JPH11183151A - 透明シート検査装置 - Google Patents
透明シート検査装置Info
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- JPH11183151A JPH11183151A JP35361397A JP35361397A JPH11183151A JP H11183151 A JPH11183151 A JP H11183151A JP 35361397 A JP35361397 A JP 35361397A JP 35361397 A JP35361397 A JP 35361397A JP H11183151 A JPH11183151 A JP H11183151A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 透明シート状の被検査物の表面性状等を容易
かつ正確に検査する透明シート検査装置を提供する。 【解決手段】 透明シート材４の被検査物を検査する装
置であって、被検査物の表面に所定面積を有すると共に
実質的に均等な強度を有し、平行光束な光を照射する照
射手段１と、照射手段１により照射された被検査物の透
過光像を結像してマスク６を介して所定の撮像手段７に
投影する投影手段５と、を備え、撮像像手段７により撮
像された被検査物の透過光像の光電変換信号に基づき、
被検査物を検査する。被検査物を通った透過光の出射角
は表裏形状および内部の素材状態に起因し、透過光像の
光強度分布に差として現れる。その光電変換信号レベル
差から欠陥を検出することができる。
かつ正確に検査する透明シート検査装置を提供する。 【解決手段】 透明シート材４の被検査物を検査する装
置であって、被検査物の表面に所定面積を有すると共に
実質的に均等な強度を有し、平行光束な光を照射する照
射手段１と、照射手段１により照射された被検査物の透
過光像を結像してマスク６を介して所定の撮像手段７に
投影する投影手段５と、を備え、撮像像手段７により撮
像された被検査物の透過光像の光電変換信号に基づき、
被検査物を検査する。被検査物を通った透過光の出射角
は表裏形状および内部の素材状態に起因し、透過光像の
光強度分布に差として現れる。その光電変換信号レベル
差から欠陥を検出することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は透明シート、特に透
明フィルム、透明ガラス板等の透明シートを検査するの
に好適な透明シート検査装置に関するものである。
明フィルム、透明ガラス板等の透明シートを検査するの
に好適な透明シート検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の透明シートの表面の凹凸
状欠陥の検査方法として、たとえばスリット状の光束を
被検査物表面に照射し、その光束の直線性の変化から表
面形状を得る所謂、光切断法が知られている。また、検
査装置としては、スリット状光束を出射する光源とスリ
ット状光束を照射した表面の光束直線性を検出する受光
系、たとえばエリアセンサカメラを備えたものがある。
状欠陥の検査方法として、たとえばスリット状の光束を
被検査物表面に照射し、その光束の直線性の変化から表
面形状を得る所謂、光切断法が知られている。また、検
査装置としては、スリット状光束を出射する光源とスリ
ット状光束を照射した表面の光束直線性を検出する受光
系、たとえばエリアセンサカメラを備えたものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
表面検査方法および検査装置では、特に表面形状変化が
緩やかで、しかもその表面の凹凸変化量が微小な被検査
物に対しては受光倍率を大きくする必要がある。このた
めつぎのような点で問題となっていた。
表面検査方法および検査装置では、特に表面形状変化が
緩やかで、しかもその表面の凹凸変化量が微小な被検査
物に対しては受光倍率を大きくする必要がある。このた
めつぎのような点で問題となっていた。
【０００４】すなわち、 １．被検査物の送りおよび回転等による表面の位置変動
が受光系の合焦を乱し、また、光束の直線および傾きを
乱す要因となり、形状変化による直線性の変化を検出す
るのが困難になる。 ２．位置変動を極力少なくするためには光源、受光系お
よび被検査物表面の相対位置を合わす必要があり、装置
が複雑化する。 ３．変化量が微小な凹凸に対して受光倍率を大きくする
ことから、検査視野が狭くなり被検査物の全面検査に要
する時間が長くなる。
が受光系の合焦を乱し、また、光束の直線および傾きを
乱す要因となり、形状変化による直線性の変化を検出す
るのが困難になる。 ２．位置変動を極力少なくするためには光源、受光系お
よび被検査物表面の相対位置を合わす必要があり、装置
が複雑化する。 ３．変化量が微小な凹凸に対して受光倍率を大きくする
ことから、検査視野が狭くなり被検査物の全面検査に要
する時間が長くなる。
【０００５】本発明はかかる実情に鑑み、透明シート状
の被検査物の表面性状等を容易かつ正確に検査する透明
シート検査装置を提供することを目的とする。
の被検査物の表面性状等を容易かつ正確に検査する透明
シート検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の透明シート検査
装置は、透明シート材の被検査物を検査する装置であっ
て、被検査物の表面に所定面積を有すると共に実質的に
均等な強度を有し、平行光束な光を照射する照射手段
と、照射手段により照射された被検査物の透過光像を結
像してマスクを介して所定の撮像手段に投影する投影手
段と、を備え、撮像手段により撮像された被検査物の透
過光像の光電変換信号に基づき、前記被検査物を検査す
るようにしたものである。
装置は、透明シート材の被検査物を検査する装置であっ
て、被検査物の表面に所定面積を有すると共に実質的に
均等な強度を有し、平行光束な光を照射する照射手段
と、照射手段により照射された被検査物の透過光像を結
像してマスクを介して所定の撮像手段に投影する投影手
段と、を備え、撮像手段により撮像された被検査物の透
過光像の光電変換信号に基づき、前記被検査物を検査す
るようにしたものである。
【０００７】また、本発明の透明シート検査装置におい
て、前記照射手段は、被検査物面に対して所定角度傾い
た方向から照射し、また前記撮像手段は、前記被検査物
を介して照明手段および照射光と対向した配置関係で透
過光像を撮像することを特徴とする。
て、前記照射手段は、被検査物面に対して所定角度傾い
た方向から照射し、また前記撮像手段は、前記被検査物
を介して照明手段および照射光と対向した配置関係で透
過光像を撮像することを特徴とする。
【０００８】また、本発明の透明シート検査装置におい
て、被検査物に対する検出映像信号が、良品に対する検
出映像信号と比較され、規定値範囲を外れると被検査物
に異常が有ると判断することを特徴とする。
て、被検査物に対する検出映像信号が、良品に対する検
出映像信号と比較され、規定値範囲を外れると被検査物
に異常が有ると判断することを特徴とする。
【０００９】請求項１に係る発明によれば、照射手段に
よって平行光束が被検査物表面に照射されることで、被
検査物を通った透過光の出射角は表裏形状および内部の
素材状態に起因し、透過光像の光強度分布に差として現
れる。その光電変換信号レベル差から欠陥を検出するこ
とができる。
よって平行光束が被検査物表面に照射されることで、被
検査物を通った透過光の出射角は表裏形状および内部の
素材状態に起因し、透過光像の光強度分布に差として現
れる。その光電変換信号レベル差から欠陥を検出するこ
とができる。
【００１０】また、請求項２に係る発明によれば、照射
手段によって平行光束が被検査物面に対して臨界角を除
く所定角度傾いた方向から照射する。なお、より望まし
くは所定角度として被検査物面に対し鋭角にすることが
望まれる。このことで緩やかな形状変化表面と良品な表
面とで、透過光像の光強度分布に差が明確に現れ、凹凸
変化の小さい形状変化を検出することかできる。
手段によって平行光束が被検査物面に対して臨界角を除
く所定角度傾いた方向から照射する。なお、より望まし
くは所定角度として被検査物面に対し鋭角にすることが
望まれる。このことで緩やかな形状変化表面と良品な表
面とで、透過光像の光強度分布に差が明確に現れ、凹凸
変化の小さい形状変化を検出することかできる。
【００１１】また、請求項３に係る発明によれば、撮像
手段によって透過光像の光強度分布が光電変換された映
像信号に対し、処理装置において透過光像に対応する映
像信号部分のみを対象として映像信号レベルを、事前に
処理装置に記憶した被検査物で表面形状変化のない良品
の検出映像信号と比較する。事前に同種の被検査物で表
面形状変化のない良品部の検出映像信号を処理装置に記
憶し、この記憶映像信号と検査によって被検査物から検
出した映像信号とを比較することで緩やかな形状変化表
面と良品表面との信号差が検出することができる。ま
た、この比較結果を基に規格値と比較することで表面形
状不良の判断が確実に行える。
手段によって透過光像の光強度分布が光電変換された映
像信号に対し、処理装置において透過光像に対応する映
像信号部分のみを対象として映像信号レベルを、事前に
処理装置に記憶した被検査物で表面形状変化のない良品
の検出映像信号と比較する。事前に同種の被検査物で表
面形状変化のない良品部の検出映像信号を処理装置に記
憶し、この記憶映像信号と検査によって被検査物から検
出した映像信号とを比較することで緩やかな形状変化表
面と良品表面との信号差が検出することができる。ま
た、この比較結果を基に規格値と比較することで表面形
状不良の判断が確実に行える。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づき、本発明によ
る透明シート検査装置の好適な実施の形態を説明する。
図１は本発明の特徴を最もよく表す図であり、本発明装
置の構成例を示している。同図において、１は光源であ
るＨｅ−Ｎｅレーザ、２はレーザ１の出力光を拡大しか
つ平行光とするビームエキスパンダ、３は被検査物表面
に照射されるべき検査光の原形状を画定するマスク板、
４は被検査物である透明シート、５は検査光の照射によ
り被検査物を透した透過光像を投影する平凸型シリンド
リカル投影レンズ、６は平凸型シリンドリカル投影レン
ズ５による投影像の受光範囲を定める受光マスク板、７
は受光マスク板６によって規定され、これを通過してき
た表面の投影像を受光し、その像を電気信号に変換する
ＣＣＤラインセンサ、８はＣＣＤラインセンサ７によっ
て撮像した映像出力信号を処理するための処理装置であ
る。
る透明シート検査装置の好適な実施の形態を説明する。
図１は本発明の特徴を最もよく表す図であり、本発明装
置の構成例を示している。同図において、１は光源であ
るＨｅ−Ｎｅレーザ、２はレーザ１の出力光を拡大しか
つ平行光とするビームエキスパンダ、３は被検査物表面
に照射されるべき検査光の原形状を画定するマスク板、
４は被検査物である透明シート、５は検査光の照射によ
り被検査物を透した透過光像を投影する平凸型シリンド
リカル投影レンズ、６は平凸型シリンドリカル投影レン
ズ５による投影像の受光範囲を定める受光マスク板、７
は受光マスク板６によって規定され、これを通過してき
た表面の投影像を受光し、その像を電気信号に変換する
ＣＣＤラインセンサ、８はＣＣＤラインセンサ７によっ
て撮像した映像出力信号を処理するための処理装置であ
る。
【００１３】なお、上記構成においてレーザ１からＣＣ
Ｄラインセンサ７までの各構成部材は、外光を遮断する
ための図示されていない遮光板によってカバーされてお
り、これにより実質的に暗所に配置されている。
Ｄラインセンサ７までの各構成部材は、外光を遮断する
ための図示されていない遮光板によってカバーされてお
り、これにより実質的に暗所に配置されている。
【００１４】検査光光源であるＨｅ−Ｎｅ（波長６３
２．８ｎｍ）レーザ１の出力ビーム光１ａは、同一光軸
に配置されたビームエキスパンダ２に入射される。入射
したビーム１ａを、検査光束３ａとして照射する際に原
形状を定めるマスク板３の原形状の大きさよりも十分大
きく、光強度分布が均一なビーム光径に拡大し、また平
行光とした出射光束２ａに変換する。
２．８ｎｍ）レーザ１の出力ビーム光１ａは、同一光軸
に配置されたビームエキスパンダ２に入射される。入射
したビーム１ａを、検査光束３ａとして照射する際に原
形状を定めるマスク板３の原形状の大きさよりも十分大
きく、光強度分布が均一なビーム光径に拡大し、また平
行光とした出射光束２ａに変換する。
【００１５】このように変換された出射光束２ａは、検
査光束として照射する原形状を定めるマスク板３に照射
される。マスク板３は被検査物４に照射する検査光束３
ａの原形状部分のみが貫通され、他は遮光板により遮光
された構造を成している。また、マスク板３は光軸と垂
直に配置され、貫通されている検査光束３ａの原形状部
の中心は光軸に位置する。
査光束として照射する原形状を定めるマスク板３に照射
される。マスク板３は被検査物４に照射する検査光束３
ａの原形状部分のみが貫通され、他は遮光板により遮光
された構造を成している。また、マスク板３は光軸と垂
直に配置され、貫通されている検査光束３ａの原形状部
の中心は光軸に位置する。
【００１６】マスク板３の検査光束３ａの原形状として
（３ｘ＝５ｍｍ、３ｙ＝１４ｍｍ）を有し、出射光束２
ａからマスク板３へ照射され、原形状部分となって通過
した光束により、長方形の面を成す平行な検査光束３ａ
が形成され、被検査物の表面に照射される。
（３ｘ＝５ｍｍ、３ｙ＝１４ｍｍ）を有し、出射光束２
ａからマスク板３へ照射され、原形状部分となって通過
した光束により、長方形の面を成す平行な検査光束３ａ
が形成され、被検査物の表面に照射される。
【００１７】ここで、検査光束３ａの長方形の面を有す
る光束の一辺である３ｘ（５ｍｍ）は、たとえば被検査
物４である透明シート４の長手方向に対応する。また、
他方の一辺である３ｙ（１４ｍｍ）は幅方向に対応す
る。
る光束の一辺である３ｘ（５ｍｍ）は、たとえば被検査
物４である透明シート４の長手方向に対応する。また、
他方の一辺である３ｙ（１４ｍｍ）は幅方向に対応す
る。
【００１８】なお、被検査物である透明シート４の表面
への検査光束３ａは、光軸と透明シート４面の法線から
成る入射角θ（６０〜８７°）以内にある入射角にて斜
めから照射する。これにより被検査物の透明シート４の
長手方向の検査光束３ａの照射長さ４ｘは、ｓｉｎ（９
０°−θ）＝３ｘ／４ｘの４ｘで表される。たとえば検
査光束３ａの長方形の面を有する光束の一辺である３ｘ
を５ｍｍ、入射角であるθを８０°とすると、検査光束
３ａの光束は平行光であることから、照射長４ｘは約２
９ｍｍとなり、マスク板３の通過後の長方形の面を有す
る検査光束３ａの一辺である３ｘ＝５ｍｍに比べて、長
い範囲を照射することになる。
への検査光束３ａは、光軸と透明シート４面の法線から
成る入射角θ（６０〜８７°）以内にある入射角にて斜
めから照射する。これにより被検査物の透明シート４の
長手方向の検査光束３ａの照射長さ４ｘは、ｓｉｎ（９
０°−θ）＝３ｘ／４ｘの４ｘで表される。たとえば検
査光束３ａの長方形の面を有する光束の一辺である３ｘ
を５ｍｍ、入射角であるθを８０°とすると、検査光束
３ａの光束は平行光であることから、照射長４ｘは約２
９ｍｍとなり、マスク板３の通過後の長方形の面を有す
る検査光束３ａの一辺である３ｘ＝５ｍｍに比べて、長
い範囲を照射することになる。
【００１９】なお、検査光束３ａの長方形の他辺である
３ｙ（＝１４ｍｍ）は、被検査物の幅より幅の広い検査
光束が照射されている。このように被検査物である透明
シート４の表面に入射角θにて検査光束３ａを照射し、
透明シート４による透過光像を光軸上で被検査物を介し
て、これに対向して光軸に配置された平凸型シリンドリ
カル投影レンズ５に透明シート４の透過光像４ｂが入射
される。
３ｙ（＝１４ｍｍ）は、被検査物の幅より幅の広い検査
光束が照射されている。このように被検査物である透明
シート４の表面に入射角θにて検査光束３ａを照射し、
透明シート４による透過光像を光軸上で被検査物を介し
て、これに対向して光軸に配置された平凸型シリンドリ
カル投影レンズ５に透明シート４の透過光像４ｂが入射
される。
【００２０】このような透過光像４ｂの入射に対して、
平凸型シリンドリカル投影レンズ５は、検査光束３ａの
３ｘ方向の透過光像に対してはレンズ作用はなく、３ｙ
方向の透過光像に対してはレンズ作用がある配置となっ
ている。なお、検査光束３ａの被検査物表面の照射位置
と平凸型シリンドリカル投影レンズ５の間隔は、平凸型
シリンドリカル投影レンズ５の焦点距離以上の間隔を有
して平凸型シリンドリカル投影レンズ５が配置されてい
る。
平凸型シリンドリカル投影レンズ５は、検査光束３ａの
３ｘ方向の透過光像に対してはレンズ作用はなく、３ｙ
方向の透過光像に対してはレンズ作用がある配置となっ
ている。なお、検査光束３ａの被検査物表面の照射位置
と平凸型シリンドリカル投影レンズ５の間隔は、平凸型
シリンドリカル投影レンズ５の焦点距離以上の間隔を有
して平凸型シリンドリカル投影レンズ５が配置されてい
る。
【００２１】このことで平凸型シリンドリカル投影レン
ズ５に入射された透過光像４ｂの検査光束３ａの３ｙ方
向に対するレンズ出射光像は、焦点距離の位置で結像
し、それより離れると１８０度反転し、距離およびレン
ズ倍率に依存して拡大する反転像となる。また、３ｘ方
向に対するレンズ出射光像については、レンズ作用が無
いため入射された光束の幅で出射される。
ズ５に入射された透過光像４ｂの検査光束３ａの３ｙ方
向に対するレンズ出射光像は、焦点距離の位置で結像
し、それより離れると１８０度反転し、距離およびレン
ズ倍率に依存して拡大する反転像となる。また、３ｘ方
向に対するレンズ出射光像については、レンズ作用が無
いため入射された光束の幅で出射される。
【００２２】このように平凸型シリンドリカル投影レン
ズ５を通過した被検査物の透過光像５ａは、光軸上に配
置された受光マスクスリットによって投影光像の受光す
る範囲を定めている。このように受光マスク板６のスリ
ットによって投影光像の受光範囲が定められ、スリット
を通過した投影光像６ａは光軸上に配置したＣＣＤライ
ンセンサ７の受光素子面に投影し受光する。
ズ５を通過した被検査物の透過光像５ａは、光軸上に配
置された受光マスクスリットによって投影光像の受光す
る範囲を定めている。このように受光マスク板６のスリ
ットによって投影光像の受光範囲が定められ、スリット
を通過した投影光像６ａは光軸上に配置したＣＣＤライ
ンセンサ７の受光素子面に投影し受光する。
【００２３】なお、ＣＣＤラインセンサ７には撮像レン
ズを有せず、平凸型シリンドリカル投影レンズ５を通過
した被検査物の透過光像５ａを受光マスク板６のスリッ
トを通過した投影光像６ａのみを直接受光する。また、
ＣＣＤラインセンサ７の受光素子列は、被検査物の幅方
向（検査光束３ａの３ｙ方向）に、受光マスク板６のス
リット同様に光軸と垂直の方向に配置されている。ま
た、平凸型シリンドリカル投影レンズ５とＣＣＤライン
センサ７の間隔は、ＣＣＤラインセンサ７の受光素子列
全面に平凸型シリンドリカル投影レンズ５により拡大さ
れた被検査物の透過光像５ａの垂直方向の像の範囲が照
射する位置となっている。
ズを有せず、平凸型シリンドリカル投影レンズ５を通過
した被検査物の透過光像５ａを受光マスク板６のスリッ
トを通過した投影光像６ａのみを直接受光する。また、
ＣＣＤラインセンサ７の受光素子列は、被検査物の幅方
向（検査光束３ａの３ｙ方向）に、受光マスク板６のス
リット同様に光軸と垂直の方向に配置されている。ま
た、平凸型シリンドリカル投影レンズ５とＣＣＤライン
センサ７の間隔は、ＣＣＤラインセンサ７の受光素子列
全面に平凸型シリンドリカル投影レンズ５により拡大さ
れた被検査物の透過光像５ａの垂直方向の像の範囲が照
射する位置となっている。
【００２４】また、平凸型シリンドリカル投影レンズ５
とＣＣＤラインセンサ７の間に配置された受光マスク板
６、およびそれに設けられたスリットは、ＣＣＤライン
センサ７の受光素子列全面のみに上記の場合と同様、被
検査物の透過光像５ａの垂直方向の像の範囲が照射する
ように設けられている。ＣＣＤラインセンサ７により受
光された透過光像は電気信号に変換され、映像信号７ａ
として出力され、処理装置８に入力され、処理装置８に
より被検査物４の良不良の判断が行われる。
とＣＣＤラインセンサ７の間に配置された受光マスク板
６、およびそれに設けられたスリットは、ＣＣＤライン
センサ７の受光素子列全面のみに上記の場合と同様、被
検査物の透過光像５ａの垂直方向の像の範囲が照射する
ように設けられている。ＣＣＤラインセンサ７により受
光された透過光像は電気信号に変換され、映像信号７ａ
として出力され、処理装置８に入力され、処理装置８に
より被検査物４の良不良の判断が行われる。
【００２５】なお、入力される映像信号７ａに対して、
透過光像に対応する映像信号のみを対象とした映像信号
レベルを、事前に記憶した被検査物で表面形状変化の無
い良品の検出映像信号と比較する。その結果を前記同
様、事前に設定された規格レベルの上下限値と比較し、
規格値を外れるとその箇所に表面形状不良が存在すると
判断される。また、規格値内の場合は、その箇所の表面
は良品と判断される。
透過光像に対応する映像信号のみを対象とした映像信号
レベルを、事前に記憶した被検査物で表面形状変化の無
い良品の検出映像信号と比較する。その結果を前記同
様、事前に設定された規格レベルの上下限値と比較し、
規格値を外れるとその箇所に表面形状不良が存在すると
判断される。また、規格値内の場合は、その箇所の表面
は良品と判断される。
【００２６】図２は、平行な検査光束３ａが被検査物４
の表面に対し、入射角θで表面のある範囲４ｘを照射
し、緩やかな表面形状変化の有無による透過光を示す。
図２において、表裏面に緩やかな凹凸形状変化がない面
（４ｘ1 ，４ｘ3 ）の場合、表裏面と被検査物の長手方
向の基準軸４ａの平行が保たれることから被検査物表面
に照射された光束は被検査物の屈折率によって被検査物
内に入射し、透過した光束が被検査物から出射され透過
光像（４ｂ1 ，４ｂ3 ）を形成する。
の表面に対し、入射角θで表面のある範囲４ｘを照射
し、緩やかな表面形状変化の有無による透過光を示す。
図２において、表裏面に緩やかな凹凸形状変化がない面
（４ｘ1 ，４ｘ3 ）の場合、表裏面と被検査物の長手方
向の基準軸４ａの平行が保たれることから被検査物表面
に照射された光束は被検査物の屈折率によって被検査物
内に入射し、透過した光束が被検査物から出射され透過
光像（４ｂ1 ，４ｂ3 ）を形成する。
【００２７】つぎに、緩やかな凸形状表面（４ｘ2 ）の
場合、その表面は基準軸４ａとの平行性がなくなり、基
準軸４ａに対し傾きｘn 度を生じる。その表面に対する
各照射箇所の入射角θn はθ−ｘn °（＝θn ）と成
り、表面形状変化のない場合の表面への入射角θと異な
る入射角で検査光束が照射される。
場合、その表面は基準軸４ａとの平行性がなくなり、基
準軸４ａに対し傾きｘn 度を生じる。その表面に対する
各照射箇所の入射角θn はθ−ｘn °（＝θn ）と成
り、表面形状変化のない場合の表面への入射角θと異な
る入射角で検査光束が照射される。
【００２８】凸形状表面（４ｘ2 ）に対し、入射角θn
で照射され、その表面で同様に被検査物の屈折率によっ
て被検査物内に入射し、透過した光束が被検査物から出
射され透過光像（４ｂ2 ）を成す。
で照射され、その表面で同様に被検査物の屈折率によっ
て被検査物内に入射し、透過した光束が被検査物から出
射され透過光像（４ｂ2 ）を成す。
【００２９】このように検査光束３ａを照射した被検査
物表面の範囲４ｘに対する入射角θおよび透過出射角
θ′の透過光範囲４ｘ′において、透過光のある位置で
透過光と直角を成す直線４ｃ上での透過光強度分布は、
４ｄのように示される。表面の凸形状による光強度の変
化が変化部４ｂ2 ′として現れ、表面形状変化のない表
面と透過光強度の差か得られる。
物表面の範囲４ｘに対する入射角θおよび透過出射角
θ′の透過光範囲４ｘ′において、透過光のある位置で
透過光と直角を成す直線４ｃ上での透過光強度分布は、
４ｄのように示される。表面の凸形状による光強度の変
化が変化部４ｂ2 ′として現れ、表面形状変化のない表
面と透過光強度の差か得られる。
【００３０】このように得られた透過光像を平凸型シリ
ンドリカル投影レンズ５および受光マスク板６を通し、
ＣＣＤラインセンサ７で受光することで、光強度の変化
を電気信号の電圧レベル変化に変換される。さらに、変
換された電気信号７ａは処理装置８に入力された後に、
事前に記憶した良品の映像信号と比較し、その後に規格
レベルの上下限値と比較され表面に形状変化不良が存在
するか判断される。
ンドリカル投影レンズ５および受光マスク板６を通し、
ＣＣＤラインセンサ７で受光することで、光強度の変化
を電気信号の電圧レベル変化に変換される。さらに、変
換された電気信号７ａは処理装置８に入力された後に、
事前に記憶した良品の映像信号と比較し、その後に規格
レベルの上下限値と比較され表面に形状変化不良が存在
するか判断される。
【００３１】図２の表面凸形状（４ｘ2 ）による透過光
強度は、電圧レベルの変化として変換され、規格レベル
の上下限値のいずれかでも外れると形状変化が存在する
と判断される。
強度は、電圧レベルの変化として変換され、規格レベル
の上下限値のいずれかでも外れると形状変化が存在する
と判断される。
【００３２】なお、被検査物である透明シート４の全面
を同様に検査するために、被検査物の基準軸４ａ方向の
送り機構を備える（図示せず）。たとえば、送り機構に
より被検査物を一定速度で基準軸４ａ方向に移動させ、
被検査物面に検査光束を順次照射し、その時の被検査物
を透過した光像を平凸型シリンドリカルレンズ５および
受光マスク板６を通し、ＣＣＤラインセンサ７で受光す
る。これにより光強度の変化を電気信号の電圧レベル変
化に変換し、処理装置８に入力することで全面検査を可
能とし、表面形状変化不良が１つでも存在すると、その
被検査物は不良品と判断される。
を同様に検査するために、被検査物の基準軸４ａ方向の
送り機構を備える（図示せず）。たとえば、送り機構に
より被検査物を一定速度で基準軸４ａ方向に移動させ、
被検査物面に検査光束を順次照射し、その時の被検査物
を透過した光像を平凸型シリンドリカルレンズ５および
受光マスク板６を通し、ＣＣＤラインセンサ７で受光す
る。これにより光強度の変化を電気信号の電圧レベル変
化に変換し、処理装置８に入力することで全面検査を可
能とし、表面形状変化不良が１つでも存在すると、その
被検査物は不良品と判断される。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、こ
の種の透明シート状の被検査物の両面を高速で検査する
ことができる。さらに被検査物内部も検査することがで
きる。また、本発明によれば平行照射光束に対し被検査
物を斜めに透かして撮像することから被検査物表面にお
ける一定の厚み変化の欠陥を含む凹凸状欠陥および被検
査物内部の異常に対し、屈折変形が大きく撮像でき、そ
の光電変換信号の信号処理により欠陥を確実に判定す
る。したがって、被検査物の両面および内部を同時に検
査することができ、検査効率良く短時間に検査すること
ができる。撮像手段としてｌ次元センサを用い、被検査
物の幅方向を１次元で撮像し光電変換することで、被検
査物を連続的に送りながら検査が可能となり、検査の高
速化が図れる等の利点を有している。
の種の透明シート状の被検査物の両面を高速で検査する
ことができる。さらに被検査物内部も検査することがで
きる。また、本発明によれば平行照射光束に対し被検査
物を斜めに透かして撮像することから被検査物表面にお
ける一定の厚み変化の欠陥を含む凹凸状欠陥および被検
査物内部の異常に対し、屈折変形が大きく撮像でき、そ
の光電変換信号の信号処理により欠陥を確実に判定す
る。したがって、被検査物の両面および内部を同時に検
査することができ、検査効率良く短時間に検査すること
ができる。撮像手段としてｌ次元センサを用い、被検査
物の幅方向を１次元で撮像し光電変換することで、被検
査物を連続的に送りながら検査が可能となり、検査の高
速化が図れる等の利点を有している。
【図１】本発明の実施形態における要部構成を示す概略
図である。
図である。
【図２】本発明の実施形態における被検査物表面の形状
変化による透過光の強度分布差の例を示す図である。
変化による透過光の強度分布差の例を示す図である。
１ Ｈｅ−Ｎｅレーザ ２ ビームエキスパンダ ３ マスク板 ４ 透明シート ５ 平凸型シリンドリカル投影レンズ ６ 受光マスク板 ７ ＣＣＤラインセンサ
Claims (3)
- 【請求項１】 透明シート材の被検査物を検査する装置
であって、 被検査物の表面に所定面積を有すると共に実質的に均等
な強度を有し、平行光束な光を照射する照射手段と、 照射手段により照射された被検査物の透過光像を結像し
てマスクを介して所定の撮像手段に投影する投影手段
と、を備え、 撮像手段により撮像された被検査物の透過光像の光電変
換信号に基づき、前記被検査物を検査するようにしたこ
とを特徴とする透明シート検査装置。 - 【請求項２】 前記照射手段は、被検査物面に対して所
定角度傾いた方向から照射し、また前記撮像手段は、前
記被検査物を介して照明手段および照射光と対向した配
置関係で透過光像を撮像することを特徴とする請求項１
記載の透明シート検査装置。 - 【請求項３】 被検査物に対する検出映像信号が、良品
に対する検出映像信号と比較され、規定値範囲を外れる
と被検査物に異常があると判断することを特徴とする請
求項１記載の透明シート検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35361397A JPH11183151A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 透明シート検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35361397A JPH11183151A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 透明シート検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183151A true JPH11183151A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18432037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35361397A Pending JPH11183151A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 透明シート検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183151A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011179885A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Seiko Epson Corp | キャリブレーション装置及びキャリブレーション方法及び位置検出用治具及び部品検査装置 |
| JP2012242325A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Tdk Corp | グリーンシートの膜厚測定装置 |
| CN107421966A (zh) * | 2016-04-26 | 2017-12-01 | 株式会社三丰 | 用于检测透明物中的缺陷的方法和设备 |
| CN120761411A (zh) * | 2020-02-28 | 2025-10-10 | 日东电工株式会社 | 光透射性积层体的检查方法 |
-
1997
- 1997-12-22 JP JP35361397A patent/JPH11183151A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011179885A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Seiko Epson Corp | キャリブレーション装置及びキャリブレーション方法及び位置検出用治具及び部品検査装置 |
| JP2012242325A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Tdk Corp | グリーンシートの膜厚測定装置 |
| CN107421966A (zh) * | 2016-04-26 | 2017-12-01 | 株式会社三丰 | 用于检测透明物中的缺陷的方法和设备 |
| DE102017207027B4 (de) | 2016-04-26 | 2024-07-18 | Mitutoyo Corporation | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung einer Fehlstelle in einem transparenten Körper |
| CN120761411A (zh) * | 2020-02-28 | 2025-10-10 | 日东电工株式会社 | 光透射性积层体的检查方法 |
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