JPH11188532A

JPH11188532A - ワーク供給装置及び供給方法及びワーク収納装置及び収納方法

Info

Publication number: JPH11188532A
Application number: JP35565497A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Mizuno; 義弘水野
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-12-24
Filing date: 1997-12-24
Publication date: 1999-07-13

Abstract

(57)【要約】【課題】ワークに関する情報に応じて複数のカセット
に適切にワークを収納するワーク収納装置及び収納方法
の提供、及びワークに関する情報に応じて複数のカセッ
トから適当なワークを供給するワーク供給装置及び供給
方法の提供。【解決手段】２つの収納部を備えるワーク収納装置
は、前工程の制御ユニットからワークが移管されるのに
際して、前工程の制御ユニットのリンクビット情報のう
ち、「種類情報」（Ｂ０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）の各ビッ
トを参照し、そのビットの状態に応じて、当該２つの収
納部にセットされた収納カセットの所定の領域に当該ワ
ークを収納する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、複数の処
理工程からなる製造ラインにおいてワークを供給する供
給装置及び供給方法及びワークを収納する収納装置及び
収納方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】工業製品の組み立て工場に代表されるよ
うに、製品を量産する製造ラインには、一般的に、その
製造ラインにワークを供給する供給装置と、完成したワ
ークや所定の加工処理が施されたワークを収納する収納
装置とが設けられている。

【０００３】このような従来の供給装置は、所定のタイ
ミングで、加工対象のワークを予め複数収めてあるカセ
ット（コンテナ）から、１つずつ順番にワークをピッキ
ングし、そのワークを製造ラインに供給する機能を備え
ている。

【０００４】また、従来の収納装置は、前工程から順次
流れて来るワークを、その順番にカセット等に収納して
いく機能は備えている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
供給装置においては、１台の供給装置が、ワーク供給ユ
ニットを１つしか備えていないため、製造ラインへのワ
ークの供給順序を変更することができない。このため、
当該製造ラインで量産を行っているときに試験的なワー
クを加工する場合には、量産用のワークと試験加工用の
ワークとを混在させるか、或いは、当該製造ラインに供
給する試験加工用のワークだけを収めているカセット等
を用意し、そのカセットを所定のタイミングで交換する
必要が有る等、自動的な管理が困難である。

【０００６】また、加工対象のワークを予め複数収めて
あるカセットが、所謂、自動搬送車等によって所定のタ
イミングで供給装置に届けられないときには、ワーク供
給ユニットが１つしかないため、製造ライン全体の操業
を停止させるおそれがある。

【０００７】一方、上記の収納装置においては、１台の
供給装置が、前工程から順次流れて来るワークをカセッ
ト等に収納する収納ユニットを１つしか備えていないた
め、空きカセットに交換する作業に手間取ると、前工程
の作業どころか製造ライン全体の操業を停止させるおそ
れがある。

【０００８】また、上記の収納装置においては、前工程
の装置の動作との同期を取る制御信号が主たる通信デー
タである。このため、例えば、不良品のワークや、製造
ラインにおいて生産を開始してからしばらくの間に、当
該製造ラインに流れる加工精度や加工状態が所定の範囲
外のワークと、当該製造ラインの生産状態が安定してか
ら流れる該所定の範囲内にあるワークとが収納装置のカ
セットに混在して収納され、あとで作業員が分別せざる
を得ないという場合も生じ、効率的でない。

【０００９】そこで、本発明は、ワークに関する情報に
応じて複数のカセットから適当なワークを供給するワー
ク供給装置及び供給方法の提供を目的とする。

【００１０】また、本発明は、ワークに関する情報に応
じて複数のカセットに適切にワークを収納するワーク収
納装置及び収納方法の提供を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明のワーク収納装置は、以下の構成を備える
ことを特徴とする。

【００１２】即ち、製造ラインにおいて前工程から供給
されるワークをカセットに収納するワーク収納装置であ
って、ワークを複数のカセットに収納する収納手段と、
前工程を制御する制御ユニットとの通信を行う通信手段
と、前記通信手段によって前記制御ユニットから受信し
たところの収納すべきワークに関する情報に応じて、そ
のワークを、前記収納手段によって前記複数のカセット
の何れかに収納する制御手段と、を備えることを特徴と
する。

【００１３】また、例えば、前記収納すべきワークに関
する情報は、所定の時間周期で前記通信手段に書き込ま
れており、前記制御手段は、前記通信手段に書き込まれ
た情報に対応するワークが前記ワーク収納装置に移管さ
れるときに、該情報を判断するとよい。

【００１４】または、上述した目的を達成するため、本
発明のワーク供給装置は、以下の構成を備えることを特
徴とする。

【００１５】即ち、製造ラインにおける次工程にワーク
を供給するワーク供給装置であって、複数のカセットに
収納されているワークを次工程に供給する供給手段と、
前記次工程を制御する制御ユニットとの通信を行う通信
手段と、前記通信手段によって前記制御ユニットから受
信したところの供給すべきワークに関する情報に応じ
て、前記複数のカセットからワークを選択し、その選択
したワークを、前記供給手段によって前記次工程に供給
する制御手段と、を備えることを特徴とする。

【００１６】または、上述した目的を達成するため、本
発明のワーク収納方法は、以下の構成を備えることを特
徴とする。

【００１７】即ち、製造ラインにおいて前工程から供給
されるワークをカセットに収納するワーク収納方法であ
って、前工程を制御する制御ユニットとの通信を行う通
信工程と、前記通信工程で前記制御ユニットから受信し
たところの収納すべきワークに関する情報に応じて、そ
のワークを、複数のカセットの何れかに収納する収納工
程と、を有することを特徴とする。

【００１８】または、上述した目的を達成するため、本
発明のワーク供給方法は、以下の構成を備えることを特
徴とする。

【００１９】即ち、製造ラインにおける次工程にワーク
を供給するワーク供給方法であって、前記次工程を制御
する制御ユニットとの通信を行う通信工程と、前記通信
工程で前記制御ユニットから受信したところの供給すべ
きワークに関する情報に応じて、前記複数のカセットか
らワークを選択し、その選択したワークを、前記次工程
に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る製造ラインの
ワーク供給装置及びワーク収納装置の実施形態を、図面
を参照して詳細に説明する。

【００２１】［第１の実施形態］はじめに、本発明に係
るワーク収納装置を、第１の実施形態として説明する。
以下の説明では、まず、当該製造ラインを構成する複数
の制御ユニットの構成及び動作を説明し、次に、その説
明に基づいてワーク収納装置の構成及び動作を説明を説
明する。

【００２２】図１は、本発明の第１の実施形態としての
製造ラインシステムの全体構成を示すブロック構成図で
ある。

【００２３】同図に示す製造ラインシステムにおいて、
制御ユニット４は、当該製造ラインを構成する作業ステ
ーション２０を制御する、所謂プログラマブルコントロ
ーラ(ＰＬＣ)等の制御装置である。本実施形態におい
て、当該製造ラインシステムは、制御ユニット４−１か
ら制御ユニット４−Ｎを備えている（Ｎは自然数）。こ
こで、作業ステーションとは、当該製造ラインにて行わ
れる複数の製造工程の中の１工程、或いは所定の複数工
程が行われる作業エリアまたは自動機の単位をいう。図
１では、個々の作業ステーションを破線で表わしてお
り、当該製造ラインにおいて加工されるワーク（基板）
は、制御ユニット４−１から制御ユニット４−Ｎの順番
で順次管理されながら所定の加工処理を施される。

【００２４】ラインコントローラ１は、当該製造ライン
システムの全体動作を管理すると共に、後述するよう
に、制御ユニット４−１から制御ユニット４−Ｎに関す
るデータの共有処理を行う。ラインコントローラ１に
は、例えば、ホストコンピュータ、或いは制御ユニット
４と同様にＰＬＣを使用してもよい。２は、ラインコン
トローラ１に接続された、例えば、ハードディスク等の
記憶装置である。

【００２５】各作業ステーション２０−１から２０−Ｎ
を制御する制御ユニット４−１から制御ユニット４−Ｎ
には、前工程から送られてくるワークに所定の加工処理
を施す加工装置５（５−１から５−Ｎ）や、所定の加工
処理を施したワークを次工程の作業ステーションに搬送
する搬装装置６（６−１から６−Ｎ）等が接続されてい
る。尚、加工装置５は、搬装装置６からワークを受け取
って一時的に保持すると共に、加工済のワークを搬装装
置６に排出する（払い出す）前に一時的に保持するため
の収納部を備えている。また、先頭工程の制御ユニット
４−１には、当該製造ラインにワークを供給する供給ユ
ニット９が接続されている。

【００２６】一方、最終工程の制御ユニット４−Ｎに
は、当該製造ラインにて完成したワークをカセット（コ
ンテナ）等に収納する収納装置１０が接続されている。
また、収納装置１０は、前工程の作業ステーション２０
−（Ｎ−１）から受け取ったワークを収納する、本収納
部１０−１及び仮収納部１０−２を備えている（詳細は
後述する）。

【００２７】尚、収納装置１０を制御する制御ユニット
４は、当該装置と別体であっても、一体であってもよい
ことは言うまでもない。

【００２８】この通信ネットワーク３は、従来よりよく
用いられるリング型の共有メモリ方式のもので、このネ
ットワーク３に接続されている各ステーション制御ユニ
ット４から、各自の制御ユニットの共有メモリの特定エ
リアへの書込みが可能で、また他の制御ユニットの共有
メモリの全エリアを読み取ることができ、また、親局で
あるラインコントローラ１でも各制御ユニットの共有メ
モリの特定エリアへの書き込み及び読込みが可能なネッ
トワークである。また、このネットワーク３は、共有メ
モリ方式のものであればバス型接続のものでも良い。

【００２９】ここで、共有メモリのデータのリフレッシ
ュについて、図２６を用いて説明する。

【００３０】図２６は、共有メモリ方式のデータのリフ
レッシュ方法を説明する図である。

【００３１】各共有メモリ２０４は、データメモリ格納
エリア２０４ａとリンクエリア格納エリア２０４ｂを備
えており、これらは、それぞれ後述する図２７及び図２
８に示したデータ構造と同一のデータ構造を有してい
る。ここで、データメモリ格納エリア２０４ａは、各ス
テーションにおいて、動作制御に用いるためのデータの
格納エリアであり、リンクエリア格納エリア２０４ｂ
は、各動作制御に影響することなく各制御ユニットのデ
ータメモリ格納エリア２０４ａの内容を同じにするため
のものである。

【００３２】子局、すなわち制御ユニット４−１〜４−
ｎでは、それぞれのステーションにおいて状態の変化が
あったときに、データメモリ格納エリア２０４ａにおい
て対応する自制御ユニットの該当するアドレスの部分を
書き換える。制御ユニット４−１について考えると、作
業ステーション２０−１において変化した状態に関する
データを、制御ユニット４−１に関連するＢ０００Ｈ〜
Ｂ０４ＦＨの該当するアドレスの部分を書き換える。

【００３３】また、データメモリ格納エリア２０４ａの
リフレッシュは、以下のようにして行う。まず、リンク
エリア格納エリア２０４ｂに格納されたデータをデータ
メモリ格納エリア２０４ａに伝達し、自制御ユニット４
に関するデータを除き、データメモリ格納エリア２０４
ａ側のデータを上書きする。すなわち、制御ユニット４
−１においては、データメモリ格納エリア２０４ａのデ
ータを、制御ユニット４−１に関連するアドレスＢ００
０Ｈ〜Ｂ０４ＦＨの部分を除いて、リンクエリア格納エ
リア２０４ｂに格納されたデータで上書きする。一方、
制御ユニット４−１に関連するアドレスＢ０００Ｈ〜Ｂ
０４ＦＨの部分に関しては、リンクエリア格納エリア２
０４ｂ側に格納されたデータをデータメモリ格納エリア
２０４ａのデータで上書きする。全てのアドレスに対し
て処理が終わると、データメモリ格納エリア２０４ａの
データはリフレッシュされる。その後、このリフレッシ
ュされたデータは、リンクエリア格納エリア２０４ｂに
返され、データメモリ格納エリア２０４ａとリンクエリ
ア格納エリア２０４ｂとのデータは一致することにな
る。

【００３４】なお、以上の説明は、子局の制御ユニット
４に対する説明として行ったが、親局であるラインコン
トローラ１内部のデータリフレッシュに関しても同様に
行われる。

【００３５】上述説明は、一つの共有メモリ２０４の中
のデータのリフレッシュに関するものであるが、次に、
制御ユニット間のデータリフレッシュについて説明す
る。

【００３６】まず、ラインコントローラ１は、各制御ユ
ニット４に対して、それぞれの制御ユニット４に関する
データを読み出しに行く。具体的には、各リンクエリア
格納エリア２０４ｂに対してデータを読み出しに行く。
そして、読み出されたデータによって、ラインコントロ
ーラ１のリンクエリア格納エリア２０４ｂのデータが書
き換えられる。

【００３７】次に、書き換えられたラインコントローラ
１のリンクエリア格納エリア２０４ｂのデータが子局で
ある各制御ユニット４−１〜４−ｎに対して送信され、
各制御ユニット４−１〜４−ｎのそれぞれのリンクエリ
ア格納エリア２０４ｂのデータが書き換えられ、結果と
して、常に、ラインコントローラ１と制御ユニット４−
１〜４−ｎの共有メモリ２０４のデータは同一の内容に
保たれる。したがって、各制御ユニット４は、自身の共
有メモリ２０４によって、他のステーションの状態を知
ることができるので、それぞれの操作制御時に制御ユニ
ット４間でデータの授受をする必要がなくなる。

【００３８】なお、上記例では、ラインに接続される全
ての制御ユニットに設けられたメモリの内容を、全ての
制御ユニットが共有するようにしたが、ラインにおいて
前後に配置された処理装置のみのデータによってワーク
の処理が可能ならば、その関係にある制御ユニットに関
しては、前後の制御ユニットが有するデータを共有すれ
ば良いことになる。

【００３９】＜制御ユニット＞次に、制御ユニット４の
構成及び動作について説明する。

【００４０】図２は、本発明の第１の実施形態としての
ネットワークで使用される制御ユニットの構成を示すブ
ロック図であり、図１に示した制御ユニット４−１〜制
御ユニット４−Ｎはそれぞれ同じ構成を備えている。

【００４１】図中、２０１は、プログラムメモリ２０２
に予め格納している制御プログラムに従って、制御ユニ
ット４の全体を制御するマイクロプロセッサ等のＣＰＵ
である。２０２は、ＣＰＵ２０１により実行される制御
プログラムを予め格納しているプログラムメモリであ
り、例えば、ＲＯＭが使用される。２０３は、ＲＡＭで
あり、ＣＰＵ２０１による各種制御の実行時に、各種デ
ータを一時記憶するワークエリアとして使用される。ま
た、ＲＡＭ２０３内の記憶エリアには、制御ユニット４
−１〜制御ユニット４−Ｎに関するデータがラインコン
トローラ１により書き込まれる共有メモリエリア２０４
を有する。

【００４２】２０５は、外部装置との入出力信号をイン
タフェースする入出力インタフェース（Ｉ／Ｏ−Ｉ／
Ｆ）である。本実施形態において、制御ユニット４のＣ
ＰＵ２０１は、入出力インタフェース２０５を介して加
工装置５及び搬装装置６等の動作を制御する。

【００４３】２０７は、操作盤であり、作業者が操作可
能な各種キースイッチや、パイロットランプ、表示器等
が配置されている。

【００４４】２０８は、センサ群であり、加工装置５及
び搬装装置６等が処理しているワークの位置や状態を検
出し、その検出結果に応じた信号を入出力インタフェー
ス２０５に入力する。センサ群２０８には、後述する基
板の位置決め・排出センサ９０２と、到着センサ９０３
とを含んでいる。

【００４５】ＲＡＭ２０３内の共有メモリエリア２０４
には、ワード（１６ビット）単位でデータを記憶するエ
リアと、ビット（１ビット）単位でデータを記憶するエ
リアとが設定されており、これらの記憶エリア（詳細は
後述する）は、他の制御ユニット４との間で後述する情
報を共有するために使用される。また、制御ユニット４
は、後述するトラッキングデータを保持するレジスタ
（不図示）を有している。

【００４６】また、制御ユニット４が有する上記のＣＰ
Ｕ２０１から操作盤２０７までの各ブロックは、内部バ
ス２１０で接続されている。

【００４７】ここで、共有メモリエリア２０４における
ビットマップ及びワードマップの全体について図２７及
び図２８を参照して説明する。

【００４８】図２７は、本発明の第１の実施形態として
の共有メモリエリア２０４におけるビットマップを示す
図である。また、図２８は、本発明の第１の実施形態と
しての共有メモリエリア２０４におけるワードマップを
示す図である。

【００４９】通信ネットワーク３に接続された各ステー
ション制御ユニット４は、共有メモリエリア（以下、共
有メモリと称す）２０４を、他のステーション制御ユニ
ットとの間で情報を伝達するための、ワード（１６ビッ
ト）単位でデータを記憶するエリアと、ビット（１ビッ
ト）単位でデータを記憶するエリアとを備えている。更
に各制御ユニットは、トラッキングデータを記憶して保
持するための内部レジスタを有している。

【００５０】次に、共有メモリ２０４のデータ構成につ
いて詳述する。図２７及び図２８は、共有メモリ２０４
のデータ構成を示しており、図２７はビット単位でデー
タを記憶するエリア（以下、「ビットマップ」と称す）
を示し、図２８はワード単位でデータを記憶するエリア
（以下、「ワードマップ」と称す）を示している。

【００５１】ビットマップ、ワードマップは、ともに子
局としての制御ユニット４−１〜４−ｎの各情報と、親
局としてのラインコントローラ１から各制御ユニット４
−１〜４−ｎヘ伝達する情報を格納する。ラインコント
ローラ１および制御ユニット４−１〜４−ｎは、共通の
データが格納された共有メモリ２０４を有することにな
る。したがって、ラインコントローラ１および制御ユニ
ット４−１〜４−ｎにおける共有メモリ２０４のデータ
フォーマットは同じであり、各ステーション毎にベース
アドレスに対応するアドレス分、各データのアドレスが
同一メモリ空間内でシフトして割り付けられている。

【００５２】次に、制御ユニット４の共有メモリエリア
２０４内部に設定された記憶エリアのデータ構成につい
て、制御ユニット４−１及び制御ユニット４−２を例と
して、図３から図６を参照して説明する。

【００５３】図３（図５）は、本発明の第１の実施形態
としての制御ユニット４−１（４−２）が管理するリン
クビット情報のデータ構成を示す図である。また、図４
（図６）は、本発明の第１の実施形態としての制御ユニ
ット４−１（４−２）が管理するリンクワード情報のデ
ータ構成を示す図である。

【００５４】図面記載の便宜上、図３から図６では簡略
化して表現しているが、各制御ユニット４が有する共有
メモリエリア２０４には、全制御ユニット分のメモリエ
リアが用意されており、個々の制御ユニットのデータフ
ォーマットは同一である。異なるのは、各データのアド
レスが各制御ユニット毎に所定のアドレス分だけＲＡＭ
２０３のメモリ空間内でシフトして割り付けられている
ことである。

【００５５】即ち、制御ユニット４−１では、図３及び
図４に示すようにベースアドレスとして、”Ｗ０００ｈ
（以下、ｈは１６進数を表わす）”と”Ｂ０００ｈ”が
割り付けられている。例えば、制御ユニット４−１の共
有メモリエリア２０４において、図３に示すように、操
作盤情報２０７で作業者が設定した”自動”運転の指示
情報は、共有メモリエリア２０４のアドレス”Ｂ０００
ｈ”番地から３ビット目に設定されており、そのアドレ
スは”Ｂ００３ｈ”である。また、図４に示すように、
リンクワード情報の”排出基板ＩＤ”は、共有メモリエ
リア２０４のアドレス”Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ”に格
納される。一方、制御ユニット４−２の共有メモリエリ
ア２０４においては、図６のリンクワード情報のベース
アドレスが”Ｗ０３０ｈ”であり、図５のリンクビット
情報のベースアドレスは”Ｂ０５０ｈ”で割り付けられ
ている。このように、共有メモリエリア２０４のデータ
構成自体は同一であり、メモリエリアが異なっているこ
とがわかる。

【００５６】＜ラインコントローラ＞ここで、親局であ
るラインコントローラ１について説明する。上述したよ
うに、ラインコントローラ１は、各制御ユニット４間で
データを共有するためのスキャン処理及びデータの書き
込み処理を行っている。

【００５７】また、ラインコントローラ１は、一般的な
ホストコンピュータやＰＬＣが使用可能であり、ライン
コントローラ１の内部構成は、基本的には制御ユニット
４の内部構成と同様であるため、詳細な説明は省略す
る。

【００５８】図７は、本発明の第１の実施形態としての
ラインコントローラが管理するリンクビット情報のデー
タ構成を示す図であり、ベースアドレスは”Ｂ４００
ｈ”に設定されている。また、ラインコントローラ１
は、このリンクビット情報以外に、各制御ユニット４と
同様に、制御ユニット４−１から制御ユニット４−Ｎに
関するデータを記憶する共有メモリエリアを有してい
る。

【００５９】＜ワークの搬送動作＞次に、収納装置１０
の特有の処理を説明するのに先立って、ラインコントロ
ーラ１及び前工程の各制御ユニット４により行われるワ
ークの搬送動作について、作業ステーション２０−１か
ら作業ステーション２０−２にワークである基板９０１
が搬送される場合を例に説明する。

【００６０】図８は、本発明の第１の実施形態としての
制御ユニット４−１及び４−２、そしてラインコントロ
ーラ間における制御フラグの受け渡しを説明するタイミ
ングチャートである。また、図９から図１１は、本発明
の第１の実施形態としての作業ステーション２０−１と
作業ステーション２０−２との間での基板の搬送を説明
する図である。

【００６１】図９は、基板９０１が制御ユニット４−１
が管理している作業ステーション２０−１内に位置する
状態であり、制御ユニット４−２が管理している作業ス
テーション２０−２が、基板９０１の受け入れが可能で
ある状態を示している。このとき、制御ユニット４−２
は、基板９０１の受け入れが可能である旨を示す搬入許
可フラグ（アドレス”Ｂ０７１ｈ”）をオンにする（図
８のタイミングＴ１）。また、この搬入許可フラグの状
態変化は、ラインコントローラ１による上述した所定の
処理により、他の制御ユニット４の共有メモリエリア２
０４に書き込まれる。

【００６２】制御ユニット４−１は、自ユニットの共有
メモリエリア２０４内の当該エリアを参照することによ
り、作業ステーション２０−２が新たな基板９０１を受
け入れることが可能であることを検出すると、制御ユニ
ット４−１から制御ユニット４−２への基板９０１の搬
送動作の開始に先立って、以下の２つの書き込み処理を
行う。

【００６３】まず、加工装置５−１において今回加工し
た基板９０１のサンプリングデータを自ユニットの共有
メモリエリア２０４のアドレス（Ｗ０１２ｈ〜Ｗ０１５
ｈ）に書き込み、加工装置５−１における一連の加工処
理を完了する。次に、制御ユニット４−１は、加工が施
された後の基板９０１の品質に関する情報（以下、「品
質情報」）及び基板番号等のＩＤ情報（以下、「基板Ｉ
Ｄ情報」）を、所定のタイミングで、制御ユニット４−
１の共有メモリエリア２０４の”Ｗ００Ａｈ”番地か
ら”Ｗ０１５ｈ”までの１２ワードのエリア、そして”
Ｗ０００ｈ”番地から４ワードにそれぞれ格納する。ま
た、制御ユニット４−１は、基板９０１の種類（製品、
モニタ、ダミー、ロット間等）を示すビット情報（以
下、「種類情報」）を、アドレス”Ｂ０３０ｈ”から”
Ｂ０３５ｈ”までに格納する。制御ユニット４−１が共
有メモリエリア２０４に書き込んだデータは、ラインコ
ントローラ１による上述した所定の処理により、他の制
御ユニット４の共有メモリエリア２０４に書き込まれる
（図８のタイミングＴ０）。

【００６４】そして、制御ユニット４−１は、搬装装置
６−１の不図示のモータ等を駆動することにより、次の
作業ステーション２０−２への基板９０１の搬送を開始
する。

【００６５】次に、基板９０１が移動することにより、
図１０に示すように、基板の位置決め・排出センサ９０
２により基板９０１が検出されない状態になると、制御
ユニット４−１は、当該基板の排出が完了したと判断
し、基板の排出が完了したことを表わす排出完了フラグ
（アドレス”Ｂ０１１ｈ”のビット）をオンにセットす
る（図８のタイミングＴ２）。この排出完了フラグの状
態の変化も、ラインコントローラ１による上述した所定
の処理により、他の制御ユニット４の共有メモリエリア
２０４に書き込まれる。

【００６６】また、ラインコントローラ１は、制御ユニ
ット４−１の排出完了フラグがオンになったことを自装
置の共有メモリエリアのアドレス”Ｂ０１１ｈ”のビッ
トを参照することにより検出すると、制御ユニット４−
１の共有メモリエリア２０４に格納されている「基板Ｉ
Ｄ情報」（Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ）、「品質情報」
（Ｗ００Ａｈ〜Ｗ０１４ｈ）、そして「種類情報」（Ｂ
０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）を読み出し、その読み出したデ
ータを自装置の共有メモリエリア内の対象となるエリア
に格納し、これらのデータの格納が完了した時点で読み
取り完了を表わす読み取り完了フラグ（アドレス”Ｂ４
１１ｈ”のビット）をオンにする（タイミングＴ３）。

【００６７】一方、制御ユニット４−２は、図１１に示
すように、到着センサ９０３の検出状態の変化によって
基板９０１が自作業ステーション２０−２に到着したこ
とを検知すると、制御ユニット４−２は、自ユニットの
共有メモリエリア内の制御ユニット４−１用のエリアか
ら「基板ＩＤ情報」（Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ）と「種
類情報」（Ｂ０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）とをＣＰＵ２０１
に読み込む（図８のタイミングＴ４）。これにより、制
御ユニット４−２は、これから新たに加工を開始する基
板９０１に関する情報を得られたことになる。

【００６８】次に、制御ユニット４−２は、自ユニット
の共有メモリエリア２０４の到着フラグ（アドレス”Ｂ
０６１ｈ”のビット）をオンにし、ラインコントローラ
１の所定の処理を介して制御ユニット４−１に搬送完了
を知らせる。

【００６９】そして、制御ユニット４−１は、ラインコ
ントローラ１において読み取り完了フラグがオンになっ
たこと、及び、制御ユニット４−２において到着フラグ
がオンになったことを、自ユニットの共有メモリエリア
２０４の当該エリアを参照することによって検出する
と、現在までオンに設定していた排出完了フラグ（アド
レス”Ｂ０１１ｈ”）をオフにリセットする（図８のタ
イミングＴ５）。この排出完了フラグの状態の変化も、
ラインコントローラ１による上述した所定の処理によ
り、他の制御ユニット４の共有メモリエリア２０４に書
き込まれる。

【００７０】制御ユニット４−２は、自ユニットの共有
メモリエリア２０４内の制御ユニット４−１用のエリア
（アドレス”Ｂ０１１ｈ”）を参照することにより、制
御ユニット４−１が排出完了フラグをオフにリセットし
たことを検知すると、現在までオンに設定していた自ユ
ニットの共有メモリエリア２０４の搬入許可フラグ（ア
ドレス”Ｂ０７０ｈ”のビット）をオフにリセットする
（図８のタイミングＴ６）。同様に、ラインコントロー
ラ１は、当該排出完了フラグがオフにリセットされたこ
とを検知すると、現在までオンに設定していた自ユニッ
トの共有メモリエリアの読み取り完了フラグをオフにリ
セットする（図８のタイミングＴ７）。これら搬入許可
フラグ及び読み取り完了フラグの状態の変化も、ライン
コントローラ１による上述した所定の処理により、他の
制御ユニット４の共有メモリエリア２０４に書き込まれ
る。

【００７１】＜ソフトウエアの説明＞本実施形態におい
て、ラインコントローラ１によるデータの共有化は、上
述したように所定時間周期で常に行われている。以下に
説明するソフトウエア処理は、前工程の制御ユニット４
から得られる基板９０１に関する情報を、その基板９０
１が物理的に次工程の作業ステーション２０に移管され
るタイミングに合わせてＣＰＵ内に取り込むことができ
るように行うものである。

【００７２】各作業ステーション２０は、原則として前
工程から受け取ったワークを加工し、その加工したワー
クを次工程に排出するという共通の動作を行う。従っ
て、各制御ユニット４がその内部に有する制御プログラ
ムの構造は、異なるメモリエリアを参照するように設定
する必要はあるが、ソフトウエアの構造自体は略同一の
構成にすればよいことは言うまでもない。ここでは、上
述した作業ステーション２０−１から作業ステーション
２０−２への基板９０１の搬送動作を例に説明するた
め、説明の便宜上、制御ユニット４の動作を、図１２の
制御ユニット４−１の動作と、図１３制御ユニット４−
２の動作とに分けて説明する。

【００７３】尚、ラインコントローラ１による上述した
所定の処理により、各制御ユニット４の共有メモリエリ
アがイコライズされる旨の記載は省略し、図１２と図１
３との間で対応して記載した○印で囲んだ２から５の数
字により表わすものとする。また、その所定の処理を実
現するラインコントローラ１のソフトウエアの動作は、
図１４を参照して説明する。

【００７４】図１２は、本発明の第１の実施形態として
の制御ユニット４−１における処理を示すフローチャー
トである。

【００７５】図中、ステップＳ１において、制御ユニッ
ト４−１は、搬送装置６−１によって加工対象の基板９
０１を自作業ステーション２０−１に受け入れる。自作
業ステーション２０−１への受け入れが完了したか否か
の判断には、センサ９０２の検出状態の変化が利用され
る。

【００７６】次に、ステップＳ２において、制御ユニッ
ト４−１は、加工装置５−１によって該基板９０１に所
定の加工処理を施す。

【００７７】ステップＳ３において、制御ユニット４−
１は、自ユニットの共有メモリエリア２０４を参照する
ことにより、制御ユニット４−２の搬入許可フラグ（ア
ドレス”Ｂ０７０ｈ”）がオンにセットされているか否
かを判断し、オンにセットされていればステップＳ４に
進む。

【００７８】ステップＳ４において、制御ユニット４−
１は、加工装置５−１による所定の加工処理が完了した
ことを所定の方法によって確認すると、加工が完了した
基板９０１に関するサンプリングデータを、自ユニット
の共有メモリエリア２０４のアドレス”Ｗ０１２ｈ〜Ｗ
０１５ｈ”に書き込む。更に、制御ユニット４−１は、
該加工が完了した基板９０１の「基板ＩＤ情報」をアド
レス”Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ”に書き込み、「品質情
報」をアドレス”Ｗ００Ａｈ〜Ｗ０１１ｈ”に、そして
「種類情報」を”Ｂ０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ”に格納す
る。

【００７９】ステップＳ５において、制御ユニット４−
１は、搬送装置６−１のモータ等を駆動することによ
り、基板９０１の次の作業ステーション２０−２への搬
送を開始する。

【００８０】ステップＳ６において、制御ユニット４−
１は、センサ９０２によって基板９０１が自作業ステー
ション２０−１から排出されたことを検知すると、ステ
ップＳ７に進む。

【００８１】ステップＳ７において、制御ユニット４−
１は、自ユニットの共有メモリエリア２０４の排出完了
フラグ（アドレス”Ｂ０１１ｈ”）をオンにセットす
る。

【００８２】次に、制御ユニット４−１は、自ユニット
の共有メモリエリア２０４を参照することにより、制御
ユニット４−２で到着フラグがオンにセットされ（ステ
ップＳ８）、且つ、ラインコントローラ１にて読み取り
完了フラグがオンにセットされたことを検知すると、ス
テップＳ１０において、ステップＳ７でセットした排出
完了フラグをオフにリセットする。

【００８３】ステップＳ１１において、制御ユニット４
−１は、自ユニットが制御している作業ステーション２
０−１に次に加工すべき基板９０１を受け入れ準備が完
了したかを所定の条件に基づいて確認し、準備完了にな
ったときにはステップＳ１２に進む。

【００８４】ステップＳ１２において、制御ユニット４
−１は、自ユニットの共有メモリエリア２０４内の搬入
許可フラグ（アドレス”Ｂ０２０ｈ”）をオンにセット
する。これにより、制御ユニット４−１は、新たな基板
９０１を受け入れ可能であることを、前工程の作業ステ
ーションを制御する制御ユニット（不図示）に知らせる
ことができる。

【００８５】そして、制御ユニット４−１は、前工程の
作業ステーション（不図示）から新たな基板９０１を受
け入れると、前述のステップＳ１以降の動作を実行す
る。

【００８６】図１３は、本発明の第１の実施形態として
の制御ユニット４−２における処理を示すフローチャー
トである。

【００８７】図中、ステップＳ２１において、制御ユニ
ット４−２は、自ユニットが制御している作業ステーシ
ョン２０−２に次に加工すべき基板９０１を受け入れ準
備が完了したかを所定の条件に基づいて確認し、準備完
了になったときにはステップＳ２２に進む。

【００８８】ステップＳ２２において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４の搬入許
可フラグ（アドレス”Ｂ０７１ｈ”のビット）をオンに
する。これにより、制御ユニット４−１では、前述の図
１２のステップＳ３からＳ４に処理が移行する。そし
て、制御ユニット４−１は、基板９０１の排出が開始さ
れる。

【００８９】ステップＳ２３において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４を参照す
ることにより、制御ユニット４−１の排出完了フラグ
（アドレス”Ｂ０１１ｈ”のビット）がオンであること
を検出すると、ステップＳ２４に進む。

【００９０】ステップＳ２４において、制御ユニット４
−２は、センサ９０３の状態の変化により、基板９０１
が到着したか否かを判断し、到着したと判断したときは
ステップＳ２５に進む。

【００９１】ステップＳ２５において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４を参照す
ることにより、「基板ＩＤ情報」（Ｗ０００ｈ〜Ｗ００
３ｈ）と「種類情報」（Ｂ０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）とを
ＣＰＵ２０１に取り込む。

【００９２】ステップＳ２６において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４の到着フ
ラグ（アドレス”Ｂ０６１ｈ”のビット）をオンにセッ
トする。これにより、制御ユニット４−１は、基板９０
１が次工程の作業ステーション２０−２に到着したこと
を認識し、前述の図１２のステップＳ８からステップＳ
９に進む。

【００９３】次に、ステップＳ２７において、制御ユニ
ット４−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４を
参照することにより、制御ユニット４−１の排出完了フ
ラグ（アドレス”Ｂ０６１ｈ”のビット）がオフになっ
ているか否かを判断し、オフのときにはステップＳ２８
に進む。

【００９４】ステップＳ２８において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４の到着フ
ラグ（アドレス”Ｂ０６１ｈ”）と、搬入許可フラグ
（アドレス”Ｂ０７１ｈ”）をオフにリセットする。

【００９５】ステップＳ２９において、制御ユニット４
−２は、加工装置５−２により、基板９０１に所定の加
工処理を施す。

【００９６】そして、ステップＳ２９以降の処理は、前
述の図１２のステップＳ３以降の処理と同様のため、説
明を省略する。

【００９７】図１４は、本発明の第１の実施形態として
のラインコントローラにおける処理を示すフローチャー
トである。

【００９８】図中、ラインコントローラ１は、予め設定
した所定の時間周期毎のサンプリングタイミングで、各
制御ユニット４の共有メモリエリア２０４をサンプリン
グする（ステップＳ３１，ステップＳ３２）。

【００９９】ステップＳ３３において、ラインコントロ
ーラ１は、ステップＳ３２でスキャンした各制御ユニッ
ト４のうち、排出完了フラグ（アドレス”ＢＸＸ１ｈ”
のビット：但し、ＸＸは０１，０６，０Ｂ，１０，１
５”等を取り得る）がオンにセットされているか否かを
判断し、オンのときにはステップＳ３４に進む。ここで
は、一例として、制御ユニット４−１の排出完了フラグ
（アドレス”Ｂ０１１ｈ”のビット）がオンにセットさ
れていることを検出したものとする。

【０１００】ステップＳ３４において、ラインコントロ
ーラ１は、排出完了フラグがオンである制御ユニット４
（４−１）の共有メモリエリア２０４から、「基板ＩＤ
情報」（Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ）、「品質情報」（Ｗ
００Ａｈ〜Ｗ０１４ｈ）、そして「種類情報」（Ｂ０３
０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）を読み出し、その読み出したデータ
を、各制御ユニット４が有する共有メモリエリア２０４
と同じメモリエリア空間を有するに格納する。その際、
データを格納するエリアは、ラインコントローラ１がデ
ータを読み出した制御ユニット４に対応する所定のメモ
リエリアである。

【０１０１】ステップＳ３５において、ラインコントロ
ーラ１は、制御ユニット４−１用の読み取り完了フラグ
（アドレス”Ｂ４１１ｈ”のビット）をオンにし、ステ
ップＳ３１に戻る。

【０１０２】また、ステップＳ３３で排出完了フラグが
オフである制御ユニット４を検出すると、ステップＳ３
７において、ラインコントローラ１は、その排出完了フ
ラグがオフである制御ユニット４に対して、読み取り完
了フラグをオンにセットしているか否かを判断し、当該
制御ユニット４に対する読み取り完了フラグがオフのと
きにはステップＳ３１に戻る。一方、当該制御ユニット
４（４−１）に対する読み取り完了フラグがオンにセッ
トされているときには、ステップＳ３８において、その
読み取り完了フラグをオフにリセットしてステップＳ３
１に戻る。これにより、例えば、図１２のフローチャー
トに示すように、ステップＳ９からステップＳ１０に処
理が移行して、その対象となっている制御ユニットの排
出完了フラグがオフにリセットされる。

【０１０３】＜不良品発生時の処理＞次に、当該製造ラ
インにおけるある製造工程（例えば、検査工程等）にお
いて、不良品が発生した場合の処理について説明する。

【０１０４】例えば、制御ユニット４−１が制御してい
る工程で不良品（ＮＧ）が発生した場合は、その履歴を
ＣＰＵ２０１のレジスタ（図２に不図示）に記憶し、基
板排出時に図３に示す基板の良否（ＯＫ／ＮＧ）判定フ
ラグ（アドレス”Ｂ０３４ｈ”または”Ｂ０３５ｈ”の
ビット）をＮＧを表わすオンの状態にセットし、前述の
各フローチャートの手順に従って当該基板の不具合情報
を、次工程の制御ユニット４−２にトラッキングする。
ここで、良否判定フラグが、アドレス”Ｂ０３４ｈ”及
び”Ｂ０３５ｈ”の２箇所に有るのは、本実施形態では
１枚の基板９０１から２枚の製品（半製品）を取り出す
構成を想定しているからである。従って、１枚の基板９
０１からより多くの製品（半製品）を取り出す構成の場
合は、各基板の良否判定情報をアドレス”Ｂ０３６ｈ”
〜”Ｂ０３Ｆｈ”の該当するエリアに割り付けることで
同様にして対応できる。

【０１０５】＜ワーク収納装置＞次に、上述した各制御
ユニット４の構成及び動作に基づいて、本実施形態にお
ける収納装置１０について説明する。

【０１０６】図１６は、本発明の第１の実施形態として
のワーク収納装置の上面図である。また、図１７は、本
発明の第１の実施形態としてのワーク収納装置の正面図
である。

【０１０７】図１６及び図１７に示す収納装置１０は、
本収納用カセット１０３がセットされる本収納部１０−
１、仮収納用カセット１０２がセットされる仮収納部１
０−２、そして、これらのカセットに基板９０１を収納
する収納ロボット１０１を有する。本実施形態におい
て、本収納用カセット１０３には、良品である「製品」
が収納される。また、仮収納用カセット１０２には、不
良品の基板９０１、ダミー用及びモニタ用のワークが収
納される。ここで、ダミー用及びモニタ用のワークと
は、当該製造ラインに試験的に供給されたワーク、或い
は、当該製造ラインにおいて生産を開始してからしばら
くの間に加工された加工精度や加工状態が所定の範囲外
のワーク等である。また、仮収納用カセット１０２は、
基板９０１の一時収納にも使用される。

【０１０８】本収納用カセット１０３及び仮収納用カセ
ット１０２には、基板９０１を１枚ずつ収納することが
可能な複数のスロットが設けられており、収納ロボット
１０１は、制御ユニット４−Ｎからの指示に従って所定
のスロットに基板９０１を収納する。本実施形態におい
て、仮収納用カセット１０２には、３０のスロットが設
けられており、１段目から１０段目を一時収納用に、１
１段目から２０段目（以下、第１の領域）を不良品収納
用に、２１段目から２５段目（以下、第３の領域）をダ
ミー収納用に、そして、２６段目から３０段目（以下、
第２の領域）をモニタ収納用に使用する。このスロット
の使い分けは、予め制御ユニット４−Ｎに設定すること
は言うまでもない。また、制御ユニット４−Ｎは、３０
段のスロットのうち、どのスロットが空きであり、次に
基板等を収納すべきスロットがどのスロットであるかを
常に認識していることは言うまでもない。

【０１０９】収納ロボット１０１の主な動作としては、
搬送ベルト１０４によって前工程の作業ステーション２
０−（Ｎ−１）から排出される基板９０１を、所定位置
（図１６の収納ロボット１０１が示される位置）で下側
から持ち上げ、且つ適当な回転動作及び前進動作を行う
ことにより、基板９０１を本収納用カセット１０３また
は仮収納用カセット１０２の所定のスロットに挿入す
る。そして、収納ロボット１０１は、下方向に所定の距
離だけ下降することにより当該基板を当該カセット内に
残し、最初の所定位置に戻る。

【０１１０】＜ワーク収納装置の動作＞次に、収納装置
１０の動作について図１５を参照して説明する。収納装
置１０の動作は、制御ユニット４−Ｎによって制御され
ており、該ユニットの動作は基本的には前述した制御ユ
ニット４−２と同様である。このため、以下の説明で
は、説明の便宜上、収納装置１０を制御する制御ユニッ
ト４が、制御ユニット４−２であると仮定し、異なる部
分を中心に説明する。

【０１１１】図１５は、本発明の第１の実施形態として
のワーク収納装置を制御する制御ユニットの制御処理を
示すフローチャートであり、制御ユニット４−２（Ｎ）
において図１３のステップＳ２９の基板加工処理の代わ
りに行われる処理を示す。

【０１１２】図中、ステップＳ２９１において、図１３
のステップＳ２５で自ユニットの共有メモリエリア２０
４からＣＰＵ２０１に取り込んだ「基板ＩＤ情報」及び
「種類情報」を使用して、現在対象としている基板９０
１の「種類情報」（Ｂ０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）の各ビッ
トのうち、Ｂ０３０ｈだけがオンか否か、即ち、当該基
板が「製品」且つ「良品」であるかを判断する。

【０１１３】ステップＳ２９１の判断において、ＹＥＳ
と判断したとき、制御ユニット４−２は、本収納部１０
−１に本収納用カセット１０３がセットされているかを
所定の方法で判断する（ステップＳ２９２）。

【０１１４】ステップＳ２９２の判断でＹＥＳ（カセッ
トあり）のとき、制御ユニット４−２は、本収納用カセ
ット１０３の所定スロットに現在対象としている基板９
０１を収納し（ステップＳ２９３）、先述したステップ
Ｓ３以降の処理を行う。

【０１１５】一方、ステップＳ２９２の判断でＮＯ（カ
セットなし）の場合は、制御ユニット４−２は、仮収納
部１０−２に仮収納用カセット１０２がセットされてい
るかを所定の方法で判断し（ステップＳ２９４）、仮収
納用カセット１０２がセットされていない場合は警報を
発報すると共に、例えば、制御ユニット４−２の図５の
カセット無しフラグ（Ｂ０６５ｈ）をオンにする（ステ
ップＳ２９５）。この制御ユニット４−２におけるカセ
ット無しフラグの情報は、ラインコントローラ１による
所定周期のデータの共有化処理によって他の制御ユニッ
ト４に通知されるため、ワーク収納装置１０に基板９０
１を収納すべきカセットがセットされていないことを認
識した他の制御ユニット４は、新たな基板９０１の供給
や排出を中止する等の処置を取ることができる。

【０１１６】一方、ステップＳ２９４の判断でＹＥＳ
（カセットあり）の場合、制御ユニット４−２は、仮収
納用カセット１０２の一時収納用のスロットに現在対象
としている基板９０１を収納し（ステップＳ２９６）、
先述したステップＳ３以降の処理を行う。

【０１１７】また、ステップＳ２９１の判断において、
ＮＯ（Ｂ０３０ｈからＢ０３５ｈの複数ビットがオン）
のとき、制御ユニット４−２は、仮収納部１０−２に仮
収納用カセット１０２がセットされているかを所定の方
法で判断する（ステップＳ２９７）。

【０１１８】ステップＳ２９７の判断でＹＥＳ（カセッ
トあり）のとき、制御ユニット４−２は、当該基板９０
１が「製品」且つ「不良品」であるか、即ち、Ｂ０３０
ｈとＢ０３４ｈまたはＢ０３５ｈがオンであるか否かを
判断し（ステップＳ２９８）、ＹＥＳの場合は、仮収納
用カセット１０２の第１の領域の所定スロットに現在対
象としている基板９０１を収納し（ステップＳ２９
９）、先述したステップＳ３以降の処理を行う。一方、
ステップＳ２９８の判断でＮＯのとき、制御ユニット４
−２は、警報を発報すると共に、例えば、制御ユニット
４−２の図５のカセット無しフラグ（Ｂ０６５ｈ）をオ
ンにする（ステップＳ２９７Ａ）。

【０１１９】一方、ステップＳ２９８の判断でＮＯのと
き、制御ユニット４−２は、当該基板が「モニタ」用
か、即ち、Ｂ０３１ｈがオンであるか否かを判断し（ス
テップＳ３００）、ＹＥＳの場合は、仮収納用カセット
１０２の第２の領域の所定スロットに現在対象としてい
る基板（モニタ用ワーク）を収納し（ステップＳ３０
１）、先述したステップＳ３以降の処理を行う。一方、
ステップＳ３００の判断でＮＯのときには、当該基板は
「ダミー」用のため、仮収納用カセット１０２の第３の
領域の所定スロットに現在対象としている基板（ダミー
用ワーク）を収納し（ステップＳ３０２）、先述したス
テップＳ３以降の処理を行う。

【０１２０】＜第１の実施形態の効果＞以上説明したよ
うに、本実施形態によれば、まず、製造ラインの各作業
ステーションにおいて個々の基板９０１に加工処理が施
されるのに応じて、即ち、基板９０１が、ある作業ステ
ーション２０から次の作業ステーション２０に移管され
るときに、当該基板に関する情報（「基板ＩＤ情報」、
「品質情報」、そして「種類情報」）を、最新の状態
で、各制御ユニット４間でトラッキング（伝達）してい
くことができる。そのため、ワーク収納装置１０は、前
工程の制御ユニット４からトラッキングされてきた当該
基板に関する情報を使用することにより、当該基板を、
「製品」、「不良品」、「ダミー」等のフラグに応じ
て、本収納用カセット１０３または仮収納用カセット１
０２の適当なスロットに的確に収納することができ、同
一カセットへの状態や種類の異なる基板（ワーク）の混
入を未然に防止することができる。

【０１２１】また、収納装置１０には、本収納部１０−
１及び仮収納部１０−２の２箇所の収納部を設けたた
め、例えば、本収納部１０−１に本収納用カセット１０
３がセットされていないときにも、仮収納部１０−２に
仮収納用カセット１０がセットされていれば、ライン停
止等の製造ライン全体に関わる重大なトラブルを防止す
ることができる。このことは、途中停止が困難なプロセ
スを含む製造ラインにおいて特に効果的である。

【０１２２】［第２の実施形態］次に、本発明に係るワ
ーク供給装置を、第２の実施形態として説明する。本実
施形態で説明するワーク供給装置は、図１８に示す製造
ラインに含まれる。

【０１２３】図１８は、本発明の第２の実施形態として
の製造ラインシステムの全体構成を示すブロック構成図
である。本実施形態において、各制御ユニット４におけ
る通信などの処理は、上述した第１の実施形態と略同一
であり、重複する説明は省略する。異なるのは、後述す
るワーク供給装置９が、当該製造ラインにワークである
基板９０１を供給する第１供給部９−１及び第２供給部
９−２の２つの供給部を備えることである。

【０１２４】ワーク供給装置９は、図１８に示すように
制御ユニット４−１によって制御されるが、当該装置と
別体であっても、一体であってもよいことは言うまでも
ない。

【０１２５】はじめに、本実施形態における制御ユニッ
ト４−１及び制御ユニット４−２のリンクビット情報に
ついて説明する。本実施形態においても、ラインコント
ローラ１によるデータ共有化処理は所定時間周期で行わ
れており、各制御ユニット４の間では、リンクワード情
報及びリンクビット情報の共有が可能で有るが、それぞ
れ一部の割り付けが異なる。

【０１２６】図１９は、本発明の第２の実施形態として
の制御ユニット４−１が管理するリンクビット情報のデ
ータ構成を示す図であり、第１の実施形態の場合と異な
るのは、後述する「ダミー要求フラグ」または「モニタ
要求フラグ」に対する了解フラグが、制御ユニット４−
２から制御ユニット４−Ｎのユニットに対して１つず
つ、Ｂ０２１ｈ以降のアドレスに割り付けられているこ
とである。

【０１２７】図２０は、本発明の第２の実施形態として
の制御ユニット４−２が管理するリンクビット情報のデ
ータ構成を示す図であり、第１の実施形態の場合と異な
るのは、後述するダミー用またはモニタ用のワークを、
制御ユニット４−１に要求するための「ダミー要求フラ
グ２」及び「モニタ要求フラグ２」がＢ０７２ｈ及びＢ
０７３ｈのアドレスに割り付けられていることである。
尚、このリンクビット情報のデータ構成は、制御ユニッ
ト４−３以降のユニットにおいても同様であり、例え
ば、制御ユニット４−３であれば、当該ビットは、それ
ぞれ「ダミー要求フラグ３」及び「モニタ要求フラグ
３」となる。

【０１２８】また、制御ユニット４−２が管理するリン
クワード情報の所定のアドレス（不図示）には、要求さ
れている枚数に応じたデータが設定される。

【０１２９】次に、第１の実施形態で説明した各制御ユ
ニット４の構成及び動作、そして、図１９及び図２０の
リンクビット情報に基づいて、本実施形態における供給
装置９について説明する。

【０１３０】図２３は、本発明の第２の実施形態として
のワーク供給装置の上面図である。また、図２４は、本
発明の第２の実施形態としてのワーク供給装置の正面図
である。

【０１３１】図２３及び図２４に示す供給装置９は、第
１供給カセット３０３がセットされる第１供給部９−
１、第２供給カセット３０２がセットされる第２供給部
９−２、そして、これらのカセットに収納されている基
板９０１を取り出し、搬送ベルト３０４上に裁置する供
給ロボット３０１を有する。本実施形態において、第１
供給カセット３０３には、加工対象である基板９０１が
複数収納されている。また、第２供給カセット３０２に
は、非定常時に当該製造ラインに供給する基板９０１
（以下、予備基板）、ダミー用及びモニタ用のワークが
収納される。

【０１３２】第１供給カセット３０３及び第２供給カセ
ット３０２には、基板９０１を１枚ずつ収納することが
可能な複数のスロットが設けられており、供給ロボット
３０１は、制御ユニット４−１からの指示に従って所定
のスロットから基板９０１を取り出し、搬送ベルト３０
４上に裁置する。本実施形態において、第２供給カセッ
ト３０２には、３０のスロットが設けられており、１段
目から１０段目には予備基板、１１段目から２０段目に
はモニタ用のワーク、そして２１段目から３０段目には
ダミー用のワークが収納されている。このスロットの使
い分けは、予め制御ユニット４−１に設定することは言
うまでもない。また、制御ユニット４−１は、３０段の
スロットのうち、どのスロットが空きであり、次にどの
スロットから基板等を供給すべきかを常に認識している
ことは言うまでもない。

【０１３３】供給ロボット３０１の主な動作としては、
第１供給カセット３０３または第２供給カセット３０２
に予め収納されている基板等を、当該カセットのスロッ
トから取り出すべく、適当な回転動作及び前進動作を行
うことにより、所定位置（図２３の供給ロボット３０１
が示される位置）から目的のスロット内に移動し、上方
向に所定の距離だけ上昇することによって目的とする基
板等を下側から持ち上げる。そして、供給ロボット３０
１は、基板等を持ち上げた状態で最初の所定位置に戻
り、当該基板等を搬送ベルト１０４上に裁置する。

【０１３４】尚、図２３及び図２４に示すように、供給
装置９は、第１の実施形態におけるワーク収納装置１０
と共通構造とし、制御ユニット４による動作制御によっ
て、ワーク供給用、またはワーク収納用に使い分けるこ
とができる。

【０１３５】＜ワーク供給装置へのワーク要求＞制御ユ
ニット４−２が制御する作業ステーション２０−２にお
いて、作業者が試験的に加工するダミー用（モニタ用）
のワークを必要とするとき、その作業者は、例えば、操
作盤２０７にて所定の操作を行う。

【０１３６】図２５は、本発明の第２の実施形態として
操作盤２０７を示す図である。同図において、９１は、
加工すべきワークの種類を設定・表示するスイッチであ
り、表示部分の上下のスイッチを操作することにより、
例えば、モニター用ワークを１、ダミー用ワークを２と
いうように設定する。また、９２は、要求するワークの
枚数を設定・表示するスイッチである。作業者は、スイ
ッチ９１及びスイッチ９２により所望するワークの種類
及び枚数を設定した後、割り込み設定スイッチ９０を押
下する。

【０１３７】作業者によって操作盤２０７に上記の操作
がなされると、その操作に応じて、制御ユニット４−２
は、自ユニットのリンクビット情報のうち、「ダミー要
求フラグ２」（Ｂ０７３ｈ）（「モニタ要求フラグ２」
であればＢ０７２ｈ）をオンにセットされる。また、要
求されている枚数に応じたデータがリンクワード情報の
所定のアドレスに設定される。これらの情報は、ライン
コントローラ１によるデータの共有化処理により、制御
ユニット４−１に伝達される。

【０１３８】制御ユニット４−１は、自ユニットの「ダ
ミー要求フラグ２」（Ｂ０７３ｈ）の状態を参照するこ
とにより、制御ユニット４−２がダミー用のワークを必
要としていることを認識すると、制御ユニット４−１の
リンクビット情報のうち、制御ユニット４−２からの要
求に対する了解を表わすＢ０２２ｈの割り込み了解フラ
グをオンにセットする。この設定情報も、ラインコント
ローラ１によるデータの共有化処理により、制御ユニッ
ト４−１に伝達されることは言うまでもない。

【０１３９】尚、供給装置９を制御する制御ユニット４
−１へのワーク要求処理は、他の制御ユニット４からも
同様に行うことができる。

【０１４０】＜ワーク供給装置の動作＞次に、供給装置
９の動作について図２１及び図２２を参照して説明す
る。供給装置９の動作は、制御ユニット４−１によって
制御されている。このため、以下の説明では、第１の実
施形態で説明した制御ユニット４−１の制御処理と異な
る部分を中心に説明する。

【０１４１】図２１は、本発明の第２の実施形態として
のワーク供給装置９を制御する制御ユニットの制御処理
を示すフローチャートであり、制御ユニット４−１にお
いて図１２の基板受け入れ処理（ステップＳ１）及び基
板加工処理（ステップＳ２）の代わりに行われる処理を
示す。また、図１２のステップＳ５は、供給装置９によ
る基板９０１、ダミー用ワーク、またはモニタ用ワーク
の供給処理に相当する。

【０１４２】図中、制御ユニット４−１は、その内部に
有するカウンタが所定のタクトタイムになると（ステッ
プＳ１０１）、自ユニットのリンクビット情報のうち、
例えば、制御ユニット４−２についてはＢ０７２ｈ及び
Ｂ０７３ｈを参照することにより、当該ユニットがワー
クを要求しているか否かを判断し（ステップＳ１０
２）、割り込みが有る場合は後述する割り込み処理（ス
テップＳ２００）に進む。一方、ステップＳ１０２で何
れの制御ユニット４もワークの要求をしていないときに
は、例えば、制御ユニット４−２の「割り込み了解２」
フラグ（Ｂ０２１ｈ）をオンにセットし、ステップＳ１
０３に進む。

【０１４３】ステップＳ１０３において、制御ユニット
４−１は、第１供給部９−１に第１供給カセット３０３
がセットされているかを所定の方法で判断する。この判
断においてＹＥＳ（カセットあり）のとき、制御ユニッ
ト４−１は、先述したステップＳ３以降の処理を行う。

【０１４４】一方、ステップＳ１０３の判断でＮＯ（カ
セットなし）のとき、制御ユニット４−１は、第１供給
カセット３０３がセットされていない旨の警報を発報し
（ステップＳ１０４）、ステップＳ１０５に進む。

【０１４５】ステップＳ１０５において、制御ユニット
４−１は、第２供給部９−２に第２供給カセット３０２
がセットされているかを所定の方法で判断する。

【０１４６】ステップＳ１０８の判断においてＹＥＳ
（カセットあり）のとき、制御ユニット４−１は、第２
供給カセット３０２の１段目から１０段目に予備基板が
収納されているか否かを所定の方法で判断し、ＹＥＳ
（カセットあり）のときには先述したステップＳ３以降
の処理を行う。これにより、第１供給カセット３０３が
セットされていない場合、或いはセットされていても収
納されている基板９０１が無い場合に、当該製造ライン
に供給される基板９０１が途切れることを防止すること
ができる。

【０１４７】ステップＳ１０５の判断でＮＯ（カセット
なし）のとき、制御ユニット４−１は、第２供給カセッ
ト３０２がセットされていない旨の警報を発報し（ステ
ップＳ１０６）、作業者が第１供給カセット３０３また
は第２供給カセット３０２をセットし、警報をリセット
するまで待機する（ステップＳ１０７）。また、作業者
が第１供給カセット３０３または第２供給カセット３０
２をセットし、警報をリセットしたときにはステップＳ
１０３に戻る。

【０１４８】ステップＳ１０８の判断で第２供給カセッ
ト３０２に予備基板がないとき、制御ユニット４−１
は、予備基板がない旨の警報を発報し（ステップＳ１０
９）、作業者が第１供給カセット３０３または第２供給
カセット３０２をセットし、警報をリセットするまで待
機する（ステップＳ１１０）。また、作業者が第１供給
カセット３０３または第２供給カセット３０２をセット
し、警報をリセットしたときにはステップＳ１０３に戻
る。

【０１４９】図２２は、本発明の第２の実施形態として
のワーク供給装置９を制御する制御ユニットの制御処理
のうち割り込み処理を示すフローチャートである。

【０１５０】図中、ステップＳ２０１において、制御ユ
ニット４−１は、第２供給部９−２に第２供給カセット
３０２がセットされているかを所定の方法で判断する。

【０１５１】ステップＳ２０１の判断においてＹＥＳ
（カセットあり）のとき、制御ユニット４−１は、例え
ば、制御ユニット４−２についてはＢ０７２ｈ及びＢ０
７３ｈを参照することにより、要求されているワークが
モニタ用のワークであるかを判断する（ステップＳ２０
４）。一方、ステップＳ２０１の判断においてＮＯ（カ
セットなし）のときには、上述したステップＳ１０６及
びステップＳ１０７と同様な処理を行い、ステップＳ２
０１に戻る。

【０１５２】ステップＳ２０１の判断において要求され
ているワークがモニタ用のワークであるとき、制御ユニ
ット４−１は、第２供給カセット３０２の１１段目から
２０段目にモニタ用ワークが収納されているか否かを所
定の方法で判断し、ＹＥＳ（モニタ用ワークあり）のと
きには先述したステップＳ３以降の処理を行う。一方、
ステップＳ２０５の判断においてＮＯ（モニタ用ワーク
なし）のとき（要求されているワークの枚数に満たない
場合を含む）には、上述したステップＳ１０９及びステ
ップＳ１１０と同様な処理を行い、ステップＳ２０１に
戻る。

【０１５３】また、ステップＳ２０４の判断において、
要求されているワークがモニタ用のワークではないとき
（ダミー用のワークが要求されているとき）、制御ユニ
ット４−１は、ステップＳ２０８において、第２供給カ
セット３０２の２１段目から３０段目にダミー用ワーク
が収納されているか否かを所定の方法で判断し、ＹＥＳ
（ダミー用ワークあり）のときには先述したステップＳ
３以降の処理を行う。一方、ステップＳ２０８の判断に
おいてＮＯ（ダミー用ワークなし）のときには、上述し
たステップＳ１０９及びステップＳ１１０と同様な処理
を行い、ステップＳ２０１に戻る。

【０１５４】＜第２の実施形態の効果＞供給装置９に
は、第１供給部９−１及び第２供給部９−２の２箇所の
供給部を設けたため、例えば、第１供給部９−１に第１
供給カセット３０３がセットされていない場合であって
も、予備基板を格納している第２供給カセット３０２が
第２供給部９−２にセットされていれば、当該製造ライ
ンへの基板９０１の供給を中断することを防止すること
ができる。

【０１５５】また、ラインコントローラ１によるデータ
共有化処理によって次工程の制御ユニット４−２からの
モニタ用またはダミー用のワークの要求を制御ユニット
４−１に伝達し、その要求に応じて、制御ユニット４−
１は、モニタ用及びダミー用のワークを収納した第２供
給カセット３０２から供給することが可能なため、下流
工程からの任意のタイミングでのモニタ用またはダミー
用のワーク要求の割り込みに柔軟に対応することができ
る。

【０１５６】

【他の実施形態】尚、本発明は、複数の機器（例えばホ
ストコンピュータ，インタフェイス機器等）から構成さ
れるシステムに適用しても、一つの機器からなる装置に
適用してもよい。

【０１５７】また、本発明の目的は、前述した実施形態
の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記
録した記憶媒体を、システムあるいは装置に供給し、そ
のシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵ
やＭＰＵ）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを
読出し実行することによっても、達成されることは言う
までもない。

【０１５８】この場合、記憶媒体から読出されたプログ
ラムコード自体が前述した実施形態の機能を実現するこ
とになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は
本発明を構成することになる。

【０１５９】プログラムコードを供給するための記憶媒
体としては、例えば、フロッピディスク，ハードディス
ク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ
−Ｒ，磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭ等
を用いることができる。

【０１６０】また、コンピュータが読出したプログラム
コードを実行することにより、前述した実施形態の機能
が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示
に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレ
ーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部
を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実
現される場合も含まれることは言うまでもない。

【０１６１】さらに、記憶媒体から読出されたプログラ
ムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボード
やコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わる
メモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に
基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わ
るＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その
処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合
も含まれることは言うまでもない。

【０１６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワークに関する情報に応じて複数のカセットから適当な
ワークを供給するワーク供給装置及び供給方法の提供が
実現する。

【０１６３】また、ワークに関する情報に応じて複数の
カセットに適切にワークを収納するワーク収納装置及び
収納方法の提供が実現する。

【０１６４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態としての製造ラインシ
ステム全体構成を示すブロック構成図である。

【図２】本発明の第１の実施形態としてのネットワーク
で使用される制御ユニットの構成を示すブロック図であ
る。

【図３】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−１が管理するリンクビット情報のデータ構成を示す
図である。

【図４】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−１が管理するリンクワード情報のデータ構成を示す
図である。

【図５】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−２が管理するリンクビット情報のデータ構成を示す
図である。

【図６】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−２が管理するリンクワード情報のデータ構成を示す
図である。

【図７】本発明の第１の実施形態としてのラインコント
ローラが管理するリンクビット情報のデータ構成を示す
図である。

【図８】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−１及び４−２、そしてラインコントローラ間におけ
る制御フラグの受け渡しを説明するタイミングチャート
である。

【図９】本発明の第１の実施形態としての作業ステーシ
ョン２０−１と作業ステーション２０−２との間での基
板の搬送を説明する図である。

【図１０】本発明の第１の実施形態としての作業ステー
ション２０−１と作業ステーション２０−２との間での
基板の搬送を説明する図である。

【図１１】本発明の第１の実施形態としての作業ステー
ション２０−１と作業ステーション２０−２との間での
基板の搬送を説明する図である。

【図１２】本発明の第１の実施形態としての制御ユニッ
ト４−１における処理を示すフローチャートである。

【図１３】本発明の第１の実施形態としての制御ユニッ
ト４−２における処理を示すフローチャートである。

【図１４】本発明の第１の実施形態としてのラインコン
トローラにおける処理を示すフローチャートである。

【図１５】本発明の第１の実施形態としてのワーク収納
装置を制御する制御ユニットの制御処理を示すフローチ
ャートである。

【図１６】本発明の第１の実施形態としてのワーク収納
装置の上面図である。

【図１７】本発明の第１の実施形態としてのワーク収納
装置の正面図である。

【図１８】本発明の第２の実施形態としての製造ライン
システムの全体構成を示すブロック構成図である。

【図１９】本発明の第２の実施形態としての制御ユニッ
ト４−１が管理するリンクビット情報のデータ構成を示
す図である。

【図２０】本発明の第２の実施形態としての制御ユニッ
ト４−２が管理するリンクビット情報のデータ構成を示
す図である。

【図２１】本発明の第２の実施形態としてのワーク供給
装置９を制御する制御ユニットの制御処理を示すフロー
チャートである。

【図２２】本発明の第２の実施形態としてのワーク供給
装置９を制御する制御ユニットの制御処理のうち割り込
み処理を示すフローチャートである。

【図２３】本発明の第２の実施形態としてのワーク供給
装置の上面図である。

【図２４】本発明の第２の実施形態としてのワーク供給
装置の正面図である。

【図２５】本発明の第２の実施形態として操作盤２０７
を示す図である。

【図２６】共有メモリ方式のデータのリフレッシュ方法
を説明する図である。

【図２７】本発明の第１の実施形態としての共有メモリ
エリア２０４におけるビットマップを示す図である。

【図２８】本発明の第１の実施形態としての共有メモリ
エリア２０４におけるワードマップを示す図である。

【符号の説明】

１：ラインコントローラ，２：記憶装置，４：制御ユニット，５：加工装置，６：搬装装置，７：収納カセット，９：ワーク供給装置，９−１：第１供給部，９−２：第２供給部，１０：ワーク収納装置，１０−１：本収納部，１０−２：仮収納部，１０１：収納用ロボット，１０２：仮収納用カセット，１０３：本収納カセット，１０４：搬送ベルト，２０１：ＣＰＵ，２０２：プログラムメモリ（ＲＯＭ），２０３：ＲＡＭ，２０４：共有メモリエリア，２０５：入出力インタフェース，２０６：通信インタフェース，２０７：操作盤，２０８：センサ群，３０１：供給用ロボット，３０２：第２供給カセット，３０３：第１供給カセット，３０４：搬送ベルト，９０２：位置決め・排出センサ，９０３：到着センサ，

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】製造ラインにおいて前工程から供給され
るワークをカセットに収納するワーク収納装置であっ
て、ワークを複数のカセットに収納する収納手段と、前工程を制御する制御ユニットとの通信を行う通信手段
と、前記通信手段によって前記制御ユニットから受信したと
ころの収納すべきワークに関する情報に応じて、そのワ
ークを、前記収納手段によって前記複数のカセットの何
れかに収納する制御手段と、を備えることを特徴とする
ワーク収納装置。
【請求項２】前記収納すべきワークに関する情報は、
所定の時間周期で前記通信手段に書き込まれており、前記制御手段は、前記通信手段に書き込まれた情報に対
応するワークが前記ワーク収納装置に移管されるとき
に、該情報を判断することを特徴とする請求項１記載の
ワーク収納装置。
【請求項３】前記制御手段は、前記複数のカセットの
うち、前記ワークを通常収納するカセットが前記収納手
段にセットされていないときに、その他のカセットに前
記ワークを収納することを特徴とする請求項１記載のワ
ーク収納装置。
【請求項４】前記制御手段は、前記複数のカセットの
うち、ある特定のカセットが前記収納手段にセットされ
ていないときに、その旨を前記通信手段によって前記制
御ユニットに送信することを特徴とする請求項１記載の
ワーク収納装置。
【請求項５】前記複数のカセットには、前記ワークを
収納する複数の収納エリアが設けられており、前記制御手段は、前記収納すべきワークに関する情報に
応じて、前記カセットの複数の収納エリアに異なる種類
のワークを分別して収納すべく、前記収納手段を制御す
ることを特徴とする請求項１記載のワーク収納装置。
【請求項６】製造ラインにおける次工程にワークを供
給するワーク供給装置であって、複数のカセットに収納されているワークを次工程に供給
する供給手段と、前記次工程を制御する制御ユニットとの通信を行う通信
手段と、前記通信手段によって前記制御ユニットから受信したと
ころの供給すべきワークに関する情報に応じて、前記複
数のカセットからワークを選択し、その選択したワーク
を、前記供給手段によって前記次工程に供給する制御手
段と、を備えることを特徴とするワーク供給装置。
【請求項７】前記制御手段は、前記複数のカセットの
うち、前記次工程に通常供給すべきワークが収納されて
いるカセットが前記収納手段にセットされていないとき
に、その他のカセットに収納されているワークを、前記
次工程に供給することを特徴とする請求項６記載のワー
ク供給装置。
【請求項８】前記複数のカセットには、複数の収納エ
リアが設けられ、その複数の収納エリアには、前記収納
すべきワークに関する情報に対応する異なる種類のワー
クが収納されており、前記制御手段は、前記収納すべきワークに関する情報に
応じて、前記複数の収納エリアの何れかからワークを選
択し、その選択したワークを、前記供給手段によって前
記次工程に供給することを特徴とする請求項６記載のワ
ーク供給装置。
【請求項９】請求項１記載のワーク収納装置と共通構
造を有することを特徴とする請求項６記載のワーク供給
装置。
【請求項１０】請求項６記載のワーク供給装置と共通
構造を有することを特徴とする請求項１記載のワーク収
納装置。
【請求項１１】製造ラインにおいて前工程から供給さ
れるワークをカセットに収納するワーク収納方法であっ
て、前工程を制御する制御ユニットとの通信を行う通信工程
と、前記通信工程で前記制御ユニットから受信したところの
収納すべきワークに関する情報に応じて、そのワーク
を、複数のカセットの何れかに収納する収納工程と、を
有することを特徴とするワーク収納方法。
【請求項１２】前記制御ユニットから、前記収納すべ
きワークに関する情報を、所定の時間周期で所定のメモ
リエリアに書き込み、前記メモリエリアに書き込まれた情報に対応するワーク
が前記ワーク収納装置に移管されるときに、該情報を判
断することを特徴とする請求項１１記載のワーク収納方
法。
【請求項１３】製造ラインにおける次工程にワークを
供給するワーク供給方法であって、前記次工程を制御する制御ユニットとの通信を行う通信
工程と、前記通信工程で前記制御ユニットから受信したところの
供給すべきワークに関する情報に応じて、前記複数のカ
セットからワークを選択し、その選択したワークを、前
記次工程に供給する供給工程と、を有することを特徴と
するワーク供給方法。