JPH11216656A - ワイヤーソーによるワーク切断加工方法 - Google Patents
ワイヤーソーによるワーク切断加工方法Info
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- JPH11216656A JPH11216656A JP3382498A JP3382498A JPH11216656A JP H11216656 A JPH11216656 A JP H11216656A JP 3382498 A JP3382498 A JP 3382498A JP 3382498 A JP3382498 A JP 3382498A JP H11216656 A JPH11216656 A JP H11216656A
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- Japan
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- work
- wire saw
- cutting
- cutting method
- processing
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤーソーによるワークの切断加工時、ワ
ークの発熱を抑えて、ワークの変形や切断加工品の変形
を防止し、精度の高い切断加工品を得る。 【解決手段】 ワイヤーソーによるワークの切断加工に
おいて、加工中のワークに冷却用エアーを吹き付け、加
工時の発熱を抑えて、高精度の加工を行う。
ークの発熱を抑えて、ワークの変形や切断加工品の変形
を防止し、精度の高い切断加工品を得る。 【解決手段】 ワイヤーソーによるワークの切断加工に
おいて、加工中のワークに冷却用エアーを吹き付け、加
工時の発熱を抑えて、高精度の加工を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤーソーによ
るワーク切断加工方法に係り、特に切断加工によるワー
クの発熱を抑える方法に関するものである。
るワーク切断加工方法に係り、特に切断加工によるワー
クの発熱を抑える方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤーソーは、図５に示すように３本
（又は４本）のメインローラ１に、ワイヤー（ピアノ
線）２を一定ピッチに多数平行に巻き付け、このワイヤ
ー列３に円柱状のワーク４を横向き水平にして押し当
て、ワイヤー２をその線方向に送りながらワーク４とワ
イヤー２の間に砥粒を含む加工液５をノズル６より噴射
供給することにより、ラッピング作用でワーク４を切断
してスライス品を得るものであり、一定厚さのスライス
品を多数枚同時に得ることができる。
（又は４本）のメインローラ１に、ワイヤー（ピアノ
線）２を一定ピッチに多数平行に巻き付け、このワイヤ
ー列３に円柱状のワーク４を横向き水平にして押し当
て、ワイヤー２をその線方向に送りながらワーク４とワ
イヤー２の間に砥粒を含む加工液５をノズル６より噴射
供給することにより、ラッピング作用でワーク４を切断
してスライス品を得るものであり、一定厚さのスライス
品を多数枚同時に得ることができる。
【０００３】ところで、上記ワイヤーソーでは、砥粒を
含む加工液４をワーク４の切断加工箇所に供給している
ものの、ワーク４の冷却は不充分で、ワーク４が切断加
工により発熱し、切断加工品であるスライス品に反りが
生じる恐れがあり、また寸法精度が低下する恐れがあ
る。
含む加工液４をワーク４の切断加工箇所に供給している
ものの、ワーク４の冷却は不充分で、ワーク４が切断加
工により発熱し、切断加工品であるスライス品に反りが
生じる恐れがあり、また寸法精度が低下する恐れがあ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、ワイ
ヤーソーによるワークの切断加工時、ワークの発熱を抑
えて、ワークの変形や切断加工品の変形を防止し、精度
の高い切断加工品を得ることのできるワイヤーソーによ
るワーク切断加工方法を提供しようとするものである。
ヤーソーによるワークの切断加工時、ワークの発熱を抑
えて、ワークの変形や切断加工品の変形を防止し、精度
の高い切断加工品を得ることのできるワイヤーソーによ
るワーク切断加工方法を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のワイヤーソーによるワーク切断加工方法は、
ワイヤーソーによるワークの切断加工において、加工中
のワークに冷却用エアーを吹き付け、加工時の発熱を抑
えて、高精度加工を行うことを特徴とするものである。
の本発明のワイヤーソーによるワーク切断加工方法は、
ワイヤーソーによるワークの切断加工において、加工中
のワークに冷却用エアーを吹き付け、加工時の発熱を抑
えて、高精度加工を行うことを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明のワイヤーソーによるワー
ク切断加工方法の実施形態を図１によって説明すると、
３本（又は４本）のメインローラ１に、ワイヤー（ピア
ノ線）２を一定ピッチに多数平行に巻き付け、このワイ
ヤー列３に円柱状のワーク、本例の場合半導体インゴッ
ト４を横向き水平にして押し当て、ワイヤー２をその線
方向に送りながら半導体インゴット４とワイヤー２の間
に砥粒を含む加工液５をノズル６より噴射供給し、ラッ
ピング作用により半導体インゴット４をスライス加工し
てウエーハを形成するに於いて、スライス加工中の半導
体インゴット４に図２に示すようにエアーノズル７から
１０℃〜２５℃の冷却用エアー８を２０ｌ／ｍｉｎ〜２
００ｌ／ｍｉｎで吹き付けて半導体インゴット４を冷却
し、加工時の半導体インゴット４の発熱を抑えて、高精
度加工を行う。かくして、スライス加工時半導体インゴ
ット４の変形が防止され、スライス加工品であるウエー
ハの変形も防止され、ウエーハの精度、特に平面精度が
向上する。
ク切断加工方法の実施形態を図１によって説明すると、
３本（又は４本）のメインローラ１に、ワイヤー（ピア
ノ線）２を一定ピッチに多数平行に巻き付け、このワイ
ヤー列３に円柱状のワーク、本例の場合半導体インゴッ
ト４を横向き水平にして押し当て、ワイヤー２をその線
方向に送りながら半導体インゴット４とワイヤー２の間
に砥粒を含む加工液５をノズル６より噴射供給し、ラッ
ピング作用により半導体インゴット４をスライス加工し
てウエーハを形成するに於いて、スライス加工中の半導
体インゴット４に図２に示すようにエアーノズル７から
１０℃〜２５℃の冷却用エアー８を２０ｌ／ｍｉｎ〜２
００ｌ／ｍｉｎで吹き付けて半導体インゴット４を冷却
し、加工時の半導体インゴット４の発熱を抑えて、高精
度加工を行う。かくして、スライス加工時半導体インゴ
ット４の変形が防止され、スライス加工品であるウエー
ハの変形も防止され、ウエーハの精度、特に平面精度が
向上する。
【０００７】図３に示すように前記エアーノズル７の円
柱状のワーク（横向き水平にした半導体インゴット）４
に対するエアー吹き付け角度θは、２０°〜９０°、好
ましくは５０°〜８０°であり、本例の場合７０°であ
る。この時のエアーノズル７の中心線はワーク４の中心
Ｏに対し４５度傾いた位置にあり、ワーク４のエアー吹
き付面の下縁はワーク４の中心に対し２０度傾いた位置
にある。
柱状のワーク（横向き水平にした半導体インゴット）４
に対するエアー吹き付け角度θは、２０°〜９０°、好
ましくは５０°〜８０°であり、本例の場合７０°であ
る。この時のエアーノズル７の中心線はワーク４の中心
Ｏに対し４５度傾いた位置にあり、ワーク４のエアー吹
き付面の下縁はワーク４の中心に対し２０度傾いた位置
にある。
【０００８】また、前記エアーノズル７は図４のａに示
すように角筒型で、水平長さ５００ｍｍ、斜辺長さ３０
ｍｍで、一側面にエアー導入パイプ７ａが設けられてい
るが、これに限るものではなく、図４のｂに示すように
円筒型で、水平長さ５００ｍｍ、直径３０ｍｍで、一側
面にエアー導入パイプ７ａが設けられたエアーノズル
７′でもよい。
すように角筒型で、水平長さ５００ｍｍ、斜辺長さ３０
ｍｍで、一側面にエアー導入パイプ７ａが設けられてい
るが、これに限るものではなく、図４のｂに示すように
円筒型で、水平長さ５００ｍｍ、直径３０ｍｍで、一側
面にエアー導入パイプ７ａが設けられたエアーノズル
７′でもよい。
【０００９】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明のワイヤ
ーソーによるワーク切断加工方法は、ワークの切断加工
中ワークに冷却用エアーを吹き付けて発熱を抑えるの
で、ワークの変形が防止され、その結果切断加工品の変
形が防止されて、切断加工品の精度、特に平面精度が向
上する。
ーソーによるワーク切断加工方法は、ワークの切断加工
中ワークに冷却用エアーを吹き付けて発熱を抑えるの
で、ワークの変形が防止され、その結果切断加工品の変
形が防止されて、切断加工品の精度、特に平面精度が向
上する。
【図１】本発明のワイヤーソーによるワーク切断加工方
法を示す概略斜視図である。
法を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示すワーク切断加工方法において、切断
加工中のワークに冷却エアーを吹き付けている状態を示
す概略側面図である。
加工中のワークに冷却エアーを吹き付けている状態を示
す概略側面図である。
【図３】図２に示されるワークに対するエアーノズルの
吹き付け角度及びエアーノズルの位置を示す図である。
吹き付け角度及びエアーノズルの位置を示す図である。
【図４】ａは図２に示されるエアーノズルの形状、寸法
を示す斜視図で、ｂはこれに代わるエアーノズルの形
状、寸法を示す斜視図である。
を示す斜視図で、ｂはこれに代わるエアーノズルの形
状、寸法を示す斜視図である。
【図５】従来のワイヤーソーによるワーク切断加工方法
を示す概略斜視図である。
を示す概略斜視図である。
１ メインローラ ２ ワイヤー ４ ワーク（半導体インゴット） ５ 砥粒を含む加工液 ６ ノズル ７，７′ エアーノズル ８ 冷却用エアー
Claims (1)
- 【請求項１】 ワイヤーソーによるワーク切断加工にお
いて、加工中のワークに冷却用エアーを吹き付け、加工
時の発熱を抑えて、高精度加工を行うことを特徴とする
ワイヤーソーによるワーク切断加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3382498A JPH11216656A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ワイヤーソーによるワーク切断加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3382498A JPH11216656A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ワイヤーソーによるワーク切断加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11216656A true JPH11216656A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12397246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3382498A Pending JPH11216656A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ワイヤーソーによるワーク切断加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11216656A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000043162A1 (fr) * | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Fil helicoidal et procede de decoupe |
| JP2001322052A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-20 | Makino Milling Mach Co Ltd | 機械加工方法及び装置 |
| JP2007320011A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤソー |
| WO2009053004A1 (de) * | 2007-10-19 | 2009-04-30 | Meyer Burger Technology Ag | Drahtsägen mit thixotropen läppsuspensionen |
| KR101464819B1 (ko) * | 2011-01-12 | 2014-11-25 | 실트로닉 아게 | 와이어 소잉 가공 중에 반도체 재료로 이루어진 공작물의 냉각 방법 |
| CN104760147A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-07-08 | 唐山晶玉科技有限公司 | 一种用于多线切割机的砂浆复合喷淋装置 |
| WO2016200003A1 (ko) * | 2015-06-08 | 2016-12-15 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
| DE102016224640A1 (de) | 2016-12-09 | 2018-06-14 | Siltronic Ag | Verfahren zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge |
| DE10157433B4 (de) | 2000-11-24 | 2019-05-29 | Hitachi Metals, Ltd. | Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung, Verfahren zur Herstellung eines Seltenerdmetall-Magneten und Drahtsäge-Vorrichtung |
| CN116749371A (zh) * | 2023-08-24 | 2023-09-15 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 一种晶棒切削装置和晶片生产系统 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP3382498A patent/JPH11216656A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1097782A4 (en) * | 1999-01-20 | 2005-05-18 | Shinetsu Handotai Kk | HELICOIDAL WIRE AND CUTTING METHOD |
| WO2000043162A1 (fr) * | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Fil helicoidal et procede de decoupe |
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| KR20160144171A (ko) * | 2015-06-08 | 2016-12-16 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
| CN107708949A (zh) * | 2015-06-08 | 2018-02-16 | 爱思开矽得荣株式会社 | 晶锭切割装置 |
| JP2018515940A (ja) * | 2015-06-08 | 2018-06-14 | エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド | インゴット切断装置 |
| US10377056B2 (en) | 2015-06-08 | 2019-08-13 | Sk Siltron Co., Ltd. | Ingot slicing apparatus |
| DE102016224640A1 (de) | 2016-12-09 | 2018-06-14 | Siltronic Ag | Verfahren zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge |
| DE102016224640B4 (de) | 2016-12-09 | 2024-03-28 | Siltronic Ag | Verfahren zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge |
| CN116749371A (zh) * | 2023-08-24 | 2023-09-15 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 一种晶棒切削装置和晶片生产系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20041026 |