JPH11201531A - クリーンルームの環境評価システム - Google Patents
クリーンルームの環境評価システムInfo
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- JPH11201531A JPH11201531A JP10238404A JP23840498A JPH11201531A JP H11201531 A JPH11201531 A JP H11201531A JP 10238404 A JP10238404 A JP 10238404A JP 23840498 A JP23840498 A JP 23840498A JP H11201531 A JPH11201531 A JP H11201531A
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- environment evaluation
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- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
Landscapes
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルームの環境条件を無線に送受信し
て環境評価を行うことができるクリーンルームの環境評
価システムを提供する。 【解決手段】 クリーンルームの特定の位置に設置さ
れ、クリーンルームの環境条件を測定する複数個の測定
機器１０、測定機器１０に連結され測定資料を信号変換
し無線に転送する送信機１２、クリーンルーム内に設置
され送信機１２から転送される無線信号を受信し信号変
換する受信機１４、および受信機１４に連結され測定資
料を分析して所定の値と比較評価するホストコンピュー
タ１６を備えている。したがって、測定機器の位置が自
在な状態で持続的な環境評価が行うことができ、無線を
通じて測定資料を送出して環境評価が行われるので施設
費用が減少し、クリーンルームの環境を維持し生産効率
を高めることができる。
て環境評価を行うことができるクリーンルームの環境評
価システムを提供する。 【解決手段】 クリーンルームの特定の位置に設置さ
れ、クリーンルームの環境条件を測定する複数個の測定
機器１０、測定機器１０に連結され測定資料を信号変換
し無線に転送する送信機１２、クリーンルーム内に設置
され送信機１２から転送される無線信号を受信し信号変
換する受信機１４、および受信機１４に連結され測定資
料を分析して所定の値と比較評価するホストコンピュー
タ１６を備えている。したがって、測定機器の位置が自
在な状態で持続的な環境評価が行うことができ、無線を
通じて測定資料を送出して環境評価が行われるので施設
費用が減少し、クリーンルームの環境を維持し生産効率
を高めることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームの
環境評価システムに関する。
環境評価システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程が遂行されるクリーンル
ームは清浄度によっていくつかの等級に区分される。清
浄度は単位面積当り存在する一定の大きさのパーティク
ルの個数によって区分されるが、一定の水準の清浄度を
維持するためには、随時に測定が行われ、管理されなけ
ればならない。
ームは清浄度によっていくつかの等級に区分される。清
浄度は単位面積当り存在する一定の大きさのパーティク
ルの個数によって区分されるが、一定の水準の清浄度を
維持するためには、随時に測定が行われ、管理されなけ
ればならない。
【０００３】また、パーティクルだけではなく、温度、
湿度および圧力を一定に維持することもクリーンルーム
の管理のために非常に重要である。特に、偶発的な事故
が予想され清浄度に影響を与える地点を把握して常時測
定が行われなければならないし、クリーンルームの内部
を移動しながら持続的な清浄度の測定が要求される。
湿度および圧力を一定に維持することもクリーンルーム
の管理のために非常に重要である。特に、偶発的な事故
が予想され清浄度に影響を与える地点を把握して常時測
定が行われなければならないし、クリーンルームの内部
を移動しながら持続的な清浄度の測定が要求される。
【０００４】従来のクリーンルームの環境評価は、環境
評価用ホストコンピュータにケーブルを介して連結され
たセンサー、カウンターおよび分析器が連結され、事前
にセットアップされて、これに対する資料を受信するこ
とができる適切なファームウェーアを採用したＦＭＳ
（Facility Monitoring System）を利用して行われた。
そして、局部的な区域やシステムが感知し難い設備の内
部は作業者の操作による移動用評価設備を利用して直接
問題が発生される地域に接近して環境評価が行われた。
評価用ホストコンピュータにケーブルを介して連結され
たセンサー、カウンターおよび分析器が連結され、事前
にセットアップされて、これに対する資料を受信するこ
とができる適切なファームウェーアを採用したＦＭＳ
（Facility Monitoring System）を利用して行われた。
そして、局部的な区域やシステムが感知し難い設備の内
部は作業者の操作による移動用評価設備を利用して直接
問題が発生される地域に接近して環境評価が行われた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方式による評価方法は次のようないくつかの問題点
を有している。システムに採用されたセンサーおよび分
析器は大部分が固定型なので、設置された区域に対する
クリーンルームの全般的な環境評価は容易に行われた
が、センサーおよび分析機器のシステムがおよばない局
部に対しては作業者が直接移動用評価設備を利用して測
定したため、長期間のモニタリング時には別途のシステ
ムを用意しなければならないという問題点があった。
うな方式による評価方法は次のようないくつかの問題点
を有している。システムに採用されたセンサーおよび分
析器は大部分が固定型なので、設置された区域に対する
クリーンルームの全般的な環境評価は容易に行われた
が、センサーおよび分析機器のシステムがおよばない局
部に対しては作業者が直接移動用評価設備を利用して測
定したため、長期間のモニタリング時には別途のシステ
ムを用意しなければならないという問題点があった。
【０００６】また、外部の汚染源から影響が最小化され
る高清浄環境で、高集積製品を製造するための製造設備
の評価は特性上工程進行条件を妨害しない範囲で行われ
なければならず、製造設備のドアーを開けて測定した
り、実際の工程は進行されない状態で測定が行われるな
どの製造設備の内部環境評価が工程が進行される実際の
状況で行われないため、正確な環境評価が行われないと
いう問題点があった。前述したように、クリーンルーム
および製造設備の内部の清浄度のような環境評価時、長
期間モニタリングのための新しいシステムが要求され、
局所部分の環境評価が制限的に行われて正確な評価が遂
行されないという問題点があった。
る高清浄環境で、高集積製品を製造するための製造設備
の評価は特性上工程進行条件を妨害しない範囲で行われ
なければならず、製造設備のドアーを開けて測定した
り、実際の工程は進行されない状態で測定が行われるな
どの製造設備の内部環境評価が工程が進行される実際の
状況で行われないため、正確な環境評価が行われないと
いう問題点があった。前述したように、クリーンルーム
および製造設備の内部の清浄度のような環境評価時、長
期間モニタリングのための新しいシステムが要求され、
局所部分の環境評価が制限的に行われて正確な評価が遂
行されないという問題点があった。
【０００７】したがって本発明の目的は、正確にクリー
ンルームの環境評価することができるクリーンルームの
環境評価システムを提供することにある。本発明の別の
目的は、移動式のクリーンルームの環境評価システムを
提供することにある。本発明のさらに別の目的は、測定
機器の動作を制御することができるクリーンルームの環
境評価システムを提供することにある。
ンルームの環境評価することができるクリーンルームの
環境評価システムを提供することにある。本発明の別の
目的は、移動式のクリーンルームの環境評価システムを
提供することにある。本発明のさらに別の目的は、測定
機器の動作を制御することができるクリーンルームの環
境評価システムを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のクリーンルームの環境評価システムによると、クリー
ンルームの特定の位置に設置されクリーンルームの環境
条件を測定することができる複数個の測定手段と、複数
個の測定手段にそれぞれ連結され測定資料を信号変換し
て無線で転送する複数個の送信部と、クリーンルームの
内に設置され送信部から転送される無線信号を受信し信
号変換する受信部と、受信部に連結され測定資料を分析
し既に設定された所定の範囲の値と比較評価するホスト
コンピュータを備えている。したがって、クリーンルー
ムの所定の位置で自動的にクリーンルーム内の環境条件
を測定し、評価することができる。また、測定が困難な
位置でも容易に環境条件の測定を実施することができ
る。
のクリーンルームの環境評価システムによると、クリー
ンルームの特定の位置に設置されクリーンルームの環境
条件を測定することができる複数個の測定手段と、複数
個の測定手段にそれぞれ連結され測定資料を信号変換し
て無線で転送する複数個の送信部と、クリーンルームの
内に設置され送信部から転送される無線信号を受信し信
号変換する受信部と、受信部に連結され測定資料を分析
し既に設定された所定の範囲の値と比較評価するホスト
コンピュータを備えている。したがって、クリーンルー
ムの所定の位置で自動的にクリーンルーム内の環境条件
を測定し、評価することができる。また、測定が困難な
位置でも容易に環境条件の測定を実施することができ
る。
【０００９】本発明の請求項２に記載のクリーンルーム
の環境評価システムによると、測定手段は既に設定され
たプログラムによって移動する自動返送ロボットに設置
され環境条件を測定するので、自動的かつ正確に環境条
件を測定することができ、人件費などのコストを低減す
ることができる。
の環境評価システムによると、測定手段は既に設定され
たプログラムによって移動する自動返送ロボットに設置
され環境条件を測定するので、自動的かつ正確に環境条
件を測定することができ、人件費などのコストを低減す
ることができる。
【００１０】本発明の請求項３に記載のクリーンルーム
の環境評価システムによると、測定手段として、パーテ
ィクル測定器、温度測定器、湿度測定器、圧力測定器、
などが含まれるので、クリーンルーム内の様々な環境条
件を測定することができる。本発明の請求項４に記載の
クリーンルームの環境評価システムによると、送信部は
それぞれの測定手段の位置および測定品目を区分する識
別符号を含めて送信することができるので、いずれの測
定手段がどこで測定した測定条件かを容易に識別するこ
とができる。
の環境評価システムによると、測定手段として、パーテ
ィクル測定器、温度測定器、湿度測定器、圧力測定器、
などが含まれるので、クリーンルーム内の様々な環境条
件を測定することができる。本発明の請求項４に記載の
クリーンルームの環境評価システムによると、送信部は
それぞれの測定手段の位置および測定品目を区分する識
別符号を含めて送信することができるので、いずれの測
定手段がどこで測定した測定条件かを容易に識別するこ
とができる。
【００１１】本発明の請求項５に記載のクリーンルーム
の環境評価システムによると、クリーンルームに設置さ
れ所定の経路を形成するレールと、レールに設置され所
定の経路を移動する移送手段と、移送手段に設置されク
リーンルームの内部の環境条件を測定する複数個の測定
手段と、測定手段に有線で連結され測定された結果を評
価するホストコンピュータを備えている。したがって、
クリーンルーム内の所定の経路を移動しながら所定の位
置で自動的にクリーンルーム内の環境条件を測定し、評
価することができる。
の環境評価システムによると、クリーンルームに設置さ
れ所定の経路を形成するレールと、レールに設置され所
定の経路を移動する移送手段と、移送手段に設置されク
リーンルームの内部の環境条件を測定する複数個の測定
手段と、測定手段に有線で連結され測定された結果を評
価するホストコンピュータを備えている。したがって、
クリーンルーム内の所定の経路を移動しながら所定の位
置で自動的にクリーンルーム内の環境条件を測定し、評
価することができる。
【００１２】本発明の請求項６に記載のクリーンルーム
の環境評価システムによると、経路は一つの閉ルーフを
形成しているので、クリーンルーム内を巡回しながら定
期的に環境条件を測定することができる。本発明の請求
項７に記載のクリーンルームの環境評価システムによる
と、レールは二つ以上のお互い違う経路を有しているの
で、クリーンルーム内の様々な位置で環境条件を測定す
ることができる。
の環境評価システムによると、経路は一つの閉ルーフを
形成しているので、クリーンルーム内を巡回しながら定
期的に環境条件を測定することができる。本発明の請求
項７に記載のクリーンルームの環境評価システムによる
と、レールは二つ以上のお互い違う経路を有しているの
で、クリーンルーム内の様々な位置で環境条件を測定す
ることができる。
【００１３】本発明の請求項８に記載のクリーンルーム
の環境評価システムによると、レールはクリーンルーム
の上層部に設置されて所定の高さを維持しているので、
常に一定の条件で環境条件を測定することができる。本
発明の請求項９に記載のクリーンルームの環境評価シス
テムによると、移送手段はレールの上を一定の速度を維
持しながら移動するので、定期的に環境条件を測定する
ことができる。
の環境評価システムによると、レールはクリーンルーム
の上層部に設置されて所定の高さを維持しているので、
常に一定の条件で環境条件を測定することができる。本
発明の請求項９に記載のクリーンルームの環境評価シス
テムによると、移送手段はレールの上を一定の速度を維
持しながら移動するので、定期的に環境条件を測定する
ことができる。
【００１４】本発明の請求項１０に記載のクリーンルー
ムの環境評価システムによると、移送手段はレールの上
を不規則的な速度で移動することができるので、観測位
置の重要度によって測定時間を変化することができる。
本発明の請求項１１に記載のクリーンルームの環境評価
システムによると、移送手段はレールの特定位置に所定
の時間の間停止することができるので、測定を行う地点
に停止して長時間測定を続行することができる。
ムの環境評価システムによると、移送手段はレールの上
を不規則的な速度で移動することができるので、観測位
置の重要度によって測定時間を変化することができる。
本発明の請求項１１に記載のクリーンルームの環境評価
システムによると、移送手段はレールの特定位置に所定
の時間の間停止することができるので、測定を行う地点
に停止して長時間測定を続行することができる。
【００１５】本発明の請求項１２に記載のクリーンルー
ムの環境評価システムによると、クリーンルームは別途
に自動返送ロボットに測定手段を設置し環境評価を行う
ことができるので、移動せずに任意の位置で環境条件の
測定を実行することができる。
ムの環境評価システムによると、クリーンルームは別途
に自動返送ロボットに測定手段を設置し環境評価を行う
ことができるので、移動せずに任意の位置で環境条件の
測定を実行することができる。
【００１６】本発明の請求項１３に記載のクリーンルー
ムの環境評価システムは、クリーンルームに設置され所
定の経路を形成するレールと、レールに設置され所定の
経路を移動する移送手段と、移送手段に設置されクリー
ンルームの内部の環境条件を測定する複数個の測定手段
と、測定手段にそれぞれ連結され測定資料を信号変換し
て無線で転送する送信部と、クリーンルーム内に設置さ
れ送信部から転送される無線信号を受信して信号変換す
る受信部と、受信部に連結され測定資料を分析して所定
基準に比較評価するホストコンピュータを備えている。
したがって、クリーンルーム内の所定の経路を移動しな
がら所定の位置で自動的にクリーンルーム内の環境条件
を測定し、評価することができる。
ムの環境評価システムは、クリーンルームに設置され所
定の経路を形成するレールと、レールに設置され所定の
経路を移動する移送手段と、移送手段に設置されクリー
ンルームの内部の環境条件を測定する複数個の測定手段
と、測定手段にそれぞれ連結され測定資料を信号変換し
て無線で転送する送信部と、クリーンルーム内に設置さ
れ送信部から転送される無線信号を受信して信号変換す
る受信部と、受信部に連結され測定資料を分析して所定
基準に比較評価するホストコンピュータを備えている。
したがって、クリーンルーム内の所定の経路を移動しな
がら所定の位置で自動的にクリーンルーム内の環境条件
を測定し、評価することができる。
【００１７】本発明の請求項１４に記載のクリーンルー
ムの環境評価システムによると、レールは二つ以上のお
互い違う経路を有しているので、クリーンルーム内の様
々な位置で環境条件を測定することができる。本発明の
請求項１５に記載のクリーンルームの環境評価システム
によると、移送手段はレールの上を自由な速度で移動す
ることができるので、観測位置の重要度によって測定時
間を変化することができる。
ムの環境評価システムによると、レールは二つ以上のお
互い違う経路を有しているので、クリーンルーム内の様
々な位置で環境条件を測定することができる。本発明の
請求項１５に記載のクリーンルームの環境評価システム
によると、移送手段はレールの上を自由な速度で移動す
ることができるので、観測位置の重要度によって測定時
間を変化することができる。
【００１８】本発明の請求項１６に記載のクリーンルー
ムの環境評価システムによると、送信部の出力信号によ
って発生する磁界の大きさは１ミリガウス以下であるの
で、他の機器に影響をおよぼすことがない。本発明の請
求項１７に記載のクリーンルームの環境評価システムに
よると、送信部はそれぞれの測定手段の位置および測定
品目を区分する識別符号を含めて送信することができる
ので、いずれの測定手段がどこで測定した測定条件かを
容易に識別することができる。本発明の請求項１８に記
載のクリーンルームの環境評価システムによると、送信
部と受信部の間には、中継用送受信部をさらに備えるこ
とができるので、送受信距離の延長および中継を行うこ
とができる。
ムの環境評価システムによると、送信部の出力信号によ
って発生する磁界の大きさは１ミリガウス以下であるの
で、他の機器に影響をおよぼすことがない。本発明の請
求項１７に記載のクリーンルームの環境評価システムに
よると、送信部はそれぞれの測定手段の位置および測定
品目を区分する識別符号を含めて送信することができる
ので、いずれの測定手段がどこで測定した測定条件かを
容易に識別することができる。本発明の請求項１８に記
載のクリーンルームの環境評価システムによると、送信
部と受信部の間には、中継用送受信部をさらに備えるこ
とができるので、送受信距離の延長および中継を行うこ
とができる。
【００１９】本発明の請求項１９および２０に記載のク
リーンルームの環境評価システムによると、ホストコン
ピュータは、クリーンルームを監視および環境評価し、
環境評価の結果によって測定手段および移送手段に制御
用フィードバック信号を出力することができるので、環
境評価の結果に基づいて詳細に測定を続行したり、次の
測定に移ったり、状況に応じて測定を最適化することが
できる。
リーンルームの環境評価システムによると、ホストコン
ピュータは、クリーンルームを監視および環境評価し、
環境評価の結果によって測定手段および移送手段に制御
用フィードバック信号を出力することができるので、環
境評価の結果に基づいて詳細に測定を続行したり、次の
測定に移ったり、状況に応じて測定を最適化することが
できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明による複数の実施例を図面
に基づいて詳細に説明する。図１に示すように、本発明
の第１実施例は、特定の領域に固定するように設置され
る測定器１０に送信機１２が連結され、送信機１２から
無線で送出されたデータを受信する受信機１４を介して
ホストコンピュータ１６が連結されている。
に基づいて詳細に説明する。図１に示すように、本発明
の第１実施例は、特定の領域に固定するように設置され
る測定器１０に送信機１２が連結され、送信機１２から
無線で送出されたデータを受信する受信機１４を介して
ホストコンピュータ１６が連結されている。
【００２１】クリーンルームの特定領域に固定設置さ
れ、クリーンルームの環境を測定する測定機器１０から
測定資料に対する信号が送信機１２に入力されると、送
信機１２によって測定資料が信号に変調され、無線で送
信される。送信機１２を通じて無線転送された信号は、
受信機１４を通じて受信され、ホストコンピュータ１６
に入力されると、ホストコンピュータ１６は入力信号を
分析して環境評価が行う。送信機１２と受信機１４にお
ける信号変換方式は、通常の通信方式を実施する送受信
方式による変調および復調によるものである。
れ、クリーンルームの環境を測定する測定機器１０から
測定資料に対する信号が送信機１２に入力されると、送
信機１２によって測定資料が信号に変調され、無線で送
信される。送信機１２を通じて無線転送された信号は、
受信機１４を通じて受信され、ホストコンピュータ１６
に入力されると、ホストコンピュータ１６は入力信号を
分析して環境評価が行う。送信機１２と受信機１４にお
ける信号変換方式は、通常の通信方式を実施する送受信
方式による変調および復調によるものである。
【００２２】図２〜図６は、本発明の第２実施例を示し
ている。図２に示すように、クリーンルーム内の所定の
経路を有するレール１８の上に移送車両が設置され、こ
こに測定機器２２が設置される。測定機器２２にはホス
トコンピュータ２４が最終的に連結される。
ている。図２に示すように、クリーンルーム内の所定の
経路を有するレール１８の上に移送車両が設置され、こ
こに測定機器２２が設置される。測定機器２２にはホス
トコンピュータ２４が最終的に連結される。
【００２３】したがって、測定機器２２がレール１８上
を移動する移送用車両２０に設置されることにより移動
中も測定を行うことができる。測定した資料は有線を通
じて連結されているホストコンピュータ２４に転送さ
れ、分析し設定された所定の基準によって適切な措置を
取る。図３は、クリーンルーム２６内で自動返送を実施
する例を示したもので、クリーンルーム２６の内部には
設備が配置される設備領域２８と、サービスを実施する
ためのサービス領域３０が区分されている。
を移動する移送用車両２０に設置されることにより移動
中も測定を行うことができる。測定した資料は有線を通
じて連結されているホストコンピュータ２４に転送さ
れ、分析し設定された所定の基準によって適切な措置を
取る。図３は、クリーンルーム２６内で自動返送を実施
する例を示したもので、クリーンルーム２６の内部には
設備が配置される設備領域２８と、サービスを実施する
ためのサービス領域３０が区分されている。
【００２４】上記の設備領域２８とサービス領域３０の
間には、複線のレール１８、３２が設置されている。レ
ール１８、３２には移送車両２０、３４が設置され、移
送車両２０、３４には環境要素を測定する測定機器２
２、３６が設置されている。また、サービス領域３０に
はプログラムによって駆動する自動返送ロボット３８が
測定機器４０を搭載して設置されている。
間には、複線のレール１８、３２が設置されている。レ
ール１８、３２には移送車両２０、３４が設置され、移
送車両２０、３４には環境要素を測定する測定機器２
２、３６が設置されている。また、サービス領域３０に
はプログラムによって駆動する自動返送ロボット３８が
測定機器４０を搭載して設置されている。
【００２５】上記の自動返送によるクリーンルームの環
境評価システムは、レール１８、３２に沿ってクリーン
ルーム２６を循環する移送車両２０、３４に設置される
測定機器２２、３６が、移動しながら環境要素を持続的
に測定し、自動返送ロボット３８に搭載された測定機器
４０が容易に測定することができない設備の局部の環境
要素を測定する。
境評価システムは、レール１８、３２に沿ってクリーン
ルーム２６を循環する移送車両２０、３４に設置される
測定機器２２、３６が、移動しながら環境要素を持続的
に測定し、自動返送ロボット３８に搭載された測定機器
４０が容易に測定することができない設備の局部の環境
要素を測定する。
【００２６】移送車両２０、３４は、パーティクル測定
器、温度および湿度測定器、圧力測定器および差圧測定
器などが必要によって搭載され、レール１８、３２に設
置されて移動する任意の動線付近での汚染程度を測定す
る。測定機器２２、３６は、あらかじめ測定時間、周期
および場所を作業者により設定されており、特に動線上
の特定の部位における測定が要求される場合、レール１
８またはレール３２を選択して移送車両２０または、移
送車両３４を停止した状態で持続的に測定を行うことが
できる。
器、温度および湿度測定器、圧力測定器および差圧測定
器などが必要によって搭載され、レール１８、３２に設
置されて移動する任意の動線付近での汚染程度を測定す
る。測定機器２２、３６は、あらかじめ測定時間、周期
および場所を作業者により設定されており、特に動線上
の特定の部位における測定が要求される場合、レール１
８またはレール３２を選択して移送車両２０または、移
送車両３４を停止した状態で持続的に測定を行うことが
できる。
【００２７】自動返送ロボット３８に測定機器４０を搭
載して局部の測定や、測定が容易ではない部位を測定す
ることで測定の領域が拡大され、クリーンルーム２６の
内部の全体的な環境評価が行うことができる。図４は、
図３の一部を側面から見た状態を示しており、フィルタ
ー４２から所定距離隔離する下部に移送車両２０がレー
ル１８上に設置され、測定機器２２を搭載したまま移動
しながら測定を行う。
載して局部の測定や、測定が容易ではない部位を測定す
ることで測定の領域が拡大され、クリーンルーム２６の
内部の全体的な環境評価が行うことができる。図４は、
図３の一部を側面から見た状態を示しており、フィルタ
ー４２から所定距離隔離する下部に移送車両２０がレー
ル１８上に設置され、測定機器２２を搭載したまま移動
しながら測定を行う。
【００２８】また、図５に示すように、自動返送ロボッ
ト４４に搭載された測定機器４６が製造設備４８の局部
に進入して環境要素を測定する。つまり設備の隅の部位
や測定が容易でない部位の環境要素の測定は、自動返送
ロボット４４に測定機器４６を装着して測定を行うこと
ができる。このようにレール１８、３２の上を移動する
移送車両２０、３４を利用した測定と、自動返送ロボッ
ト４４により測定を行うことで、クリーンルーム２６の
隅々を監視し、常に適正な水準の環境が維持されるよう
に評価、監視することができる。
ト４４に搭載された測定機器４６が製造設備４８の局部
に進入して環境要素を測定する。つまり設備の隅の部位
や測定が容易でない部位の環境要素の測定は、自動返送
ロボット４４に測定機器４６を装着して測定を行うこと
ができる。このようにレール１８、３２の上を移動する
移送車両２０、３４を利用した測定と、自動返送ロボッ
ト４４により測定を行うことで、クリーンルーム２６の
隅々を監視し、常に適正な水準の環境が維持されるよう
に評価、監視することができる。
【００２９】図６および図７は、本発明の第３実施例を
示している。図６に示すように、車両駆動部５０と測定
機器５２が第１送受信部５４に連結され、第１送受信部
５４は無線を通じて中継部５６へ送信する。中継部５６
は第２送受信部５８に無線で信号を送受信でき、最終的
にホストコンピュータ６０に連結される。前述した構成
により、車両の駆動と測定機器５２の測定資料の転送が
無線を通じてホストコンピュータ６０と送受信および制
御され、中継部５６を通じて転送距離の拡張を行うこと
ができる。
示している。図６に示すように、車両駆動部５０と測定
機器５２が第１送受信部５４に連結され、第１送受信部
５４は無線を通じて中継部５６へ送信する。中継部５６
は第２送受信部５８に無線で信号を送受信でき、最終的
にホストコンピュータ６０に連結される。前述した構成
により、車両の駆動と測定機器５２の測定資料の転送が
無線を通じてホストコンピュータ６０と送受信および制
御され、中継部５６を通じて転送距離の拡張を行うこと
ができる。
【００３０】図７に示すように、フィルター４２の下部
に設置されたレール６２の上を移動する移送車両６４に
設置された測定機器６６は、測定資料を送信する送受信
機６８が内蔵され、送受信機６８から送出される電波を
受信する中継機７０がクリーンルームの上部に設置され
ている。中継機７０は、送受信機６８から送出された電
波を受信して第１コンピュータ７２に再び送信する。第
１コンピュータ７２は送受信部７４を内蔵しており、有
線を通じてクリーンルームを監視するホストコンピュー
タ７６に連結されている。
に設置されたレール６２の上を移動する移送車両６４に
設置された測定機器６６は、測定資料を送信する送受信
機６８が内蔵され、送受信機６８から送出される電波を
受信する中継機７０がクリーンルームの上部に設置され
ている。中継機７０は、送受信機６８から送出された電
波を受信して第１コンピュータ７２に再び送信する。第
１コンピュータ７２は送受信部７４を内蔵しており、有
線を通じてクリーンルームを監視するホストコンピュー
タ７６に連結されている。
【００３１】自動返送ロボット７８に搭載された測定機
器８０も送受信機８２を内蔵しており、中継機７０を通
じて第１コンピュータ７２に測定資料を送信し、ホスト
コンピュータ７６に伝達される。前述した第３実施例に
よると、測定機器８０を通じて得られた測定資料は無線
を通じて送出され、中継機７０を通じて第１コンピュー
タ７２に伝達される。さらに、有線を通じてホストコン
ピュータ７６に入力され、環境評価が行われる。
器８０も送受信機８２を内蔵しており、中継機７０を通
じて第１コンピュータ７２に測定資料を送信し、ホスト
コンピュータ７６に伝達される。前述した第３実施例に
よると、測定機器８０を通じて得られた測定資料は無線
を通じて送出され、中継機７０を通じて第１コンピュー
タ７２に伝達される。さらに、有線を通じてホストコン
ピュータ７６に入力され、環境評価が行われる。
【００３２】レール６２および自動返送ロボット７８に
搭載されている測定機器６６、８０にあらかじめプログ
ラムされた命令により、クリーンルームの環境要素を把
握するための測定を実行することができる。測定機器８
０を通じて得られた測定資料は、内蔵された送受信部６
８を通じて適当な信号に変調され中継機７０に送出され
る。このとき、送出される電波は電界基準で１ミリガウ
ス以下の出力を有している。
搭載されている測定機器６６、８０にあらかじめプログ
ラムされた命令により、クリーンルームの環境要素を把
握するための測定を実行することができる。測定機器８
０を通じて得られた測定資料は、内蔵された送受信部６
８を通じて適当な信号に変調され中継機７０に送出され
る。このとき、送出される電波は電界基準で１ミリガウ
ス以下の出力を有している。
【００３３】中継機７０は、測定機器６６から送出され
た信号を第１コンピュータ７２に送出する。送受信部７
４を内蔵している第１コンピュータ７２は、受信が行わ
れると受信した測定資料を含む信号を復調して有線を通
じて連結されているホストコンピュータ７６に伝達す
る。したがって、ホストコンピュータ７６は測定資料を
把握し、適切な措置を取ることができる。
た信号を第１コンピュータ７２に送出する。送受信部７
４を内蔵している第１コンピュータ７２は、受信が行わ
れると受信した測定資料を含む信号を復調して有線を通
じて連結されているホストコンピュータ７６に伝達す
る。したがって、ホストコンピュータ７６は測定資料を
把握し、適切な措置を取ることができる。
【００３４】それぞれの測定機器６６、８０は位置が互
いに異なるので、送出される電波には測定資料だけでは
なく、測定機器６６、８０固有の識別符号が含まれてお
り、第１コンピュータ７２は固有の識別符号を復調して
認識した後、測定機器６６、８０を区別するコードと共
にホストコンピュータ７６に測定資料を転送する。
いに異なるので、送出される電波には測定資料だけでは
なく、測定機器６６、８０固有の識別符号が含まれてお
り、第１コンピュータ７２は固有の識別符号を復調して
認識した後、測定機器６６、８０を区別するコードと共
にホストコンピュータ７６に測定資料を転送する。
【００３５】ホストコンピュータ７６は測定機器６６、
８０から受信し入力された資料を分析および評価し、所
定の設定基準を超過すると警報を発し、必要時、測定機
器６６、８０に移送車両６４または自動返送ロボット７
８に制御信号を発信して環境評価のための測定を指示す
ることができる。以上、実施例で説明したように、清浄
度などの環境評価を常時管理することができ、無線で測
定資料を評価することで施設費用が減少する利点があ
る。
８０から受信し入力された資料を分析および評価し、所
定の設定基準を超過すると警報を発し、必要時、測定機
器６６、８０に移送車両６４または自動返送ロボット７
８に制御信号を発信して環境評価のための測定を指示す
ることができる。以上、実施例で説明したように、清浄
度などの環境評価を常時管理することができ、無線で測
定資料を評価することで施設費用が減少する利点があ
る。
【００３６】
【発明の効果】本発明によると、測定機器の位置を自在
に設定し、持続的な環境評価が行うことができ、無線を
通じて測定資料の環境評価を行うことができるので必要
となる施設費用が減少し、クリーンルームの活用が極大
化され、一定の水準の環境を維持して生産効率を高める
効果がある。本発明は記載された具体例についてのみ詳
細に説明したが、本発明の技術思想範囲内で多様な変形
および修正が可能であることは当業者にとって明白なこ
とであり、このような変形および修正が添付された特許
請求範囲に属するのは当然である。
に設定し、持続的な環境評価が行うことができ、無線を
通じて測定資料の環境評価を行うことができるので必要
となる施設費用が減少し、クリーンルームの活用が極大
化され、一定の水準の環境を維持して生産効率を高める
効果がある。本発明は記載された具体例についてのみ詳
細に説明したが、本発明の技術思想範囲内で多様な変形
および修正が可能であることは当業者にとって明白なこ
とであり、このような変形および修正が添付された特許
請求範囲に属するのは当然である。
【図１】本発明の実施例によるクリーンルームの環境評
価システムを示すブロック図である。
価システムを示すブロック図である。
【図２】本発明の実施例によるクリーンルームの環境評
価システムを示すブロック図である。
価システムを示すブロック図である。
【図３】図２に示した本発明の実施例によるクリーンル
ームの環境評価システムを適用したクリーンルームの一
部を示す平面図である。
ームの環境評価システムを適用したクリーンルームの一
部を示す平面図である。
【図４】本発明の実施例によるクリーンルームの環境評
価システムのレールに設置された移送装置に測定機器を
搭載した状態を示す部分図である。
価システムのレールに設置された移送装置に測定機器を
搭載した状態を示す部分図である。
【図５】本発明の実施例によるクリーンルームの環境評
価システムの自動返送ロボットを示す図面である。
価システムの自動返送ロボットを示す図面である。
【図６】本発明の実施例によるクリーンルームの環境評
価システムの無線と自動返送による環境評価を適用した
状態を示すブロック図である。
価システムの無線と自動返送による環境評価を適用した
状態を示すブロック図である。
【図７】図６に示した本発明の実施例によるクリーンル
ームの環境評価システムの具体的な適用状態を示す図で
ある。
ームの環境評価システムの具体的な適用状態を示す図で
ある。
１０、２２、３６、４０、４６、５２、６６、８０
測定機器 １２ 送信機 １４ 受信機 １６、２４、６０、７６ ホストコンピュータ １８、３２、６２ レール ２０、３４、６４ 移送車両 ２６ クリーンルーム ２８ 設備領域 ３０ サービス領域 ３８、４４、７８ 自動返送ロボット ４２ フィルター ４８ 製造設備 ５０ 車両駆動部 ５４、５８、６８、７４、８２ 送受信部 ５６ 中継部 ７２ 第１コンピュータ
測定機器 １２ 送信機 １４ 受信機 １６、２４、６０、７６ ホストコンピュータ １８、３２、６２ レール ２０、３４、６４ 移送車両 ２６ クリーンルーム ２８ 設備領域 ３０ サービス領域 ３８、４４、７８ 自動返送ロボット ４２ フィルター ４８ 製造設備 ５０ 車両駆動部 ５４、５８、６８、７４、８２ 送受信部 ５６ 中継部 ７２ 第１コンピュータ
Claims (20)
- 【請求項１】 クリーンルームの特定の位置に設置さ
れ、クリーンルームの環境条件を測定する複数個の測定
手段と、前記測定手段に連結され、測定資料を信号変換
し無線で転送する複数個の送信部と、前記クリーンルー
ム内に設置され、前記送信部から転送される無線信号を
受信し信号変換する受信部と、前記受信部に連結され、
前記測定資料を分析しあらかじめ設定された所定の範囲
の値と比較評価するホストコンピュータと、を備えるこ
とを特徴とするクリーンルームの環境評価システム。 - 【請求項２】 前記測定手段は、あらかじめ設定された
プログラムによって移動する自動返送ロボットに設置さ
れ、環境条件が測定されることを特徴とする請求項１に
記載のクリーンルームの環境評価システム。 - 【請求項３】 前記測定手段は、パーティクル測定器、
温度測定器、湿度測定器、および圧力測定器であること
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの環境評
価システム。 - 【請求項４】 前記送信部は、それぞれ前記測定手段の
位置および測定品目を区分する識別符号を含めて送信す
ることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの
環境評価システム。 - 【請求項５】 クリーンルームに設置され、所定の経路
を形成するレールと、前記レールに設置され、前記所定
の経路を移動する移送手段と、前記移送手段に設置さ
れ、前記クリーンルームの内部の環境条件を測定する複
数個の測定手段と、前記測定手段に有線で連結され、測
定した結果を所定の設定基準によって評価するホストコ
ンピュータと、を備えることを特徴とするクリーンルー
ムの環境評価システム。 - 【請求項６】 前記所定の経路は、一つの閉ループを形
成することを特徴とする請求項５に記載のクリーンルー
ムの環境評価システム。 - 【請求項７】 前記レールは、二つ以上のお互い違う経
路を有するレールであることを特徴とする請求項５に記
載のクリーンルームの環境評価システム。 - 【請求項８】 前記レールは、前記クリーンルームの上
層部に設置され、所定の高さを維持することを特徴とす
る請求項５に記載のクリーンルームの環境評価システ
ム。 - 【請求項９】 前記移送手段は、前記レールの上を一定
の速度を維持しながら移動することを特徴とする請求項
５に記載のクリーンルームの環境評価システム。 - 【請求項１０】 前記移送手段は、前記レールの上を不
規則な速度で移動することを特徴とする請求項５に記載
のクリーンルームの環境評価システム。 - 【請求項１１】 前記移送手段は、前記レールの特定位
置に所定の時間停止することを特徴とする請求項５に記
載のクリーンルームの環境評価システム。 - 【請求項１２】 前記クリーンルームは、別途に自動返
送ロボットに前記測定手段を設置し環境評価が行われる
ことを特徴とする請求項５に記載のクリーンルームの環
境評価システム。 - 【請求項１３】 クリーンルームに設置され、所定の経
路を形成するレールと、前記レールに設置され、前記所
定の経路を移動する移送手段と、前記移送手段に設置さ
れ、前記クリーンルームの内部の環境条件を測定する複
数個の測定手段と、前記測定手段に連結され、測定資料
を信号変換して無線で転送する複数個の送信部と、前記
クリーンルーム内に設置され、前記送信部から転送され
る無線信号を受信し信号変換する受信部と、前記受信部
に連結され、前記測定資料を分析して所定基準に比較評
価するホストコンピュータと、を備えることを特徴とす
るクリーンルームの環境評価システム。 - 【請求項１４】 前記レールは、二つ以上で形成される
ことを特徴とする請求項１３に記載のクリーンルームの
環境評価システム。 - 【請求項１５】 前記移送手段は、移送速度を自在に設
定することを特徴とする請求項１３に記載のクリーンル
ームの環境評価システム。 - 【請求項１６】 前記送信部の出力信号によって発生さ
れる磁界の大きさは、１ミリガウス以下であることを特
徴とする請求項１３に記載のクリーンルームの環境評価
システム。 - 【請求項１７】 前記送信部は、送信資料、前記測定手
段の位置および測定分野を区分する識別記号を含んで送
信を行うことを特徴とする請求項１３に記載のクリーン
ルームの環境評価システム。 - 【請求項１８】 前記送信部と前記受信部の間は、送受
信距離を延長および中継する中継用送受信部をさらに備
えることを特徴とする請求項１３に記載のクリーンルー
ムの環境評価システム。 - 【請求項１９】 前記ホストコンピュータは、前記クリ
ーンルームを監視および環境評価することを特徴とする
請求項１３に記載のクリーンルームの環境評価システ
ム。 - 【請求項２０】 前記ホストコンピュータは、前記環境
評価の結果によって前記移送手段に連結する前記測定手
段および前記移送手段に制御用フィードバック信号を出
力することを特徴とする請求項１３に記載のクリーンル
ームの環境評価システム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970076785A KR100257904B1 (ko) | 1997-12-29 | 1997-12-29 | 클린룸의 환경평가 시스템 |
| KR1997P76785 | 1997-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11201531A true JPH11201531A (ja) | 1999-07-30 |
Family
ID=19529335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10238404A Pending JPH11201531A (ja) | 1997-12-29 | 1998-08-25 | クリーンルームの環境評価システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11201531A (ja) |
| KR (1) | KR100257904B1 (ja) |
| TW (1) | TW469478B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014035246A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Azbil Corp | 粒子検出装置の光源情報記録装置及び粒子検出装置の光源情報記録方法 |
| JP2014044135A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Ntt-At Creative Corp | 検出対象物の測定方法 |
| JP2014157975A (ja) * | 2013-02-18 | 2014-08-28 | Toshiba Corp | 清浄度測定用台車および清浄度測定システム |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102494420B1 (ko) * | 2021-06-07 | 2023-02-06 | 충북대학교 산학협력단 | 머신러닝 기반 클린룸 관리 시스템 및 방법 |
| KR102693299B1 (ko) | 2023-11-27 | 2024-08-09 | (주)토패즈 | 청정도 자동 제어 파티클 카운터 및 모니터링 시스템 |
-
1997
- 1997-12-29 KR KR1019970076785A patent/KR100257904B1/ko not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-08-25 JP JP10238404A patent/JPH11201531A/ja active Pending
- 1998-09-03 TW TW087114637A patent/TW469478B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014035246A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Azbil Corp | 粒子検出装置の光源情報記録装置及び粒子検出装置の光源情報記録方法 |
| JP2014044135A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Ntt-At Creative Corp | 検出対象物の測定方法 |
| JP2014157975A (ja) * | 2013-02-18 | 2014-08-28 | Toshiba Corp | 清浄度測定用台車および清浄度測定システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100257904B1 (ko) | 2000-06-01 |
| TW469478B (en) | 2001-12-21 |
| KR19990056774A (ko) | 1999-07-15 |
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