JPH11197406A - 超音波脱泡槽 - Google Patents
超音波脱泡槽Info
- Publication number
- JPH11197406A JPH11197406A JP10020253A JP2025398A JPH11197406A JP H11197406 A JPH11197406 A JP H11197406A JP 10020253 A JP10020253 A JP 10020253A JP 2025398 A JP2025398 A JP 2025398A JP H11197406 A JPH11197406 A JP H11197406A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defoaming
- ultrasonic
- liquid
- tank
- defoaming tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims description 15
- 238000005187 foaming Methods 0.000 claims description 7
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 claims description 3
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 1
- 239000012085 test solution Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 効率よく脱泡できる脱泡槽を提供する。
【解決手段】 下部を互いに連通させて上流側と下流側
とに配置された２つの脱泡槽２，３の各底部に、それぞ
れ超音波振動子７，１０を取り付け、上流側の脱泡槽２
に取り付けた超音波振動子７は駆動周波数を低く、か
つ、出力を大に設定してその脱泡槽３内に導入した液体
の発泡を促進させる一方、下流側の脱泡槽３に取り付け
た超音波振動子１０は駆動周波数を高く、かつ、出力を
小に設定してその脱泡槽３内の液体中の気泡同士を集合
させるように構成する。
とに配置された２つの脱泡槽２，３の各底部に、それぞ
れ超音波振動子７，１０を取り付け、上流側の脱泡槽２
に取り付けた超音波振動子７は駆動周波数を低く、か
つ、出力を大に設定してその脱泡槽３内に導入した液体
の発泡を促進させる一方、下流側の脱泡槽３に取り付け
た超音波振動子１０は駆動周波数を高く、かつ、出力を
小に設定してその脱泡槽３内の液体中の気泡同士を集合
させるように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液体中に存在する気
泡を取り除くための超音波脱泡槽に関する。
泡を取り除くための超音波脱泡槽に関する。
【０００２】
【従来の技術】液体の光学的計測の分野等においては、
被検液中に含まれる気泡による外乱の影響を低減させる
ために、従来では、例えば図５に示すように、脱泡槽ａ
の側面に接続した導入配管ｂから脱泡槽ａ内に被検液ｃ
を導入してその脱泡槽ａ内で流速を低下させることによ
り気泡を上方に集めて気液を分離し、排気管ｄから気体
を排出させる一方、脱泡槽ａの底部に接続した配管ｅか
ら気体分離後の被検液ｃを分析計（図示省略）に送給す
るようにしていた。
被検液中に含まれる気泡による外乱の影響を低減させる
ために、従来では、例えば図５に示すように、脱泡槽ａ
の側面に接続した導入配管ｂから脱泡槽ａ内に被検液ｃ
を導入してその脱泡槽ａ内で流速を低下させることによ
り気泡を上方に集めて気液を分離し、排気管ｄから気体
を排出させる一方、脱泡槽ａの底部に接続した配管ｅか
ら気体分離後の被検液ｃを分析計（図示省略）に送給す
るようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上述したよ
うな気液分離方法では、比較的大きな気泡は分離できる
が、微小な気泡は液体中に分散した状態のままとなって
上方に集まりにくく、特に、粘性の高い液体では完全な
気液の分離は難しく、気泡が完全に取り除かれない状態
で分析測定がおこなわれることが多く、測定精度の向上
を図ることが難しかった。
うな気液分離方法では、比較的大きな気泡は分離できる
が、微小な気泡は液体中に分散した状態のままとなって
上方に集まりにくく、特に、粘性の高い液体では完全な
気液の分離は難しく、気泡が完全に取り除かれない状態
で分析測定がおこなわれることが多く、測定精度の向上
を図ることが難しかった。
【０００４】本発明はこのような実情に鑑みてなされ、
効率よく脱泡できる脱泡槽を提供することを目的として
いる。
効率よく脱泡できる脱泡槽を提供することを目的として
いる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、請求項１に記載の発明では、脱泡容器に超音波振動
子を取り付け、その脱泡容器内に導入した液体に超音波
振動を与えることにより、液体の発泡を促進させ、ある
いは気泡同士を集合させるように構成したことを特徴と
している。
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、請求項１に記載の発明では、脱泡容器に超音波振動
子を取り付け、その脱泡容器内に導入した液体に超音波
振動を与えることにより、液体の発泡を促進させ、ある
いは気泡同士を集合させるように構成したことを特徴と
している。
【０００６】請求項２に記載の発明では、筒状の脱泡槽
の側壁の上部と下部にそれぞれ超音波振動子を取り付
け、上側の超音波振動子は駆動周波数を低く、かつ、出
力を大に設定してその脱泡槽内に導入した液体の発泡を
促進させる一方、下側の超音波振動子は駆動周波数を高
く、かつ、出力を小に設定してその脱泡槽内の液体中の
気泡同士を集合させるように構成したことを特徴として
いる。
の側壁の上部と下部にそれぞれ超音波振動子を取り付
け、上側の超音波振動子は駆動周波数を低く、かつ、出
力を大に設定してその脱泡槽内に導入した液体の発泡を
促進させる一方、下側の超音波振動子は駆動周波数を高
く、かつ、出力を小に設定してその脱泡槽内の液体中の
気泡同士を集合させるように構成したことを特徴として
いる。
【０００７】請求項３に記載の発明では、下部を互いに
連通させて上流側と下流側とに配置された２つの脱泡槽
の各底部に、それぞれ超音波振動子を取り付け、上流側
の脱泡槽に取り付けた超音波振動子は駆動周波数を低
く、かつ、出力を大に設定してその脱泡槽内に導入した
液体の発泡を促進させる一方、下流側の脱泡槽に取り付
けた超音波振動子は駆動周波数を高く、かつ、出力を小
に設定してその脱泡槽内の液体中の気泡同士を集合させ
るように構成したことを特徴としている。
連通させて上流側と下流側とに配置された２つの脱泡槽
の各底部に、それぞれ超音波振動子を取り付け、上流側
の脱泡槽に取り付けた超音波振動子は駆動周波数を低
く、かつ、出力を大に設定してその脱泡槽内に導入した
液体の発泡を促進させる一方、下流側の脱泡槽に取り付
けた超音波振動子は駆動周波数を高く、かつ、出力を小
に設定してその脱泡槽内の液体中の気泡同士を集合させ
るように構成したことを特徴としている。
【０００８】液体に超音波振動を与えることにより、液
体中に溶存している気体の発泡が促進され、あるいは気
泡同士を集合させることができ、効率のよい脱泡が可能
となる。
体中に溶存している気体の発泡が促進され、あるいは気
泡同士を集合させることができ、効率のよい脱泡が可能
となる。
【０００９】特に、高エネルギーで周波数の低い超音波
振動を与えることによって液体中に超音波キャビテーシ
ョンを発生させ、積極的に発泡を促進させることがで
き、また、周波数が高く、低エネルギーの超音波振動を
与えることによって液体中に静かに超音波定在波を発生
させ、気泡同士を集合させることができ、併せて効率の
高い脱泡が可能となる。
振動を与えることによって液体中に超音波キャビテーシ
ョンを発生させ、積極的に発泡を促進させることがで
き、また、周波数が高く、低エネルギーの超音波振動を
与えることによって液体中に静かに超音波定在波を発生
させ、気泡同士を集合させることができ、併せて効率の
高い脱泡が可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の超音波脱泡槽の実施形態
を図面に基づいて詳細に説明する。図１は２つの脱泡槽
を直列に接続した場合の構成図で、符号１は液体導入
管、２は第１脱泡槽、３は第２脱泡槽、４は第１脱泡槽
２と第２脱泡槽３とを接続する接続管、５，６は排気
管、７は第１脱泡槽２の底部に取り付けられた第１超音
波振動子、８は第１超音波振動子７を駆動させるための
電源、９は第１超音波振動子７を固定するためのナッ
ト、１０は第２脱泡槽３の底部に取り付けられた第２超
音波振動子、１１は第２超音波振動子１０を駆動させる
ための電源、１２は第２超音波振動子１０を固定するた
めのナット、１３は液体導出管である。
を図面に基づいて詳細に説明する。図１は２つの脱泡槽
を直列に接続した場合の構成図で、符号１は液体導入
管、２は第１脱泡槽、３は第２脱泡槽、４は第１脱泡槽
２と第２脱泡槽３とを接続する接続管、５，６は排気
管、７は第１脱泡槽２の底部に取り付けられた第１超音
波振動子、８は第１超音波振動子７を駆動させるための
電源、９は第１超音波振動子７を固定するためのナッ
ト、１０は第２脱泡槽３の底部に取り付けられた第２超
音波振動子、１１は第２超音波振動子１０を駆動させる
ための電源、１２は第２超音波振動子１０を固定するた
めのナット、１３は液体導出管である。
【００１１】上述の第１，第２超音波振動子７，１０
は、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛、チタン酸バリウ
ム、あるいはニオブ酸リチウム等の圧電性をもつセラミ
ックス材や水晶等の圧電素子よりなり、これらは、交流
電圧が印加されると、その厚みが変化して超音波を発生
し、その振動数と出力は電源８，１１によって適宜に設
定変更が可能である。
は、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛、チタン酸バリウ
ム、あるいはニオブ酸リチウム等の圧電性をもつセラミ
ックス材や水晶等の圧電素子よりなり、これらは、交流
電圧が印加されると、その厚みが変化して超音波を発生
し、その振動数と出力は電源８，１１によって適宜に設
定変更が可能である。
【００１２】その第１超音波振動子７の電源８は周波数
を低く（例えば15〜50 KHz）、かつ、出力を大に（例え
ば 10Kw/ｍ2 〜100Kw/ｍ2 ）設定され、これにより、第
１脱泡槽２内では、高エネルギーの超音波振動によって
液体中に超音波キャビテーションを発生させ、液体中に
溶存している微小な気泡を積極的に発泡させ、液中より
脱離した気体を排気管５から外部に排出させる一方、下
澄みの液体が接続管４を介して第２脱泡槽３に移動す
る。
を低く（例えば15〜50 KHz）、かつ、出力を大に（例え
ば 10Kw/ｍ2 〜100Kw/ｍ2 ）設定され、これにより、第
１脱泡槽２内では、高エネルギーの超音波振動によって
液体中に超音波キャビテーションを発生させ、液体中に
溶存している微小な気泡を積極的に発泡させ、液中より
脱離した気体を排気管５から外部に排出させる一方、下
澄みの液体が接続管４を介して第２脱泡槽３に移動す
る。
【００１３】第２超音波振動子１０の電源１１は、周波
数を高く（例えば100KHz〜1MHz）、かつ、出力を小に
（例えば3Kw/ｍ2 〜9Kw/ｍ2 ）設定され、これにより、
第２脱泡槽２内では、液中に静かに超音波定在波を発生
させ、液体中に残存している微小気泡を集合させて大き
な気泡に集約させ浮上しやすくすることにより、脱泡効
率の向上が図られる。このような二段構えの脱泡過程に
よって、完全に脱気された液体のみが液体導出管１３か
ら分析計１４（図２参照）に送給される。なお、電源
８，１１の周波数と出力は脱泡させる液体の粘性や含ま
れている気泡の程度等に応じて適宜に変更設定すればよ
い。
数を高く（例えば100KHz〜1MHz）、かつ、出力を小に
（例えば3Kw/ｍ2 〜9Kw/ｍ2 ）設定され、これにより、
第２脱泡槽２内では、液中に静かに超音波定在波を発生
させ、液体中に残存している微小気泡を集合させて大き
な気泡に集約させ浮上しやすくすることにより、脱泡効
率の向上が図られる。このような二段構えの脱泡過程に
よって、完全に脱気された液体のみが液体導出管１３か
ら分析計１４（図２参照）に送給される。なお、電源
８，１１の周波数と出力は脱泡させる液体の粘性や含ま
れている気泡の程度等に応じて適宜に変更設定すればよ
い。
【００１４】図２は試料液のフローを示し、符号２１は
液溜め槽、２２はポンプ、２３は循環ライン、２４は電
磁開閉弁、１４１は光源、１４２は光学系、１４３はフ
ローセル、１４４は反射鏡、１４５は回折格子、１４６
は分析計本体である。なお、同図の分岐点Ｂにおける液
体導入管１への分岐流量は例えば１％程度である。この
ようなフローでは、フローセル１４３に導入される試料
液中の気泡が両脱泡槽２，３によって除去されているの
で、高い分析精度が得られ、例えば半導体の製造ライン
に設けられる薬液濃度モニターや薬液インラインパーテ
ィクルモニター等の薬液モニター用として好適である。
また、このような脱泡システムは医療用の点滴システム
等にも用いることができ、その他、液体中の脱気が必要
とされる場合に適宜用いることができる。
液溜め槽、２２はポンプ、２３は循環ライン、２４は電
磁開閉弁、１４１は光源、１４２は光学系、１４３はフ
ローセル、１４４は反射鏡、１４５は回折格子、１４６
は分析計本体である。なお、同図の分岐点Ｂにおける液
体導入管１への分岐流量は例えば１％程度である。この
ようなフローでは、フローセル１４３に導入される試料
液中の気泡が両脱泡槽２，３によって除去されているの
で、高い分析精度が得られ、例えば半導体の製造ライン
に設けられる薬液濃度モニターや薬液インラインパーテ
ィクルモニター等の薬液モニター用として好適である。
また、このような脱泡システムは医療用の点滴システム
等にも用いることができ、その他、液体中の脱気が必要
とされる場合に適宜用いることができる。
【００１５】図３は異なる実施形態を示し、１０１は液
体導入管、１０２は脱泡槽、１０５は排気管、１０７，
２０７は第１超音波振動子、１０９，２０９はナット、
１０８，２０８は電源、１１０，２１０は第２超音波振
動子、１１２，２１２はナット、１１１，２１１は電
源、１１３は液体導出管であり、この場合、脱泡槽１０
２の上部で脱泡を促進させ、下部で気泡の集合化が図ら
れ、単一の脱泡槽１０２内で効率の高い脱泡がおこなわ
れる。
体導入管、１０２は脱泡槽、１０５は排気管、１０７，
２０７は第１超音波振動子、１０９，２０９はナット、
１０８，２０８は電源、１１０，２１０は第２超音波振
動子、１１２，２１２はナット、１１１，２１１は電
源、１１３は液体導出管であり、この場合、脱泡槽１０
２の上部で脱泡を促進させ、下部で気泡の集合化が図ら
れ、単一の脱泡槽１０２内で効率の高い脱泡がおこなわ
れる。
【００１６】図４は別の実施形態を示し、３０１は液体
導入管、３０２は脱泡槽、３０５は排気管、３０７は第
１超音波振動子部、３１０は第２超音波振動子部、３０
８，３１１は電源、３１３は液体導出管であり、この場
合、脱泡槽３０２は円筒状に形成され、その周壁３３２
に超音波グリース等の緩衝材を介して一方の電極板３３
３をリング状に巻装し、その外側に圧電素子３３４をリ
ング状に被着させ、さらに、その上半部と下半部に他方
の２つの電極板３３５，３３６をそれぞれリング状に被
着させ、圧電素子３３４の上半部で第１超音波振動部３
０７を、下半部で第２超音波振動部３１０を形成してい
る。このような構成により、脱泡槽３０２の中央部に向
けて超音波振動波を集約させ、その中央部に気泡を集め
ることができ、きわめて効率のよい脱泡が可能となる。
導入管、３０２は脱泡槽、３０５は排気管、３０７は第
１超音波振動子部、３１０は第２超音波振動子部、３０
８，３１１は電源、３１３は液体導出管であり、この場
合、脱泡槽３０２は円筒状に形成され、その周壁３３２
に超音波グリース等の緩衝材を介して一方の電極板３３
３をリング状に巻装し、その外側に圧電素子３３４をリ
ング状に被着させ、さらに、その上半部と下半部に他方
の２つの電極板３３５，３３６をそれぞれリング状に被
着させ、圧電素子３３４の上半部で第１超音波振動部３
０７を、下半部で第２超音波振動部３１０を形成してい
る。このような構成により、脱泡槽３０２の中央部に向
けて超音波振動波を集約させ、その中央部に気泡を集め
ることができ、きわめて効率のよい脱泡が可能となる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、脱泡容器内に導入した液体に超音波振動
を与えることにより、液体の発泡を促進させるか、ある
いは気泡同士を集合させるようにしたので、効率よく液
体中の気泡を取り除くことができる。
発明によれば、脱泡容器内に導入した液体に超音波振動
を与えることにより、液体の発泡を促進させるか、ある
いは気泡同士を集合させるようにしたので、効率よく液
体中の気泡を取り除くことができる。
【００１８】請求項２に記載の発明によれば、筒状の脱
泡槽の側壁の上部と下部にそれぞれ超音波振動子を取り
付け、上側の超音波振動子は駆動周波数を低く、かつ、
出力を大に設定する一方、下側の超音波振動子は駆動周
波数を高く、かつ、出力を小に設定するので、脱泡槽の
上部では液体中に超音波キャビテーションを発生させ、
積極的に発泡を促進させることができ、その下部では液
体中に静かに超音波定在波を発生させ、気泡同士を集合
させることができ、中央部に気泡を集約させて効率の高
い脱泡が可能となる。
泡槽の側壁の上部と下部にそれぞれ超音波振動子を取り
付け、上側の超音波振動子は駆動周波数を低く、かつ、
出力を大に設定する一方、下側の超音波振動子は駆動周
波数を高く、かつ、出力を小に設定するので、脱泡槽の
上部では液体中に超音波キャビテーションを発生させ、
積極的に発泡を促進させることができ、その下部では液
体中に静かに超音波定在波を発生させ、気泡同士を集合
させることができ、中央部に気泡を集約させて効率の高
い脱泡が可能となる。
【００１９】請求項３に記載の発明によれば、下部を互
いに連通させて上流側と下流側とに配置された２つの脱
泡槽の各底部に、それぞれ超音波振動子を取り付け、上
流側の脱泡槽に取り付けた超音波振動子は駆動周波数を
低く、かつ、出力を大に設定する一方、下流側の脱泡槽
に取り付けた超音波振動子は駆動周波数を高く、かつ、
出力を小に設定するので、上流側の脱泡槽内では、液体
中に超音波キャビテーションを発生させ、積極的に発泡
を促進させることができ、下流側の脱泡槽内では液体中
に静かに超音波定在波を発生させ、気泡同士を集合させ
ることができ、効率のよい脱泡が可能となる。
いに連通させて上流側と下流側とに配置された２つの脱
泡槽の各底部に、それぞれ超音波振動子を取り付け、上
流側の脱泡槽に取り付けた超音波振動子は駆動周波数を
低く、かつ、出力を大に設定する一方、下流側の脱泡槽
に取り付けた超音波振動子は駆動周波数を高く、かつ、
出力を小に設定するので、上流側の脱泡槽内では、液体
中に超音波キャビテーションを発生させ、積極的に発泡
を促進させることができ、下流側の脱泡槽内では液体中
に静かに超音波定在波を発生させ、気泡同士を集合させ
ることができ、効率のよい脱泡が可能となる。
【図１】本発明の超音波脱泡槽の一実施形態を示す構成
図である。
図である。
【図２】同試料液のフローを示す図面である。
【図３】同超音波脱泡槽の異なる実施形態を示す構成図
である。
である。
【図４】同超音波脱泡槽の別の実施形態を示す構成図で
ある。
ある。
【図５】従来の脱泡槽の一例を示す構成図である。
２，３，１０２，３０２…脱泡槽、７，１０，１０７，
２０７，１１０，２１０，３０７，３１０…超音波振動
子、８，１１，１０８，２０８，１１１，２１１，３０
８，３１１…電源。
２０７，１１０，２１０，３０７，３１０…超音波振動
子、８，１１，１０８，２０８，１１１，２１１，３０
８，３１１…電源。
Claims (3)
- 【請求項１】 脱泡容器に超音波振動子を取り付け、そ
の脱泡容器内に導入した液体に超音波振動を与えること
により、液体の発泡を促進させ、あるいは気泡同士を集
合させるように構成したことを特徴とする超音波脱泡
槽。 - 【請求項２】 筒状の脱泡槽の側壁の上部と下部にそれ
ぞれ超音波振動子を取り付け、上側の超音波振動子は駆
動周波数を低く、かつ、出力を大に設定してその脱泡槽
内に導入した液体の発泡を促進させる一方、下側の超音
波振動子は駆動周波数を高く、かつ、出力を小に設定し
てその脱泡槽内の液体中の気泡同士を集合させるように
構成したことを特徴とする超音波脱泡槽。 - 【請求項３】 下部を互いに連通させて上流側と下流側
とに配置された２つの脱泡槽の各底部に、それぞれ超音
波振動子を取り付け、上流側の脱泡槽に取り付けた超音
波振動子は駆動周波数を低く、かつ、出力を大に設定し
てその脱泡槽内に導入した液体の発泡を促進させる一
方、下流側の脱泡槽に取り付けた超音波振動子は駆動周
波数を高く、かつ、出力を小に設定してその脱泡槽内の
液体中の気泡同士を集合させるように構成したことを特
徴とする超音波脱泡槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10020253A JPH11197406A (ja) | 1998-01-17 | 1998-01-17 | 超音波脱泡槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10020253A JPH11197406A (ja) | 1998-01-17 | 1998-01-17 | 超音波脱泡槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11197406A true JPH11197406A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=12022043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10020253A Pending JPH11197406A (ja) | 1998-01-17 | 1998-01-17 | 超音波脱泡槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11197406A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004024317A1 (es) * | 2002-09-13 | 2004-03-25 | Consejo Superior De Investigaciones Científicas | Sistema ultrasónico de desespumación mediante emisores con placa vibrante escalonada |
| JP2006305427A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波処理装置、及び超音波処理方法 |
| US7294171B2 (en) | 2003-12-01 | 2007-11-13 | Fujifilm Corporation | Method and apparatus for degassing coating liquid |
| US7719924B2 (en) | 2005-07-27 | 2010-05-18 | Juan Antonio Gallego Juarez | Macrosonic generator for the air-based industrial defoaming of liquids |
| JP2013101153A (ja) * | 2007-12-19 | 2013-05-23 | Los Alamos National Security Llc | 音響サイトメータにおける粒子分析 |
| JP2019150770A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 本多電子株式会社 | 超音波脱泡方法及び装置、脱泡滅菌水の製造方法 |
| US10537831B2 (en) | 2004-07-29 | 2020-01-21 | Triad National Security, Llc | Ultrasonic analyte concentration and application in flow cytometry |
| CN112204269A (zh) * | 2018-05-30 | 2021-01-08 | 麦格纳动力系有限两合公司 | 油消耗系统 |
| JP2021030146A (ja) * | 2019-08-22 | 2021-03-01 | 本多電子株式会社 | 超音波脱気方法及び装置 |
| JP2022046443A (ja) * | 2020-09-10 | 2022-03-23 | セメス カンパニー，リミテッド | 脱気装置、基板処理装置、及び処理液脱気方法 |
| CN115093105A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-09-23 | 青岛融合光电科技有限公司 | 一种超声波去玻璃液泡装置及除去玻璃液内气泡的方法 |
| CN118787998A (zh) * | 2024-09-11 | 2024-10-18 | 广东新翔星科技股份有限公司 | 带有脱泡功能的搅拌机及其使用方法 |
-
1998
- 1998-01-17 JP JP10020253A patent/JPH11197406A/ja active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2212896A1 (es) * | 2002-09-13 | 2004-08-01 | Consejo Sup. Invest. Cientificas | Procedimiento y sistema ultrasonico de desespumacion mediante emisorescon placa vibrante escalonada. |
| WO2004024317A1 (es) * | 2002-09-13 | 2004-03-25 | Consejo Superior De Investigaciones Científicas | Sistema ultrasónico de desespumación mediante emisores con placa vibrante escalonada |
| US7294171B2 (en) | 2003-12-01 | 2007-11-13 | Fujifilm Corporation | Method and apparatus for degassing coating liquid |
| US10537831B2 (en) | 2004-07-29 | 2020-01-21 | Triad National Security, Llc | Ultrasonic analyte concentration and application in flow cytometry |
| JP2006305427A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波処理装置、及び超音波処理方法 |
| US7719924B2 (en) | 2005-07-27 | 2010-05-18 | Juan Antonio Gallego Juarez | Macrosonic generator for the air-based industrial defoaming of liquids |
| US11287362B2 (en) | 2007-12-19 | 2022-03-29 | Triad National Security, Llc | Particle analysis in an acoustic cytometer |
| JP2013101153A (ja) * | 2007-12-19 | 2013-05-23 | Los Alamos National Security Llc | 音響サイトメータにおける粒子分析 |
| US9038467B2 (en) | 2007-12-19 | 2015-05-26 | Los Alamos National Security, Llc | Particle analysis in an acoustic cytometer |
| US9488621B2 (en) | 2007-12-19 | 2016-11-08 | Los Alamos National Security, Llc | Particle analysis in an acoustic cytometer |
| US11287363B2 (en) | 2007-12-19 | 2022-03-29 | Triad National Security, Llc | Particle analysis in an acoustic cytometer |
| JP2019150770A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 本多電子株式会社 | 超音波脱泡方法及び装置、脱泡滅菌水の製造方法 |
| CN112204269A (zh) * | 2018-05-30 | 2021-01-08 | 麦格纳动力系有限两合公司 | 油消耗系统 |
| US11441613B2 (en) * | 2018-05-30 | 2022-09-13 | Magna powertrain gmbh & co kg | Oil consuming system |
| JP2021030146A (ja) * | 2019-08-22 | 2021-03-01 | 本多電子株式会社 | 超音波脱気方法及び装置 |
| JP2022046443A (ja) * | 2020-09-10 | 2022-03-23 | セメス カンパニー，リミテッド | 脱気装置、基板処理装置、及び処理液脱気方法 |
| US11673075B2 (en) | 2020-09-10 | 2023-06-13 | Semes Co., Ltd. | Degassing apparatus and substrate treating apparatus |
| CN115093105A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-09-23 | 青岛融合光电科技有限公司 | 一种超声波去玻璃液泡装置及除去玻璃液内气泡的方法 |
| CN118787998A (zh) * | 2024-09-11 | 2024-10-18 | 广东新翔星科技股份有限公司 | 带有脱泡功能的搅拌机及其使用方法 |
| CN118787998B (zh) * | 2024-09-11 | 2025-01-21 | 广东新翔星科技股份有限公司 | 带有脱泡功能的搅拌机及其使用方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9701955B2 (en) | Acoustophoretic separation technology using multi-dimensional standing waves | |
| JPH11197406A (ja) | 超音波脱泡槽 | |
| US7766121B2 (en) | Methods and apparatus for conditioning and degassing liquids and gases in suspension | |
| US10040011B2 (en) | Acoustophoretic multi-component separation technology platform | |
| EP2903715B1 (en) | Acoustophoretic separation technology using multi-dimensional standing waves | |
| CN107349687B (zh) | 声泳多组分分离技术平台 | |
| CA2166279A1 (en) | Acoustic filter for separating and recycling suspended particles | |
| WO1982003795A1 (en) | Acoustic degasification of pressurized liquids | |
| GB2420510A (en) | Methods and apparatus for conditioning and degassing liquids and gases in suspension | |
| US6648943B2 (en) | Integrated use of deaeration methods to reduce bubbles and liquid waste | |
| RU94015846A (ru) | Способ и устройство для отделения взвешенных частиц | |
| JP2003265939A (ja) | 気泡生成装置、気泡生成方法、微粒子生成装置、及び微粒子生成方法 | |
| Gallego-Juarez | New technologies in high-power ultrasonic industrial applications | |
| US12528031B2 (en) | Device for producing a standard ultrasonic field | |
| JP3178958U (ja) | 液体混合装置 | |
| JP4512178B2 (ja) | 超音波キャビテーション発生装置 | |
| CN116897074B (zh) | 气泡产生装置以及气泡产生系统 | |
| JP2002085905A (ja) | 気液分離装置 | |
| JPH01203029A (ja) | 混濁器 | |
| Benes et al. | New simple mathematical model for the separation performance of ultrasonic cell filters | |
| Cardoni | Advances in the Design of Ultrasonic Systems for Process Intensification | |
| RU130602U1 (ru) | Ультразвуковое устройство для очистки водоемов | |
| JPH10202211A (ja) | 超音波洗浄器 | |
| CA2530974C (en) | Methods and apparatus for conditioning and degassing liquids and gases in suspension | |
| Benes et al. | Splitting of dispersions by ultrasonic standing wave fields |