JPH1119874A - パウダービーム加工装置 - Google Patents

パウダービーム加工装置

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JPH1119874A
JPH1119874A JP9190591A JP19059197A JPH1119874A JP H1119874 A JPH1119874 A JP H1119874A JP 9190591 A JP9190591 A JP 9190591A JP 19059197 A JP19059197 A JP 19059197A JP H1119874 A JPH1119874 A JP H1119874A
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彰生 三島
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Abstract

(57)【要約】 【課題】種々のパウダービーム加工に対応し得るパウダ
ービーム加工装置を実現し難かつた。 【解決手段】高圧気体内に微粒子を分散させ、得られた
固気二相流を加工対象物の表面に噴射するようにして当
該加工対象物の加工面を加工するパウダービーム加工装
置において、微粒子を一時蓄える蓄え手段と、高圧気体
の流路の一部を形成する分散室と、蓄え手段に蓄えられ
た微粒子を固相状態のまま所定量ずつ分散室内に送り出
す送出し手段とを設けるようにしたことにより、生成さ
れる固気二相流の流量と、当該固気二相流に含まれる微
粒子の量とを容易に独立して調整し得るようにすること
ができる。かくするにつき種々の形態の固気二相流を生
成し得るようにすることができ、かくして種々のパウダ
ービーム加工に対応し得るパウダービーム加工装置を実
現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。
【0002】 発明の属する技術分野 従来の技術(図10) 発明が解決しようとする課題(図10) 課題を解決するための手段(図1〜図9) 発明の実施の形態 (1)第1の実施の形態(図1〜図5) (2)第2の実施の形態(図1及び図6) (3)他の実施の形態(図1〜図9) 発明の効果
【0003】
【発明の属する技術分野】本発明はパウダービーム加工
装置に関し、特に微粒子を含んだ固気二相流をワーク
(加工対象物)の加工面に噴射するようにして当該加工
面をエツチング等のパウダービーム加工するパウダービ
ーム加工装置に適用して好適なものである。
【0004】
【従来の技術】従来、この種のパウダービーム加工装置
として、図10のように構成されたものがある。
【0005】かかる構成のパウダービーム加工装置1に
おいては、供給される高圧エアーAir を固気二相流生成
部2のドライユニツト3において乾燥させた後、流量セ
ンサ4を介して分岐部5に入力して分岐し、得られた一
方の高圧エアー(以下、これを第1の分岐高圧エアーと
呼ぶ)Air1をレギユレータ6を介して混合タンク7の下
部に与えると共に、他方の高圧エアー(以下、これを第
2の分岐高圧エアーと呼ぶ)Air2を流量制御部8を介し
てエゼクタ9に与えるようになされている。
【0006】このとき混合タンク7の内部には例えば炭
化珪素やアルミナ又はガラス等の微粒子Pが溜められて
おり、これが分岐部5から供給される第1の分岐高圧エ
アーAir1によつて吹き上げられ、固気状態(空気内に分
散された状態)で配管10を介してエゼクタ9に供給さ
れる。
【0007】そしてエゼクタ9は、流量制御部8から供
給される第2の分岐高圧エアーAir2と、混合タンク7か
ら供給される微粒子Pとを混合し、得られた固気二相流
Air3を配管を介して加工室11内の噴射ノズル12に圧
送する。なおこのときエゼクタ9に与えられる第2の分
岐高圧エアーAir2の流量は、噴射ノズル12に圧送され
る固気二相流Air3の流量が一定となるように流量制御部
8により制御される。
【0008】これによりパウダービーム加工装置1にお
いては、固気二相流生成部2において生成された固気二
相流Air3を、噴射ノズル12を介して加工室11内の所
定位置に所定状態にセツトされたワーク13の加工面に
吹きつけることができ、かくしてこの固気二相流Air3に
含まれる微粒子Pによつてワーク13の加工面をエツチ
ング等することができるようになされている。
【0009】またこのとき噴射ノズル13は、XYステ
ージ14と連結されたアーム15の先端部に固定されて
おり、XYステージ14からアーム15を介して与えら
れるX方向(矢印x)及びY方向(矢印y)の推進力に
基づいてXY方向に自在に移動し得るようになされてい
る。これによりパウダービーム加工装置1においては、
ワーク13の加工面全面に亘つてパウダービーム加工処
理を行い得るようになされている。
【0010】一方、加工室11は配管16を介して分離
室17と連結されおり、噴射ノズル12から噴射された
固気二相流Air3はこの配管16を通じて分離室17に送
られる。そしてこの分離室17内に送られた固気二相流
Air3は、一部が1次フイルタ18により濾過された後、
配管19を通じて加工室11内に送り戻され、残りがさ
らにヘパフイルタでなる2次フイルタ19により濾過さ
れた後、外部に排出される。
【0011】また1次フイルタ18により固気二相流Ai
r3から分離された微粒子Pは、バタフライ弁20により
開閉自在の連結部21を介して貯蔵室22に送られる。
【0012】このとき貯蔵室22の下部にはスクリユ2
3が配設されており、当該スクリユ23はモータ24か
ら与えられる回転力に基づいて回転することにより貯蔵
室22内の微粒子Pをアイソレータ25を介して固気二
相流生成部2の混合タンク7内に送出し得るようになさ
れている。
【0013】これによりこのパウダービーム加工装置1
においては、パウダービーム加工により使用した微粒子
Pを加工室11、分離室17及び貯蔵室22を順次介し
て再び混合タンク7に戻すことができ、かくして微粒子
Pを効率良く使用し得るようになされている。
【0014】なおこのパウダービーム加工装置1の場
合、混合タンク7の下部には当該混合タンク7内の微粒
子Pの重さを測定するための電子天秤26が設けられる
と共に、混合タンク7の上部には駆動機構27から与え
られる推進力に基づいて昇降することにより混合タンク
7の導入口を開閉し得るように三角弁28が配設されて
いる。
【0015】これによりこのパウダービーム加工装置1
においては、貯蔵室22と混合タンク7とを三角弁28
により機械的に分離することができ、かくして混合タン
ク7内の微粒子Pの重さを電子天秤26により正確に測
定しながら常に一定量の微粒子Pをエゼクタ9に送り出
すことができるようになされている。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】ところでかかる構成の
パウダービーム加工装置1において、例えばワーク13
の加工面をごく僅かに加工したい場合には、噴射ノズル
12から噴射される固気二相流Air3の流量を抑え、運動
エネルギの小さい微粒子Pをワーク13の加工面に衝突
させるようにすれば良い。
【0017】またこの場合加工レートを上げるためには
固気二相流Air3に含まれる微粒子Pの数をできるだけ多
くすれば良く、従つてこの場合には混合タンク7内にで
きるだけ多くの第1の分岐高圧エアーAir1を供給するよ
うにすれば良い。
【0018】しかしながらかかる構成のパウダービーム
加工装置1においては、上述のように供給される高圧エ
アーAir を分岐部5において分岐し、得られた第1の分
岐高圧エアーAir1によつて混合タンク7内の微粒子Pを
吹き上げ、これを第2の分岐高圧エアーAir2と混合する
ようにして固気二相流Air3を形成しているため、噴射ノ
ズル13から噴射させる固気二相流Air3の流量と、当該
固気二相流Air3に含まれる微粒子Pの数とを独立に調整
することができない。
【0019】このためパウダービーム加工装置1におい
ては、固気二相流Air3の流量を抑えながら当該固気二相
流Air3に含まれる微粒子Pの数をできるだけ多くするよ
うなことができず、高い加工レートでワーク13の加工
面を僅かに加工するなどの種々のパウダービーム加工に
対応することができない問題があつた。
【0020】またかかる構成のパウダービーム加工装置
1においては、固気二相流Air3に含まれる微粒子Pの数
をできるだけ多くする(すなわち加工レート上げる)目
的で混合タンク7に供給する第1の分岐高圧エアーAir1
の流量を増加させると、微粒子Pの固まり(以下、これ
を粉ボールと呼ぶ)が発生し、これがエゼクタ9におい
て第2の分岐高圧エアーAir2及び噴射ノズル12を介し
てワーク13の加工面に吹き当てられることにより、噴
射ノズル13から噴出させる微粒子の量の制御に悪影響
を及ぼし、またワーク13自体にも悪影響を及ぼす問題
があつた。
【0021】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、種々のパウダービーム加工に対応し得るパウダービ
ーム加工装置を提案しようとするものである。
【0022】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、パウダービーム加工装置におい
て、蓄え手段に蓄えられた微粒子を固相状態のまま所定
量ずつ高圧気体の流路でなる分散室内に送り出す送出し
手段を設けるようにした。
【0023】この結果生成される固気二相流の流量と、
当該固気二相流に含まれる微粒子の量とを個別に調整し
得るようにすることができる。
【0024】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施の形態を詳述する。
【0025】図10との対応部分に同一符号を付して示
す図1において、30は全体として本実施の形態による
パウダービーム加工装置を示し、固気二相流生成部31
の構成を除いてパウダービーム加工装置1(図10)と
同様に構成されている。
【0026】すなわちこのパウダービーム加工装置30
の場合、固気二相流生成部31においては、供給される
高圧エアーAir をドライユニツト3、流量センサ4、流
量制御部8を順次介して分岐部5に入力し、これを分岐
部5において分岐して一方の第1の分岐高圧エアーAir
10 を混合部32の分散室33に送出すると共に、他方
の第2の分岐高圧エアーAir11 をエゼクタ9に送出す
る。
【0027】混合部32においては、図2(A)及び
(B)に示すように、微粒子Pが溜められた容器部34
と、分岐部5及びエゼクタ9間を接続する第1の分岐高
圧エアーAir10 の流路の一部でなる上述の分散室33と
を連結部35を介して連結することにより構成されてお
り、容器部34の内部下側にはスクリユ40が設けられ
ている。
【0028】この場合スクリユ40は、図3に示すよう
に、断面円形状の第1の棒材41の外周面に断面長方形
状の第2の棒材42を正確に所定ピツチで巻き付けるこ
とにより、全体として外周面に螺旋状の溝部40Aを有
する円柱状に形成されている。
【0029】またスクリユ40は、容器部34(図1)
に固定されたモータ43から出力される回転力に基づい
て、その中心軸K1を中心として矢印aで示す回転方向
に回転し得るようになされている。
【0030】これによりこのパウダービーム加工装置3
0においては、モータ43を駆動させてスクリユ40を
一定速度で矢印a方向に回転させることにより、スクリ
ユ40の溝部40Aに入り込んだ微粒子Pを固相状態
(空気内に分散していない容器部34内に溜まつたまま
の相状態)のまま当該スクリユ40の回転速度に応じた
一定量ずつ分散室33内に送り出すことができるように
なされている。
【0031】そしてこの分散室33内に送り出された微
粒子Pは、分散室33を流れる第1の分岐高圧エアーAi
r10 内に分散し、この第1の分岐高圧エアーAir10 がエ
ゼクタ9において第2の分岐高圧エアーAir11 と混合さ
れ加速されて固気二相流Air12 が生成され、これが噴射
ノズル12に圧送される。
【0032】これによりこのパウダービーム加工装置3
0においては、混合部32のスクリユ40の回転速度に
応じた量の微粒子Pを含んだ固気二相流Air12 を噴射ノ
ズル12を介して加工室11(図1)内に固定されたワ
ーク13の加工面に吹き当てることができ、かくしてこ
の固気二相流Air12 によつてワーク13の加工面をパウ
ダービーム加工することができるようになされている。
【0033】この実施の形態の場合、混合部32の容器
部34の内部には当該容器部34内の微粒子Pを攪拌す
る攪拌フレーム50が配設されている。
【0034】実際上攪拌フレーム50においては、図2
(A)及び(B)からも明らかなように、スクリユ40
と平行にかつ回転自在に配設された回転軸51を有し、
当該回転軸51にそれぞれ支持棒52A、52Bを介し
て棒状の第1及び第2の攪拌部材53A、53Bが回転
軸51の重心を中心として点対象な位置関係で取り付け
られることにより構成されている。
【0035】また攪拌フレーム50は、モータ43の回
転出力に基づいて回転軸51の中心軸を中心としてスク
リユ40と連動して回転し得るようになされており、こ
のとき第1及び第2の攪拌部材53A、53Bの外周面
がスクリユ40の外周面と接触し得るように配設位置が
選定されている。
【0036】これによりこのパウダービーム加工装置3
0においては、混合部32の容器部34内に溜められた
微粒子Pのうち、特にスクリユ40の周囲の微粒子Pを
攪拌フレーム50の第1及び第2の攪拌部材53A、5
4Bにより攪拌するようにしてスクリユ40の溝部40
A内に落とし入れることができる一方、第1及び第2の
攪拌部材53A、53Bによりスクリユ40の外周面を
擦るようにしてスクリユ40の溝部40A内に常に一定
量の微粒子Pを供給することができ、かくしてスクリユ
40を一定速度で回転させたときに常に一定量の微粒子
Pを分散室33内に送り出すことができるようになされ
ている。
【0037】またこの実施の形態の場合、図4に示すよ
うに、連結部35の分散室33側の開口端(以下、これ
を分散室側開口端と呼ぶ)には、目開きが例えば2〔m
m〕〜3〔mm〕角程度の金網60が取り付けられてい
る。
【0038】これによりこのパウダービーム加工装置3
0においては、スクリユ40によつて混合部32の分散
室33内に送り出される微粒子Pのかたまりをこの金網
60を通すことによつて細分化させることができ、かく
して微粒子Pを分散室33においてより確実に第1の分
岐高圧エアーAir10 内に分散させることができるように
なされている。
【0039】さらにこの実施の形態の場合、特に図2
(A)からも明らかなように、混合部32には、分散室
33の連結部35との連結位置よりも第1の分岐高圧エ
アーAir10 の流れの僅か風上位置と、容器部34の上部
とを連通接続するようにバイパス61が設けられてい
る。
【0040】これによりこのパウダービーム加工装置3
0においては、連結部35の分散空側開口端における圧
力と、容器部34の内圧とをほぼ一致させることがで
き、かくして分散室33内を流れる第1の分岐高圧エア
ーAir10 が連結部35を介して容器部34内に流れ込む
のを防止できるようになされている。
【0041】実際上、図5に示すように、混合部32の
内部上側の圧力及び連結部35の分散室側開口端におけ
る圧力間の差と、スクリユ40により分散室33内に送
り出される微粒子Pの数との関係を調べてみたところ、
連結部35の分散室側開口端における圧力をa〔Kgf/cm
2 〕とし、混合部32の容器部34の内部上側の圧力を
bとして、次式
【数1】 を満足するように混合部32の容器部34の内部上側の
圧力bを調整することによつてスクリユ40の溝部40
A内の微粒子Pが第1の分岐高圧エアーAir10 の圧力に
よつて容器部34内に押し戻されるのを防止できること
が実験により確認された。なお図5において、斜線の部
分はスクリユ40により分散室33内に送り出される微
粒子Pの量が変動する領域を示す。
【0042】従つてこのパウダービーム加工装置30で
は、このようにバイパス61を設けることによつてスク
リユ40の回転に伴つて常に当該スクリユ40の回転速
度に応じた一定量の微粒子Pを分散室33内に送り出す
ことができ、かくしてスクリユ40の回転速度に応じた
所定量の微粒子Pを含む固気二相流Air13 を噴射ノズル
12から噴出させることができるようになされている。
【0043】以上の構成において、このパウダービーム
加工装置30では、供給される高圧エアーAir を流量制
御部8を介して分岐部5に入力すると共に、これを分岐
部5において分岐し、得られた一方の第1の分岐高圧エ
アーAir10 を混合部32の分散室33に導入する。
【0044】またこのとき混合部32の容器部34内に
溜められた微粒子Pを電子天秤26により重さを測定し
ながらスクリユ40により固相状態のまま分散室33内
に所定量ずつ送り出すことにより、当該微粒子Pを分散
室33内において第1の分岐高圧エアーAir10 内に分散
させ、この後この第1の分岐高圧エアーAir10 をエゼク
タ9において分岐部5により分岐された他方の第2の分
岐高圧エアーAir11 と混合することにより固気二相流Ai
r12 を形成し、これを噴射ノズル12を介して噴射させ
る。
【0045】従つてこのウダービーム加工装置30で
は、噴射ノズル12から噴射させる固気二相流Air12 の
流量を流量制御部8において制御でき、また固気二相流
Air12に含まれる微粒子Pの量を混合部32のスクリユ
40の回転速度を調整することにより制御できるため、
これら固気二相流Air12 の流量及び当該固気二相流Air
12 に含まれる微粒子Pの量を独立して調整することが
できる。
【0046】またこのパウダービーム加工装置30で
は、混合部32のスクリユ40により分散室33内に送
り出される固相状態の微粒子Pの固まりを金網60によ
り細分化するようにしているため、微粒子Pを第1の分
岐高圧エアーAir10 内により分散させることができ、粉
ボールの発生を未然に防止することができる。
【0047】以上の構成によれば、第1の分岐高圧エア
ーAir10 の流路内に微粒子Pをモータ43により駆動す
るスクリユ40を用いて固相状態のまま送り出し、分散
させるようにして固気二相流Air12 を形成するようにし
たことにより、噴射ノズル12から噴射させる固気二相
流Air12 の流量及び当該固気二相流Air12 に含まれる微
粒子Pの量を独立して調整することができる。かくする
につき種々の形態の固気二相流Air12 を噴射ノズル12
から噴出させることができ、かくして種々のパウダービ
ーム加工に対応し得るパウダービーム加工装置を実現で
きる。
【0048】(2)第2の実施の形態 図2(A)及び(B)との対応部分に同一符号を付した
図6(A)及び(B)は、図1に示すパウダービーム加
工装置30の混合部32に代えて適用する第2の実施の
形態による混合部70を示すものであり、容器部34及
び分散室71間を連結する連結部72の分散室側開口端
が当該分散室71内部の中央位置にまで突出形成されて
いる。
【0049】また分散室71の内部には、第1の分岐高
圧エアーAir10 の流れ方向と平行に先窄み形状のノズル
73が、その先端が連結部72の先端と対向するように
位置が選定されて配設されている。
【0050】これによりこの混合部70においては、分
散室71内を流れる第1の分岐高圧エアーAir10 をノズ
ル73により圧縮して連結部72の先端部に吹きつける
ことができ、かくして連結部72の先端からスクリユ4
0により分散室71内に送り出される固相状態の微粒子
Pをこのノズル73の先端部から出力される圧縮された
第1の分岐高圧エアーAir10 によつてより確実に第1の
分岐高圧エアーAir10内に分散させることができるよう
になされている。
【0051】この実施の形態の場合、容器34の内部上
側は配管74を介して図示しない高圧エアー源と接続さ
れると共に、分散室71には連結部72の分散室71側
出口の圧力を測定し得るように圧力センサ75が設けら
れている。
【0052】この場合圧力センサ75は、測定により得
られた連結部72の分散室側開口端近傍の圧力を圧力検
出信号S1として、配管74の途中に設けられた電空弁
76に送出すると共に、当該電空弁76は、供給される
圧力検出信号S1に基づいて、連結部72の分散室側開
口端近傍の圧力と、容器部34の内部上側の圧力とが同
じになるように配管76内を流れる高圧エアーの流量を
制御するようになされている。
【0053】これによりこの混合部70においては、連
結部72の分散室側開口端近傍の圧力と、容器部34の
内にほぼ同じに制御することができ、かくして図5につ
いて上述したように、スクリユ40の回転に伴つて常に
当該スクリユ40の回転速度に応じた一定量の微粒子P
を分散室71内に送り出すことができるようになされて
いる。
【0054】以上の構成によれば、分散室71の内部に
第1の分岐高圧エアーAir10 の流れ方向と平行に先窄み
形状のノズル73をその先端が連結部72の先端と対向
するように配設するようにしたことにより、スクリユ4
0によつて分散室71内に送り出される微粒子Pをより
確実に第1の分岐高圧エアーAir10 内に分散させること
ができる。かくするにつき僅かな流れの第1の分岐高圧
エアーAir10 内により多くの微粒子Pを分散させること
ができ、かくして種々の形態の固気二相流Air12 を噴射
ノズル12から噴出させることができる分、種々のパウ
ダービーム加工に対応し得るパウダービーム加工装置を
実現できる。
【0055】(3)他の実施の形態 なお上述の第1及び第2の実施の形態においては、高圧
エアーAir に微粒子Pを分散させるようにして固気二相
流を生成するようにした場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、この他種々の高圧気体に微粒子Pを分
散させて固気二相流を生成するようにしても良い。
【0056】また上述の第1及び第2の実施の形態にお
いては、微粒子Pを一時蓄える蓄え手段として、図2
(A)及び(B)に示すような形状の容器部34を適用
するようにした場合について述べたが、本発明はこれに
限らず、微粒子Pを一時蓄える蓄え手段の形状として
は、この他種々の形状を適用できる。
【0057】さらに上述の第1及び第2の実施の形態に
おいては、第1の分岐高圧エアーAir10 の流路の一部を
形成する分散室33、71を図2又は図6のように構成
するようにした場合について述べたが、本発明はこれに
限らず、この他種々の形状を適用できる。
【0058】さらに上述の第1及び第2の実施の形態に
おいては、混合部32、70の容器部34に溜められた
微粒子Pを固相状態のまま分散室33、71に送り出す
送出し手段を図3のように形成されたスクリユ40及び
モータ43により構成するようにした場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、要は、容器部34に溜め
られた微粒子Pを所定量ずつ分散室33、71内に送り
出すことができるのであれば、送出し手段の構成として
は、この他種々の構成を適用できる。
【0059】さらに上述の第1及び第2の実施の形態に
おいては、混合部32、70の分散室33、71内に送
り出される固相状態の微粒子Pを細分化する細分化手段
として目開きが例えば2〔mm〕〜3〔mm〕角程度の金網
60を適用するようにした場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、要は、混合部32、70の分散室3
3、71内に送り出される微粒子Pのかたまりを細分化
することができるのであれば、細分化手段としてはこの
他種々のものを適用できる。
【0060】この場合細分化手段として、金網60に代
えて例えば図7に示すような蜂の巣状(ハニカム状)の
網を利用するようにしても良く、また例えば図8に示す
ように、連結部35の分散室33側出口に対応させて配
設されたモータ91と、当該モータ91の出力軸92の
先端部に取り付けられた羽根93とで細分化手段を構成
し、スクリユ40により分散室33、71内に送り出さ
れる固相状態の微粒子Pをこの羽根93により少しずつ
掻き取るようにして第1の分岐高圧エアーAir10 内に分
散させるようにしても良い。
【0061】さらに上述の第1及び第2の実施の形態に
おいては、混合部32、71の容器部34内に溜められ
た微粒子Pの重さを電子天秤26により測定しながらモ
ータ43を制御することにより、一定量の微粒子Pをス
クリユ40により分散室33、71内に送り出すように
した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例
えば図9に示すように、容器部34内に当該容器部34
の高さ方向にバイモルフ型の複数のセンサ94A〜94
Dを所定ピツチで配設し、これらセンサ94A〜94D
の出力に基づいて容器部34内に溜められている微粒子
Pの量を測定するようにしても良い。
【0062】さらに上述の第1の実施の形態において
は、混合部32の連結部34の分散室側開口近傍におけ
る分散室33の圧力と、容器部34の内圧とを同じ又は
ほぼ同じに制御する制御手段として、分散室33及び容
器部34間を連通接続するバイパス61を適用し、第2
の実施の形態においては、混合部70の連結部72の分
散室側開口近傍における分散室71の圧力と、容器部3
4の内圧とを同じ又はほぼ同じに制御する制御手段とし
て圧力センサ75、電空弁76を適用するようにした場
合について述べたが、本発明はこれに限らず、これら制
御手段の構成としては、この他種々の構成を適用でき
る。
【0063】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、高圧気体
内に微粒子を分散させ、得られた固気二相流を加工対象
物の表面に噴射するようにして当該加工対象物の加工面
を加工するパウダービーム加工装置において、微粒子を
一時蓄える蓄え手段と、高圧気体の流路の一部を形成す
る分散室と、蓄え手段に蓄えられた上記微粒子を固相状
態のまま所定量ずつ上記分散室内に送り出す送出し手段
とを設けるようにしたことにより、生成される固気二相
流の流量と、当該固気二相流に含まれる微粒子の量とを
容易に独立して調整し得るようにすることができる。か
くするにつき種々の形態の固気二相流を生成し得るよう
にすることができ、かくして種々のパウダービーム加工
に対応し得るパウダービーム加工装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態によるパウダービーム加工装
置の構成を示す略線図である。
【図2】第1の実施の形態による混合部の構成を示す略
線的な端面図である。
【図3】スクリユの構成を示す側面図である。
【図4】第1の実施の形態による連結部の分散室側開口
の近傍の様子を示す略線的な端面図である。
【図5】容器部の内圧と連結部の分散室側開口端におけ
る圧力との差に起因するスクリユにより分散室に送り出
される微粒子の量の説明に供する特性曲線図である。
【図6】第2の実施の形態による混合部の構成を示す略
線図である。
【図7】他の実施の形態の説明に供する略線的な端面図
である。
【図8】他の実施の形態の説明に供する略線的な端面図
である。
【図9】他の実施の形態の説明に供する略線的な端面図
である。
【図10】従来のパウダービーム加工装置の構成を示す
略線図である。
【符号の説明】
12……噴射ノズル、13……ワーク、30……パウダ
ービーム加工装置、31……固気二相流生成部、32、
70……混合部、33、71……分散室、34……容器
部、35、72……連結部、40……スクリユ、40A
……溝部、43、91……モータ、50……攪拌フレー
ム、60……金網、61……バイバス、73……配管
材、75……圧力センサ、76……電空弁、90……
網、93……羽根、Air ……高圧エアー、Air10 、Air
11 ……分岐高圧エアー、Air12 ……固気二相流。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】高圧気体内に微粒子を分散させ、得られた
    固気二相流を加工対象物の表面に噴射するようにして当
    該加工対象物の加工面を加工するパウダービーム加工装
    置において、 上記微粒子を一時蓄える蓄え手段と、 上記高圧気体の流路の一部を形成する分散室と、 上記蓄え手段に蓄えられた上記微粒子を固相状態のまま
    所定量ずつ上記分散室内に送り出す送出し手段とを具え
    ることを特徴とするパウダービーム加工装置。
  2. 【請求項2】上記分散室内に送り出される上記微粒子の
    かたまりを細分化する細分化手段を具えることを特徴と
    する請求項1に記載のパウダービーム加工装置。
  3. 【請求項3】上記分散室における上記固相状態の上記微
    粒子が送り出される位置の圧力と同じ又はほぼ同じ圧力
    となるように上記蓄え手段の内圧を制御する制御手段を
    具えることを特徴とする請求項1に記載のパウダービー
    ム加工装置。
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