JPH11198018A - 固定砥粒付エンドレスワイヤソー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】固定砥粒付ワイヤの長さを確保し、被加工物を
精度よく切断することができる固定砥粒付エンドレスワ
イヤソーの提供。 【解決手段】固定砥粒付ワイヤ２６は、グルーブローラ
２４Ａ、２４Ｂに巻き掛けられてワイヤ列２８を形成す
るとともに、残余分が補助ローラ４８に巻かれて無端状
に形成される。これにより、固定砥粒付ワイヤ２６の長
さを確保して使用することができ、高精度の切断を長時
間持続させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固定砥粒付エンド
レスワイヤソーに係り、特にシリコン、ガラス、セラミ
ック等の硬脆性材料の被加工物を切断する固定砥粒付エ
ンドレスワイヤソーに関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコン等の硬脆性材料のインゴットか
らウェーハを切り出す装置の一つに固定砥粒付エンドレ
スワイヤソーがある。この固定砥粒付エンドレスワイヤ
ソーは、無端状に形成された固定砥粒付ワイヤを複数本
のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、その
ワイヤ列を高速走行させることにより、ワイヤ列に押し
当てられたインゴットを多数枚のウェーハに同時に切断
する装置である。

【０００３】ところで、この固定砥粒付エンドレスワイ
ヤソーに使用する固定砥粒付ワイヤは、ワイヤの周面に
直接砥粒が固着されているため、切断が進行するにつれ
て目こぼれや目詰まりが生じ、切れ味が悪化してくると
いう欠点がある。しかし、この欠点は、使用する固定砥
粒付ワイヤの長さ（ワイヤ長）を長くすれば解消するこ
とができ、従来は、グルーブローラの長さを長く設定す
ることによりワイヤ長を確保していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、剛性を確保するためにグルーブローラが
大径となり、構造が大型化するという欠点がある。ま
た、グルーブローラが大型化することにより慣性重量が
増大し、グルーブローラの駆動部が大型化するという欠
点がある。さらに、グルーブローラは長さが長くなる
程、また、径が大きくなる程、加工が困難になり、この
結果、設備コストが高くなるとともに、切断精度が低下
するという欠点がある。

【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、固定砥粒付ワイヤの長さを確保し、被加工物
を精度よく切断することができる固定砥粒付エンドレス
ワイヤソーを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、所定間隔をもって配設された複数本のグ
ルーブローラと、前記グルーブローラの近傍に設けら
れ、周面にらせん状の溝が形成された補助ローラと、前
記複数本のグルーブローラに巻き掛けられてワイヤ列を
形成するとともに、残余分が前記補助ローラに巻かれて
無端状に形成される固定砥粒付ワイヤと、前記複数本の
グルーブローラのうち少なくとも一本のグルーブローラ
に連結され、該グルーブローラを回転させて前記ワイヤ
列を走行させるグルーブローラ回転手段と、前記グルー
ブローラで形成されたワイヤ列と対向するように設けら
れ、被加工物を保持する被加工物保持手段と、前記被加
工物保持手段を前記ワイヤ列に向けて送り、該ワイヤ列
に前記被加工物を押し当てる送り手段と、からなること
を特徴とする。

【０００７】本発明によれば、固定砥粒付ワイヤは、グ
ルーブローラに巻き掛けられてワイヤ列を形成するとと
もに、残余分が補助ローラに巻かれて無端状に形成され
る。これにより、使用する固定砥粒付ワイヤの長さを長
くして使用することができ、高精度の切断を長時間持続
させることができる。また、これにより、ワイヤの寿命
が延長する。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒付エンドレスワイヤソーの好ましい実施の形
態について詳説する。図１、図２は、それぞれ本発明に
係る固定砥粒付エンドレスワイヤソー１０の実施の形態
の側面図と平面図である。同図に示すように、固定砥粒
付エンドレスワイヤソー１０は、主として、切断ユニッ
ト１２、テンションユニット１４及びワーク送りユニッ
ト１６から構成されている。

【０００９】まず、切断ユニット１２の構成について説
明する。防振台１８ａ、１８ａ、…を介して水平に設置
された架台１８上には、一対のスピンドルブラケット２
０、２０が垂直に立設されている。このスピンドルブラ
ケット２０、２０には、左右一組のスピンドルユニット
２２Ａ、２２Ｂが上下方向に一対、所定の間隔をもって
配設されている。

【００１０】前記一対のスピンドルユニット２２Ａ、２
２Ｂには、外周に螺旋状の溝が形成されたグルーブロー
ラ２４Ａ、２４Ｂが回動自在に支持されており、このグ
ルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの溝に沿って固定砥粒付ワ
イヤ２６を巻き掛けてゆくことにより、架台１８に対し
て垂直なワイヤ列２８が形成される。また、前記一対の
グルーブローラ２４Ａ、２４Ｂのうち下側に位置するグ
ルーブローラ２４Ｂには、グルーブローラ駆動モータ３
０が連結されており、このグルーブローラ駆動モータ３
０を駆動することにより、グルーブローラ２４Ｂが回転
する。そして、このグルーブローラ２４Ｂが回転するこ
とにより、ワイヤ列２８が走行する。

【００１１】切断ユニット１２は、以上のように構成さ
れる。次に、テンションユニット１４の構成について説
明する。前記架台１８上には、一対の支持ブラケット３
２、３２が垂直に立設されている。この支持ブラケット
３２、３２は、それぞれ前記一対のスピンドルブラケッ
ト２０、２０に並列して配置されており、それぞれ一対
のガイドレール３４、３４が水平に配設されている。こ
のガイドレール３４、３４には、それぞれスライドブロ
ック３６、３６を介して軸受ブラケット３８、３８が摺
動自在に支持されている。

【００１２】また、前記一対の支持ブラケット３２、３
２には、それぞれガイドレール３４、３４に沿ってネジ
棒４０、４０が配設されており、該ネジ棒４０、４０
は、それぞれその両端部を軸受部材４２、４２に回動自
在に支持されている。前記ネジ棒４０、４０の一方端に
は、補助ローラ移動用モータ４４、４４の出力軸が連結
されており、この補助ローラ移動用モータ４４、４４を
駆動することにより、ネジ棒４０、４０が回動する。前
記軸受ブラケット３８、３８には、このネジ棒４０、４
０と螺合するナット部材３８Ａが固着されており、この
ネジ棒４０を前記補助ローラ移動用モータ４４、４４で
駆動することにより、前記軸受ブラケット３８、３８が
ガイドレール３４、３４に沿ってスライドする。

【００１３】前記軸受ブラケット３８、３８には、それ
ぞれ軸受ユニット４６、４６が設けられており、該軸受
ユニット４６、４６には、補助ローラ４８が回動自在に
支持されている。この補助ローラ４８の周面にはらせん
状の溝が形成されており、この溝に沿って前記グルーブ
ローラ２４Ａ、２４Ｂに巻き掛けられた固定砥粒付ワイ
ヤ２６が巻き付けられる。そして、この補助ローラ４８
に前記グルーブローラ２４Ａ、２４Ｂに巻き掛けられた
固定砥粒付ワイヤ２６が巻き付けられることにより、グ
ルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの一方端から他方端に固定
砥粒付ワイヤ２６がガイドされる。すなわち、これによ
り、グルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの一方端から他方端
に向けて巻き掛けられた固定砥粒付ワイヤ２６が、再び
巻き始めの位置であるグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの
一方端側にガイドされる。

【００１４】グルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの一方端側
にガイドされた固定砥粒付ワイヤ２６は、巻き始め側の
端部と巻き終わり側の端部を互いにレーザー溶接等で連
結されて無端状に形成される。なお、前記グルーブロー
ラ２４Ａ、２４Ｂに巻き掛けられた固定砥粒付ワイヤ２
６は、揺動ガイドローラ５０Ａを介して補助ローラ４８
に案内される。そして、補助ローラ４８に巻き付けられ
た固定砥粒付ワイヤ２６は、揺動ガイドローラ５０Ｂを
介してグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂに案内される。

【００１５】ここで、この揺動ガイドローラ５０Ａ、５
０Ｂは、揺動アーム５２Ａ、５２Ｂの先端部に回動自在
に支持されており、該揺動アーム５２Ａ、５２Ｂは、そ
の基端部を支持ブラケット３２、３２に揺動自在に支持
されている。揺動アーム５２Ａ、５２Ｂの中央部には、
前記支持ブラケット３２、３２に揺動自在に支持された
シリンダ５４Ａ、５４Ｂのロッドがピンによって連結さ
れており、このシリンダ５４Ａ、５４Ｂを駆動すること
により、揺動アーム５２Ａ、５２Ｂが揺動する。そし
て、この揺動アーム５２Ａ、５２Ｂが揺動することによ
り、揺動ガイドローラ５０Ａ、５０Ｂの位置が可変す
る。

【００１６】テンションユニット１４は、以上のように
構成される。そして、前記揺動ガイドローラ５０Ａ、５
０Ｂは、その設置位置を調整することにより、固定砥粒
付ワイヤ２６の新規巻き掛け時に生じる弛みを除去し、
その後固定する。また、補助ローラ４８は、その設置位
置を調整することにより、固定砥粒付ワイヤ２６に付与
する張力を調整する。

【００１７】なお、前記揺動ガイドローラ５０Ａ、５０
Ｂを支持する揺動アーム５２Ａ、５２Ｂには、図示しな
いロードセルが組み込まれており、このロードセルによ
って揺動ガイドローラ５０Ａ、５０Ｂに巻き掛けられた
固定砥粒付ワイヤ２６の張力が検出される。次に、送り
ユニット１６の構成について説明する。前記架台１８上
には、ベース５６が設置されている。ベース５６上には
一対のガイドレール５８、５８が敷設されており、該ガ
イドレール５８、５８がコラム６０をスライド自在に支
持している。

【００１８】また、前記ベース５６の内部には、ガイド
レール５８、５８に沿ってネジ棒６２が配設されてお
り、該ネジ棒６２は、その両端部を軸受部材６４、６４
に回動自在に支持されている。前記ネジ棒６２の一方端
には、架台１８上に設けられたワーク送りモータ６６の
出力軸が連結されており、このワーク送りモータ６６を
駆動することにより、ネジ棒６２が回動する。前記コラ
ム６０の下面には、このネジ棒６２と螺合するナット部
材６０Ａが固着されており、このネジ棒６２を回動させ
ることにより、コラム６０がガイドレール５８、５８に
沿って移動する。

【００１９】前記コラム６０の上部先端には、チルチン
グユニット６８が設けられており、被加工物であるイン
ゴットＩｎは、このチルチングユニット６８のワーク保
持部６８Ａに装着される。このチルチングユニット６８
は、装着されたインゴットＩｎをワイヤ列２８に対して
水平、垂直方向に所定角度傾斜させて保持し、この傾斜
角度を調整することにより、インゴットＩｎの結晶方位
合わせを行う。

【００２０】なお、このチルチングユニット６８へのイ
ンゴットＩｎの装着は、マウンティングブロックＭを介
して行われる。すなわち、スライスベースＳを介してイ
ンゴットＩｎをマウンティングブロックＭに接着し、こ
のマウンティングブロックＭをチルチングユニット６８
のワーク保持部６８Ａに設けられた図示しないクランプ
手段でクランプすることにより装着する。

【００２１】次に、前記のごとく構成された本実施の形
態の固定砥粒付エンドレスワイヤソー１０の作用につい
て説明する。始めに固定砥粒付ワイヤ２６の張設方法に
ついて説明する。オペレータは、まず、固定砥粒付ワイ
ヤ２６の一方端を揺動ガイドローラ５０Ａにガムテープ
等で固定する。この状態で固定砥粒付ワイヤ２６をグル
ーブローラ２４Ａ、２４Ｂの方向に引き出し、グルーブ
ローラ２４Ａ、２４Ｂの溝に沿って順次巻き掛けてゆ
く。これにより、垂直なワイヤ列２８が形成される。

【００２２】ワイヤ列２８を形成した固定砥粒付ワイヤ
２６は、揺動ガイドローラ５０Ｂを介して補助ローラ４
８に導き、その補助ローラ４８に巻き付けてゆく。ここ
で、この補助ローラ４８の外周には、らせん状の溝が形
成されているので、この溝に沿って巻き付けることによ
り、固定砥粒付ワイヤ２６は、揺動ガイドローラ５０Ａ
に導かれる。

【００２３】揺動ガイドローラ５０Ａに導かれた固定砥
粒付ワイヤ２６は、その端部同士をレーザー溶接等で連
結され、無端状に形成される。そして、この結果、無端
状の固定砥粒付ワイヤ２６によるワイヤ列２８が形成さ
れる。ところで、前記のごとく張設されたワイヤ列２８
には弛みが生じているので、これを除去する必要があ
る。そこで、オペレータは、前記の張設作業を終了した
のち、次いで、シリンダ５４Ａ、５４Ｂを駆動すること
により揺動ガイドローラ５０Ａ、５０Ｂを揺動させて、
固定砥粒付ワイヤ２６に生じている弛みを除去する。そ
の後、その位置に揺動ガイドローラ５０Ａ、５０Ｂを固
定する。なお、この段階においては、固定砥粒付ワイヤ
２６には溝から外れない程度の張力が与えられればよ
い。

【００２４】前記のごとく固定砥粒付ワイヤ２６の弛み
が取り除かれると、次にオペレータは、切断に必要な張
力の設定を行う。まず、オペレータはグルーブローラ駆
動モータ３０を駆動してグルーブローラ２４Ｂを回転さ
せ、張設された固定砥粒付ワイヤ２６を走行させる。次
に、補助ローラ移動用モータ４４を駆動して補助ローラ
４８をグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂから離れる方向に
移動させる。

【００２５】ここで、前記のごとく補助ローラ４８がグ
ルーブローラ２４Ａ、２４Ｂから離れる方向に移動する
ことにより、走行する固定砥粒付ワイヤ２６に付与され
る張力は徐々に高くなってくる。オペレータは、揺動ガ
イドローラ５０Ａ、５０Ｂの揺動アーム５２Ａ、５２Ｂ
に組み込まれているロードセルによって測定される固定
砥粒付ワイヤ２６の張力が切断に必要な張力となったと
ころで、補助ローラ移動用モータ４４の駆動を停止して
補助ローラ４８の移動を停止するとともに、グルーブロ
ーラ駆動モータ３０の駆動を停止して固定砥粒付ワイヤ
２６の走行を停止する。

【００２６】なお、ここではオペレータが切断に必要な
張力の設定を行っているが、制御手段によって自動で切
断に必要な張力を判断し、自動で制御して張力を設定す
るようにシステムを構成してもよい。以上一連の作業に
より、固定砥粒付ワイヤ２６の張設作業は終了し、これ
により、切断に必要な張力に設定されたワイヤ列２８が
張設される。

【００２７】次に、前記のごとくワイヤ列２８が張設さ
れた固定砥粒付エンドレスワイヤソー１０によるインゴ
ットＩｎの切断方法について説明する。まず、オペレー
タはマウンティングブロックＭにスライスベースＳを介
してインゴットＩｎを接着する。そして、そのマウンテ
ィングブロックＭに接着されたインゴットＩｎをチルチ
ングユニット６８のワーク保持部６８Ａに装着する。

【００２８】次に、オペレータは、インゴットＩｎが所
定の結晶方位で切断されるように、チルチングユニット
６８によってインゴットＩｎをワイヤ列２８に対して所
定角度傾斜させる。次に、グルーブローラ駆動モータ３
０を駆動してグルーブローラ２４Ｂを高速回転させ、ワ
イヤ列２８を高速走行させる。なお、この際、固定砥粒
付ワイヤ２６は無端状に形成されているので、一定の走
行路を周回することになる。

【００２９】次に、ワーク送りモータ６６を駆動して、
コラム６０を切断ユニット１２に向けて一定の送り量で
送る。この結果、インゴットＩｎが高速走行するワイヤ
列２８に向かって移動し、その走行するワイヤ列２８に
押し当てられる。ワイヤ列２８に押し当てられたインゴ
ットＩｎは、そのワイヤ列２８との接触部を固定砥粒付
ワイヤ２６の周面に固着された固定砥粒に研削され、こ
の結果、多数枚のウェーハに切断される。

【００３０】なお、この切断に際して、インゴットＩｎ
とワイヤ列２８との接触部には、その接触部上方に設置
された図示しないノズルからクーラントが供給される。
供給されたクーラントは、グルーブローラ２４Ｂの下部
に設置された図示しないドレンパンで回収され、廃棄さ
れる。ところで、本実施の形態の固定砥粒付エンドレス
ワイヤソー１０では、補助ローラ４８が設置されている
ことにより、長さの長いグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂ
を使用しなくても、ワイヤ長の長い固定砥粒付ワイヤ２
６を使用することができる。そして、このようにワイヤ
長の長い固定砥粒付ワイヤ２６を使用することにより、
高精度な切断を長時間持続させることができるととも
に、固定砥粒付ワイヤ２６の寿命が延長する。

【００３１】また、本実施の形態の固定砥粒付エンドレ
スワイヤソー１０では、補助ローラ４８をグルーブロー
ラ２４Ａ、２４Ｂに対して移動させることにより、切断
に必要な張力を容易に設定することができる。なお、本
実施の形態では、補助ローラ４８を移動させて、その設
置位置を調整することにより固定砥粒付ワイヤ２６に付
与する張力を設定するようにしているが、補助ローラ４
８は固定とし、揺動ローラ５０Ａ、５０Ｂを所定の力
（トルク）で揺動させることによって、固定砥粒付ワイ
ヤ２６に付与する張力を設定するようにしてもよい。

【００３２】また、本実施の形態では、補助ローラ４８
の長さをグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの長さと同じに
しているが、補助ローラ４８の長さは必要に応じて変え
て用いてもよい。また、図３に示すように、グルーブロ
ーラ２４Ａ、２４Ｂと補助ローラ４８との間にガイドユ
ニット７０を設置し、このガイドユニット７０によって
補助ローラ４８に巻き付ける固定砥粒付ワイヤ２６の巻
き付け量を調整するようにしてもよい。このガイドユニ
ット７０は、一対の固定ガイドユニット７２Ａ、７２Ｂ
と、一対の可動ガイドユニット７４Ａ、７４Ｂとから構
成されており、可動ガイドユニット７４Ａ、７４Ｂの間
隔を調整することにより巻き付け量を調整する。

【００３３】前記固定ガイドユニット７２Ａ、７２Ｂ
は、第１ガイドローラ７６Ａ、７６Ｂと第２ガイドロー
ラ７８Ａ、７８Ｂを有しており、該第１ガイドローラ７
６Ａ、７６Ｂと第２ガイドローラ７８Ａ、７８Ｂは、そ
れぞれ架台１８（図示せず）に設置された固定ブロック
８０Ａ、８０Ｂ上に設置されている。一方、前記可動ガ
イドユニット７４Ａ、７４Ｂは、第３ガイドローラ８２
Ａ、８２Ｂと第４ガイドローラ８４Ａ、８４Ｂを有して
おり、該第３ガイドローラ８２Ａ、８２Ｂと第４ガイド
ローラ８４Ａ、８４Ｂは、それぞれスライドブロック８
６Ａ、８６Ｂ上に設置されている。このスライドブロッ
ク８６Ａ、８６Ｂは、ベース８８上に敷設されたガイド
レール９０、９０上をスライド自在に設けられており、
図示しないロック手段によってガイドレール９０、９０
上の任意の位置に固定できるように構成されている。

【００３４】以上のガイドユニット７０を用いて固定砥
粒付ワイヤ２６の巻き付け量を調整する場合は、巻き付
ける固定砥粒付ワイヤ２６の長さに応じて、可動ガイド
ユニット７４Ａ、７４Ｂを移動させ、その間隔を調整し
て固定する。これにより、補助ローラ４８を代えること
なく任意の長さの固定砥粒付ワイヤ２６を巻き付けるこ
とができる。

【００３５】また、本実施の形態では、補助ローラ４８
は単に回動自在に支持されているだけであるが、補助ロ
ーラ４８にモータを連結し、グルーブローラ２４Ａ、２
４Ｂと同期させて回転してもよい。これにより、補助ロ
ーラ４８に生じる磨耗を抑制することができる。また、
補助ローラ４８の磨耗を抑制するために、補助ローラ４
８の表面を固定砥粒付ワイヤ２６の周面に固着された固
定砥粒と同程度の硬度を有する材料でコーティングして
もよい。例えば、固定砥粒付ワイヤ２６の周面に固着さ
れた砥粒がダイヤモンド砥粒であれば、補助ローラ４８
の表面をダイヤモンドコーティングする。これにより、
補助ローラ４８の磨耗を有効に防止することができる。

【００３６】更に、使用する固定砥粒付ワイヤ２６を補
助ローラ４８の溝形状に合致した異形線ワイヤ（ワイヤ
の両側部に溝に嵌合するテーパ面を有したワイヤ）を使
用し、その上面部にのみ固定砥粒を付着して用いても補
助ローラ４８の磨耗を有効に防止することができる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
切断に使用する固定砥粒付ワイヤの長さを長くして使用
することができ、これにより高精度の切断を長時間持続
することができる。また、固定砥粒付ワイヤの寿命も延
長する。

【図面の簡単な説明】

【図１】固定砥粒付エンドレスワイヤソーの構成を示す
側面図

【図２】固定砥粒付エンドレスワイヤソーの構成を示す
平面図

【図３】他の実施の形態の固定砥粒付エンドレスワイヤ
ソーの要部の平面図

【符号の説明】

１０…固定砥粒付エンドレスワイヤソー ２４Ａ、２４Ｂ…グルーブローラ ２６…固定砥粒付ワイヤ ２８…ワイヤ列 ３０…グルーブローラ駆動モータ ４４…補助ローラ移動用モータ ４８…補助ローラ ５０Ａ、５０Ｂ…揺動ガイドローラ ６０…コラム ６６…ワーク送りモータ ６８…チルチングユニット ７０…ガイドユニット ７２Ａ、７２Ｂ…固定ガイドユニット ７４Ａ、７４Ｂ…可動ガイドユニット Ｉｎ…インゴット

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定間隔をもって配設された複数本のグ
   ルーブローラと、 前記グルーブローラの近傍に設けられ、周面にらせん状
   の溝が形成された補助ローラと、 前記複数本のグルーブローラに巻き掛けられてワイヤ列
   を形成するとともに、残余分が前記補助ローラに巻かれ
   て無端状に形成される固定砥粒付ワイヤと、 前記複数本のグルーブローラのうち少なくとも一本のグ
   ルーブローラに連結され、該グルーブローラを回転させ
   て前記ワイヤ列を走行させるグルーブローラ回転手段
   と、 前記グルーブローラで形成されたワイヤ列と対向するよ
   うに設けられ、被加工物を保持する被加工物保持手段
   と、 前記被加工物保持手段を前記ワイヤ列に向けて送り、該
   ワイヤ列に前記被加工物を押し当てる送り手段と、から
   なることを特徴とする固定砥粒付エンドレスワイヤソ
   ー。
2. 【請求項２】 前記補助ローラは前記グルーブローラに
   対して進退移動自在に設けられ、該補助ローラの設置位
   置を変えることにより前記ワイヤ列に付与する張力を調
   整することを特徴とする請求項１記載の固定砥粒付エン
   ドレスワイヤソー。
3. 【請求項３】 前記補助ローラの軸線に沿って移動自在
   に設けられ、前記グルーブローラに巻き掛けられた固定
   砥粒付ワイヤを前記補助ローラに導く第１ガイドユニッ
   トと、 前記補助ローラの軸線に沿って移動自在に設けられ、前
   記補助ローラに巻かれた固定砥粒付ワイヤを前記グルー
   ブローラに導く第２ガイドユニットと、 を備え、前記第１ガイドユニットと第２ガイドユニット
   の位置を移動させることにより、前記補助ローラに巻き
   付ける固定砥粒付ワイヤの量を調整することを特徴とす
   る請求項１又は２記載の固定砥粒付エンドレスワイヤソ
   ー。