JPH11183113A - 角度検出装置 - Google Patents
角度検出装置Info
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- JPH11183113A JPH11183113A JP35149897A JP35149897A JPH11183113A JP H11183113 A JPH11183113 A JP H11183113A JP 35149897 A JP35149897 A JP 35149897A JP 35149897 A JP35149897 A JP 35149897A JP H11183113 A JPH11183113 A JP H11183113A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡便な構造によりアナログ信号を出力する磁
気式の角度検出装置を提供する。 【解決手段】 角度検出装置は、高透磁率材料からな
り、複数の軸が中心部1eから同一平面上に放射状に延
設されてなる磁路形成部1と、この磁路形成部1の各軸
に取り付けられたコイルとを有する磁界検出手段と、磁
界検出手段の各軸と等間隔になるよう近接配置され、磁
界検出手段の各軸の位置する平面に対して平行かつ一方
向の磁界を発生する磁界発生手段とを備え、磁界検出手
段と磁界発生手段とが磁路形成部1の中心部を回転中心
として相対回転するように支持される。
気式の角度検出装置を提供する。 【解決手段】 角度検出装置は、高透磁率材料からな
り、複数の軸が中心部1eから同一平面上に放射状に延
設されてなる磁路形成部1と、この磁路形成部1の各軸
に取り付けられたコイルとを有する磁界検出手段と、磁
界検出手段の各軸と等間隔になるよう近接配置され、磁
界検出手段の各軸の位置する平面に対して平行かつ一方
向の磁界を発生する磁界発生手段とを備え、磁界検出手
段と磁界発生手段とが磁路形成部1の中心部を回転中心
として相対回転するように支持される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械、産業機
器、一般OA機器等で好適に用いられる角度検出装置に
関し、詳しくは、シャフト等の回転時における絶対角度
を検出するためのアナログ信号を出力する角度検出装置
に関する。
器、一般OA機器等で好適に用いられる角度検出装置に
関し、詳しくは、シャフト等の回転時における絶対角度
を検出するためのアナログ信号を出力する角度検出装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、工作機械、産業機器、一般O
A機器等においてシャフト等の回転部の回転角度を検出
するために、種々の角度検出装置が使用されている。こ
のうち、回転部の回転角度の変化に伴い信号を出力する
センサであって、いわゆる絶対角度検出を行う角度検出
装置としては、ディジタル信号を出力するアブソリュー
トロータリーエンコーダや、アナログ信号を出力する精
密回転ポテンショメータ、シンクロ、レゾルバ等が挙げ
られる。
A機器等においてシャフト等の回転部の回転角度を検出
するために、種々の角度検出装置が使用されている。こ
のうち、回転部の回転角度の変化に伴い信号を出力する
センサであって、いわゆる絶対角度検出を行う角度検出
装置としては、ディジタル信号を出力するアブソリュー
トロータリーエンコーダや、アナログ信号を出力する精
密回転ポテンショメータ、シンクロ、レゾルバ等が挙げ
られる。
【0003】ここで、アブソリュートロータリーエンコ
ーダは、回転軸側に組み合わせ符号化された複雑な模様
のスリットを有する円盤状の回転スリットが、固定子
(ステーター)側に固定スリットがそれぞれ取り付けら
れ、固定スリットを介して射出される発光素子からの射
出光を回転スリットで透過・遮光することにより、複数
の受光素子をON/OFF動作させる光学式の構造のも
のが広く知られている。
ーダは、回転軸側に組み合わせ符号化された複雑な模様
のスリットを有する円盤状の回転スリットが、固定子
(ステーター)側に固定スリットがそれぞれ取り付けら
れ、固定スリットを介して射出される発光素子からの射
出光を回転スリットで透過・遮光することにより、複数
の受光素子をON/OFF動作させる光学式の構造のも
のが広く知られている。
【0004】また、ディジタル信号を出力するアブソリ
ュートロータリーエンコーダには、インクリメンタルエ
ンコーダを電池等のバックアップ電源で常時通電し、カ
ウント値を絶対値で保持するものや、2つの異なる波長
のインクリメンタルスケールの信号からその位相差をも
とに、設定された区間の絶対値を求めるもの(特公昭5
0−23618号、「測尺装置」)が知られている。
ュートロータリーエンコーダには、インクリメンタルエ
ンコーダを電池等のバックアップ電源で常時通電し、カ
ウント値を絶対値で保持するものや、2つの異なる波長
のインクリメンタルスケールの信号からその位相差をも
とに、設定された区間の絶対値を求めるもの(特公昭5
0−23618号、「測尺装置」)が知られている。
【0005】さらには、このアブソリュートロータリー
エンコーダには、絶対値情報を直接スケールに記録し、
その情報を読み出すものとしては、バイナリ・グレイ等
の2進コードをパターンとしてスケールに記録してお
き、そのパターンを検出することにより上記2進コード
を読み出す光学式または磁気式のものや、M系列コード
等の循環コードをパターンとしてスケールに記録してお
き、そのパターンを検出することにより上記循環コード
を読み出し、位置の絶対値情報に変換する磁気式のもの
(特開昭57−175211号、「回転体の角度検出装
置」)などが知られている。
エンコーダには、絶対値情報を直接スケールに記録し、
その情報を読み出すものとしては、バイナリ・グレイ等
の2進コードをパターンとしてスケールに記録してお
き、そのパターンを検出することにより上記2進コード
を読み出す光学式または磁気式のものや、M系列コード
等の循環コードをパターンとしてスケールに記録してお
き、そのパターンを検出することにより上記循環コード
を読み出し、位置の絶対値情報に変換する磁気式のもの
(特開昭57−175211号、「回転体の角度検出装
置」)などが知られている。
【0006】一方、精密回転ポテンショメータは、機械
的変位を直接または間接的に駆動軸に伝え、駆動軸の回
転動作により、その変位量に相応した電気的変位量を分
圧方式で検出する装置のうち、特に高分解能、高精度の
性能を有するもの、と定義される。この精密回転ポテン
ショメータの動作原理は、駆動軸に取り付けられた摺動
子が抵抗素子上を摺動し、その機械的角度に相応した抵
抗素子上の電圧が摺動子機構から出力される、というも
のである。
的変位を直接または間接的に駆動軸に伝え、駆動軸の回
転動作により、その変位量に相応した電気的変位量を分
圧方式で検出する装置のうち、特に高分解能、高精度の
性能を有するもの、と定義される。この精密回転ポテン
ショメータの動作原理は、駆動軸に取り付けられた摺動
子が抵抗素子上を摺動し、その機械的角度に相応した抵
抗素子上の電圧が摺動子機構から出力される、というも
のである。
【0007】シンクロは、外観的にも構造的にも3相巻
線型同期発電機と類似しており、櫛歯状のコアと3相の
巻線部と摺動接点部の3点を構成要素とする。また、レ
ゾルバは、シンクロに類似した構造であり、上記巻線部
が3相ではなく直交(2相)巻線となっている。
線型同期発電機と類似しており、櫛歯状のコアと3相の
巻線部と摺動接点部の3点を構成要素とする。また、レ
ゾルバは、シンクロに類似した構造であり、上記巻線部
が3相ではなく直交(2相)巻線となっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、アナログ信
号を出力する上記精密回転ポテンショメータ、シンク
ロ、レゾルバ等の角度検出装置は、従来より以下のよう
な問題点を有していた。例えば、精密回転ポテンショメ
ータは、上述のように摺動子が抵抗素子上を接触して動
く構造となっているため、両者の摩耗が必ず発生し、素
子や性能の劣化、基本的な商品寿命等の存在が避けられ
ないという問題点があった。また、シンクロやレゾルバ
は、上述したアブソリュートロータリーエンコーダと比
較して構造がかなり複雑であり、また上述のようにその
構造上、摺動接点部を有しているため、同様に性能の劣
化、基本的な商品寿命等の存在が避けられないという問
題点があった。なお、レゾルバは、摺動接点部のないも
のとしてバリアブル・リラクタンス(VR)タイプのも
のがあるが、このタイプでも櫛歯状のコアと巻線部の構
造は同様であり、上述のアブソリュートロータリーエン
コーダと比較して構造が複雑であった。
号を出力する上記精密回転ポテンショメータ、シンク
ロ、レゾルバ等の角度検出装置は、従来より以下のよう
な問題点を有していた。例えば、精密回転ポテンショメ
ータは、上述のように摺動子が抵抗素子上を接触して動
く構造となっているため、両者の摩耗が必ず発生し、素
子や性能の劣化、基本的な商品寿命等の存在が避けられ
ないという問題点があった。また、シンクロやレゾルバ
は、上述したアブソリュートロータリーエンコーダと比
較して構造がかなり複雑であり、また上述のようにその
構造上、摺動接点部を有しているため、同様に性能の劣
化、基本的な商品寿命等の存在が避けられないという問
題点があった。なお、レゾルバは、摺動接点部のないも
のとしてバリアブル・リラクタンス(VR)タイプのも
のがあるが、このタイプでも櫛歯状のコアと巻線部の構
造は同様であり、上述のアブソリュートロータリーエン
コーダと比較して構造が複雑であった。
【0009】このように、従来より、絶対角度検出を行
う角度検出装置のうちアナログ信号を出力するものは、
構造が複雑であったり構造上寿命が短いといった構造上
の問題点を有していた。一方、上述したディジタル信号
を出力するアブソリュートロータリーエンコーダの原理
・構造から、アナログ信号を出力する磁気式の角度検出
装置を簡便に構成することは困難であった。
う角度検出装置のうちアナログ信号を出力するものは、
構造が複雑であったり構造上寿命が短いといった構造上
の問題点を有していた。一方、上述したディジタル信号
を出力するアブソリュートロータリーエンコーダの原理
・構造から、アナログ信号を出力する磁気式の角度検出
装置を簡便に構成することは困難であった。
【0010】本発明は、このような実情に鑑みて提案さ
れたものであって、簡便な構造によりアナログ信号を出
力する磁気式の角度検出装置を提供することを目的とす
る。
れたものであって、簡便な構造によりアナログ信号を出
力する磁気式の角度検出装置を提供することを目的とす
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る角度検出装
置は、上記課題を解決するため、高透磁率材料からな
り、複数の軸が中心部から同一平面上に放射状に延設さ
れてなる磁路形成部と、この磁路形成部の各軸に取り付
けられたコイルとを有する磁界検出手段と、磁界検出手
段の各軸と等間隔になるよう近接配置され、磁界検出手
段の各軸の位置する平面に対して平行かつ一方向の磁界
を発生する磁界発生手段とを備え、磁界検出手段と磁界
発生手段とが磁路形成部の中心部を回転中心として相対
回転するように支持される。
置は、上記課題を解決するため、高透磁率材料からな
り、複数の軸が中心部から同一平面上に放射状に延設さ
れてなる磁路形成部と、この磁路形成部の各軸に取り付
けられたコイルとを有する磁界検出手段と、磁界検出手
段の各軸と等間隔になるよう近接配置され、磁界検出手
段の各軸の位置する平面に対して平行かつ一方向の磁界
を発生する磁界発生手段とを備え、磁界検出手段と磁界
発生手段とが磁路形成部の中心部を回転中心として相対
回転するように支持される。
【0012】角度検出装置においては、磁界検出手段と
磁界発生手段とが磁路形成部の中心部を回転中心として
相対回転することにより、磁界発生手段からの一方向の
磁界が回転し、磁路形成部の各軸に取り付けられた各コ
イルのインピーダンスが変化する。
磁界発生手段とが磁路形成部の中心部を回転中心として
相対回転することにより、磁界発生手段からの一方向の
磁界が回転し、磁路形成部の各軸に取り付けられた各コ
イルのインピーダンスが変化する。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態につき図面を
参照しながら詳細に説明する。なお、以下の説明で使用
する上下左右あるいはXY等の方向については、図面を
基準とする。
参照しながら詳細に説明する。なお、以下の説明で使用
する上下左右あるいはXY等の方向については、図面を
基準とする。
【0014】図1は、後述する磁界検出センサ10の構
成部品となる磁路形成部の構造の一例を示した平面図で
ある。この磁路形成部1は、略十字型の平面形状を有
し、4つのバー1a,1b,1c,及び1dが中心部1
eから同一平面上に放射状に延設された構成となってい
る。
成部品となる磁路形成部の構造の一例を示した平面図で
ある。この磁路形成部1は、略十字型の平面形状を有
し、4つのバー1a,1b,1c,及び1dが中心部1
eから同一平面上に放射状に延設された構成となってい
る。
【0015】中心部1eは、円板形状を成すとともに、
その中央に孔部1fが形成されている。また、各バー1
a〜1dは、図1に示すように、バー1aとバー1b、
及びバー1cとバー1dとがそれぞれ一直線状となり、
かつ各バー1a〜1dが相互に90度の角度をなすよう
に中心部1eにより連結されている。以下、説明の便宜
のため、バー1aとバー1bとを総称してバー1Xと呼
び、バー1cとバー1dとを総称してバー1Yと呼ぶ。
その中央に孔部1fが形成されている。また、各バー1
a〜1dは、図1に示すように、バー1aとバー1b、
及びバー1cとバー1dとがそれぞれ一直線状となり、
かつ各バー1a〜1dが相互に90度の角度をなすよう
に中心部1eにより連結されている。以下、説明の便宜
のため、バー1aとバー1bとを総称してバー1Xと呼
び、バー1cとバー1dとを総称してバー1Yと呼ぶ。
【0016】磁路形成部1は、互いに直交する2軸であ
るバー1X,1Yを構成要素とする十字型の開磁路をも
っている。そして、磁路形成部1の寸法は、バー1X,
1Yの端からバー1X,1Yと中心部1eとの境界まで
の距離がそれぞれ7mm、中心部1eの円の半径が1.
5mm(従ってバー1X,1Yの差し渡しがそれぞれ1
7mm)、バー1X,1Yの幅がそれぞれ0.6mm、
孔部1fの直径が0.8mm、バー1X,1Y、及び中
心部1eの板厚がそれぞれ0.05mmになっている。
(なお、寸法はあくまで一例であって、これに限定する
趣旨ではない。以下の各部についても同じである。)磁
路形成部1の材質としては、パーマロイが用いられてい
る。磁路形成部1の加工にあたっては、パーマロイによ
る板材をエッチングにより、上述した形状及び寸法に成
形する。なお、略同形状の非磁性材を磁路形成部1に密
着させることで、機械的強度を補強するようにしてもよ
い。
るバー1X,1Yを構成要素とする十字型の開磁路をも
っている。そして、磁路形成部1の寸法は、バー1X,
1Yの端からバー1X,1Yと中心部1eとの境界まで
の距離がそれぞれ7mm、中心部1eの円の半径が1.
5mm(従ってバー1X,1Yの差し渡しがそれぞれ1
7mm)、バー1X,1Yの幅がそれぞれ0.6mm、
孔部1fの直径が0.8mm、バー1X,1Y、及び中
心部1eの板厚がそれぞれ0.05mmになっている。
(なお、寸法はあくまで一例であって、これに限定する
趣旨ではない。以下の各部についても同じである。)磁
路形成部1の材質としては、パーマロイが用いられてい
る。磁路形成部1の加工にあたっては、パーマロイによ
る板材をエッチングにより、上述した形状及び寸法に成
形する。なお、略同形状の非磁性材を磁路形成部1に密
着させることで、機械的強度を補強するようにしてもよ
い。
【0017】なお、磁路形成部1の材質は、高透磁率磁
性材であればどのようなものでもよい。パーマロイ以外
にも、磁路形成部1の材質として好ましいものには、ア
モルファス金属等が挙げられる。アモルファス金属とし
ては、FeCoSiB組成のものが一般的に多く用いら
れる。
性材であればどのようなものでもよい。パーマロイ以外
にも、磁路形成部1の材質として好ましいものには、ア
モルファス金属等が挙げられる。アモルファス金属とし
ては、FeCoSiB組成のものが一般的に多く用いら
れる。
【0018】磁界検出センサ10は、図2に示すよう
に、磁路形成部1の各バー1a〜1dに対してボビン2
とコイルとからなるコイル体3が取り付けられる。ここ
で、コイル体3の取り付けにあたっては、予め別工程
で、樹脂等の絶縁体から成るボビン2(2a,2b,2
c,2d)にコイルX1,X2,Y1,Y2を互いに等
しい巻回数で巻装しておく。その際、コイルX1〜Y2
のインダクタンスを大きくするために、コイルX1〜Y
2の巻数を多めにする。この実施の形態では、このとき
の巻回数を1200ターンとすることにより、インダク
タンスが約10mHと比較的簡単に大きな値が得られた
ことから、高インピーダンス化につながり、装置全体と
しての低消費電力化を可能とした。
に、磁路形成部1の各バー1a〜1dに対してボビン2
とコイルとからなるコイル体3が取り付けられる。ここ
で、コイル体3の取り付けにあたっては、予め別工程
で、樹脂等の絶縁体から成るボビン2(2a,2b,2
c,2d)にコイルX1,X2,Y1,Y2を互いに等
しい巻回数で巻装しておく。その際、コイルX1〜Y2
のインダクタンスを大きくするために、コイルX1〜Y
2の巻数を多めにする。この実施の形態では、このとき
の巻回数を1200ターンとすることにより、インダク
タンスが約10mHと比較的簡単に大きな値が得られた
ことから、高インピーダンス化につながり、装置全体と
しての低消費電力化を可能とした。
【0019】なお、この巻回数は、消費電力を特に低く
する必要が無い場合には、1200ターンより少なくて
も良い。この巻回数を減少させた場合の実験を行った結
果、50ターン程度まで少なくした場合でも十分に機能
することが確認された。
する必要が無い場合には、1200ターンより少なくて
も良い。この巻回数を減少させた場合の実験を行った結
果、50ターン程度まで少なくした場合でも十分に機能
することが確認された。
【0020】磁路形成部1の各バーにコイル体3が取り
付けられた磁界検出センサ10は、さらに図3に示すよ
うに、基板4に対して取り付けられる。この基板4は、
絶縁材料によって平面略円形状に成形されており、その
一方の主面4Aの中央に平面円環状の立上がり壁部5が
形成されている。この立上がり壁部5により囲まれた基
板4の主面4Aには、その中心位置に磁路形成部1の孔
部1fと略同径の穴部11が形成されている。また、立
上がり壁部5には、磁路形成部1の各バーの幅と略同一
幅を有する切欠部6,7,8,9が形成されている。こ
のうち、切欠部6と切欠部8が穴部11を中心として相
互に対峙しており、また、切欠部7と切欠部9も穴部1
1を中心として相互に対峙している。
付けられた磁界検出センサ10は、さらに図3に示すよ
うに、基板4に対して取り付けられる。この基板4は、
絶縁材料によって平面略円形状に成形されており、その
一方の主面4Aの中央に平面円環状の立上がり壁部5が
形成されている。この立上がり壁部5により囲まれた基
板4の主面4Aには、その中心位置に磁路形成部1の孔
部1fと略同径の穴部11が形成されている。また、立
上がり壁部5には、磁路形成部1の各バーの幅と略同一
幅を有する切欠部6,7,8,9が形成されている。こ
のうち、切欠部6と切欠部8が穴部11を中心として相
互に対峙しており、また、切欠部7と切欠部9も穴部1
1を中心として相互に対峙している。
【0021】このような構成を有する基板4は、その切
欠部6,7,8,9に対して磁界検出センサ10の磁路
形成部1における各バーの端部が嵌めこまれるように取
り付けられる。このとき、図3に示すように、磁路形成
部1の孔部1fは、基板4の穴部11と平面位置が一致
するように位置決めされる。そして、この状態で孔部1
fと穴部11とを図示しない固定ガイドピンが嵌合する
ことによって、磁界検出センサ10が基板4に対して固
定される。なお、この固定ガイドピンは、磁路形成部1
の中心を示す指標としての機能をも有している。
欠部6,7,8,9に対して磁界検出センサ10の磁路
形成部1における各バーの端部が嵌めこまれるように取
り付けられる。このとき、図3に示すように、磁路形成
部1の孔部1fは、基板4の穴部11と平面位置が一致
するように位置決めされる。そして、この状態で孔部1
fと穴部11とを図示しない固定ガイドピンが嵌合する
ことによって、磁界検出センサ10が基板4に対して固
定される。なお、この固定ガイドピンは、磁路形成部1
の中心を示す指標としての機能をも有している。
【0022】さらに、立上がり壁部5により囲まれた基
板4の主面4Aには、磁界検出センサ10の各コイルX
1〜Y2からの導線が半田付けで接続される金属のピン
部材12が8本取り付けられている。各ピン部材12
は、基板4のもう一方の主面4Bまで貫通している。そ
して、基板4のもう一方の主面4Bには後述する励磁手
段42,平滑回路43等を構成するIC等のチップ部品
(図示せず)が取り付けられており、各ピン部材12
は、このチップ部品の端子を介して後述するケーブル1
3と接続されることになる。
板4の主面4Aには、磁界検出センサ10の各コイルX
1〜Y2からの導線が半田付けで接続される金属のピン
部材12が8本取り付けられている。各ピン部材12
は、基板4のもう一方の主面4Bまで貫通している。そ
して、基板4のもう一方の主面4Bには後述する励磁手
段42,平滑回路43等を構成するIC等のチップ部品
(図示せず)が取り付けられており、各ピン部材12
は、このチップ部品の端子を介して後述するケーブル1
3と接続されることになる。
【0023】一方、立上がり壁部5の外側の基板4の両
主面には、複数の取り付け孔14,14が穿設されてい
る。ここで、図面上はこの取り付け孔14が2つとなっ
ているが、この取り付け孔14の数については、3つあ
るいはそれ以上としても良い。
主面には、複数の取り付け孔14,14が穿設されてい
る。ここで、図面上はこの取り付け孔14が2つとなっ
ているが、この取り付け孔14の数については、3つあ
るいはそれ以上としても良い。
【0024】なお、説明の便宜のため、上述した磁界検
出センサ10,固定ガイドピン,ピン部材12,チップ
部品,ケーブル13等が取り付けられた基板4を、検出
センサ部20と呼ぶ。
出センサ10,固定ガイドピン,ピン部材12,チップ
部品,ケーブル13等が取り付けられた基板4を、検出
センサ部20と呼ぶ。
【0025】図4は、本発明の角度検出装置30の要部
断面図である。この角度検出装置30は、略カップ状の
筐体21の内部にステーター22が取り付けられてお
り、この筐体21とステーター22とで形成される空間
部に、ローター23、支柱26,26、上述した検出セ
ンサ部20が配設される。
断面図である。この角度検出装置30は、略カップ状の
筐体21の内部にステーター22が取り付けられてお
り、この筐体21とステーター22とで形成される空間
部に、ローター23、支柱26,26、上述した検出セ
ンサ部20が配設される。
【0026】ローター23は、円盤状の回転子24とこ
の回転子24の主面の中心に一体に取り付けられたシャ
フト部25とからなり、このシャフト部25が、ステー
ター22の中央に形成されたローター取付開口部27に
対して、ボールベアリング28,28及びスペーサ29
を介して回転可能に取り付けられる。具体的には、シャ
フト部25は、その直径がボールベアリング28,28
の内径と略同一となっている。さらに、シャフト部25
は、その回転子24に取り付けられる側にボールベアリ
ング28の内径より大径とされた突当て部25aが形成
されている。そして、ローター23は、シャフト部25
の突当て部25aがボールベアリング28に突き当てら
れることによって、ステーター22のローター取付開口
部27に対して回転可能に取り付けられる。
の回転子24の主面の中心に一体に取り付けられたシャ
フト部25とからなり、このシャフト部25が、ステー
ター22の中央に形成されたローター取付開口部27に
対して、ボールベアリング28,28及びスペーサ29
を介して回転可能に取り付けられる。具体的には、シャ
フト部25は、その直径がボールベアリング28,28
の内径と略同一となっている。さらに、シャフト部25
は、その回転子24に取り付けられる側にボールベアリ
ング28の内径より大径とされた突当て部25aが形成
されている。そして、ローター23は、シャフト部25
の突当て部25aがボールベアリング28に突き当てら
れることによって、ステーター22のローター取付開口
部27に対して回転可能に取り付けられる。
【0027】ここで、図5を参照してローター23の構
造について説明する。ローター23は、その回転子24
がプラスティックマグネットにより円盤状に成形されて
いる。この回転子24は、図5の矢印で示すように、円
盤形状の盤面平面内方向の一方向に磁化されている。こ
のような構成の回転子24は、上述した磁界検出センサ
10に対する外部磁界の発生手段としての機能を有して
いる。
造について説明する。ローター23は、その回転子24
がプラスティックマグネットにより円盤状に成形されて
いる。この回転子24は、図5の矢印で示すように、円
盤形状の盤面平面内方向の一方向に磁化されている。こ
のような構成の回転子24は、上述した磁界検出センサ
10に対する外部磁界の発生手段としての機能を有して
いる。
【0028】回転子24は、その磁界検出センサ10と
対峙する盤面平面内の回転中心点に、小径のガイド穴3
1が刻設されている。このガイド穴31は、検出センサ
部20をステーター22に対して取り付ける際に、この
検出センサ部20の位置合わせのために利用される。
対峙する盤面平面内の回転中心点に、小径のガイド穴3
1が刻設されている。このガイド穴31は、検出センサ
部20をステーター22に対して取り付ける際に、この
検出センサ部20の位置合わせのために利用される。
【0029】検出センサ部20は、図4に示すように、
ステーター22と一体形成された支柱26,26を介し
てローター23が組み込まれたステーター22に取り付
けられることにより、ローター23の回転子24からの
磁界を検出する手段となす。具体的には、検出センサ部
20は、基板4の立上がり壁部5をローター23に対峙
する方向に向け、かつネジ32,32を取り付け孔1
4,14を介して支柱26,26の図示しないネジ穴に
ねじ込むことによって、ステーター22に対して固定さ
れる。
ステーター22と一体形成された支柱26,26を介し
てローター23が組み込まれたステーター22に取り付
けられることにより、ローター23の回転子24からの
磁界を検出する手段となす。具体的には、検出センサ部
20は、基板4の立上がり壁部5をローター23に対峙
する方向に向け、かつネジ32,32を取り付け孔1
4,14を介して支柱26,26の図示しないネジ穴に
ねじ込むことによって、ステーター22に対して固定さ
れる。
【0030】このとき、図6(a)及び(b)に示すよ
うに、検出センサ部20における磁路形成部1の孔部1
fの中心と回転子24のガイド穴31とが同軸になるよ
うに位置合わせを行う。具体的には、磁路形成部1の孔
部1fと基板4の穴部11とに嵌合した上述の固定ガイ
ドピンの中心と、回転子24のガイド穴31とが同軸に
なるように位置合わせの微調整を行う。また、このと
き、図6(a)及び(b)に示すように、回転子24の
盤面により作られる平面と磁路形成部1により作られる
平面とが所定の間隔を有して略平行となるように微調整
を行う。これら各微調整により、角度検出装置30にお
いては、精度の良い出力信号を得ることができる。
うに、検出センサ部20における磁路形成部1の孔部1
fの中心と回転子24のガイド穴31とが同軸になるよ
うに位置合わせを行う。具体的には、磁路形成部1の孔
部1fと基板4の穴部11とに嵌合した上述の固定ガイ
ドピンの中心と、回転子24のガイド穴31とが同軸に
なるように位置合わせの微調整を行う。また、このと
き、図6(a)及び(b)に示すように、回転子24の
盤面により作られる平面と磁路形成部1により作られる
平面とが所定の間隔を有して略平行となるように微調整
を行う。これら各微調整により、角度検出装置30にお
いては、精度の良い出力信号を得ることができる。
【0031】なお、図4に示すように、検出センサ部2
0における基板4の主面4B側には、ケーブル13が上
述のように接続される。このケーブル13は、筐体21
の穴部33に取り付けられたパッキング部材34を介し
てこの筐体21の外部に引き出される。
0における基板4の主面4B側には、ケーブル13が上
述のように接続される。このケーブル13は、筐体21
の穴部33に取り付けられたパッキング部材34を介し
てこの筐体21の外部に引き出される。
【0032】ここで、図7を参照して、角度検出装置3
0において磁界を検出する原理について説明する。上述
のように、ローター23の回転子24が盤面平面内の一
方向に着磁されたプラスティックマグネットを用いてい
ることから、このプラスティックマグネットが外部に作
る磁界(以下、外部磁界という。)によって、検出セン
サ部20における磁界検出センサ10には、一方向の略
一様な磁界が印加される。磁界検出センサ10に印加さ
れている磁界は、ローター23の回転に伴って回転す
る。従って、磁界検出センサ10の各軸からの出力信号
は、外部磁界のその軸方向成分の強さに応じた出力とな
る。具体的には、後述の如く、出力信号は、回転子24
からの磁界が回転する事で正弦波状に変化することにな
る。
0において磁界を検出する原理について説明する。上述
のように、ローター23の回転子24が盤面平面内の一
方向に着磁されたプラスティックマグネットを用いてい
ることから、このプラスティックマグネットが外部に作
る磁界(以下、外部磁界という。)によって、検出セン
サ部20における磁界検出センサ10には、一方向の略
一様な磁界が印加される。磁界検出センサ10に印加さ
れている磁界は、ローター23の回転に伴って回転す
る。従って、磁界検出センサ10の各軸からの出力信号
は、外部磁界のその軸方向成分の強さに応じた出力とな
る。具体的には、後述の如く、出力信号は、回転子24
からの磁界が回転する事で正弦波状に変化することにな
る。
【0033】次に、図8を参照して、検出センサ部20
の磁界検出センサ10がローター23の回転角度を検出
する方法について説明する。図8は、検出センサ部20
の回路構成の一例を示す図である。なお、この図では、
磁界検出センサ10に関しては、動作機能に寄与する磁
路形成部1とその各軸(各バー)に位置するコイルX1
〜Y2のみを抽出して示している。
の磁界検出センサ10がローター23の回転角度を検出
する方法について説明する。図8は、検出センサ部20
の回路構成の一例を示す図である。なお、この図では、
磁界検出センサ10に関しては、動作機能に寄与する磁
路形成部1とその各軸(各バー)に位置するコイルX1
〜Y2のみを抽出して示している。
【0034】図8に示すこの回路においては、抵抗R
1,R2,R3、トランジスタTR1,TR2、コンデ
ンサC1、及びIC1からなる高周波発振器41とトラ
ンスTとからなる励磁手段42によって励磁を行うよう
になっている。なお、この高周波発振器41は、マルチ
バイブレータ回路を応用したものとなっている。
1,R2,R3、トランジスタTR1,TR2、コンデ
ンサC1、及びIC1からなる高周波発振器41とトラ
ンスTとからなる励磁手段42によって励磁を行うよう
になっている。なお、この高周波発振器41は、マルチ
バイブレータ回路を応用したものとなっている。
【0035】また、この回路の出力側には、抵抗R8,
R9,R10,R11、コンデンサC2,C3,C4,
C5、及びコンデンサC6,C7により構成された平滑
回路43がダイオードD2〜D5を介して磁界検出セン
サ10と接続されている。
R9,R10,R11、コンデンサC2,C3,C4,
C5、及びコンデンサC6,C7により構成された平滑
回路43がダイオードD2〜D5を介して磁界検出セン
サ10と接続されている。
【0036】ここで、高周波発振器41の出力は、励磁
手段42の検出感度が最良となる周期が約40μS、パ
ルス幅が約2μSに設定した。又、高周波発振器41の
IC1は、ヒステリシスを持ったシュミット・インバー
タを用いることにより、チャタリングを防止している。
この出力は、コイルのインダクタンスが大きいので、後
述のように磁路形成部1の磁界がHdとなるようトラン
スTで3倍に昇圧して、この磁路形成部1を励磁してい
る。
手段42の検出感度が最良となる周期が約40μS、パ
ルス幅が約2μSに設定した。又、高周波発振器41の
IC1は、ヒステリシスを持ったシュミット・インバー
タを用いることにより、チャタリングを防止している。
この出力は、コイルのインダクタンスが大きいので、後
述のように磁路形成部1の磁界がHdとなるようトラン
スTで3倍に昇圧して、この磁路形成部1を励磁してい
る。
【0037】磁路形成部1に巻装される各コイルは、励
磁電圧が印加されたときに磁界の方向が、X軸のコイル
X1,X2では外向きになり、Y軸のコイルY1,Y2
では内向きになるように巻装され、各コイルの一方がト
ランスTの片側に、他方は各々抵抗R4〜R7を介して
トランスTの他の片側に結線されている。励磁電圧が印
加されたときの磁界の強さは、磁路形成部1に巻装され
る各コイルのインピーダンス変化が急峻となる磁界Hd
まで励振される。
磁電圧が印加されたときに磁界の方向が、X軸のコイル
X1,X2では外向きになり、Y軸のコイルY1,Y2
では内向きになるように巻装され、各コイルの一方がト
ランスTの片側に、他方は各々抵抗R4〜R7を介して
トランスTの他の片側に結線されている。励磁電圧が印
加されたときの磁界の強さは、磁路形成部1に巻装され
る各コイルのインピーダンス変化が急峻となる磁界Hd
まで励振される。
【0038】ここで、外部磁界が加わっていない場合を
考えると、磁路形成部1の形状、各コイルの巻数、励磁
電圧による磁界Hdも等しい。従って、磁路形成部1に
おける各軸のコイルのインピーダンスも等しくなるから
抵抗R4〜R7の両端に生じる励磁電圧の大きさは皆等
しく、ダイオードD2〜D5を経て各抵抗R8〜R11
及び、コンデンサC2,C3,C4,C5、及びコンデ
ンサC6,C7による平滑回路43を経た出力も等しく
なるので、X軸出力Vx及びY軸出力Vyの出力は零とな
る。なお、この平滑回路43は、励磁電圧の周期よりも
十分大きな時定数をもたせてある。
考えると、磁路形成部1の形状、各コイルの巻数、励磁
電圧による磁界Hdも等しい。従って、磁路形成部1に
おける各軸のコイルのインピーダンスも等しくなるから
抵抗R4〜R7の両端に生じる励磁電圧の大きさは皆等
しく、ダイオードD2〜D5を経て各抵抗R8〜R11
及び、コンデンサC2,C3,C4,C5、及びコンデ
ンサC6,C7による平滑回路43を経た出力も等しく
なるので、X軸出力Vx及びY軸出力Vyの出力は零とな
る。なお、この平滑回路43は、励磁電圧の周期よりも
十分大きな時定数をもたせてある。
【0039】次に、外部磁界が磁路形成部1に加わった
場合を考えると、X軸のコイルX2の部分では、外部磁
界のX成分Hxの向きと励磁電圧による磁界Hdの向きと
が互いに逆であるから、この部分の磁界強度は下がり、
コイルのインピーダンスが周知のように大きくなり、抵
抗R6端の励磁電圧も大きくなる。逆にX軸のコイルX
1では、外部磁界のX成分Hxの向きと励磁電圧による
磁界Hdの向きとが互いに同じとなり、磁界強度は上が
るのでインピーダンスは小さくなり、抵抗R7端の励磁
電圧も小さくなる。
場合を考えると、X軸のコイルX2の部分では、外部磁
界のX成分Hxの向きと励磁電圧による磁界Hdの向きと
が互いに逆であるから、この部分の磁界強度は下がり、
コイルのインピーダンスが周知のように大きくなり、抵
抗R6端の励磁電圧も大きくなる。逆にX軸のコイルX
1では、外部磁界のX成分Hxの向きと励磁電圧による
磁界Hdの向きとが互いに同じとなり、磁界強度は上が
るのでインピーダンスは小さくなり、抵抗R7端の励磁
電圧も小さくなる。
【0040】この結果、平滑回路43を経たX軸コイル
X2側の電圧が上がり、X軸コイルX1側の電圧が下が
るので、X軸出力Vxは、図中矢印で示した方向に現れ
る。なお、外部磁界のX成分Hxの方向が逆となればX
軸出力Vxも逆方向となることは説明を要しない。この
ように、X軸出力Vxは、外部磁界のX軸成分Hxの強さ
に応じた出力が得られることになる。
X2側の電圧が上がり、X軸コイルX1側の電圧が下が
るので、X軸出力Vxは、図中矢印で示した方向に現れ
る。なお、外部磁界のX成分Hxの方向が逆となればX
軸出力Vxも逆方向となることは説明を要しない。この
ように、X軸出力Vxは、外部磁界のX軸成分Hxの強さ
に応じた出力が得られることになる。
【0041】以下、Y軸出力についても、磁路形成部1
のY軸コイルY1,Y2が、X軸コイルに対して励磁電
圧による磁界Hdの向きが逆で空間配置が90°異なる
こと以外は同じであるから、同様に外部磁界のY軸成分
Hyの強さに比例した出力が得られることになる。
のY軸コイルY1,Y2が、X軸コイルに対して励磁電
圧による磁界Hdの向きが逆で空間配置が90°異なる
こと以外は同じであるから、同様に外部磁界のY軸成分
Hyの強さに比例した出力が得られることになる。
【0042】したがって、上述のように、ローター23
の回転子24からの外部磁界によって、磁界検出センサ
10には、一方向の略一様な磁界が印加される。そし
て、磁界検出センサ10のX軸からの出力信号は、ロー
ター23の回転に伴う磁界の回転により、正弦波状に変
化することになる。一方、磁界検出センサ10のY軸か
らの出力信号は、X軸からの出力信号より90度位相の
ずれた信号となる。
の回転子24からの外部磁界によって、磁界検出センサ
10には、一方向の略一様な磁界が印加される。そし
て、磁界検出センサ10のX軸からの出力信号は、ロー
ター23の回転に伴う磁界の回転により、正弦波状に変
化することになる。一方、磁界検出センサ10のY軸か
らの出力信号は、X軸からの出力信号より90度位相の
ずれた信号となる。
【0043】図9に、角度検出装置30におけるロータ
ー23の回転角度と出力電圧との関係を測定した結果に
ついて示す。この特性図から明らかなように、出力信号
Vx,Vyとして、互いに位相が90度ずれた正弦波及び
余弦波のアナログ出力が、少ない誤差で高精度に得られ
ている。また、各出力信号Vx,Vyの周期は、ローター
23が一回転すると一周期となることがわかる。
ー23の回転角度と出力電圧との関係を測定した結果に
ついて示す。この特性図から明らかなように、出力信号
Vx,Vyとして、互いに位相が90度ずれた正弦波及び
余弦波のアナログ出力が、少ない誤差で高精度に得られ
ている。また、各出力信号Vx,Vyの周期は、ローター
23が一回転すると一周期となることがわかる。
【0044】このように、角度検出装置30によれば、
十字型の磁路形成部1の直交する2軸であるバー1X及
びバー1Yにそれぞれ一対のコイルを設けた磁界検出セ
ンサ10と、励磁手段42,平滑回路43等の回路と、
磁界検出センサ10に一方向の略一様な磁界を印加する
プラスティックマグネットの回転子24を備えたロータ
ー23、という簡便な構成を有しながら、ローター23
の回転に比例した周期を有するアナログの正弦波及び余
弦波による信号を出力することができる。
十字型の磁路形成部1の直交する2軸であるバー1X及
びバー1Yにそれぞれ一対のコイルを設けた磁界検出セ
ンサ10と、励磁手段42,平滑回路43等の回路と、
磁界検出センサ10に一方向の略一様な磁界を印加する
プラスティックマグネットの回転子24を備えたロータ
ー23、という簡便な構成を有しながら、ローター23
の回転に比例した周期を有するアナログの正弦波及び余
弦波による信号を出力することができる。
【0045】なお、角度検出装置30によれば、上述の
ようにエッチングの手法を用いて磁路形成部1の加工を
していることから、磁路形成部1の寸法及び形状を正確
に出すことができ、この結果、各出力信号Vx,Vyにつ
いて、その位相差を調整することなしに正確な出力を得
ることができる。
ようにエッチングの手法を用いて磁路形成部1の加工を
していることから、磁路形成部1の寸法及び形状を正確
に出すことができ、この結果、各出力信号Vx,Vyにつ
いて、その位相差を調整することなしに正確な出力を得
ることができる。
【0046】さらに、角度検出装置30によれば、ロー
ター23側と検出センサ部20側とで摺動部分を有しな
いので、摺動部品の摩耗等による寿命を考慮する必要が
ない。
ター23側と検出センサ部20側とで摺動部分を有しな
いので、摺動部品の摩耗等による寿命を考慮する必要が
ない。
【0047】さらにまた、角度検出装置30によれば、
ボビン2にコイルを巻回したコイル体3を磁路形成部1
の各バーに取り付ける構成としたので、コイルの巻回が
し易く、多巻回も容易であり、さらには巻回の作業を別
工程で行うことができるので、組立効率が大幅にアップ
する。
ボビン2にコイルを巻回したコイル体3を磁路形成部1
の各バーに取り付ける構成としたので、コイルの巻回が
し易く、多巻回も容易であり、さらには巻回の作業を別
工程で行うことができるので、組立効率が大幅にアップ
する。
【0048】また、角度検出装置30によれば、磁路形
成部1,基板4,及び回転子24のそれぞれの中心位置
に、孔部1f,穴部11,及びガイド穴31を設けたこ
とから、これらを基準としてそれぞれの正確な位置決め
を行うことが可能となり、これにより安価でかつ性能の
良い製品を提供することが可能となる。
成部1,基板4,及び回転子24のそれぞれの中心位置
に、孔部1f,穴部11,及びガイド穴31を設けたこ
とから、これらを基準としてそれぞれの正確な位置決め
を行うことが可能となり、これにより安価でかつ性能の
良い製品を提供することが可能となる。
【0049】図10及び図11に、ローター23の変形
例を示す。なお、上述した実施の形態と同一の部分には
同一の符号を付している。図10は、ローターについて
回転子の形状を矩形の板状とした場合を示している。図
10に示すこのローター23Aでは、この回転子24A
を長手方向に磁化した棒状の磁石を用いることとしてい
る。
例を示す。なお、上述した実施の形態と同一の部分には
同一の符号を付している。図10は、ローターについて
回転子の形状を矩形の板状とした場合を示している。図
10に示すこのローター23Aでは、この回転子24A
を長手方向に磁化した棒状の磁石を用いることとしてい
る。
【0050】また、図11に示すローター23Bは、全
体略円盤状の回転子24Bに2つの磁石44,45を取
り付けたものである。具体的には、ローター23Bは、
回転子24Bの主面外側の、ガイド穴31を中心とした
対称位置に、一対の切欠部46,46が形成されてお
り、この切欠部46,46に対して磁石44,45が嵌
合されることにより、平面略円形の形状を呈している。
このローター23Bでは、取り付けられた2つの磁石4
4,45につき、その磁化の方向が互いに同じように、
磁石44の外側がN極になり、磁石45の内側がN極に
なるようにそれぞれ磁化されている。なお、ローター2
3Bに取り付けられる磁石の数については、この例に限
定されるものではないことは勿論である。
体略円盤状の回転子24Bに2つの磁石44,45を取
り付けたものである。具体的には、ローター23Bは、
回転子24Bの主面外側の、ガイド穴31を中心とした
対称位置に、一対の切欠部46,46が形成されてお
り、この切欠部46,46に対して磁石44,45が嵌
合されることにより、平面略円形の形状を呈している。
このローター23Bでは、取り付けられた2つの磁石4
4,45につき、その磁化の方向が互いに同じように、
磁石44の外側がN極になり、磁石45の内側がN極に
なるようにそれぞれ磁化されている。なお、ローター2
3Bに取り付けられる磁石の数については、この例に限
定されるものではないことは勿論である。
【0051】なお、上記ローター23Aの回転子24A
及びローター23Bの磁石44,45の材質について
は、上述のプラスティックマグネットの他に、フェライ
トマグネット等の焼結磁石、CuNiFe,FeCrC
o等の合金磁石であっても良い。また、回転子の形状
は、上述の例だけに限定されるものでないことは勿論で
あり、検出センサ部20の磁界検出センサ10に対して
略一様の外部磁界を印加するものであればよい。
及びローター23Bの磁石44,45の材質について
は、上述のプラスティックマグネットの他に、フェライ
トマグネット等の焼結磁石、CuNiFe,FeCrC
o等の合金磁石であっても良い。また、回転子の形状
は、上述の例だけに限定されるものでないことは勿論で
あり、検出センサ部20の磁界検出センサ10に対して
略一様の外部磁界を印加するものであればよい。
【0052】次に、角度検出装置の他の構成例について
図12及び図13を参照して説明する。なお、上述した
実施の形態と同一の部分については同一の符号を付し、
その説明を適宜省略する。図12に示すこの角度検出装
置50では、回転軸51の先端側の主面51Aに上述し
たプラスティックマグネットによる回転子24を組み込
んだハウジング52が取り付けられている。
図12及び図13を参照して説明する。なお、上述した
実施の形態と同一の部分については同一の符号を付し、
その説明を適宜省略する。図12に示すこの角度検出装
置50では、回転軸51の先端側の主面51Aに上述し
たプラスティックマグネットによる回転子24を組み込
んだハウジング52が取り付けられている。
【0053】回転軸51は、例えば回転角度の測定対象
となる図示しない所定の工作機械における回転シャフト
等を用いることができる。
となる図示しない所定の工作機械における回転シャフト
等を用いることができる。
【0054】ハウジング52は、具体的には図13に示
すように、全体略リング状の外形を呈しており、その中
央には回転子24を取り付けるためこの回転子24の直
径と同径に形成された円形の取付部53を有し、その主
面には孔部54が4箇所に形成されている。そして、角
度検出装置50においては、このハウジング52の取付
部53に対して回転子24を嵌入し、この状態でハウジ
ング52を回転軸51の主面51Aに当接し、さらにこ
の状態で各孔部54にねじ55によりねじ込むことによ
り、回転軸51の主面51Aに対してハウジング52及
び回転子24が取り付けられる。なお、この取り付けに
あたっては、回転軸51の回転中心と回転子24のガイ
ド穴31とが同軸になるよう位置決めを行う。
すように、全体略リング状の外形を呈しており、その中
央には回転子24を取り付けるためこの回転子24の直
径と同径に形成された円形の取付部53を有し、その主
面には孔部54が4箇所に形成されている。そして、角
度検出装置50においては、このハウジング52の取付
部53に対して回転子24を嵌入し、この状態でハウジ
ング52を回転軸51の主面51Aに当接し、さらにこ
の状態で各孔部54にねじ55によりねじ込むことによ
り、回転軸51の主面51Aに対してハウジング52及
び回転子24が取り付けられる。なお、この取り付けに
あたっては、回転軸51の回転中心と回転子24のガイ
ド穴31とが同軸になるよう位置決めを行う。
【0055】そして、角度検出装置50では、この回転
子24に対して、図3に示した磁界検出センサ10が組
み込まれた基板56の立上がり壁部5が対峙するように
配設される。なお、この基板56は、その外形が平面略
正方形状となっているところを除いては上述した基板4
と全く同様の構成であり、一方の主面56Aの中央部に
上記立上がり壁部5が形成され、もう一方の主面56B
に上述した励磁手段42,平滑回路43等を構成するI
C等のチップ部品、ケーブル13が取り付けられてい
る。
子24に対して、図3に示した磁界検出センサ10が組
み込まれた基板56の立上がり壁部5が対峙するように
配設される。なお、この基板56は、その外形が平面略
正方形状となっているところを除いては上述した基板4
と全く同様の構成であり、一方の主面56Aの中央部に
上記立上がり壁部5が形成され、もう一方の主面56B
に上述した励磁手段42,平滑回路43等を構成するI
C等のチップ部品、ケーブル13が取り付けられてい
る。
【0056】基板56は、例えば図示しない所定の固定
器具等に対して取り付けられ、一方、ハウジング52及
び回転子24が配設された回転軸51は、図示しない軸
受けによって図の矢印AB方向に回転可能に支持され
る。ここで、回転子24と基板56の立上がり壁部5と
は、上述の実施の形態と同様に、磁路形成部1の孔部1
fと基板56の上記穴部(図示せず)とに嵌合した固定
ガイドピンの中心と、回転子24のガイド穴31とが同
軸となり、図6(a)及び(b)に示したように、回転
子24の盤面により作られる平面と立上がり壁部5に組
み込まれた磁路形成部1により作られる平面とが所定の
間隔を有して略平行となるように位置決めがなされる。
このように位置決めがなされることにより、角度検出装
置50においては、精度の良い出力信号が得られる。
器具等に対して取り付けられ、一方、ハウジング52及
び回転子24が配設された回転軸51は、図示しない軸
受けによって図の矢印AB方向に回転可能に支持され
る。ここで、回転子24と基板56の立上がり壁部5と
は、上述の実施の形態と同様に、磁路形成部1の孔部1
fと基板56の上記穴部(図示せず)とに嵌合した固定
ガイドピンの中心と、回転子24のガイド穴31とが同
軸となり、図6(a)及び(b)に示したように、回転
子24の盤面により作られる平面と立上がり壁部5に組
み込まれた磁路形成部1により作られる平面とが所定の
間隔を有して略平行となるように位置決めがなされる。
このように位置決めがなされることにより、角度検出装
置50においては、精度の良い出力信号が得られる。
【0057】この実施の形態では、プラスティックマグ
ネットによる回転子24をハウジング52を介して回転
軸51の先端側の主面51Aに取り付ける構成とした
が、この回転子24を回転軸51の主面51Aに直接取
り付ける構成としても良いことは勿論である。
ネットによる回転子24をハウジング52を介して回転
軸51の先端側の主面51Aに取り付ける構成とした
が、この回転子24を回転軸51の主面51Aに直接取
り付ける構成としても良いことは勿論である。
【0058】この角度検出装置50によれば、回転角度
の測定対象となる工作機械等の回転軸51の先端側の主
面51Aに回転子24を取り付けることとしたので、上
述した筐体21,ステーター22等の機械部品を省略す
ることができ、更に簡便な構成とすることが可能とな
る。
の測定対象となる工作機械等の回転軸51の先端側の主
面51Aに回転子24を取り付けることとしたので、上
述した筐体21,ステーター22等の機械部品を省略す
ることができ、更に簡便な構成とすることが可能とな
る。
【0059】また、角度検出装置50によれば、磁界検
出センサの磁界に対する検出感度が非常に高いので、回
転子24をフェライト磁性粉を用いたプラスティックマ
グネットとした場合でも、この回転子24と磁界検出セ
ンサとに十分な間隔を持たせてそれぞれを配置すること
が可能であることが確認された。また、回転子24の磁
性材料,寸法,形状を選択することにより、この間隔を
変えることが可能であることが確認された。
出センサの磁界に対する検出感度が非常に高いので、回
転子24をフェライト磁性粉を用いたプラスティックマ
グネットとした場合でも、この回転子24と磁界検出セ
ンサとに十分な間隔を持たせてそれぞれを配置すること
が可能であることが確認された。また、回転子24の磁
性材料,寸法,形状を選択することにより、この間隔を
変えることが可能であることが確認された。
【0060】なお、角度検出装置50においては、例え
ば回転軸51の回転角度の範囲が狭い等の場合には、基
板56側を回転軸51の主面51Aに取り付け、回転子
24側を固定とする構成としてもよいことは勿論であ
る。
ば回転軸51の回転角度の範囲が狭い等の場合には、基
板56側を回転軸51の主面51Aに取り付け、回転子
24側を固定とする構成としてもよいことは勿論であ
る。
【0061】次に、磁路形成部1の変形例について図1
4及び図15を参照して説明する。図14に示す磁路形
成部1Aは、6つのバー1a,1b,1c,1d,1
g,及び1hが中心部1eから同一平面上に放射状に延
設されている。ここで中心部1eは、図1に示す磁路形
成部1と同様に、円板形状を成すとともに、その中央に
孔部1fが穿設されている。また、各バー1a,1b,
1c,1d,1g,及び1hは、図14に示すように、
バー1aとバー1b、バー1cとバー1d、及びバー1
gとバー1hとがそれぞれ一直線状となり、かつ各バー
1a,1b,1c,1d,1g,及び1hが相互に60
度の角度をなすように中心部1eにより連結されてい
る。
4及び図15を参照して説明する。図14に示す磁路形
成部1Aは、6つのバー1a,1b,1c,1d,1
g,及び1hが中心部1eから同一平面上に放射状に延
設されている。ここで中心部1eは、図1に示す磁路形
成部1と同様に、円板形状を成すとともに、その中央に
孔部1fが穿設されている。また、各バー1a,1b,
1c,1d,1g,及び1hは、図14に示すように、
バー1aとバー1b、バー1cとバー1d、及びバー1
gとバー1hとがそれぞれ一直線状となり、かつ各バー
1a,1b,1c,1d,1g,及び1hが相互に60
度の角度をなすように中心部1eにより連結されてい
る。
【0062】角度検出装置30あるいは角度検出装置5
0をこの磁路形成部1Aを用いて構成する場合には、磁
界検出センサを構成するために6個のコイル体3を各バ
ーに取り付けることになるが、動作原理等については上
述した実施の形態と同様であるので、その説明を省略す
る。この磁路形成部1Aを用いた磁界検出センサによれ
ば、互いに120度位相のずれた3相(U,V,W相)
のアナログ信号を出力することができる。
0をこの磁路形成部1Aを用いて構成する場合には、磁
界検出センサを構成するために6個のコイル体3を各バ
ーに取り付けることになるが、動作原理等については上
述した実施の形態と同様であるので、その説明を省略す
る。この磁路形成部1Aを用いた磁界検出センサによれ
ば、互いに120度位相のずれた3相(U,V,W相)
のアナログ信号を出力することができる。
【0063】なお、磁路形成部1,1Aの各バー間の角
度は、上述した実施の形態のような相互に等角度でない
設定としてもよく、必要に応じて所定角度に変更しても
良い。
度は、上述した実施の形態のような相互に等角度でない
設定としてもよく、必要に応じて所定角度に変更しても
良い。
【0064】図15に示す磁路形成部1Bは、上述した
磁路形成部1Aから1本置きにバー1a,1h,1dを
省いた構造、すなわち、3つのバー1b,1c,1gが
中心部1eから同一平面上に放射状に延設されており、
中心点から上記各バーが互いに120度の角度で同一平
面上を同じ長さだけ延びた構造となっている。
磁路形成部1Aから1本置きにバー1a,1h,1dを
省いた構造、すなわち、3つのバー1b,1c,1gが
中心部1eから同一平面上に放射状に延設されており、
中心点から上記各バーが互いに120度の角度で同一平
面上を同じ長さだけ延びた構造となっている。
【0065】この場合には、3個の上記コイル体3を各
軸に配置し、磁界検出センサを構成するが、その動作に
ついてはこれまでの実施の形態と異なり、一つの方向に
対しては一つのコイルだけが対応することから、差動的
に動作することはなく、一つの方向に対して片側の動作
のみで信号を出力することになる。なお、これ以外の点
については上述した各実施の形態と同様であるので、そ
の説明を省略する。この磁路形成部1Bを用いた磁界検
出センサによれば、磁路形成部1Aを用いた磁界検出セ
ンサと同様に、互いに120度位相のずれた3相(U,
V,W相)のアナログ信号を出力することができる。
軸に配置し、磁界検出センサを構成するが、その動作に
ついてはこれまでの実施の形態と異なり、一つの方向に
対しては一つのコイルだけが対応することから、差動的
に動作することはなく、一つの方向に対して片側の動作
のみで信号を出力することになる。なお、これ以外の点
については上述した各実施の形態と同様であるので、そ
の説明を省略する。この磁路形成部1Bを用いた磁界検
出センサによれば、磁路形成部1Aを用いた磁界検出セ
ンサと同様に、互いに120度位相のずれた3相(U,
V,W相)のアナログ信号を出力することができる。
【0066】なお、磁路形成部1Bを用いた磁界検出セ
ンサにおいても、この磁路形成部1Bのバーの数をさら
に増やすことで、信号の数を増やすことができる。ま
た、磁路形成部1Bの各バー相互間の角度も、相互に等
角度でない設定としてもよく、必要に応じて所定角度に
変更しても良いことは勿論である。
ンサにおいても、この磁路形成部1Bのバーの数をさら
に増やすことで、信号の数を増やすことができる。ま
た、磁路形成部1Bの各バー相互間の角度も、相互に等
角度でない設定としてもよく、必要に応じて所定角度に
変更しても良いことは勿論である。
【0067】次に、角度検出装置の他の実施の形態につ
いて、図16乃至図18を参照して説明する。図16
は、当該他の実施の形態である角度検出装置60の要部
断面図である。この角度検出装置60は、筐体61とス
テーター62とが、各々の端部で組み合わされて結合さ
れており、この筐体61とステーター62とで形成され
る空間部に、シャフト取付軸64と回転子65とからな
るローター63、磁界検出センサ70とセンサ取付部材
72と回路基板73等からなる検出センサ部80が配設
される。
いて、図16乃至図18を参照して説明する。図16
は、当該他の実施の形態である角度検出装置60の要部
断面図である。この角度検出装置60は、筐体61とス
テーター62とが、各々の端部で組み合わされて結合さ
れており、この筐体61とステーター62とで形成され
る空間部に、シャフト取付軸64と回転子65とからな
るローター63、磁界検出センサ70とセンサ取付部材
72と回路基板73等からなる検出センサ部80が配設
される。
【0068】筐体61は、略カップ状の外形を有し、そ
の中央に円形の穴部61aが形成されている。
の中央に円形の穴部61aが形成されている。
【0069】ステーター62は、平面略ドーナツ状を呈
し、その中央に円筒状の立上がり壁部62aが形成さ
れ、この立上がり壁部62aの内周面がローター63を
取り付けるためのローター取付開口部66となってい
る。
し、その中央に円筒状の立上がり壁部62aが形成さ
れ、この立上がり壁部62aの内周面がローター63を
取り付けるためのローター取付開口部66となってい
る。
【0070】ローター63は、図17に示すように、シ
ャフト取付軸64と円盤状の回転子65とからなる。シ
ャフト取付軸64は、略パイプ状の本体部64aの上部
に回転子65を係止するための略リング状の係止部64
bが設けられ、両者が一体形成されている。ここで、本
体部64aの直径は、上述した筐体61の穴部61aの
直径よりも若干小さくなっている。また、図16に示す
ように、係止部64bの図中下側からは、本体部64a
の直径より若干大とされた突当て部64cが形成され
る。
ャフト取付軸64と円盤状の回転子65とからなる。シ
ャフト取付軸64は、略パイプ状の本体部64aの上部
に回転子65を係止するための略リング状の係止部64
bが設けられ、両者が一体形成されている。ここで、本
体部64aの直径は、上述した筐体61の穴部61aの
直径よりも若干小さくなっている。また、図16に示す
ように、係止部64bの図中下側からは、本体部64a
の直径より若干大とされた突当て部64cが形成され
る。
【0071】シャフト取付軸64は、本体部64aの長
手方向を貫通するようにシャフト挿入部64dが形成さ
れており、このシャフト挿入部64dに対して図示しな
い工作機械等の回転シャフトが挿入できるようになって
いる。さらに、シャフト取付軸64は、本体部64aの
上部に上記回転シャフトを固定するためのねじ穴である
シャフト取付孔64eが形成されている。これにより、
シャフト取付軸64は、工作機械等の回転シャフトとの
カップリングを必要としない構造となっている。
手方向を貫通するようにシャフト挿入部64dが形成さ
れており、このシャフト挿入部64dに対して図示しな
い工作機械等の回転シャフトが挿入できるようになって
いる。さらに、シャフト取付軸64は、本体部64aの
上部に上記回転シャフトを固定するためのねじ穴である
シャフト取付孔64eが形成されている。これにより、
シャフト取付軸64は、工作機械等の回転シャフトとの
カップリングを必要としない構造となっている。
【0072】回転子65は、図17の矢印で示すよう
に、一方向に磁化されたプラスティックマグネットによ
り円盤状に成形されており、その中心に円形の穴部65
aが設けられている。この穴部65aの直径は、シャフ
ト取付軸64の突当て部64cの直径と略等しくなって
いる。そして、シャフト取付軸64の本体部64aに対
して回転子65の穴部65aを図中下側から挿入するこ
とにより、穴部65aが突当て部64cに嵌入して回転
子65がシャフト取付軸64に対して固定され、ロータ
ー63が組み上がる。
に、一方向に磁化されたプラスティックマグネットによ
り円盤状に成形されており、その中心に円形の穴部65
aが設けられている。この穴部65aの直径は、シャフ
ト取付軸64の突当て部64cの直径と略等しくなって
いる。そして、シャフト取付軸64の本体部64aに対
して回転子65の穴部65aを図中下側から挿入するこ
とにより、穴部65aが突当て部64cに嵌入して回転
子65がシャフト取付軸64に対して固定され、ロータ
ー63が組み上がる。
【0073】検出センサ部80は、図18に示すよう
に、磁路形成部71の各バーにコイル体3が取り付けら
れることにより磁界検出センサ70が構成され、この磁
界検出センサ70がセンサ取付部材72の図中上側に組
み込まれ、さらに回路基板73がセンサ取付部材72の
図中下側から取り付けられることによって形成される。
に、磁路形成部71の各バーにコイル体3が取り付けら
れることにより磁界検出センサ70が構成され、この磁
界検出センサ70がセンサ取付部材72の図中上側に組
み込まれ、さらに回路基板73がセンサ取付部材72の
図中下側から取り付けられることによって形成される。
【0074】この磁界検出センサ70の磁路形成部71
は、図1に示した磁路形成部1と同様に、略十字型の平
面形状を有し、4つのバーが円板状の中心部74から同
一平面上に放射状に延設された構成となっているが、こ
の中心部74及び中心部74の内側に形成された孔部7
5が大径となっている点が磁路形成部1と異なる。
は、図1に示した磁路形成部1と同様に、略十字型の平
面形状を有し、4つのバーが円板状の中心部74から同
一平面上に放射状に延設された構成となっているが、こ
の中心部74及び中心部74の内側に形成された孔部7
5が大径となっている点が磁路形成部1と異なる。
【0075】センサ取付部材72は、磁路形成部71と
同様に、略十字型の平面形状を有し、取付穴部77が形
成された筒状のベース部76の側面から4つのセンサ取
付片78が直交する四方方向に突出形成した構造となっ
ている。ここで、取付穴部77の直径は、磁路形成部7
1の孔部75の直径と等しくなっている。また、各セン
サ取付片78は、略矩形の平面形状を有し、ベース部7
6と接続される基端側に立上がり突起部79が形成さ
れ、この立上がり突起部79の上端中央に切欠部81が
形成されている。さらに、各センサ取付片78には、そ
の先端側に突起部82が形成されている。この突起部8
2は、センサ取付片78の先端側から上下方向に突出形
成しており、その上端中央に切欠部83が形成され、そ
の下端位置がベース部76の下端位置と等しくなってい
る。
同様に、略十字型の平面形状を有し、取付穴部77が形
成された筒状のベース部76の側面から4つのセンサ取
付片78が直交する四方方向に突出形成した構造となっ
ている。ここで、取付穴部77の直径は、磁路形成部7
1の孔部75の直径と等しくなっている。また、各セン
サ取付片78は、略矩形の平面形状を有し、ベース部7
6と接続される基端側に立上がり突起部79が形成さ
れ、この立上がり突起部79の上端中央に切欠部81が
形成されている。さらに、各センサ取付片78には、そ
の先端側に突起部82が形成されている。この突起部8
2は、センサ取付片78の先端側から上下方向に突出形
成しており、その上端中央に切欠部83が形成され、そ
の下端位置がベース部76の下端位置と等しくなってい
る。
【0076】このような構成とされたセンサ取付部材7
2と磁界検出センサ70は、図18に示すように、磁路
形成部71の各バーの基端側が各立上がり突起部79の
各切欠部81に嵌入され、各バーの先端側が突起部82
の切欠部83に嵌入されることによって、磁界検出セン
サ70がセンサ取付部材72に取り付けられる。
2と磁界検出センサ70は、図18に示すように、磁路
形成部71の各バーの基端側が各立上がり突起部79の
各切欠部81に嵌入され、各バーの先端側が突起部82
の切欠部83に嵌入されることによって、磁界検出セン
サ70がセンサ取付部材72に取り付けられる。
【0077】回路基板73は、平面略ドーナツ状を呈し
た板状となっており、その中央に円形の穴部84が形成
されている。回路基板73においては、この穴部84の
直径が上述したセンサ取付部材72におけるベース部7
6の直径と略等しくなっている。回路基板73の両主面
には、図8に示した励磁手段42、平滑回路43等を構
成するIC等のチップ部品やケーブル13等が取り付け
られる。
た板状となっており、その中央に円形の穴部84が形成
されている。回路基板73においては、この穴部84の
直径が上述したセンサ取付部材72におけるベース部7
6の直径と略等しくなっている。回路基板73の両主面
には、図8に示した励磁手段42、平滑回路43等を構
成するIC等のチップ部品やケーブル13等が取り付け
られる。
【0078】この回路基板73は、穴部84をセンサ取
付部材72のベース部76に図18の下側から嵌入する
ことによって、その一方の主面と各センサ取付片78の
下側の主面とが接合する状態となり、この接合部分を例
えば接着剤で接着することにより、センサ取付部材72
に対して取り付けられる。
付部材72のベース部76に図18の下側から嵌入する
ことによって、その一方の主面と各センサ取付片78の
下側の主面とが接合する状態となり、この接合部分を例
えば接着剤で接着することにより、センサ取付部材72
に対して取り付けられる。
【0079】このようにして完成した検出センサ部80
は、センサ取付部材72におけるベース部76の取付穴
部77をステーター62の立上がり壁部62aに嵌入す
ることによって、図16に示すように、ステーター62
上に取り付けられる。
は、センサ取付部材72におけるベース部76の取付穴
部77をステーター62の立上がり壁部62aに嵌入す
ることによって、図16に示すように、ステーター62
上に取り付けられる。
【0080】一方、ローター63は、図16に示すよう
に、シャフト取付軸64がステーター62のローター取
付開口部66に対してボールベアリング67,67及び
スペーサ68を介して回転可能に取り付けられる。この
とき、ローター63は、シャフト取付軸64の突当て部
64cがボールベアリング67に突き当てられる位置で
固定されることにより、回転子65により形成される平
面と磁路形成部71により形成される平面とが平行かつ
一定距離を保つようになされる。
に、シャフト取付軸64がステーター62のローター取
付開口部66に対してボールベアリング67,67及び
スペーサ68を介して回転可能に取り付けられる。この
とき、ローター63は、シャフト取付軸64の突当て部
64cがボールベアリング67に突き当てられる位置で
固定されることにより、回転子65により形成される平
面と磁路形成部71により形成される平面とが平行かつ
一定距離を保つようになされる。
【0081】そして、この状態で筐体61の端部をステ
ーター62の端部に対して結合させることにより、筐体
61の穴部61aからシャフト取付軸64の本体部64
aの一部が露出する。なお、ケーブル13については、
筐体61の側面部に図示しない穴部を設けて、この穴部
からパッキング部材34を介して外部に引き出すように
する。
ーター62の端部に対して結合させることにより、筐体
61の穴部61aからシャフト取付軸64の本体部64
aの一部が露出する。なお、ケーブル13については、
筐体61の側面部に図示しない穴部を設けて、この穴部
からパッキング部材34を介して外部に引き出すように
する。
【0082】このような構成を有する角度検出装置60
によれば、ローター63が回転することにより、上述し
た角度検出装置30と同様の効果が得られる。また、こ
の角度検出装置60によれば、工作機械等の回転シャフ
ト等について、カップリングを必要とせず直接シャフト
取付軸64に取り付けることを可能とし、簡便な構造に
より、回転シャフト等の回転角度に応じたアナログ信号
を出力することが可能となる。
によれば、ローター63が回転することにより、上述し
た角度検出装置30と同様の効果が得られる。また、こ
の角度検出装置60によれば、工作機械等の回転シャフ
ト等について、カップリングを必要とせず直接シャフト
取付軸64に取り付けることを可能とし、簡便な構造に
より、回転シャフト等の回転角度に応じたアナログ信号
を出力することが可能となる。
【0083】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の角
度検出装置においては、磁界検出手段と磁界発生手段と
が磁路形成部の中心部を回転中心として相対回転するこ
とにより、磁界発生手段からの一方向の磁界が回転し、
磁路形成部の各軸に取り付けられた各コイルのインピー
ダンスが変化するので、各コイルに励磁電圧を印加する
ことにより、当該インピーダンスの変化に対応した多相
のアナログ出力信号が得られる。
度検出装置においては、磁界検出手段と磁界発生手段と
が磁路形成部の中心部を回転中心として相対回転するこ
とにより、磁界発生手段からの一方向の磁界が回転し、
磁路形成部の各軸に取り付けられた各コイルのインピー
ダンスが変化するので、各コイルに励磁電圧を印加する
ことにより、当該インピーダンスの変化に対応した多相
のアナログ出力信号が得られる。
【0084】従って、本発明によれば、簡便な構造を有
しながら、アナログ信号を出力する磁気式の角度検出装
置を提供することが可能となる。また、本発明の角度検
出装置によれば、磁界検出手段と磁界発生手段との間に
摺動部分を有していないことから、摺動部品の摩耗等に
よる性能の劣化等の虞がない。
しながら、アナログ信号を出力する磁気式の角度検出装
置を提供することが可能となる。また、本発明の角度検
出装置によれば、磁界検出手段と磁界発生手段との間に
摺動部分を有していないことから、摺動部品の摩耗等に
よる性能の劣化等の虞がない。
【図1】磁界検出センサの構成部品となる磁路形成部の
構造の一例を示す平面図である。
構造の一例を示す平面図である。
【図2】磁界検出センサの構成を示す平面図である。
【図3】磁界検出センサが基板に対して取り付けられた
状態を示す斜視図である。
状態を示す斜視図である。
【図4】本発明の角度検出装置の要部断面図である。
【図5】角度検出装置のローターの構成を説明するため
の斜視図である。
の斜視図である。
【図6】上記ローターと磁路形成部との位置関係を示す
図であり、(a)が斜視図、(b)が正面図である。
図であり、(a)が斜視図、(b)が正面図である。
【図7】角度検出装置において磁界を検出する原理につ
いて説明する図である。
いて説明する図である。
【図8】角度検出装置における回路構成の一例を示す図
である。
である。
【図9】角度検出装置における回転角度と出力電圧との
関係を示す特性図である。
関係を示す特性図である。
【図10】角度検出装置のローターの他の構成例につい
て示す斜視図である。
て示す斜視図である。
【図11】角度検出装置のローターの他の構成例につい
て示す斜視図である。
て示す斜視図である。
【図12】角度検出装置の他の構成例について示した図
である。
である。
【図13】ハウジング及び回転子の構成を示した斜視図
である。
である。
【図14】磁路形成部の構造の他の一例を示す平面図で
ある。
ある。
【図15】磁路形成部の構造の他の一例を示す平面図で
ある。
ある。
【図16】角度検出装置の他の実施の形態について示す
断面図である。
断面図である。
【図17】ローターの構成を示す斜視図である。
【図18】検出センサ部の構成を示す斜視図である。
1,1A,1B,71 磁路形成部、1a,1b,1
c,1d,1g,1hバー、2(2a〜2d) ボビ
ン、3 コイル体、4,56 基板、5 立上がり壁
部、10,70 磁界検出センサ、20,80 検出セ
ンサ部、30,50,60 角度検出装置、21,61
筐体、22,62 ステーター、23,63 ロータ
ー、24,24A,24B,65 回転子、25 シャ
フト部、31ガイド穴、41 高周波発振器、42 励
磁手段、43 平滑回路、64 シャフト取付軸、X
1,X2,Y1,Y2 コイル
c,1d,1g,1hバー、2(2a〜2d) ボビ
ン、3 コイル体、4,56 基板、5 立上がり壁
部、10,70 磁界検出センサ、20,80 検出セ
ンサ部、30,50,60 角度検出装置、21,61
筐体、22,62 ステーター、23,63 ロータ
ー、24,24A,24B,65 回転子、25 シャ
フト部、31ガイド穴、41 高周波発振器、42 励
磁手段、43 平滑回路、64 シャフト取付軸、X
1,X2,Y1,Y2 コイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 謙一 東京都品川区西五反田3丁目9番17号 ソ ニー・プレシジョン・テクノロジー株式会 社内 (72)発明者 根門 康夫 東京都品川区西五反田3丁目9番17号 ソ ニー・プレシジョン・テクノロジー株式会 社内 (72)発明者 土谷 秀樹 東京都品川区西五反田3丁目9番17号 ソ ニー・プレシジョン・テクノロジー株式会 社内
Claims (1)
- 【請求項1】 高透磁率材料からなり、複数の軸が中心
部から同一平面上に放射状に延設されてなる磁路形成部
と、この磁路形成部の各軸に取り付けられたコイルとを
有する磁界検出手段と、 上記磁界検出手段の各軸と等間隔になるよう近接配置さ
れ、上記磁界検出手段の各軸の位置する平面に対して平
行かつ一方向の磁界を発生する磁界発生手段とを備え、 上記磁界検出手段と上記磁界発生手段とが上記磁路形成
部の中心部を回転中心として相対回転するように支持さ
れたことを特徴とする角度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35149897A JPH11183113A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 角度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35149897A JPH11183113A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 角度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183113A true JPH11183113A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18417712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35149897A Withdrawn JPH11183113A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 角度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183113A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105783684A (zh) * | 2015-01-14 | 2016-07-20 | Tdk株式会社 | 包含含有多个电阻元件部的电阻阵列的磁传感器 |
-
1997
- 1997-12-19 JP JP35149897A patent/JPH11183113A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105783684A (zh) * | 2015-01-14 | 2016-07-20 | Tdk株式会社 | 包含含有多个电阻元件部的电阻阵列的磁传感器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050301 |