JPH11211909A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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- JPH11211909A JPH11211909A JP1460498A JP1460498A JPH11211909A JP H11211909 A JPH11211909 A JP H11211909A JP 1460498 A JP1460498 A JP 1460498A JP 1460498 A JP1460498 A JP 1460498A JP H11211909 A JPH11211909 A JP H11211909A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ミセル電解法によるカラーフィルターの製造
において、再現性良く、安定な電解成膜を可能とする方
法を提供する。 【解決手段】 ミセル電解を行う電解槽において、電解
液中に挿入する対極の表面積を薄膜を電解形成する電極
の表面積の４倍以上とした、該対極を白金、白金めっ
き、金またはＩＴＯ等の該電解液に腐食されない電極と
した、又は薄膜を電解形成する電極の電位を酸素発生ま
たは該界面活性剤以外の酸化反応、すなわち副反応の開
始電位以下とした。
において、再現性良く、安定な電解成膜を可能とする方
法を提供する。 【解決手段】 ミセル電解を行う電解槽において、電解
液中に挿入する対極の表面積を薄膜を電解形成する電極
の表面積の４倍以上とした、該対極を白金、白金めっ
き、金またはＩＴＯ等の該電解液に腐食されない電極と
した、又は薄膜を電解形成する電極の電位を酸素発生ま
たは該界面活性剤以外の酸化反応、すなわち副反応の開
始電位以下とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶テレビ、パソ
コン用ディスプレイ等に用いられるアクティブおよびパ
ッシブカラーパネルに用いるカラーフィルターの製造方
法に関する。
コン用ディスプレイ等に用いられるアクティブおよびパ
ッシブカラーパネルに用いるカラーフィルターの製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電気化学的に酸化還元される界面活性剤
のミセル水溶液中に、顔料粒子を分散した後、該ミセル
水溶液を電解することにより基板上に顔料膜を形成する
手法をもちいたカラーフィルターの製造方法について
は、特開平２−２４６０３号公報に開示されている。ま
た、このカラーフィルターに疎水化した導電粒子を共析
させることについては、特開平２−２６７２９８号公報
に開示されている。
のミセル水溶液中に、顔料粒子を分散した後、該ミセル
水溶液を電解することにより基板上に顔料膜を形成する
手法をもちいたカラーフィルターの製造方法について
は、特開平２−２４６０３号公報に開示されている。ま
た、このカラーフィルターに疎水化した導電粒子を共析
させることについては、特開平２−２６７２９８号公報
に開示されている。
【０００３】該電解液の製造方法は、顔料および疎水化
処理を行った導電粒子をホモミキサー、ボールミル、超
音波ホモジナイザー、超高圧ホモジナイザー等により機
械的な力を与えることにより、分散させることによる。
処理を行った導電粒子をホモミキサー、ボールミル、超
音波ホモジナイザー、超高圧ホモジナイザー等により機
械的な力を与えることにより、分散させることによる。
【０００４】上記のようにして得られた電解液中で、電
解を行うことにより、顔料および疎水化処理した導電粒
子から界面活性剤が脱離し薄膜が形成される。
解を行うことにより、顔料および疎水化処理した導電粒
子から界面活性剤が脱離し薄膜が形成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】該電解液中において薄
膜の電解形成を行う場合、その電解方法としては、以下
に示す３つの方法が挙げられる。 （１）薄膜を電解形成する電極と対極の２極を用い、２
極間の電圧を制御する方法 （２）薄膜を電解形成する電極、対極、および一定の電
位を示す参照極の３極を用い、該参照極に対して薄膜を
電解形成する電極の電位をポテンショスタットにて制御
する方法 （３）薄膜を電解形成する電極と対極間を流れる電流を
制御する方法 しかし、前記３つの方法には、それぞれ以下のような欠
点が見られる。 （１）薄膜を電解形成する電極と対極の２極を用い、２
極間の電圧を制御する方法の場合、電圧の設定を同一に
した場合でも、これら２極の表面積の比率で各電極にお
ける電気化学的ポテンシャルが異なり、再現性良く電解
成膜ができない場合がある。また、電解液が時間、ある
いは電解成膜の繰り返しとともに変化した場合、各電極
における電気化学的ポテンシャルが変化し、再現性良く
電解成膜ができない。 （２）薄膜を電解形成する電極、対極、および一定の電
位を示す参照極の３極を用い、該参照極に対して薄膜を
電解形成する電極の電位をポテンショスタットにて制御
する方法の場合、前記（１）の方法や前記（３）の方法
と比較して装置が高価となる。また、薄膜を電解形成す
る電極の電位はポテンショスタットにより制御される
が、対極の電位については考慮されておらず、該対極表
面または近傍の電解液の変化により、再現性良く電解が
できない場合がある。 （３）薄膜を電解形成する電極と対極間を流れる電流を
制御する方法の場合、前記（１）の方法と同様の問題点
がある。
膜の電解形成を行う場合、その電解方法としては、以下
に示す３つの方法が挙げられる。 （１）薄膜を電解形成する電極と対極の２極を用い、２
極間の電圧を制御する方法 （２）薄膜を電解形成する電極、対極、および一定の電
位を示す参照極の３極を用い、該参照極に対して薄膜を
電解形成する電極の電位をポテンショスタットにて制御
する方法 （３）薄膜を電解形成する電極と対極間を流れる電流を
制御する方法 しかし、前記３つの方法には、それぞれ以下のような欠
点が見られる。 （１）薄膜を電解形成する電極と対極の２極を用い、２
極間の電圧を制御する方法の場合、電圧の設定を同一に
した場合でも、これら２極の表面積の比率で各電極にお
ける電気化学的ポテンシャルが異なり、再現性良く電解
成膜ができない場合がある。また、電解液が時間、ある
いは電解成膜の繰り返しとともに変化した場合、各電極
における電気化学的ポテンシャルが変化し、再現性良く
電解成膜ができない。 （２）薄膜を電解形成する電極、対極、および一定の電
位を示す参照極の３極を用い、該参照極に対して薄膜を
電解形成する電極の電位をポテンショスタットにて制御
する方法の場合、前記（１）の方法や前記（３）の方法
と比較して装置が高価となる。また、薄膜を電解形成す
る電極の電位はポテンショスタットにより制御される
が、対極の電位については考慮されておらず、該対極表
面または近傍の電解液の変化により、再現性良く電解が
できない場合がある。 （３）薄膜を電解形成する電極と対極間を流れる電流を
制御する方法の場合、前記（１）の方法と同様の問題点
がある。
【０００６】そこで、本発明は上記した問題点を解決
し、再現性よく安定な電解成膜を安価なコストで実現す
ることを目的とする。
し、再現性よく安定な電解成膜を安価なコストで実現す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１のカラーフィル
ターの製造方法は、顔料粒子を界面活性剤で取り囲んだ
ミセルのコロイド水溶液を調製し、このミセルを電解に
より破壊してアノード電極上に顔料粒子の薄膜を析出さ
せるカラーフィルターの製造方法において、電解液中に
挿入する対極の表面積が薄膜を電解形成する電極の表面
積の４倍以上であることを特徴とする。
ターの製造方法は、顔料粒子を界面活性剤で取り囲んだ
ミセルのコロイド水溶液を調製し、このミセルを電解に
より破壊してアノード電極上に顔料粒子の薄膜を析出さ
せるカラーフィルターの製造方法において、電解液中に
挿入する対極の表面積が薄膜を電解形成する電極の表面
積の４倍以上であることを特徴とする。
【０００８】請求項２のカラーフィルターの製造方法
は、顔料粒子及び透明導電粒子を界面活性剤で取り囲ん
だミセルのコロイド水溶液を調製し、このミセルを電解
により破壊してアノード電極上に顔料粒子及び透明導電
粒子からなる薄膜を析出させるカラーフィルターの製造
方法において、電解液中に挿入した対極の表面積が薄膜
を電解形成する電極の表面積の４倍以上であることを特
徴とする。
は、顔料粒子及び透明導電粒子を界面活性剤で取り囲ん
だミセルのコロイド水溶液を調製し、このミセルを電解
により破壊してアノード電極上に顔料粒子及び透明導電
粒子からなる薄膜を析出させるカラーフィルターの製造
方法において、電解液中に挿入した対極の表面積が薄膜
を電解形成する電極の表面積の４倍以上であることを特
徴とする。
【０００９】請求項３のカラーフィルターの製造方法
は、請求項１又は２に記載のカラーフィルターの製造方
法において、前記対極が、該電解液に腐食されない電極
であることを特徴とする。
は、請求項１又は２に記載のカラーフィルターの製造方
法において、前記対極が、該電解液に腐食されない電極
であることを特徴とする。
【００１０】請求項４のカラーフィルターの製造方法
は、請求項１又は２に記載のカラーフィルターの製造方
法において、前記薄膜を電解形成する電極の電位が、酸
素発生または該界面活性剤以外の酸化反応、すなわち副
反応の開始電位以下であることを特徴とする。
は、請求項１又は２に記載のカラーフィルターの製造方
法において、前記薄膜を電解形成する電極の電位が、酸
素発生または該界面活性剤以外の酸化反応、すなわち副
反応の開始電位以下であることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明を実施例および比較例に基
づいて、さらに詳しく説明する。
づいて、さらに詳しく説明する。
【００１２】（実施例１）ＩＴＯ粒子と、カラーフィル
ター用の顔料からなる以下の組成のミセル電解液を５０
０ｍｌ調製した。
ター用の顔料からなる以下の組成のミセル電解液を５０
０ｍｌ調製した。
【００１３】 フタロシアニンブルー ５．０ｇ／ｌ ジオキサジンバイオレット １．０ｇ／ｌ フェロセニルＰＥＧ ３．７ｇ／ｌ ＬｉＢｒ（支持塩） １０．５ｇ／ｌ 疎水化処理ＩＴＯ １８．０ｇ／ｌ 原料を計量、撹拌した後、超音波ホモジナイザー（日本
精機製作所，型式：RUS600T，出力：20kHz,600W）によ
り分散処理を９０分間行った。
精機製作所，型式：RUS600T，出力：20kHz,600W）によ
り分散処理を９０分間行った。
【００１４】該ミセル電解液中に、薄膜を電解形成する
電極としてＩＴＯ電極パターンを持ったガラス基板、対
極としてチタン/白金めっき電極基板を浸漬させた。薄
膜を電解形成する電極をアノード、対極をカソードと
し、０．４Ｖの定電圧で１０分間電解を行った。この
際、（対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極の表
面積）＝４の電極構成を用いた。
電極としてＩＴＯ電極パターンを持ったガラス基板、対
極としてチタン/白金めっき電極基板を浸漬させた。薄
膜を電解形成する電極をアノード、対極をカソードと
し、０．４Ｖの定電圧で１０分間電解を行った。この
際、（対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極の表
面積）＝４の電極構成を用いた。
【００１５】図１、１０１は、該電解時の電気化学的ポ
テンシャルを表したものである。電解中、電気化学的ポ
テンシャルは安定している。また、この結果ＩＴＯ電極
上に青色の顔料膜が０．７マイクロメートル形成され
た。
テンシャルを表したものである。電解中、電気化学的ポ
テンシャルは安定している。また、この結果ＩＴＯ電極
上に青色の顔料膜が０．７マイクロメートル形成され
た。
【００１６】（比較例１）実施例１と同様に 該ミセル
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させ、薄膜を電解形成する電極を
アノード、対極をカソードとし、０．４Ｖの定電圧で１
０分間電解を行った。但し、（対極の表面積）／（薄膜
を電解形成する電極の表面積）＝３の電極構成を用い
た。
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させ、薄膜を電解形成する電極を
アノード、対極をカソードとし、０．４Ｖの定電圧で１
０分間電解を行った。但し、（対極の表面積）／（薄膜
を電解形成する電極の表面積）＝３の電極構成を用い
た。
【００１７】図１、１０２は、該電解時の電気化学的ポ
テンシャルを表したものである。実施例１と異なり、電
気化学的ポテンシャルは不安定となった。また、顔料膜
の形成の再現性が不安定になり、顔料膜の形成が見られ
ない場合から、膜厚０．７マイクロメートルまでの間で
膜厚がばらついた。さらに、顔料膜のはがれ、ムラが見
られる場合もあった。
テンシャルを表したものである。実施例１と異なり、電
気化学的ポテンシャルは不安定となった。また、顔料膜
の形成の再現性が不安定になり、顔料膜の形成が見られ
ない場合から、膜厚０．７マイクロメートルまでの間で
膜厚がばらついた。さらに、顔料膜のはがれ、ムラが見
られる場合もあった。
【００１８】（実施例２）実施例１と同様に、該ミセル
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形成する電極
をアノード、対極をカソードとし、０．６Ｖの定電圧で
１０分間電解を行った。この際、（対極の表面積）／
（薄膜を電解形成する電極の表面積）＝４の電極構成を
用いた。
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形成する電極
をアノード、対極をカソードとし、０．６Ｖの定電圧で
１０分間電解を行った。この際、（対極の表面積）／
（薄膜を電解形成する電極の表面積）＝４の電極構成を
用いた。
【００１９】図２、２０１は、該電解時の電気化学的ポ
テンシャルを表したものである。電解中、電気化学的ポ
テンシャルは安定している。また、この結果ＩＴＯ電極
上に青色の顔料膜が０．７マイクロメートル形成され
た。
テンシャルを表したものである。電解中、電気化学的ポ
テンシャルは安定している。また、この結果ＩＴＯ電極
上に青色の顔料膜が０．７マイクロメートル形成され
た。
【００２０】（比較例２）実施例２と同様に、該ミセル
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形成する電極
をアノード、対極をカソードとし、０．６Ｖの定電圧で
１０分間電解を行った。但し、（対極の表面積）／（薄
膜を電解形成する電極の表面積）＝３の電極構成を用い
た。
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形成する電極
をアノード、対極をカソードとし、０．６Ｖの定電圧で
１０分間電解を行った。但し、（対極の表面積）／（薄
膜を電解形成する電極の表面積）＝３の電極構成を用い
た。
【００２１】図２、２０２は、該電解時の電気化学的ポ
テンシャルを表したものである。実施例２と異なり、電
気化学的ポテンシャルは不安定となった。また、顔料膜
の形成の再現性が不安定になり、０．６〜０．７マイク
ロメートルまでの間で膜厚がばらついた。さらに、顔料
膜のはがれ、ムラが見られる場合もあった。
テンシャルを表したものである。実施例２と異なり、電
気化学的ポテンシャルは不安定となった。また、顔料膜
の形成の再現性が不安定になり、０．６〜０．７マイク
ロメートルまでの間で膜厚がばらついた。さらに、顔料
膜のはがれ、ムラが見られる場合もあった。
【００２２】（実施例３）ＩＴＯ粒子と、カラーフィル
ター用の顔料からなる以下の組成のミセル電解液を５０
０ｍｌ調製した。
ター用の顔料からなる以下の組成のミセル電解液を５０
０ｍｌ調製した。
【００２３】 フタロシアニンブルー ５．０ｇ／ｌ ジオキサジンバイオレット １．０ｇ／ｌ フェロセニルＰＥＧ ２．６ｇ／ｌ ＬｉＢｒ（支持塩） １０．５ｇ／ｌ 疎水化処理ＩＴＯ １０．８ｇ／ｌ 原料を計量、撹拌した後、超音波ホモジナイザー（日本
精機製作所，型式：RUS600T，出力：20kHz,600W）によ
り分散処理を９０分間行った。
精機製作所，型式：RUS600T，出力：20kHz,600W）によ
り分散処理を９０分間行った。
【００２４】該ミセル電解液中に、薄膜を電解形成する
電極としてＩＴＯ電極パターンを持ったガラス基板、対
極として白金電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形成す
る電極をアノード、対極をカソードとし、０．４Ｖの定
電圧で１５分間電解を行った。この際、（対極の表面
積）／（薄膜を電解形成する電極の表面積）＝４の電極
構成を用いた。
電極としてＩＴＯ電極パターンを持ったガラス基板、対
極として白金電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形成す
る電極をアノード、対極をカソードとし、０．４Ｖの定
電圧で１５分間電解を行った。この際、（対極の表面
積）／（薄膜を電解形成する電極の表面積）＝４の電極
構成を用いた。
【００２５】図３、３０１は、該電解液の使用初期の電
解時における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポ
テンシャルを表したものである。但し測定は電解開始後
１０分間のみとなっている。電解中、電気化学的ポテン
シャルは安定している。また、この結果ＩＴＯ電極上に
青色の顔料膜が０．６５マイクロメートル形成された。
解時における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポ
テンシャルを表したものである。但し測定は電解開始後
１０分間のみとなっている。電解中、電気化学的ポテン
シャルは安定している。また、この結果ＩＴＯ電極上に
青色の顔料膜が０．６５マイクロメートル形成された。
【００２６】さらに、３日後の電解時における、薄膜を
電解形成する電極の電気化学的ポテンシャルを、図３、
３０２に表す。該電解液の使用初期と同等の値を示して
いる。また、この結果ＩＴＯ電極上に青色の顔料膜が
０．６０マイクロメートル形成された。
電解形成する電極の電気化学的ポテンシャルを、図３、
３０２に表す。該電解液の使用初期と同等の値を示して
いる。また、この結果ＩＴＯ電極上に青色の顔料膜が
０．６０マイクロメートル形成された。
【００２７】なお、この成膜膜厚の低下は電解液を使用
せずに放置した場合でも起こっており、電解成膜による
影響ではないことが判った。
せずに放置した場合でも起こっており、電解成膜による
影響ではないことが判った。
【００２８】（比較例３）実施例３と同様に、該ミセル
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてステンレス
（ＳＵＳ３０４）電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形
成する電極をアノード、対極をカソードとし、０．４Ｖ
の定電圧で１５分間電解を行った。この際、（対極の表
面積）／（薄膜を電解形成する電極の表面積）＝４の電
極構成を用いた。
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてステンレス
（ＳＵＳ３０４）電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形
成する電極をアノード、対極をカソードとし、０．４Ｖ
の定電圧で１５分間電解を行った。この際、（対極の表
面積）／（薄膜を電解形成する電極の表面積）＝４の電
極構成を用いた。
【００２９】図４、４０１は、該電解液の使用初期の電
解時における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポ
テンシャルを表したものである。但し測定は電解開始後
１０分間のみとなっている。電解中、電気化学的ポテン
シャルは安定している。また、この結果ＩＴＯ電極上に
青色の顔料膜が０．６５マイクロメートル形成された。
解時における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポ
テンシャルを表したものである。但し測定は電解開始後
１０分間のみとなっている。電解中、電気化学的ポテン
シャルは安定している。また、この結果ＩＴＯ電極上に
青色の顔料膜が０．６５マイクロメートル形成された。
【００３０】さらに、３日後の電解時における、薄膜を
電解形成する電極の電気化学的ポテンシャルを、図４、
４０２に表す。該電解液の使用初期と比較して、電気化
学的ポテンシャルの低下が見られる。また、電解中の該
電気化学的ポテンシャルは不安定となった。また、この
際、ＩＴＯ電極上に顔料膜の形成は見られなかった。
電解形成する電極の電気化学的ポテンシャルを、図４、
４０２に表す。該電解液の使用初期と比較して、電気化
学的ポテンシャルの低下が見られる。また、電解中の該
電気化学的ポテンシャルは不安定となった。また、この
際、ＩＴＯ電極上に顔料膜の形成は見られなかった。
【００３１】（実施例４）実施例１と同様に、該ミセル
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させた。但し、実施例１とは異な
る形状のＩＴＯ電極パターンを用いた。
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させた。但し、実施例１とは異な
る形状のＩＴＯ電極パターンを用いた。
【００３２】薄膜を電解形成する電極をアノード、対極
をカソードとし、０．４Ｖの定電圧で８分間電解を行っ
た。この際、（対極の表面積）／（薄膜を電解形成する
電極の表面積）＝７の電極構成を用いた。該薄膜の電解
形成を同一電解液中で５０基板繰り返した。
をカソードとし、０．４Ｖの定電圧で８分間電解を行っ
た。この際、（対極の表面積）／（薄膜を電解形成する
電極の表面積）＝７の電極構成を用いた。該薄膜の電解
形成を同一電解液中で５０基板繰り返した。
【００３３】図５は、該電解時のの薄膜を電解形成する
電極の電気化学的ポテンシャルを表したものである。
電極の電気化学的ポテンシャルを表したものである。
【００３４】該電解液において、副反応となる酸化反応
が開始される電位は、飽和カロメル電極基準で＋０．８
０Ｖ ｖｓ． ＳＣＥであった。本実施例において測定さ
れた、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテンシャ
ルは、該副反応の開始電位以下を保ち、かつ電解中安定
である。また、薄膜の電解形成を５０基板繰り返しても
該電気化学的ポテンシャルは一致している。
が開始される電位は、飽和カロメル電極基準で＋０．８
０Ｖ ｖｓ． ＳＣＥであった。本実施例において測定さ
れた、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテンシャ
ルは、該副反応の開始電位以下を保ち、かつ電解中安定
である。また、薄膜の電解形成を５０基板繰り返しても
該電気化学的ポテンシャルは一致している。
【００３５】この結果、ＩＴＯ電極上に形成された顔料
膜厚は０．８０から０．８５マイクロメートルの範囲内
であり、カラーフィルター製造上、問題にならないばら
つきであった。
膜厚は０．８０から０．８５マイクロメートルの範囲内
であり、カラーフィルター製造上、問題にならないばら
つきであった。
【００３６】（比較例４）実施例４と同様に、該ミセル
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形成する電極
をアノード、対極をカソードとし、０．８Ｖの定電圧で
１０分間電解を行った。この際、（対極の表面積）／
（薄膜を電解形成する電極の表面積）＝７の電極構成を
用いた。該薄膜の電解形成を同一電解液中で４基板繰り
返した。
電解液中に、薄膜を電解形成する電極としてＩＴＯ電極
パターンを持ったガラス基板、対極としてチタン/白金
めっき電極基板を浸漬させた。薄膜を電解形成する電極
をアノード、対極をカソードとし、０．８Ｖの定電圧で
１０分間電解を行った。この際、（対極の表面積）／
（薄膜を電解形成する電極の表面積）＝７の電極構成を
用いた。該薄膜の電解形成を同一電解液中で４基板繰り
返した。
【００３７】図６は、該電解時のの薄膜を電解形成する
電極の電気化学的ポテンシャルを表したものである。
電極の電気化学的ポテンシャルを表したものである。
【００３８】該電解液において、副反応となる酸化反応
が開始される電位は、飽和カロメル電極基準で＋０．８
０Ｖ ｖｓ． ＳＣＥであった。本比較例において測定さ
れた、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテンシャ
ルは、該副反応の開始電位以上を示している。そのた
め、該電気化学的ポテンシャルは電極基板ごとに変化し
ており、また電解中の安定性も劣化してきている。
が開始される電位は、飽和カロメル電極基準で＋０．８
０Ｖ ｖｓ． ＳＣＥであった。本比較例において測定さ
れた、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテンシャ
ルは、該副反応の開始電位以上を示している。そのた
め、該電気化学的ポテンシャルは電極基板ごとに変化し
ており、また電解中の安定性も劣化してきている。
【００３９】この結果ＩＴＯ電極上に形成された顔料膜
厚は０．６８から０．８２マイクロメートルの範囲にば
らついた。
厚は０．６８から０．８２マイクロメートルの範囲にば
らついた。
【００４０】
【発明の効果】以上のごとく、本発明の方法によれば、
再現性良く電解成膜ができ、カラーフィルターの安定な
製造が可能となる。また、薄膜を電解形成する電極と対
極の２極を用いた安価な装置により、前記カラーフィル
ターの安定な製造が可能である。
再現性良く電解成膜ができ、カラーフィルターの安定な
製造が可能となる。また、薄膜を電解形成する電極と対
極の２極を用いた安価な装置により、前記カラーフィル
ターの安定な製造が可能である。
【図１】実施例１および比較例１における、薄膜を電解
形成する電極の電気化学的ポテンシャルを示す図。
形成する電極の電気化学的ポテンシャルを示す図。
【図２】実施例２および比較例２における、薄膜を電解
形成する電極の電気化学的ポテンシャルを示す図。
形成する電極の電気化学的ポテンシャルを示す図。
【図３】実施例３における、薄膜を電解形成する電極の
電気化学的ポテンシャルを示す図。
電気化学的ポテンシャルを示す図。
【図４】比較例３における、薄膜を電解形成する電極の
電気化学的ポテンシャルを示す図。
電気化学的ポテンシャルを示す図。
【図５】実施例４において、電解成膜を５０基板繰り返
した時の、１、１０、２０、３０、４０、５０枚目の基
板、すなわち薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテ
ンシャルを示す図。
した時の、１、１０、２０、３０、４０、５０枚目の基
板、すなわち薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテ
ンシャルを示す図。
【図６】比較例４において、電解成膜を４基板繰り返し
た時の、該基板、すなわち薄膜を電解形成する電極の電
気化学的ポテンシャルを示す図。
た時の、該基板、すなわち薄膜を電解形成する電極の電
気化学的ポテンシャルを示す図。
１０１ （対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極
の表面積）＝４の電極構成による０．４Ｖ定電圧電解時
における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテン
シャル。 １０２ （対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極
の表面積）＝３の電極構成による０．４Ｖ定電圧電解時
における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテン
シャル。 ２０１ （対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極
の表面積）＝４の電極構成による０．6Ｖ定電圧電解時
における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテン
シャル。 ２０２ （対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極
の表面積）＝３の電極構成による０．6Ｖ定電圧電解時
における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテン
シャル。 ３０１ 電解液の使用初期における、電解時の薄膜を電
解形成する電極の電気化学的ポテンシャル。白金対極を
使用、０．４Ｖ定電圧電解。 ３０２ 電解液の使用３日後における、電解時の薄膜を
電解形成する電極の電気化学的ポテンシャル。白金対極
を使用、０．４Ｖ定電圧電解。 ４０１ 電解液の使用初期における、電解時の薄膜を電
解形成する電極の電気化学的ポテンシャル。ステンレス
（ＳＵＳ３０４）対極を使用、０．４Ｖ定電圧電解。 ４０２ 電解液の使用３日後における、電解時の薄膜を
電解形成する電極の電気化学的ポテンシャル。ステンレ
ス（ＳＵＳ３０４）対極を使用、０．４Ｖ定電圧電解。 ５０１ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における１番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。 ５１０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における１０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ５２０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における２０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ５３０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における３０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ５４０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における４０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ５５０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における５０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ６０１ ２極式０．８Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における１番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。 ６０２ ２極式０．８Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における２番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。 ６０３ ２極式０．８Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における３番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。 ６０４ ２極式０．８Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における４番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。
の表面積）＝４の電極構成による０．４Ｖ定電圧電解時
における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテン
シャル。 １０２ （対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極
の表面積）＝３の電極構成による０．４Ｖ定電圧電解時
における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテン
シャル。 ２０１ （対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極
の表面積）＝４の電極構成による０．6Ｖ定電圧電解時
における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテン
シャル。 ２０２ （対極の表面積）／（薄膜を電解形成する電極
の表面積）＝３の電極構成による０．6Ｖ定電圧電解時
における、薄膜を電解形成する電極の電気化学的ポテン
シャル。 ３０１ 電解液の使用初期における、電解時の薄膜を電
解形成する電極の電気化学的ポテンシャル。白金対極を
使用、０．４Ｖ定電圧電解。 ３０２ 電解液の使用３日後における、電解時の薄膜を
電解形成する電極の電気化学的ポテンシャル。白金対極
を使用、０．４Ｖ定電圧電解。 ４０１ 電解液の使用初期における、電解時の薄膜を電
解形成する電極の電気化学的ポテンシャル。ステンレス
（ＳＵＳ３０４）対極を使用、０．４Ｖ定電圧電解。 ４０２ 電解液の使用３日後における、電解時の薄膜を
電解形成する電極の電気化学的ポテンシャル。ステンレ
ス（ＳＵＳ３０４）対極を使用、０．４Ｖ定電圧電解。 ５０１ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における１番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。 ５１０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における１０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ５２０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における２０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ５３０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における３０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ５４０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における４０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ５５０ ２極式０．４Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における５０番目の基板の、電気化学的ポテ
ンシャル。 ６０１ ２極式０．８Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における１番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。 ６０２ ２極式０．８Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における２番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。 ６０３ ２極式０．８Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における３番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。 ６０４ ２極式０．８Ｖ定電圧電解時の、薄膜を電解形
成する電極における４番目の基板の、電気化学的ポテン
シャル。
Claims (4)
- 【請求項１】 顔料粒子を界面活性剤で取り囲んだミセ
ルのコロイド水溶液を調製し、このミセルを電解により
破壊してアノード電極上に顔料粒子の薄膜を析出させる
カラーフィルターの製造方法において、 電解液中に挿入する対極の表面積が薄膜を電解形成する
電極の表面積の４倍以上であることを特徴とするカラー
フィルターの製造方法。 - 【請求項２】 顔料粒子及び透明導電粒子を界面活性剤
で取り囲んだミセルのコロイド水溶液を調製し、このミ
セルを電解により破壊してアノード電極上に顔料粒子及
び透明導電粒子からなる薄膜を析出させるカラーフィル
ターの製造方法において、 電解液中に挿入した対極の表面積が薄膜を電解形成する
電極の表面積の４倍以上であることを特徴とするカラー
フィルターの製造方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載のカラーフィルタ
ーの製造方法において、 前記対極が、該電解液に腐食されない電極であることを
特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項４】 請求項１又は２に記載のカラーフィルタ
ーの製造方法において、 前記薄膜を電解形成する電極の電位が、酸素発生または
該界面活性剤以外の酸化反応、すなわち副反応の開始電
位以下であることを特徴とするカラーフィルターの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1460498A JPH11211909A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1460498A JPH11211909A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11211909A true JPH11211909A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=11865813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1460498A Withdrawn JPH11211909A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11211909A (ja) |
-
1998
- 1998-01-27 JP JP1460498A patent/JPH11211909A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050405 |