JPH11203637A - 接触検査装置 - Google Patents
接触検査装置Info
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- JPH11203637A JPH11203637A JP10001387A JP138798A JPH11203637A JP H11203637 A JPH11203637 A JP H11203637A JP 10001387 A JP10001387 A JP 10001387A JP 138798 A JP138798 A JP 138798A JP H11203637 A JPH11203637 A JP H11203637A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アームの振動がスライダとディスクとの接触
検出に与える影響を低減すること，振動検出素子である
ＡＥセンサの搭載が評価する系に影響を与えないように
すること，さらには接触によってディスク側が受けた影
響を高精度に評価可能とすることを目的とする． 【解決手段】 ディスク１を保持し回転するスピンドル
２と、ディスク１に対し記録および／または再生を行う
ヘッドを搭載したスライダ４と、スライダ４を支持した
状態で所定方向に動かされるアーム５と、スライダ４と
ディスク１との接触を検出するＡＥセンサ１０１と、Ａ
Ｅセンサ１０１の出力信号を伝達する信号伝達手段とし
てのスリップリング１１とブラシ１２とを少なくとも具
備して、スライダ４とディスク１との接触を検査すると
ともに、ＡＥセンサ１０１が、ディスク１またはスピン
ドル２に搭載されている構成。
検出に与える影響を低減すること，振動検出素子である
ＡＥセンサの搭載が評価する系に影響を与えないように
すること，さらには接触によってディスク側が受けた影
響を高精度に評価可能とすることを目的とする． 【解決手段】 ディスク１を保持し回転するスピンドル
２と、ディスク１に対し記録および／または再生を行う
ヘッドを搭載したスライダ４と、スライダ４を支持した
状態で所定方向に動かされるアーム５と、スライダ４と
ディスク１との接触を検出するＡＥセンサ１０１と、Ａ
Ｅセンサ１０１の出力信号を伝達する信号伝達手段とし
てのスリップリング１１とブラシ１２とを少なくとも具
備して、スライダ４とディスク１との接触を検査すると
ともに、ＡＥセンサ１０１が、ディスク１またはスピン
ドル２に搭載されている構成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク装置のス
ライダおよびディスクの機械的特性ならびにトライボロ
ジ的特性を評価するために用いられるスライダとディス
クとの接触検査装置に関する。
ライダおよびディスクの機械的特性ならびにトライボロ
ジ的特性を評価するために用いられるスライダとディス
クとの接触検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ディスク装置として例えば磁気的に情報
の記録および／または再生を行う磁気ディスク装置にお
いては、磁気ディスクの記録再生面に対し磁気ヘッドを
搭載したスライダを略一定の間隔で浮上させて、情報の
記録再生を行っている。
の記録および／または再生を行う磁気ディスク装置にお
いては、磁気ディスクの記録再生面に対し磁気ヘッドを
搭載したスライダを略一定の間隔で浮上させて、情報の
記録再生を行っている。
【０００３】このような磁気ディスク装置の開発ならび
に製造においては、スライダおよび磁気ディスクの機械
的特性ならびにトライボロジ的特性を保証するために、
各種の検査装置が使用されている。スライダと磁気ディ
スクの接触検査装置はその一つである。
に製造においては、スライダおよび磁気ディスクの機械
的特性ならびにトライボロジ的特性を保証するために、
各種の検査装置が使用されている。スライダと磁気ディ
スクの接触検査装置はその一つである。
【０００４】スライダと磁気ディスクとの接触検査装置
としては特開平８ー２９７８１６号公報に記載の技術が
知られている。図５は従来から使用されているスライダ
と磁気ディスクとの接触検査装置の一例である。記録媒
体である磁気ディスク１と、磁気ディスク１を保持し回
転させるスピンドル２と、スピンドル２を駆動するスピ
ンドル駆動手段としてのスピンドル駆動回路３と、磁気
ディスク１に記録再生を行う磁気ヘッド（図示せず）を
搭載したスライダ４と、スライダ４を支持するアーム５
と、アーム５を動かし、かつアーム５に取り付けられた
スライダ４を磁気ディスク１の半径方向に移動させるア
クチュエータとしてのボイスコイルモータ６と、ボイス
コイルモータ６の駆動手段としてのアクチュエータ駆動
回路７と、アーム５に搭載された微小振動検出素子とし
てのＡＥ（音響弾性波）センサ１００と、ＡＥセンサ１
００の出力信号を増幅する信号増幅手段としての高帯域
アンプ８と、前記高帯域アンプ８の出力信号から接触検
査に必要な周波数成分を取り出すフィルタ９と、前記フ
ィルタ９の出力信号を表示する表示手段としてのオシロ
スコープ１０とで構成されている。
としては特開平８ー２９７８１６号公報に記載の技術が
知られている。図５は従来から使用されているスライダ
と磁気ディスクとの接触検査装置の一例である。記録媒
体である磁気ディスク１と、磁気ディスク１を保持し回
転させるスピンドル２と、スピンドル２を駆動するスピ
ンドル駆動手段としてのスピンドル駆動回路３と、磁気
ディスク１に記録再生を行う磁気ヘッド（図示せず）を
搭載したスライダ４と、スライダ４を支持するアーム５
と、アーム５を動かし、かつアーム５に取り付けられた
スライダ４を磁気ディスク１の半径方向に移動させるア
クチュエータとしてのボイスコイルモータ６と、ボイス
コイルモータ６の駆動手段としてのアクチュエータ駆動
回路７と、アーム５に搭載された微小振動検出素子とし
てのＡＥ（音響弾性波）センサ１００と、ＡＥセンサ１
００の出力信号を増幅する信号増幅手段としての高帯域
アンプ８と、前記高帯域アンプ８の出力信号から接触検
査に必要な周波数成分を取り出すフィルタ９と、前記フ
ィルタ９の出力信号を表示する表示手段としてのオシロ
スコープ１０とで構成されている。
【０００５】以下動作について説明する。磁気ディスク
１は、スピンドル２によって例えば５，４００ｒｐｍで
高速回転する。スライダ４は磁気ディスク１の記録再生
面に対向する面に空気軸受け面を持ち、磁気ディスク１
に対して略一定間隔で浮上する。ボイスコイルモータ６
は、アーム５を動かし、スライダ４を磁気ディスク１の
半径方向に移動する。上記したように、通常、スライダ
４は、磁気ディスク１に対し浮上している。すなわちス
ライダ４と磁気ディスク１とは非接触の状態にある。し
かしながら磁気ディスク１の回転の起動、停止、スライ
ダ４へのゴミの付着さらにはスライダ４、磁気ディスク
１の形状的欠陥などが原因となって、しばしばスライダ
４は磁気ディスク１と接触をする。
１は、スピンドル２によって例えば５，４００ｒｐｍで
高速回転する。スライダ４は磁気ディスク１の記録再生
面に対向する面に空気軸受け面を持ち、磁気ディスク１
に対して略一定間隔で浮上する。ボイスコイルモータ６
は、アーム５を動かし、スライダ４を磁気ディスク１の
半径方向に移動する。上記したように、通常、スライダ
４は、磁気ディスク１に対し浮上している。すなわちス
ライダ４と磁気ディスク１とは非接触の状態にある。し
かしながら磁気ディスク１の回転の起動、停止、スライ
ダ４へのゴミの付着さらにはスライダ４、磁気ディスク
１の形状的欠陥などが原因となって、しばしばスライダ
４は磁気ディスク１と接触をする。
【０００６】図５に示した従来例では、アーム５上に微
小振動検出素子としてのＡＥセンサ１００が搭載されて
おり、スライダ４と磁気ディスク１との接触によって発
生したＡＥすなわち音響弾性波を検出する。検出された
ＡＥセンサ１００からの出力信号は、高帯域アンプ８に
よって観測可能なレベルまで増幅される。さらにフィル
タ９によってノイズ成分が除去され、オシロスコープ１
０で観察される。オシロスコープ１０で観察されたＡＥ
センサ１００の出力信号の波形から接触の強度、接触の
持続時間等を評価することができる。
小振動検出素子としてのＡＥセンサ１００が搭載されて
おり、スライダ４と磁気ディスク１との接触によって発
生したＡＥすなわち音響弾性波を検出する。検出された
ＡＥセンサ１００からの出力信号は、高帯域アンプ８に
よって観測可能なレベルまで増幅される。さらにフィル
タ９によってノイズ成分が除去され、オシロスコープ１
０で観察される。オシロスコープ１０で観察されたＡＥ
センサ１００の出力信号の波形から接触の強度、接触の
持続時間等を評価することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述の接触検査装置に
おいては、ＡＥセンサ１００をアーム５上に搭載してい
るが、そのためにスライダ４と磁気ディスク１との接触
によってその接触点の近傍で発生したＡＥ信号だけでな
く、アーム５の振動も重畳されてＡＥセンサ１００で検
出されてしまう。したがって実際のＡＥ信号とアーム５
の振動による信号とを分離することが不可能であり、測
定の精度を上げることが困難であった。またＡＥセンサ
１００をアーム５上に搭載することにより、アーム５の
慣性が変化し、ＡＥセンサ１００を搭載しない実際の系
との間に差異が発生していた。さらにはＡＥセンサ１０
０がスライダ４側に搭載されているため、接触によって
磁気ディスク１側が受けた影響を高精度に評価すること
は困難であった。
おいては、ＡＥセンサ１００をアーム５上に搭載してい
るが、そのためにスライダ４と磁気ディスク１との接触
によってその接触点の近傍で発生したＡＥ信号だけでな
く、アーム５の振動も重畳されてＡＥセンサ１００で検
出されてしまう。したがって実際のＡＥ信号とアーム５
の振動による信号とを分離することが不可能であり、測
定の精度を上げることが困難であった。またＡＥセンサ
１００をアーム５上に搭載することにより、アーム５の
慣性が変化し、ＡＥセンサ１００を搭載しない実際の系
との間に差異が発生していた。さらにはＡＥセンサ１０
０がスライダ４側に搭載されているため、接触によって
磁気ディスク１側が受けた影響を高精度に評価すること
は困難であった。
【０００８】したがって、本発明が解決しようとする課
題は、アームの振動がスライダと磁気ディスクとの接触
の検出に与える影響を低減すること、微小振動検出素子
の搭載が評価する系に影響を与えないようにすること、
さらには接触によって磁気ディスク側が受けた影響を高
精度に評価可能とすることである。
題は、アームの振動がスライダと磁気ディスクとの接触
の検出に与える影響を低減すること、微小振動検出素子
の搭載が評価する系に影響を与えないようにすること、
さらには接触によって磁気ディスク側が受けた影響を高
精度に評価可能とすることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ディスクを保
持し回転する保持機構と、前記ディスクに対し記録およ
び／または再生を行うヘッドを搭載したスライダと、前
記スライダを支持した状態で所定方向に動かされるアー
ムと、前記スライダと前記ディスクとの接触を検出する
振動検出素子と、前記振動検出素子の出力信号を伝達す
る信号伝達手段とを少なくとも具備して、前記スライダ
と前記ディスクとの接触を検査するとともに、前記振動
検出素子が、前記ディスクに搭載されていることを特徴
とする接触検査装置として、前記両アーム側に振動検出
素子を搭載する必要がなく、したがって前記両アームの
振動が前記両スライダと前記両ディスクとの接触検出に
与える影響および振動検出素子が評価する系に与える影
響を少なくし、またディスク側で接触を検出することが
できるため、接触によってディスク側が受けた影響を高
精度に評価することを可能としたことによって上述の課
題を解決している。
持し回転する保持機構と、前記ディスクに対し記録およ
び／または再生を行うヘッドを搭載したスライダと、前
記スライダを支持した状態で所定方向に動かされるアー
ムと、前記スライダと前記ディスクとの接触を検出する
振動検出素子と、前記振動検出素子の出力信号を伝達す
る信号伝達手段とを少なくとも具備して、前記スライダ
と前記ディスクとの接触を検査するとともに、前記振動
検出素子が、前記ディスクに搭載されていることを特徴
とする接触検査装置として、前記両アーム側に振動検出
素子を搭載する必要がなく、したがって前記両アームの
振動が前記両スライダと前記両ディスクとの接触検出に
与える影響および振動検出素子が評価する系に与える影
響を少なくし、またディスク側で接触を検出することが
できるため、接触によってディスク側が受けた影響を高
精度に評価することを可能としたことによって上述の課
題を解決している。
【００１０】
【発明の実施の形態】請求項１に記載の発明は、ディス
クを保持し回転する保持機構と、前記ディスクに対し記
録および／または再生を行うヘッドを搭載したスライダ
と、前記スライダを支持した状態で所定方向に動かされ
るアームと、前記スライダと前記ディスクとの接触を検
出する振動検出素子と、前記振動検出素子の出力信号を
伝達する信号伝達手段とを少なくとも具備して、前記ス
ライダと前記ディスクとの接触を検査するとともに、前
記振動検出素子が、前記ディスクに搭載されている構成
とすることで、アーム側に振動検出素子を搭載する必要
がなく、したがってアームの振動がスライダとディスク
の接触検出に与える影響および振動検出素子が評価する
系に与える影響が少なくなる。またディスク側で接触を
検出することができるため、接触によってディスク側が
受けた影響を高精度に評価することが可能となる。
クを保持し回転する保持機構と、前記ディスクに対し記
録および／または再生を行うヘッドを搭載したスライダ
と、前記スライダを支持した状態で所定方向に動かされ
るアームと、前記スライダと前記ディスクとの接触を検
出する振動検出素子と、前記振動検出素子の出力信号を
伝達する信号伝達手段とを少なくとも具備して、前記ス
ライダと前記ディスクとの接触を検査するとともに、前
記振動検出素子が、前記ディスクに搭載されている構成
とすることで、アーム側に振動検出素子を搭載する必要
がなく、したがってアームの振動がスライダとディスク
の接触検出に与える影響および振動検出素子が評価する
系に与える影響が少なくなる。またディスク側で接触を
検出することができるため、接触によってディスク側が
受けた影響を高精度に評価することが可能となる。
【００１１】請求項２に記載の発明は、ディスクを保持
し回転する保持機構と、前記ディスクに対し記録および
／または再生を行う磁気ヘッドを搭載したスライダと、
前記スライダを支持した状態で所定方向に動かされるア
ームと、前記スライダと前記ディスクとの接触を検出す
る振動検出素子と、前記振動検出素子の出力信号を伝達
する信号伝達手段とを少なくとも具備して、前記スライ
ダと前記ディスクとの接触を検査するとともに、前記振
動検出素子が前記保持機構に搭載されて構成とすること
で、前記請求項１の場合と同様の効果が得られる。
し回転する保持機構と、前記ディスクに対し記録および
／または再生を行う磁気ヘッドを搭載したスライダと、
前記スライダを支持した状態で所定方向に動かされるア
ームと、前記スライダと前記ディスクとの接触を検出す
る振動検出素子と、前記振動検出素子の出力信号を伝達
する信号伝達手段とを少なくとも具備して、前記スライ
ダと前記ディスクとの接触を検査するとともに、前記振
動検出素子が前記保持機構に搭載されて構成とすること
で、前記請求項１の場合と同様の効果が得られる。
【００１２】請求項４に記載の発明は、前記信号伝達手
段が、前記保持機構に固定され該保持機構の回転動作と
共に回転する回転導電体と、前記保持機構の回転動作と
共に回転する前記固定体に接触する接触導電体とからな
り、前記振動検出素子の出力信号を前記回転導電体と接
触導電体との接触を介して伝達するので、確実に振動検
出素子からの信号を伝達できる。
段が、前記保持機構に固定され該保持機構の回転動作と
共に回転する回転導電体と、前記保持機構の回転動作と
共に回転する前記固定体に接触する接触導電体とからな
り、前記振動検出素子の出力信号を前記回転導電体と接
触導電体との接触を介して伝達するので、確実に振動検
出素子からの信号を伝達できる。
【００１３】請求項６に記載の発明は、前記信号伝達手
段が、前記保持機構に固定され該保持機構の回転動作と
共に回転しかつ信号を空中に送信する信号送信器と、前
記信号送信器で変換された信号を受信する信号受信器と
からなり、前記振動検出素子の出力信号を前記信号送信
器と前記信号受信器との非接触による送受信を介して伝
達するので、信号伝達にノイズ成分の発生がなくなり、
接触検出精度が高められる。
段が、前記保持機構に固定され該保持機構の回転動作と
共に回転しかつ信号を空中に送信する信号送信器と、前
記信号送信器で変換された信号を受信する信号受信器と
からなり、前記振動検出素子の出力信号を前記信号送信
器と前記信号受信器との非接触による送受信を介して伝
達するので、信号伝達にノイズ成分の発生がなくなり、
接触検出精度が高められる。
【００１４】請求項８に記載の発明は、前記振動検出素
子が、ＡＥセンサであるので高感度で微小な振動も検出
できる。
子が、ＡＥセンサであるので高感度で微小な振動も検出
できる。
【００１５】請求項９に記載の発明は、前記保持機構の
軸受け部に流体軸受けを用いたので、非接触であるので
軸受けに起因するノイズの発生がなくなり、接触検出精
度が高められる。
軸受け部に流体軸受けを用いたので、非接触であるので
軸受けに起因するノイズの発生がなくなり、接触検出精
度が高められる。
【００１６】請求項１０に記載の発明は、ディスクを保
持し回転する保持機構と、前記ディスクに対し記録およ
び／または再生を行うヘッドを搭載したスライダと、前
記スライダを支持した状態で所定方向に動かされるアー
ムと、前記スライダと前記ディスクとの接触を検出する
第１の振動検出素子と、前記ディスクまたは前記保持機
構に搭載された第２の振動検出素子と、前記第１の振動
検出素子の出力信号を増幅する第１の信号増幅手段と、
前記第１の信号増幅手段で増幅された信号から実効値を
演算する第１の実効値演算手段と、前記第１の実効値演
算手段の出力が一定値を越えたか否かを判定しその結果
を出力する第１の信号処理回路と、前記第２の振動検出
素子の出力信号を取り出す信号伝達手段と、前記信号伝
達手段で取り出された出力信号を増幅する第２の信号増
幅手段と、前記第２の信号増幅手段で増幅された信号か
ら実効値を演算する第２の実効値演算手段と、前記第２
の実効値演算手段の出力が一定値を越えたか否かを判定
しその結果を出力する第２の信号処理回路と、前記両信
号処理回路それぞれの出力結果から前記スライダと前記
ディスクとの接触を判定する接触判定手段とを具備した
構成であるので、従来よりも高い精度でスライダとディ
スクの接触検出が可能となるという効果が得られる。
持し回転する保持機構と、前記ディスクに対し記録およ
び／または再生を行うヘッドを搭載したスライダと、前
記スライダを支持した状態で所定方向に動かされるアー
ムと、前記スライダと前記ディスクとの接触を検出する
第１の振動検出素子と、前記ディスクまたは前記保持機
構に搭載された第２の振動検出素子と、前記第１の振動
検出素子の出力信号を増幅する第１の信号増幅手段と、
前記第１の信号増幅手段で増幅された信号から実効値を
演算する第１の実効値演算手段と、前記第１の実効値演
算手段の出力が一定値を越えたか否かを判定しその結果
を出力する第１の信号処理回路と、前記第２の振動検出
素子の出力信号を取り出す信号伝達手段と、前記信号伝
達手段で取り出された出力信号を増幅する第２の信号増
幅手段と、前記第２の信号増幅手段で増幅された信号か
ら実効値を演算する第２の実効値演算手段と、前記第２
の実効値演算手段の出力が一定値を越えたか否かを判定
しその結果を出力する第２の信号処理回路と、前記両信
号処理回路それぞれの出力結果から前記スライダと前記
ディスクとの接触を判定する接触判定手段とを具備した
構成であるので、従来よりも高い精度でスライダとディ
スクの接触検出が可能となるという効果が得られる。
【００１７】以下、本発明の実施の形態について、図面
を用いて説明する。
を用いて説明する。
【００１８】（実施の形態１）図１は本発明による実施
の形態を示している。なお、図１において図５と対応す
る部分には同一の符号を付し、同一の符号に係る部分に
ついての詳しい説明は省略する。図１において１は記録
媒体であるディスクとしての磁気ディスク、２は磁気デ
ィスク１を保持し回転させる保持機構の一例としてのス
ピンドル、３はスピンドルを駆動するスピンドル駆動手
段、４は磁気ディスク１に対し記録および／または再生
を行う磁気ヘッドを搭載したスライダ、５はスライダ４
を支持するアーム、６はスライブ４を磁気ディスク１の
半径方向に移動させるアクチュエータとしてのボイスコ
イルモータ、７はボイスコイルモータの駆動手段として
のアクチュエータ駆動回路、８はＡＷセンサ１０１の出
力信号を増幅する信号増幅手段としての高帯域アンプ、
９は高帯域アンプ８の出力信号から接触検査に必要な周
波数成分を取り出すフィルタ、１０はフィルタの出力信
号を表示する表示手段としてのオシロスコープ、１０１
はアーム５に搭載された振動検出素子としてのＡＥセン
サである。
の形態を示している。なお、図１において図５と対応す
る部分には同一の符号を付し、同一の符号に係る部分に
ついての詳しい説明は省略する。図１において１は記録
媒体であるディスクとしての磁気ディスク、２は磁気デ
ィスク１を保持し回転させる保持機構の一例としてのス
ピンドル、３はスピンドルを駆動するスピンドル駆動手
段、４は磁気ディスク１に対し記録および／または再生
を行う磁気ヘッドを搭載したスライダ、５はスライダ４
を支持するアーム、６はスライブ４を磁気ディスク１の
半径方向に移動させるアクチュエータとしてのボイスコ
イルモータ、７はボイスコイルモータの駆動手段として
のアクチュエータ駆動回路、８はＡＷセンサ１０１の出
力信号を増幅する信号増幅手段としての高帯域アンプ、
９は高帯域アンプ８の出力信号から接触検査に必要な周
波数成分を取り出すフィルタ、１０はフィルタの出力信
号を表示する表示手段としてのオシロスコープ、１０１
はアーム５に搭載された振動検出素子としてのＡＥセン
サである。
【００１９】１１は回転導電体の一例としてのスリップ
リング、１２は接触導電体の一例としてのブラシであ
る。
リング、１２は接触導電体の一例としてのブラシであ
る。
【００２０】さらに詳しく説明すると、磁気ディスク１
は、スピンドル２に例えばネジ止め等によって固定され
る。スピンドル２用のモータにはＤＣサーボモータが使
用され、０ｒｐｍから１０、０００ｒｐｍ以上まで磁気
ディスク１を一定の回転速度で駆動することが可能にし
てある。スピンドル２の軸受け部には流体軸受けを使用
している。アーム５には、磁気ヘッド（図示せず）が搭
載されたスライダ４が取り付けられている。スライダ４
の磁気ディスク１の記録再生面に対向する面には、機械
加工あるいはエッチング等によって空気軸受け面が形成
されている。スライダ４の空気軸受け面は、アーム５に
よって磁気ディスク１の記録再生面に例えば３０Ｎ・ｍ
といった一定の荷重で押し付けられている。スライダ４
は、磁気ディスク１が回転することによって、空気軸受
け面に圧力が発生し磁気ディスク１に対して浮上する。
アーム５は、アクチュエータとしてのボイスコイルモー
タ６に取り付けられており、ボイスコイルモータ６の回
転動作によってアーム５も同様にボイスコイルモータ６
の軸を中心に回転動作を行う。それによってアーム５に
取り付けられたスライダ４は、磁気ディスク１の半径方
向に移動する。磁気ディスク１の記録再生面には、微小
振動検出素子としてのＡＥセンサ１０１が搭載されてい
る。ここでスライダ４が、何らかの理由で磁気ディスク
１と接触すると、その接触点では、ＡＥすなわち音響弾
性波が発生する。ＡＥセンサ１０１は、そのＡＥすなわ
ち音響弾性波を電気信号に変換する。
は、スピンドル２に例えばネジ止め等によって固定され
る。スピンドル２用のモータにはＤＣサーボモータが使
用され、０ｒｐｍから１０、０００ｒｐｍ以上まで磁気
ディスク１を一定の回転速度で駆動することが可能にし
てある。スピンドル２の軸受け部には流体軸受けを使用
している。アーム５には、磁気ヘッド（図示せず）が搭
載されたスライダ４が取り付けられている。スライダ４
の磁気ディスク１の記録再生面に対向する面には、機械
加工あるいはエッチング等によって空気軸受け面が形成
されている。スライダ４の空気軸受け面は、アーム５に
よって磁気ディスク１の記録再生面に例えば３０Ｎ・ｍ
といった一定の荷重で押し付けられている。スライダ４
は、磁気ディスク１が回転することによって、空気軸受
け面に圧力が発生し磁気ディスク１に対して浮上する。
アーム５は、アクチュエータとしてのボイスコイルモー
タ６に取り付けられており、ボイスコイルモータ６の回
転動作によってアーム５も同様にボイスコイルモータ６
の軸を中心に回転動作を行う。それによってアーム５に
取り付けられたスライダ４は、磁気ディスク１の半径方
向に移動する。磁気ディスク１の記録再生面には、微小
振動検出素子としてのＡＥセンサ１０１が搭載されてい
る。ここでスライダ４が、何らかの理由で磁気ディスク
１と接触すると、その接触点では、ＡＥすなわち音響弾
性波が発生する。ＡＥセンサ１０１は、そのＡＥすなわ
ち音響弾性波を電気信号に変換する。
【００２１】ＡＥセンサ１０１の出力信号は、信号伝達
手段としてのスリップリング１１とブラシ１２とに導か
れ外部に取り出される。外部に取り出されたＡＥセンサ
１０１の出力信号は、高帯域アンプ８によって、検出可
能なレベルまで増幅される。増幅されたＡＥセンサ１０
１からの出力信号は、フィルタ９によって観察する周波
数のみが取り出される。そしてフィルタ９を通ったＡＥ
センサ１０１からの出力信号は、表示手段としてのオシ
ロスコープ１０で観測される。オシロスコープ１０で観
測される信号波形から、スライダ４と磁気ディスク１と
の接触の強さ、接触の持続時間等を知ることができる。
ここでは微小振動検出素子としてＡＥセンサを用いる場
合で説明したが、スライダ４と磁気ディスク１との接触
による微小な振動を検出できる素子であればよく、加速
度センサ、歪みゲージ等を用いることもできる。またＡ
Ｅセンサは１個のみ使用する場合で説明したが、磁気デ
ィスク１上に複数個のＡＥセンサを搭載しても良い。本
実施の形態では、スピンドル２の軸受け部として、流体
軸受けを用いた例で説明したが、これは玉軸受け等の接
触型の軸受けを用いた場合は、その振動もＡＥセンサ１
０１で検出してしまい、スライダ４と磁気ディスク１の
接触検出のＳ／Ｎが劣化するからである。したがって十
分にＳ／Ｎが確保できるのであれは軸受けは流体軸受け
に限るものではない。
手段としてのスリップリング１１とブラシ１２とに導か
れ外部に取り出される。外部に取り出されたＡＥセンサ
１０１の出力信号は、高帯域アンプ８によって、検出可
能なレベルまで増幅される。増幅されたＡＥセンサ１０
１からの出力信号は、フィルタ９によって観察する周波
数のみが取り出される。そしてフィルタ９を通ったＡＥ
センサ１０１からの出力信号は、表示手段としてのオシ
ロスコープ１０で観測される。オシロスコープ１０で観
測される信号波形から、スライダ４と磁気ディスク１と
の接触の強さ、接触の持続時間等を知ることができる。
ここでは微小振動検出素子としてＡＥセンサを用いる場
合で説明したが、スライダ４と磁気ディスク１との接触
による微小な振動を検出できる素子であればよく、加速
度センサ、歪みゲージ等を用いることもできる。またＡ
Ｅセンサは１個のみ使用する場合で説明したが、磁気デ
ィスク１上に複数個のＡＥセンサを搭載しても良い。本
実施の形態では、スピンドル２の軸受け部として、流体
軸受けを用いた例で説明したが、これは玉軸受け等の接
触型の軸受けを用いた場合は、その振動もＡＥセンサ１
０１で検出してしまい、スライダ４と磁気ディスク１の
接触検出のＳ／Ｎが劣化するからである。したがって十
分にＳ／Ｎが確保できるのであれは軸受けは流体軸受け
に限るものではない。
【００２２】以上のように本実施の形態１では構成され
ているので、スライブ４と磁気ディスク１との接触によ
ってその接触点近傍で発生したＡＥセンサ１０１のＡＥ
信号は、スリップリング１１とブラシ１２とに導かれ外
部に取り出される。この場合、ＡＥセンサ１０１の出力
信号には、アーム５の振動の影響による信号成分が含ま
れないので、ＡＥセンサ１０１によるスライブ４と磁気
ディスク１との接触の検出に対する影響が低減され、ま
たその接触によって磁気ディスク１が受けた影響を高精
度に評価できる。
ているので、スライブ４と磁気ディスク１との接触によ
ってその接触点近傍で発生したＡＥセンサ１０１のＡＥ
信号は、スリップリング１１とブラシ１２とに導かれ外
部に取り出される。この場合、ＡＥセンサ１０１の出力
信号には、アーム５の振動の影響による信号成分が含ま
れないので、ＡＥセンサ１０１によるスライブ４と磁気
ディスク１との接触の検出に対する影響が低減され、ま
たその接触によって磁気ディスク１が受けた影響を高精
度に評価できる。
【００２３】（実施の形態２）図２は本発明による実施
の形態２を示している。実施の形態１と同様の構成につ
いては説明を省略する。実施の形態１では、微小振動検
出素子であるＡＥセンサ１０１を磁気ディスク１に搭載
したが、本実施の形態２では、保持機構であるスピンド
ル２に微小振動検出素子としてのＡＥセンサ１０２が搭
載されている。このような構成とすることで、磁気ディ
スク１を交換する際にも、ＡＥセンサ１０２を取り外す
ことなく上述した評価を高精度に行うことが可能であ
り、作業の効率化をはかることが可能となる。また磁気
ディスク１にＡＥセンサ１０２を取り付けることによる
磁気ディスク１のダメージ等の心配もない。
の形態２を示している。実施の形態１と同様の構成につ
いては説明を省略する。実施の形態１では、微小振動検
出素子であるＡＥセンサ１０１を磁気ディスク１に搭載
したが、本実施の形態２では、保持機構であるスピンド
ル２に微小振動検出素子としてのＡＥセンサ１０２が搭
載されている。このような構成とすることで、磁気ディ
スク１を交換する際にも、ＡＥセンサ１０２を取り外す
ことなく上述した評価を高精度に行うことが可能であ
り、作業の効率化をはかることが可能となる。また磁気
ディスク１にＡＥセンサ１０２を取り付けることによる
磁気ディスク１のダメージ等の心配もない。
【００２４】（実施の形態３）図３は本発明による実施
の形態３を示している。実施の形態１と同様の構成につ
いては説明を省略する。実施の形態１では、磁気ディス
ク１に搭載されたＡＥセンサ１０１からの出力信号は、
信号伝達手段としてスリップリング１１とブラシ１２と
を用いることよって外部に取り出していたが、本実施の
形態３では、磁気ディスク１に搭載されたＡＥセンサ１
０３の信号伝達手段として、非接触で信号を伝達できる
ものとしてスピンドル２に固定され該スピンドル２の回
転動作と共に回転しかつ信号を空中に送信する信号送信
器の一例としての回転トランス１３ａと、前記信号を受
信する信号受信器の一例としての固定トランス１３ｂと
を用いている。スリップリングとブラシとを用いる場合
は、スライダ４と磁気ディスク１との接触による信号の
みならず、スリップリングとブラシの接触摺動による振
動をＡＥセンサが検知してしまうため、測定のＳ／Ｎが
劣化してしまうという問題点があった。本実施の形態３
のように信号伝達手段として回転トランス１３ａと、こ
の回転トランス１３ａと対向した固定トランス１３ｂと
を用いることで、ＡＥセンサ１０３の出力信号を非接触
で伝達可能になりスライダ４と磁気ディスク１との接触
検出のＳ／Ｎが改善される。
の形態３を示している。実施の形態１と同様の構成につ
いては説明を省略する。実施の形態１では、磁気ディス
ク１に搭載されたＡＥセンサ１０１からの出力信号は、
信号伝達手段としてスリップリング１１とブラシ１２と
を用いることよって外部に取り出していたが、本実施の
形態３では、磁気ディスク１に搭載されたＡＥセンサ１
０３の信号伝達手段として、非接触で信号を伝達できる
ものとしてスピンドル２に固定され該スピンドル２の回
転動作と共に回転しかつ信号を空中に送信する信号送信
器の一例としての回転トランス１３ａと、前記信号を受
信する信号受信器の一例としての固定トランス１３ｂと
を用いている。スリップリングとブラシとを用いる場合
は、スライダ４と磁気ディスク１との接触による信号の
みならず、スリップリングとブラシの接触摺動による振
動をＡＥセンサが検知してしまうため、測定のＳ／Ｎが
劣化してしまうという問題点があった。本実施の形態３
のように信号伝達手段として回転トランス１３ａと、こ
の回転トランス１３ａと対向した固定トランス１３ｂと
を用いることで、ＡＥセンサ１０３の出力信号を非接触
で伝達可能になりスライダ４と磁気ディスク１との接触
検出のＳ／Ｎが改善される。
【００２５】（実施の形態４）図４は本発明による実施
の形態４を示している。実施の形態１と同様の構成につ
いては説明を省略する。アーム５には第１の微小振動検
出素子であるＡＥセンサ１０５が搭載されている。スラ
イダ４が、何らかの理由で磁気ディスク１と接触する
と、その接触点では、ＡＥすなわち音響弾性波が発生す
る。ＡＥセンサ１０５は、そのＡＥすなわち音響弾性波
を電気信号に変換する。ＡＥセンサ１０５の出力信号
は、高帯域アンプ１３によって、検出可能なレベルまで
増幅される。増幅されたＡＥセンサ１０５からの出力信
号は、第１の実効値演算手段であるところの実効値演算
回路１４に導かれる。実効値演算回路１４からの出力信
号は、第１の信号処理回路１５によって、前記実効値演
算回路１４で演算されたＡＥセンサ１０５からの信号が
一定値を越えた場合にＴＴＬレベルでＨＩ（５Ｖ）を出
力するようになっている。それ以外の場合はＬＯＷ（０
Ｖ）である。
の形態４を示している。実施の形態１と同様の構成につ
いては説明を省略する。アーム５には第１の微小振動検
出素子であるＡＥセンサ１０５が搭載されている。スラ
イダ４が、何らかの理由で磁気ディスク１と接触する
と、その接触点では、ＡＥすなわち音響弾性波が発生す
る。ＡＥセンサ１０５は、そのＡＥすなわち音響弾性波
を電気信号に変換する。ＡＥセンサ１０５の出力信号
は、高帯域アンプ１３によって、検出可能なレベルまで
増幅される。増幅されたＡＥセンサ１０５からの出力信
号は、第１の実効値演算手段であるところの実効値演算
回路１４に導かれる。実効値演算回路１４からの出力信
号は、第１の信号処理回路１５によって、前記実効値演
算回路１４で演算されたＡＥセンサ１０５からの信号が
一定値を越えた場合にＴＴＬレベルでＨＩ（５Ｖ）を出
力するようになっている。それ以外の場合はＬＯＷ（０
Ｖ）である。
【００２６】また磁気ディスク１には、第２の微小振動
検出素子であるＡＥセンサ１０４が搭載されている。Ａ
Ｅセンサ１０４の出力信号は、信号伝達手段としてのス
リップリング１１とブラシ１２とに導かれ外部に取り出
される。外部に取り出されたＡＥセンサ１０４の出力信
号は、高帯域アンプ１６によって、検出可能なレベルま
で増幅される。増幅されたＡＥセンサ１０４からの出力
信号は、第２の実効値演算手段であるところの実効値演
算回路１７に導かれる。実効値演算回路１７からの出力
信号は、第２の信号処理回路１８によって、前記実効値
演算回路１７で演算された実効値信号が一定値を越えた
場合にＴＴＬレベルでＨＩ（５Ｖ）を出力するようにな
っている。それ以外の場合はＬＯＷ（０Ｖ）である。信
号処理回路１５の出力信号と信号処理回路１８の出力信
号とは、接触判定手段としての接触判定回路１９に導か
れそれぞれの出力信号の論理積をとることによって最終
的にスライダ４と磁気ディスク１とが接触したと判定す
る。本実施の形態４とすることで、スライダ４側、ディ
スク１側の両方で接触を判定するため接触検査の精度が
向上する。
検出素子であるＡＥセンサ１０４が搭載されている。Ａ
Ｅセンサ１０４の出力信号は、信号伝達手段としてのス
リップリング１１とブラシ１２とに導かれ外部に取り出
される。外部に取り出されたＡＥセンサ１０４の出力信
号は、高帯域アンプ１６によって、検出可能なレベルま
で増幅される。増幅されたＡＥセンサ１０４からの出力
信号は、第２の実効値演算手段であるところの実効値演
算回路１７に導かれる。実効値演算回路１７からの出力
信号は、第２の信号処理回路１８によって、前記実効値
演算回路１７で演算された実効値信号が一定値を越えた
場合にＴＴＬレベルでＨＩ（５Ｖ）を出力するようにな
っている。それ以外の場合はＬＯＷ（０Ｖ）である。信
号処理回路１５の出力信号と信号処理回路１８の出力信
号とは、接触判定手段としての接触判定回路１９に導か
れそれぞれの出力信号の論理積をとることによって最終
的にスライダ４と磁気ディスク１とが接触したと判定す
る。本実施の形態４とすることで、スライダ４側、ディ
スク１側の両方で接触を判定するため接触検査の精度が
向上する。
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、振動検出
素子をディスクあるいは保持機構に搭載することによっ
て、アームの振動がスライダとディスクの接触検出に与
える影響および振動検出素子が評価する系に与える影響
が少なくなり、またディスク側で接触を検出することが
できるため、接触によってディスク側が受けた影響を高
精度に評価することが可能となる、さらにスライダ側と
ディスク側の両方に振動検出素子を搭載し、両方で接触
を検出することで検出精度が向上するという効果が得ら
れる。
素子をディスクあるいは保持機構に搭載することによっ
て、アームの振動がスライダとディスクの接触検出に与
える影響および振動検出素子が評価する系に与える影響
が少なくなり、またディスク側で接触を検出することが
できるため、接触によってディスク側が受けた影響を高
精度に評価することが可能となる、さらにスライダ側と
ディスク側の両方に振動検出素子を搭載し、両方で接触
を検出することで検出精度が向上するという効果が得ら
れる。
【図１】本発明の実施の形態１による接触検査装置を示
すブロック図
すブロック図
【図２】本発明の実施の形態２による接触検査装置を示
すブロック図
すブロック図
【図３】本発明の実施の形態３による接触検査装置を示
すブロック図
すブロック図
【図４】本発明の実施の形態４による接触検査装置を示
すブロック図
すブロック図
【図５】従来の接触検査装置を示すブロック図
１ 磁気ディスク ２ スピンドル ３ スピンドル駆動手段 ４ スライダ ５ アーム ６ アクチュエータ ７ アクチュエータ駆動手段 ８ 信号増幅手段 ９ フィルタ １０ 表示手段 １１ スリップリング １２ ブラシ １０１〜１０５ ＡＥセンサ
Claims (10)
- 【請求項１】ディスクを保持し回転する保持機構と、前
記ディスクに対し記録および／または再生を行うヘッド
を搭載したスライダと、前記スライダを支持した状態で
所定方向に動かされるアームと、前記スライダと前記デ
ィスクとの接触を検出する振動検出素子と、前記振動検
出素子の出力信号を伝達する信号伝達手段とを少なくと
も具備して、前記スライダと前記ディスクとの接触を検
査するとともに、前記振動検出素子が、前記ディスクに
搭載されていることを特徴とする接触検査装置。 - 【請求項２】ディスクを保持し回転する保持機構と、前
記ディスクに対し記録および／または再生を行う磁気ヘ
ッドを搭載したスライダと、前記スライダを支持した状
態で所定方向に動かされるアームと、前記スライダと前
記ディスクとの接触を検出する振動検出素子と、前記振
動検出素子の出力信号を伝達する信号伝達手段とを少な
くとも具備して、前記スライダと前記ディスクとの接触
を検査するとともに、前記振動検出素子が前記保持機構
に搭載されていることを特徴とする接触検査装置。 - 【請求項３】振動検出素子を複数有し、少なくとも１つ
の振動検出素子が前記接触を検出する振動検出素子であ
ることを特徴とする請求項１または２に記載の接触検査
装置。 - 【請求項４】前記信号伝達手段が、前記保持機構に固定
され該保持機構の回転動作と共に回転する回転導電体
と、前記保持機構の回転動作と共に回転する前記固定体
に接触する接触導電体とからなり、前記振動検出素子の
出力信号を前記回転導電体と接触導電体との接触を介し
て伝達することを特徴とする請求項１ないし３いずれか
に記載の接触検査装置。 - 【請求項５】前記回転導電体がスリップリングであり、
前記接触導電体がブラシであることを特徴とする請求項
４に記載の接触検査装置。 - 【請求項６】前記信号伝達手段が、前記保持機構に固定
され該保持機構の回転動作と共に回転しかつ信号を空中
に送信する信号送信器と、前記信号送信器で変換された
信号を受信する信号受信器とからなり、前記振動検出素
子の出力信号を前記信号送信器と前記信号受信器との非
接触による送受信を介して伝達することを特徴とする請
求項１ないし３いずれかにに記載の接触検査装置。 - 【請求項７】前記信号送信器が回転トランスであり、前
記信号受信器が固定トランスである請求項６に記載の接
触検査装置。 - 【請求項８】前記振動検出素子が、ＡＥセンサであるこ
とを特徴とする請求項８に記載の接触検査装置。 - 【請求項９】前記保持機構の軸受け部に流体軸受けを用
いたことを特徴とする請求項１ないし８いずれかに記載
の接触検査装置。 - 【請求項１０】ディスクを保持し回転する保持機構と、 前記ディスクに対し記録および／または再生を行うヘッ
ドを搭載したスライダと、 前記スライダを支持した状態で所定方向に動かされるア
ームと、 前記スライダと前記ディスクとの接触を検出する第１の
振動検出素子と、 前記ディスクまたは前記保持機構に搭載された第２の振
動検出素子と、 前記第１の振動検出素子の出力信号を増幅する第１の信
号増幅手段と、 前記第１の信号増幅手段で増幅された信号から実効値を
演算する第１の実効値演算手段と、 前記第１の実効値演算手段の出力が一定値を越えたか否
かを判定しその結果を出力する第１の信号処理回路と、 前記第２の振動検出素子の出力信号を取り出す信号伝達
手段と、 前記信号伝達手段で取り出された出力信号を増幅する第
２の信号増幅手段と、 前記第２の信号増幅手段で増幅された信号から実効値を
演算する第２の実効値演算手段と、 前記第２の実効値演算手段の出力が一定値を越えたか否
かを判定しその結果を出力する第２の信号処理回路と、 前記両信号処理回路それぞれの出力結果から前記スライ
ダと前記ディスクとの接触を判定する接触判定手段と、 を具備したことを特徴とする接触検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10001387A JPH11203637A (ja) | 1998-01-07 | 1998-01-07 | 接触検査装置 |
| US09/225,759 US6105432A (en) | 1998-01-07 | 1999-01-05 | Contact tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10001387A JPH11203637A (ja) | 1998-01-07 | 1998-01-07 | 接触検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11203637A true JPH11203637A (ja) | 1999-07-30 |
Family
ID=11500085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10001387A Pending JPH11203637A (ja) | 1998-01-07 | 1998-01-07 | 接触検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11203637A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045838A1 (ja) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 接触検査装置、磁気ディスク装置の接触検査装置及びその接触検査方法 |
| US7212362B2 (en) | 2004-12-07 | 2007-05-01 | Tdk Corporation | Method and apparatus for detecting shock-resistance performance |
| CN112053704A (zh) * | 2020-09-01 | 2020-12-08 | 全南群英达电子有限公司 | 一种薄膜感应磁头的磁灵敏度检测装置及其实施方法 |
-
1998
- 1998-01-07 JP JP10001387A patent/JPH11203637A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045838A1 (ja) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 接触検査装置、磁気ディスク装置の接触検査装置及びその接触検査方法 |
| US7591180B2 (en) | 2003-11-10 | 2009-09-22 | Panasonic Corporation | Contact inspection device, and contact inspection device and method for magnetic disk device |
| US7212362B2 (en) | 2004-12-07 | 2007-05-01 | Tdk Corporation | Method and apparatus for detecting shock-resistance performance |
| CN112053704A (zh) * | 2020-09-01 | 2020-12-08 | 全南群英达电子有限公司 | 一种薄膜感应磁头的磁灵敏度检测装置及其实施方法 |
| CN112053704B (zh) * | 2020-09-01 | 2021-06-01 | 全南群英达电子有限公司 | 一种薄膜感应磁头的磁灵敏度检测装置及其实施方法 |
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