JPH11214903A - Field effect transistor - Google Patents
Field effect transistorInfo
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- JPH11214903A JPH11214903A JP10025130A JP2513098A JPH11214903A JP H11214903 A JPH11214903 A JP H11214903A JP 10025130 A JP10025130 A JP 10025130A JP 2513098 A JP2513098 A JP 2513098A JP H11214903 A JPH11214903 A JP H11214903A
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- effect transistor
- field effect
- chip
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/541—Dispositions of bond wires
- H10W72/5445—Dispositions of bond wires being orthogonal to a side surface of the chip, e.g. parallel arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は電界効果トランジス
タ(以下FETという)、特に高周波電力増幅に好適な
ガリウムひ素化合物(GaAs)FETに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field effect transistor (hereinafter referred to as "FET"), and more particularly to a gallium arsenide (GaAs) FET suitable for high frequency power amplification.
【0002】[0002]
【従来の技術】直線性(リニアリティ)が良好であると
共に入力電力消費が実質的になく真空管と同様の動作特
性を有するので、FETは真空管の代替増幅器として広
く使用されている。2. Description of the Related Art FETs are widely used as alternative amplifiers for vacuum tubes because of their good linearity, substantially no input power consumption, and operating characteristics similar to vacuum tubes.
【0003】斯るFETには使用する半導体材料によ
り、シリコンをベースとするものと、GaAsを中心と
する化合物半導体をベースとするものとに2分される。
特にキャリアの移動度(モービリティ)が大きいので、
GaAs FETは高周波信号増幅用に広く使用されて
おり、高周波電力増幅にはパワーGaAs FETが使
用されている。[0003] Depending on the semiconductor material used, such FETs are divided into those based on silicon and those based on compound semiconductors centered on GaAs.
Especially since the mobility of the carrier is large,
GaAs FETs are widely used for high frequency signal amplification, and power GaAs FETs are used for high frequency power amplification.
【0004】斯るFETの従来技術は、例えば実開昭6
0−66048号公報、特開昭64−4710号公報及
び特開平2−246251号公報等に開示されている。
これら従来のFETの構成を以下に添付図、特に図2及
び図3を参照して説明する。先ず図2の従来のFETに
あっては、FETチップ5をパッケージヒートシンク部
1上に直接載置する。このヒートシンク部1は例えばア
ルミニウム等の良熱伝導性金属により形成されるのが一
般的である。このFETチップ5を包囲する、例えば矩
形状の絶縁セラミック部2をヒートシンク部1に被着形
成する。この絶縁セラミック部2の上面にパッケージリ
ード部3を固定する。FETチップ5の電極とパッケー
ジリード部3間は、例えば金細線を使用した周知のボン
ディングワイヤ4により電気的接続を行う。The prior art of such an FET is disclosed in, for example,
No. 0-66048, JP-A-64-4710 and JP-A-2-246251.
The structure of these conventional FETs will be described below with reference to the accompanying drawings, particularly FIGS. First, in the conventional FET shown in FIG. 2, the FET chip 5 is directly mounted on the package heat sink portion 1. The heat sink 1 is generally formed of a good heat conductive metal such as aluminum. For example, a rectangular insulating ceramic portion 2 surrounding the FET chip 5 is formed on the heat sink portion 1. The package lead part 3 is fixed on the upper surface of the insulating ceramic part 2. Electrical connection is made between the electrode of the FET chip 5 and the package lead section 3 by a well-known bonding wire 4 using, for example, a gold wire.
【0005】また、図3に示す従来のFETにあって
は、パッケージヒートシンク部1’、FETチップ
5’、絶縁セラミック部2’、パッケージリード部3’
は図2のFETと同様である。しかし、図3のFETは
FETチップ5’の両側と絶縁セラミック部2の内壁間
にチップコンデンサ6a、6bを配置する点で図2のF
ETと相違する。そこで、FETチップ5’の電極は、
極めて短いボンディングワイヤ4aによりチップコンデ
ンサ6a、6bと接続され、更にチップコンデンサ6
a、6bからパッケージリード部3’にボンディングワ
イヤ4bを介して電気的接続する。In the conventional FET shown in FIG. 3, a package heat sink portion 1 ', an FET chip 5', an insulating ceramic portion 2 ', and a package lead portion 3' are provided.
Is similar to the FET of FIG. However, the FET of FIG. 3 differs from the FET of FIG. 2 in that chip capacitors 6a and 6b are arranged between both sides of the FET chip 5 'and the inner wall of the insulating ceramic portion 2.
Different from ET. Therefore, the electrode of the FET chip 5 '
The chip capacitors 6a and 6b are connected by an extremely short bonding wire 4a.
a and 6b are electrically connected to the package lead portions 3 'via bonding wires 4b.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】近年のエレクトロニク
ス分野にあってはFETは高出力化、高利得化の要求が
進んでいる。その為に、FETチップのゲート幅が増加
し低インピーダンス化及びボンディングワイヤとパッケ
ージリード部間のインダクタンス増加が問題となる。In the field of electronics in recent years, there is an increasing demand for FETs with higher output and higher gain. For this reason, the gate width of the FET chip increases, which causes problems such as lowering the impedance and increasing the inductance between the bonding wire and the package lead.
【0007】しかし、図2のFETにあっては外部整合
回路を使用しても高利得且つ高出力化が困難であった。However, in the FET shown in FIG. 2, it is difficult to achieve high gain and high output even if an external matching circuit is used.
【0008】また、図3のFETにあっては、チップコ
ンデンサにより整合をとる内部整合型である為に高周波
において高利得且つ高出力特性が得られるが、図2のF
ETに比べて部品点数が増加すると共に組立又は製造工
数が増加しコスト上昇を招来するという問題があった。The FET shown in FIG. 3 is of an internal matching type in which a chip capacitor is used for matching, so that high gain and high output characteristics can be obtained at high frequencies.
There has been a problem that the number of parts increases and the number of assembling or manufacturing steps increases as compared with ET, resulting in an increase in cost.
【0009】従って、本発明の目的は少ない部品点数を
用い且つ組立工数を低減し、良好な高周波増幅特性を有
するFET、特に電力用GaAs FETを提供するこ
とである。Accordingly, it is an object of the present invention to provide an FET, especially a power GaAs FET, which uses a small number of parts and reduces the number of assembling steps and has good high-frequency amplification characteristics.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本発明による電界効果トランジスタは、次のよう
な特徴的な構成を備えている。In order to solve the above-mentioned problems, a field-effect transistor according to the present invention has the following characteristic configuration.
【0011】(1)パッケージヒートシンク部上に配置
したFETチップを、絶縁セラミック部の上面のパッケ
ージリード部にボンディングワイヤで接続する電界効果
トランジスタにおいて、前記絶縁セラミック部を前記F
ETチップ側に拡げると共に上面にオープンスタブを形
成する電界効果トランジスタ。(1) In a field effect transistor in which an FET chip arranged on a package heat sink is connected to a package lead on the upper surface of an insulating ceramic part by a bonding wire, the insulating ceramic part is connected to the F.
A field-effect transistor that extends toward the ET chip and forms an open stub on the top.
【0012】(2)前記オープンスタブを複数に分離形
成し、ボンディングワイヤにより選択的に接続する
(1)の電界効果トランジスタ。(2) The field effect transistor according to (1), wherein the open stub is separately formed into a plurality of pieces and selectively connected by a bonding wire.
【0013】(3)前記オープンスタブを選択的に分離
する(1)の電界効果トランジスタ。(3) The field effect transistor according to (1), wherein the open stub is selectively separated.
【0014】(4)前記オープンスタブを予め3分割形
成した(2)の電界効果トランジスタ。(4) The field-effect transistor according to (2), wherein the open stub is divided into three parts in advance.
【0015】(5)前記FETチップは電力用GaAS
FETである(1)乃至(4)の電界効果トランジス
タ。(5) The FET chip is a power GaAs.
The field effect transistors according to (1) to (4), which are FETs.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
よる電界効果トランジスタの好適実施形態を詳細に説明
する。尚、この実施形態は単に例示にすぎず本発明の範
囲を制限するものではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a field effect transistor according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Note that this embodiment is merely an example and does not limit the scope of the present invention.
【0017】図1は、本発明の電力用GaAs FET
の好適実施例を示し、(A)は平面図、(B)は断面図
である。このFETはパッケージヒートシンク部11、
FETチップ15、絶縁セラミック部12、その上面の
パッケージリード部13を有する点で図2のFETと類
似する構成を有する。しかし、図1(A)及び(B)か
ら明らかな如く、絶縁セラミック部12がFETチップ
15方向、即ち内方に拡がり、両者間の間隔を狭くして
いる点に注目されたい。これにより、FETチップ15
とパッケージリード部13間のボンディングワイヤ14
が極めて短くなり、そのインダクタンスを低減させてい
る。FIG. 1 shows a power GaAs FET of the present invention.
3A is a plan view, and FIG. 3B is a cross-sectional view. This FET has a package heat sink 11,
It has a configuration similar to that of the FET of FIG. 2 in that it has an FET chip 15, an insulating ceramic portion 12, and a package lead portion 13 on the upper surface thereof. However, as is clear from FIGS. 1A and 1B, it should be noted that the insulating ceramic portion 12 extends in the direction of the FET chip 15, that is, inwardly, and narrows the space therebetween. Thereby, the FET chip 15
Bonding wire 14 between package lead portion 13
Is extremely short, and its inductance is reduced.
【0018】更に、本発明のFETにあっては、図1
(A)の平面図から明らかな如く、絶縁セラミック部2
の上面に例えばアルミニウムの蒸着等により形成される
オープンスタブ17を有する。この好適実施例による
と、オープンスタブ17は、及びで示す3段階に
分離して形成されている。これら3段階のオープンスタ
ブ17は、必要に応じてボンディングワイヤ18により
相互接続可能にする。Further, in the FET of the present invention, FIG.
As is clear from the plan view of FIG.
Has an open stub 17 formed by, for example, aluminum evaporation or the like. According to this preferred embodiment, the open stub 17 is formed separately in three stages indicated by and. These three-stage open stubs 17 can be interconnected by bonding wires 18 as necessary.
【0019】斯る構成のFETにあっては、ボンディン
グワイヤ14のインダクタンスは図2の従来例のFET
に比して小さくなる。また、パッケージリード部13の
インダクタンス成分は、オープンスタブ17の形成によ
り高周波ではコンデンサ成分を形成し、チップコンデン
サと同様の作用をすることに注目されたい。従って、図
3に示した従来のFETの如くチップコンデンサを使用
することなく内部整合が可能になる。即ち、外部のイン
ダクタンス及びキャパシタンス(コンデンサ)による外
部整合により高利得且つ高出力特性が実現できる。In the FET having such a configuration, the inductance of the bonding wire 14 is equal to that of the conventional FET shown in FIG.
Smaller than It should be noted that the inductance component of the package lead portion 13 forms a capacitor component at a high frequency due to the formation of the open stub 17, and has the same effect as a chip capacitor. Therefore, internal matching is possible without using a chip capacitor as in the conventional FET shown in FIG. That is, high gain and high output characteristics can be realized by external matching using external inductance and capacitance (capacitor).
【0020】また、オープンスタブ17を複数に分離
し、ボンディングワイヤ18を用いて組合せ(相互接
続)することにより、広い範囲の帯域での使用が可能と
なる。更にまた、複数に分離したオープンスタブ17
は、ボンディングワイヤ18と共に量産時のFETの特
性のバラツキを補正(調整)するという効果を有する。Further, by separating the open stub 17 into a plurality of parts and combining (interconnecting) them with the bonding wires 18, it is possible to use the band in a wide range. Furthermore, the open stub 17 separated into a plurality
Has the effect of correcting (adjusting) variations in the characteristics of the FET during mass production together with the bonding wire 18.
【0021】以上、本発明のFETの好適実施例を説明
したが、本発明のFETは絶縁セラミック部12を幅広
とし、その上面にメタライズしたオープンスタブ17を
形成したことを特徴とする。本発明は上述の実施例に制
限することなく種々の変形変更が可能である。例えばオ
ープンスタブは連続して形成し、製造/組立後にレーザ
ービーム等によりトリミング(切断)することにより、
パッケージリード部13のキャパシタンス成分を所望最
適値に調節してもよい。The preferred embodiment of the FET according to the present invention has been described above. The FET according to the present invention is characterized in that the insulating ceramic portion 12 is widened and the metalized open stub 17 is formed on the upper surface thereof. The present invention can be variously modified without being limited to the above embodiment. For example, open stubs are formed continuously and trimmed (cut) with a laser beam etc. after manufacturing / assembly,
The capacitance component of the package lead 13 may be adjusted to a desired optimum value.
【0022】[0022]
【発明の効果】上述の説明から理解される如く、本発明
のFETによると、FETチップを包囲してパッケージ
ヒートシンク部に形成される絶縁セラミック部をFET
チップ側に拡げ、絶縁セラミック部の上面の幅を広く
し、その上面にメタライズしたオープンスタブを形成す
ることによりキャパシタンス成分を付与して内部整合を
行っている。従って、少ない部品点数で優れた電気的特
性を有するFETが安価に得られ、必要に応じて又は製
造上のバラツキを補正して、キャパシタンス成分の調節
が可能になるという実用上の顕著な作用効果を呈する。As can be understood from the above description, according to the FET of the present invention, the insulating ceramic portion formed around the FET chip and formed on the package heat sink portion is formed by the FET.
Spreading to the chip side, the width of the upper surface of the insulating ceramic portion is widened, and a metallized open stub is formed on the upper surface to impart a capacitance component to perform internal matching. Therefore, an FET having excellent electrical characteristics with a small number of parts can be obtained at a low cost, and the capacitance component can be adjusted if necessary or by correcting the manufacturing variation, thereby making it possible to adjust the capacitance component. Present.
【図1】本発明の好適実施例によるFETを示し、
(A)は平面図、(B)は断面図である。FIG. 1 shows a FET according to a preferred embodiment of the present invention;
(A) is a plan view and (B) is a sectional view.
【図2】従来のFETの一例を示し、(A)は平面図、
(B)は断面図である。FIG. 2 shows an example of a conventional FET, where (A) is a plan view,
(B) is a sectional view.
【図3】従来のFETの他の例を示し、(A)は平面
図、(B)は断面図である。3A and 3B show another example of a conventional FET, in which FIG. 3A is a plan view and FIG. 3B is a cross-sectional view.
11 パッケージヒートシンク部 12 絶縁セラミック部 13 パッケージリード部 14、18 ボンディングワイヤ 15 FETチップ 17 オープンスタブ 11 Package Heat Sink 12 Insulating Ceramic 13 Package Lead 14, 18 Bonding Wire 15 FET Chip 17 Open Stub
Claims (5)
ETチップを、絶縁セラミック部の上面のパッケージリ
ード部にボンディングワイヤで接続する電界効果トラン
ジスタにおいて、前記絶縁セラミック部を前記FETチ
ップ側に拡げると共に上面にオープンスタブを形成する
ことを特徴とする電界効果トランジスタ。An F disposed on a heat sink of a package.
A field effect transistor in which an ET chip is connected to a package lead portion on an upper surface of an insulating ceramic portion by a bonding wire, wherein the insulating ceramic portion is expanded toward the FET chip and an open stub is formed on the upper surface. Transistor.
ボンディングワイヤにより選択的に接続することを特徴
とする請求項1の電界効果トランジスタ。2. The method according to claim 1, wherein the open stub is separated into a plurality of pieces.
2. The field effect transistor according to claim 1, wherein the field effect transistor is selectively connected by a bonding wire.
とを特徴とする請求項1の電界効果トランジスタ。3. The field effect transistor according to claim 1, wherein said open stub is selectively separated.
ことを特徴とする請求項2の電界効果トランジスタ。4. The field effect transistor according to claim 2, wherein said open stub is formed in advance into three parts.
Tであることを特徴とする請求項1乃至4の電界効果ト
ランジスタ。5. The power semiconductor device according to claim 1, wherein the FET chip is a power GaAs FE.
5. The field effect transistor according to claim 1, wherein T is T.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025130A JPH11214903A (en) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | Field effect transistor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025130A JPH11214903A (en) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | Field effect transistor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11214903A true JPH11214903A (en) | 1999-08-06 |
Family
ID=12157387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10025130A Pending JPH11214903A (en) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | Field effect transistor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11214903A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3113218A4 (en) * | 2014-02-26 | 2017-11-01 | Kyocera Corporation | Electronic-component-containing package and electronic device |
-
1998
- 1998-01-22 JP JP10025130A patent/JPH11214903A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3113218A4 (en) * | 2014-02-26 | 2017-11-01 | Kyocera Corporation | Electronic-component-containing package and electronic device |
| US10014233B2 (en) | 2014-02-26 | 2018-07-03 | Kyocera Corporation | Electronic component containing package and electronic device |
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