JPH11180505A - 有軌道台車システム - Google Patents

有軌道台車システム

Info

Publication number
JPH11180505A
JPH11180505A JP9365795A JP36579597A JPH11180505A JP H11180505 A JPH11180505 A JP H11180505A JP 9365795 A JP9365795 A JP 9365795A JP 36579597 A JP36579597 A JP 36579597A JP H11180505 A JPH11180505 A JP H11180505A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fork
transfer
tracked
traveling rail
traveling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9365795A
Other languages
English (en)
Inventor
Masazumi Fukushima
正純 福島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=18485136&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH11180505(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to JP9365795A priority Critical patent/JPH11180505A/ja
Priority to US09/177,116 priority patent/US6113341A/en
Publication of JPH11180505A publication Critical patent/JPH11180505A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3214—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicle
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3221—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3222—Loading to or unloading from a conveyor

Landscapes

  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 クリーンルームの人の背丈よりもやや高い位
置に走行レール８を設けて、２段のアーム４４，４６と
フォーク５６で水平方向にワーク２０を移載するように
した有軌道台車を走行させる。２段目のアーム４６の先
端にフォーク昇降部５４を設けて、フォーク５６を昇降
させる。 【効果】 人等の邪魔にならずループを組むことがで
き、しかも高速で移載ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は有軌道台車システムに関
し、特に走行レールの設置位置と移載機構に関する。
【０００２】
【従来技術】有軌道台車システムは工場，倉庫，病院，
図書館等での物品の搬送に用いるもので、天井に走行レ
ールを敷設するものと床面に敷設するものとが知られて
いる。図６にクリーンルームの天井に走行レールを敷設
した例を示すと、２は半導体等の処理装置で、４はグレ
ーティングを施した床面、６は天井で、走行レール８を
用いて走行ユニット１０を走行させ、巻き上げユニット
１２でハンド１４をベルト１６を介して昇降させる。ハ
ンド１４が降下するとチャック等で移載ステーション１
８上のワーク２０を把持し、ハンド１４を上昇させて搬
送する。
【０００３】図６のシステムでは、ハンド１４を降下さ
せた時以外は有軌道台車システムは人等と干渉せず、移
載ステーション１８の位置が高い時には移載も高速で極
めて優れた搬送システムとなる。しかし移載ステーショ
ン１８の位置が例えば人の腰程度の場合、天井付近から
ハンド１４を降下・上昇させる距離が長くなり、移載時
間が長くなり、巻き上げユニット１２も大形化する。
【０００４】図７に、床面４の付近に走行レール２２を
設けた例を示す。この例では、有軌道台車２４に設けた
ハンド２６を、例えば回転させてワーク２０を移載す
る。このため移載時間は短時間で行えるが、軌道２２が
通路を塞ぎ、人や手押し車，他の無軌道無人搬送車（以
下、無軌道無人搬送車を単に「無人搬送車」と呼ぶ）等
の邪魔になる。有軌道台車システムのレイアウトとして
多いのは、主通路から袋小路状の通路へと分岐があり、
袋小路の両側に処理装置が配置される場合である。この
場合、袋小路に沿ってループ状の走行レールを配置し、
主通路の走行レールに接続できると便利である。しかし
図７のシステムで、ループ状に走行レール２２を配置す
ると、袋小路内に人や手押し車，無人搬送車等が進入で
きなくなる。ループを用いずスイッチバックを用いる
と、袋小路内の区間には同時に１台しか有軌道台車が進
入できず、搬送能力が低下する。
【０００５】
【発明の課題】請求項１の発明の課題は、人や手押し
車，無軌道の無人搬送車等の移載ステーションへの進入
の邪魔にならずに、しかもループを組むことができる、
有軌道台車システムを提供することにある。請求項２の
発明の追加の課題は、簡単な構成でしかも高速で移載が
できるようにすることある。請求項３の発明の追加の課
題は、人等の障害物との衝突を防止することにある。
【０００６】
【発明の構成】請求項１の発明では、下方に移載ステー
ションへの進入区間が形成されるように床面から高い位
置、例えば人の背丈よりもやや高い位置で、好ましくは
床面から１.７ｍ〜２ｍの高さに敷設した走行レールに
懸垂するように、有軌道台車を走行させる。そして該有
軌道台車の下部に、ほぼ水平面内で運動してワークを移
載する移載手段を設ける。移載手段は、フォークを走行
レールとはほぼ直角に前後進させるものが好ましいが、
フォークをアームで回動させるものでも良い。
【０００７】好ましくは、前記移載手段を、走行レール
とほぼ直角に前後進するフォーク昇降部と、フォーク昇
降部に取り付けたフォークで構成する。また好ましく
は、前記走行レールの下方での障害物を検出する手段を
設けて、障害物の検出時に有軌道台車の進入を禁止す
る。
【０００８】
【発明の作用と効果】請求項１の発明では、下方に移載
ステーションへの進入区間が形成されるように、床面か
ら高い位置に走行レールを設けるので、走行レールが作
業者等の邪魔にならず、有軌道台車の進入時以外は、移
載用のステーションで人等が作業できる。また走行レー
ルを、人や無人搬送車，手押し車等の邪魔にならずに、
ループ状に敷設でき、有軌道台車システムの搬送能力が
向上する。請求項１の発明ではさらに、移載手段をほぼ
水平面内で運動させるので、天井走行車本体から移載手
段を昇降させる場合と比べ、移載手段の昇降時間が不要
で、移載時間を短縮することができる。これは走行レー
ルの設置位置を、その下方に移載ステーションへの進入
区間が形成されるように、床面から高い位置として、天
井よりも下げたためである。
【０００９】請求項２の発明では、フォーク昇降部を走
行レールとほぼ直角に前後進させるので、旋回アームを
用いる場合に比べ干渉範囲が狭く、移載ステーションへ
向けてフォーク昇降部を直線的に前後進させることがで
きる。またワークをフォークで把持するには、フォーク
の位置を僅かに低下させてワークの取っ手などに差し込
み、その後にフォークを僅かに持ち上げてワークを移載
ステーションから持ち上げることが必要であるが、移載
手段全体を昇降させるのではなく、フォークのみを昇降
させるので、小形軽量のフォーク昇降部を用いることが
でき、しかも移載が高速となる。
【００１０】請求項３の発明では、走行レールの下方で
の、人や手押し車，無人搬送車等の障害物を検出する手
段を設けて、障害物の検出時に有軌道台車の進入を禁止
する。進入を禁止する範囲については例えば、走行レー
ルを適当な区間に分割して、障害物を検出した区間に付
いて進入を禁止すればよい。このため有軌道台車と人等
との衝突を防止し、安全性を高めることができる。
【００１１】
【実施例】図１〜図５に実施例とその変形とを示すが、
この発明はこれらに限定されるものではない。図１，図
２に実施例の有軌道台車とその走行レール８とを示す
と、２は前記の処理装置で例えば半導体や液晶基板の処
理装置とし、４はクリーンルームの床面でグレーティン
グを施して、グレーティングからクリーンルーム内の空
気を吸引してクリーンフィルターで処理して排気し、ク
リーンルーム内の清浄度を保つものとする。６はクリー
ンルームの天井で、例えば３ｍ程度の高さを想定する。
【００１２】８は走行レールで、有軌道台車への給電線
や信号線等も含んでおり、支柱２８で支持されている。
走行レール８の高さは、床面から例えば１.７ｍ〜２ｍ
とし、その下方に移載ステーションへの進入区間が形成
されるようにする。１０は有軌道台車の走行ユニット
で、一対の走行車輪３０で走行レール８に懸垂するよう
に走行する。３２は走行モータ，３４はクリーンファン
ユニットで、ファンとクリーンフィルタとで構成され、
クリーンファンユニット３４は設けなくても良い。
【００１３】３６は台車本体で、通常の天井走行車での
巻き上げユニットが不要なので、代わりにファン３８と
クリーンフィルタ４０とからなるクリーンファンユニッ
トを内蔵させ、その下部の移載手段で発塵した空気（図
２の黒抜き矢印）を吸引して側面から浄化した空気（図
２の白抜き矢印）を放出する。この位置にクリーンファ
ンユニットを設けると、有軌道台車によるクリーンルー
ム内の清浄度の低下を防止できるとともに、移載ステー
ション１８に対する走行レール８の位置を高くして、走
行レール８が人の頭等に衝突しないようにできる。
【００１４】台車本体３６の底部（下部）に移載手段を
設け、ここではアームモータ４２で２段のアーム４４，
４６を互いに反対方向に旋回させて、下部アーム４６の
先端に取り付けたフォーク昇降部５４を走行レールと直
角に前後進させるようにしたものを用いる。なおフォー
ク昇降部５４の運動方向はレール８とほぼ直角、例えば
±１０度以内、であれば良く、厳密に直角である必要は
ない。４８，５０，５２は軸で、アームモータ４２で直
接にあるいはベルト等を介して回動するように駆動さ
れ、アーム４４とアーム４６は反対方向に回動し、軸５
２によりフォーク昇降部５４はアーム４６と反対方向に
回動する。この結果、フォーク昇降部５４は走行レール
８と直角に前後進し、干渉半径は短いアーム４４，４６
の半径分程度で、移載ステーション１８を多数隣接して
配置した場合でも、他の移載ステーションに干渉せず
に、ワーク２０を移載できる。
【００１５】フォーク昇降部５４には、サーボモータ６
０で上下動するボールネジ５８を介してフォーク５６を
取り付け、その先端の枝分かれした部分で、ワーク２０
の取っ手６２を把持する。このためフォーク５６のみを
僅かに上下動させれば良く、小さなフォーク昇降部５４
でワーク２０の把持や戴置に必要な昇降運動を、高速で
行うことができる。なお実施例でもフォーク５６の昇降
が必要であるが、その上下ストロークは短く、天井走行
車から移載手段を昇降させる場合に比べ、フォーク５６
の昇降に要する時間は極めて短い。
【００１６】図１に示すように、走行レール８の通路側
に柵６４を設け、移載ステーション１８に面した箇所に
例えば扉６６を設ける。６８は、扉６６が閉じているこ
とを、隣接した柵への接触で検出するための導電片であ
る。
【００１７】図３に変形例の移載手段を示す。８２，８
４，８６はアームで、全体としてスライドフォークを構
成し、例えば上段のアーム８２に設けたピニオンを中段
のアーム８４に設けたラックと噛み合わせて左右に送
り、かつロープ８７で下段のアーム８６を送るものとす
る。そしてアーム８６の、例えば通路側端部にフォーク
昇降部５４を取り付け、実施例と同様に、サーボモータ
６０やボールネジ５８を介してフォーク５６を上下動さ
せる。
【００１８】実施例での移載動作を説明する。なお変形
例での移載動作は実施例とほぼ同様である。有軌道台車
が目的の移載ステーション１８に面した位置で停止する
と、アームモータ４２によりアーム４４，４６が回動
し、フォーク５６は有軌道台車の走行中にワーク２０の
把持に適した位置へと下降済みで、アーム４４，４６の
回動によりフォーク５６がワーク２０の取っ手６２の下
部へ前進して把持を行う。次いでフォーク５６を僅かに
上昇させて持ち上げ、アーム４４，４６を逆向きに回動
すれば、移載が終了する。移載時間はアーム４４，６の
回動，フォーク５６の微上昇で定まり、短時間で移載で
きる。移載ステーション１８への戴置も同様で、例えば
走行中にフォーク５６を微上昇させてから、アーム４
４，４６を回動させ、ワーク２０を移載ステーション１
８へ戴置するように、フォーク５６を僅かに下降させれ
ばよい。
【００１９】図４を用いて、有軌道台車システムと人な
どの障害物との干渉について説明すると、走行レール８
は、その下方に移載ステーションへの進入区間が形成さ
れるように、人の背丈よりもやや高い床面から１.７〜
２ｍ程度の高さ位置としたので、通常の部屋の鴨居等と
同様で、人と衝突することはほとんど無い。図４の７０
は分岐用のターンテーブルで、７２は扉６６が１区間分
閉じていることを検知するための開放検知部、７４は扉
６６が開いている区間への有軌道台車の進入を禁止する
ための停止制御部である。走行レール８は図４のように
複数の区間に分割され、扉が開いていなければ各柵６４
は導電片６８で短絡されるので、１区間の両端の柵間の
短絡の有無から扉６６の開放を検知できる。そして扉が
開いている区間について、有軌道台車の進入を禁止す
る。このため人などと有軌道台車との衝突を防止でき
る。
【００２０】図５に安全機構の変形例を示す。図５では
柵６４や扉６６を設けず、光電センサや超音波センサ等
の障害物センサで、走行レール８の下方付近の障害物を
検知する。７６は障害物センサの発光素子，７８は受光
素子で、障害物でこの間の光路が遮断されたことから障
害物を検知し、停止制御部８０へ区間ｎでの障害物検知
信号Ｓｎを入力し、該当区間への有軌道台車の進入を禁
止する。
【００２１】実施例や変形例では、人などが走行レール
８の下方に進入すると、有軌道台車の進入を禁止した
が、逆に進入した人に警告音等で警告するようにしても
良い。
【００２２】実施例では、走行レール８の下方に移載ス
テーションへの進入区間が形成されるように、床面から
高い位置に敷設したので、図４，図５に示すようにルー
プ状にレール８を敷設しても、人や手押し車、無人搬送
車等の邪魔にならない。そしてループを用いると、スイ
ッチバックよりもはるかに搬送能力が向上する。またフ
ォーク５６のみを僅かに上下動させれば良く、移載手段
全体を天井付近から移載ステーション１８の付近へと下
降させる必要がないので、移載が速やかである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例の有軌道台車システムの側面図
【図２】 実施例での移載機構を示す図
【図３】 変形例での移載機構を示す図
【図４】 実施例でのレールと安全機構の配置を示す図
【図５】 変形例でのレールと安全機構の配置を示す図
【図６】 従来例での有軌道台車システムを示す図
【図７】 他の従来例での有軌道台車システムを示す図
【符号の説明】
２ 処理装置 ４ 床面 ６ 天井 ８，２２ 走行レール １０ 走行ユニット １２ 巻き上げユニット １４，２６ ハンド １６ ベルト １８ 移載ステーション ２０ ワーク ２４ 有軌道台車 ２８ 支柱 ３０ 走行車輪 ３２ 走行モータ ３４ クリーンファンユニット ３６ 台車本体 ３８ ファン ４０ クリーンフィルタ ４２ アームモータ ４４，４６ アーム ４８，５０，５２ 軸 ５４ フォーク昇降部 ５６ フォーク ５８ ボールネジ ６０ サーボモータ ６２ 取っ手 ６４ 柵 ６６ 扉 ６８ 導電片 ７０ ターンテーブル ７２ 開放検知部 ７４，８０ 停止制御部 ７６ 発光素子 ７８ 受光素子 ８２，８４，８６ アーム

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 下方に移載ステーションへの進入区間が
    形成されるように、床面から高い位置に敷設した走行レ
    ールに懸垂するように有軌道台車を走行させ、該有軌道
    台車の下部に、ほぼ水平面内で運動してワークを移載す
    る移載手段を設けたことを特徴とする、有軌道台車シス
    テム。
  2. 【請求項２】 前記移載手段を、走行レールとほぼ直角
    に前後進するフォーク昇降部と、フォーク昇降部に取り
    付けたフォークで構成したことを特徴とする、請求項１
    の有軌道台車システム。
  3. 【請求項３】 前記走行レールの下方での障害物を検出
    する手段を設けて、障害物の検出時に有軌道台車の進入
    を禁止するように構成したことを特徴とする、請求項１
    または２の有軌道台車システム。
JP9365795A 1997-12-22 1997-12-22 有軌道台車システム Pending JPH11180505A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9365795A JPH11180505A (ja) 1997-12-22 1997-12-22 有軌道台車システム
US09/177,116 US6113341A (en) 1997-12-22 1998-10-22 Tracking cart system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9365795A JPH11180505A (ja) 1997-12-22 1997-12-22 有軌道台車システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11180505A true JPH11180505A (ja) 1999-07-06

Family

ID=18485136

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9365795A Pending JPH11180505A (ja) 1997-12-22 1997-12-22 有軌道台車システム

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6113341A (ja)
JP (1) JPH11180505A (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002019914A (ja) * 2000-07-04 2002-01-23 Okamura Corp 自動倉庫における荷の移載装置
JP2006323435A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Asyst Shinko Inc 搬送台車の障害物検出装置
US7516859B2 (en) 2006-11-27 2009-04-14 Murata Machinery, Ltd. Overhead traveling vehicle having lateral movement mechanism
JP2009241758A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Murata Mach Ltd 運搬台車、有軌道搬送システム
US7637380B2 (en) 2007-07-23 2009-12-29 Muratec Automation Co., Ltd. Transporting apparatus, transporting system, and elongation mechanism
US7753639B2 (en) 2004-08-12 2010-07-13 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Overhead travelling carriage system
US7887278B2 (en) 2004-08-12 2011-02-15 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Overhead travelling carriage system
JP2011166176A (ja) * 2002-06-19 2011-08-25 Murata Machinery Ltd オーバーヘッドホイスト搬送車
JP2020009820A (ja) * 2018-07-03 2020-01-16 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
US10957569B2 (en) 2002-10-11 2021-03-23 Murata Machinery Ltd. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7046586B1 (en) * 2000-08-15 2006-05-16 Storage Technology Corporation Automated hardware sensing and library configuration
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
US7356428B2 (en) * 2003-09-24 2008-04-08 International Business Machines Corporation Overhead traveling vehicle testing and calibration
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
US20060104712A1 (en) * 2004-08-24 2006-05-18 Bufano Michael L Transportation system
WO2006023873A2 (en) 2004-08-23 2006-03-02 Brooks Automation, Inc. Elevator-based tool loading and buffering system
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE144161C (de) * 1902-06-18 1903-09-16 Heinrich Spühl Hahnanordnung für gasbadeöfen
US1849038A (en) * 1926-11-01 1932-03-08 Hartford Empire Co Apparatus for stacking glassware
US4523887A (en) * 1983-04-06 1985-06-18 Harnischfeger Corporation Stacker crane for narrow aisles
US5536128A (en) * 1988-10-21 1996-07-16 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for carrying a variety of products
JPH02239096A (ja) * 1989-03-13 1990-09-21 Hitachi Kiden Kogyo Ltd クレーンの接近防止装置
JPH0689837A (ja) * 1992-09-08 1994-03-29 Fujitsu Ltd 基板処理装置
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
TW312680B (ja) * 1995-09-08 1997-08-11 Murata Machinery Ltd

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002019914A (ja) * 2000-07-04 2002-01-23 Okamura Corp 自動倉庫における荷の移載装置
US10147627B2 (en) 2002-06-19 2018-12-04 Murata Machinery Ltd. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
JP2012015565A (ja) * 2002-06-19 2012-01-19 Murata Mach Ltd オーバーヘッドホイスト搬送車
US10381251B2 (en) 2002-06-19 2019-08-13 Murata Machinery Ltd. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
US9620397B2 (en) 2002-06-19 2017-04-11 Murata Machinery Ltd. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
US9881823B2 (en) 2002-06-19 2018-01-30 Murata Machinery Ltd. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
JP2011166176A (ja) * 2002-06-19 2011-08-25 Murata Machinery Ltd オーバーヘッドホイスト搬送車
US10141212B2 (en) 2002-06-19 2018-11-27 Murata Machinery Ltd. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
US10957569B2 (en) 2002-10-11 2021-03-23 Murata Machinery Ltd. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
US7887278B2 (en) 2004-08-12 2011-02-15 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Overhead travelling carriage system
US7753639B2 (en) 2004-08-12 2010-07-13 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Overhead travelling carriage system
JP2006323435A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Asyst Shinko Inc 搬送台車の障害物検出装置
US7516859B2 (en) 2006-11-27 2009-04-14 Murata Machinery, Ltd. Overhead traveling vehicle having lateral movement mechanism
US7637380B2 (en) 2007-07-23 2009-12-29 Muratec Automation Co., Ltd. Transporting apparatus, transporting system, and elongation mechanism
JP2009241758A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Murata Mach Ltd 運搬台車、有軌道搬送システム
JP2020009820A (ja) * 2018-07-03 2020-01-16 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット

Also Published As

Publication number Publication date
US6113341A (en) 2000-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11180505A (ja) 有軌道台車システム
TWI676589B (zh) 搬送台車及搬送台車系統
TWI636940B (zh) Temporary storage system, transfer system using it, and temporary storage method
JP3749176B2 (ja) 一貫搬送キャリヤ及びディレクターを有する搬送装置
JP5936174B2 (ja) 天井走行車システム及び天井走行車システムでの移載制御方法
JPWO2014017222A1 (ja) 天井走行車システム及び天井走行車システムの制御方法
CN107922116A (zh) 输送系统
TW200307638A (en) Automated guided vehicle system
KR101419359B1 (ko) 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템
KR20150012159A (ko) 반송시스템
JP3436070B2 (ja) 搬送設備
JP7447710B2 (ja) 物品搬送設備
GB2141680A (en) Automated cassette rail transport system operating under clean air conditions
KR102879574B1 (ko) 천장 반송차
JP2007001692A (ja) 搬送設備
KR20080025463A (ko) 반도체 제조 장치의 자동 반송 장치
JP2007217076A (ja) 搬送車
JPH0558403A (ja) 自動倉庫設備
JP3356418B2 (ja) 移載システム
JP2003309163A (ja) 無人搬送車システム
JP4321222B2 (ja) 磁気吸引天井懸垂型搬送台車
JP3621793B2 (ja) 無人搬送台車
JPS59220445A (ja) 基底を通る入路を有するカセツトトロリ−
JP6766622B2 (ja) 搬送装置
JPH1039925A (ja) 磁気誘導式運搬車