JPH11213344A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッド及び情報記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】出力波形の安定した、高密度磁気記録再生に最
適で信頼性の高い、歩留まりの良好な磁気抵抗効果型ヘ
ッドを提供する。 【解決手段】磁区制御手段５を、矩形状に加工された磁
気抵抗効果層パターンの最下層部全面、あるいはパター
ン端部の最下層部に形成することにより、磁気抵抗効果
層６の自由層６２，６３と磁区制御手段との磁気的結合
を強め、自由層の磁化の向きの安定化を計る。また、反
強磁性体層７上にさらに直接軟磁性体層を積層する、あ
るいは電極を、反強磁性体層に掛からず磁気抵抗効果層
端部だけに接触ように形成することにより、反強磁性体
層で固定された固定層６５の磁化からの漏れ磁界と、反
強磁性体層に分流したセンス電流による電流磁界とを抑
制し、自由層の磁化の向きを安定化する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
等の情報記録再生装置に関し、特に磁気記録媒体に記録
された信号を磁気抵抗効果を利用して検出する改良型磁
気抵抗効果型磁気ヘッド及びこのヘッドを備えた情報記
録再生装置に係る。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置等に使用される磁気ヘ
ッドの中でも、特に、Ｃｕ等の非磁性金属薄膜層を挾ん
で積層された複数の極めて薄い軟磁性体層からなる多層
膜において観られる、所謂巨大磁気抵抗効果を利用した
磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、これまで特開平４−３５
８３１０号公報に記載されている様に、非磁性金属薄膜
層を挾んで積層された第一の軟磁性体層と第二の軟磁性
体層を有する磁気抵抗効果層と、該第二の軟磁性体層
（固定層と称する）の磁化を固定する為に連続積層され
た反強磁性体層と、該磁気抵抗効果層の第一の軟磁性層
（自由層と称する）の磁区構造を制御する磁区制御手段
と、及び、該磁気抵抗効果層にセンス電流を流し、信号
磁界の関数で変化するその磁気抵抗変化を検出する電極
等と、を有することが開示されている。そして、当該磁
気抵抗効果型磁気ヘッドの構造は、磁気抵抗効果層と連
続積層された反強磁性体層とが矩形状に加工され、該矩
形状パターンの端部に磁区制御手段が形成されたものと
なっている。しかし、この様な磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドに於いては、磁気抵抗効果層中の自由層と固定層の磁
気的なカップリングによるヘッド特性に及ぼす悪影響に
関して、特に何の考慮もされていないし、更に電極から
反強磁性体層に分流されるセンス電流によって生ずる悪
影響に対しても特に何の考慮もされていない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】書き込み専用の電磁誘
導型薄膜磁気ヘッドを複合化した巨大磁気抵抗効果を利
用した磁気抵抗効果型磁気ヘッドでは、反強磁性体層に
よって媒体に対して垂直方向に固定化された固定層の磁
化による漏洩磁界と、該反強磁性体層に分流したセンス
電流によって生じる電流磁界とが自由層に加わる為、磁
区制御手段縦のバイアス効果によって媒体に対して平行
方向に安定化された自由層の磁化の向きが不均一にバイ
アスされ、信号読み出し時の該磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの出力波形の波形非対称性が悪化すると同時に、不安
定になるという問題がある。しかもこの現象は、薄膜磁
気ヘッドの記録動作による記録磁界が繰り返し加わるこ
とによって助長される傾向があり、このような磁気ヘッ
ドは、磁気ディスク装置に搭載しても信号波形の不安定
性によるリードエラーが多発し、使用できないという問
題があった。さらにまた、このようなヘッドの波形非対
称性は、ヘッド製造ロット間だけでなく、同一ロットの
ウェハ間でもばらつきが大きく、このためヘッド選別検
査工程における検査時間の増加、ヘッド製造歩留まりの
低下、など量産上も大きな問題があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、前記問
題点を解決し、再生波形の波形非対称性が良好で、且つ
安定した、高密度磁気記録再生に最適な量産性に優れた
磁気抵抗効果型ヘッドを提供すると共にそのヘッドを備
えた情報記録装置を提供することである。

【０００５】本発明においては、上記目的を達成する為
に、磁区制御手段を、矩形状に加工された磁気抵抗効果
層パターンの端部で最下層部に該磁気抵抗効果層に接触
し、該磁気抵抗効果層の自由層と磁気的に結合する様に
形成する。または、磁区制御手段を、予め該矩形上の磁
気抵抗効果層パターンの最下層部全面に直接積層し、該
磁気抵抗効果層の自由層と磁気的に結合するように形成
する。一方、反強磁性体層上にはさらに軟磁性体層を積
層し、該磁気抵抗効果層、該反強磁性体層及び該軟磁性
体層とを一括して矩形上に加工する。更にまた、電極を
形成する際、電極が該反強磁性体層に掛かわらず磁気抵
抗効果層の端部だけに接触する様に制御、形成する。

【０００６】以上、これらいずれかの手段か、或はこれ
らの手段の組合せにより、磁区制御手段による縦バイア
ス効果によって安定化された、自由層の磁化の向きをさ
らに強く安定化することが可能となり、また、反強磁性
体層によって固定された固定層の磁化からの漏れ磁界の
影響と、反強磁性体層に分流したセンス電流によって生
ずる電流磁界の影響とを大幅に低減することが可能にな
る。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下に本発明を実施例により詳し
く説明する。

【０００８】図１は、本発明に係る磁気抵抗効果型磁気
ヘッド１６からなるデュアルヘッドの概略構造図を示す
斜視図である。尚、図１では、上部磁気シールド層１２
より上側のライトヘッドの片側半面を省略している。
又、図２〜図１１迄は、本発明の実施例としての磁気抵
抗効果型磁気ヘッド１６の感磁部（再生ヘッド部１３）
を拡大した断面図である。

【０００９】この磁気抵抗効果型磁気ヘッド１６の再生
ヘッド部１３は、下部磁気シールド層３と上部磁気シー
ルド層１２との間に絶縁層４を介して、再生ヘッド部が
構成されており、磁区制御手段５及び電極９を備えてい
る。図１では、上部磁気シールド層１２はライトヘッド
の下部磁気コアを兼用した構造を示しており、磁気抵抗
効果型磁気ヘッド１６の再生ヘッド部１３の上側に絶縁
層、コイルを形成後、上部磁気コア１１０を形成したラ
イトヘッドからなるデュアルヘッドを示す。

【００１０】《実施例１》図２は本発明の一実施例によ
る磁気抵抗効果型磁気ヘッドの媒体対向面側からみた断
面図である。本実施例においては、まず、アルミナ−チ
タンカーバイト等の絶縁体からなる基板１上に、平坦化
用の厚付けされたアルミナ等からなる地下絶縁層２を介
して下部磁気シールド層３を１〜４μｍ積層し、フォト
リソグラフィとドライエッチング法により所定の形状に
加工した後、下部ギャップを形成するアルミナ或はシリ
カ、或はアルミナとシリカの混合物等からなる絶縁層４
を０．０５〜０．２μｍ積層する。これらの層は、何れ
もスパッタリング法等によって積層されるが、本実施例
では、特に言及しない限り以下に述べる絶縁層として、
全てアルミナ膜、或はアルミナとシリカの混合膜を使用
している。しかし、アルミナ、シリカ以外の絶縁体を用
いても特に問題はない。この様に絶縁層４を積層した
後、本実施例では次に、例えばＣｏＣｒＰｔ膜とＣｒ膜
との積層膜からなる磁区制御手段５をスパッタリング法
で積層し、所定の形状に加工し、これに続いて、非磁性
金属薄膜層を挾んで積層された複数の軟磁性体層を有す
る磁気抵抗効果層６、反強磁性体層７、非磁性の高抵抗
導体膜８をスパッタリング法により連続積層し、フォト
リソグラフィとドライエッチング法により所定の形状に
加工する。更に続いて、電極９を形成するためのＴａ／
ＴａＷ等からなる導体層１０をスパッタリング法により
積層し、リフトオフ法により所定の形状の電極９を磁気
抵抗効果層６のパターン端部に形成した。ここでは、電
極９を形成するリフトオフ用のフォトレジストパターン
として、磁気抵抗効果層６、反強磁性体層７および高抵
抗導体膜８の加工に用いたフォトレジストパターンをそ
のまま利用している。また、本実施例では、これら磁気
抵抗効果層６、反強磁性体層７、高抵抗導体膜８とし
て、Ｔａ／ＮｉＦｅ／ＣｏＦｅ／Ｃｕ／Ｃｏ膜（６１〜
６５）、ＣｒＭｎＰｔ膜およびＴａ膜を各々使用した
が、これらの他、磁気抵抗効果層６の軟磁性体層として
ＮｉＣｏ膜あるいはＮｉＦｅＣｏ膜等の軟磁性体膜を、
また、反強磁性体層７としてＦｅＮｉＭｎ膜、ＭｎＩｒ
膜等の反強磁性体膜を用いても何ら差し支えはない。こ
こで、ＮｉＦｅ／ＣｏＦｅ層は自由層６２、６３とし
て、Ｃｏ層は固定層６５として積層されている。

【００１１】以上の様に電極９迄を形成したが、この
後、上部ギャップを形成する絶縁層１１を０．０３〜
０．２μｍ積層し、上部磁気シールド層兼下部磁極１２
を１〜４μｍ積層、所定形状に加工し、再生ヘッド部１
３の作製を終了する。更に、実際に磁気ヘッドとして使
用する為には、引き続いて上部磁気シールド層兼下部磁
極１２上に、絶縁層及びコイル、上部磁極及び保護絶縁
層からなる記録ヘッド部を作製し、磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの作製を終了する。

【００１２】本実施例による磁気抵抗効果型磁気ヘッド
は、記録ヘッド部から電磁誘導を利用して磁気記録媒体
に信号を書き込み、再生ヘッド部１３で該信号を読み出
す。当該信号を読み出す場合には、まず電極９から磁気
抵抗効果層６にセンス電流を流す。この時センス電流
は、電流磁界が反強磁性体層によって媒体に対して垂直
方向に固定された磁気抵抗効果層６の固定層６５の磁化
の向きを安定化する様な方向に設定するのがよい。磁気
記録媒体から極性の異なる信号磁界が上記状態の磁気抵
抗効果層６に入ると、その信号磁界強度に応じて固定層
６５の磁化の向きと直角を成す磁気抵抗効果層６の自由
層６２、６３の磁化が回転し、これによる固定層の磁化
と自由層の磁化の成す角度の変化に対応して該磁気抵抗
効果層６の抵抗が増減する。この抵抗の変化は電圧変化
として電極９から検出され、信号の読み出しが可能とな
る。この様な電圧変化、即ち出力は、当該磁気抵抗効果
層６に流れるセンス電流が増加すれば増大する。

【００１３】本実施例による磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の動作原理は以上説明した通りであるが、当該磁気抵抗
効果型磁気ヘッドによれば、磁区制御手段５を該磁気抵
抗効果層パターン端部で最下層部に直接接触する様に形
成した為、該磁区制御手段５と該磁気抵抗効果層の自由
層６２、６３との磁気的な結合が強まり、自由層の磁化
は、磁区制御手段５の磁化と平行状態に保たれ、自由層
はより強固な単磁区状態になる。この状態は、自由層６
２、６３と磁区制御手段５の磁気的結合状態が崩れない
限り安定であり、記録ヘッドの記録磁界が印加されても
崩れることはない。従って、記録再生動作を繰り返した
場合でも、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの信号波形の波形
非対称性が悪化、或は変動する等、信号波形が不安定に
なることはなくなる。即ち、本実施例によれば以上の様
に大きな効果がある為、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの信
頼性が向上し、歩留まりを大幅に改善する効果がある。

【００１４】《実施例２》図３は、本発明の他の実施例
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示したもの
である。本実施例に於いては、まず磁区制御手段５を磁
気抵抗効果層６を積層する前に予め積層し、次いで該磁
気抵抗効果層６、反強磁性体層７、及び高抵抗導体膜８
を連続積層し、掛かる連続膜を一括してフォトリソグラ
フィとドライエッチング法により所定の形状に加工す
る。続いて、電極９を形成する為のＴａ／ＴａＷなどか
ら成る導体層１０をスパッタリング法により積層し、リ
フトオフ法等により所定の形状の電極９を加工されたパ
ターン端部の傾斜部に形成したものである。尚、電極９
を形成するリフトオフ用のフォトレジストパターンは、
磁区制御手段５、磁気抵抗効果層６、反強磁性体層７及
び高抵抗導体膜８の加工に用いたフォトレジストパター
ンをそのまま利用した。この他の構造については実施例
１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと同様であり、動作原理
及び本発明の効果についても実施例１の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドと同様である。

【００１５】《実施例３》図４は、本発明の他の実施例
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示したもの
である。本実施例に於いては、磁気抵抗効果層６、反強
磁性体層７を連続積層した後、更に反強磁性体層７上に
Ｃｏ或はＮｉＦｅ等から成る軟磁性体層７１を固定層６
５とほぼ等しいか、それ以上の膜厚で積層し、最後に非
磁性高抵抗導体膜８を積層して、掛かる後に当該連続膜
を一括してフォトリソグラフィとドライエッチング法と
により所定の形状に加工する。続いて、該加工されたパ
ターン端部の傾斜部に磁区制御手段５とＴａ／ＴａＷ等
からなる導体層１０とをスパッタリング法等により連続
積層し、リフトオフ法等により所定の形状の電極９を形
成したものである。この他の構造については実施例１の
磁気抵抗効果型磁気ヘッドと同様であり、動作原理及び
本発明の効果についても実施例１の磁気抵抗効果型磁気
ヘッドとほぼ同様である。

【００１６】《実施例４》図５は、本発明の他の実施例
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示したもの
である。本実施例に於いては、実施例１の構造の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにおいて該磁気抵抗効果層６、反強
磁性体層７を連続積層した後、高抵抗導体膜８を積層す
る前にＣｏ或はＮｉＦｅ等から成る軟磁性体層７１を反
強磁性体層７上に固定層６５と等しいか、それ以上の膜
厚で積層し、その後高抵抗導体膜８を積層したもので、
掛かる後に当該連続膜をフォトリソグラフィとドライエ
ッチング法により所定の形状に加工する。次いで、該加
工されたパターン端部の傾斜部に、Ｔａ／ＴａＷなどか
らなる導体層１０をスパッタリング法で積層し、リフト
オフ法等により所定の形状の電極９を形成した。この他
の構造については実施例１の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
と同様であり、動作原理及び本発明の効果も実施例１の
磁気抵抗効果型磁気ヘッドと同様である。

【００１７】《実施例５》図６は、本発明の他の実施例
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示したもの
である。本実施例に於いては、実施例２の構造の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにおいて該磁気抵抗効果層６、反強
磁性体層７を連続積層した後、高抵抗導体膜８を積層す
る前にＣｏ或はＮｉＦｅ等から成る軟磁性体層７１を反
強磁性体層７上に固定層６５と等しいかそれ以上の膜厚
で積層し、この後高抵抗導体膜８を連続積層したもので
あり、掛かる後に当該連続膜はフォトリソグラフィとド
ライエッチング法により所定の形状に加工する。続い
て、加工されたパターン端部の傾斜部に、Ｔａ／ＴａＷ
等からなる導体層１０をスパッタリング法等により積層
し、リフトオフ法等により所定の形状の電極９を形成し
た。この他の構造については実施例１の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドと同様であり、その動作原理及び本発明の効
果も実施例１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと同様であ
る。

【００１８】《実施例６》図７は、本発明の他の実施例
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示したもの
である。本実施例においては、実施例３の構造の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにおいて、リフトオフ法等により所
定の形状の上記電極９を形成する際に、当該磁区制御手
段５と導体層１０を反強磁性体層７に掛からず磁気抵抗
効果層６の端部だけに接触するように積層制御したもの
である。本実施例による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの動
作原理及び効果については、実施例１の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドとほぼ同様である。

【００１９】《実施例７》図８は、本発明の他の実施例
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示したもの
である。本実施例に於いては、実施例１の構造の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにおいて、リフトオフ法等により所
定の形状の電極９を形成する際に、反強磁性体層７に掛
からず磁気抵抗効果層６の端部だけに接触する様に積層
制御したものである。本実施例による磁気抵抗効果型磁
気ヘッドの動作原理及び効果については、実施例１の磁
気抵抗効果型磁気ヘッドと同様である。

【００２０】《実施例８》図９は、本発明の他の実施例
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示したもの
である。本実施例に於いては、実施例２の構造の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにおいて、リフトオフ法等により所
定の形状の電極９を形成する際に、反強磁性体層７に掛
からず磁気抵抗効果層６の端部だけに接触するように積
層制御したものである。本実施例による磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの動作原理及び効果については、実施例１の
磁気抵抗効果型磁気ヘッドと同様である。

【００２１】《実施例９》図１０は、本発明の他の実施
例による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示したも
のである。本実施例に於いては、実施例４の構造の磁気
抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、リフトオフ法等により
所定の形状の電極９を形成する際に、反強磁性体層７に
掛からず磁気抵抗効果層６の端部だけに接触するように
積層制御したものである。本実施例による当該磁気抵抗
効果型磁気ヘッドの動作原理及び効果については、実施
例１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと同様である。

【００２２】《実施例１０》図１１は、本発明の他の実
施例による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図を示した
ものである。本実施例に於いては、実施例５の構造の磁
気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、リフトオフ法等によ
り所定の形状の電極９を形成する際に、反強磁性体層７
に掛からず磁気抵抗効果層６の端部だけに接触するよう
に積層制御したものである。本実施例による当該磁気抵
抗効果型磁気ヘッドの動作原理及び効果については、実
施例１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと同様である。

【００２３】尚、前述の実施例に示した本発明の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドの特性確認及び装置として特性確認
等は、図１２に示すような構成の情報記録再生装置を作
製し確認した。

【００２４】図１２は、本発明による磁気抵抗効果型磁
気ヘッドを用いた一実施例の情報記録再生装置を示す図
である。情報記録再生装置としての磁気ディスク装置に
本発明による磁気ヘッドを適用した概要を示すものであ
る。図示した磁気ディスク装置は、同心円上のトラック
と呼ばれる記録領域にデータを記録するためのディスク
状に形成された記録媒体５０と、本発明による磁気抵抗
効果型素子ヘッドスライダ３０から成り、上記データの
読み取り、書き込みを実行するための磁気抵抗効果型複
合磁気ヘッド１６と、該磁気抵抗効果型複合磁気ヘッド
１６を支え記録媒体５０上の所定位置に移動させるアク
チュエータ手段と、磁気抵抗効果型複合磁気ヘッド１６
が読み取り、書き込みするデータの送受信及びアクチュ
エータ手段の移動等を制御する制御手段とを含み構成さ
れる。

【００２５】さらに、構成と動作について詳説する。少
なくとも一枚の回転可能な記録媒体５０が回転軸１４に
よって支持され、駆動モータ１５によって回転させられ
る。少なくとも一個の磁気抵抗効果型素子ヘッドスライ
ダ３０が、記録媒体５０上に設置され、該磁気抵抗効果
型素子ヘッドスライダ３０は、一個以上設けられ読み取
り、書き込みするための磁気抵抗効果型複合磁気ヘッド
１６を支持している。記録媒体５が回転すると同時に、
磁気抵抗効果型素子ヘッドスライダ３０が記録媒体表面
を移動することによって、目的とするデータが記録され
ている所定位置へアクセスされる。磁気抵抗効果型素子
ヘッドスライダ３０は、ジンバル１７によってアーム１
８に取付けられる。ジンバル１７は僅かな弾性力を有
し、磁気抵抗効果型素子ヘッドスライダ３０を記録媒体
５０に密着させる。アーム１８は、アクチュエータ１９
に取付けられる。

【００２６】図に示すようなアクチュエータ１９として
は、例えばボイスコイルモータ（以下ＶＣＭという）が
ある。ＶＣＭは、固定された磁界中に置かれた移動可能
なコイルからなり、コイルの移動方向及び移動速度等
は、制御手段２０からライン２２を介して与えられる電
気信号によって制御される。従って、本実施例によるア
クチュエータ手段は、例えば、磁気抵抗効果型素子ヘッ
ドスライダ３０とジンバル１７とアーム１８とアクチュ
エータ１９と、ライン２２とを含み構成される。

【００２７】磁気ディスク装置の動作中、記録媒体５０
の回転によって、磁気抵抗効果型素子ヘッドスライダ３
０と記録媒体表面との間に空気流によるエアベアリング
が生じ、それが磁気抵抗効果型素子ヘッドスライダ３０
を記録媒体５０の表面上から浮上させる。従って、磁気
ディスク装置の動作中、このエアベアリングは、ジンバ
ル１７の僅かな弾性力とバランスを取り、磁気抵抗効果
型素子ヘッドスライダ３０は記録媒体表面に触れずに、
かつ記録媒体５０と一定の間隔を保って保持する様に維
持される。

【００２８】通常、制御手段２０は、ロジック回路、メ
モリ、及びマイクロプロセッサ等から構成される。そし
て、制御手段２０は、各ラインを介して制御信号を送受
信し、磁気ディスク装置の種々の構成手段を制御する。
例えば、モータ１５は、ライン２１を介し伝達されるモ
ータ駆動信号によって制御される。アクチュエータ１９
は、ライン２２を介したヘッド位置制御信号及びシーク
制御信号等によって、その関連する記録媒体５０上の目
的とするデータトラックへ選択された磁気抵抗効果型素
子ヘッドスライダ３０を最適に移動及び位置決めするよ
う制御される。

【００２９】そして、制御手段２０は、磁気抵抗効果型
複合磁気ヘッド１６が記録媒体５０のデータを読み取り
変換した電気信号を、ライン２３を介して受信し解読す
る。また、記録媒体５０にデータとして書き込むための
電気信号を、ライン２３を介して磁気抵抗効果型複合磁
気ヘッド１６に送信する。即ち、制御手段２０は、磁気
抵抗効果型複合磁気ヘッド１６が読み取りまたは書き込
みする情報（データ）の送受信を制御している。

【００３０】尚、上記の読み取り、書き込み信号は、磁
気抵抗効果型複合磁気ヘッド１６から直接伝達されても
可である。また、制御信号としては、例えばアクセス制
御信号及びクロック信号等がある。さらに、磁気ディス
ク装置は、複数の記録媒体やアクチュエータ等を有し、
該アクチュエータが複数の磁気抵抗効果型複合磁気ヘッ
ドを有しても良いことは言うまでもない。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、磁区制御手段と自由層
との磁気的な結合を強めることになるので、自由層の磁
化の向きの安定性が大幅に強まることになる。更にま
た、本発明によれば、反強磁性体層によって固定された
固定層の磁化による漏れ磁界を軽減、抑制し、また反強
磁性体層に分流したセンス電流による電流磁界も軽減、
抑制するので、やはり自由層の磁化の向きの安定性が大
幅に強められることになる。従って、磁気抵抗効果型磁
気ヘッドの記録再生特性では、信号波形の波形非対称性
が大幅に改善され、波形の安定性も大幅に向上するとい
う大きな効果があり、同時に、ヘッドの生産において
は、該磁気抵抗効果型磁気ヘッドの信頼性が改善され、
歩留まりが大幅に向上するという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気抵抗効果型磁気ヘッドからな
るデュアルヘッドの概略構造図を示す斜視図。

【図２】本発明の一実施例による磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドの再生ヘッド部の断面図。

【図３】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの再生素子部の断面図。

【図４】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの再生素子部の断面図。

【図５】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの再生素子部の断面図。

【図６】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの再生素子部の断面図。

【図７】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの再生素子部の断面図。

【図８】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの再生素子部の断面図。

【図９】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの再生素子部の断面図。

【図１０】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁
気ヘッドの再生素子部の断面図。

【図１１】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型磁
気ヘッドの再生素子部の断面図。

【図１２】本発明による磁気抵抗効果型磁気ヘッドを用
いた一実施例の情報記録再生装置を示す図。

【符号の説明】

１…基板、 ２…下地絶縁
層、３…下部磁気シールド層、 ４…絶縁
層、５…磁区制御手段、 ６…磁気抵
抗効果層、７…反強磁性体層、 ７１…
軟磁性体層、８…高抵抗導体膜、 ９
…電極、１０…導体層、 １１…
絶縁層、１２…上部磁気シールド層兼下部磁極、１３…
再生ヘッド部、１４…回転軸、
１５…駆動モータ、１６…磁気抵抗効果型複合磁気ヘッ
ド、１７…ジンバル、１８…アーム、
１９…アクチュエータ、２０…制御手段、
２１、２２、２３…ライン、３０…磁気
抵抗効果型素子ヘッドスライダ、５０…記録媒体、
１１０…ライトヘッド用上部磁気コア。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上部下部一対の磁気シールド層、非磁性金
   属薄膜層を挾んで積層された複数の軟磁性体層を有する
   磁気抵抗効果層、該磁気抵抗効果層に連続積層された反
   強磁性体層、該磁気抵抗効果層中の軟磁性体層の磁区を
   制御する磁区制御手段、及び、該磁気抵抗効果層にセン
   ス電流を流し、その磁気抵抗変化を検出する為の電極、
   等を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、磁気抵
   抗効果層及び反強磁性体層が矩形状に加工され、該矩形
   状パターン端部の傾斜部に電極が形成されるが、磁区制
   御手段は該矩形状パターン端部の最下層部に該磁気抵抗
   効果層と接触し、該磁気抵抗効果層中の下部磁気シール
   ド側の軟磁性体層と磁気的に結合する様に形成されてな
   ることを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
2. 【請求項２】上部下部一対の磁気シールド層、非磁性金
   属薄膜層を挾んで積層された複数の軟磁性体層を有する
   磁気抵抗効果層、該磁気抵抗効果層に連続積層された反
   強磁性体層、該磁気抵抗効果層中の軟磁性体層の磁区を
   制御する磁区制御手段、及び、該磁気抵抗効果層にセン
   ス電流を流しその磁気抵抗変化を検出するための電極、
   等を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、磁気抵
   抗効果層及び反強磁性体層が矩形状に加工され、該矩形
   状パターン端部の傾斜部に電極が形成されるが、磁区制
   御手段は予め該矩形状に加工される磁気抵抗効果層の最
   下層部全面に接触して形成され、磁気抵抗効果層中の下
   部磁気シールド側の軟磁性体層と磁気的に結合されてな
   ることを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
3. 【請求項３】上部下部一対の磁気シールド層、非磁性金
   属薄膜層を挾んで積層された複数の軟磁性体層を有する
   磁気抵抗効果層、該磁気抵抗効果層に連続積層された反
   強磁性体層、該磁気抵抗効果層中の軟磁性体層の磁区を
   制御する磁区制御手段、及び、該磁気抵抗効果層にセン
   ス電流を流しその磁気抵抗変化を検出するための電極、
   等を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、反強磁
   性体層上に更に軟磁性体層が積層され、磁気抵抗効果
   層、該反強磁性体層及び該軟磁性体層は一括して矩形状
   に加工され、該矩形状パターン端部の傾斜部に磁区制御
   手段と電極とが形成されてなることを特徴とする磁気抵
   抗効果型磁気ヘッド。
4. 【請求項４】上部下部一対の磁気シールド層、非磁性金
   属薄膜層を挾んで積層された複数の軟磁性体層を有する
   磁気抵抗効果層、該磁気抵抗効果層に連続積層された反
   強磁性体層、該磁気抵抗効果層中の軟磁性体層の磁区を
   制御する磁区制御手段、及び、該磁気抵抗効果層にセン
   ス電流を流しその磁気抵抗変化を検出するための電極、
   等を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、反強磁
   性体層上に更に軟磁性体層が積層され、磁気抵抗効果
   層、該反強磁性体層及び該軟磁性体層が一括して矩形状
   に加工されてなることを特徴とする請求項１又は請求項
   ２記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
5. 【請求項５】上部下部一対の磁気シールド層、非磁性金
   属薄膜層を挾んで積層された複数の軟磁性体層を有する
   磁気抵抗効果層、該磁気抵抗効果層に連続積層された反
   強磁性体層、該磁気抵抗効果層中の軟磁性体層の磁区を
   制御する磁区制御手段、及び、該磁気抵抗効果層にセン
   ス電流を流しその磁気抵抗変化を検出するための電極、
   等を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、磁区制
   御手段と電極が反強磁性体層及び軟磁性体層に掛からな
   い様、磁気抵抗効果層の端部だけに形成されることを特
   徴とする請求項３記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
6. 【請求項６】上部下部一対の磁気シールド層、非磁性金
   属薄膜層を挾んで積層された複数の軟磁性体層を有する
   磁気抵抗効果層、該磁気抵抗効果層に連続積層された反
   強磁性体層、該磁気抵抗効果層中の軟磁性体層の磁区を
   制御する磁区制御手段、及び、該磁気抵抗効果層にセン
   ス電流を流しその磁気抵抗変化を検出するための電極、
   等を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、電極が
   反強磁性体層に掛からない様、磁気抵抗効果層の端部だ
   けに形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２
   記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
7. 【請求項７】上部下部一対の磁気シールド層、非磁性金
   属薄膜層を挾んで積層された複数の軟磁性体層を有する
   磁気抵抗効果層、該磁気抵抗効果層に連続積層された反
   強磁性体層、該磁気抵抗効果層中の軟磁性体層の磁区を
   制御する磁区制御手段、及び、該磁気抵抗効果層にセン
   ス電流を流しその磁気抵抗変化を検出するための電極、
   等を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、電極が
   反強磁性体層及び軟磁性体層に掛からない様、磁気抵抗
   効果層の端部だけに形成されることを特徴とする請求項
   ４記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
8. 【請求項８】情報の記録面を有する回転可能な磁気記録
   媒体と、前記磁気記録媒体を高速回転保持する駆動モー
   タと、前記駆動モータの回転駆動を制御する制御手段
   と、前記記録面上へ情報を書込み又は情報を読み出す電
   磁変換器が取付けられて前記磁気記録媒体の記録面上を
   移動するスライダを有する磁気ヘッドと、前記磁気ヘッ
   ドが情報を読取り又は書込みをするための情報を制御す
   る回路手段と、前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上の
   所定に位置な高速位置決めさせるアクチュエータ手段
   と、前記アクチュエータの移動を制御する制御回路とを
   有する情報記録再生装置において、前記請求項１から請
   求項７記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの特徴の内少な
   くとも一つ以上を備えた情報記録再生装置。