JPH11193120A

JPH11193120A - ビームコンベア

Info

Publication number: JPH11193120A
Application number: JP37043397A
Authority: JP
Inventors: Akira Sakagami; 章阪上
Original assignee: YATSU KOBO KK
Current assignee: YATSU KOBO KK
Priority date: 1997-12-30
Filing date: 1997-12-30
Publication date: 1999-07-21

Abstract

(57)【要約】【課題】可搬重量が大きく、動作姿勢の自由度があ
り、ライン構成が容易で、清浄度を維持して搬送できる
ビームコンベアを実現する。【解決手段】搬送物重量をハウジングに支持されたレー
ルにより上下両方向から支持する機構とし、動作姿勢を
自由にする。搬送ビームにローラ、ピンなどの部材を配
置してライン編成と環境雰囲気への対策を行なう。機構
の特徴を利用した用途開発として、搬入搬出をビームコ
ンベアで行ない、また、多数台を連結して同期運転を行
う。搬送ビームだけを清浄度維持空間に配置し、小規模
でメンテナンス容易な搬送路を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、搬送物を上下動なく直
進搬送するビームコンベアに関し、特に、搬送物の搬送
姿勢を水平・垂直・吊り下げなど自由に設定可能なビー
ムコンベアに関する。搬送物と搬送ビームに摩擦がな
く、原理的に発塵しない搬送方法なので、清浄度の維持
が必要な搬送用途にも使用可能である。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウォーキングビームを２系列組み
合わせてワークを直進搬送するビームコンベアとして
は、本件出願人の実用新案登録番号第３０３９２１３号
が存在する。図に示すように、２組の搬送ビーム列を交
互に作用させ搬送物を水平に搬送するビームコンベアに
おいて、リフト動作を行うリフトとリフトガイドにスト
ローク運動を与え、水平運動をリフト動作に変換する板
カムを、ストローク動作カム曲線とリフト動作カム曲線
を加算して得られる相対化リフト動作カム曲線により動
作させて搬送平面での等速搬送運動を得ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のビーム
コンベアには次に述べる欠点がある。搬送ビームは延長
しても同一の軌跡を描き搬送の機能を持つが、延長した
ビームの上に搬送物を載置すると、他端を持ち上げるモ
ーメントが発生するので、搬送ビームを延長して長い搬
送距離を得ることができない。また、搬送物重量が支持
ローラにより水平面から支えられるので、垂直姿勢や反
転した吊り下げ姿勢では搬送できない。

【０００４】搬送ビームに載置された搬送物の重力は、
一旦板カムにより支持され、リフトガイドを介して支持
ローラにより床面から支持されるが、リフト動作カムフ
ォロアは板カムの傾斜面に係合しているため、搬送物重
力に比例する分力が発生し、この分力はリフト動作丸棒
ＡＢとリフト動作スライダおよびカムフォロアを介して
相対リフト動作溝カムを押圧する。搬送物を等速移送す
る区間では、相対リフト動作溝カムは一定角度の傾斜を
持つので、分力はトルクを発生し駆動軸への負荷となる
から、モータ出力により対抗しなければならない。結果
として、搬送物重量による分力に対抗しうる出力のモー
タを用い、強度を保障するために駆動軸からリフト動作
丸棒にいたる運動伝達経路を高強度に設計しなければな
らない。

【０００５】リフトが動作するのに必要なハウジングの
開口部が搬送ビームの下にあるため、ハウジング内の機
構が発生する塵埃が搬送物に付着し、清浄度を維持でき
ない。

【０００６】本発明は、これらの問題点を設置姿勢を自
由にし、搬送物重力による分力の発生を無くすことによ
り解決するとともに、開発により拡大した機能を用いて
汎用性があり多様な用途を持つとともに、高い清浄度を
維持しながら搬送する搬送装置を実現することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】取付姿勢を自由にし、利
用形態を多様にするため、リフト機構に２組の支持ロー
ラを取り付け、上下からの荷重を転動により支持する。
板カムに設置面と平行な平坦部を設け搬送物重量が平坦
部に垂直に作用して分力を発生しない機構とした。リフ
ト動作カムフォロアが搬送ビームが搬送面にあるとき板
カムの平坦部に移動する機構としたので、どちらか１系
列の板カム平坦部により搬送物重量がハウジング又はレ
イルにより支持される。ハウジングの側面から駆動ビー
ムが張り出す構造とし側面の開口部をシールド板で閉鎖
した。

【０００８】

【作用】本発明によれば、スライド機構が上下方向とも
支持ローラにより転動支持されて移動するので、搬送ビ
ームの先端に搬送物が載置されても他端が持ち上がるこ
とが無く、設置姿勢が自由になり、ビームに多様な搬送
物に対応する機能を付加して、多様な搬送物を搬送可能
にした。搬送物重量が板カムの平坦部で支えられて移動
するので、搬送物重量が駆動軸の負担になるトルクを発
生させない。ハウジングの側面から駆動ビームが張り出
す構造として、ハウジング上面を待機リフト等が設置可
能にし、また、開口部からの塵埃の移動による汚染を防
止した。

【０００９】

【実施例】本発明における実施例を図面にもとずいて説
明する。図１（ａ）は本発明の実施例の側面図、図１
（ｂ）は断面図である。本発明は２組のウォーキングビ
ーム機構により構成されるが、簡単のために、まず１組
について説明する。図１（ａ）において、モータ２１は
カップリング２０と駆動軸１９を介して円筒カム１４を
回転させる。円筒カムが回転すると、円筒カムに加工さ
れた往復動作溝カム１６により往復動作スライダ４が運
動し、相対化リフト溝カム１７によりリフトスライダ３
が運動する。往復動作溝カム１６は、図２に示すＦ１の
カム曲線で加工されており、往復動作丸棒Ａ７によりリ
フトガイド９とリフト１０に等速運動と早戻り運動から
なる往復運動を与える。相対化リフト溝カム１７は、図
２に示すリフトカム曲線Ｆ２に往復運動カム曲線Ｆ１を
加えて得られるＦ３のカム曲線により加工されており、
リフト動作丸棒Ａ８を介して板カム１１を水平方向に運
動させる。板カム１１の作用により、リフト１０に取付
けられたリフト動作カムフォロア１２によって運動方向
が垂直方向に変換されるので、リフト１０は垂直方向の
運動を得るが、リフト１０はすでに往復動作溝カム１６
により往復運動カム曲線Ｆ１による往復運動が与えられ
ており、リフトカム曲線Ｆ２による運動のみが相対運動
により取り出される。結果として、モータ２１が回転す
ると搬送ビーム列Ａ２は搬送面の高さで等速運動を行
い、その終端で下降し、下降位置で早戻り運動を行い、
さらに上昇して搬送面に戻る一連の搬送動作を繰り返
す。往復運動カム曲線の等速区間は１８０度以上に割り
付けられている。

【００１０】従来例では、搬送ビーム２の一端に搬送物
Ｗが載置されると、他端が図中Ｍで示す方向へ浮き上が
るので、重量物が搬送できず、往復動作丸棒７とリフト
動作丸棒Ａ８の負荷になっていた。本発明では、リフト
ガイド９の上下に指示ローラ１３を取付け、上下のレイ
ル２４に接して転動する機構としたので、搬送物Ｗの重
量によるモーメントがレイル２４を介してハウジングに
より支持され重量物の搬送が可能であり、また、設置姿
勢が自由になった。

【００１１】図１（ｂ）において、前記のウォーキング
ビームに対向するもう一組の同様のウォーキングビーム
が表わされており、往復動作丸棒Ｂ２２とリフト動作丸
棒２３を代表して図上に指示した。

【００１２】図２は、相対化リフトカム曲線の説明図で
ある。図において、Ｆ１は往復動作カム曲線、Ｆ２はリ
フト動作カム曲線、Ｆ３は相対化リフト動作カム曲線で
ある。等速送り動作曲線と早戻り動作曲線を組み合わせ
た往復動作カム曲線と、搬送ビーム列の上下動作の時期
を決めるリフト動作カム曲線を加算して相対化リフト動
作カム曲線が得られる。

【００１３】図２に示すように、往復動作溝カム１６と
相対化リフト動作溝カム１７へのカムフォロアの係合位
置は位相を１８０度ずらせてある。この構成により搬送
ビーム列Ａ（２）と搬送ビーム列Ｂ（１）が搬送面でオ
ーバーラップしながら等速運動を交互に繰り返すので、
搬送物は上下運動することなく等速度で搬送される。

【００１４】図３に板カムに平坦部を設けた機構の部分
図を示す。搬送ビーム上の搬送物は平坦部によって支持
されるので、横方向への分力が発生せず、従来例で見ら
れた円筒カムへの搬送物重力による負荷が無くなる。

【００１５】図４（ａ）はアウターローラモータ４１を
円筒カム４２の内部に設置した部分図である。従来例の
図４（ｂ）と比較すると小型になり、駆動軸の共振がな
くなり、部品点数が減少するので制作費が安価になる。
アウターローラモータは減速機を内蔵したものが多機種
市販されている。

【００１６】図５は搬送装置を反転して、吊り下げ搬送
を行う方法を示す。搬送ビームをハンガーにより支持し
て搬送動作を伝達する。図５（ａ）は正面図、図５
（ｂ）はハンガーを搬送ビームの両側に配置した両持ち
構造、図５（ｃ）は搬送ビームの片側に配置した片持ち
構造を示す。リフトは図３に記号Ｌで示すように、先端
を下方向に取り出す。

【００１７】図６は搬送装置を垂直に対向させて配置
し、搬送ビームに搬送ストロークに等しいピッチで等間
隔でピンを多数配位置し、垂直方向に板状の搬送物を上
または下方向に搬送する装置を示す。機構部分を下方に
配置し、搬送ビームを延長して清浄度管理空間で作動さ
せるので、清浄度が容易に保て、高温などの特殊雰囲気
でも使用できる。

【００１８】図７は搬送装置を横姿勢で対向させて配置
し、高さ方向に長い搬送物を搬送する装置で、転倒を防
止して搬送できる。

【００１９】図８（ａ）は搬送ビーム列の一組を１搬送
ピッチ入口側に延長し、あるいは、搬送ビーム列の１組
を１搬送ピッチ出口側に延長して、載物台からの取り入
れと、載物台への取り出しを行う機能を説明する図であ
る。図８（ｂ）は、搬送物に衝撃を与えずに移載するた
めのリフト動作線図を示す。

【００２０】図９に１搬送ピッチ毎に台板を載置し、台
板上の搬送物を搬送する装置を示す。台板上にリブ、治
具、取付具等を形成して多様な搬送物を搬送できる。

【００２１】図１０に搬送ビームによって多連結合され
た搬送装置が１台のモータで同期動作する装置を示す。
図１０（ｂ）に駆動ビームコンベアと従動ビームコンベ
アが駆動力を伝達する原理を示す。等速区間で駆動ビー
ムコンベアの搬送ビームが従動ビームコンベアの往復動
作丸棒と往復動作スライダを介して往復動作カムフォロ
アにより横方向に往復動作溝カムを押圧する結果、圧力
角に応じた回転トルクが発生し円筒カムが回転する。早
戻り動作区間でも同様であり、圧力角が大きいから等速
区間より大きなトルクを伝達しているが、一定でないの
で計算が困難である。

【００２２】図１１に縦方向ローラを配置した搬送ビー
ムの部分図を示す。搬送物は外力により図（ｂ）の紙面
の左右方向に転動により移動できるので、搬送装置が停
止していても左方向に取り出すことが出来、また、搬送
中でも外力により搬送物を停止させることが出来る。縦
方向ローラは、必要に応じて搬送ビームの全体又は一部
分に施すことが出来る。

【００２３】図１２に横方向ローラを配置した搬送ビー
ムの部分図を示す。搬送物は外力により図（ｂ）の紙面
の前後方向に転動により移動できるので、搬送装置が停
止していても前後方向に取り出すことが出来、また、搬
送中でもプッシャーを作用させて搬送ラインを変更する
ことが出来る。横方向ローラは、必要に応じて搬送ビー
ムの全体又は一部分に施すことが出来る。

【００２４】図１３に真空吸着ピットを形成した搬送ビ
ームを示す。底面に平面形状を持つ平板やフィルム等の
搬送物を傾斜姿勢や反転姿勢で搬送できる。本発明の特
長として配管経路は揺動して移動しないから、柔軟性チ
ューブの配管により真空経路を真空吸着ピットに接続で
きる。また、搬送物をセンサで検出し、バルブを操作し
て所要の真空吸着ピットに真空経路を接続することが出
来る。真空吸着ピットは、必要に応じて搬送ビームの全
体又は一部分に施すことが出来る。

【００２５】図１４に支持ピンを配置した搬送ビームの
部分図を示す。底面に平面形状を持つ平板等の搬送物を
搬送し、環境雰囲気がほぼ上下全面に作用するので、処
理装置に適した搬送ビームである。紫外線照射装置、超
音波洗浄装置、遠赤外線加熱オーブン等では上下両面を
処理でき、クリーン搬送装置では搬送物の周囲を清浄気
体で満たして搬送できる。

【００２６】図１５に搬送ビームを移動して搬送ライン
を変更し、あるいは、搬送物の幅に応じて調整する機構
を示す。

【００２７】図１６にハウジングの側面から駆動ビーム
を張り出したビームコンベアを示す。ハウジング上面が
付加装置の取付面になるので、他用途に展開が可能にな
る。側面の開口部にシールド板を取付けたので、ハウジ
ングとの隙間から気体が流通するにすぎず、ハウジング
内部を吸引排気して発塵を排除するに際して、排気量が
低減できる。

【００２８】図１７に搬送ビームを帯電防止素材のトン
ネル内に配置し、トンネル内を清浄気体で満たして搬送
物を清浄度を維持しながら搬送する、クリーン搬送路を
示す。清浄気体の消費量が僅かであり、維持費用が低減
するとともに、清浄度維持空間を開放せずに機構部分の
メンテナンスが行え、メンテナンス時間が短縮でき運転
再開のための払拭作業が無くなる。

【００２９】液圧式又は電気式のリニアサーボアクチュ
エータでビームコンベアを駆動すると動作特性の調整・
変更がソフトウェアで行なえるのでメンテナンスが容易
になり、高寿命のビームコンベアが実現する。

【００３０】

【発明の効果】上述した本発明のビームコンベアによれ
ば、作動姿勢の自由度が増し、垂直姿勢、反転姿勢で使
用出来る。搬送ラインの変更が容易で、多様なライン編
成ができる。同一出力のモータを使用して、比較的に重
量のある搬送物を搬送でき、省エネルキーの装置が実現
できる。また、清浄度を維持しながら、低いコストで搬
送できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の実施例の正面図。（ｂ）は矢
印Ｐにおける断面図。

【図２】本発明の実施例の動作線図。

【図３】本発明の請求項３に関する部分図。

【図４】本発明の請求項４に関する部分図。

【図５】（ａ）は本発明の請求項５に関する部分図。
（ｂ）は両持ちハンガーによる側面図。（ｃ）は片持ち
ハンガーによる側面図。

【図６】（ａ）は本発明の請求項６に関する正面図。
（ｂ）は矢印Ｑにおける断面図。

【図７】（ａ）は本発明の請求項７に関する正面図。
（ｂ）は側面図。（ｃ）は搬送ビームを示す部分図。

【図８】（ａ）は本発明の請求項８に関する正面図。
（ｂ）はリフト動作の動作線図。

【図９】本発明の請求項９に関する正面図

【図１０】（ａ）は本発明の請求項１０に関する正面
図。（ｂ）は動作原理を説明する部分図。

【図１１】（ａ）は本発明の請求項１１に関する部分
図。（ｂ）はその側面図。

【図１２】（ａ）は本発明の請求項１２に関する部分
図。（ｂ）はその側面図。

【図１３】（ａ）は本発明の請求項１３に関する部分
図。（ｂ）はその側面図。

【図１４】（ａ）は本発明の請求項１４に関する部分
図。（ｂ）はその側面図。（ｃ）、（ｄ）は拡大部分
図。

【図１５】本発明の請求項１５に関する側面図。

【図１６】本発明の請求項１６に関する側面図。

【図１７】本発明の請求項１７に関する部分断面図図

【図１８】（ａ）は本発明の請求項１８に関する正面
図。（ｂ）は矢印Ｒにおける断面図。

【図１９】（ａ）は従来例の正面図。（ｂ）は矢印Ｓに
おける断面図。

【符号の説明】

１：搬送ビーム列Ｂ１６：往復動作
溝カム（Ｆ１）２：搬送ビーム列Ａ１７：相対リフ
ト動作溝カム（Ｆ３）３：リフト動作スライダ１８：ハウジン
グ４：往復動作スライダ１９：駆動軸５：固定ねじ２０：カップリ
ング６：直動ベアリング２１：モータ７：往復動作丸棒Ａ２２：往復動作
丸棒Ｂ８：リフト動作丸棒Ａ２３：リフト動
作丸棒Ｂ９：リフトガイド２４：レイル１０：リフト１１：板カム１２：リフト動作カムフォロア１３：支持ローラ１４：円筒カム１５：往復動作カムフォロア３１：搬送ビーム４１：アウター
ロータモータ３２：リフト４２：円筒カム３３：リフトガイド４３：固定ねじ３４：支持ローラ４４：固定フラ
ンジ３５：レイル４５：中空固定
軸３６：リフト動作カムフォロア４６：電線３７：板カムＦ：平坦面５１：ビームコンベア５４：搬送ビー
ムＡ５２：両持ちハンガー５５：搬送ビー
ムＢ５３：片持ちハンガーＷ：搬送物６１：ビームコンベア７
０：チャンバー６２：ビームコンベア７
１：ＨＥＰＡフィルタ６３：中空軸モータ７２
ａ，７１ｂ：開口部６４ａ，６４ｂ，６５ａ，６５ｂ：ビーム７
３：搬送物（基板）６６ａ，６６ｂ：ピン６７ａ，６７ｂ：ウォームギアユニット６８ａ，６８ｂ：カップリング６９：連結軸７５：ビームコンベアＡ８
１：ビームコンベア７６：ビームコンベアＢ８
２：搬送ビーム７７：ヨーク８
３：搬送ビーム７８：搬送ビームＡ８
４：入口支持台７９：搬送ビームＢ８
５：出口支持台８０：枠体Ｓ：
１搬送ストロークＷ：搬送物Ｍ
Ｓ：変形正弦曲線ＨＯ：リフト下限Ｈ１：受渡し高さＨ２：搬送高さ８６：ビームコンベアＷ：
搬送物８７：台板Ｓ：
１搬送ストローク８８：リブ８９：駆動ビームコンベア９
２：モータ９０：従動ビームコンベア９
３：駆動円筒カム９１：処理チャンバー９
４：従動円筒カム９５：搬送ビーム９６：リフト機構１００：搬送ビーム１０３：
搬送ビーム１０１：ローラ１０４：
ローラ１０２：ピン１０５：
ピン１０６：搬送ビーム１１１：
搬送ビーム１０７：吸着ピット１１２：
支持ピン１０８：孔１０９：継手１１０：柔軟性チューブ１１３：ビームコンベア１２０：
ビームコンベア１１４：リフト上端１２１：
リフト上端１１５：駆動ビーム１２２：
駆動ビーム１１６：リニアベアリング１２３：
リニアベアリング１１７：支持板１２４：
支持板１１８：搬送ビームＡ１２５：
搬送ビームＡ１１９：搬送ビームＢ１２６：
搬送ビームＢ１２７：ビームコンベア１４０：
ビームコンベア１２８：リフト上端１４１：
トンネル１２９：駆動ビーム１４２：
清浄気体区域１３０：支持板１４３：
還流区域１３１：搬送ビームＡ１４４：
隔壁１３２：搬送ビームＢ１４５：
搬送ビーム１３３：シールド板Ｗ：搬送
物（ウェハカセット）Ｕ：ハウジング上面

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年４月２８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図２】本発明の実施例の動作線図。

【図３】本発明の請求項３に関する部分図。

【図４】本発明の請求項４に関する部分図。

【図９】本発明の請求項９に関する正面図

【図１５】（ａ）は本発明の請求項１５に関しする側面
図。

【図１６】本発明の請求項１６に関する側面図。

【図１７】本発明の請求項１７に関する部分断面図

【図１８】（ａ）は従来例の正面図。（ｂ）は矢印Ｓに
おける断面図。

【符号の説明】１：搬送ビーム列Ｂ１６：往復動作
溝カム（Ｆ１）２：搬送ビーム列Ａ１７：相対リフ
ト動作溝カム（Ｆ３）３：リフト動作スライダ１８：ハウジン
グ４：往復動作スライダ１９：駆動軸５：固定ねじ２０：カップリ
ング６：直動ベアリング２１：モータ７：往復動作丸棒Ａ２２：往復動作
丸棒Ｂ８：リフト動作丸棒Ａ２３：リフト動
作丸棒Ｂ９：リフトガイド２４：レイル１０：リフト１１：板カム１２：リフト動作カムフォロア１３：支持ローラ１４：円筒カム１５：往復動作カムフォロア３１：搬送ビーム４１：アウター
ロータモータ３２：リフト４２：円筒カム３３：リフトガイド４３：固定ねじ３４：支持ローラ４４：固定フラ
ンジ３５：レイル４５：中空固定
軸３６：リフト動作カムフォロア４６：電線３７：板カムＦ：平坦面５１：ビームコンベア５４：搬送ビー
ムＡ５２：両持ちハンガー５５：搬送ビー
ムＢ５３：片持ちハンガーＷ：搬送物６１：ビームコンベア７０：
チャンバー６２：ビームコンベア７１：
ＨＥＰＡフィルタ６３：中空軸モータ７２
ａ，７１ｂ：開口部６４ａ，６４ｂ，６５ａ，６５ｂ：ビーム７３：
搬送物（基板）６６ａ，６６ｂ：ピン６７ａ，６７ｂ：ウォームギアユニット６８ａ，６８ｂ：カップリング６９：速結軸７５：ビームコンベアＡ８１：
ビームコンベア７６：ビームコンベアＢ８２：
搬送ビーム７７：ヨーク８３：
搬送ビーム７８：搬送ビームＡ１８４：
入口支持台７９：搬送ビームＡ２８５：
出口支持台８０：枠体Ｓ：１
搬送ストロークＷ：搬送物ＭＳ：
変形正弦曲線Ｈ０：リフト下限Ｈ１：受渡し高さＨ２：搬送高さ８６：ビームコンベアＷ：搬
送物８７：台板Ｓ：１
搬送ストローク８８：リブ８９：駆動ビームコンベア９２：
モータ９０：従動ビームコンベア９３：
駆動円筒カム９１：処理チャンバー９４：
従動円筒カム９５：搬送ビーム９６：リフト機構１００：搬送ビーム１０３：
搬送ビーム１０１：ローラ１０４：
ローラ１０２：ピン１０５：
ピン１０６：搬送ビーム１１１：
搬送ビーム１０７：吸着ピット１１２：
支持ピン１０８：孔１０９：継手１１０：柔軟性チューブ１１３：ビームコンベア１２０：
ビームコンベア１１４：リフト上端１２１：
リフト上端１１５：駆動ビーム１２２：
駆動ビーム１１６：リニアベアリング１２３：
リニアベアリング１１７：支持板１２４：
支持板１１８：搬送ビームＡ１２５：
搬送ビームＡ１１９：搬送ビームＢ１２６：
搬送ビームＢ１２７：ビームコンベア１４０：
ビームコンベア１２８：リフト上端１４１：
トンネル１２９：駆動ビーム１４２：
清浄気体区域１３０：支持板１４３：
還流区域１３１：搬送ビームＡ１４４：
隔壁１３２：搬送ビームＢ１４５：
搬送ビーム１３３：シールド板Ｗ：搬送
物Ｕ：ハウジング上面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】本発明は、２系列のウォーキングビー
ムの動作により成り立ち、搬送面における等速運動と搬
送面から待避した位置での早戻り運動をストローク運動
として繰り返す１系列のウォーキングビームの動作が、
位相を１８０度違えて同一の運動を繰り返す他の系列の
ウォーキングビームの搬送面における等速運動動作と、
オーバーラップしながら継続して搬送物に作用すること
により、搬送物の直進等速搬送運動を得ることを特徴と
する２系列のウォーキングビームによる直進搬送装置に
おいて、延長したビーム先端に搬送物を積載しても他端
が浮き上がらず、姿勢を縦姿勢、横姿勢、傾斜姿勢、反
転姿勢に設定して作動し、よって多様な応用分野で使用
可能であることを特徴とする２系列のウォーキングビー
ム機構による直進搬送ビームコンベア。
【請求項２】請求項１において、ハウジング内部に
搬送方向に平行なレイルを設置し、往復動作スライダに
取付けた支持ローラによりレイルの上下両面を転動支持
することにより、ビーム先端に搬送物が積載されても他
端が浮き上がらず、搬送物の荷重が上下どちらの方向か
ら作用しても搬送物の重量をハウジングで支持して搬送
動作を行い、姿勢を縦姿勢横姿勢、傾斜姿勢、反転姿
勢に設定しても作動しすることを特徴とする２系列のウ
ォーキングビーム機構による直進搬送ビームコンベア。
【請求項３】請求項１において、リフト機構にある
運動方向変換体にストローク運動の方向と平行な平坦部
を設け、搬送物の荷重によるストローク方向への分力が
発生せず、常にどちらか１系列のウォーキングビームの
平坦部で搬送物の荷重を支持して搬送することを特徴と
する２系列のウォーキングビーム機構による直進搬送ビ
ームコンベア。
【請求項４】請求項１において、円筒カムの内部に
原動機と減速機を配置し、駆動軸を無くして駆動機構を
小型化したことを特徴とする２系列のウォーキングビー
ムによる直進搬送ビームコンベア。
【請求項５】請求項１において、搬送装置を反転し
た吊り下げ姿勢で設置し、両持ちあるいは片持ちのハン
ガーにより搬送ビームに動作を伝達することにより、搬
送面の下のスペースが僅かの設置場所で動作し、また、
液槽中に搬送ビームを浸漬して搬送し、さらに、液体の
付着した搬送物を搬送することを特徴とする２系列のウ
ォーキングビーム機構による直進搬送ビームコンベア。
【請求項６】請求項１において、２組のウォーキン
グビームによる搬送装置を搬送ビームを対向させて垂直
姿勢で設置し、搬送ビームにフック、ピン等搬送物を保
持する手段を設けて搬送物を支持し、搬送物を垂直方向
に搬送することを特徴とするウォーキングビームによる
直進搬送ビームコンベア。
【請求項７】請求項１において、２組のウォーキン
グビームによる搬送装置の搬送ビームを対向させて横姿
勢で設置し、搬送ビームにピン、ゴム、ばね、凹凸等搬
送物を保持する手段を設けて、搬送物を把持して搬送す
ることを特徴とする２系統ののウォーキングビームによ
る直進搬送ビームコンベア。
【請求項８】請求項１において、１組のウォーキン
グビームの搬送ビームを入口側に１ストロークピッチ延
長し、あるいは、出口側に１組のウォーキングビームの
搬送ビームを１ストロークピッチ延長して、入口側にあ
る支持台から搬送物を取り込み、あるいは、出口側にあ
る支持台へ搬送物を取り出すことを特徴とする２系列の
ウォーキングビームによる直進搬送ビームコンベア。
【請求項９】請求項１において、搬送ビーム上に台
板を１搬送ストローク毎に載置し、台板にリブ、容器、
治具、固定具等を形成して、底面が不定形の搬送物を搬
送することを特徴とする複数のウォーキングビームによ
る直進搬送装置。
【請求項１０】請求項１において、１台の原動機を
持つ搬送装置を駆動搬送装置とし、原動機を持たない複
数の搬送装置を従動搬送装置として搬送ビームにより連
結し、搬送ビームの押引動作を従動搬送装置で回転運動
に変換することにより、１台の原動機により複数の搬送
装置を同期運転することを特徴とする２系列のウォーキ
ングビームによる直進搬送ビームコンベア。
【請求項１１】請求項１において、搬送ビームの全
長あるいは特定の区間に、搬送方向に回転可能な転動体
を取り付け、ストッパーによる外力が作用すると搬送装
置が作動していても搬送物が停止し、取り出しアームが
作用すると搬送装置が作動していなくても搬送物を転動
体の転動により支持して搬出することを特徴とする２系
列のウォーキングビームによる直進搬送ビームコンベ
ア。
【請求項１２】請求項１において、搬送物の全長あ
るいは特定の区間に搬送方向に直交する方向に回転可能
な転動体を取り付け、斜め案内板やプッシャーの作動に
より搬送物の横方向からの搬入と取り出しを行うことを
特徴とする２系列のウォーキングビームによる直進搬送
ビームコンベア。
【請求項１３】請求項１において、搬送ビームの全
長あるいは特定の区間に真空吸着ピットを設け、板状あ
るいはシート状の搬送物を搬送ビームに吸着固定して搬
送することを特徴とする複２系列のウォーキングビーム
による直進搬送ビームコンベア。
【請求項１４】請求項１において、搬送ビームに複
数の搬送物支持ピンを取り付け、搬送物を複数のピン先
端点で支持して搬送することを特徴とする２系列のウォ
ーキングビームによる直進搬送ビームコンベア。
【請求項１５】請求項１において、駆動ビームと支
持板の取付部分に滑り対偶や転がり対偶を用いて搬送ビ
ームが駆動ビーム上を移動できる構造とし、または支持
板の取付部分を着脱できる構造として、搬送物の幅に応
じて搬送ビームの位置を手動又は自動で変更可能であ
り、搬送物の進路を変更可能であることを特徴とする２
系列のウォーキングビームによる直進搬送ビームコンベ
ア。
【請求項１６】請求項１において、ハウジングの側
面から駆動ビームを張り出し、支持板を介して搬送ビー
ムを動作させることにより、ハウジング上面に待機リフ
ト、センサ、位置決め装置等が設置可能であり、また清
浄度が管理された空間では清浄気体のダウンフローが有
効に作用し、ハウジング開口部からの発塵が搬送物に付
着せず、搬送物の汚染を防止して搬送することを特徴と
する２系列のウォーキングビームによる直進搬送ビーム
コンベア。
【請求項１７】請求項１において、搬送路を帯電防
止プレートによりトンネル状に形成し、搬送路を清浄度
を管理した気体により満たし、搬送ビームだけを搬送路
に配置して、搬送物に汚染微粒子が付着せず、清浄度を
維持して搬送することを特徴とする２系列のウォーキン
グビームによる直進搬送ビームコンベア。
【請求項１８】請求項１において、円筒カムによる
駆動を廃止し、液圧または電気式のリニアサーボアクチ
ュエータにより、図２に示す同一の動作線図に従う駆動
を行なって搬送することを特徴とする２系列のウォーキ
ングビームによる直進搬送ビームコンベア。