JPH11204872A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
- Publication number
- JPH11204872A JPH11204872A JP10007701A JP770198A JPH11204872A JP H11204872 A JPH11204872 A JP H11204872A JP 10007701 A JP10007701 A JP 10007701A JP 770198 A JP770198 A JP 770198A JP H11204872 A JPH11204872 A JP H11204872A
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- Japan
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- laser
- laser light
- light source
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パワーメータ機能を備え、レーザ光出力を可
変に出来る固体レーザ装置を提供する。 【解決手段】 レーザヘッド筐体１内に半導体レーザ励
起の固体レーザによるレーザ光源２を備えてレーザ光５
を発射させ、そのレーザ光５の一部をビームスプリッタ
４で捉えてホトダイオード３に入射させる。その信号を
ドライバ筐体６内の表示補正回路部７に入力して、その
電圧値をレーザ光５の出力値に換算する補正をして、パ
ワーメータとして使用する。そして、その出力電圧を出
力制御回路部１０に入力し、基準電圧と比較してその差
分に比例して、出力制御回路部１０でレーザ光源２の駆
動電流を変化させてレーザ光５の出力を制御する。基準
電圧は外部出力制御端子９から制御することが出来る。
変に出来る固体レーザ装置を提供する。 【解決手段】 レーザヘッド筐体１内に半導体レーザ励
起の固体レーザによるレーザ光源２を備えてレーザ光５
を発射させ、そのレーザ光５の一部をビームスプリッタ
４で捉えてホトダイオード３に入射させる。その信号を
ドライバ筐体６内の表示補正回路部７に入力して、その
電圧値をレーザ光５の出力値に換算する補正をして、パ
ワーメータとして使用する。そして、その出力電圧を出
力制御回路部１０に入力し、基準電圧と比較してその差
分に比例して、出力制御回路部１０でレーザ光源２の駆
動電流を変化させてレーザ光５の出力を制御する。基準
電圧は外部出力制御端子９から制御することが出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体レーザを励起
用光源として用いる固体レーザ装置に関する。
用光源として用いる固体レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この固体レーザ装置は図２に示すよう
に、レーザヘッド筐体１にレーザ光源２を内蔵し、レー
ザ光源２は図３に示すように、励起用発振部１８とＮ
ｄ：ＹＡＧレーザ発振器２２と温度調節のための共振器
温度調節器２３で構成され、励起用発振部１８は半導体
レーザ１６と励起光結合レンズ系１７からなり、Ｎｄ：
ＹＡＧレーザ発振器２２はＮｄ：ＹＡＧ結晶１９とＳＨ
Ｇ素子２０と出力ミラー２１からなる。そしてＮｄ：Ｙ
ＡＧレーザ発振器２２を安定に駆動するために、内部に
共振器温度調節器２３を備えている。
に、レーザヘッド筐体１にレーザ光源２を内蔵し、レー
ザ光源２は図３に示すように、励起用発振部１８とＮ
ｄ：ＹＡＧレーザ発振器２２と温度調節のための共振器
温度調節器２３で構成され、励起用発振部１８は半導体
レーザ１６と励起光結合レンズ系１７からなり、Ｎｄ：
ＹＡＧレーザ発振器２２はＮｄ：ＹＡＧ結晶１９とＳＨ
Ｇ素子２０と出力ミラー２１からなる。そしてＮｄ：Ｙ
ＡＧレーザ発振器２２を安定に駆動するために、内部に
共振器温度調節器２３を備えている。
【０００３】このレーザ光源２は、半導体レーザ１６か
らのレーザ光を、励起光結合レンズ系１７を通してＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶１９に入射させ、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶１９
を励起し、共振器を構成することにより基本波を発振さ
せ、非線形光学媒質のＳＨＧ素子２０に入射させること
により、入射光の第２高調波成分を発生させ光周波数変
換を行ない、そのレーザ光５を出力ミラー２１を通して
外部に発射させるものである。
らのレーザ光を、励起光結合レンズ系１７を通してＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶１９に入射させ、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶１９
を励起し、共振器を構成することにより基本波を発振さ
せ、非線形光学媒質のＳＨＧ素子２０に入射させること
により、入射光の第２高調波成分を発生させ光周波数変
換を行ない、そのレーザ光５を出力ミラー２１を通して
外部に発射させるものである。
【０００４】ドライバ筐体６にそのレーザ光源を駆動す
るための駆動回路１３が内蔵され、出力モニタ１５と出
力可変器１４を備えている。その出力モニタ１５の表示
値および出力可変器１４の指示値は相対的なもので、絶
対値として評価できるための補正がされていない。
るための駆動回路１３が内蔵され、出力モニタ１５と出
力可変器１４を備えている。その出力モニタ１５の表示
値および出力可変器１４の指示値は相対的なもので、絶
対値として評価できるための補正がされていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の固体レーザ装置
は以上のように構成されているが、補正をするためには
図２に示すように外部に校正用の標準となるパワーメー
タ１２を備えて、受光部１１にて実際のレーザ光５の出
力を測定し、出力モニタ１５および出力可変器１４の補
正を行なわなければならない。またレーザ光５の出力が
変動しても、その時点での出力を瞬時にチェックするこ
とができない。
は以上のように構成されているが、補正をするためには
図２に示すように外部に校正用の標準となるパワーメー
タ１２を備えて、受光部１１にて実際のレーザ光５の出
力を測定し、出力モニタ１５および出力可変器１４の補
正を行なわなければならない。またレーザ光５の出力が
変動しても、その時点での出力を瞬時にチェックするこ
とができない。
【０００６】このようにパワーメータが付加されていな
いレーザ装置の場合、出力モニタ１５の表示値を絶対値
として扱うためには、また出力可変の際には、ユーザ側
で外部でのレーザ光５の出力をチェックする機器が必要
になるという問題があった。本発明は、このような事情
に鑑みてなされたものであって、外部にパワーメータを
備えなくても、出力モニタの表示値を絶対値として、ま
た出力可変も校正されて使用できる固体レーザ装置を提
供することを目的とする。
いレーザ装置の場合、出力モニタ１５の表示値を絶対値
として扱うためには、また出力可変の際には、ユーザ側
で外部でのレーザ光５の出力をチェックする機器が必要
になるという問題があった。本発明は、このような事情
に鑑みてなされたものであって、外部にパワーメータを
備えなくても、出力モニタの表示値を絶対値として、ま
た出力可変も校正されて使用できる固体レーザ装置を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の固体レーザ装置は、レーザヘッド筐体内に
レーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光の一部を
取り出すフォトダイオードとを内蔵し、ドライバー筐体
内に前記フォトダイオードの出力を受けて、その出力電
圧をレーザ光出力に対応した値に補正する表示補正回路
部と、その出力を基準電圧と比較し、その差分に比例し
てレーザ光源の駆動電流を増減する出力制御回路部とを
設けて、レーザ光出力を制御することができるようにし
たことを特徴とする。
め、本発明の固体レーザ装置は、レーザヘッド筐体内に
レーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光の一部を
取り出すフォトダイオードとを内蔵し、ドライバー筐体
内に前記フォトダイオードの出力を受けて、その出力電
圧をレーザ光出力に対応した値に補正する表示補正回路
部と、その出力を基準電圧と比較し、その差分に比例し
てレーザ光源の駆動電流を増減する出力制御回路部とを
設けて、レーザ光出力を制御することができるようにし
たことを特徴とする。
【０００８】本発明の固体レーザ装置は上記のように構
成されており、外部にパワーメータを備えなくても、出
力モニタの表示値を絶対値として使用でき、また出力も
外部から可変にできる。
成されており、外部にパワーメータを備えなくても、出
力モニタの表示値を絶対値として使用でき、また出力も
外部から可変にできる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の固体レーザ装置の一実施
例を図１により説明する。
例を図１により説明する。
【００１０】図１において、レーザヘッド筐体１にレー
ザ光源２とビームスプリッタ４とホトダイオード３を内
蔵し、ドライバ筐体に出力制御回路部１０と表示補正回
路部７とパワーメータ出力端子８と外部出力制御端子９
を備えている。
ザ光源２とビームスプリッタ４とホトダイオード３を内
蔵し、ドライバ筐体に出力制御回路部１０と表示補正回
路部７とパワーメータ出力端子８と外部出力制御端子９
を備えている。
【００１１】レーザ光源２は図３に示すように、励起用
発振部１８に半導体レーザ１６を使用し、そのレーザ光
を励起光結合レンズ系１７を通してＮｄ：ＹＡＧレーザ
発振器２２のＮｄ：ＹＡＧ結晶１９を励起し基本波を発
振させる。この基本波とＳＨＧ素子２０を用いて、第２
高調波成分を発生させ光周波数変換を行なう。そのレー
ザ光５を出力ミラー２１を通して外部に発射させる。
発振部１８に半導体レーザ１６を使用し、そのレーザ光
を励起光結合レンズ系１７を通してＮｄ：ＹＡＧレーザ
発振器２２のＮｄ：ＹＡＧ結晶１９を励起し基本波を発
振させる。この基本波とＳＨＧ素子２０を用いて、第２
高調波成分を発生させ光周波数変換を行なう。そのレー
ザ光５を出力ミラー２１を通して外部に発射させる。
【００１２】レーザ光源２から出力されたレーザ光５の
一部を、ビームスプリッタ４で反射させ、ホトダイオー
ド３に入力する。ホトダイオード３の出力を、ドライバ
筐体６に内蔵する表示補正回路部７に入れる。ここで単
位レーザ光出力ｍＷあたりの電圧値Ｖに変換する。例え
ば０．１Ｖ／ｍＷに補正する。この作業はレーザ装置を
製作するときに、標準の校正器で表示補正回路部７を調
整し正確に行なう。この場合レーザ光５が１５ｍＷなら
ば１．５Ｖの出力電圧値となる。これにより、数値的に
対応が取り易く絶対値としてみることができ、この出力
電圧はパワーメータ出力端子８で取り出すことができ
る。
一部を、ビームスプリッタ４で反射させ、ホトダイオー
ド３に入力する。ホトダイオード３の出力を、ドライバ
筐体６に内蔵する表示補正回路部７に入れる。ここで単
位レーザ光出力ｍＷあたりの電圧値Ｖに変換する。例え
ば０．１Ｖ／ｍＷに補正する。この作業はレーザ装置を
製作するときに、標準の校正器で表示補正回路部７を調
整し正確に行なう。この場合レーザ光５が１５ｍＷなら
ば１．５Ｖの出力電圧値となる。これにより、数値的に
対応が取り易く絶対値としてみることができ、この出力
電圧はパワーメータ出力端子８で取り出すことができ
る。
【００１３】パワーメータ出力端子８から絶対値として
のレーザ光出力を、単位ｍＷあたりの電圧値Ｖで監視す
ることができるので、外部にレーザ光５の出力をチェッ
クする機器を新たに必要とすることもなく、その場でレ
ーザ光出力を読みとることが出来る。このようにパワー
メータ出力端子８はパワーメータ機能を有するので、こ
のレーザ装置はレーザ光出力を絶対値として監視を必要
とする単一、もしくはシステムに組み込まれて使用され
る。
のレーザ光出力を、単位ｍＷあたりの電圧値Ｖで監視す
ることができるので、外部にレーザ光５の出力をチェッ
クする機器を新たに必要とすることもなく、その場でレ
ーザ光出力を読みとることが出来る。このようにパワー
メータ出力端子８はパワーメータ機能を有するので、こ
のレーザ装置はレーザ光出力を絶対値として監視を必要
とする単一、もしくはシステムに組み込まれて使用され
る。
【００１４】何らかの環境変化でレーザ光源２からのレ
ーザ光５の出力が変化したとき、ホトダイオード３はそ
の出力変化を捉え、その信号は表示補正回路部７で電圧
値に換算され、出力制御回路部１０に入力される。この
時の入力電圧は、外部出力制御端子９から入力された基
準電圧Ｖと比較され、その差分に比例して出力制御回路
部１０でレーザ光源２の駆動電流を増減し、レーザ光出
力を一定に保つ。このオートパワーコントロール（ＡＰ
Ｃ）機能によってレーザ光出力を安定させる。出力を可
変にする時は、外部出力制御端子９に入力する基準電圧
Ｖを変えて制御することができる。例えば１ｍＷ／０．
１Ｖのスケールで外部から制御できるようにしておけば
良く、１０．０ｍＷの出力が欲しいときには、１．０Ｖ
の電圧を外部出力制御端子９に基準電圧として入力すれ
ば、出力制御回路部１０でその基準電圧と表示補正回路
部７から入力される電圧とを比較して、その差分に比例
して出力制御回路部１０はレーザ光源２を駆動する電流
を増減する。
ーザ光５の出力が変化したとき、ホトダイオード３はそ
の出力変化を捉え、その信号は表示補正回路部７で電圧
値に換算され、出力制御回路部１０に入力される。この
時の入力電圧は、外部出力制御端子９から入力された基
準電圧Ｖと比較され、その差分に比例して出力制御回路
部１０でレーザ光源２の駆動電流を増減し、レーザ光出
力を一定に保つ。このオートパワーコントロール（ＡＰ
Ｃ）機能によってレーザ光出力を安定させる。出力を可
変にする時は、外部出力制御端子９に入力する基準電圧
Ｖを変えて制御することができる。例えば１ｍＷ／０．
１Ｖのスケールで外部から制御できるようにしておけば
良く、１０．０ｍＷの出力が欲しいときには、１．０Ｖ
の電圧を外部出力制御端子９に基準電圧として入力すれ
ば、出力制御回路部１０でその基準電圧と表示補正回路
部７から入力される電圧とを比較して、その差分に比例
して出力制御回路部１０はレーザ光源２を駆動する電流
を増減する。
【００１５】上記の機構により、外部にパワーメータを
設置する必要もなく、レーザ光出力を絶対値としてパワ
ーメータ出力端子８で監視でき、さらに外部出力制御端
子９の入力電圧を変えることによりレーザ光出力を変化
することができる。
設置する必要もなく、レーザ光出力を絶対値としてパワ
ーメータ出力端子８で監視でき、さらに外部出力制御端
子９の入力電圧を変えることによりレーザ光出力を変化
することができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明の固体レーザ装置は上記のように
構成されており、新たにパワーメータを設置しなくて
も、レーザ光出力を絶対値として表示することができ
る。また、レーザ光出力を変化させる場合においても、
装置の電圧値を変化させるだけで良く、外部でのレーザ
光出力監視機構を必要としない。したがって、装置への
組み込みの際に便利である。
構成されており、新たにパワーメータを設置しなくて
も、レーザ光出力を絶対値として表示することができ
る。また、レーザ光出力を変化させる場合においても、
装置の電圧値を変化させるだけで良く、外部でのレーザ
光出力監視機構を必要としない。したがって、装置への
組み込みの際に便利である。
【図１】 本発明の固体レーザ装置の一実施例を示す図
である。
である。
【図２】 従来の固体レーザ装置を示す図である。
【図３】 固体レーザ装置のレーザ゛ 光源を示す図であ
る。
る。
１ レーザヘッド筐体 ２ レーザ光源 ３ ホトダイオード ４ ビームスプリッタ ５ レーザ光 ６ ドライバ筐体 ７ 表示補正回路部 ８ パワーメータ出力端子 ９ 外部出力制御端子 １０ 出力制御回路部 １１ 受光部 １２ パワーメータ １３ 駆動回路 １４ 出力可変器 １５ 出力モニタ １６ 半導体レーザ １７ 励起光結合レンズ系 １８ 励起用発振部 １９ Ｎｄ：ＹＡＧ結晶 ２０ ＳＨＧ素子 ２１ 出力ミラー ２２ Ｎｄ：ＹＡＧレーザ発振器 ２３ 共振器温度調節器
Claims (1)
- 【請求項１】レーザヘッド筐体内にレーザ光源と、この
レーザ光源からのレーザ光の一部を取り出すフォトダイ
オードとを内蔵し、ドライバー筐体内に前記フォトダイ
オードの出力を受けて、その出力電圧をレーザ光出力に
対応した値に補正する表示補正回路部と、その出力を基
準電圧と比較し、その差分に比例してレーザ光源の駆動
電流を増減する出力制御回路部とを設けて、レーザ光出
力を制御することができるようにしたことを特徴とする
固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10007701A JPH11204872A (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10007701A JPH11204872A (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | 固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11204872A true JPH11204872A (ja) | 1999-07-30 |
Family
ID=11673072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10007701A Pending JPH11204872A (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11204872A (ja) |
-
1998
- 1998-01-19 JP JP10007701A patent/JPH11204872A/ja active Pending
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