの伸長（２０〜３０μｍ）
に起因するウェーハのワープ（反り）発生を効果的に防
止することができる。

【００３１】

【発明の効果】この発明によれば、溝ローラのローラ溝
を改削した後など、この溝ローラの動バランス調整時に
おいて、バランスウエイト移動手段によって、バランス
ウエイトを溝ローラの端面上で移動させて動バランスを
とれるように構成したので、簡単な操作によって、短時
間で溝ローラの動バランスの調整が行える。これにより
ウェーハの平坦度を向上させることができる。また、イ
ンゴット切断時のワイヤ断線の発生率を低下させること
ができる。

【００３２】特に、請求項２，請求項３の発明によれ
ば、バランスウエイトを、環状スライド溝や直線状スラ
イド溝に沿ってスライドさせるので、溝ローラのバラン
ス調整がしやすい。

【００３３】また、請求項４の発明によれば、バランス
ウエイト移動手段により、複数個のバランスウエイトを
移動させて溝ローラの動バランスを調整するようにした
ので、細かいバランス調整を簡単に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例に係るワイヤソー用溝ロ
ーラが適用されたワイヤソーの要部模式図である。

【図２】この発明の第１実施例に係る溝ローラの組み付
け部周辺の拡大断面図である。

【図３】この発明の第１実施例に係る溝ローラの拡大斜
視図である。

【図４】この発明の第１実施例に係る溝ローラの拡大側
面図である。

【図５】この発明の第２実施例に係るワイヤソー用溝ロ
ーラの拡大側面図である。

【符号の説明】

１０，６０ワイヤソー、１１ａワイヤ、１２，６１溝ローラ（ワイヤソー用溝ローラ）、５１環状スライド溝（バランスウエイト移動手段）、５０バランスウエイト、６２直線状スライド溝（バランスウエイト移動手
段）、Ｉインゴット。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者木山匠東京都千代田区大手町１丁目５番１号三菱マテリアルシリコン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１本のインゴットを多数枚のウェーハに
切断するワイヤソーにあって、ワイヤがコイル状に巻き
架けられるワイヤソー用溝ローラにおいて、このワイヤソー用溝ローラの端面に、バランスウエイト
移動手段を介して、バランスウエイトを移動可能に設け
たワイヤソー用溝ローラ。
【請求項２】上記バランスウエイト移動手段は、上記
溝ローラの端面の中心点を中心にして真円配置された環
状スライド溝を有しているとともに、上記バランスウエイトはこの環状スライド溝に沿って移
動可能に設けられた請求項１に記載のワイヤソー用溝ロ
ーラ。
【請求項３】上記バランスウエイト移動手段は、上記
ローラ端面の中心点を中心にして放射状に延びた直線状
スライド溝を有しているとともに、上記バランスウエイトはこの直線状スライド溝に沿って
移動可能に設けられた請求項１に記載のワイヤソー用溝
ローラ。
【請求項４】上記バランスウエイトは複数個使用され
ている請求項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載
のワイヤソー用溝ローラ。