JPH11214893A - 電子部品の吸着搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品を吸着するようにした吸着ヘッドの
軽量化を図る。 【解決手段】 水平方向に移動自在となった搭載ヘッド
に設けられた吸着搬送器２５は、吸着具２６を有するピ
ストンロッド３４を上下方向に駆動する空気圧シリンダ
３１と、エジェクタが内部に組み込まれた真空発生ブロ
ック３２と、ピストン作動用の電磁弁３９と、エジェク
タ作動用の電磁弁５４と、真空破壊用の電磁弁５６とが
一体となって形成され、軽量化されている。吸着具２６
の圧力を検出する圧力センサ６０が吸着搬送器２５に設
けられており、この圧力センサ６０からの信号は外部に
設けられたセンサコントローラに送られる。これによ
り、吸着具２６に電子部品が吸着されたい否かを吸着搬
送器２５の外部において検知することができ、吸着搬送
器２５に圧力スイッチを設けることが不要となるので、
吸着搬送器２５が軽量化される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はＩＣなどの電子部品
を検査ボードや実装基板などの被組立部材に対して吸着
して搬送する電子部品の吸着搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路が形成されたＩＣやＬＳ
Ｉなどの電子部品を検査ボードに多数搭載してそれぞれ
の電子部品が所定の機能を有するか否かを検査してい
る。その際には、それぞれトレーなどに配置された電子
部品を搬送装置によって検査ボードに搭載するようにし
ている。また、実装基板に電子部品を搭載する場合に
も、搬送装置を用いて所定の順序で複数種類の電子部品
を順次実装基板に搭載するようにしている。

【０００３】このような搬送装置としては、Ｘ方向とＹ
方向の２軸方向に水平移動自在の搬送ヘッドに上下動自
在に吸着具を設け、搬送ヘッドを部品供給ステージと検
査ボードの所定の位置に移動させ、部品供給ステージと
検査ボードの所定の位置において吸着具を上下動させる
ようにしている。

【０００４】搬送ヘッドには部品のサイズなどに対応さ
せて複数の吸着具が設けられ、真空つまり負圧により吸
着して搬送する部品に応じて所定の吸着具を上下動させ
るようにしている。吸着具に真空を供給することによっ
て、吸着具に電子部品を吸着する場合には、吸着具の先
端に電子部品が吸着されたことを、圧力センサにより検
出するようにしており、吸着具の真空流路内の圧力が所
定の真空度となったときには、吸着具の先端に電子部品
が保持されたと判断するようにしている。

【０００５】このような搬送装置にあっては、搬送ヘッ
ドをいかにして迅速に移動させるようにするかが重要な
解決課題であった。搬送ヘッドを迅速に移動するには、
搬送ヘッドを軽量化することが必要となる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】そこで、搬送装置にお
ける搬送ヘッドを軽量化すべく、発明者は種々の検討を
行なった。搬送ヘッドには吸着具を上下動、つまりＺ軸
方向に移動するために空気圧シリンダが使用されてお
り、このシリンダにより上下動するピストンロッドの先
端に設けられた吸着具に真空を供給するために、真空発
生器を搬送ヘッドに取り付けるようにしている。したが
って、これらの構造をいかにして軽量化するかが搬送ヘ
ッドの軽量化に重要の要素となっている。

【０００７】また、吸着具内の真空流路内の圧力が所定
の圧力となったときに作動するようにした圧力スイッチ
を搬送ヘッドに組み込むようにしている。この圧力スイ
ッチの重量も搬送ヘッドの重量を上昇させる大きな要素
となっている。

【０００８】本発明の目的は、電子部品を吸着して搬送
するようにした吸着搬送装置における吸着搬送器の軽量
化を可能とすることにある。

【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１１】すなわち、本発明の電子部品の吸着搬送装
置は、複数の電子部品を収容する部品供給ステージと前
記電子部品が搭載される被搭載部材を支持する搭載ステ
ージとを有する搭載テーブルに沿って水平方向に移動自
在となった搭載ヘッドを有する電子部品の吸着搬送装置
であって、前記搭載ヘッドに取り付けられ、先端に前記
電子部品を吸着する吸着具を有するピストンロッドを上
下方向に駆動する四角柱形状の空気圧シリンダと、前記
空気圧シリンダに固定され、ディフューザとこれに空気
を供給するノズルとからなるエジェクタが内部に組み込
まれた真空発生ブロックと、前記空気圧シリンダの上端
部に取り付けられ、前記真空発生ブロックに形成された
給気ポートに連通する給気路を開閉して前記ピストンロ
ッドの上下動を制御するピストン作動用の電磁弁と、前
記真空発生ブロックに取り付けられ、前記給気ポートか
ら前記ノズルに連通する給気路を開閉して前記エジェク
タの作動を制御するエジェクタ作動用の電磁弁と、前記
真空発生ブロックに取り付けられ、前記エジェクタによ
り発生した真空を前記吸着具に案内する真空路に連通さ
れた真空破壊路を開閉する真空破壊用の電磁弁と、前記
真空発生ブロックに取り付けられ、前記真空路内に圧力
を検出するセンサとを有する吸着搬送器を前記搬送ヘッ
ドに複数個装着し、前記それぞれの吸着搬送器における
前記給気ポートから供給された圧縮空気を前記空気圧シ
リンダと前記エジェクタの前記ノズルと前記真空破壊路
とに共通に案内するようにしたことを特徴とする。

【００１２】本発明にあっては、吸着搬送器が空気圧シ
リンダと真空発生ブロックとピストン作動用の電磁弁と
エジェクタ作動用の電磁弁と真空破壊用の電磁弁とが一
体となって形成されているので、吸着搬送器の軽量化が
達成され、搭載ヘッドを迅速に移動することができる。
これにより、電子部品を効率的に被搭載部材に搭載する
ことができる。

【００１３】また、本発明の電子部品の吸着搬送装置
は、前記搭載テーブル側に固定設置されたセンサコント
ローラを有し、前記センサコントローラに、所定の数の
前記吸着搬送器の前記圧力センサにケーブルを介して接
続される所定数の入力端子と、装置コントローラにケー
ブルを介して接続され前記装置コントローラに出力信号
を出力する出力端子と、前記装置コントローラとの間で
制御信号を入出力する信号端子とを設け、前記圧力セン
サにより前記真空路内の圧力が所定の負圧値以上となっ
たときに前記信号端子に検知信号を出力する圧力判定手
段と、前記所定の負圧値を入力するしきい値入力手段と
を有し、前記搬送ヘッドから離れて固定設置された前記
センサコントローラにおいて圧力検知信号を前記装置コ
ントローラに送信するようにしたことを特徴とする。

【００１４】本発明にあっては、吸着搬送器に設けられ
た圧力センサからの信号を吸着搬送器から離れて設けら
れたセンサコントローラにケーブルを介して送るように
したので、吸着搬送器が軽量化されて、搭載ヘッドを迅
速に移動させることができ、電子部品を効率的に被搭載
物に搭載することができる。

【００１５】しきい値入力手段は、前記装置コントロー
ラ側に設けられており、それぞれの圧力センサについて
のしきい値を装置コントローラ側が入力することができ
る。これにより、装置のユーザーが吸着搬送装置から離
れた位置から、装置コントローラ側で集中してしきい値
の書込み入力を行うことができる。

【００１６】また、しきい値入力手段はセンサコントロ
ーラのコントロールパネルに設けられており、これに設
けられた押しボタンのマニュアル操作によって、圧力セ
ンサの選択とそれに対応したしきい値の圧力データとを
１０進数で入力することができ、それぞれの入力値はコ
ントロールパネルに設けられたＬＥＤなどの表示部に表
示される。コントロールパネル側で入力することができ
るので、装置コントローラを作動させないでも、吸着搬
送装置の作動を確認することができ、保守点検に有利と
なる。

【００１７】さらに、前記入力端子に前記圧力センサが
接続されているときには、負圧値に応じた所定の正常範
囲の電圧を前記Ａ／Ｄコンバータに出力し、前記圧力セ
ンサが接続されていないときには０Ｖに設定するセンサ
接続検出手段が前記センサコントローラに設けられてい
るので、複数の圧力センサが所定の入力端子に接続され
ているかいないかを作業者は確認することができ、しか
も、断線が発生した場合にはどの部分で断線が発生した
かを確認することができる。

【００１８】また、前記信号端子の入出力信号を８ビッ
トとし、圧力センサの選択チャンネル入力と、その読み
込みストローブ信号と、エラー信号とを並列の２個のコ
ネクタにより前記コントロールパネルに接続するように
したので、省配線が可能となる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００２０】図１は本発明の一実施の形態である吸着搬
送装置を示す概略平面図であり、部品ステージに配置さ
れたＩＣなどの電子部品を検査ボードに自動的に搭載す
るためにこの吸着搬送装置が使用されている。検査ボー
ドに搭載された所定の数の電子部品は、この位置から自
動的に搬送されて検査ステージにまで送られるようにな
っている。

【００２１】この吸着搬送装置は、搭載テーブル１１を
有し、この搭載テーブル１１の所定の位置に、被搭載部
材としての検査ボード１２が、たとえば、図１の右側か
ら搬入され、搭載後には左側に搬出されるようになって
いる。

【００２２】搭載テーブル１１にはＸ方向に伸びるガイ
ドレール１３が２本敷設されており、それぞれのガイド
レール１３に沿って摺動自在に設けられた摺動ブロック
１４には、Ｙ方向に伸びるガイドレール１５が取り付け
られている。このガイドレール１５には搬送ヘッド１６
がＹ方向に摺動自在に取り付けられており、この搬送ヘ
ッド１６は、図示しないモータにより駆動されるボール
ねじによりＹ方向に駆動されるようになっている。ま
た、搬送ヘッド１６はそれぞれの摺動ブロック１４を図
示しないモータにより駆動されるボールねじによりＸ方
向に駆動されるようになっている。

【００２３】搭載テーブル１１には、ＩＣなどの電子部
品を配置するための部品供給ステージ２３が複数個設け
られ、それぞれの部品供給ステージ２３には、同種ある
いは異種の電子部品がトレイあるいはテープに巻き付け
られた状態となって配置されるようになっている。

【００２４】搬送ヘッド１６には複数組の吸着搬送ユニ
ット２４が取り付けられており、その１組を拡大して示
すと図２の通りであり、１組の吸着搬送ユニット２４は
８つの吸着搬送器２５を有している。図２における３−
３線に沿う断面図を示すと図３の通りであり、図３に示
された１つの吸着搬送器２５の内部構造を示すと図４の
通りである。

【００２５】図３に示すように、ＩＣなどの電子部品Ｗ
を吸着する吸着具２６が上下方向つまりＺ軸方向に移動
自在となっており、たとえば、図１の部品供給ステージ
２３におけるＡ位置の電子部品を検査ボード１２のＢ位
置に搭載する場合には、搬送ヘッド１６を図１において
Ｘ軸方向とＹ軸方向とに移動させて、所定の吸着具２６
を部品供給ステージ２３のＡ位置の真上に位置させた状
態で、吸着具２６を下降移動させる。これにより、吸着
具２６は電子部品に接触した状態となり、この状態で吸
着具に真空を供給することにより電子部品は吸着具に保
持される。この状態で吸着具を上昇移動させながら、搬
送ヘッド１６をＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させて、吸
着具をＢ位置の真上に位置決めする。この状態で吸着具
２６を下降移動させることにより、電子部品を検査ボー
ド１２の所定の位置に搭載することができる。吸着具２
６には、図３に示すように、吸着搬送器２５の真空ポー
トに接続された真空ホース２７が接続されるようになっ
ている。

【００２６】検査ボード１２に代えて実装基板に対して
多数の電子部品を搭載する場合にも図１に示す吸着搬送
装置を使用することができる。その場合には、実装基板
の所定の位置に複数のＩＣのみならず、コンデンサや抵
抗器などの多種類の電子部品が搭載されることになる。

【００２７】また、吸着搬送装置としては、検査ボード
１２などの被搭載部材を支持する搭載テーブルと、電子
部品を収容する部品供給ステージとを有し、これらの間
に水平方向に移動自在に吸着搬送器を移動させるタイプ
であれば、図１に示されるものに限られない。

【００２８】８つの吸着搬送器２５は断面Ｌ字形状とな
り搬送ヘッド１６に取り付けられたブラケット２８に固
定され、それぞれの吸着搬送器２５は、図４に示すよう
な内部構造となっており、空気圧シリンダ３１とこれに
固定された真空発生ブロック３２とを有している。空気
圧シリンダ３１は四角柱形状となっており、真空発生ブ
ロック３２は直方体形状となっている。空気圧シリンダ
３１の内部に形成された空気圧室内にはピストン３３が
軸方向に往復動自在に装着され、このピストン３３に取
り付けられたピストンロッド３４の先端には吸着具２６
が取り付けられるようになっている。

【００２９】真空発生ブロック３２の先端面には、圧縮
空気が供給される給気ポート３５が形成され、この給気
ポート３５は真空発生ブロック３２および空気圧シリン
ダ３１に形成された給気路３６により、ピストン後退用
の空気圧室３７ａに連通されている。空気圧シリンダ３
１の後端部に設けられた弁ブロック３８には、給気路３
６に連通する給気路３６ａをピストン前進用の空気圧室
３７ｂに対して開閉するピストン作動用の電磁弁３９が
設けられている。この電磁弁３９のソレノイドに通電が
なされていないときには、ピストンロッド３４は空気圧
室３７ａ内に供給される空気により、図４に示すよう
に、後退限位置となり、ソレノイドに通電すると、空気
圧室３７ｂにも空気が供給されて、空気圧室３７ａより
も空気圧室３７ｂの方の断面積が大きく設定させている
ことから、ピストンロッド３４は前進移動することにな
る。

【００３０】ピストン作動用の電磁弁３９は、主弁４１
を作動させるプランジャ４２を有し、この主弁４１が給
気路３６ａを開閉するようになっている。主弁４１と複
数本の連動ロッド４３を介して連動する従動弁４４が空
気圧室３７ｂ側に配置されており、電磁弁３９のソレノ
イドに通電されると、プランジャ４２の後退移動に伴っ
て従動弁４４が排気路４５を閉塞し、通電が解かれて給
気路３６ａが閉塞された状態では従動弁４４は排気路４
５を開いて空気圧室３７ｂの空気を外部に排出するよう
になっている。

【００３１】真空発生ブロック３２内にはディフューザ
４６が組み込まれており、このディフューザ４６の混合
通路４６ａに空気を供給するノズル４７がディフューザ
４６に対向して配置され、これらのディフューザ４６と
ノズル４７とによりエジェクタつまり真空発生装置が形
成されている。ノズル４７には給気ポート３５に連通す
る給気路３６ｂからの空気が供給されるようになってお
り、ディフューザ４６に混合通路４６ａに連通させて形
成された吸引ポート４６ｂは真空路４８を介して真空ポ
ート４９に連通されている。この真空ポート４９には、
図３に示すように、接続プラグ５０が取り付けられるよ
うになっており、この接続プラグ５０と吸着具２６との
間に、真空ホース２７が接続される。

【００３２】したがって、給気ポート３５に供給された
空気をノズル４７からディフューザ４６の混合通路４６
ａ内に噴出すると、混合通路４６ａ内には吸引ポート４
６ｂからの空気を吸い込んだ空気の流れが発生して、真
空ポート４９は真空つまり負圧状態となる。ディフュー
ザ４６から排出された空気は、給気ポート３５に隣接し
て設けられた排気ポート５１から外部に排出されること
になる。

【００３３】給気ポート３５からの空気をノズル４７に
対して供給制御するために、流路ブロック５２と弁ブロ
ック５３を介して真空発生ブロック３２にはエジェクタ
作動用の電磁弁５４が取り付けられている。この電磁弁
５４はピストン作動用の電磁弁３９と同一構造のものが
使用されており、この電磁弁５４のソレノイドに対して
通電していない状態では、給気ポート３５に連通した給
気路３６ｂを従動弁４４が開いて、この給気路３６ｂを
ノズル４７に連通した給気路３６ｃに対して連通させる
状態とし、通電されると従動弁４４が閉じてノズル４７
への空気の供給は停止される。

【００３４】真空発生ブロック３２に弁ブロック５３に
対して反対側に取り付けられた弁ブロック５５には真空
破壊用の電磁弁５６が取り付けられており、この電磁弁
５６は電磁弁３９、５４と同様の構造のものが使用され
ている。弁ブロック５５にはこの中に形成された空気供
給室５７と給気ポート３５とを連通する給気路３６ｄが
形成されており、電磁弁５６のソレノイドに通電する
と、給気路３６ｄが開かれて空気供給室５７内に空気が
供給されるようになっている。通電が解かれると図４に
示すように、プランジャ４２が前進して主弁４１により
給気路３６ｄが閉じられることになる。空気供給室５７
は真空発生ブロック３２に形成された真空破壊路５８に
連通されており、この真空破壊路５８は真空路４８に連
通されている。

【００３５】したがって、図３に示す吸着具２６により
吸着保持されている電子部品を吸着具２６から外す場合
には、エジェクタ作動用の電磁弁５４への通電を解き、
真空破壊用の電磁弁５６へ通電する。これにより、真空
路４８には空気が供給されるので、吸着具２６から電子
部品は外されることになる。

【００３６】真空ポート４９にはここを流れる空気中の
ゴミを除去するために、フィルタ５９が設けられてお
り、この真空ポート４９内の圧力を検出するために、圧
力センサ６０が真空発生ブロック３２に取り付けられて
いる。

【００３７】このように、空気圧シリンダ３１は四角柱
形状となり、これに固定される真空発生ブロック３２は
空気圧シリンダ３１の幅に対応した幅となっているの
で、それぞれの吸着搬送器２５は幅を狭くすることがで
き、それを水平方向に複数個積層配置することにより、
搭載ヘッド１６に多数の吸着搬送器２５を取り付けるこ
とが可能となる。

【００３８】しかも、各々の吸着搬送器２５は空気圧シ
リンダ３１の空気圧室３７ａ，３７ｂと、ディフューザ
４６とノズル４７とからなるエジェクタと、真空破壊路
５８とに対して１つの共通の給気ポート３５から分配し
て供給することができるので、それぞれに空気を供給す
るためのホースを這い回すことなく、全体的にコンパク
トかつ軽量の吸着搬送器２５とすることができる。した
がって、これらをたとえば、８つ積層して１つの吸着搬
送ユニット２４としても、その重量を大きくすることな
く、搬送ヘッド１６を迅速に移動させることができる。

【００３９】それぞれの電磁弁３９，５４および５６に
は、これらに対して電力を供給するために、コネクタ６
１ａ〜６１ｄが着脱自在に装着されるようになってい
る。

【００４０】図５は圧力センサ６０を拡大して示す図で
あり、真空発生ブロック３２に止め付けられ、真空ポー
ト４９に連通する流路が成形された本体部６０ａと、流
路内の圧力を検出する圧力センサ部を覆うカバー６０ｂ
とを有しており、センサアンプなどの電子部品が実装部
６０ｃ内に組み込まれている。

【００４１】図２に示す吸着搬送器２５の圧力センサ６
０からの入力信号は、図６に示されるように、ケーブル
６２によりセンサコントローラ６３に送られる。このセ
ンサコントローラ６３はフラットケーブル６４により装
置コントローラ６５に接続されている。

【００４２】センサコントローラ６３は、図１に示すよ
うに、搭載テーブル１１に取り付けられるか、あるいは
その近傍に配置された支持台６６に取り付けられてお
り、装置コントローラ６５は吸着搬送装置から離れた位
置に設けられている。

【００４３】図７はセンサコントローラ６３の回路を示
すブロック図であり、この回路はコントロールパネル６
７に設けられている。

【００４４】図２に示す８つの吸着搬送器２５のそれぞ
れの圧力センサ６０にケーブル６２を介して接続される
８つのセンサ入力端子７１がコントロールパネル６７に
設けられており、マルチプレクサ７２により８つの圧力
センサ６０からの出力信号の中から１つの入力信号が選
択され、サンプルホールド回路７３を介してＡ／Ｄ変換
器７４に送られる。サンプルホールド回路７３は、Ａ／
Ｄ変換器７４に入力される電圧をサンプルするとともに
保持し、保持された電圧を変換が終了するまで持続す
る。したがって、圧力センサ６０により検出された圧力
値に対応するアナログ信号は、二値化されてＣＰＵ（中
央演算処理装置）７５に送られる。

【００４５】吸着具２６に電子部品Ｗが吸着されると真
空路４８の負圧は大きく、つまり大気圧よりもより低く
なる。したがって、その負圧を検出することによって、
吸着具２６に電子部品Ｗが吸着されたことを検出するこ
とができる。一方、真空破壊用の電磁弁５６に通電し
て、真空路４８に加圧空気を供給すると、電子部品Ｗは
吸着具２６から離れることになり、そのときの真空路４
８の圧力を検出することにより電子部品Ｗが吸着具２６
から離れたことを検出することができる。

【００４６】電子部品２６が吸着されると、真空路４８
の負圧値が所定値以上となるので、その所定値を記憶す
るために、ＣＰＵ７５にはＲＡＭ７６が接続されてい
る。したがって、圧力センサ６０からの入力信号に基づ
いて、圧力判定部としてのＣＰＵ７５において、ＲＡＭ
７６から読み出されたしきい値と、圧力センサ６０によ
り検出された負圧値とを比較することによって、電子部
品Ｗが吸着されているか、あるいは離脱しているかを判
断することができる。

【００４７】その比較出力信号は、出力ポートおよびバ
ッファを介してそれぞれの圧力センサ６０の数に対応し
た数の圧力スイッチ出力端子７７に送られる。この出力
信号は、図６に示すように、フラットケーブル６４を介
して装置コントローラ６５に送られる。この装置コント
ローラ６５からの制御信号によって、搬送ヘッド１６の
移動やそれぞれの電磁弁３９，５４および５６の作動な
どが制御される。

【００４８】前述したしきい値を電子部品Ｗのサイズな
どの種々の条件によって相違させるために、しきい値入
力手段としての押しボタンスイッチ７８がコントロール
パネル６７に設けられており、このスイッチ７８からの
入力信号は入力ポートを介してＣＰＵ７５およびＲＡＭ
７６に接続されている。押しボタンスイッチ７８により
１０進数で複数の圧力センサ６０のうち特定の圧力セン
サを選択するとともに、吸着具２６のサイズなどに応じ
た特定の圧力データをそれぞれの圧力センサ毎に入力す
ることができ、入力されたいきい値および圧力センサ６
０の番号などは、ＬＥＤなどからなる表示部７８ａに点
灯表示される。

【００４９】コントロールパネル６７には、装置コント
ローラ６５にフラットケーブル６４を介して接続され圧
力データを入力する制御端子８１が設けられており、装
置コントローラ６５からもしきい値を入力することがで
きる。そのために、装置コントローラ６５にも、各々圧
力センサ６０に対応して圧力のしきい値を記憶するため
のＲＯＭやＲＡＭなどのメモリーが設けられており、装
置コントローラ６５側でしきい値を入力してそれをメモ
リ内に格納することできる。それぞれの圧力センサ６０
により検出された圧力値を装置コントローラ６５側の表
示部に表示するために、コントロールパネル６７には圧
力データを出力する制御端子８２が設けられている。

【００５０】装置コントローラ６５側あるいはコントロ
ールパネル６７側でのしきい値の入力は、圧力単位Ｐａ
との換算をＰ＝Ａ（４／１０）として行っている（ただ
し、Ａは８ビットデータを示す。）。

【００５１】さらに、コントロールパネル６７には、ア
ドレス入力用の制御端子８３が設けられ、これらの制御
端子８２，８３はフラットケーブル６４を介して装置コ
ントローラ６５に接続されている。

【００５２】したがって、装置コントローラ６５から特
定の吸着具２６の作動が指令されたときには、圧力セン
サの選択チャンネルが制御端子８１からコントロールパ
ネル６７に送られ、アドレス入力用の制御端子８３から
は選択チャンネルを読み込むためのアドレスストローブ
信号が送られて、しきい値に基づいて吸着具２６に電子
部品Ｗが吸着したか、あるい離脱したかがＣＰＵ７５に
より判断される。

【００５３】なお、コントロールパネル６７に設けられ
た制御回路に対する電力の供給は、電源端子８４に接続
される通電ケーブルを介して行われる。

【００５４】コントロールパネル６７と装置コントロー
ラ６５との間でエラー信号を入出力するためのエラー信
号入出力端子８５が設けられており、コントロールパネ
ル６７側にエラーが発生した場合には、装置コントロー
ラ６５側にエラー信号が送られるようになっている。

【００５５】それぞれの入力端子７１に接続された入力
線には、アース接続された抵抗Ｒが接続されており、こ
の抵抗Ｒはセンサ接続検出手段を構成している。このセ
ンサ接続検出手段により、圧力センサ６０がケーブル６
２を介して該当する入力端子７１に接続されていない場
合には、Ａ／Ｄコンバータ７４への入力信号は０Ｖとな
る。圧力センサ６０からの出力電圧は、圧力値のいかん
にかかわらず、０Ｖ以上の電圧を出力するようになって
おり、圧力センサ６０の正常な作動範囲は、０Ｖ＋αか
らたとえば５Ｖ程度に設定されている。したがって、複
数の入力端子７１のいずれかに圧力センサ６０が接続さ
れていない場合には、その入力端子７１には電圧が供給
されないので、それを検知することにより、圧力センサ
６０が接続されていない入力端子７１の位置を検出する
ことができる。圧力センサ６０が接続されていない入力
端子７１の位置は、その信号が装置コントローラ６５に
送られて表示部に表示される。したがって、作業者はそ
の表示部を観察することによって、多数のセンサ入力端
子７１のうちいずれに圧力センサ６０が接続されている
かを識別することができる。

【００５６】ＣＰＵ７５には故障検出回路７５ａが接続
されており、ケーブル６２などが断線した場合にも、そ
の位置が表示部に点灯表示される。

【００５７】図８はセンサコントローラ６３を構成する
コントロールパネル６７を支持するための支持ケース９
１を示す図であり、この支持ケース９１はフロントパネ
ル９２とリアパネル９３とを有し、これらのパネル９
２，９３により囲まれた空間の中にコントロールパネル
６７が取り付けられるようになっている。このコントロ
ールパネル６７には、これに設けられた入力および出力
端子に接続されるコネクタ９４ａ〜９４ｄが設けられ、
これらのコネクタにケーブル６２およびフラットケーブ
ル６４が接続されることになる。

【００５８】図８は８つの圧力センサ６０からの信号が
送られて、圧力センサ６０の作動状態を検知するための
コントロールパネル６７を示すが、コントロールパネル
６７を支持ケース９１内に収納することにより、支持ケ
ース９１を複数個配置することによって、多数の圧力セ
ンサ６０からの出力信号を処理することができる。

【００５９】図９は図８に示されたコントロールパネル
６７をそれぞれ支持ケース９１内に収容して、４つ配置
することにより形成されたコントロールユニットを示
す。それぞれコントロールパネル６７が組み込まれた支
持ケース９１を連結金具９５に取り付けることによっ
て、３２個の圧力センサ６０からの出力信号を処理し
て、吸着具２６に電子部品が吸着された状態であるの
か、離脱した状態であるのかを検知することができる。

【００６０】図７に示した圧力センサの選択チャンネル
入力用の制御端子８１と、それを読み込むストローブ信
号入力用の制御端子８３と、検出された圧力データを出
力する制御端子８２と、エラー信号を入出力する制御端
子８５は、図８（Ｃ）に示すように、並列となった２つ
のコネクタ９４ｄにより接続されており、図９に示すよ
うに、複数のコントロールパネル６７を組み付ける場合
には、隣り合ったコントロールパル６９相互を一方のコ
ネクタを介して接続することにより、省配線を図ること
ができる。

【００６１】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００６２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００６３】(1).吸着搬送器が空気圧シリンダと真空発
生ブロックとピストン作動用の電磁弁とエジェクタ作動
用の電磁弁と真空破壊用の電磁弁とが一体となって形成
されているので、吸着搬送器の軽量化が達成され、搭載
ヘッドを迅速に移動することができる。

【００６４】(2).吸着搬送器に設けられた圧力センサか
らの信号を吸着搬送器から離れて設けられたセンサコン
トローラにケーブルを介して送るようにしたので、吸着
搬送器に圧力スイッチを設けることが不要となり、吸着
搬送器が軽量化されて、搭載ヘッドを迅速に移動させる
ことができる。

【００６５】(3).これにより、吸着搬送器が設けられた
搭載ヘッドを早く移動させることかでき、電子部品を効
率的に被搭載部材に搭載することができる。

【００６６】(4).電子部品の吸着と吸着離脱とをユーザ
ー側の装置コントローラによって設定することができる
ので、装置コントローラ側から集中的に操作と制御を行
うことができる。

【００６７】(5).吸着離脱の圧力設定をマニュアルでも
行うことができるので、装置の保守点検の他、装置の立
ち上げ時に装置コントローラを操作することなく、セン
サコントローラ側の操作によって調整と点検とを行うこ
とができる。

【００６８】(6).センサコントローラ自身で圧力センサ
側の非接続や断線を点検することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である吸着搬送装置を示
す概略平面図である。

【図２】図１に示された吸着搬送ユニットを拡大して示
す平面図である。

【図３】図２における３−３線に沿う方向から見た拡大
矢視図である。

【図４】図３の断面図である。

【図５】図３および図４に示された圧力センサを拡大し
て示す断面図である。

【図６】センサとセンサコントローラと装置コントロー
ラの接続状態を示すブロック図である。

【図７】図６に示されたセンサコントローラの詳細構造
を示すブロック図である。

【図８】センサコントローラを構成するコントロールパ
ネルを支持する支持ケースを示す正面図と左右側面図で
ある。

【図９】４つのコントロールパネルを有するコントロー
ルユニットを示す正面図と左右側面図である。

【符号の説明】

１１ 搭載テーブル １２ 検査ボード １３ ガイドレール １４ 摺動ブロック １５ ガイドレール １６ 搬送ヘッド ２３ 部品供給ステージ ２４ 吸着搬送ユニット ２５ 吸着搬送器 ２６ 吸着具 ２７ 真空ホース ２８ ブラケット ３１ 空気圧シリンダ ３２ 真空発生ブロック ３３ ピストン ３４ ピストンロッド ３５ 給気ポート ３６ 給気路 ３７ａ，３７ｂ 空気圧室 ３８ 弁ブロック ３９ ピストン作動用の電磁弁 ４１ 主弁 ４２ プランジャ ４３ 連結ロッド ４４ 従動弁 ４５ 排気路 ４６ ディフューザ ４７ ノズル ４８ 真空路 ４９ 真空ポート ５０ プラグ ５１ 排気ポート ５２ 流路ブロック ５３ 弁ブロック ５４ エジェクタ作動用の電磁弁 ５５ 弁ブロック ５６ 真空破壊用の電磁弁 ５７ 空気供給室 ５８ 真空破壊通路 ５９ フィルタ ６０ 圧力センサ ６１ａ〜６１ｄ コネクタ ６２ ケーブル ６３ センサコントローラ ６４ フラットケーブル ６５ 装置コントローラ ６６ 支持台 ６７ コントロールパネル ７１ センサ入力端子 ７５ ＣＰＵ ７５ａ 故障検出回路 ７７ 圧力スイッチ出力端子 ８１ 圧力データ入力端子 ８２ 圧力データ出力端子 ８３ アドレス入力端子 ８４ 電源端子 ９１ 支持ケース ９２ フロントパネル ９３ リアパネル ９４ａ〜９４ｄ コネクタ ９５ 連結金具

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の電子部品を収容する部品供給ステ
   ージと前記電子部品が搭載される被搭載部材を支持する
   搭載ステージとを有する搭載テーブルに沿って水平方向
   に移動自在となった搭載ヘッドを有する電子部品の吸着
   搬送装置であって、 前記搭載ヘッドに取り付けられ、先端に前記電子部品を
   吸着する吸着具を有するピストンロッドを上下方向に駆
   動する四角柱形状の空気圧シリンダと、 前記空気圧シリンダに固定され、ディフューザとこれに
   空気を供給するノズルとからなるエジェクタが内部に組
   み込まれた真空発生ブロックと、 前記空気圧シリンダの上端部に取り付けられ、前記真空
   発生ブロックに形成された給気ポートに連通する給気路
   を開閉して前記ピストンロッドの上下動を制御するピス
   トン作動用の電磁弁と、 前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記給気ポート
   から前記ノズルに連通する給気路を開閉して前記エジェ
   クタの作動を制御するエジェクタ作動用の電磁弁と、 前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記エジェクタ
   により発生した真空を前記吸着具に案内する真空路に連
   通された真空破壊路を開閉する真空破壊用の電磁弁と、 前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記真空路内に
   圧力を検出するセンサとを有する吸着搬送器を前記搬送
   ヘッドに複数個装着し、 前記それぞれの吸着搬送器における前記給気ポートから
   供給された圧縮空気を前記空気圧シリンダと前記エジェ
   クタの前記ノズルと前記真空破壊路とに共通に案内する
   ようにしたことを特徴とする電子部品の吸着搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の電子部品の吸着搬送装置
   において、前記搭載テーブル側に固定設置されたセンサ
   コントローラを有し、 前記センサコントローラに、所定の数の前記吸着搬送器
   の前記圧力センサにケーブルを介して接続される所定数
   の入力端子と、装置コントローラにケーブルを介して接
   続され前記装置コントローラに出力信号を出力する出力
   端子と、前記装置コントローラとの間で制御信号を入出
   力する信号端子とを設け、 前記圧力センサにより前記真空路内の圧力が所定の負圧
   値以上となったときに前記信号端子に検知信号を出力す
   る圧力判定手段と、前記所定の負圧値を入力するしきい
   値入力手段とを有し、 前記搬送ヘッドから離れて固定設置された前記センサコ
   ントローラにおいて圧力検知信号を前記装置コントロー
   ラに送信するようにしたことを特徴とする電子部品の吸
   着搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の電子部品の吸着搬送装
   置において、前記入力端子に前記圧力センサが接続され
   ているときには、負圧値に応じた所定の正常範囲の電圧
   を前記Ａ／Ｄコンバータに出力し、前記圧力センサが接
   続されていないときには０Ｖに設定するセンサ接続検出
   手段を前記センサコントローラに設けたことを特徴とす
   る電子部品の吸着搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項２に記載の電子部品の吸着搬送装
   置において、前記信号端子の入出力信号を８ビットと
   し、圧力センサの選択チャンネル入力と、その読み込み
   ストローブ信号と、エラー信号とを並列の２個のコネク
   タにより前記コントロールパネルに接続するようにした
   ことを特徴とする電子部品の吸着搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項２に記載の電子部品の吸着搬送装
   置において、前記所定の負圧値を入力する手段として、
   センサの選択と圧力データとを１０進数で入力する押し
   ボタンを前記コントロールパネルに設け、前記押しボタ
   ンにより入力された値を表示する表示部を前記コントロ
   ールパネルに設けたことを特徴とする電子部品の吸着搬
   送装置。