JPH11218418A - インライン蛍光ｘ線膜厚モニタ - Google Patents
インライン蛍光ｘ線膜厚モニタInfo
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- JPH11218418A JPH11218418A JP10022250A JP2225098A JPH11218418A JP H11218418 A JPH11218418 A JP H11218418A JP 10022250 A JP10022250 A JP 10022250A JP 2225098 A JP2225098 A JP 2225098A JP H11218418 A JPH11218418 A JP H11218418A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
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-
- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インラインに設置するため小型でライン特性
の優れた検出効率と角度特性を向上させた蛍光Ｘ線モニ
タを提供する。 【解決手段】 蛍光Ｘ線法を原理とし，エンドウィンド
ウ型のＸ線管球からの一次Ｘ線照射ビームと同軸で環状
の検出面を有する検出器を配置する。
の優れた検出効率と角度特性を向上させた蛍光Ｘ線モニ
タを提供する。 【解決手段】 蛍光Ｘ線法を原理とし，エンドウィンド
ウ型のＸ線管球からの一次Ｘ線照射ビームと同軸で環状
の検出面を有する検出器を配置する。
Description
【発明の属する技術分野】本発明はハードディスクの無
電解ニッケルメッキの膜厚をモニタするためインライン
に設置する小型な蛍光Ｘ線膜厚モニタに関する。
電解ニッケルメッキの膜厚をモニタするためインライン
に設置する小型な蛍光Ｘ線膜厚モニタに関する。
【従来の技術】ハードディスクの高密度化に伴い、ベー
スの平坦度やサブストレートの無電解ニッケルメッキの
表裏膜厚の均一性等が問題となってきており、無電解ニ
ッケルメッキ直後や研磨ライン前後での無電解ニッケル
膜厚のモニタが重要となってきている。従来はオフライ
ンの蛍光Ｘ線膜厚計で抜き取り検査を行っていた。
スの平坦度やサブストレートの無電解ニッケルメッキの
表裏膜厚の均一性等が問題となってきており、無電解ニ
ッケルメッキ直後や研磨ライン前後での無電解ニッケル
膜厚のモニタが重要となってきている。従来はオフライ
ンの蛍光Ｘ線膜厚計で抜き取り検査を行っていた。
【発明が解決しようとする課題】従来の抜き取り検査で
は不合格品が発生するとロット単位での不合格品とな
り、近年の厳しい基準では不良率が大きくなる問題を抱
えていた。そのためにインラインで測定して直ぐフィー
ドバックすることによって加工条件を調整して不良率を
下げる必要があった。インラインに蛍光Ｘ線膜厚計を設
置するにはＸ線発生系の寸法上の問題や、測定試料のバ
タツキ等の問題を抱えていた。そこで本発明は、インラ
インに設置するため小型でライン特性の優れた蛍光Ｘ線
モニタを提供することを目的とする。
は不合格品が発生するとロット単位での不合格品とな
り、近年の厳しい基準では不良率が大きくなる問題を抱
えていた。そのためにインラインで測定して直ぐフィー
ドバックすることによって加工条件を調整して不良率を
下げる必要があった。インラインに蛍光Ｘ線膜厚計を設
置するにはＸ線発生系の寸法上の問題や、測定試料のバ
タツキ等の問題を抱えていた。そこで本発明は、インラ
インに設置するため小型でライン特性の優れた蛍光Ｘ線
モニタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】従来、図２（ａ）に示す
ように、サイドウィンドウ型Ｘ線管球では、高圧を使用
するゆえに放電防止、冷却の目的で絶縁オイル（油）に
浸す方式を採用していたため、寸法的にも小さくするこ
とがず、重量的にも軽量化が図れなかった。この問題に
関しては、図２（ｂ）に示すようなシリコン樹脂２５等
でモールドしたエンドウィンドウ型のＸ線管球を採用す
る事によって、寸法的にも小型化、そして軽量化を図
り、さらにサイドウィンドウ型に比べＸ線発生点を試料
に近づける事が出来るため励起効率も向上させることが
出来る。測定試料のバタツキ等に関しては、従来、図３
（ａ）に示すように一次Ｘ線の照射軸に対してある角度
をもって検出していたため角度特性を有していたが、図
３（ｂ）に示すように照射軸に同軸に環状の検出器を配
置させることによって解決できる。また、環状型で検出
の立体角を大きく取れ、効率を向上できているため、照
射・検出距離、すなわち検出面から試料までの距離を離
すことによって生じる距離の逆二乗則の影響差を小さく
することが出来るため、距離特性も改善できる。
ように、サイドウィンドウ型Ｘ線管球では、高圧を使用
するゆえに放電防止、冷却の目的で絶縁オイル（油）に
浸す方式を採用していたため、寸法的にも小さくするこ
とがず、重量的にも軽量化が図れなかった。この問題に
関しては、図２（ｂ）に示すようなシリコン樹脂２５等
でモールドしたエンドウィンドウ型のＸ線管球を採用す
る事によって、寸法的にも小型化、そして軽量化を図
り、さらにサイドウィンドウ型に比べＸ線発生点を試料
に近づける事が出来るため励起効率も向上させることが
出来る。測定試料のバタツキ等に関しては、従来、図３
（ａ）に示すように一次Ｘ線の照射軸に対してある角度
をもって検出していたため角度特性を有していたが、図
３（ｂ）に示すように照射軸に同軸に環状の検出器を配
置させることによって解決できる。また、環状型で検出
の立体角を大きく取れ、効率を向上できているため、照
射・検出距離、すなわち検出面から試料までの距離を離
すことによって生じる距離の逆二乗則の影響差を小さく
することが出来るため、距離特性も改善できる。
【発明の実施の形態】図１に実施例を示す。ハードディ
スクの表裏無電解ニッケルメッキの膜厚を測定するため
ハードディスクのハンドリングを容易にする目的でハー
ドディスク測定面はＸ線センサから離れている方が良
い。そういう意味でもＸ線発生側はエンドウィンドウ型
Ｘ線管球２で試料までの距離を短くし、検出側は環状型
Ｘ線検出器３を用いて立体角を稼ぐことによって、逆に
距離を離すことができる図１の実施例のような配置が好
ましい。一次Ｘ線４はエンドウィンドウ型のＸ線管球２
から所定の照射寸法になるようにコリメートされて環状
型検出器の中央部を突き抜けて照射され、ハードディス
クすなわちアルミニウムに施された無電解ニッケルメッ
キの膜厚に比例した蛍光Ｘ線（Ｎｉ−Ｋα）５の強度を
環状型Ｘ線検出器３で計測する。環状型Ｘ線検出器３に
はＳｉを利用した半導体検出器やＮａＩ等のシンチレー
タを利用したシンチレーションカウンターが採用でき
る。シリコン樹脂モールドされたエンドウィンドウ型Ｘ
線管球は数十ワットの熱量を発生させるため後部に冷却
ファン１を配置して冷却する。
スクの表裏無電解ニッケルメッキの膜厚を測定するため
ハードディスクのハンドリングを容易にする目的でハー
ドディスク測定面はＸ線センサから離れている方が良
い。そういう意味でもＸ線発生側はエンドウィンドウ型
Ｘ線管球２で試料までの距離を短くし、検出側は環状型
Ｘ線検出器３を用いて立体角を稼ぐことによって、逆に
距離を離すことができる図１の実施例のような配置が好
ましい。一次Ｘ線４はエンドウィンドウ型のＸ線管球２
から所定の照射寸法になるようにコリメートされて環状
型検出器の中央部を突き抜けて照射され、ハードディス
クすなわちアルミニウムに施された無電解ニッケルメッ
キの膜厚に比例した蛍光Ｘ線（Ｎｉ−Ｋα）５の強度を
環状型Ｘ線検出器３で計測する。環状型Ｘ線検出器３に
はＳｉを利用した半導体検出器やＮａＩ等のシンチレー
タを利用したシンチレーションカウンターが採用でき
る。シリコン樹脂モールドされたエンドウィンドウ型Ｘ
線管球は数十ワットの熱量を発生させるため後部に冷却
ファン１を配置して冷却する。
【発明の効果】以上の組み合わせ配置によって、従来の
構成による場合に比べて半分以下の寸法にでき、角度特
性、距離特性のようなライン特性に対して良好な性能が
得られるので、設置スペースの少ないインラインに設置
でき、正確で迅速な膜厚のモニタが可能となる。
構成による場合に比べて半分以下の寸法にでき、角度特
性、距離特性のようなライン特性に対して良好な性能が
得られるので、設置スペースの少ないインラインに設置
でき、正確で迅速な膜厚のモニタが可能となる。
【図１】本発明の実施例である。
【図２】（ａ）はサイドウィンドウ型Ｘ線管球、（ｂ）
はエンドウィンドウ型Ｘ線管球を示す図である。
はエンドウィンドウ型Ｘ線管球を示す図である。
【図３】（ａ）（ｂ）は、Ｘ線検出器の配置例を示す図
である。
である。
１ 冷却ファン ２ エンドウィンドウ型Ｘ線管球 ３ 環状Ｘ線検出器 ４ 一次Ｘ線 ５ 蛍光Ｘ線（Ｎｉ−Ｋα）
Claims (1)
- 【請求項１】 蛍光Ｘ線法を原理とし，エンドウィンド
ウ型のＸ線管球からのＸ線照射ビームと同軸で環状の検
出面を有する検出器を配置することによって検出効率と
角度特性を向上させたことを特徴とする小型な蛍光Ｘ線
膜厚モニタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022250A JPH11218418A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | インライン蛍光ｘ線膜厚モニタ |
| US09/243,919 US6175612B1 (en) | 1998-02-03 | 1999-02-03 | In-line fluorescent x-ray film thickness monitor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022250A JPH11218418A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | インライン蛍光ｘ線膜厚モニタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11218418A true JPH11218418A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12077553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10022250A Pending JPH11218418A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | インライン蛍光ｘ線膜厚モニタ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6175612B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11218418A (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7180981B2 (en) * | 2002-04-08 | 2007-02-20 | Nanodynamics-88, Inc. | High quantum energy efficiency X-ray tube and targets |
| WO2013170052A1 (en) | 2012-05-09 | 2013-11-14 | Sio2 Medical Products, Inc. | Saccharide protective coating for pharmaceutical package |
| US7985188B2 (en) | 2009-05-13 | 2011-07-26 | Cv Holdings Llc | Vessel, coating, inspection and processing apparatus |
| MX350703B (es) | 2009-05-13 | 2017-09-14 | Sio2 Medical Products Inc | Metodo de gasificacion para inspeccionar una superficie revestida. |
| US9458536B2 (en) | 2009-07-02 | 2016-10-04 | Sio2 Medical Products, Inc. | PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles |
| US11624115B2 (en) | 2010-05-12 | 2023-04-11 | Sio2 Medical Products, Inc. | Syringe with PECVD lubrication |
| US9878101B2 (en) | 2010-11-12 | 2018-01-30 | Sio2 Medical Products, Inc. | Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods |
| US9272095B2 (en) | 2011-04-01 | 2016-03-01 | Sio2 Medical Products, Inc. | Vessels, contact surfaces, and coating and inspection apparatus and methods |
| EP2776603B1 (en) | 2011-11-11 | 2019-03-06 | SiO2 Medical Products, Inc. | PASSIVATION, pH PROTECTIVE OR LUBRICITY COATING FOR PHARMACEUTICAL PACKAGE, COATING PROCESS AND APPARATUS |
| US11116695B2 (en) | 2011-11-11 | 2021-09-14 | Sio2 Medical Products, Inc. | Blood sample collection tube |
| US20150297800A1 (en) | 2012-07-03 | 2015-10-22 | Sio2 Medical Products, Inc. | SiOx BARRIER FOR PHARMACEUTICAL PACKAGE AND COATING PROCESS |
| CA2890066C (en) | 2012-11-01 | 2021-11-09 | Sio2 Medical Products, Inc. | Coating inspection method |
| US9903782B2 (en) | 2012-11-16 | 2018-02-27 | Sio2 Medical Products, Inc. | Method and apparatus for detecting rapid barrier coating integrity characteristics |
| US9764093B2 (en) | 2012-11-30 | 2017-09-19 | Sio2 Medical Products, Inc. | Controlling the uniformity of PECVD deposition |
| JP6382830B2 (ja) | 2012-11-30 | 2018-08-29 | エスアイオーツー・メディカル・プロダクツ・インコーポレイテッド | 医療シリンジ、カートリッジ等上でのｐｅｃｖｄ堆積の均一性制御 |
| US9662450B2 (en) | 2013-03-01 | 2017-05-30 | Sio2 Medical Products, Inc. | Plasma or CVD pre-treatment for lubricated pharmaceutical package, coating process and apparatus |
| US9937099B2 (en) | 2013-03-11 | 2018-04-10 | Sio2 Medical Products, Inc. | Trilayer coated pharmaceutical packaging with low oxygen transmission rate |
| EP2971228B1 (en) | 2013-03-11 | 2023-06-21 | Si02 Medical Products, Inc. | Coated packaging |
| US20160017490A1 (en) | 2013-03-15 | 2016-01-21 | Sio2 Medical Products, Inc. | Coating method |
| WO2015148471A1 (en) | 2014-03-28 | 2015-10-01 | Sio2 Medical Products, Inc. | Antistatic coatings for plastic vessels |
| EP3337915B1 (en) | 2015-08-18 | 2021-11-03 | SiO2 Medical Products, Inc. | Pharmaceutical and other packaging with low oxygen transmission rate |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2213493C3 (de) * | 1972-03-20 | 1980-02-28 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Elektronische Bildverstärkerröhre, bei der ein elektrisch leitendes TeU mit einer elektrisch isolierenden Schicht versehen ist, und Verfahren zur Herstellung dieser Schicht |
| GB8811459D0 (en) * | 1988-05-13 | 1988-06-15 | Dmc Boyle Ltd | Method & apparatus for measuring thickness of coating on substrate |
| US5493122A (en) * | 1994-02-04 | 1996-02-20 | Nucleonics Development Company | Energy resolving x-ray detector |
-
1998
- 1998-02-03 JP JP10022250A patent/JPH11218418A/ja active Pending
-
1999
- 1999-02-03 US US09/243,919 patent/US6175612B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6175612B1 (en) | 2001-01-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040106 |