JPH11203996A - 真空バルブ - Google Patents

真空バルブ

Info

Publication number
JPH11203996A
JPH11203996A JP508598A JP508598A JPH11203996A JP H11203996 A JPH11203996 A JP H11203996A JP 508598 A JP508598 A JP 508598A JP 508598 A JP508598 A JP 508598A JP H11203996 A JPH11203996 A JP H11203996A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum valve
insulating
material film
insulating cylinder
end plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP508598A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Kamikawaji
徹 上川路
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP508598A priority Critical patent/JPH11203996A/ja
Publication of JPH11203996A publication Critical patent/JPH11203996A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/66—Vacuum switches
    • H01H33/662—Housings or protective screens
    • H01H33/66207—Specific housing details, e.g. sealing, soldering or brazing
    • H01H2033/66215—Details relating to the soldering or brazing of vacuum switch housings

Landscapes

  • High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 絶縁破壊の起点となる高電界トリプルジャン
クションの形成を回避して、絶縁性能を向上させ、信頼
性を高める。 【解決手段】 絶縁円筒１と誘電率が略同じ絶縁材料膜
１３を、絶縁円筒１の端部を覆うようにシールリング３
の内面に形成した。このような構成とすることにより、
真空バルブ内部の沿面絶縁距離が増大するばかりでな
く、絶縁円筒１の端部にはトリプルジャンクションが形
成されず、代わって形成される絶縁材料膜端部１３ｂの
トリプルジャンクションを低電界とすることができるの
で、真空バルブの絶縁性能の向上を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空バルブに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、真空遮断器に用いる真空
バルブは、約１０-2Ｐａ以下の高真空中で１対の接点を
開離することにより、真空の持つ優れた消弧性、絶縁性
を利用して電流遮断を行うものである。図１２にその代
表的な構造を示す真空バルブは、一般にセラミックスよ
りなる絶縁円筒１が中間リング２を介して連結され円筒
容器を形成し、この円筒容器の両端開口がシールリング
３を介して固定側端板４及び可動側端板５でそれぞれ密
封され、気密な容器を構成している。固定側端板４に
は、固定軸６が貫通固定され、この固定軸６は固定電極
７に連結されている。固定電極７と対向して可動電極８
が、図示しない操作機構に連結された可動軸９に連結さ
れている。また、固定電極７と可動電極８が対向する側
には、真空遮断器の用途に応じて種々の合金材料からな
る接点１０がそれぞれの電極７，８に貼設されている。
一方、可動軸９と可動側端板５の中央開口部はベローズ
１１により気密に連結され、これにより真空バルブ内の
真空を保持しつつ可動軸９を動作させることができるよ
うになっている。また、電流遮断時に接点１０及び電極
７，８から飛散する金属蒸気や金属溶融片が絶縁円筒１
の内面に付着し、沿面の絶縁性能が低下するのを防止す
るために、シールド１２がシールド取付金具１４を介し
て中間リング２に固設されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上のような構成の真
空バルブの絶縁性能は、絶縁円筒１とシールリング３と
の接合部分の構成により左右される。図１３は、この接
合部分Ｘを拡大して示したものであるが、一般に、セラ
ミックスからなる絶縁円筒１と金属からなるシールリン
グ３を銀ろう付けにより接合するには、予め絶縁円筒１
の端面を金属化処理しておく必要がある。いわゆるメタ
ライズ処理であり、例えばアルミナセラミックスの場合
には、モリブデンとマンガンの微粉末を塗布しておいて
高温加熱し、拡散相を形成させ、その上にニッケルなど
の金属層をメッキにより形成するものである。然して、
絶縁円筒１の端面に形成されたメタライズ層１ａの端部
には、金属／絶縁物／絶縁媒体の３つの境界であるいわ
ゆるトリプルジャンクションＴが形成される。なお、真
空バルブの場合には絶縁媒体は真空である。真空バルブ
に高電圧が印加されると、トリプルジャンクションＴに
おける電界が極めて高くなるため、ここを起点として絶
縁円筒１の内面に沿った絶縁破壊が生ずることがある。
【０００４】一方、真空バルブを真空遮断器に搭載する
場合、真空遮断器の接地フレームとの距離を小さくし、
真空遮断器の小型化を図る目的で、図１４に真空バルブ
の固定側半分を示すように、両端が異径の絶縁円筒１５
を用いて、真空バルブの中央部直径よりも端部直径を小
さくすることがある。同図において、Ａは真空バルブ中
央部と接地フレーム１６間の距離、Ｂは真空バルブ端部
と接地フレーム１６間の距離である。これは、真空バル
ブの固定側に電圧Ｖa が印加されたとき、浮遊電位にあ
るシールド１２の電位は一般に０．４Ｖa 〜０．４５Ｖ
a 程度になっているため、接地フレーム１６との絶縁距
離は、真空バルブ中央部分では短くて済むためである。
しかしながら、このような両端異径の絶縁円筒１５を用
いる場合には、真空バルブのコンディショニング処理で
問題が生ずる場合がある。コンディショニング処理と
は、真空バルブの製造工程において、真空バルブに過電
圧を印加し強制的に放電を繰り返すことにより、所期の
絶縁性能を得る処理のことである。しかしながら、この
コンディショニング処理において印加される過電圧によ
り、絶縁円筒１５が貫通絶縁破壊を生じ、真空バルブが
リークしてしまうことがある。一般に、セラミックスで
絶縁円筒１５を制作する場合には、原料粉末をプレス成
形したものを焼成するが、屈曲部があると均一な密度に
ならずに欠陥部分が形成されやすくなり、その部分での
絶縁破壊が生ずることがある。
【０００５】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
絶縁破壊の起点となる高電界トリプルジャンクションの
形成を回避し、また中央部直径よりも端部直径を小さく
した真空バルブにおいては高電圧コンディショニング処
理を可能として、優れた絶縁性能を有し、信頼性の高い
真空バルブを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、絶縁円筒の両端開口にそれ
ぞれ金属製のシールリングを介して端板を接合した真空
容器内に、接離自在の１対の電極を配設した真空バルブ
において、前記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜
を、前記絶縁円筒の端部を覆うように前記シールリング
の内面に形成してなることを要旨とする。この構成によ
り、真空バルブ内部の沿面絶縁距離が増大するとともに
絶縁円筒の端部に高電界トリプルジャンクションの形成
が回避される。
【０００７】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の真空バルブにおいて、前記絶縁材料膜の端部は、前記
端板と前記シールリングとの接合部近傍に形成してなる
ことを要旨とする。この構成により、絶縁材料膜の端部
に形成されるトリプルジャンクションの電界が低減され
る。
【０００８】請求項３記載の発明は、上記請求項２記載
の真空バルブにおいて、前記シールリングは、前記端板
との接合部近傍において径大部を有し、この径大部内面
に前記絶縁材料膜の端部を形成してなることを要旨とす
る。この構成により、絶縁材料膜の端部に形成されるト
リプルジャンクションの電界を大幅に低減することが可
能となる。
【０００９】請求項４記載の発明は、絶縁円筒の両端開
口にそれぞれ金属製のシールリングを介して端板を接合
した真空容器内に、接離自在の１対の電極を配設した真
空バルブにおいて、前記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁
材料膜を、前記絶縁円筒の端部を覆うように前記シール
リングの内面から前記端板の内面にわたって形成してな
ることを要旨とする。この構成により、真空バルブ内部
の沿面絶縁距離が大幅に増大するとともに絶縁円筒の端
部に高電界トリプルジャンクションの形成が回避され
る。
【００１０】請求項５記載の発明は、上記請求項４記載
の真空バルブにおいて、前記端板は固定側端板であり、
前記絶縁材料膜の端部は、前記固定側端板と固定軸との
接合部近傍に形成してなることを要旨とする。この構成
により、絶縁材料膜の端部に形成されるトリプルジャン
クションの電界が緩和される。
【００１１】請求項６記載の発明は、上記請求項５記載
の真空バルブにおいて、前記固定軸は、前記固定側端板
近傍で径大部分を有することを要旨とする。この構成に
より、絶縁材料膜の端部に形成されるトリプルジャンク
ションの電界がさらに緩和される。
【００１２】請求項７記載の発明は、上記請求項４記載
の真空バルブにおいて、前記端板は可動側端板であり、
この可動側端板と可動軸とを気密に連結するベローズ
は、その径小部で前記可動側端板に接合され、且つ前記
絶縁材料膜の端部径は前記ベローズの外径よりも小径に
形成してなることを要旨とする。この構成により、絶縁
材料膜の端部に形成されるトリプルジャンクションの電
界をほぼゼロにすることが可能となる。
【００１３】請求項８記載の発明は、絶縁円筒の両端開
口にそれぞれ金属製のシールリングを介して端板を接合
した真空容器内に、接離自在の１対の電極を配設した真
空バルブにおいて、前記絶縁円筒は、径大の中央部絶縁
円筒と径小の端部絶縁円筒とを接続金具で接合して構成
してなることを要旨とする。この構成により、両端が異
径の絶縁円筒を用いるときのような、コンディショニン
グの際の欠陥部における貫通絶縁破壊を抑制することが
できて、高電圧でコンディショニングを行うことが可能
となる。
【００１４】請求項９記載の発明は、上記請求項８記載
の真空バルブにおいて、前記中央部絶縁円筒と前記端部
絶縁円筒とは部分的に重なる構成としてなることを要旨
とする。この構成により、真空バルブ全長を長くするこ
となく、沿面絶縁距離を長くすることが可能となる。
【００１５】請求項１０記載の発明は、絶縁円筒の両端
開口にそれぞれ接続金具を介して絶縁円板を接合した真
空容器内に、接離自在の１対の電極を配設してなること
を要旨とする。この構成により、沿面絶縁性能を向上さ
せることが可能となる。
【００１６】請求項１１記載の発明は、上記請求項１０
記載の真空バルブにおいて、前記絶縁円板の内側近傍に
シールドを設けてなることを要旨とする。この構成によ
り、絶縁円板が、電極及び接点等から飛散する金属蒸気
による汚損から防止される。
【００１７】請求項１２記載の発明は、上記請求項８，
９，１０又は１１記載の真空バルブにおいて、前記接続
金具の内面に前記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜
を形成してなることを要旨とする。この構成により、さ
らに優れた絶縁性能を有する真空バルブとすることが可
能となる。
【００１８】請求項１３記載の発明は、上記請求項１２
記載の真空バルブにおいて、前記接続金具は径方向突出
部分を有し、この径方向突出部分において前記絶縁材料
膜を分離してなることを要旨とする。この構成により、
絶縁円筒端部のトリプルジャンクションの形成が無くな
るとともに、絶縁材料膜端部に新しく形成されたトリプ
ルジャンクションは低電界とすることができる。したが
って、沿面分離の効果を保ったまま、高電界トリプルジ
ャンクションの回避と沿面絶縁距離の増大を図ることが
可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
【００２０】図１は、本発明の第１の実施の形態を示す
図である。なお、図１及び後述の各実施の形態を示す図
において前記図１２乃至図１４における部材等と同一な
いし均等のものは、前記と同一符号を以って示し、重複
した説明を省略する。図１は真空バルブの固定側シール
リング近傍について示す縦断面図である。同図におい
て、シールリング３の内面には絶縁円筒１と略同じ誘電
率の絶縁材料膜１３が形成されている。絶縁材料膜１３
は、絶縁円筒１の端部を完全に被覆するように、その絶
縁材料膜端部１３ａが絶縁円筒１側にある程度の裕度ｄ
をもって位置するように成膜されている。一方、反対側
の絶縁材料膜端部１３ｂには、金属／絶縁物／真空の境
界であるトリプルジャンクションが形成されるので、で
きるだけ低電界部分に位置するようにした方が絶縁性能
が向上する。したがって、図１においては、シールリン
グ３と固定側端板４との接合部分が最も電界が低いの
で、極力この近傍に絶縁材料膜端部１３ｂが位置するよ
うにするのが望ましい。絶縁材料膜１３は、絶縁円筒１
とシールリング３とを銀ろう等により接合した後、プラ
ズマ溶射等により容易に形成できる。
【００２１】このような構成とすることにより、真空バ
ルブ内部の沿面絶縁距離が増大するばかりでなく、絶縁
円筒１の端部にはトリプルジャンクションが形成され
ず、代わって形成される絶縁材料膜端部１３ｂのトリプ
ルジャンクションを低電界とすることができるので、真
空バルブの絶縁性能の向上を図ることができる。
【００２２】図２には、本発明の第２の実施の形態を示
す。本実施の形態は絶縁材料膜端部に形成されるトリプ
ルジャンクションの電界をさらに低減するようにしたも
のである。図２において、シールリング２２は、固定側
端板４との接合部近傍において径大部２２ａを有してお
り、このシールリング径大部２２ａの内面に絶縁材料膜
端部２３ａが位置するように絶縁材料膜２３が形成され
ている。
【００２３】このような構成とすることにより、シール
リング径大部２２ａと固定側端板４に囲まれた部分は極
めて電界が低いため、絶縁材料膜端部２３ａに形成され
るトリプルジャンクションの電界も大幅に抑制され、よ
り一層の絶縁性向上を図ることができる。
【００２４】なお、図１の第１の実施の形態及び図２の
第２の実施の形態では、固定側について示しているが、
可動側のシールリング近傍も上記と同様の構成とするこ
とにより、絶縁性能が向上するのは言うまでもない。
【００２５】図３には、本発明の第３の実施の形態を示
す。本実施の形態では絶縁材料膜３１がシールリング３
の内面から固定側端板４の内面にわたって形成されてい
る。絶縁材料膜３１における一方の絶縁材料膜端部３１
ａの位置は第１の実施の形態で説明した通りであるが、
他方の絶縁材料膜端部３１ｂに形成されるトリプルジャ
ンクションの電界を緩和させるために、他方の絶縁材料
膜端部３１ｂは固定軸６に極力接近させることが望まし
い。
【００２６】このような構成とすることにより、シール
リング３だけに絶縁材料膜を形成する場合に比べ、さら
に沿面絶縁距離を長くすることができるばかりでなく、
絶縁円筒１の端部にはトリプルジャンクションが形成さ
れず、代わって形成される絶縁材料膜端部３１ｂのトリ
プルジャンクションを低電界とすることができるので、
真空バルブの絶縁性能の向上を図ることができる。
【００２７】図４には、本発明の第４の実施の形態を示
す。本実施の形態は、上記第３の実施の形態における他
方の絶縁材料膜端部３１ｂに形成されるトリプルジャン
クションの電界をさらに低減するようにしたものであ
り、固定軸６における固定側端板４との接合部近傍に径
大部分６ａが形成されている。この固定軸径大部分６ａ
により、固定軸６と固定側端板４の接合部近傍をさらに
低電界とすることができるため、この部分に位置する絶
縁材料膜端部３１ｂに形成されるトリプルジャンクショ
ンの電界を大幅に緩和することができ、絶縁性能をより
一層向上させることができる。
【００２８】図５には、本発明の第５の実施の形態を示
す。本実施の形態は、上記第４の実施の形態を可動側に
適用したものであり、ベローズ１１はその径小部１１ａ
で可動側端板５と接合され、且つ絶縁材料膜５１におけ
る絶縁材料膜端部５１ａの径はベローズ外径よりも小さ
くなっている。このような構成とすることで、ベローズ
１１と可動側端板５で囲まれる無電界部分に絶縁材料膜
端部５１ａを位置させることができるため、絶縁材料膜
端部５１ａに形成されるトリプルジャンクションの電界
をゼロにすることができ、真空バルブの絶縁性能が向上
する。
【００２９】上記図３の第３の実施の形態、図４の第４
の実施の形態及び図５の第５の実施の形態において、絶
縁材料膜３１，５１は、絶縁円筒１、シールリング３、
固定側端板４又は可動側端板５とを銀ろう等により接合
した後、プラズマ溶射等により容易に形成できる。
【００３０】図６及び図７には、本発明の第６の実施の
形態を示す。図６に示すように、本実施の形態は、真空
容器が径大の中央部絶縁円筒６１と径小の端部絶縁円筒
６２とを接続金具６３を介して接合することにより構成
されている。
【００３１】このような構成とすることにより、それぞ
れ一定の径の均質な中央部絶縁円筒６１及び端部絶縁円
筒６２とを用いることで、前記図１４に示したように両
端が異径の絶縁円筒１５を用いるときのような、コンデ
ィショニングの際の欠陥部における貫通絶縁破壊を抑制
することができる。このため、コンディショニング電圧
を高くすることができ、絶縁性能に優れた真空バルブと
することができる。なお、真空バルブ全長を不変とする
と、接続金具６３の高さＬの分だけ沿面絶縁距離が短く
なるが、次に述べる理由により、沿面の絶縁性能は絶縁
円筒が一体構成の場合よりも逆に向上する。即ち、一般
的に真空の絶縁特性として図７に絶縁距離と絶縁破壊電
圧の関係を示すように、絶縁破壊電圧はギャップ（絶縁
距離）長の０．４〜０．６乗に比例する。仮に絶縁距離
Ｌ1 の絶縁円筒の破壊電圧がＶ1であるとすると、この
絶縁円筒を２段積み重ねると２×Ｖ1 の破壊電圧とな
る。一方、絶縁距離２×Ｌ1 の一体構成の絶縁円筒では
Ｖ2 の絶縁破壊電圧となる。Ｖ2 ＜２×Ｖ1 であるた
め、同一絶縁距離では分割されていた方が絶縁性能は高
くなる。以上のことより、本実施の形態において接続金
具６３の高さＬの分だけ沿面絶縁距離が短くなっても、
それを上回る分割の効果により全体としての絶縁性能は
向上する。
【００３２】図８には、本発明の第７の実施の形態を示
す。本実施の形態は、上記第６の実施の形態の絶縁性能
をさらに向上させたものであり、径大の中央部絶縁円筒
６１と径小の端部絶縁円筒６２とが部分的に重なるよう
にしたものである。真空バルブ全長を長くすることな
く、上記第６の実施の形態の構成よりも沿面絶縁距離を
長くできるばかりでなく、両絶縁円筒６１，６２のオー
バーラップ部Ｓにより、単一の両端異径の絶縁円筒を用
いるよりも絶縁距離を長くすることができる。このた
め、極めて絶縁性能が高い真空バルブとすることができ
る。
【００３３】図９には、本発明の第８の実施の形態を示
す。絶縁円筒分割構成による真空バルブの沿面絶縁性能
の向上と、真空バルブの端部径縮小による真空遮断器の
小型化を達成する方法としては、図８に示した上記第７
の実施の形態のように径の異なる２つの絶縁円筒を用い
るものに限らない。本実施の形態では、絶縁円筒９１と
絶縁円板９２を接続金具９３を介して接続し真空容器を
構成したものを、シールプレート９４により固定軸６と
接合している。
【００３４】このような構成とすることにより、絶縁円
筒分割構成による真空バルブの沿面絶縁性能の向上と、
真空バルブと接地フレームとの絶縁距離短縮による真空
遮断器の小型化を達成することができる。なお、本実施
の形態の構成を真空バルブの可動側に適用する場合に
は、シールプレート９４の内径とベローズを接合すれば
よい。
【００３５】図１０には、本発明の第９の実施の形態を
示す。上述のような第８の実施の形態の構成で電流を遮
断すると、絶縁円板９２は電極及び接点から飛散する金
属蒸気によって汚損されやすい位置にあるため、遮断電
流の大きさや開閉頻度によっては絶縁性能が低下するお
それがある。そこで、第９の実施の形態では、端部シー
ルド１０１を固定軸６に固設している。
【００３６】このような構成とすることで、端部シール
ド１０１により金属蒸気からの絶縁円板９２の汚損が抑
制される。この結果、大電流遮断や多頻度遮断を行って
も絶縁性能の低下しない信頼性の高い真空バルブとする
ことができる。本実施の形態の構成を可動側に適用する
場合には、シールプレート９４の内径とベローズ１１と
を接合する際に、端部シールド１０１も同時に接合すれ
ばよい。
【００３７】図１１には、本発明の第１０の実施の形態
を示す。前記図６の第６の実施の形態、図８の第７の実
施の形態及び図９の第８の実施の形態において、中央部
絶縁円筒６１，９１と端部絶縁円筒６２又は絶縁円板９
２を連結する接続金具６３，８３，９３の内面に、絶縁
円筒及び絶縁円板と誘電率が略同じ絶縁材料膜を形成す
ることにより、さらに絶縁性能を向上させることができ
る。ただし、接続金具が図８の第７の実施の形態及び図
９の第８の実施の形態に示す形状では、接続金具８３，
９３は屈曲し、低電界の袋状部分を有するので、その内
面全体に絶縁材料膜を被覆しても問題はない。これは、
絶縁材料膜により２つの絶縁物が材料的に連結されてい
ても、低電界部の存在により電気的には分離されている
のと同じであるからである。一方、図６の第６の実施の
形態において径大絶縁円筒と径小絶縁円筒との径の差が
比較的小さく、接続金具６３の形状が比較的単純な円筒
形状に近い場合には工夫が必要である。即ち、比較的単
純な円筒形状の接続金具の場合、その内面に絶縁材料膜
を被覆すると低電界部分が形成されないため、絶縁円筒
が一体で構成された場合と同じとなり、上述したような
絶縁距離分割の効果がなくなるからである。そこで、第
１０の実施の形態では、中央部絶縁円筒６１と端部絶縁
円筒６２とを接続する接続金具１１１が径方向突出部分
１１１ａを有し、この径方向突出部分１１１ａにおいて
絶縁材料膜１１２が分離されている。
【００３８】このような構成とすることにより、絶縁円
筒６２の端部のトリプルジャンクションの形成がなくな
るとともに、絶縁材料膜端部１１２ａに新しく形成され
たトリプルジャンクションは低電界とすることができる
ので、沿面分離の効果を保ったまま、高電界トリプルジ
ャンクションの回避と沿面絶縁距離の増大を図ることが
でき、絶縁性能が向上する。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜を、
前記絶縁円筒の端部を覆うようにシールリングの内面に
形成したため、真空バルブ内部の沿面絶縁距離が増大す
るとともに絶縁円筒の端部に高電界トリプルジャンクシ
ョンの形成が回避されて、絶縁性能が向上し、信頼性を
高めることができる。
【００４０】請求項２記載の発明によれば、前記絶縁材
料膜の端部は、前記端板と前記シールリングとの接合部
近傍に形成したため、絶縁材料膜の端部に形成されるト
リプルジャンクションの電界が低減されて、絶縁性能を
向上させることができる。
【００４１】請求項３記載の発明によれば、前記シール
リングは、前記端板との接合部近傍において径大部を有
し、この径大部内面に前記絶縁材料膜の端部を形成した
ため、絶縁材料膜の端部に形成されるトリプルジャンク
ションの電界を大幅に低減することができて、絶縁性能
をより一層向上させることができる。
【００４２】請求項４記載の発明によれば、絶縁円筒と
誘電率が略同じ絶縁材料膜を、前記絶縁円筒の端部を覆
うようにシールリングの内面から端板の内面にわたって
形成したため、真空バルブ内部の沿面絶縁距離が大幅に
増大するとともに絶縁円筒の端部に高電界トリプルジャ
ンクションの形成が回避されて、絶縁性能が一層向上
し、さらに信頼性を高めることができる。
【００４３】請求項５記載の発明によれば、前記端板は
固定側端板であり、前記絶縁材料膜の端部は、前記固定
側端板と固定軸との接合部近傍に形成したため、絶縁材
料膜の端部に形成されるトリプルジャンクションの電界
が緩和されて、さらに優れた絶縁性能を有する真空バル
ブとすることができる。
【００４４】請求項６記載の発明によれば、前記固定軸
は、前記固定側端板近傍で径大部分を有するため、絶縁
材料膜の端部に形成されるトリプルジャンクションの電
界がさらに緩和されて、極めて優れた絶縁性能を有する
真空バルブとすることができる。
【００４５】請求項７記載の発明によれば、前記端板は
可動側端板であり、この可動側端板と可動軸とを気密に
連結するベローズは、その径小部で前記可動側端板に接
合され、且つ前記絶縁材料膜の端部径は前記ベローズの
外径よりも小径に形成したため、絶縁材料膜の端部に形
成されるトリプルジャンクションの電界をほぼゼロにす
ることができて、極めて優れた絶縁性能を有する真空バ
ルブとすることができる。
【００４６】請求項８記載の発明によれば、絶縁円筒
は、径大の中央部絶縁円筒と径小の端部絶縁円筒とを接
続金具で接合して構成したため、両端が異径の絶縁円筒
を用いるときのような、高電圧でコンディショニングを
行うことができて、絶縁性能に優れ、貫通絶縁破壊によ
るリークのおそれの無い信頼性の高い真空バルブとする
ことができる。
【００４７】請求項９記載の発明によれば、前記中央部
絶縁円筒と前記端部絶縁円筒とは部分的に重なる構成と
したため、沿面絶縁距離を長くすることができて、さら
に優れた絶縁性能を有する真空バルブとすることができ
る。
【００４８】請求項１０記載の発明によれば、絶縁円筒
の両端開口にそれぞれ接続金具を介して絶縁円板を接合
した真空容器内に、接離自在の１対の電極を配設したた
め、沿面絶縁性能を向上させることができるとともに、
真空バルブと接地フレームとの絶縁距離短縮による真空
遮断器の小型化を達成することができる。
【００４９】請求項１１記載の発明によれば、前記絶縁
円板の内側近傍にシールドを設けたため、絶縁円板が、
電極及び接点等から飛散する金属蒸気による汚損から防
止されて、大電流遮断や多頻度遮断を行っても絶縁性能
の低下しない信頼性の高い真空バルブとすることができ
る。
【００５０】請求項１２記載の発明によれば、前記接続
金具の内面に前記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜
を形成したため、さらに優れた絶縁性能を有する真空バ
ルブとすることができる。
【００５１】請求項１３記載の発明によれば、前記接続
金具は径方向突出部分を有し、この径方向突出部分にお
いて前記絶縁材料膜を分離したため、沿面分離の効果を
保ったまま、高電界トリプルジャンクションの回避と沿
面絶縁距離の増大を図ることができて、絶縁性能を向上
させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る真空バルブの第１の実施の形態を
示す要部縦断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す要部縦断面図
である。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す要部縦断面図
である。
【図４】本発明の第４の実施の形態を示す要部縦断面図
である。
【図５】本発明の第５の実施の形態を示す要部縦断面図
である。
【図６】本発明の第６の実施の形態を示す要部縦断面図
である。
【図７】上記第６の実施の形態の効果を説明するための
絶縁特性を示す図である。
【図８】本発明の第７の実施の形態を示す要部縦断面図
である。
【図９】本発明の第８の実施の形態を示す要部縦断面図
である。
【図１０】本発明の第９の実施の形態を示す要部縦断面
図である。
【図１１】本発明の第１０の実施の形態を示す要部縦断
面図である。
【図１２】従来の真空バルブの縦断面図である。
【図１３】図１２のＸ部分の拡大断面図である。
【図１４】他の従来の真空バルブの部分断面図である。
【符号の説明】
１，９１ 絶縁円筒 ３，２２ シールリング ４ 固定側端板 ５ 可動側端板 ６ 固定軸 ６ａ 固定軸の径大部分 ７ 固定電極 ９ 可動軸 １１ ベローズ １１ａ ベローズの径小部 １３，２３，３１，５１，１１２ 絶縁材料膜 １３ａ，１３ｂ，２３ａ，３１ａ，３１ｂ，５１ａ，１
１２ａ 絶縁材料膜の端部 ２２ａ シールリング径大部 ６１ 中央部絶縁円筒 ６２ 端部絶縁円筒 ６３，８３，９３，１１１ 接続金具 ９２ 絶縁円板 １０１ 端部シールド １１１ａ 接続金具の径方向突出部分

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 絶縁円筒の両端開口にそれぞれ金属製の
    シールリングを介して端板を接合した真空容器内に、接
    離自在の１対の電極を配設した真空バルブにおいて、前
    記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜を、前記絶縁円
    筒の端部を覆うように前記シールリングの内面に形成し
    てなることを特徴とする真空バルブ。
  2. 【請求項２】 前記絶縁材料膜の端部は、前記端板と前
    記シールリングとの接合部近傍に形成してなることを特
    徴とする請求項１記載の真空バルブ。
  3. 【請求項３】 前記シールリングは、前記端板との接合
    部近傍において径大部を有し、この径大部内面に前記絶
    縁材料膜の端部を形成してなることを特徴とする請求項
    ２記載の真空バルブ。
  4. 【請求項４】 絶縁円筒の両端開口にそれぞれ金属製の
    シールリングを介して端板を接合した真空容器内に、接
    離自在の１対の電極を配設した真空バルブにおいて、前
    記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜を、前記絶縁円
    筒の端部を覆うように前記シールリングの内面から前記
    端板の内面にわたって形成してなることを特徴とする真
    空バルブ。
  5. 【請求項５】 前記端板は固定側端板であり、前記絶縁
    材料膜の端部は、前記固定側端板と固定軸との接合部近
    傍に形成してなることを特徴とする請求項４記載の真空
    バルブ。
  6. 【請求項６】 前記固定軸は、前記固定側端板近傍で径
    大部分を有することを特徴とする請求項５記載の真空バ
    ルブ。
  7. 【請求項７】 前記端板は可動側端板であり、この可動
    側端板と可動軸とを気密に連結するベローズは、その径
    小部で前記可動側端板に接合され、且つ前記絶縁材料膜
    の端部径は前記ベローズの外径よりも小径に形成してな
    ることを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
  8. 【請求項８】 絶縁円筒の両端開口にそれぞれ金属製の
    シールリングを介して端板を接合した真空容器内に、接
    離自在の１対の電極を配設した真空バルブにおいて、前
    記絶縁円筒は、径大の中央部絶縁円筒と径小の端部絶縁
    円筒とを接続金具で接合して構成してなることを特徴と
    する真空バルブ。
  9. 【請求項９】 前記中央部絶縁円筒と前記端部絶縁円筒
    とは部分的に重なる構成としてなることを特徴とする請
    求項８記載の真空バルブ。
  10. 【請求項１０】 絶縁円筒の両端開口にそれぞれ接続金
    具を介して絶縁円板を接合した真空容器内に、接離自在
    の１対の電極を配設してなることを特徴とする真空バル
    ブ。
  11. 【請求項１１】 前記絶縁円板の内側近傍にシールドを
    設けてなることを特徴とする請求項１０記載の真空バル
    ブ。
  12. 【請求項１２】 前記接続金具の内面に前記絶縁円筒と
    誘電率が略同じ絶縁材料膜を形成してなることを特徴と
    する請求項８，９，１０又は１１記載の真空バルブ。
  13. 【請求項１３】 前記接続金具は径方向突出部分を有
    し、この径方向突出部分において前記絶縁材料膜を分離
    してなることを特徴とする請求項１２記載の真空バル
    ブ。
JP508598A 1998-01-13 1998-01-13 真空バルブ Pending JPH11203996A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP508598A JPH11203996A (ja) 1998-01-13 1998-01-13 真空バルブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP508598A JPH11203996A (ja) 1998-01-13 1998-01-13 真空バルブ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11203996A true JPH11203996A (ja) 1999-07-30

Family

ID=11601562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP508598A Pending JPH11203996A (ja) 1998-01-13 1998-01-13 真空バルブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11203996A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2951314A1 (fr) * 2009-10-12 2011-04-15 Schneider Electric Ind Sas Dispositif d'assemblage par brasage d'un capot d'extremite sur un corps cylindrique et ampoule a vide comportant un tel dispositif
JP2023090344A (ja) * 2021-12-17 2023-06-29 株式会社東芝 真空バルブ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2951314A1 (fr) * 2009-10-12 2011-04-15 Schneider Electric Ind Sas Dispositif d'assemblage par brasage d'un capot d'extremite sur un corps cylindrique et ampoule a vide comportant un tel dispositif
US8181842B2 (en) 2009-10-12 2012-05-22 Schneider Electric Industries Sas Device for assembly by brazing an end cap onto a cylindrical body and vacuum cartridge comprising one such device
EP2309527A3 (fr) * 2009-10-12 2012-08-29 Schneider Electric Industries SAS Dispositif d'assemblage par brasage d'un capot d'extrémité sur un corps cylindrique et ampoule à vide comportant un tel dispositif
JP2023090344A (ja) * 2021-12-17 2023-06-29 株式会社東芝 真空バルブ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106133869A (zh) 断路设备
US20240203681A1 (en) Devices and methods related to gas discharge tubes
JP7143195B2 (ja) 真空バルブ
JPH0364817A (ja) 高電圧真空絶縁容器
KR860002081B1 (ko) 진공차단기
US3141058A (en) Ceramic-to-metal seal for high voltage vacuum device
JP2004362918A (ja) 真空バルブ
JP2019110010A (ja) 真空バルブ
JP7766855B1 (ja) 真空バルブ及びその製造方法
JP4067927B2 (ja) 真空バルブ
JP3134905B2 (ja) サージアブソーバ
JP2021089828A (ja) 真空バルブ
JPH0433759B2 (ja)
JP3214670B2 (ja) マイクロ波管用電子銃
JP2009048842A (ja) 真空スイッチおよびその製造方法
JPS6298537A (ja) 電子レンジ用マグネトロン
JP2002218610A (ja) ガス絶縁機器
JP4239422B2 (ja) サージアブソーバ
JP3118287B2 (ja) マグネトロン
JP2020068129A (ja) 真空バルブ
JP2008027585A (ja) 真空開閉器
JPH0112356Y2 (ja)
JP3363619B2 (ja) マグネトロン
JPH05303991A (ja) 放電管
CN115621042A (zh) 一种高压真空陶瓷电容组件及其柱上开关

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040629