JPH11183435A - 光走査型二次元濃度分布測定装置における画像処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 合理的で安価な光走査型二次元濃度分布測定
装置における画像処理方法を提供すること。 【解決手段】 プローブ光３を照射して得られた測定デ
ータ３２のバックグラウンド補正を行う手順３３と、前
記補正後のデータを適宜の階調の値に補正して最適化す
る手順４５と、前記最適化されたものをイオン濃度デー
タに変換する手順５１とからなることを特徴としてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば光走査型
ｐＨ画像装置などのような光走査型二次元濃度分布測定
装置における画像処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】前記光走査型ｐＨ画像装置として、例え
ば、Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｖｏｌ．３３
（１９９４）ｐｐ Ｌ３９４−Ｌ３９７に記載してある
ように、ＬＡＰＳ（Ｌｉｇｈｔ−Ａｄｄｒｅｓｓａｂｌ
ｅ Ｐｏｔｅｎｔｉｏｍｅｔｒｉｃ Ｓｅｎｓｏｒ）方
式を採用して、ｐＨ感応膜の表面に生ずる電位を測定す
るものがある。このような装置においては、ＥＩＳ（電
解液Ｅ−絶縁体Ｉ−半導体Ｓ）構造に光を走査し、この
光走査によって半導体中において誘発された光電流を取
り出すことにより測定を行うことができる。

【０００３】そして、本願出願人は、このような光走査
型ｐＨ画像装置関連の技術を、例えば特願平７−３９１
１４号、特願平７−９０３２０号、特願平７−３２９８
３５号などのほか、多数特許出願しているところであ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記光走査
型ｐＨ画像装置などＬＡＰＳ法を用いた光走査型二次元
濃度分布測定装置においては、測定データの標準的な画
像処理シーケンスがなく、市販の画像処理ソフトを組み
合わせて個別的な処理を施していた。そのため、市販ソ
フトを数種類用意するためのコストが嵩むとともに、個
別的に処理するため工数が増えるなどの問題があった。

【０００５】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、合理的で安価な光走査型二次元濃度分布測定
装置における画像処理方法（以下、単に画像処理方法と
いう）を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の画像処理方法は、プローブ光を照射して
得られた測定データのバックグラウンド補正を行う手順
と、前記補正後のデータを適宜の階調の値に補正して最
適化する手順と、前記最適化されたものをイオン濃度デ
ータに変換する手順とからなることを特徴としている。

【０００７】上記画像処理方法によれば、二次元の化学
濃度分布を化学量として明らかにすることができるとと
もに、視覚的に表示することができる。標準化された手
順で処理できるので、コストならびに工数の低減が図れ
る。また、繰り返し測定に対して画像処理を自動化する
ことができるので、作業の効率化および同一作業におけ
るポカミスを防止することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。まず、この発明の画像処理方法が適用
される光走査型二次元濃度分布測定装置について、図１
を参照しながら説明する。

【０００９】図１において、１は測定装置本体で、セン
サ部２とこれにプローブ光３を照射するための光照射部
４とからなる。

【００１０】前記センサ部２は、例えばシリコンなどの
半導体よりなる基板５の一方の面（図示例では上面）に
ＳｉＯ₂ 層６、Ｓｉ₃ Ｎ₄ 層７を熱酸化、ＣＶＤなどの
手法によって順次形成して水素イオンに応答するように
形成されたセンサ８と、このセンサ８を二次元方向、つ
まり、Ｘ方向（図示例では左右方向）とＹ方向（図示例
では、紙面に垂直な方向）に走査する光透過型ＸＹステ
ージよりなるセンサ走査部９とからなる。１０はこのセ
ンサ走査部９を制御する走査制御装置である。

【００１１】１１はセンサ８のセンサ面（この場合、Ｓ
ｉ₃ Ｎ₄ 層７）を含み、これに臨むようにして設けられ
るセルで、樹脂材料あるいは他の適宜の材料よりなり、
内部に溶液やゲルなどの試料１２が収容される。

【００１２】そして、１３、１４はセル１１内の試料１
２に接触するようにして設けられる対極、比較電極で、
ポテンショスタット（後述する）に接続されている。ま
た、１５は半導体基板５に設けられる光電流信号取出し
用のオーミック電極で、電流−電圧変換器（後述する）
および演算増幅回路（後述する）を介してポテンショス
タットに接続されている。

【００１３】前記光照射部４は、例えばレーザ光源から
なるとともに、半導体基板５の下面側（センサ面７とは
反対側）に設けられており、インタフェースボード（後
述する）を介してコンピュータ（後述する）の制御信号
によって断続光を発するとともに、センサ走査部９によ
って二次元方向に走査されるセンサ８の半導体基板５に
対して最適なビーム径になるように調整されたプローブ
光３を照射するように構成されている。

【００１４】１６は測定装置本体１を制御するための制
御ボックスであって、半導体基板５に適宜のバイアス電
圧を印加するためのポテンショスタット１７、半導体基
板５に形成されたオーミック電極１５から取り出される
光電流信号を電圧信号に変換する電流−電圧変換器１
８、この電流−電圧変換器１８からの信号が入力される
演算増幅回路１９、この演算増幅回路１９と信号を授受
したり、走査制御装置１０や光照射部４に対する制御信
号を出力するインタフェースボード２０などよりなる。

【００１５】２１は例えば内蔵されたプログラムに基づ
いて各種の制御や演算を行うとともに、画像処理機能を
有する制御・演算部としてのコンピュータ、２２は例え
ばキーボードなどの入力装置、２３はカラーディスプレ
イなどの表示装置、２４はＲＡＭなどの記憶装置であ
る。２５は画像処理シーケンスを収納したＲＯＭなどの
記憶装置である。

【００１６】上記構成の光走査型二次元濃度分布測定装
置を用いて、溶液の水素イオン濃度（ｐＨ）を測定する
場合について説明すると、セル１１内に試料として溶液
１２を入れる。これにより、センサ面７に溶液１２が接
する。そして、対極１３および比較電極１４を溶液１２
に浸漬する。

【００１７】上記セル１内に溶液１２を入れた直後の状
態において、半導体基板５に空乏層が発生するように、
ポテンショスタット１７からの直流電圧を比較電極１３
とオーミック電極１５との間に印加して、半導体基板５
に所定のバイアス電圧を印加する。この状態で半導体基
板５に対してプローブ光３を一定周期（例えば、５ｋＨ
ｚ）で断続的に照射することによって半導体基板５に交
流光電流を発生させる。このプローブ光３の断続照射
は、コンピュータ２１の制御信号がインタフェースボー
ド２０を介して入力されることによって行われる。前記
光電流は、半導体基板５の照射点に対向する点で、セン
サ面７に接している溶液１２におけるｐＨを反映した値
であり、その値を測定することにより、この部分でのｐ
Ｈ値を知ることができる。

【００１８】さらに、センサ走査部９によって、センサ
８をＸ，Ｙ方向に移動させることにより、半導体基板５
にはプローブ光３が二次元方向に走査されるようにして
照射され、溶液１２における位置信号（Ｘ，Ｙ）と、そ
の場所で観測された交流光電流値を初期データ（バック
グラウンド値）としてＲＡＭ２４内に格納する。

【００１９】次いで、適宜の時間経過後、上記と同様の
手順でプローブ光３を照射しながらセンサ走査部９によ
って、センサ８をＸ，Ｙ方向に移動させて、そのときの
溶液１２における位置信号（Ｘ，Ｙ）と、その場所で観
測された交流光電流値を測定データとしてＲＡＭ２４内
に記録する。

【００２０】上述のように、セル１内に溶液１２を入れ
た直後の状態における測定と、この状態から暫く経過し
てからの状態における測定を行うのは、以下の理由から
である。

【００２１】すなわち、前記センサ面７においてムラや
傷があると、溶液１２を測定した際に得られる測定画像
にこれらのムラや傷の影響が見られ、溶液１２の真のｐ
Ｈ濃度を正しく把握できないことがある。また、経時変
化についても、その変化量がきわめて微小な場合、その
変化を明確に把握しにくいことがあり、このような不都
合が生じないようにするためである。

【００２２】図２以下を参照しながら、この発明の画像
処理方法について説明する。まず、図２は、この発明の
画像処理方法を含む画像処理シーケンス全体を概略的に
示すものであり、また、図３は、このシーケンスの中で
代表的な手順において、前記光走査型二次元濃度分布測
定装置におけるディスプレイ２３上に表示される中間調
画像の写真を示すものである。

【００２３】前記図１に示した光走査型二次元濃度分布
測定装置を用いて得られるバックグラウンドデータおよ
び測定データは、コンピュータ２１のＲＡＭ２４の光電
流値データファイル３１に格納される。このデータファ
イル３１に格納されるデータ（生データ）は、例えば、
１２／１６ビットグレイスケールで表示され、例えば１
２ビットグレイスケールの場合、４０９６階調で、ま
た、１６ビットグレイスケールの場合、６５５３６階調
で表示される。図３において符号３２で示すものは、１
２ビットグレイスケールのものである。

【００２４】そこで、前記センサ面７に溶液１２を設け
た直後のデータを、測定データから引算するようにし
て、バックグラウンド補正３３を行うが、このバックグ
ラウンド補正に際して前処理を行う必要がある。この前
処理について、図４を参照しながら説明する。

【００２５】まず、前記測定データおよびバックグラウ
ンドデータは、センサ７の下方からプローブ光３を照射
した際に得られたものであるので、上下の位置関係が逆
になっている。これを上方からみた状態に直すため、ｆ
ｌｉｐ ｕｐ／ｄｏｗｎの操作３４を行って、ボトムビ
ューをトップビューに変換する。

【００２６】そして、前記センサ８は、機械的な光透過
型ＸＹステージよりなるセンサ走査部９によって二次元
的に走査されるものであるが、このセンサ走査部９には
歯車など機械的部分のバックラッシュが存在するため、
このバックラッシュ補正３５を行って、光走査方向の機
械的ずれの補正を行う。このずれの補正は、例えば次の
ようにして行う。

【００２７】すなわち、今、図４において左上の図に示
すように、生データ３２の奇数行データ（仮想線で示
す）３６と偶数行データ（実線で示す）３７との間に符
号３８で示すバックフラッシュ誤差分があるものとする
と、データの配列の偶数行または奇数行のいずれか一方
をバックフラッシュ誤差分ＢＦに相当するピクセル分だ
けずらすのである。このようにすることにより、同図に
おいて右上の図に示すように、バックフラッシュ補正後
のデータ３２が得られる。

【００２８】また、前記生データ３２において、測定デ
ータとバックグラウンドデータとの間において位置ずれ
が生じているときは、これを補正する。すなわち、図４
において、左下の図に示すように、測定データ３９とバ
ックグラウンドデータ４０の原点位置３９Ｏ，４０Ｏに
ずれが生じているときは、同図の右下の図に示すよう
に、測定データ３９の原点３９Ｏをバックグラウンドデ
ータ４０Ｏの原点に合わせ込むのである。

【００２９】次に、バックグラウンド補正３３につい
て、図５を参照しながら説明する。この補正３３は、測
定前後のデータの差分値を変化量として画像化するもの
で、この場合、試料有りの画像データ（測定後）から試
料無しの画像データ（測定前）を差し引くことによって
得られる。試料有りの画像データ、すなわち、測定デー
タ３９は、例えば図３において、符号４３で示すような
ものである。また、試料無しの画像データ、すなわち、
バックグラウンドデータ４０は、同図において、符号４
４で示すようなものである。なお、このバックグラウン
ド補正３３については、本願出願人の特許出願「光走査
型二次元濃度分布測定装置」（特願平８−２１７９６７
号）に詳しく説明されている。

【００３０】そして、図２および図５に示すように、上
記バックグラウンドの補正３３を行った後、データを最
適化処理４５を行う。この最適化処理４５は、データを
２５６階調の値に変換するもので、より詳しくは、デー
タ分布曲線の９８％を含む範囲を２５６階調の値に置換
する。図３において、符号４６で示されるものは、２５
６階調に最適化処理したものを示している。なお、前記
データの最適化処理は、２５６階調に限られるものでは
なく、階調数は適宜設定できる。

【００３１】なお、バックグラウンド補正を行った後の
データＤを最適化する場合、図５に示すように、平滑化
処理４７を行うようにしてもよい。この平滑化処理４７
は、各データポイントの周辺ｎ_X ×ｎ_Y 個の平均値をそ
の点の値にすることである。

【００３２】図６は、上記バックグラウンド補正の応用
例を示すもので、この例においては、バックグラウンド
補正３３を行った後、時間変化量の測定４８を行ってい
る。すなわち、時間をあけて測定したデータの差分値を
時間変化量として画像化するもので、今、時刻Ｔ₁ ，Ｔ
₂ （０＜Ｔ₁ ＜Ｔ₂ ）とし、時刻Ｔ₂ の画像データ（測
定が後）から時刻Ｔ₁ の画像データ（測定が先）を引算
するのである。この場合、試料無しの画像データの平均
値を加算するようにしてもよい。このようにすることに
より、時系列変化表示４９を行うことができる。この時
系列変化表示４９は、時系列解析を行うのに好都合であ
り、この時系列解析としては、活性量の時間変動分析や
イオン放出量の微分値や積分値を求めたりするなどがあ
る。

【００３３】次に、前記データに基づいてカラー表示す
るには、上記最適化処理４５を行った後のデータ（光電
流値）をｐＨデータ化し、カラー化する必要があるが、
これについて図７を参照しながら説明する。電流値で表
されているデータ５０を、下記式を用いてｐＨデータ化
５１する。すなわち、ｐＨ（ｘ，ｙ）は、 ｐＨ（ｘ，ｙ）＝ｐＨ_B ＋ΔＶ_IPH （ｘ，ｙ）／ｋ_v で表される。ここに、 ｐＨ_B ：バックグラウンドの平均ｐＨ値 ΔＶ_IPH （ｘ，ｙ）：光電流値の変化分のバイアス電圧
換算値（ｍＶ） ｋ_v ：センサ固有のネルンスト電圧（ｍＶ／ｐＨ） である。

【００３４】前記各種の演算結果（グレイスケールデー
タ）を擬似カラー化または指示薬ライブラリ５２登録の
発光色にあてはめてカラー化５３する。ここで、指示薬
ライブラリ５２とは、ｐＨ指示薬の発色一覧表を色ベク
トルで登録したものである。５４はｐＨスケールで、カ
ラー表示したときにおけるｐＨ値をｐＨ指示薬の発色で
示すものである。これにより、ｐＨ濃度が一目瞭然に把
握できる。なお、このｐＨ画像のカラー表示方法および
指示薬ライブラリ５２については、本願出願人の特許出
願「ｐＨ画像のカラー表示方法」（特願平８−１１００
９９号）に詳しく説明されている。

【００３５】そして、前記カラー化した後、ＴＩＦＦデ
ータ化５５する。すなわち、上記データを、共通規格
〔（Ｒ，Ｇ，Ｂ）各８ビット〕のデータに変換し、これ
に基づいて、図３において符号５３Ａで示すようにカラ
ー画像として表示する。

【００３６】前記図３において符号５３Ａで示すよう
に、カラー画像表示することにより溶液１２におけるｐ
Ｈ分布を二次元的に把握することができるが、さらに、
ラインプロファイルデータ処理を行って断面プロフィー
ルを表示したり、あるいは、三次元化表示処理を行っ
て、等高線表示または鳥瞰図表示などの三次元表示を行
うようにすれば、前記ｐＨ分布をより詳細に把握するこ
とができる。以下、これらについて、図８および図９を
参照しながら説明する。

【００３７】まず、図８は、ラインプロファイルデータ
処理を説明するための図で、データ（光電流値）５０と
ｐＨ化データ５１とに基づいてラインプロファイル５６
を作成する。このラインプロファイル５５は、画像上の
任意のライン上のデータを縦軸として表示し、適当な演
算処理を行うもので、このラインプロファイル５６によ
って、図３において符号５６Ａで示すような断面プロフ
ィールが得られる。この断面プロフィール５６Ａは、符
号５３で示すカラー画像表示における符号５７で示した
ラインにおけるｐＨ値を示すもので、このライン５６は
画面上任意に設定することができる。したがって、前記
カラー画像表示５３における３６０°の方向の断面のｐ
Ｈ分布を観察することができる。

【００３８】そして、前記ラインプロファイルデータ処
理においては、前記ラインプロファイル処理済データを
用いることにより、表解析５８を行うようにしてもよ
く、さらに、時間的経過をグラフ上に表示する時系列化
５９を行うようにしてもよい。

【００３９】図９は、三次元表示化を説明するための図
で、データ（光電流値）５０とｐＨ化データ５１とに基
づいて三次元表示ファイル６０を作成し、このファイル
６０の画像データをＺ軸として三次元表示６１する。こ
の三次元表示６１としては、二次元画像を等高線表示ま
たは鳥瞰図表示するなどの表示方法がある。

【００４０】なお、三次元データを用いて、図２に示す
ように、極大・極小分布の測定６２や個数判別６３を行
うこともできる。このような測定６２，６３は例えば微
生物測定におけるコロニーカウントに用いることができ
る。

【００４１】次に、時系列化表示５８について、図１０
を参照しながら説明すると、この時系列化表示は、図９
に示したように三次元表示ファイル６０を作成した後に
行うようにしてもよいが、最適化処理４５されたデータ
に基づいて行ってもよい。すなわち、例えば適宜の時間
間隔をおいて測定して得られる時間的変化の測定データ
を時系列化し、これを二次元画像として時系列的に表示
するのである。また、これをＴＩＦＦデータ化５４して
動画表示とするようにしてもよく、さらに、ビデオデー
タ化６４して記録媒体に記録するようにしてもよい。

【００４２】図１１は、時系列測定の一例を示すもの
で、図示例では繰り返し連続測定である。すなわち、時
刻Ｔ_N におけるデータ６５を応用バックグラウンド補正
６６する。この応用バックグラウンド補正６６は、基本
的には、図６に示した補正と同じである。すなわち、時
刻をあけて測定したデータの差分値を変化量として画像
化する。そして、この時系列測定による観察方法として
二種類ある。すなわち、 ａ）測定開始からの時刻変化の観察 ｂ）測定各時刻における変化量の観察 である。

【００４３】そして、前記ａ）の場合、データ処理は、
（時刻Ｔ_N 画像データ）−（時刻Ｔ₀ 画像データ）＋
（試料無し画像データの平均値）として、また、前記
ｂ）の場合、データ処理は、（時刻Ｔ_N 画像データ）−
（時刻Ｔ_N-1 画像データ）＋（試料無し画像データの平
均値）として、それぞれ求められる。

【００４４】図３において符号５８Ａで示すものは、あ
るコロニーの成長過程を時系列的にカラーで表示したも
のである。この画像表示５８Ａのように三次元的にしか
も時系列的にカラー表示を行った場合、その変化の度合
いを一目瞭然に把握することができる。

【００４５】上述のように、この発明の画像処理方法に
よれば、光走査型二次元濃度分布測定装置を用いて測定
したときに得られる測定データを種々の形態に加工する
ことができるが、さらに、次のように、他の光学手段を
用いて得られる画像と組み合わせて互いに比較すること
ができる。以下、これを図１２および図１３を参照しな
がら説明する。

【００４６】すなわち、光走査型二次元濃度分布測定装
置のセンサ面７に臨むようにしてＣＣＤカメラ（図示し
てない）を設け、図１２に示すように、ＣＣＤカメラに
よって観察される画像６７と測定データ５０とをスーパ
ーインポーズ６８する。そして、このスーパーインポー
ズされたものをＴＩＦＦデータ５４に変換し、さらに、
ビデオデータ６４化するのである。

【００４７】そして、図１３は、観察像を用いた測定の
一例を示すもので、注目領域についてのＣＣＤカメラ観
察像６７を拡大し、この観察像６７と測定データとをス
ーパーインポーズしたり、このスーパーインポーズによ
って得られたものを観察画像に埋め込んだり、縮小投影
し、さらに、時系列化し、ビデオデータ化するようにし
てもよい。

【００４８】なお、この発明は種々に変形して実施する
ことができるので、以下にその変形の実施の形態を列記
する。

【００４９】測定装置本体１における光走査方法として
は、光透過型ＸＹステージ９を用いるのに代えて、 ａ．ハイポトロコイド曲線など極座標を描く走査系を用
いる方法、 ｂ．ガルバノミラー、ＡＯ素子などを用いて照射光を走
査する方法、 ｃ．ＬＥＤアレイなど複数の光源を用いて照射光を走査
する方法、 ｄ．複数のセンサと複数の光源のどちらか一方または双
方を用いて照射光を走査する方法、などを採用すること
ができる。

【００５０】上記画像処理シーケンスの一部または全て
がコンピュータ２１の記憶装置２５のみならず、各種の
記憶媒体に記憶させるようにしてもよい。

【００５１】画像処理シーケンスの一部または全ては、
必要により、記憶媒体からコンピュータ２１に取り出し
て演算を行うようにしてもよい。

【００５２】画像処理シーケンスの一部または全てを、
情報ネットワークなどを通じて外部の演算処理装置に設
けるようにしてもよい。

【００５３】さらに、画像処理対象はｐＨやｐＩＯＮの
みならず、導電率であってもよい。

【００５４】なお、上記光走査型二次元濃度分布測定装
置において、比較電極１４を省略し、対極１３を介して
バイアス電圧を印加してもよい。但し、比較電極１４を
設けていた方が半導体基板５にバイアス電圧をより安定
に印加することができる。

【００５５】そして、上記光走査型二次元濃度分布測定
装置において、センサ走査部９によってセンサ８をＸ，
Ｙ方向に移動させるのに代えて、光照射部４に光照射部
走査装置を設け、光照射部４をＸ，Ｙ方向に移動させる
ようにしてもよく、また、光照射部４とセンサ部２との
間にプローブ光走査装置を設け、プローブ光３をＸ，Ｙ
方向に移動させるようにしてもよい。

【００５６】さらに、上記光走査型二次元濃度分布測定
装置においては、光照射部４によるプローブ光３を半導
体基板５のセンサ面７とは反対側から照射するようにし
ていたが、これに代えて、センサ面７側から照射するよ
うにしてもよい。そして、光照射部４として、例えば特
願平７−３９１１４号に示すように、半導体基板５に組
み込まれた光照射部を採用してもよい。

【００５７】

【発明の効果】この発明の画像処理方法によれば、デー
タ処理を安価にしかも合理的に処理することができる。
そして、この画像処理方法によれば、二次元化学濃度分
布を化学量として明らかにすることができるとともに、
視覚的に把握しやすい形態で表示することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の画像処理方法が適用される光走査型
二次元濃度分布測定装置の構成を概略的に示す図であ
る。

【図２】前記画像処理方法を含む画像処理シーケンス全
体を概略的に示す図である。

【図３】上記シーケンスの中で代表的な手順において、
前記光走査型二次元濃度分布測定装置におけるディスプ
レイ上に表示される中間調画像の写真の一例を示すもの
である。

【図４】バックグラウンド補正の前に行う処理を説明す
るための図である。

【図５】バックグラウンド補正を説明するための図であ
る。

【図６】バックグラウンド補正の応用例を説明するため
の図である。

【図７】データのｐＨデータ化およびカラー画像化を説
明するための図である。

【図８】ラインプロファイルデータ処理を説明するため
の図である。

【図９】三次元表示化を説明するための図である。

【図１０】時系列化表示を説明するための図である。

【図１１】時系列測定の一例を示す図である。

【図１２】観察像との比較を説明するための図である。

【図１３】観察像を用いた測定を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

３…プローブ光、５…半導体基板、７…センサ面、３２
…測定データ、３３…バックグラウンド補正操作、４５
…最適化操作、５１…イオン濃度データへの変換操作。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体基板の一方の面にセンサ面を有
   し、前記半導体基板に対してプローブ光を照射するよう
   に構成された光走査型二次元濃度分布測定装置におい
   て、プローブ光を照射して得られた測定データのバック
   グラウンド補正を行う手順と、前記補正後のデータを適
   宜の階調の値に補正して最適化する手順と、前記最適化
   されたものをイオン濃度データに変換する手順とからな
   ることを特徴とする光走査型二次元濃度分布測定装置に
   おける画像処理方法。