JPH11211450A - レベリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は、載置部材の運動規制機構を
単純化することで、製造が簡便、原価の低減、精度の良
いレベリングを行えるレベリング装置を提供することに
ある。 【解決手段】 載置部材６を三点で支持する支持手段を
有し、第一支持部８は、載置部材６を一定距離に、任意
の方向に傾き可能に支持し、第二、第三支持部１０、１
２は、基板４上面に設けられたスライダと、載置部材６
下面に設けられたコロと、該スライダをスライド移動さ
せる駆動部より構成され、被載置物の姿勢を所望のもの
とさせ得ることが可能で、第一支持部８及び第二、第三
支持部１０、１２の中点を通る軸線上で基板４と載置部
材６の間に設けられ、基板４に対し載置部材６を上下動
自在かつ前記軸線回り方向に回動自在に保持し、該軸線
の基板４と平行面上での回転を規制する規制手段を設け
ていることを特徴とするレベリング装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はレベリング装置、
特に、載置部材の運動自由度の規制方法の改良に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】載置させた被測定物の姿勢を所望の姿勢
にさせ得るレベリング装置として、二次元的に姿勢制御
させるレベリング装置が知られている。この二次元タイ
プのレベリング装置二つを、それらの姿勢制御の方向が
互いに直交するように積み重ねる組み合わせによって、
被載置物を三次元的に制御するレベリング装置が考えら
れるが、これらは、構成部材が多く、また製造が煩雑
で、結果的に製造がしにくく、コストが高くなる。さら
に、高さ方向の寸法が大きくなり装置そのものが大型化
する。載置部材に載置した被載置物の姿勢を所望の状態
とし、その被載置物の表面粗さを測定する場合では、使
用する表面粗さ計を高い位置に保持しておく必要があり
表面粗さ計の取り扱いが困難になる。被載置物を水平面
内で移動させる場合、移動を行わせるスライド装置を、
レベリング装置が載置された状態で配設することとな
り、さらに高さ方向に寸法が大きくなるなど様々な問題
があった。

【０００３】そこで本特許出願人は構成が単純で、製造
が簡便、かつコストが安く収まり、装置全体、特に高さ
方向の寸法をコンパクトにしたレベリング装置として、
特公平８−３０７４３にあるレベリング装置、及び特開
平４−２８９０６１にあるレベリング装置を提案してい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】特公平８−３０７４
３、及び特開平４−２８９０６１の提案は、製造が簡便
で、かつコストが安く収まり、装置全体、特に高さ方向
の寸法をコンパクトにしたレベリング装置という目的を
ほぼ完全に実現することができた。特公平８−３０７４
３におけるレベリング装置は、任意の方向に傾き可能な
第一支持部において基板と載置部材との間隔を一定距離
に保ち、かつ載置部材の運動を特定の二軸を中心とする
回転運動以外を規制していた。しかし、第一支持部はレ
ベリングの際の基準点的な支点の役目を果たし、精密運
動を必要とするレベリング装置の特性からガタが許され
ないため、このようにいろいろな作用を担わせることに
よることと、正確なレベリングを行うという目的のため
に、どうしても第一支持部の構造の単純化は難しく、原
価の低減を図るのが困難であった。

【０００５】そこで特開平４−２８９０６１では、載置
部材の運動規制機構を姿勢制御の際に載置部材が回転し
ようとするのを規制するというような構造を採用するこ
とで単純化することにより、さらに製造が簡便で、原価
を低減でき、かつ、精度の良いレベリングを行えるレベ
リング装置を提案した。しかし、前述の提案は全て基板
に対して、載置部材を支持する支持手段に運動規制手段
を設けることによって問題の解決を図ってきたため、支
持手段の構造が複雑化し、やはりより正確なレベリング
を行える装置を追求して行くと、より一層のコストの削
減やコンパクト化に限界が生じてきた。本発明は、上記
課題に鑑みなされたものであり、その目的は載置部材の
運動規制機構を単純化することにより、さらに製造が簡
便で、原価を低減でき、かつ、精度の良いレベリングを
行えるレベリング装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明にかかるレベリング装置は、基板と、被載置物
を載置する載置部材と、該基板と該載置部材の間に介在
され、かつ載置部材を、基板に対して三点で支持する支
持手段と、被載置物の基板に対する姿勢を検出する検出
手段と、被載置物の姿勢が検出手段により検出された際
に、その検出結果に基づき被載置物の姿勢を変化させる
制御手段を有し、該支持手段は、第一、第二、第三の支
持部からなり、第一支持部は、載置部材を、基板に対し
て一定距離に、かつ任意の方向に傾き可能に支持し、第
二、第三支持部は、前記基板上面にスライド移動可能に
設けられた、上面にのみ斜面を有するスライダと、前記
載置部材下面に設けられ前記スライダ斜面を転がり移動
可能なコロ と、該スライダをスライド移動させる駆動
部より構成され、基板に対して、載置部材を互いに独立
可変に支持し、前記第二、第三支持部は、前記駆動部が
スライダをスライド移動させることで、コロとスライダ
との当接位置が変化し、それによって、支持部における
該載置部材と該基板の間隔が変化することで該基板に対
する載置部材の姿勢を所望のものとさせ得ることが可能
に構成され、前記第一支持部を通り、かつ前記第二、第
三支持部中点を通る軸線上であって、前記基板と載置部
材の間に設けられ、基板に対し載置部材を上下動自在か
つ前記軸線回り方向に回動自在に保持し、該軸線の基板
と平行面上での回転を規制する規制手段を設けているこ
とを特徴とする。

【０００７】また、本発明において、前記規制手段が、
前記載置部材下面に垂下する棒状の第一規制部材と、前
記基板上面に立設する棒状の第二規制部材を含み、この
両規制部材のどちらか一方の先端に設けられたコロを、
他方の規制部材に当接するように、引きバネを該載置部
材と該基板に対して斜めに張架することが好適である。
すなわち本発明にかかるレベリング装置によれば、基板
に対して載置部材を三点で支持し、その支持する三点の
うち二点を独立可変とすることで、基板に対する載置部
材の姿勢を所望のものする。さらに、支持部とは独立し
て、載置部材の運動を規制する規制手段を設けて、基板
と載置部材の間隔を一定距離に保つ第一支持部、及びレ
ベリングを行う第二、第三支持部から、載置部材の運動
自由度の規制という負担を軽減させている。これによっ
て、製造が簡便で、原価を低減でき、かつ正確なレベリ
ングを行うことを実現し得る。

【０００８】さらに本発明において特徴的な規制手段
は、載置部材面より外方に突出することがなく、載置部
材の第一支持部と、第二支持部及び第三支持部の中点と
を結ぶ軸線の回転運動及び載置部材の上下運動のみを可
能とし、第一支持部を中心とした基板平行面上での回転
を規制できるので、レベリング操作によっても載置面の
座標移動は最小限に抑えられる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき、本発明の一
実施形態について説明する。なお、この実施形態によっ
て本発明が制限されるものではない。図１は本発明にお
ける一実施形態の斜視図である。レベリング装置２は、
基板４と、被載置物を載置することが可能な載置部材６
と、載置部材を基板に対して三点で支持する支持手段を
構成する第一支持部８、第二支持部１０及び第三支持部
１２と、支持部を構成するスライダを基板上においてス
ライド移動させる駆動部１４及び１６、および正確なレ
ベリングのために載置部材のレベリングに必要のない運
動を規制する、基板と載置部材に対して斜めに張架され
た引きバネを含む規制手段１８が備えられている。

【００１０】また図２は制御手段の構成を含む、表面粗
さ計及びスライド装置と共に作動させる際の制御系を示
す構成図である。図１には示されていないが、点線によ
って囲まれた制御手段２０によって、載置部材に載置さ
れた被載置物の姿勢を検出された結果に基づき、被載置
物の姿勢を所望の姿勢に変化させるために第二支持部、
第三支持部を駆動させる駆動部の出力を制御するもので
ある。本発明において特徴的なことは、第一支持部は載
置部材を基板に対して一定距離に、かつ任意の方向に傾
き可能とすると共に、第二及び第三支持部はそれぞれ独
立可変に載置部材を支持し、第一支持部を通り、かつ第
二、第三支持部中点を通る軸線上で、基板と載置部材の
間に設けられ、基板に対し載置部材を上下動自在かつ軸
線回り方向に回動自在に保持し、前記軸線の基板と平行
面上での回転を規制する規制手段１８を設けたことであ
る。

【００１１】図３には、第一支持部８の構成図が示され
ている。本実施例において第一支持部は、基板上面に、
上端に凹状球面部を備えた支柱２２が設けられ、下端を
基板上面に固定されている。載置部材下面にも支柱２２
と同様の形状をした支柱２４を、支柱２２とは逆向き
に、下端に凹状球面部が来るように、上端を載置部材下
面に固定されている。そして向き合った凹状球面部にボ
ール２６を介在させて挟み込んだ構造を持つ。このよう
な構造によって、第一支持部８は、基板と載置部材との
間隔を一定距離に保って支持し、かつ任意の方向に傾き
可能である。

【００１２】図４は、本発明による一実施例の側面図で
ある。第二支持部１０は、球面コロ２８と球面コロ２８
を回動可能に枢支する枢支体３０と、球面コロが回動可
能で係合するスライダ３２から主に構成されている。そ
して、枢支体３０は載置部材６の下面に取付けられ、ス
ライダ３２は、後に詳述する駆動部と共に基板４の上面
に配設されており、駆動部の出力により矢印Ｃ方向に移
動可能である。第二支持部１０はこのような構成によ
り、スライダ３２が矢印Ｃ方向に変位すること、つまり
スライダが基板上をスライド移動することで、球面コロ
２８とスライダ３２の当接位置が順次変化し、その結
果、球面コロはスライダ上面の斜面を転がり上りあるい
は転がり下りる。このように第二支持部は、球面コロ２
８とスライダ３２の当接位置を変化させることで、基板
４と載置部材６の間隔を可変に支持しており、球面コロ
２８とスライダ３２の当接位置の変化によって、載置部
材６を基板４に対して矢印Ｄ方向に変位可能である。

【００１３】図５は図１における本発明による一実施例
のＩ−Ｉ断面図である。ここに示されるように、第三支
持部１２は、第二支持部とその構成は同様のものであ
り、球面コロ３４と球面コロ３４を回動可能に枢支する
枢支体３６と、球面コロが回動可能で係合するスライダ
３８から主に構成されている。基板４と載置部材６の間
隔を変化させる機構も同じであり、スライダ３８が矢印
Ｃ方向に変位することで、球面コロ３４とスライダ３８
の当接位置が順次変化し、載置部材６を基板４に対して
矢印Ｄ方向に変位可能である。第二支持部と第三支持部
は構成上の違いはないが、それぞれが独立に制御され駆
動することが可能であるため載置部材６上のあらゆる平
面をレベリングすることを可能としている。本実施形態
における第一、第二、及び第三支持部は上述したような
構造となっている。本発明は、精密なレベリングに必要
とされる要素を、これら第一、第二、及び第三支持部の
支持手段及び規制手段に与えることで本発明の目的を達
成し得るものとした。

【００１４】図６は図１における載置部材を取り外した
際の上面図である。同図によれば第一、第二、第三支持
部、及び規制手段の基板上での配置状態を確認すること
ができる。ここで図６を中心に、図１を参照にしつつ、
規制手段の説明をする。規制手段１８は、載置部材６下
面に垂下させた棒状の規制部材４０、及び基板４上に立
設された規制部材４２、規制部材４２先端部に回動可能
につけられた球面コロ４４と球面コロ４４を規制部材４
０に押圧接触させるために基板４と載置部材６に対して
斜めに張架された引きバネ４６より構成されている。

【００１５】このように構成された規制手段１８は、図
６にあるように本実施形態においては、第一支持部を通
り、第二、第三支持部の中点を通る軸線を基板、或いは
載置部材と常に平行に保ち、前記軸線が基板に垂直で第
一支持部及び第二、第三支持部の中点を通る平面内を該
軸線と第一支持部との交点を中心に前記平面内で回転、
或いは、該軸線を中心として回転することによる以外の
該載置部材の運動を規制できる。また図６では判りづら
いが、図１にあるように球面コロ４４を規制部材４０に
押圧接触させるために基板と載置部材に対して斜めに張
架された引きバネ４６は、球面コロ４４と規制部材４０
を押圧接触させるだけでなく、その分力により、第二、
第三支持部におけるコロ２８、３４とスライダ３２、３
８をそれぞれ押圧接触させることも行っており、これに
よりより微妙なレベリングを行いやすくする働きも兼ね
ている。

【００１６】精密なレベリングに規制手段が必要な理由
は、支持手段により如何に精密に載置部材の平面をレベ
リングしたとしても、載置部材が支持手段以外の要素に
よって運動することができるとしたら、載置部材上の平
面が支持手段によってのみ定まるものでなくなるのであ
るから精密性を欠くものとなってしまうためである。つ
まりは支持手段によってのみ載置部材上に特定のあらゆ
る平面が定められるようにしたものが規制手段であると
も言える。

【００１７】今、図７（ａ）にあるように、ある二つの
平面を考える。レベリングを行うことは、ある平面に、
もう一つの平面を平行に調整するのと同じ作業である。
図７の平面ａに平面ｂを平行に合わせる過程でもって、
レベリングに必要な運動規制について説明する。平面ｂ
上に直交する座標系Ｘ軸とＹ軸を、そしてこれら二軸と
直交するＺ軸を考える。さらに平面ｂ上に三点Ａ、Ｂ、
Ｃを考える。そして点Ａを固定し、ＢＣの中点Ｄと点Ａ
を通る直線ＡＤを回転中心とする軸の回転及び点Ａを中
心とする直線ＡＤの回転をさせることで平面ｂを平面ａ
と平行にしなければならないこととする。

【００１８】図７（ｂ）のように、平面ｂが直線運動す
ることを考えると、Ｘ、Ｙ、Ｚそれぞれの方向への直線
運動、あるいはそれらを合成したどのような直線運動を
しても平面ｂは、平面ａと平行になることはない。それ
どころか点Ａが動いてしまい、点Ａが固定されているこ
とにはならない。これは本発明のレベリング装置に照ら
し合わせて考えれば、各支持部から載置部材が落下する
ことを意味するものである。そこで平面ｂがＸ、Ｙ、Ｚ
それぞれの方向への直線運動、あるいはそれらを合成し
た直線運動をできないように規制する必要があることが
判る。

【００１９】次に図７（ｃ）のように、平面ｂに垂直な
軸における回転を考える。しかしこれもいくら回転して
も平面ａと平行になることもなく、点Ａが固定されてい
ることにもならない。また軸と点Ａを一致させた場合
は、点Ａは固定されているものの、直線ＡＤを回転中心
とする軸の回転及び点Ａを中心とする直線ＡＤの回転だ
けでなくなってしまう。これも本発明のレベリング装置
に照らし合わせて考えれば、支持部から載置部材が落下
することを意味するものである。あるいは、軸と点Ａが
一致している場合は、第二、第三支持部から載置部材が
落下し、レベリングの調整が不可能になことを意味する
ものである。そこで平面ｂが平面ｂに垂直な軸における
回転をすることもできないように規制する必要があるこ
とが判る。

【００２０】すると残された運動は、平面ｂに垂直でな
い軸における回転となるが、この様な軸における回転
は、直線ＡＤを回転中心とする軸の回転及び点Ａを中心
とする直線ＡＤの回転をさせることでその運動と同様の
効果を得ることが可能である。この直線ＡＤを回転中心
とする軸の回転及び点Ａを中心とする直線ＡＤの回転の
合成によって、図８（ｄ）のようにどのような平面に対
しても平行に調節することができる。

【００２１】これを本発明の実施形態に当てはめれば、
点Ａが第一支持部８であり、点Ｂ、Ｃが第二支持部１
０、第三支持部１２である。運動規制がなければ載置部
材６はどのような運動も可能である。前述の平面の例に
よって説明したように、これでは正確なレベリングは行
えない。Ｘ、Ｙ、Ｚ、それぞれの方向へ分解可能なベク
トル量で表される直線運動や、載置部材６に垂直な軸の
回転はレベリングに必要としない、もしくは精密なレベ
リングの作業を妨げる邪魔なものである。

【００２２】では、載置部材の運動の規制方法を本発明
においてはどのように行っているのかを、実施例に基づ
いて詳細に説明する。第一支持部８は、基板４と載置部
材６との間隔を一定距離に保って支持し、かつ任意の方
向に傾き可能であることを要件とする。これはレベリン
グの際に基準点的な支点の役目をする。言い換えれば第
一支持部８は回転中心となる軸線を回転可能とするもの
である。また第一支持部８は、載置部材６のＸ軸、Ｙ軸
方向の直線運動を規制する役目も負っている。本発明に
おける第一支持部はこの要件を満たしていれば良く、例
えば支柱２２を用いずに載置部材６下面に凹状球面部を
設け、支柱２０と載置部材６の間にボール２４を介在さ
せて、直接載置部材６を支持するなどのような構成でも
良い。

【００２３】第二支持部１０、第三支持部１２は、載置
部材６の運動規制には関与しない。第二支持部、第三支
持部が担う役割は、基板４と載置部材６の間隔を可変に
支持する役目と、レベリングすることにより、各支点間
に生じる微妙な支点間距離の変化を吸収するという役目
である。その支点間距離の吸収方法は球面コロ２８、３
４がスライダ３２、３８の斜面平面上を横方向にドリフ
トすることによる。そして規制手段１８によって、載置
部材６が上下方向に平行移動することや直線ＡＤを回転
中心とする軸の回転及び点Ａを中心とする直線ＡＤの回
転以外の運動を規制する役目を負っている。

【００２４】このように本発明は、任意の方向に傾き可
能で、基板と載置部材との間隔を一定距離に保って支持
する支持部と、基板と載置部材との間隔を可変に支持す
る球面コロとスライダによる二つの支持部と、載置部材
の運動を規制する役目を負っている規制手段を持つこと
を特徴としている。実際に上述の三つの支持部と規制手
段をもつ本発明の実施例にあるレベリング装置がレベリ
ングする際にどのような動作によってレベリングを行う
のかを一つの例を挙げて説明する。

【００２５】図８は、実際に載置部材上に被載置物を載
せた場合に各支持部がどのように動作するのかを説明す
る動作説明図である。図８（ａ）図のように円柱を斜め
の平面により切断したような形状をしている被載置物の
上面を、基板に対して平行にするレベリングを行うとす
る。第二支持部のスライダ３２は、図８（ｂ）のように
第一支持部側にスライド移動し、基板４と載置部材６の
間の距離を短くし、第三支持部のスライダ３８は、図８
（ｃ）のように第一支持部と反対側にスライド移動し、
基板４と載置部材６の間の距離を長くすることにより、
図８（ｄ）のように、被載置物の上面を基板と平行にレ
ベリングすることができる。また図８の（ａ）と（ｄ）
の図を見比べた場合、第二、第三支持部のコロ２８、３
４が、スライダ３２、３８上を微妙に横方向にずれてい
るのが見て取れる。これは前述したように、レベリング
することにより生じた各支点間距離の変化を第二、第三
支持部のコロ２８、３４が、スライダ３２、３８上をド
リフトすることで吸収したためである。なお、各支持部
の動作過程を説明するために引きバネ４６の図示は省略
した。

【００２６】続いて、第二、第三支持部を駆動させる駆
動部の構成について説明する。駆動部１４は、図６の実
施形態において載置部材を除いた際の平面図にその構成
が詳しく記載されている。駆動部１４は制御手段より信
号を受けて作動するモータ４８と、ネジ棒５０と、モー
タ４８の出力軸５２とネジ棒５０を連結するジョイント
５４と、ブッシュ５６から主に構成されている。モータ
４８は基板４に固定されていると共に、ブッシュ５６は
ネジ棒５０と螺合され、スライダ３２に固定されてい
る。駆動部１４はこの構成により、モータ４８を回転さ
せるとスライダ３２が矢印Ｃ方向にスライドし、このス
ライダ３２のスライドにより枢支体３０が上下方向であ
る矢印Ｄ方向に移動し、結果的に第二支持部１０が支持
する基板４と載置部材６の間隔を変えるものである。

【００２７】駆動部１６も、同様に図６にその構成が詳
しく記載されている。構成や作動する仕組みは、駆動部
１４と全く同一で、モータ５８と、ネジ棒６０と、モー
タ５８の出力軸６２とネジ棒６０を連結するジョイント
６４と、ブッシュ６６から主に構成されている。尚、本
実施例の一実施形態においてはモータ４８及び５８は共
に、それぞれ１０００ステップで一回転するステップモ
ータである。また、ネジ棒５０及び６０は共に、一回転
によってそれぞれブッシュ５６及び６６が矢印Ｃ方向に
０．５ｍｍだけ移動するようにネジのピッチが決められ
ている。

【００２８】本発明においてもう一つの特徴的なこと
は、支持手段と、レベリングを行うたの駆動部が明確に
分けられておらず、支持手段と駆動部が一体の構造をし
ていることが挙げられる。前述したように球面コロとス
ライダによる支持手段を見てもわかる通り、駆動部の一
部に組み込まれている。言い換えれば駆動力を載置部材
に伝える部品がそのまま支持部となっている。このよう
に、本発明の目的である装置のコンパクト化や製造の簡
易化、コストを低減するなどのことは、いろいろな役目
を負う、各部の部品を合理化することで実現できたもの
である。また、スライダも非常に特徴的であり上面に平
面による斜面を有していれば、その役目を果たすことが
できるため、板状にして可能な限り薄くすることもでき
るし、テーパ状である必要もないので高さ方向の寸法も
抑えることが可能である。

【００２９】制御手段２０は、図２に示すように、モー
タ４８を所望通りに出力させるためのモータドライバ６
８及びモータ４８のコントローラ７０と、モータ５８を
所望通りに出力させるためのモータドライバ７２及びモ
ータ５８のコントローラ７４と、モータ４８及び５８の
出力量を求めるための出力量演算部７６と、検出部７８
からのデータを記憶するデータメモリ８０と、載置部材
６の平均傾斜角を演算する平均傾斜角演算部８２とシス
テムコントローラ８４を備えて構成されている。制御手
段２０は、載置部材６の基板４に対する姿勢が検出さ
れ、さらに所望の姿勢が決められると、検出の姿勢を所
望の姿勢とするための信号を駆動部１４と駆動部１６に
それぞれ出力するものである。

【００３０】続いて、表面粗さ計８６をレベリング装置
２と共に用いた場合の実施例について説明する。図９に
レベリング装置２を表面粗さ計８６に配設した概略図が
示されている。表面粗さ計８６は図９に示すように、ス
タイラスが備えられてなる検出部７８とモータ８８が設
けられ、検出部７８を保持して矢印Ｘ方向に走査させる
走査部９０と、モータ９２が設けられ、走査部９０を支
柱９４に沿って上下方向、つまりＺ方向にスライドさせ
るスライド部９６が備えられている。表面粗さ計８６の
ベース９８の前面は、操作・表示パネル１００になって
いる。レベリング装置２は、表面粗さ計８６のベース９
８上のスライド装置１０２のスライダ１０４に載置す
る。

【００３１】スライド装置１０２は、モータ１０６が設
けられ、スライダ１０４が本体１０８に対して矢印Ｙ方
向にスライドするように構成されている。また図２にあ
るように、システムコントローラ８４とモータ８８、モ
ータ９２及びモータ１０６の間にはそれぞれ、モータド
ライバ１１０と矢印Ｘ方向コントローラ１１２、モータ
ドライバ１１４と矢印Ｚ方向コントローラ１１６及びモ
ータドライバ１１８と矢印Ｙ方向コントローラ１２０が
介在されている。スライド装置１０２は、表面粗さ計８
６の検出部７８の移動方向とスライダ１０４の移動方向
が直交するように配置する。そして、レベリング装置２
の載置部材６に被測定物１２２を載置し、検出部７８の
スタイラスの移動方向に対して、被測定物１２２の被測
定面、つまり上面が平行になるようにレベリング装置を
作動させる。

【００３２】以上のような構成により、レベリング装置
２に載置した被測定物１２２の傾斜（姿勢）の測定は、
表面粗さ計８６によって被測定物１２２の被測定面（上
面）に相違する少なくとも二回以上の操作を行って表面
粗さの測定を行い、操作におけるある点の三次元の相対
座標を求め、さらにこの測定座標によって得られた複数
個のデータに基づいて平均面を求め、この求めた平均面
を被測定物１２２の被測定面の平面と見なし、この平面
が、被測定物１２２の矢印Ｙ方向の移動に拘わらず検出
部７８の操作方向に対して平行となるように、レベリン
グ装置２を作動させて被測定物１２２の傾斜補正（姿勢
制御）を行う。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明にかかるレベ
リング装置によれば、第一支持部を任意の方向に傾き可
能とし、第一支持部を通り、第二、第三支持部の中点を
通る軸線を基板、或いは載置部材と常に平行に保ち、前
記軸線が基板に垂直で第一支持部を通り、第二、第三支
持部の中点を通る平面内を軸線と第一支持部との交点を
中心に前記平面内で回転、或いは、軸線を中心として回
転すること以外での載置部材の運動を規制する手段が支
持手段より独立して備えられているので、載置部材の運
動自由度の規制機構を単純化することが可能となり、さ
らに製造が簡便で、原価を低減でき、支持手段に、載置
部材の運動自由度の規制をする役割とレベリングに必要
な役割を明確に割り振ることで、精度の良いレベリング
を行えるレベリング装置を提供することができる。また
レベリングに際して、載置部材の姿勢制御に関する軸線
が、基板、或いは、載置部材に常に平行に保たれるた
め、レベリングによって生じる基板に対する載置部材の
位置的歪みを最小限に抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態を示す斜視図である。

【図２】図１に示す一実施形態の制御手段の構成を含
み、表面粗さ計及びスライド装置と共に作動させる際、
その制御系を示す構成説明図である。

【図３】図１に示す一実施形態の第一支持部の構成説明
図である。

【図４】図１に示す一実施形態の側面図である。

【図５】図１に示すＩ−Ｉ断面図である。

【図６】図１に示す一実施形態において、載置部材を除
いた際の平面図である。

【図７】レベリングに必要とされる運動規制の説明図で
ある。

【図８】図１に示す一実施形態において、実際にレベリ
ングする際の動作説明図である。

【図９】図１に示す一実施形態を表面粗さ計及びスライ
ド装置と共に作動させる際の全体斜視図である。

【符号の説明】

２：レベリング装置 ４：基板 ６：載置部材 ８、１０、１２：支持手段 １４、１６：駆動部 １８：規制手段 ２０：制御手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、被載置物を載置する載置部材
   と、該基板と該載置部材の間に介在され、かつ載置部材
   を、基板に対して三点で支持する支持手段と、被載置物
   の基板に対する姿勢を検出する検出手段と、被載置物の
   姿勢が検出手段により検出された際に、その検出結果に
   基づき被載置物の姿勢を変化させる制御手段を有し、 該支持手段は、第一、第二、第三の支持部からなり、 第一支持部は、載置部材を、基板に対して一定距離に、
   かつ任意の方向に傾き可能に支持し、 第二、第三支持部は、前記基板上面にスライド移動可能
   に設けられた、上面にのみ斜面を有するスライダと、前
   記載置部材下面に設けられ前記スライダ斜面を転がり移
   動可能なコロ と、該スライダをスライド移動させる駆
   動部より構成され、基板に対して、載置部材を互いに独
   立可変に支持し、 前記第二、第三支持部は、前記駆動部がスライダをスラ
   イド移動させることで、コロとスライダとの当接位置が
   変化し、それによって、支持部における該載置部材と該
   基板の間隔が変化することで該基板に対する載置部材の
   姿勢を所望のものとさせ得ることが可能に構成され、 前記第一支持部を通り、かつ前記第二、第三支持部中点
   を通る軸線上であって、前記基板と載置部材の間に設け
   られ、基板に対し載置部材を上下動自在かつ前記軸線回
   り方向に回動自在に保持し、該軸線の基板と平行面上で
   の回転を規制する規制手段を設けていることを特徴とす
   るレベリング装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の装置において、規制手
   段が、前記載置部材下面に垂下する棒状の第一規制部材
   と、前記基板上面に立設する棒状の第二規制部材を含
   み、 この両規制部材のどちらか一方の先端に設けられたコロ
   を、他方の規制部材に当接するように、引きバネを該載
   置部材と該基板に対して斜めに張架することを特徴とす
   るレベリング装置。