JPH11191983A

JPH11191983A - 超音波モータの駆動回路

Info

Publication number: JPH11191983A
Application number: JP9358938A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Furukoshi; 洋行古越
Original assignee: Asmo Co Ltd; Toyota Motor Corp
Current assignee: Asmo Co Ltd; Toyota Motor Corp
Priority date: 1997-12-26
Filing date: 1997-12-26
Publication date: 1999-07-13

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の超音波モータを同時に駆動しても、駆
動電圧発生回路が出力する高電圧による互いの発振回路
への静電誘導を抑制して、可聴音の発生を防止すること
ができる超音波モータの駆動回路を得る。【解決手段】複数の超音波モータを同時に駆動する場
合において、それぞれの駆動電圧発生回路から出力され
る高電圧による互いの発振回路への静電誘導を抑制する
ように、それぞれの前記発振回路を金属板で静電シール
ドする。このため、それぞれの発振回路から出力される
発振周波数が安定するので、複数の超音波モータを同時
に駆動した場合でも、可聴音が発生することがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータを駆
動するための超音波モータの駆動回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、超音波振動を駆動力とする超
音波モータが知られている。超音波モータの一種である
進行波型の超音波モータでは、円環状の弾性体に圧電体
が貼付されてステータが形成されており、このステータ
には駆動軸に取り付けられたロータが加圧接触されてい
る。

【０００３】超音波モータの駆動回路は、前記圧電体
に、所定周波数で位相が９０°異なる２相の駆動信号
（ｓｉｎ波及びｃｏｓ波）を供給する。この２相の駆動
信号によって発生する圧電体の機械振動により、弾性体
に、振動の腹及び節が弾性体に沿って円環状に移動する
超音波振動（進行波）が励起される。この進行波によ
り、前記弾性体に加圧接触されたロータ及び駆動軸が回
転される。

【０００４】前記超音波モータは、例えば自動車のステ
アリング装置の所謂チルト機構や、テレスコピック機構
等に用いられた場合には、各々超音波モータと発振回
路、駆動回路等を有し、前記発振回路や前記駆動回路は
同一の基板上に配設される。

【０００５】上記のような構成の超音波モータおよび超
音波モータの駆動回路の一例を図４に示す。

【０００６】図４に示す如く、超音波モータ１０、７０
はそれぞれ駆動回路３０、６０が接続されており、駆動
回路３０、６０はそれぞれ発振回路３４、６４およびマ
イクロコンピュータ３２が接続されている。そして、前
記マイクロコンピュータ３２から発振回路３４、６４へ
所定の駆動周波数信号が出力され、駆動回路３０、６０
へ所定のタイミングでスイッチング信号が出力されるこ
とにより超音波モータ１０、７０が駆動される。また、
マイクロコンピュータ３２、発振回路３４、６４はそれ
ぞれ制御用電源（一例として５Ｖ）５２、６２から電力
を供給され、制御用電源５２、６２は定電圧電源５０
（一例として１２Ｖ）から電力を供給される。

【０００７】駆動回路３０は一例として図３に示すよう
な構成（駆動回路６０も同様の構成）となっている。駆
動回路３０は、スイッチング制御回路３６、Ａ相増幅回
路４２、Ｂ相増幅回路４４、電圧発生回路３８、バンド
パスフィルタ４０から構成される。電圧発生回路３８は
定電圧電源５０から供給された１２Ｖの直流電圧を昇圧
した直流電圧（一例として７０Ｖ）を駆動電圧発生回路
４８を構成するＡ相増幅回路４２およびＢ相増幅回路４
４へ供給する。

【０００８】駆動電圧発生回路４８では、電圧発生回路
３８から供給された７０Ｖの直流電圧をさらに昇圧し
て、前記発振回路３４から出力される発振周波数に応じ
た交流電圧（一例として２１０Ｖ）を誘起し、前記交流
電圧が超音波モータ１０の圧電体に供給されることによ
り超音波モータが駆動される。

【０００９】超音波モータ１０および超音波モータ７０
を同時に駆動した場合には、駆動回路３０の駆動電圧発
生回路４８および駆動回路７０の図示しない駆動電圧発
生回路が出力する高電圧によって、発振回路３４，６４
に互いに静電誘導し、発振周波数が周波数変調をおこし
て超音波モータから可聴音を発生するという問題があ
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記事実を
考慮し、複数の超音波モータを同時に駆動しても、駆動
電圧発生回路が出力する高電圧による互いの発振回路へ
の静電誘導を抑制して、可聴音の発生を防止することが
できる超音波モータの駆動回路を得ることが目的であ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の発明は、超音波モータの圧電体にトランスの２次側コ
イルを接続し、前記トランスの１次側コイルにスイッチ
ング素子を接続して、前記スイッチング素子をオンオフ
することで前記トランスの２次側コイルへ交流の高電圧
を誘起して前記超音波モータの駆動電圧を得る駆動電圧
発生回路および前記超音波モータの駆動周波数に応じた
周波数で発振する発振回路を備えた超音波モータの駆動
回路であって、複数の超音波モータを同時に駆動する場
合において、それぞれの前記駆動電圧発生回路から出力
される前記高電圧による互いの発振回路への静電誘導を
抑制するように、前記発振回路を静電シールドする静電
シールド手段を設けたことを特徴とする。

【００１２】請求項１に記載の発明によれば、それぞれ
の超音波モータ駆動回路の発振回路を静電シールドす
る。このため、それぞれの駆動電圧発生回路が出力する
高電圧による互いの発振回路への静電誘導を抑制するこ
とができ、発振周波数が安定して可聴音が発生するのを
防ぐことができる。

【００１３】本発明の請求項２に記載の発明は、前記静
電シールド手段が、金属板で前記発振回路を覆設したこ
とを特徴とする。

【００１４】請求項２に記載の発明によれば、金属板で
それぞれの発振回路をシールドして、金属板をプリント
基板の接地パターンに接続することで静電誘導を抑制す
ることができる。

【００１５】本発明の請求項３に記載の発明は、前記金
属板が、リン青銅であることを特徴とする。

【００１６】請求項３に記載の発明によれば、前記金属
板にリン青銅を用いることにより、静電シールドの効果
を向上させることができる。

【００１７】本発明の請求項４に記載の発明は、前記静
電シールド手段が、プリント基板の一方の面に前記発振
回路を配設し、他方の面に前記駆動電圧発生回路を配設
したことを特徴とする。

【００１８】請求項４に記載の発明によれば、プリント
基板に発振回路と駆動電圧発生回路を配設する際に、駆
動電圧発生回路から出力される高電圧の影響が発振回路
に及ばないようにそれぞれの回路を基板の一方の面と他
方の面にそれぞれ配置する。このため、静電誘導を抑制
することができる。

【００１９】本発明の請求項５に記載の発明は、前記静
電シールド手段が、少なくとも３層以上の基板を張り合
わせたプリント基板であり、それぞれの基板の間に接地
パターンを設けて、前記発振回路と前記駆動電圧発生回
路を前記接地パターンに接続したことを特徴とする。

【００２０】請求項５に記載の発明によれば、張り合わ
せた基板の間に接地パターンを設けてそれぞれの接地パ
ターンに発振回路および駆動電圧発生回路を接続するこ
とにより、静電誘導を抑制することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る実施の形態を詳細に説明する。

【００２２】図４には複数の超音波モータおよび超音波
モータの駆動回路の概略構成の一例が示されている。定
電圧電源５０の分岐した一方の出力端は、さらに分岐し
て制御用電源５２の入力端および駆動回路３０の電源入
力端に接続されており、分岐された他方の出力端は、さ
らに分岐して制御用電源６２および駆動回路６０の電源
入力端に接続されている。前記定電圧電源５０は例えば
１２Ｖの直流電圧を供給する。

【００２３】前記制御用電源５２の分岐した一方の出力
端はマイクロコンピュータ３２の電源入力端に接続され
ており、分岐した他方の出力端は発振回路３４の電源入
力端に接続されている。制御用電源５２は、定電圧電源
５０より供給された１２Ｖの直流電圧を５Ｖの直流電圧
に変換する。

【００２４】マイクロコンピュータ３２の一方の駆動信
号出力端は、発振回路３４の駆動信号入力端に接続され
ており、他方の駆動信号出力端は発振回路６４の駆動信
号入力端に接続されている。また、マイクロコンピュー
タ３２の一方のスイッチング信号出力端は駆動回路３０
のスイッチング信号入力端に接続されており、他方のス
イッチング信号出力端は駆動回路６０のスイッチング信
号入力端に接続されている。マイクロコンピュータ３２
は発振回路３４および６４へ駆動信号を出力し、駆動回
路３０および６０へは所定のタイミングでスイッチング
信号を出力する。

【００２５】発振回路３４の駆動周波数信号出力端は、
駆動回路３０の駆動周波数信号入力端に接続されてい
る。発振回路３４は制御用電源５２から電力を供給さ
れ、マイクロコンピュータ３２からの駆動信号により所
定の駆動周波数で発振する。駆動回路３０は超音波モー
タ１０と接続され、所定の駆動電圧を供給して超音波モ
ータ１０を駆動する。

【００２６】制御用電源６２の出力端は発振回路６４の
電源入力端に接続されている。制御用電源６２は、定電
圧電源５０より供給された１２Ｖの直流電圧を５Ｖの直
流電圧に変換する。

【００２７】発振回路６４の駆動周波数信号出力端は、
駆動回路６０の駆動周波数信号入力端に接続されてい
る。発振回路６４は制御用電源６２から電力を供給さ
れ、マイクロコンピュータ３２からの駆動信号により所
定の駆動周波数で発振する。駆動回路６０は超音波モー
タ７０と接続され、所定の駆動電圧を供給して超音波モ
ータ７０を駆動する。

【００２８】なお、発振回路３４は、図１、２に示す如
く、リン青銅からなる金属板３３でシールドされてお
り、後述する駆動電圧発生回路４８が出力する高電圧に
より発生する静電誘導を防ぐ。また、金属板３３は発振
回路３４が配設されているプリント基板の接地パターン
に接続されている。なお、発振回路６４も同様に図示し
ないリン青銅からなる金属板でシールドされており、プ
リント基板の接地パターンに接続されている。

【００２９】また、図４には図示していないが、上記の
他にマイクロコンピュータ３２には、後述する超音波モ
ータ１０、７０からのフィードバック信号や、回転パル
ス信号が各々入力される。

【００３０】図８には進行波型の超音波モータ１０が示
されている。超音波モータ１０は銅合金等から構成され
る円環状の弾性体１２を備え、この弾性体１２に圧電体
１４が貼付されてステータ２８が形成されている。

【００３１】圧電体１４は電気信号を機械信号に変換す
る圧電材料から成り、多数の電極により円環状に分割、
配列されて構成されている。一方、駆動軸１６に取り付
けられたロータ１８は、アルミ合金等から成るロータリ
ング２０に円環状のスライダ２２が接着されて形成され
ており、スプリング２４によってスライダ２２が前記弾
性体１２に加圧接触されている。このスライダ２２とし
ては、安定した摩擦力、摩擦係数を得るために、例えば
エンジニアリングプラスチック等が用いられ、これによ
り高効率でロータ１８を駆動することができる。

【００３２】また、弾性体１２には圧電素子２６（図３
参照）が貼付されている。図３に示すように、圧電素子
２６は一端が接地されており、他端が駆動回路３０のバ
ンドパスフィルタ４０の入力端に接続されている。

【００３３】圧電素子２６は弾性体１２の振動を検出
し、該振動に応じた振幅、周期の交流信号（フィードバ
ック信号）を出力する。バンドパスフィルタ４０の出力
端はマイクロコンピュータ３２の一方の入力端に接続さ
れている。バンドパスフィルタ４０は圧電素子２６から
出力されるフィードバック信号を検波してマイクロコン
ピュータ３２に出力する。

【００３４】また、超音波モータ１０には回転センサ４
６が取り付けられており、回転センサ４６の出力端はマ
イクロコンピュータ３２の回転パルス信号入力端に接続
されている。

【００３５】回転センサ４６は、マグネット（図示省
略）とホール素子（図示省略）等で構成され、マグネッ
ト表面の磁束の変化をホール素子で検出し、ロータ１８
が回転すると、マイクロコンピュータ３２へロータ１８
の回転速度に応じた周期のパルス信号を出力する。

【００３６】スイッチング制御回路３６の一方の出力端
は、駆動電圧発生回路４８のＡ相増幅回路４２の一方の
入力端に接続されており、他方の出力端は駆動電圧発生
回路４８のＢ相増幅回路４４の一方の入力端に接続され
ている。スイッチング制御回路３６は発振回路３４から
発振された発振周波数に応じて駆動パルスをスイッチン
グしながらＡ相増幅回路４２、Ｂ相増幅回路４４へ出力
する。

【００３７】また、Ａ相増幅回路４２の他方の入力端と
Ｂ相増幅回路４４の他方の入力端は電圧発生回路３８の
出力端に接続されている。前記電圧発生回路３８の入力
端は、図４に示す定電圧電源５０の出力端に接続されて
おり、前記定電圧電源５０から供給された１２Ｖの電圧
を所定の交流電圧に昇圧し、さらに整流、平滑化して所
定の直流電圧に昇圧してＡ相増幅回路４２、Ｂ相増幅回
路４４へ電力を供給する。

【００３８】電圧発生回路３８の回路構成は図７に示す
ような構成となっている。電圧発生回路３８はトランス
１２０を備えており、トランス１２０の１次側コイル１
２０Ａの中点には電源線１１８を介してコンデンサ１１
６の一端および車両用バッテリー電源（図ではＶｃｃで
表す）に接続されており、コンデンサ１１６の他端は接
地されている。

【００３９】トランス１２０の１次側コイル１２０Ａの
一端は、スイッチング素子としてのＭＯＳＦＥＴ１１０
のドレインに接続されている。ＭＯＳＦＥＴ１１０のゲ
ートはデューティー制御回路１１４の一方の出力端に接
続されており、ＭＯＳＦＥＴ１１０のソースは接地され
ている。

【００４０】トランス１２０の１次側コイル１２０Ａの
他端は、スイッチング素子としてのＭＯＳＦＥＴ１１２
のドレインに接続されている。ＭＯＳＦＥＴ１１２のゲ
ートはデューティー制御回路１１４の他方の出力端に接
続されており、ＭＯＳＦＥＴ１１２のソースは接地され
ている。

【００４１】トランス１２０の２次側コイル１２０Ｂの
一端は整流素子としてのダイオード１２２のアノードが
接続されており、他端は整流素子としてのダイオード１
２４のアノードが接続されている。また、トランス１２
０の２次側コイル１２０Ｂの中点は接地されている。

【００４２】ダイオード１２２、１２４のカソードはイ
ンダクタンス素子としてのコイル１２６の一端に接続さ
れている。コイル１２６の他端はコンデンサ１２８の一
端が接続されており、コンデンサ１２８の他端は接地さ
れている。さらに、コイル１２６の他端はＡ相増幅回路
４２、Ｂ相増幅回路４４の一方の入力端に接続されてお
り、前記入力端に電圧発生回路３８より直流電圧が供給
される。

【００４３】Ａ相増幅回路４２は超音波モータ１０の圧
電体１４Ａに接続されており、圧電体１４Ａに正弦波信
号（ｓｉｎ波）を供給する。Ｂ相増幅回路４４は超音波
モータ１０の圧電体１４Ｂに接続されており、圧電体１
４ＢにＡ相増幅回路４２が供給する正弦波信号と９０°
位相が異なる正弦波信号（ｃｏｓ波）を供給する。圧電
体１４Ａ、１４Ｂの他端は接地されている。この圧電体
１４Ａ、１４Ｂによって超音波モータ１０の圧電体１４
が構成される。

【００４４】Ａ相増幅回路４２、Ｂ相増幅回路４４で構
成される駆動電圧発生回路４８の回路構成は図５に示す
ような構成となっている。Ａ相増幅回路４２はトランス
１００を備えており、トランス１００の１次側コイル１
００Ａの中点には、電源線８４の分岐された方の一端が
接続されており、電源線８４の他端は前述の電圧発生回
路３８の出力端に接続されている。

【００４５】トランス１００の１次側コイル１００Ａの
一端はスイッチング素子としてのＭＯＳＦＥＴ９０のド
レインに接続されており、他端はＭＯＳＦＥＴ９２のド
レインに接続されている。ＭＯＳＦＥＴ９０、９２のソ
ースは接地されている。また、トランス１００の２次側
コイル１００Ｂの両端は圧電体１４Ａに接続されてい
る。

【００４６】Ｂ相増幅回路４４はトランス１０２を備え
ており、トランス１０２の１次側コイル１０２Ａの中点
には電源線８４の分岐された方の他端が接続されてい
る。

【００４７】トランス１０２の１次側コイル１０２Ａの
一端はスイッチング素子としてのＭＯＳＦＥＴ９４のド
レインに接続されており、他端はＭＯＳＦＥＴ９６のド
レインに接続されている。ＭＯＳＦＥＴ９４、９６のソ
ースは接地されている。また、トランス１０２の２次側
コイル１０２Ｂの両端は圧電体１４Ｂに接続されてい
る。

【００４８】ＭＯＳＦＥＴ９０、９２、９４、９６のゲ
ートは各々スイッチング制御回路３６に接続されてお
り、ＭＯＳＦＥＴ９０、９２、９４、９６の各々はスイ
ッチング制御回路３６から入力されるスイッチング信号
Ａ1 、Ａ2 、Ｂ1 、Ｂ2 に応じてオンオフされる。

【００４９】超音波モータ７０、駆動回路６０の構成に
ついては、上記に示した超音波モータ１０、駆動回路３
０とそれぞれ同じ構成となっているので詳細な説明は省
略する。

【００５０】次に、本発明の実施の形態における作用に
ついて、図面を参照しながら詳細に説明する。

【００５１】超音波モータ１０を駆動する場合、マイク
ロコンピュータ３２より駆動周波数信号が発振回路３４
へ出力される。発振回路３４はマイクロコンピュータ３
２より指定された駆動周波数で発振を開始する。

【００５２】電圧発生回路３８では、定電圧電源（図で
はＶｃｃで表す）からトランス１２０の１次側コイル１
２０Ａに電圧が供給され、デューティー制御回路１１４
から所定のタイミングでＭＯＳＦＥＴ１１０、１１２の
ゲートへスイッチング信号が入力されて、トランス１２
０の１次側コイル１２０Ａへの電流がオンオフされる。
そして、トランス１２０の２次側コイル１２０Ｂへ交流
電圧が誘起され、この交流電圧をダイオード１２２、１
２４で全波整流し、コイル１２６、コンデンサ１２８で
平滑化して直流電圧をＡ相増幅回路４２、Ｂ相増幅回路
４４へ供給する。

【００５３】スイッチング制御回路３６では、Ａ相増幅
回路４２、Ｂ相増幅回路４４のＭＯＳＦＥＴ９０、９
２、９４、９６をオンオフさせるスイッチング信号Ａ1
、Ａ2、Ｂ1 、Ｂ2 を出力する。

【００５４】このスイッチング信号は、図６に示す如
く、ＭＯＳＦＥＴ９０、９２、９４、９６のいずれか１
つを所定のデューティー比でオンオフさせ、かつそれ以
外のＭＯＳＦＥＴをオフ状態にすると共に、オンオフさ
せるＭＯＳＦＥＴを、駆動開始時の駆動信号の周波数ｆ
s の周期の１／４の周期毎に、ＭＯＳＦＥＴ９０、９
４、９２、９６の順に切り替える信号である。これによ
り、トランス１００、１０２の２次側コイル１００Ｂ、
１０２Ｂには各々周波数が駆動開始時の周波数ｆsで、
かつ位相が９０°異なる交流の駆動信号が誘起される。

【００５５】この駆動信号が圧電体１４Ａ、１４Ｂに供
給されることにより、超音波モータ１０の弾性体１２に
進行波が励起され、駆動軸１６およびロータ１８が回転
される。また、弾性体１２の振動は圧電素子２６によっ
て電気信号に変換され、フィードバック信号としてバン
ドパスフィルタを４０を介してマイクロコンピュータ３
２に入力される。さらに、超音波モータ１０に取り付け
られた回転センサ４６から、ロータ１８の回転速度に応
じた回転パルス信号がマイクロコンピュータ３２に入力
される。

【００５６】マイクロコンピュータ３２では、前記フィ
ードバック信号、回転パルス信号をモニタしながら、駆
動信号の周波数が超音波モータ１０の最適駆動周波数に
徐々に近づいて一致し、さらに最適駆動周波数を追従す
るように、オンオフさせるＭＯＳＦＥＴ９０、９２、９
４、９６を切り替えるタイミングを変更して駆動信号の
周波数を制御する。

【００５７】超音波モータ７０を駆動する場合も超音波
モータ１０と同様にして駆動されるので詳細な説明は省
略する。

【００５８】ここで、超音波モータ１０および超音波モ
ータ７０を同時に駆動した場合に、超音波モータ１０の
駆動電圧発生回路４８および超音波モータ７０の駆動電
圧発生回路（図示省略）から高電圧が出力されるため、
互いの発振回路３４、６４に静電誘導する場合がある
が、本形態では発振回路３４を金属板３３によって静電
シールドし、発振回路６４を図示しない金属板でシール
ドしているので静電誘導の発生を防ぐことができる。こ
のため、発振回路３４、６４から出力される発振周波数
が安定し、可聴音の発生を防止することができる。な
お、図１では発振回路３４全体を金属板３３で覆設して
いるが、これに限らず、図１０、１１に示す如く、発振
回路３４をサブボードに配設し、前記サブボードの一部
（または全部）を金属板３３で覆設するようにしてもよ
い。

【００５９】また、図９に発振回路３４、６４を静電シ
ールドする場合の他の例を示す。図９に示す如く、発振
回路３４を例えばプリント基板の表面に、超音波モータ
１０の駆動電圧発生回路４８をプリント基板の裏面にそ
れぞれ配置する。また、発振回路６４および超音波モー
タ７０の駆動電圧発生回路（図示省略）も同様に配置す
る。このため、駆超音波モータ１０の駆動電圧発生回路
４８および超音波モータ７０の駆動電圧発生回路（図示
省略）が発生する高電圧の影響が発振回路３４、６４に
及ぶことがないので静電誘導を抑制することができ、発
振回路３４、６４が出力する発振周波数が安定するので
可聴音を発生することがない。

【００６０】また、図９に示すように、基板と基板の間
に接地パターンを設けて張り合わせたプリント基板に発
振回路３４、６４および超音波モータ１０の駆動電圧発
生回路４８、超音波モータ７０の駆動電圧発生回路（図
示省略）を配設して、それぞれ基板と基板との間に設け
られた接地パターンに接地することでさらに静電誘導が
発生するのを抑制することができる。このため、発振回
路３４、６４から出力される発振周波数が安定し、可聴
音の発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る発振回路を示す斜視図である。

【図２】図１の側面断面図である。

【図３】超音波モータと、超音波モータ駆動回路の概略
構成を示すブロック図である。

【図４】複数の超音波モータと、超音波モータ駆動回路
の概略構成を示すブロック図である。

【図５】駆動電圧発生回路の例を示す回路図である。

【図６】スイッチング制御回路から出力されるスイッチ
ング信号と、トランスで誘起される駆動信号を示す線図
である。

【図７】超音波モータ駆動回路における電圧発生回路を
示す回路図である。

【図８】超音波モータの概略構成を示す一部断面斜視図
である。

【図９】発振回路と駆動電圧発生回路の配置の概略を示
す側面断面図である。

【図１０】発振回路と、金属板と、駆動電圧発生回路の
配置の概略を示す平面図である。

【図１１】図１０の側面図である。

【符号の説明】

１０、７０超音波モータ３０、６０駆動回路３２マイクロコンピュータ３３金属板（静電シールド手段）３４、６４発振回路４８駆動電圧発生回路５０定電圧電源５２、６２制御用電源９０、９２、９４、９６スイッチング素子１００、１０２トランス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】超音波モータの圧電体にトランスの２次
側コイルを接続し、前記トランスの１次側コイルにスイ
ッチング素子を接続して、前記スイッチング素子をオン
オフすることで前記トランスの２次側コイルへ交流の高
電圧を誘起して、前記超音波モータの駆動電圧を得る駆
動電圧発生回路および前記超音波モータの駆動周波数に
応じた周波数で発振する発振回路を備えた超音波モータ
の駆動回路であって、複数の超音波モータを同時に駆動
する場合において、それぞれの前記駆動電圧発生回路から出力される前記高
電圧による互いの発振回路への静電誘導を抑制するよう
に、それぞれの前記発振回路を静電シールドする静電シ
ールド手段を設けたことを特徴とする超音波モータの駆
動回路。
【請求項２】前記静電シールド手段が、金属板でそれ
ぞれの前記発振回路を覆設したことを特徴とする請求項
１記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項３】前記金属板が、リン青銅であることを特
徴とする請求項２記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項４】前記静電シールド手段が、プリント基板
の一方の面に前記発振回路を配設し、他方の面に前記駆
動電圧発生回路を配設したことを特徴とする請求項１記
載の超音波モータの駆動回路。
【請求項５】前記静電シールド手段が、少なくとも３
層以上の基板を張り合わせたプリント基板であり、それ
ぞれの基板の間に接地パターンを設けて、前記発振回路
と前記駆動電圧発生回路を前記接地パターンに接続した
ことを特徴とする請求項４記載の超音波モータの駆動回
路。