JPH11218093A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH11218093A JPH11218093A JP3402998A JP3402998A JPH11218093A JP H11218093 A JPH11218093 A JP H11218093A JP 3402998 A JP3402998 A JP 3402998A JP 3402998 A JP3402998 A JP 3402998A JP H11218093 A JPH11218093 A JP H11218093A
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- JP
- Japan
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- exhaust
- rotor
- screw groove
- molecular pump
- turbo
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 10
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 翼排気部とねじ溝排気部を具備する広域型の
ターボ分子ポンプにおいて、ロータの排気側の応力はそ
のままとして信頼性を損なわず、排気性能を向上させる
ことができるターボ分子ポンプを提供すること。 【解決手段】 ポンプケーシング１内にロータＲ側の回
転筒状部５の外周に設けられた複数の回転翼１２と複数
のステータ側の固定翼１５が交互に配置された翼排気部
Ｌ1と、該翼排気部Ｌ1の下流側のステータＳ側又はロー
タＲ側の少なくとも一方にねじ溝を有するねじ溝排気部
Ｌ2とが設けられた構造のターボ分子ポンプにおいて、
ねじ溝排気部Ｌ2のロータＲの排気側の外径寸法を吸気
側の外径寸法より小さくした。
ターボ分子ポンプにおいて、ロータの排気側の応力はそ
のままとして信頼性を損なわず、排気性能を向上させる
ことができるターボ分子ポンプを提供すること。 【解決手段】 ポンプケーシング１内にロータＲ側の回
転筒状部５の外周に設けられた複数の回転翼１２と複数
のステータ側の固定翼１５が交互に配置された翼排気部
Ｌ1と、該翼排気部Ｌ1の下流側のステータＳ側又はロー
タＲ側の少なくとも一方にねじ溝を有するねじ溝排気部
Ｌ2とが設けられた構造のターボ分子ポンプにおいて、
ねじ溝排気部Ｌ2のロータＲの排気側の外径寸法を吸気
側の外径寸法より小さくした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速回転する回転
翼により気体の排気を行うターボ分子ポンプに係り、特
に大流量までの広い流量域で排気が可能な所謂広域型の
ターボ分子ポンプに関するものである。
翼により気体の排気を行うターボ分子ポンプに係り、特
に大流量までの広い流量域で排気が可能な所謂広域型の
ターボ分子ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のこの種の広域型のターボ分
子ポンプの構造例を示す断面図である。図示するよう
に、ターボ分子ポンプはポンプケーシング１の内部にロ
ータＲとステータＳにより構成される翼排気部Ｌ1及び
ねじ溝排気部Ｌ2からなる排気部を具備し、該ねじ溝排
気部Ｌ2の排気側はポンプケーシング１の排気口２０に
連通している。ロータＲは主軸４とこれと一体に回転す
る回転筒状部５を具備する。ステータＳは主軸４を取り
囲む固定筒状部３及び基部２を具備するステータ本体か
ら構成されている。
子ポンプの構造例を示す断面図である。図示するよう
に、ターボ分子ポンプはポンプケーシング１の内部にロ
ータＲとステータＳにより構成される翼排気部Ｌ1及び
ねじ溝排気部Ｌ2からなる排気部を具備し、該ねじ溝排
気部Ｌ2の排気側はポンプケーシング１の排気口２０に
連通している。ロータＲは主軸４とこれと一体に回転す
る回転筒状部５を具備する。ステータＳは主軸４を取り
囲む固定筒状部３及び基部２を具備するステータ本体か
ら構成されている。
【０００３】回転筒状部５の上部外周部には回転翼１２
が一体に設けられて羽根車１３を構成する。一方、ポン
プケーシング１の内面には回転翼１２と交互に固定翼ス
ペーサ１４を介在させて固定翼１５が配置されている。
これによって、高速回転する回転翼１２と静止している
固定翼１５との相互作用によって排気を行う前記翼排気
部Ｌ1が形成される。更に、回転筒状部５には下方に延
出する外周にねじ溝１８ａが形成されたねじ溝部１８が
一体に設けられている。一方、ステータＳにはねじ溝部
１８の外周を囲繞するねじ溝部スペーサ１９が配置され
ている。これによって高速回転するねじ溝部１８のドラ
ッグ作用によって排気を行うねじ溝排気部Ｌ2が形成さ
れている。
が一体に設けられて羽根車１３を構成する。一方、ポン
プケーシング１の内面には回転翼１２と交互に固定翼ス
ペーサ１４を介在させて固定翼１５が配置されている。
これによって、高速回転する回転翼１２と静止している
固定翼１５との相互作用によって排気を行う前記翼排気
部Ｌ1が形成される。更に、回転筒状部５には下方に延
出する外周にねじ溝１８ａが形成されたねじ溝部１８が
一体に設けられている。一方、ステータＳにはねじ溝部
１８の外周を囲繞するねじ溝部スペーサ１９が配置され
ている。これによって高速回転するねじ溝部１８のドラ
ッグ作用によって排気を行うねじ溝排気部Ｌ2が形成さ
れている。
【０００４】ねじ溝排気部Ｌ2の構成には、図５に示す
ように、図４のねじ溝部１８に相当する円筒部１８’の
外周にはねじ溝を形成せず、ねじ溝部スペーサ１９の内
周にねじ溝１９ａを形成したものもある。
ように、図４のねじ溝部１８に相当する円筒部１８’の
外周にはねじ溝を形成せず、ねじ溝部スペーサ１９の内
周にねじ溝１９ａを形成したものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように翼排気部
Ｌ1及びねじ溝排気部Ｌ2を具備する構造の広域型のター
ボ分子ポンプにおいては、加工性の観点からねじ溝部１
８の外径寸法（ねじ溝部１８にねじ溝１８ａが形成され
ている場合はねじ溝１８ａの外径寸法）は吸引側と排気
側が同じであった。そのため、ねじ溝部１８は排気側の
応力によって排気性能が限定されてしまうという欠点が
ある。
Ｌ1及びねじ溝排気部Ｌ2を具備する構造の広域型のター
ボ分子ポンプにおいては、加工性の観点からねじ溝部１
８の外径寸法（ねじ溝部１８にねじ溝１８ａが形成され
ている場合はねじ溝１８ａの外径寸法）は吸引側と排気
側が同じであった。そのため、ねじ溝部１８は排気側の
応力によって排気性能が限定されてしまうという欠点が
ある。
【０００６】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、翼排気部とねじ溝排気部を具備する広域型のターボ
分子ポンプにおいて、ロータの排気側の応力はそのまま
として信頼性を損なわず、排気性能を向上させることが
できるターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
で、翼排気部とねじ溝排気部を具備する広域型のターボ
分子ポンプにおいて、ロータの排気側の応力はそのまま
として信頼性を損なわず、排気性能を向上させることが
できるターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、ポンプケーシング内にロータ
側の回転筒状部の外周に設けられた複数の回転翼と複数
のステータ側の固定翼が交互に配置された翼排気部と、
該翼排気部の下流側のステータ側又はロータ側の少なく
とも一方にねじ溝を有するねじ溝排気部とが設けられた
構造のターボ分子ポンプにおいて、ねじ溝排気部のロー
タの吸気側の外径寸法を排気側の外径寸法より大きくし
たことを特徴とする。
請求項１に記載の発明は、ポンプケーシング内にロータ
側の回転筒状部の外周に設けられた複数の回転翼と複数
のステータ側の固定翼が交互に配置された翼排気部と、
該翼排気部の下流側のステータ側又はロータ側の少なく
とも一方にねじ溝を有するねじ溝排気部とが設けられた
構造のターボ分子ポンプにおいて、ねじ溝排気部のロー
タの吸気側の外径寸法を排気側の外径寸法より大きくし
たことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明のターボ分子ポン
プの構造例を示す断面図である。本ターボ分子ポンプは
ロータ（回転部）Ｒとステータ（固定部）Ｓにより構成
されている。ステータＳはポンプケーシング１と基部２
と固定筒状部３が一体となって主に構成され、ロータＲ
は主軸４と回転筒状部５とから主に構成される。ポンプ
ケーシング１の内部にロータＲとステータＳにより翼排
気部Ｌ1及びねじ溝排気部Ｌ2が構成されている点は図４
の従来構造と同一である。
面に基づいて説明する。図１は本発明のターボ分子ポン
プの構造例を示す断面図である。本ターボ分子ポンプは
ロータ（回転部）Ｒとステータ（固定部）Ｓにより構成
されている。ステータＳはポンプケーシング１と基部２
と固定筒状部３が一体となって主に構成され、ロータＲ
は主軸４と回転筒状部５とから主に構成される。ポンプ
ケーシング１の内部にロータＲとステータＳにより翼排
気部Ｌ1及びねじ溝排気部Ｌ2が構成されている点は図４
の従来構造と同一である。
【０００９】本発明のターボ分子ポンプが従来のターボ
分子ポンプと異なる点は、ねじ溝排気部Ｌ2のねじ溝部
１８の外周に形成されたねじ溝１８ａの外径寸法を吸気
側を排気側より大きくした点にある。つまり、図４の従
来例では、ねじ溝部１８の円筒部の肉厚を吸気側を薄
く、排気側を厚くし、その外周に形成するねじ溝１８ａ
の深さを吸気側が深く、排気側を浅くし、ねじ溝部１８
全体の外径寸法を吸気側と排気側を同じにしていたが、
本実施形態例では、ねじ溝部１８の円筒部の肉厚を均等
にし、外周に形成されるねじ溝１８ａの深さを吸気側が
深く、排気側を浅くし、ねじ溝部１８全体の外径寸法を
吸気側を大きく、排気側を小さくしている。
分子ポンプと異なる点は、ねじ溝排気部Ｌ2のねじ溝部
１８の外周に形成されたねじ溝１８ａの外径寸法を吸気
側を排気側より大きくした点にある。つまり、図４の従
来例では、ねじ溝部１８の円筒部の肉厚を吸気側を薄
く、排気側を厚くし、その外周に形成するねじ溝１８ａ
の深さを吸気側が深く、排気側を浅くし、ねじ溝部１８
全体の外径寸法を吸気側と排気側を同じにしていたが、
本実施形態例では、ねじ溝部１８の円筒部の肉厚を均等
にし、外周に形成されるねじ溝１８ａの深さを吸気側が
深く、排気側を浅くし、ねじ溝部１８全体の外径寸法を
吸気側を大きく、排気側を小さくしている。
【００１０】上記のようにねじ溝部１８全体の外径寸法
を吸気側を大きく、排気側を小さくすることにより、排
気側の応力が同じであっても、吸気側の周速を大きくで
きるから、信頼性をそのままに排気性能を向上させるこ
とが可能となる。
を吸気側を大きく、排気側を小さくすることにより、排
気側の応力が同じであっても、吸気側の周速を大きくで
きるから、信頼性をそのままに排気性能を向上させるこ
とが可能となる。
【００１１】図２は本発明のターボ分子ポンプの他の構
造例を示す断面図である。本ターボ分子ポンプにおいて
は、ねじ溝部１８の円筒部の肉厚を吸気側を厚く、排気
側を薄くし、その外周に形成するねじ溝１８ａの深さを
吸気側が深く、排気側を浅くし、ねじ溝部１８全体の外
径寸法を図１の場合より、吸気側を大きく、排気側を小
さくしている。このようにすることにより、図１の場合
より、排気側の応力が同じで信頼性をそのままに排気性
能を向上させることが可能となる。
造例を示す断面図である。本ターボ分子ポンプにおいて
は、ねじ溝部１８の円筒部の肉厚を吸気側を厚く、排気
側を薄くし、その外周に形成するねじ溝１８ａの深さを
吸気側が深く、排気側を浅くし、ねじ溝部１８全体の外
径寸法を図１の場合より、吸気側を大きく、排気側を小
さくしている。このようにすることにより、図１の場合
より、排気側の応力が同じで信頼性をそのままに排気性
能を向上させることが可能となる。
【００１２】図３は本発明のターボ分子ポンプの他の構
造例を示す断面図である。本ターボ分子ポンプは図５に
示す従来のターボ分子ポンプを改良したもので、図１及
び図２のねじ溝部１８に相当する円筒部１８’の外周に
はねじ溝を形成せず、ねじ溝部スペーサ１９の内周にね
じ溝１９ａを形成したものである。そして、円筒部１
８’の吸気側の外径寸法を排気側の外径寸法より大きく
するために、吸気側の肉厚を排気側の肉厚より厚くして
いる。このような構成にしても、排気側の応力が同じで
あっても、吸気側の周速を大きくできるから、信頼性を
そのままに排気性能を向上させることが可能となる。
造例を示す断面図である。本ターボ分子ポンプは図５に
示す従来のターボ分子ポンプを改良したもので、図１及
び図２のねじ溝部１８に相当する円筒部１８’の外周に
はねじ溝を形成せず、ねじ溝部スペーサ１９の内周にね
じ溝１９ａを形成したものである。そして、円筒部１
８’の吸気側の外径寸法を排気側の外径寸法より大きく
するために、吸気側の肉厚を排気側の肉厚より厚くして
いる。このような構成にしても、排気側の応力が同じで
あっても、吸気側の周速を大きくできるから、信頼性を
そのままに排気性能を向上させることが可能となる。
【００１３】なお、本発明とは直接関係ないが、以下に
図１及び図２に示すターボ分子ポンプの構造及び動作に
ついて説明する。主軸４と固定筒状部３の間に駆動用モ
ータ６と、その上下に上部ラジアル軸受（磁気軸受）７
及び下部ラジアル軸受（磁気軸受）８が設けられ、そし
て主軸４の下部にはターゲットディスク９とステータＳ
側に設けられた上下の電磁石１０ａ、１０ｂを有するア
キシャル軸受１１が配置されている。このような構成に
よってロータＲが５軸の能動制御を受けながら高速で回
転するようになっている。
図１及び図２に示すターボ分子ポンプの構造及び動作に
ついて説明する。主軸４と固定筒状部３の間に駆動用モ
ータ６と、その上下に上部ラジアル軸受（磁気軸受）７
及び下部ラジアル軸受（磁気軸受）８が設けられ、そし
て主軸４の下部にはターゲットディスク９とステータＳ
側に設けられた上下の電磁石１０ａ、１０ｂを有するア
キシャル軸受１１が配置されている。このような構成に
よってロータＲが５軸の能動制御を受けながら高速で回
転するようになっている。
【００１４】回転筒状部５の上部外周部には、回転翼１
２が一体に設けられて羽根車１３を構成し、ポンプケー
シング１の内面には、回転翼１２と交互に配置された固
定翼１５が設けられている。該固定翼１５はその縁部を
上下の固定翼スペーサ１４により上下から押さえられ、
ねじ溝部スペーサ１９の上端とポンプケーシング１の上
部内面の間に挟持し固定されている。
２が一体に設けられて羽根車１３を構成し、ポンプケー
シング１の内面には、回転翼１２と交互に配置された固
定翼１５が設けられている。該固定翼１５はその縁部を
上下の固定翼スペーサ１４により上下から押さえられ、
ねじ溝部スペーサ１９の上端とポンプケーシング１の上
部内面の間に挟持し固定されている。
【００１５】回転筒状部５と一体的に形成されているね
じ溝部１８には、外周面にねじ溝１８ａが形成され、ス
テータＳにはこのねじ溝部１８の外周を囲むねじ溝部ス
ペーサ１９が配置されている。溝排気部Ｌ2は上述のよ
うに、高速回転するねじ溝部１８のねじ溝１８ａのドラ
ッグ作用によって排気を行なう。
じ溝部１８には、外周面にねじ溝１８ａが形成され、ス
テータＳにはこのねじ溝部１８の外周を囲むねじ溝部ス
ペーサ１９が配置されている。溝排気部Ｌ2は上述のよ
うに、高速回転するねじ溝部１８のねじ溝１８ａのドラ
ッグ作用によって排気を行なう。
【００１６】翼排気部Ｌ1及びねじ溝排気部Ｌ2で排気さ
れたガスは排気口２０を通ってターボ分子ポンプ外に排
出される。なお、図１乃至図３において、１６は上部ラ
ジアルセンサ、１７は下部ラジアルセンサ、２１は緊急
用ベアリング、２２は緊急用ベアリング、２３はハーメ
ティックコネクタである。
れたガスは排気口２０を通ってターボ分子ポンプ外に排
出される。なお、図１乃至図３において、１６は上部ラ
ジアルセンサ、１７は下部ラジアルセンサ、２１は緊急
用ベアリング、２２は緊急用ベアリング、２３はハーメ
ティックコネクタである。
【００１７】
【発明の効果】以上、説明したように請求項１に記載の
発明によれば、ねじ溝排気部のロータの吸気側の外径寸
法を排気側の外径寸法より大きくしたので、円筒状ロー
タの排気側応力をそのままに、吸気側の周速を大きくす
ることができるので、信頼性を損なうことなく、ポンプ
の排気性能を向上させることができる。
発明によれば、ねじ溝排気部のロータの吸気側の外径寸
法を排気側の外径寸法より大きくしたので、円筒状ロー
タの排気側応力をそのままに、吸気側の周速を大きくす
ることができるので、信頼性を損なうことなく、ポンプ
の排気性能を向上させることができる。
【図１】本発明のターボ分子ポンプの構造例を示す断面
図である。
図である。
【図２】本発明のターボ分子ポンプの構造例を示す断面
図である。
図である。
【図３】本発明のターボ分子ポンプの構造例を示す断面
図である。
図である。
【図４】従来のターボ分子ポンプの構造例を示す断面図
である。
である。
【図５】従来のターボ分子ポンプの構造例を示す断面図
である。
である。
１ ポンプケーシング ２ 基部 ３ 固定筒状部 ４ 主軸 ５ 回転筒状部 ６ 駆動用モータ ７ 上部ラジアル軸受 ８ 下部ラジアル軸受 ９ ターゲットディスク １０ａ，ｂ 電磁石 １１ アキシャル軸受 １２ 回転翼 １３ 羽根車 １４ 固定翼スペーサ １５ 固定翼 １８ ねじ溝部 １８’ 円筒部 １９ ねじ溝部スペーサ ２０ 排気口 ２１ 緊急用ベアリング ２２ 緊急用ベアリング ２３ ハーメティックコネクタ Ｒ ロータ Ｓ ステータ Ｌ1 翼排気部 Ｌ2 ねじ溝排気部
Claims (1)
- 【請求項１】 ポンプケーシング内にロータ側の回転筒
状部の外周に設けられた複数の回転翼と複数のステータ
側の固定翼が交互に配置された翼排気部と、該翼排気部
の下流側の前記ステータ側又はロータ側の少なくとも一
方にねじ溝を有するねじ溝排気部とが設けられた構造の
ターボ分子ポンプにおいて、 前記ねじ溝排気部のロータの吸気側の外径寸法を排気側
の外径寸法より大きくしたことを特徴とするターボ分子
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3402998A JPH11218093A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3402998A JPH11218093A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11218093A true JPH11218093A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12402943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3402998A Withdrawn JPH11218093A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11218093A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014134138A (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP3402998A patent/JPH11218093A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014134138A (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040303 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040316 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040510 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040510 |