JPH11186096A

JPH11186096A - 有機薄膜コンデンサ

Info

Publication number: JPH11186096A
Application number: JP9357064A
Authority: JP
Inventors: Hisayoshi Watanabe; 久芳渡辺; Shinichi Suzawa; 眞一陶澤; Nobuki Sunanagare; 伸樹砂流; Hideki Matsuda; 英樹松田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1997-12-25
Filing date: 1997-12-25
Publication date: 1999-07-09

Abstract

(57)【要約】【課題】大容量で高信頼性が要求される電子機器およ
び電気機器に使用される有機薄膜コンデンサにおいて、
誘電体である有機薄膜をさらに薄くし、素子の凸部発生
防止と保護層の剥離を防止することを目的とする。【解決手段】２個二重結合を有したモノマ分子を、放
射線が照射された面に、放射線を照射しながら、重合・
堆積した厚み０．０５μｍ以上の一定厚みの有機薄膜１
により高耐圧化を図り、さらに全層がオイルマージン部
２により分離された金属蒸着膜４、５が形成されること
により、全層の硬化収縮率が同じになり、保護層１２の
剥離がなく、かつ、金属蒸着膜７と電極引出し層１４が
電気的に強固に結合されることにより、小形・大容量で
低インピーダンスの特性を実現する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大容量で高信頼性
が要求される電子機器および電気機器に使用される小形
・大容量で低インピーダンスの有機薄膜コンデンサに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、屋外で使用される携帯型の電子機
器あるいはコンピュータ関連の電子機器が急速な伸びを
示し、小形・大容量で高信頼性を有する表面実装用の電
子部品に対する需要は極めて大きい。そのため、使用さ
れる電子部品にも従来以上に大幅な小形化・大容量化そ
して低インピーダンス化に対して特に厳しい要求が定格
電圧の低下と共に増えている。

【０００３】従来、有機薄膜コンデンサは特公昭４４−
２５０１４号、特開昭５２−１５１８５４号および特開
平６−２９１４７号に記載されたものが知られている。

【０００４】図６と図７は、従来の有機薄膜コンデンサ
の断面図である。図６において、有機薄膜コンデンサ
は、ポリスチレンフィルム等の保護層を兼ねた絶縁性基
板６１と、コンデンサとして作用するための素子層とし
て、アルミニウム等の金属蒸着膜６３、６６が二つの外
部電極である導電性材料層６８間で短絡しないように、
真空蒸着の際に固定マスク方式で設けた金属蒸着膜の存
在しない領域であるマージン部６２、６５を、導電性材
料層６８の手前に交互に配置し、かつ金属蒸着膜６３，
６６の間を誘電体である有機薄膜６４で絶縁され、厚み
方向に繰り返して積層され、最後に、金属蒸着膜６３と
一つおきの金属蒸着膜と、そして金属蒸着膜６６と一つ
おきの金属蒸着膜とがそれぞれ導電性材料層６８と電気
的に結合されて構成される。また、技術の進歩と共に小
形化の強い要請に応えるために、寸法が縦７．５ｍｍ、
横３．２ｍｍそして高さが６．８ｍｍの、図７に示した
ような小形の有機薄膜コンデンサも提案された。それ
は、基板の代りに誘電体と同じ材料で保護層が形成され
たものである。まず、超音波噴霧方式により多官能アク
リレートや紫外線増感剤等からなる液体を直接塗布され
紫外線により重合されて得られる厚み０．４μｍの有機
薄膜７１を幾層も積層されて保護層が形成される。次に
幅が約０．４ｍｍで厚みが７０ｎｍのパラフィンオイル
からなる残留オイル膜７７であるオイルマージン部７２
が形成され、その上にアルミニウムを抵抗加熱方式で真
空蒸着し、厚みが３０ｎｍの分離され絶縁された金属蒸
着膜７３と７４が形成され、その上に、同様にして超音
波噴霧と紫外線照射により有機薄膜７５が形成された。
そして、コンデンサの対向電極として、前記有機薄膜７
５上に所定の対向幅となる寸法だけ離してオイルマージ
ン部７２が形成され、残りの面に金属蒸着膜７３、７４
を形成する。以下、このようにして前記オイルマージン
の位置を交互にずらし、所定数だけ積層し、素子層が形
成され、さらにその上に同じようにして前記有機薄膜の
みからなる前記保護層が形成されて前記積層体が得られ
る。その後、特開昭５２−１５１８５４号に示された技
術であるスパッタエッチングあるいは酸素プラズマ等に
よるエッチングにより、選択的に前記有機薄膜を除去す
ることで前記積層体から前記金属蒸着膜を突き出した突
き出し部７８を形成し、その上に厚みが約０．４ｍｍの
真鍮の溶射層と、さらにその上の錫が６０％で残りが鉛
である厚みが約０．１ｍｍの溶融めっき層からなる導電
性材料層７６が電気的に接続される。この時、オイルマ
ージン部７２と導電性材料層７６とが直接接触させず
に、金属蒸着膜７３を設ける理由は、前記残留オイル膜
７７から液状の多量のオイルが滲み出すのを距離を離す
ことで防止し、前記オイルがわずか０．４μｍしか離れ
ていないその上下の金属膜と導電材料層の界面に滲み出
て、電気的接続を阻害し、インピーダンスが高くなるこ
とを防止するためである。その後、必要に応じて積層面
の露出部にシートの貼り付け、もしくは紫外線硬化性樹
脂コートにより端面外装が施されて有機薄膜コンデンサ
が提供される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の有機薄膜コンデ
ンサを小型・大容量化するためには、有機薄膜の厚みを
薄くするか、または有機薄膜の比誘電率を高くするかの
いずれかの手段が考えられる。

【０００６】ところが、従来品の有機薄膜の厚みを０．
４μｍから０．３μｍに薄くすると、耐電圧が１３０Ｖ
から３０Ｖに低下し、期待される耐電圧が得られないと
いう問題点が分かった。この傾向は厚みが薄い時にさら
に顕著となった。従来の超音波噴霧によるコーティング
方式は、霧化した粒子を付着させて、流動させて薄い膜
を得ようとする方法である。そのため、薄い膜を形成す
る際には、超音波霧化方式による霧化粒子径が数μｍあ
るため、離散的に付着させることとなり、平均して０．
３μｍであっても、原因が明確になっていないが、一つ
には、付着した隣り合う粒子の間隔が広すぎ、十分広が
らないために厚みむらが起こり、極端に薄い部分が生じ
るためであること等が考えられる。

【０００７】そして、従来品の有機薄膜を薄くした時
に、有機薄膜コンデンサの表面に凸部が生じ、プリント
配線基板上で前記有機薄膜コンデンサの電極接続層が浮
くため、はんだが付かず電気的接続ができないという問
題点の起こることが分かった。従来の方法では図８に示
すように、有機薄膜８１を０．３μｍと薄くした場合、
金属蒸着膜８４と金属蒸着膜８５を絶縁するためのオイ
ルマージン部８２の残留オイル膜８３の方が４０ｎｍ程
度厚いため、一層形成する度に、前記残留オイル膜の厚
い分だけ前記有機薄膜の厚みが見かけ上１３％増加す
る。その結果、特に積層数の大きい大容量コンデンサに
おいて顕著であるが、前記オイルマージン部８２の積層
方向での有機薄膜の盛り上がり部８７が生ずる。そのた
め、電子機器の組み立て工程において、図５に示したよ
うに、図中（イ）従来の有機薄膜コンデンサをはんだ付
けした場合のように、従来品では問題なかったものが、
前記有機薄膜の厚みを薄くすると、図中（ロ）従来品の
有機薄膜を薄くした場合のように、従来品の有機薄膜を
薄くした時に、発生する突起５５のために、導電材料層
と銅配線５２とが浮いて隙間が生ずるためにはんだ接続
できないためと考えられる。

【０００８】さらに、従来品の有機薄膜を薄くした時
に、金属蒸着膜と電極引出し層との電気的接続抵抗が高
くなり、インピーダンス特性が高くなることが分かっ
た。原因は、前記有機薄膜の厚みが薄くなった場合、前
記突き出し部の隙間が狭くなるために、前記電極引出し
層を構成する真鍮の溶射粒子の径が大きいために、前記
隙間に溶射粒子が侵入しにくくなるため機械的付着力が
低下し、同時にそのため、前記金属蒸着膜と前記電極引
出し層との電気的接続が破壊される部分が生じて電気的
接続抵抗値が高くなるためであると考えられる。

【０００９】また、従来品の有機薄膜を薄くした時に、
前記保護層と前記素子層の界面において、界面剥離が生
じ、前記保護層が外れてしまうという問題点が分かっ
た。原因は、前記素子層では有機薄膜が薄くなる程、実
質的に熱収縮率が小さくなるのに対し、保護層は、有機
薄膜層のみから構成されるため、放射線が内部に侵入し
易く、モノマの架橋反応が進行し、本来の大きな熱収縮
率を示すために、大きな応力が発生するためと考えられ
る。

【００１０】一方、後者では、従来、トリシクリデカン
ジメタノールジアクリレートの比誘電率は約３であり、
比誘電率を高めて、同じ体積で膜厚を３／４にする場合
と同じ静電容量を得るためには、比誘電率が約５．３の
有機材料が必要となる。しかも、蒸発し、放射線で硬化
し、三次元架橋することが必要であり、この要望に答え
られる材料は見つかっていない。

【００１１】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、小形・大容量で低インピーダンスの有機薄膜コンデ
ンサを提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、従来２個の二重結合を有するモノマの微粒
子から液状の膜を形成した後に膜を硬化して得た有機薄
膜ではなく、ブロックをはめ込むように硬化した構造の
有機薄膜とすることで困難であった、より薄くした場合
の高耐電圧の有機薄膜を得る事を可能とし、蒸着時のオ
イルマージン部の残留オイル膜を熱分解容易な新規なオ
イルを採用することにより凸部発生の防止を可能にして
プリント配線基板へのはんだ付け性の改良を図り、保護
層にも金属蒸着膜を形成可能にして保護層の熱収縮を抑
制して保護層の剥離を防止し、かつ、裏側を厚みが徐々
に連続して薄くなる有機薄膜で補強された金属蒸着膜を
突き出した構造とすることにより電極引出し層との機械
的付着力の低下を防止できるようにし、さらに新導電性
材料層構造の採用と新導電性材料の導入と新電極接続層
材料の導入によりさらに電気的な接続を高めるように構
成したものである。

【００１３】これにより、小形・大容量で低インピーダ
ンスの有機薄膜コンデンサが得られる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、２個の二重結合を有したモノマ分子が、蒸着される
直前に放射線が照射され、形成されるべき表面に放射線
を照射されながら重合・堆積した長方形様の有機薄膜で
あり、含有二重結合の９０％以上が相互に重合しかつ
０．１％以上が酸素と付加して前記有機薄膜の上面に偏
在している厚みが０．０５〜２０μｍの範囲の有機薄膜
と、その前記上面の対向する第一の辺間にわたって形成
された細帯状の０．１５ｍｍ以上の幅のパーフルオロア
ルキルエーテルからなるオイルマージン部と、その残り
の全面に形成された前記オイルマージン部の残留オイル
膜よりも厚く１５〜４０ｎｍの範囲のアルミニウムの金
属蒸着膜と、前記有機薄膜および前記金属蒸着膜が繰り
返し積層された厚みが０．６ｍｍ以上の積層体と、前記
上面の別の対向する第二の辺が位置する積層された面に
おいて、前記金属蒸着膜の全ての層が突き出し、同時に
その下側に前記酸素が付加した二重結合を介して接着
し、突き出した先端部の接着した有機薄膜の厚みが０μ
ｍとなるように連続的に減少した有機薄膜とからなる１
μｍ以上の長さの突き出し部と、前記突き出し部の大半
が上下左右の方向にばらばらに変形した面と、前記変形
した面の中の変形した金属粒子が多数固着して前記第二
の辺である前記突き出し部と電気的に接続した厚みが
０．２ｍｍ以下の電極引出し層と、前記積層体の前記第
一の辺を包含する積層面と同じ面である前記電極引出し
層の側面を除いた目視可能な表面部分および前記積層体
の上下の最表面の前記第二の辺から内側へ向かって０か
ら０．６ｍｍの領域とにわたって配置され前記電極引出
し層と電気的に接続した厚みが０．３ｍｍ以下の導電性
材料層と、さらに前記導電性材料層の前記電極引出し層
の側面と同一平面上にある側面以外の目視可能な最外面
に電気的に接続された厚みが０．１ｍｍ以下の電極接続
層とからなることを特徴とする有機薄膜コンデンサとし
たものである。

【００１５】まず、この２個の二重結合を有するモノマ
分子が、蒸着される直前に放射線が照射され、形成され
るべき表面に放射線を照射されながら重合・堆積するこ
とにより、材料の粘度・表面張力等の影響を受けずに、
均一で高耐圧の薄膜を形成する作用を有する。

【００１６】そして、パーフルオロアルキルエーテルか
らなるオイルマージン部を導入することにより、オイル
膜の厚みを金属蒸着膜の厚みと同等以下にし、積層体表
面に突起の形成を抑制する作用を有する。

【００１７】さらに、含有二重結合の９０％以上が相互
に重合し、かつ残りの０．１％相当以上が酸素とラジカ
ル反応した末端基となり前記有機薄膜の上面に偏在した
厚みが０．０５から２０μｍの範囲の有機薄膜と、その
前記有機薄膜の面上の一対の対向する第一の辺間にわた
って形成された細帯状の少なくとも０．１５ｍｍ以上の
幅で付着厚みが薄いパーフルオロアルキルエーテルから
なるオイルマージン部と、その残りの全面に形成された
１５〜４０ｎｍのアルミニウムの金属蒸着膜と、前記有
機薄膜および前記金属蒸着膜の組合せが繰り返し積層さ
れ厚みが０．６ｍｍ以上の積層体とすることにより、積
層体の全層にわたり、熱収縮率を同じにすることがで
き、さらに、有機薄膜と金属蒸着膜間に酸化したモノマ
の末端基を導入することで、機械的付着力を向上させる
ことが分かり、これらが相乗効果を示し、層間剥離を防
止する作用を有する。

【００１８】また、有機薄膜の別の一対の対向する第二
の辺が位置する積層された面において、前記金属蒸着膜
の全ての層が突き出し、同時にその下側に化学的に接着
し、突き出した先端部では厚みが０μｍの有機薄膜とか
らなる１μｍ以上の長さの突き出し部と、前記突き出し
部の大半が上下左右の方向にばらばらに変形した面と、
前記変形した面の中の変形した金属粒子と、前記金属粒
子が多数固着し合い前記突き出し部と電気的に接続した
厚みが０．２ｍｍ以下の電極引出し層と、前記電極引出
し層の前記有機薄膜第一の辺を包含する側面を除いた目
視可能な表面部分および前記積層体の上下の最表面の前
記第二の辺から内側へ向かって０から０．６ｍｍの領域
とにわたって配置された前記電極引出し層と電気的に接
続した厚みが０．３ｍｍ以下の導電性材料層と、さらに
前記導電性材料層の前記電極引出し層の側面と同一平面
上にある側面以外の目視可能な最外面に電気的に接続さ
れた厚みが０．１ｍｍ以下の電極接続層とすることによ
り、溶融金属粒子が突き出し部をばらばらに上下左右方
向に変形するまで高速で吹き付けた状態を形成すること
により強固なくさび効果が得られ、個々では小さく、薄
いけれども全面に分布する多数層の有機薄膜と電極引出
し層との強い機械的強度が得られる作用と、同時に存在
する金属蒸着膜と電極引出し層も安定で非常に導通抵抗
値の低い電気的接続が得られ、積層面にまで到達し、プ
リント配線基板と確実に接触できる導電性材料層と電極
接続層の相乗効果により、新たに低インピーダンスを実
現する作用と、プリント配線基板との接続不良を防止す
る作用を有する。

【００１９】請求項２に記載の発明は、前記積層体は、
最下層と最上層に有機薄膜層を有し、かつ各々から内部
に向かい少なくとも０．１ｍｍ以上にわたり前記オイル
マージン部が積層方向に全て一定の位置に直線状に配置
された静電容量を与えない二つの保護層を有することを
特徴とする請求項１に記載の有機薄膜コンデンサとした
ものである。これにより、保護層を含めて全ての層の熱
収縮率を同じにすることにより、前記保護層の剥離を防
止する作用と、前記金属蒸着膜と前記電極引出し層・前
記導電材料層・前記電極接続層の電気的結合力を高め低
インピーダンスを実現する作用と、積層された最も下と
最も上の有機薄膜層により有機薄膜コンデンサの漏電防
止作用が得られる。

【００２０】請求項３に記載の発明は、前記オイルマー
ジン部は、前記第二の辺の一方の位置から前記オイルマ
ージン部の最も近い部分が凡そ０〜０．５ｍｍの範囲に
相当する位置に配置されており、かつ最下層を含む前記
保護層と最上層を含む前記保護層の各々において、前記
第二の辺の一方に偏って揃って配置されていることと、
前記積層体の前記保護層以外の残りの層である静電容量
が１００ｐＦ以上となる素子層において、前記有機薄膜
層の一層毎に、前記第二の辺から交互に配置されている
ことと、前記最上層において、前記積層体の厚みに換算
して０〜３０％の範囲の凹み部を形成することを特徴と
する請求項２に記載の有機薄膜コンデンサとしたもので
ある。これにより、前記積層体表面に一般的に生ずる凸
部の発生を防止し、逆に平坦かさらには凹み部とするこ
とにより、プリント配線基板から導電性材料層の浮き上
がりを抑制し、プリント配線基板との接続不良をなくす
作用と素子層が薄く小さな静電容量の場合でも請求項２
の場合と同様に低いインピーダンスを実現する作用が得
られる。

【００２１】請求項４に記載の発明は、前記導電性材料
層は、銅とニッケルと銀の成分比が（１００）対（３０
〜５５）対（１．５〜４）の範囲にある粒径が１〜５０
μｍの範囲内に分布する合金かまたは二つの合金に残り
をめっきした粒子と熱硬化性のフェノール樹脂からな
り、前記導電性材料層の内側と外側は５ｍΩ以下を示す
ことを特徴とする請求項１、請求項２および請求項３に
記載の有機薄膜コンデンサとしたものであり、本発明の
材料により、本発明の導電性樹脂材料の組成により低イ
ンピーダンスを実現する作用が得られる。

【００２２】請求項５に記載の発明は、前記電極接続層
は、重量比で錫を８５〜９７％の範囲で含む材料で構成
されたことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３
および請求項４に記載の有機薄膜コンデンサとしたもの
であり、本発明の組成により、プリント配線基板とのは
んだ付け不良を減らす作用を有するものである。

【００２３】請求項６に記載の発明は、前記モノマ分子
は、シクロペンタジェンを２量体化し、次に２個の二重
結合部に一酸化炭素と水素を付加しホルミル化し、さら
に水素添加してジヒドロキシ化合物とし、次に、アクリ
ル酸を加えエステル化して得られる多数の異性体からな
り、前記エステル化反応時の未反応成分が水洗除去さ
れ、その後水分を１００ｐｐｍ以下に除去され、真空度
が１００Ｐａ以下で、沸点以下の温度で徐々に蒸発させ
たものであることを特徴とする請求項１、請求項２、請
求項３、請求項４および請求項５に記載の有機薄膜コン
デンサとしたものであり、多数の成分からなる組成とす
ることにより、重合反応をし易くし、材料の粘度・表面
張力等の影響を受けずに、均一で高耐圧の薄膜を構成す
る作用を有するものである。

【００２４】請求項７に記載の発明は、前記放射線が、
前記金属蒸着膜形成用の電子線に由来する電子であるこ
とを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項
４、請求項５および請求項６に記載の有機薄膜コンデン
サとしたものであり、より均一な有機薄膜の形成に不可
欠なブロックを積み上げるように重合させて、均一で高
耐圧の薄膜を構成する作用を有するものである。

【００２５】以下、本発明の実施の形態を図１および図
４を用いて説明する。（実施の形態１）図１は、本発明の一実施例の斜視図を
示し、図４は本発明の電極突き出し部の状態を示した有
機薄膜コンデンサの部分断面斜視図を示し、具体的には
一方の電極引出し層と導電性材料層と電極接続層の一部
を欠き、電極突き出し部を拡大して、電極突き出し部と
電極引出し層の接続界面の状態の一例を示したものであ
る。図１において、有機薄膜１は、従来、超音波噴霧法
により、非常に微細な霧状粒子を作り、付着させ、表面
張力により流動させ、均一な膜とさせ、その後、紫外線
を照射して、放射線硬化有機膜を形成してきた。しか
し、この技術では、微細な霧状粒子径が数μｍ近辺に霧
化の限界のあることが分かり、付着した霧状粒子のぬれ
拡散により形成した放射線硬化有機膜の厚みを０．３μ
ｍ以下にすることは、技術的困難を伴い、一般的には、
モノマの真空蒸着法の方が優れていると考えられてき
た。しかし、トリシクロデカンジメタノールジアクリレ
ートを蒸着した場合、厚みは０．３μｍであっても、面
方向に数〜数十μｍの直径を有するうろこ状の模様の膜
ができることが分かった。さらに調べてみると、材料本
来の耐電圧の半分以下しかでていないことが分かった。
本発明者等は、トリシクロデカンジメタノールジアクリ
レートモノマの真空蒸着による蒸気を、電子線を照射し
た面に前記モノマの蒸着膜の形成を行うことで、厚みが
０．０５〜０．４μｍであっても、均一な薄膜を得られ
ることを見出したものである。このとき、前記真空蒸着
による蒸気雰囲気中に電子線を注入するとさらに均一な
膜が得られる効果があった。またモノマに揮発性の紫外
線増感剤を加えた場合は、金属表面、例えばアルミニウ
ム蒸着膜に紫外線を照射しながらモノマを蒸着すること
で均一な薄膜が得られることも見出したものである。さ
らに、厚みを２０μｍまで増やすと、一般的には厚みが
厚すぎるため、膜に加わる重力等の影響で液状の膜が流
れ、厚みのむらができる。しかし、本発明によると、厚
みを２０μｍまで増やしても、厚みが安定で極めて平坦
な有機膜が形成されることが分かった。理由は、蒸着さ
れる表面に付着した多量の電荷あるいは表面から飛び出
そうとする多量の電荷により、モノマが表面に到達した
瞬間あるいは到達する直前にラジカルイオン化され、モ
ノマの重合やモノマ分子の固定等が生じ、即ち、非常に
高速で次々と堆積と重合が行われ、表面張力や遠心力等
の影響がでる前に薄膜が形成されたため、厚みが非常に
厚い場合でも流動しないためと考えられる。この効果
は、多官能アクリレート全般にも効果が認められ、他に
少なくともビニル基を二個有するモノマとしてジビニル
エーテル類あるいは、ジシクロペンタジエンのようなシ
クロアルカジエンあるいはアルカジエン等においても確
認された。この現象は吸着後に電子線等を照射する訳で
はなくモノマの蒸着直前であり、さらにモノマの蒸気圧
も従来は０．０００１〜０．１ｍＰａの範囲であった
が、本発明の技術は１Ｐａ以上の領域であり、その両者
が揃って始めて本発明の効果があるため、特公昭４４−
２５０１４号に記載の電子線衝撃法の技術とは明らかに
異なる。また、類似技術として、特開昭５８−７４７０
１号に記載された、基板上にモノマ膜を蒸着すると同時
に電子線を照射するという技術があるが、本発明は、液
状の有機膜を形成しながら硬化させるという方法であ
り、本発明は基本的に異なり、電子線を含む放射線が照
射されている面に蒸着を行うことで最も良い効果が得ら
れ、有機薄膜を形成すべき表面からむらなく一様にモノ
マを重合・架橋反応をさせながら有機薄膜を堆積・硬化
・架橋させて得た構造をコンデンサ用誘電体に用いたも
のであり、明らかに異なる。

【００２６】また、金属蒸着膜４、５は、一般的に抵抗
加熱方式で行うことが多い。しかし、電子線ビームでア
ルミニウムを加熱して真空蒸着を行うと、真空槽の中に
多量の散乱電子線が発生していることが分かった。この
散乱電子線を用いることにより、容易に、有機薄膜の厚
みを安定に形成できることが分かった。即ち、金属蒸着
膜４，５あるいはオイルマージン部２は、アルミニウム
の真空蒸着後に、溶けた液体アルミニウムの電子線の圧
力で凹んだ部分から生ずる熱電子線に由来する反射電子
が照射される。その結果、金属蒸着膜４，５あるいはオ
イルマージン部２の表面に多量の電荷が蓄積され、一部
は弱い速度で表面から離脱する。そして、次の段階であ
るモノマの加熱蒸気の中にも、あらゆる方向から電子線
が飛来し、その中の一部のモノマはその蒸着されるまで
の非常に短い時間内でラジカルイオン化し前記表面に堆
積と同時に重合開始し、残りの大半のモノマは蒸着され
ると同時に分子レベルで、付着面で多量の蓄積された電
荷によりラジカルイオン化し、その結果、重合反応が生
じ、架橋反応が一様に厚み方向に進行するため流動化が
起こらず均一な厚みの有機薄膜となったためと考えられ
る。この場合、別途に電子線源あるいは紫外線源を設け
る必要がなく経済的である。但し、電子線量を制限し、
後に紫外線照射を行うことで、全層の有機薄膜の残存二
重結合を一定にでき、機械的強度を均一にでき、特に大
形形状にはこの方法により、内部ひずみを無くすことが
できて有利となる。

【００２７】一方、有機薄膜１を構成するコンデンサ用
誘電体として開発されたトリシクロデカンジメタノール
ジアクリレートは、純粋に合成したもので、非常に高価
であり、実用的でない。しかし、本発明者らは、出発原
料として、シクロペンタジェンを用い、これをまず二量
体化し、ジシクロペンタジェンを合成し、次にこれを分
離・抽出し、次に２個の二重結合部に一酸化炭素と水素
を付加しホルミル化し、さらに水素添加してジヒドロキ
シ化合物化し、そしてアクリル酸を加えエステル化する
ことにより、次式で示される異性体（化１）、（化
２）、（化３）、（化４）、（化５）、（化６）、（化
７）、（化８）、（化９）と（化１０）及びアクリル酸
の二重結合が前記異性体に付加した不純物あるいは前記
ジヒドロキシ化合物の一方しかアクリル酸とエステル化
していない不純物等を含んだ混合物が得られる。その後
に未反応成分は水洗除去し、その後水分を１００ｐｐｍ
以下に乾燥した複数の異性体が混在してなるモノマを用
いることで、原材料代が安価で、また、真空下での加熱
蒸発あるいは重合の際に、アクリロイルオキシ基の加水
分解が防止でき、この多数の異性体を含有することで、
非常に硬化速度が速まり、さらにはモノマの気化の過程
でのアクリル酸エステルの加水分解を防止できるように
なり、良好な均一な有機薄膜が得られ、耐電圧も０．３
μｍで１２３Ｖと高い特性が得られ、同時に温度６０
℃、相対湿度９５％における静電容量増加率が、完全に
乾燥した時を０％として、従来１２％であったものが、
８％に抑えられるようになったものである。

【００２８】

【化１】

【００２９】

【化２】

【００３０】

【化３】

【００３１】

【化４】

【００３２】

【化５】

【００３３】

【化６】

【００３４】

【化７】

【００３５】

【化８】

【００３６】

【化９】

【００３７】

【化１０】

【００３８】次に、保護層１２は、従来、有機薄膜のみ
から成っていたが、前述した方法で長方形様の有機薄膜
１を形成した後、二重結合を含まない液状の有機液体を
前記長方形様の対向する第一の辺１１間にわたり連続し
て蒸着したオイルマージン部２を形成し、その上にアル
ミニウムを電子線加熱法により真空蒸着することで、前
記オイルマージン部には金属薄膜が形成されずに、その
両隣に電気的な導通がない金属蒸着膜４と金属蒸着膜５
を形成させ、さらにその上に有機薄膜を形成するという
ことを繰り返すもので、オイルマージン部２の位置を積
層方向で一定位置に固定することで静電容量に寄与しな
いが機械的強度の高い厚い層とすることができる。ま
た、オイルマージンは、この第一の辺１１間を連続して
結んでいれば、図４に示した残る第二の辺４７と平行で
あっても斜めであっても曲線を描いていても良い。さら
に、二つある保護層１２の中のそれぞれのオイルマージ
ン部は、それぞれの保護層のなかでのみ積層方向に一定
であれば良く、二つとも同じ位置であっても、異なって
いても良い。また、このオイルマージン部２は一直線で
ある必要はなく、保護層１２も素子層も同様に有機薄膜
１と金属蒸着膜４，５あるいは有機薄膜７と金属蒸着膜
８，９のように交互に形成することで、熱収縮率の差を
同じにすることができ、保護層１２の剥離の問題の解決
が図れたものである。また、積層体の最外層である保護
層１２の最下層および最上層は有機薄膜１とすること
で、漏電あるいは耐圧不良を招くことが無い特徴もあ
る。ところで最上層が金属蒸着膜の場合は、プリント配
線基板に実装された後に全体をモールドして使用する際
に好適である。さらに、素子層の厚みに関係なく、長方
形様の有機薄膜１と同じ物である図４の有機薄膜４９の
別の第二の辺の組が作る積層面から１μｍ以上突き出し
た金属蒸着膜４１でありかつその裏面に酸素とラジカル
反応した前記二重結合が反応して取り込まれて接着し、
突き出した先端部に向かい厚みが徐々に薄くなり先端部
での厚みが０μｍである有機薄膜とからなる構造となっ
た突き出し部４２が積層体の全面に存在するため、真鍮
をアーク溶射法により溶融した微粒子化し高速で吹き付
けて形成する電極引出し層４４との接続時に、突き出し
部４１が前記高速の溶融した真鍮の微粒子のため上下左
右方向に変形したり折れて欠落した状態になる変形した
突き出し部４３と、従来は裏側に補強材がないために弱
かったが、本発明では機械的に非常に強く結合し、金属
蒸着膜４や有機薄膜１等で構成される積層体と電極引出
し層１４の機械的結合力が一定以上に保たれるようにな
った。その結果、電気的接続が向上し、基本的には素子
層の積層数と金属蒸着膜９の膜抵抗値と導電性材料層１
５の抵抗値で決まるが、安定した低インピーダンス特性
が常時確保できるようになったものである。また、突き
出し部１８の形成は、従来同様に、スパッタエッチング
あるいは酸素プラズマにより、選択的に有機薄膜を除去
することにより得られる。

【００３９】さらに図８の従来品の有機薄膜を薄くした
場合のオイルマージン部８２に残留する、特開平６−２
９１４７号で開示されたパラフィンオイルは、モノマと
の相溶性が良く、さらに分子量分布が広く、熱的にも非
常に安定しているため、再蒸発不可能な性質を有してい
た。そのため、図８に示したように、積層体表面のオイ
ルマージン部８２により生ずる盛り上がり部８７が防止
できなかったものである。本発明者らは、種々の材料を
検討した結果、テトラフルオロエチレングリコールとヘ
キサフルオロプロピレングリコールの共重合化合物であ
るパーフルオロアルキルエーテルが熱的に弱く、加熱に
よる沸点が１８０℃以上の成分は容易に解離し、沸点が
１６０〜１８０℃以下の成分に分解しやすいことを見出
したもので、残留量を大幅に低減可能にすることができ
るようになったものである。その結果、パーフルオロア
ルキルエーテルの膜が、蒸着金属の凝縮を阻害する性質
を残して良好なオイルマージン部２を形成できること
と、真空下において再蒸発あるいは熱分解により残留量
を低減でき実質的に金属蒸着膜１，４に比較して厚みの
薄い残留オイル膜３になること、前記保護層の前記オイ
ルマージン部が積層方向に一定の直線状の位置に配置さ
れることと、前記積層体の残りの層に含まれる前記オイ
ルマージン部は一層毎に、前記長方形の面の一対の対向
する第二の辺２７の各々の位置から凡そ０〜０．５ｍｍ
に相当するところに配置されることにより、前記積層体
の中で前記オイルマージン部が積層方向に多数集まった
部分に相当する前記積層体の一つの表面のみに、オイル
マージン部の幅よりも広い幅で、従来は盛り上がってい
たものが、逆に、前記積層体の厚みに換算して０〜３０
％凹ませることができるようになり、実装性が飛躍的に
向上するようになったものである。また好ましくは、沸
点が１７０〜２９０℃の範囲内のパーフルオロアルキル
エーテルが良く、沸点がその範囲よりも下では、揮発性
が強く、オイルマージン部の形成が不安定であり、逆に
沸点がその範囲よりも上でも、蒸発よりも不安定な分解
した低分子成分の付着が多くなるためにオイルマージン
の厚み変動が多くなり、オイルマージン部２に薄く金属
蒸着膜が形成され、金属蒸着膜４、５間の絶縁が１００
０ＭΩ以下となったり、凹まずに突起を生ずる部分が生
じたりした。

【００４０】そして、一般に導電性材料層１５は、銀、
銅の数十μｍの径の微粉末を熱硬化性エポキシ樹脂に分
散して用いることが多く、前記微粉末がプリント配線基
板と接続するためのはんだとの濡れ性および溶解性が高
くまたバインダーであるエポキシ樹脂のガラス転移温度
が低いため、数秒間の２００℃を超える加熱により、前
記微粉末が溶け出してしまい、実装した後に、導電性材
料層のはんだ付けする表面と電極引き出し層１４と接続
する裏面との間の電気抵抗が１ＭΩを超えてしまい、有
機薄膜コンデンサの空間構造から生ずるインダクタンス
と有機薄膜コンデンサの設計された静電容量から生ずる
共振周波数において、本来は合成インピーダンスが０ｍ
Ωであるべきものが、１ＭΩと高くなるという致命的な
問題が生ずるが、本発明者らは、前記導電性材料層に銅
とニッケルと銀の比率が（１００）対（３０〜５５）対
（１．５〜４）の比率にある、少なくとも粒径が１〜５
０μｍの範囲内の分布を有する合金あるいは相互にめっ
きされてなる混合粒子と熱硬化性フェノール樹脂を用
い、前記有機薄膜１の第一の辺１１と同じ面である前記
電極引出し層１４の側面を除いた目視可能な表面と、前
記有機薄膜１の第二の辺から内側へ０から０．６ｍｍの
領域とにわたって配置され、前記電極引出し層１４と電
気的に接続されている厚みが０．３ｍｍ以下とすること
で、前記導電性材料層１５の内側と外側は５ｍΩ以下で
導通させることを見出し、さらに溶融はんだ中で２００
℃〜２６０℃で５秒間加熱しても、ニッケルを合金化す
ることで、銅とニッケル合金あるいは銅粒子にニッケル
めっきされた微粒子と溶融はんだとの合金化速度が低下
することが分かり、フェノール樹脂のガラス転移温度の
高いことの相乗効果により、微粒子が溶けすぎて溶け出
したり、バインダーの軟化による微粒子の脱落を招かな
いようにすることができ、接続抵抗値も５ｍΩ以下とす
ることができるようになったものである。

【００４１】さらに、従来、電極接続層１６は、従来重
量比で６対４の鉛錫はんだが使用されてきたが、近年、
実装性の向上や環境の面で鉛の使用が嫌われる傾向にあ
り、重量比で錫を８５〜９７％含む鉛の少ない材料とす
ることで、材料コストは高くなるが、さらにプリント配
線基板とのはんだ付け性が向上し、前記共振周波数での
インピーダンスを低く抑えることができるようになった
ものである。また、錫以外の材料として、鉛、銀、ニッ
ケル、亜鉛、アンチモン、インジュウム、銅、鉄を単独
あるいは組み合わせて使用することができる。

【００４２】

【実施例】以下に、本発明の具体例を説明する。

【００４３】（実施例１）モノマは、原料にシクロペン
タジェンを用い、これをまず二量体化し、ジシクロペン
タジェンを合成し、次にこれを分離・抽出し、次に２個
の二重結合部に一酸化炭素と水素を付加しホルミル化
し、さらに水素添加してジヒドロキシ化合物化し、次
に、アクリル酸を加えエステル化した後に未反応成分は
水洗除去し、その後水分を１００ｐｐｍ以下に乾燥し、
次式で示される異性体（化１１）、（化１２）、（化１
３）、（化１４）、（化１５）、（化１６）、（化１
７）、（化１８）、（化１９）と（化２０）がそれぞれ
５０：５０：１０：１０：５０：１０：０．１：０．
１：０．１：０．１の比率である水添ジシクロペンタジ
ェニルジメタノールジアクリレートを１６０℃で加熱
し、１０Ｐａの真空下で蒸発させ、その際、アルミニウ
ムを蒸着させるための加速電圧１５ｋＶでエミッション
電流が１．５Ａの電子線流の一部の電子線が散乱され、
その一部の電子線が常に、有機薄膜を付着させる面に照
射され、また残りの電子線の一部が前記アクリレートの
蒸気中に散乱進入し、アクリレートモノマの一部をラジ
カルイオン化し瞬時に蒸着・硬化した厚み０．３μｍの
有機薄膜を形成し、さらに残りの散乱電子線が有機薄膜
をより高密度に重合させる。次に、沸点が１５０℃〜２
９０℃の範囲のテトラフルオロエチレングリコールとヘ
キサフルオロプロピレングリコールを重合して得たパー
フルオロアルキルエーテルを厚み約７０ｎｍで幅０．２
ｍｍの帯状に蒸着しオイルマージン部を形成し、続いて
直ちにアルミニウムを厚み３０ｎｍで真空蒸着し金属蒸
着膜を形成した後、続いて赤外線ヒーターで加熱し、表
面温度を高くして再蒸発と加熱分解を生じさせて残留オ
イル膜の厚みを０〜２０ｎｍまで低減させ、前記放射線
硬化有機薄膜の二重結合の９５％を二重結合同士で反応
させ、残り０．１％の二重結合は酸素プラズマとラジカ
ル反応させた。次に積層が保護層の間は、次のオイルマ
ージン部の位置は同じ位置となるように制御され、所定
の積層数だけ繰り返した後、オイルマージン位置を対向
幅の分だけ約０．８ｍｍずらし、以降、一層毎にずらし
続けて素子層を形成し、次に先の保護層を形成した時の
オイルマージン位置とは対向幅の分だけずらした位置で
残りの保護層を形成し、最後の層は有機薄膜を形成して
止める。このようにして、オイルマージンの位置が積層
方向に揃い、一方の保護層の面には積層体の厚みに対
し、１０％の凹みを形成した。またこのとき、二つの保
護層の厚みはそれぞれ、０．１ｍｍとし、オイルマージ
ン部から０．２ｍｍ外側まではすべての層に金属蒸着膜
が形成されかつ、すべての層の有機薄膜層の断面は５０
μｍ以内の凸凹の中にそろっており、その後、その断面
から、金属蒸着膜が１μｍ以上突き出しかつその裏面に
酸素とラジカル反応した末端基が反応して取り込まれて
接着し、突き出した先端部では厚みが薄くなり先端部で
の厚みが０μｍである有機薄膜とからなる構造となるよ
うに、スパッタエッチングあるいは酸素プラズマエッチ
ングを施した。次に、真鍮をアーク溶射法により、真鍮
の微粒子を高速で吹き付け、前記積層体の断面から突き
出た金属蒸着膜を上下左右に変形させ、前記微粒子を強
く食い込ませ厚みが０．１ｍｍとなるように形成した。
そして、前記有機薄膜の第一の辺と同じ面である前記電
極引出し層の側面を除いた目視可能な表面と、前記有機
薄膜の第二の辺から内側の約０．２ｍｍの位置の領域ま
でわたり、銅とニッケルと銀の比率が１００対４０対３
の比率にある、少なくとも粒径が１〜５０μｍの範囲内
で平均粒径が２０μｍの分布を有する銅とニッケルの合
金で上に銀がめっきされた粒子と熱硬化性フェノール樹
脂からなり、前記導電性材料層の内側と外側は５ｍΩ以
下で導通させた厚み０．２ｍｍの導電性材料層を形成
し、さらにその上に、錫が９５％で残りが鉛の溶融はん
だめっきを厚み０．０２ｍｍで、前記導電性材料層の一
対の断面以外の目視可能な表面に形成した。

【００４４】

【化１１】

【００４５】

【化１２】

【００４６】

【化１３】

【００４７】

【化１４】

【００４８】

【化１５】

【００４９】

【化１６】

【００５０】

【化１７】

【００５１】

【化１８】

【００５２】

【化１９】

【００５３】

【化２０】

【００５４】この縦２．５ｍｍ、横３．２ｍｍ、高さ
２．１ｍｍで、静電容量が１．０μＦの有機薄膜コンデ
ンサ１００個を作った結果、コンデンサとしての電極が
対向する部分に相当する積層方向での厚みのむらが±５
％以内の極めて均一な有機薄膜が得られ、従来と静電容
量と損失角の温度に対する特性はほとんど変わらない
が、耐電圧が従来の２倍以上の１２３Ｖを示し、また費
用が従来の３分の１で済むようになった。さらに、前記
放射線硬化有機膜を形成した後に酸素イオンと接触さ
せ、表面に残存する前記モノマの二重結合の０．１％を
化学反応させた場合、温度６０℃、相対湿度９５％、印
加電圧直流１６Ｖで１０００時間経過した後も、一般的
には金属蒸着膜が湿気と反応し導電性を消失するために
静電容量変化率が−２０〜−１００％低下するのに対し
て、静電容量変化率が＋８％で変わらない良好な結果を
得、さらに前記モノマの二重結合の０．５％を酸素イオ
ンと接触させた時は３０００時間でも全く静電容量の低
下は見られなかった。また、２３０℃のリフロー法での
実装の結果、１００個とも接続した時の共振周波数での
導電性材料層の内側と外側の抵抗は５ｍΩ以下となり、
コンデンサの共振周波数でのインピーダンスは２５ｍΩ
以下であり、実装不良率が０％で非常に低インピーダン
スで良好な特性を得た。

【００５５】（実施例２）実施例１において、有機薄膜
の厚みを０．１μｍとし、以下同様にして縦２．５ｍ
ｍ、横３．２ｍｍ、高さ２．１ｍｍで、静電容量が１０
μＦで定格電圧が４Ｖの有機薄膜コンデンサを１００個
得た。この場合も同様に、リフロー実装での不良率が０
％であり、共振周波数でのインピーダンスが１０ｍΩの
良好な特性を得た。

【００５６】（実施例３）実施例１において、有機薄膜
の厚みが０．４μｍとし、以下同様にして縦２．５ｍ
ｍ、横３．２ｍｍ、高さ２．１ｍｍで、静電容量が０．
５６μＦで定格電圧が２５Ｖの有機薄膜コンデンサを１
００個得た。この場合も同様に、リフロー実装での不良
率が０％であり、共振周波数でのインピーダンスが３５
ｍΩの良好な特性を得た。

【００５７】（従来例）また、従来例として、前記実施
例において、有機薄膜の形成方法がトリシクロデカンジ
メタノールジアクリレートと揮発性の紫外線増感剤ベン
ゾインイソプロピルエーテルを重量比で１％を加えて超
音波霧化コーティングし、１００Ｗ／ｃｍの紫外線ラン
プで硬化し、金属蒸着膜の形成の際にパラフィンオイル
でオイルマージン形成を行った以外は同様にして、有機
薄膜の厚みが０．３μｍとし、以下同様にして縦２．５
ｍｍ、横３．２ｍｍ、高さ２．１ｍｍで、静電容量が
１．０μＦで定格電圧が実力４Ｖの有機薄膜コンデンサ
を１００個得た。この場合は、リフロー実装での不良率
が１７％であり、共振周波数でのインピーダンスが２５
０ｍΩの特性を得た。

【００５８】上記実施例による、本発明と従来例を比較
し、本発明は小形化・大容量で低インピーダンス特性で
さらに実装性に優れた特徴を有していることが分かる。

【００５９】以上、本発明の１実施例を示したが、その
他に、縦０．８〜２０ｍｍ、横１．６〜２０ｍｍ、高さ
０．６〜２０ｍｍのあらゆる寸法、そして二重結合を２
個有するアクリレート、ジビニルエーテル、アルカジェ
ン、また本発明のシクロペンタジェンから合成して得た
１０種類の異性体の比率をそれぞれ０．００１〜１００
％の範囲内において、温度・圧力・時間・触媒を変えて
得られた合計が１００％となる任意に混合した組成物
等、あるいはテトラフルオロエチレングリコールやヘキ
サフルオロプロピレングリコールの単独で沸点が１５０
〜２９０℃の重合物をオイルマージン部に用いた場合に
も同様に、有機薄膜は高耐電圧であり実施例と同じ厚み
で同じ定格電圧が得られ、凹んだ表面を有する有機薄膜
コンデンサを得ることができ、プリント配線基板への実
装不良率が１００個中０％の良好な実装性を得ることが
できた。また、前記の各種寸法と各種のモノマやオイル
マージンオイル材料において、前記モノマの二重結合の
９０〜９９．５％の二重結合同士をラジカル反応させ、
さらに有機薄膜の表面近傍において、全体厚みで換算さ
れた０．１％以上の二重結合を酸素とラジカル反応させ
た場合にも同様の効果を得ることができ、従来例と比較
して優れた有機薄膜コンデンサを提供できるようになっ
た。さらに、前記オイルマージン部の静電容量を形成し
ない外側の領域にも金属蒸着膜のあることが必須であ
り、残留オイル量によるが、残留オイル量がほぼ０ｎｍ
であればオイルマージンの位置は、積層体の蒸着膜の突
き出した断面から０．００１μｍ〜０．５ｍｍに相当す
るところに配置されること、残留オイル量が金属蒸着薄
膜よりも少し薄ければ、同様に０．０１μｍ〜０．５ｍ
ｍに相当するところに配置することで、蒸着厚みが１５
〜４０ｎｍで積層数が１００以上で縦および横が１０ｍ
ｍ以下の素子で同様に１０〜６０ｍΩと低インピーダン
スが実現できるようになった。

【００６０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、０．４μ
ｍ以下の耐電圧の高い超薄膜誘電体が形成できるように
なり、小型・大容量で実装性に優れ、そして低インピー
ダンスの有機薄膜コンデンサが提供できるようになった
ことは価値がある。また、従来のタンタル電解コンデン
サあるいは積層セラミックコンデンサとほぼ同等の形状
であることは互換性の観点からも産業上価値がある。さ
らに、本発明品は、タンタル電解コンデンサのように極
性がなく、リップル電流にも強く、また共振周波数にお
いて、インピーダンスが低く、そして、積層セラミック
コンデンサのように電圧による静電容量変化がなくショ
ックノイズの発生がないため、回路設計上からも大きな
産業上の価値がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の有機薄膜コンデンサの斜視図

【図２】本発明の別の有機薄膜コンデンサの斜視図

【図３】本発明のさらに別の有機薄膜コンデンサの斜視
図

【図４】本発明の電極突き出し部の状態を示した有機薄
膜コンデンサの電極引出し層の部分を欠いた部分断面斜
視図

【図５】有機薄膜コンデンサをはんだ付けしたときの正
面図

【図６】従来の有機薄膜コンデンサの正面図

【図７】従来の保護層を設けた有機薄膜コンデンサの正
面図

【図８】従来の有機薄膜コンデンサの厚みを薄くしたと
きの正面図

【符号の説明】

１有機薄膜２オイルマージン部３残留オイル膜４金属蒸着膜５金属蒸着膜６オイルマージン部７有機薄膜８金属蒸着膜９金属蒸着膜１０オイルマージン部１１第一の辺１２保護層１３素子層１４電極引き出し層１５導電性材料層１６電極接続層１７凹み部１８突き出し部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者松田英樹大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】２個の二重結合を有したモノマ分子が、
蒸着される直前に放射線が照射され、形成されるべき表
面に放射線を照射されながら重合・堆積した長方形様の
有機薄膜であり、含有二重結合の９０％以上が相互に重
合しかつ０．１％以上が酸素と付加して前記有機薄膜の
上面に偏在している厚みが０．０５〜２０μｍの範囲の
有機薄膜と、その前記上面の対向する第一の辺間にわた
って形成された細帯状の０．１５ｍｍ以上の幅のパーフ
ルオロアルキルエーテルからなるオイルマージン部と、
その残りの全面に形成された前記オイルマージン部の残
留オイル膜よりも厚く１５〜４０ｎｍの範囲のアルミニ
ウムの金属蒸着膜と、前記有機薄膜および前記金属蒸着
膜が繰り返し積層された厚みが０．６ｍｍ以上の積層体
と、前記上面の別の対向する第二の辺が位置する積層さ
れた面において、前記金属蒸着膜の全ての層が突き出
し、同時にその下側に前記酸素が付加した二重結合を介
して接着し、突き出した先端部の接着した有機薄膜の厚
みが０μｍとなるように連続的に減少した有機薄膜とか
らなる１μｍ以上の長さの突き出し部と、前記突き出し
部の大半が上下左右の方向にばらばらに変形した面と、
前記変形した面の中の変形した金属粒子が多数固着して
前記第二の辺である前記突き出し部と電気的に接続した
厚みが０．２ｍｍ以下の電極引出し層と、前記積層体の
前記第一の辺を包含する積層面と同じ面である前記電極
引出し層の側面を除いた目視可能な表面部分および前記
積層体の上下の最表面の前記第二の辺から内側へ向かっ
て０から０．６ｍｍの領域とにわたって配置され前記電
極引出し層と電気的に接続した厚みが０．３ｍｍ以下の
導電性材料層と、さらに前記導電性材料層の前記電極引
出し層の側面と同一平面上にある側面以外の目視可能な
最外面に電気的に接続された厚みが０．１ｍｍ以下の電
極接続層とからなることを特徴とする有機薄膜コンデン
サ。
【請求項２】前記積層体は、最下層と最上層に有機薄
膜層を有し、かつ各々から内部に向かい少なくとも０．
１ｍｍ以上にわたり前記オイルマージン部が積層方向に
全て一定の位置に直線状に配置された静電容量を与えな
い二つの保護層を有することを特徴とする請求項１に記
載の有機薄膜コンデンサ。
【請求項３】前記オイルマージン部は、前記第二の辺
の一方の位置から前記オイルマージン部の最も近い部分
が凡そ０〜０．５ｍｍの範囲に相当する位置に配置され
ており、かつ最下層を含む前記保護層と最上層を含む前
記保護層の各々において、前記第二の辺の一方に偏って
揃って配置されていることと、前記積層体の前記保護層
以外の残りの層である静電容量が１００ｐＦ以上となる
素子層において、前記有機薄膜層の一層毎に、前記第二
の辺から交互に配置されていることと、前記最上層にお
いて、前記積層体の厚みに換算して０〜３０％の範囲の
凹み部を形成することを特徴とする請求項２に記載の有
機薄膜コンデンサ。
【請求項４】前記導電性材料層は、銅とニッケルと銀
の比率が（１００）対（３０〜５５）対（１．５〜４）
の範囲にある粒径が１〜５０μｍの範囲内に分布する合
金かまたは二つの合金に残りをめっきした粒子と熱硬化
性のフェノール樹脂からなり、前記導電性材料層の内側
と外側は５ｍΩ以下を示すことを特徴とする請求項１、
請求項２および請求項３に記載の有機薄膜コンデンサ。
【請求項５】前記電極接続層は、重量比で錫を８５〜
９７％の範囲で含む材料で構成されたことを特徴とする
請求項１、請求項２、請求項３および請求項４に記載の
有機薄膜コンデンサ。
【請求項６】前記モノマ分子は、シクロペンタジェン
を２量体化し、次に２個の二重結合部に一酸化炭素と水
素を付加しホルミル化し、さらに水素添加してジヒドロ
キシ化合物とし、次に、アクリル酸を加えエステル化し
て得られる多数の異性体からなり、前記エステル化反応
時の未反応成分が水洗除去され、その後水分を１００ｐ
ｐｍ以下に除去され、真空度が１００Ｐａ以下で、沸点
以下の温度で徐々に蒸発させたものであることを特徴と
する請求項１、請求項２、請求項３、請求項４および請
求項５に記載の有機薄膜コンデンサ。
【請求項７】前記放射線が、前記金属蒸着膜形成用の
電子線に由来する電子であることを特徴とする請求項
１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５および請
求項６に記載の有機薄膜コンデンサ。