JPH11219613A - 紫外線コールドフィルター - Google Patents
紫外線コールドフィルターInfo
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- JPH11219613A JPH11219613A JP3231598A JP3231598A JPH11219613A JP H11219613 A JPH11219613 A JP H11219613A JP 3231598 A JP3231598 A JP 3231598A JP 3231598 A JP3231598 A JP 3231598A JP H11219613 A JPH11219613 A JP H11219613A
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Abstract
線を透過することができ、また簡単な装置により容易に
製造することができる紫外線コールドフィルターを提供
することを課題とする。 【解決手段】石英ガラス1の両面若しくは片面に、高屈
折率膜11と、低屈折率膜12を交互に被着し、また高
屈折率膜と低屈折率膜との間に、高屈折率膜と低屈折率
膜と同じ物質で且つ高屈折率膜と低屈折率膜より薄い膜
で構成した低屈折率膜13と高屈折率膜14を被着し、
分光特性が250nm乃至400nmの光を透過し、8
00nm乃至1200nmの光を反射するように構成し
てある。
Description
配置する紫外線コールドフィルターの改良に関する。
紫外線により硬化する塗料やインキを被着し、同塗料や
インキに紫外線を照射することにより硬化することが実
施されている。また食品の容器や医療品の容器に紫外線
を照射し、容器に付着した黴菌を殺菌することが実施さ
れている。さらにプラスチックや塗膜等の劣化を短時間
に試験するために使用する耐候性試験装置の内部に紫外
線光源を装着し、同紫外線光源からの紫外線によるプラ
スチックや塗膜等の劣化試験が行われている。また紫外
線光源からの高熱による被照射物への悪影響を防止する
ために、紫外線光源は例えば水冷ジャケットの内部に装
着し、熱を除去することが実施されている。
を水冷ジャケットの内部に装着する構造とすると、装置
が複雑となる欠点がある。そこで従来、紫外線光源の前
方に熱線カットフィルターを配置し、被照射物が高熱に
より劣化するのを防止することが実施されている。従
来、実施されている熱線カットフィルターは2mm乃至
3mm程度の厚さの石英ガラスの表面にSiO2からな
る低屈折率膜と、ZrO2からなる高屈折率膜を順次2
5層程度積層し構成してある。しかし、同低屈折率膜と
高屈折率膜を積層する構造によると、図5に示すよう
に、分光特性が250nm乃至400nmの光の透過率
が低く、また800nm乃至1200nmの光の反射率
が低く、紫外線を効果的に利用することができず、さら
に赤外線により高熱が熱線カットフィルターを通過して
被照射物に悪影響を与える欠点がある。さらに紫外線光
源を水冷ジャケット内に装着して熱をカットし、被照射
物が高熱により悪影響を受けないようにしなければなら
ず、装置が複雑となる欠点がある。
あって、効率よく熱線をカットし、さらに効率よく紫外
線を透過することができ、また簡単な装置により容易に
製造することができる熱線カットフィルターを提供する
ことを目的とする。
するために次の構成とする。つまり請求項1に記載の発
明は、石英ガラス板の表面に、高屈折率膜と低屈折率膜
とを交互に被着して構成してある。また分光特性が25
0nm乃至400nmの光を透過し、800nm乃至1
200nmの光を反射するように構成してある。
両面若しくは片面に、高屈折率膜と低屈折率膜とを交互
に被着し、また同高屈折率膜と低屈折率膜との間に、高
屈折率膜と低屈折率膜と同じ物質で且つ同高屈折率膜と
低屈折率膜より薄い膜で構成してなる低屈折率膜と高屈
折率膜を被着して構成してある。
いて説明する。図1において、1は2mm乃至3mm程
度の厚さに構成した紫外線コールドフィルターであっ
て、石英ガラス板で構成してある。また同紫外線コール
ドフィルターの両面若しくは片面に、高屈折率膜11と
低屈折率膜12とを交互に多数層被着し、分光特性が2
50nm乃至400nmを透過し、800nm乃至12
00nmを反射するように構成する。2は反射体3に装
着してなる紫外線光源であって、例えば15キロワット
の高圧放電ランプを用いて構成してある。4は紫外線コ
ールドフィルター1の前方に配置し、紫外線を照射する
ワークであって、例えば食品や医療品の容器である。
高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に被着し、また同高屈
折率膜と低屈折率膜との間に、高屈折率膜と低屈折率膜
と同じ物質で且つ同高屈折率膜と低屈折率膜より薄い膜
で構成してなる低屈折率膜13と高屈折率膜14を被着
して構成してある。
ZrO2あるいはHfO2からなる高屈折率膜とSiO2
からなる低屈折率膜とを交互に多数層被着し、さらに同
高屈折率膜と低屈折率膜の間に、同高屈折率膜と低屈折
率膜より薄い厚さのSiO2からなる低屈折率膜と、Z
rO2あるいはHfO2からなる高屈折率膜とを被着す
る。この場合の各膜の厚さは例えば次のように61層構
成する。
ると、図2に示す分光透過特性を得ることができる。同
分光透過特性によると、250nmから400nmの紫
外線は90%程度と効率よく透過し、また800nmか
ら1000nmの範囲の赤外線の反射率は、97%程度
と効率よくカットすることができる。これは、高屈折率
膜と低屈折率膜の間に、薄い厚さの高屈折率膜と低屈折
率膜とを被着することにより、図2に示すように、紫外
線と赤外線を効率よく制御できるためである。なお、
は図5に示すとおりであり、赤外線の反射率は悪く、ま
た紫外線の透過率も悪く、被照射面における温度は高く
なり、紫外線による紫外線塗料やインキの硬化に時間を
要する。
る高屈折率膜とSiO2からなる低屈折率膜とを交互に
多数層被着し、さらに同高屈折率膜と低屈折率膜の間
に、SiO2からなる薄い厚さの低屈折率膜と、ZrO2
あるいはHfO2からなる薄い厚さの高屈折率膜とを被
着してる実施例について説明する。この場合の各膜の厚
さは例えば次のように構成する。表面の膜の厚さは表2
に示すように61層構成する。
61層構成する。
ーによると、図3に示す分光透過特性を得ることができ
る。同分光透過特性によると、表1示すものと同様に、
250nmから400nmの紫外線は90%程度と効率
よく透過し、また800nmから1200nmの範囲の
赤外線の反射率は、99%程度と効率よくカットするこ
とができる。これは、高屈折率膜と低屈折率膜の間に、
薄い厚さの高屈折率膜と低屈折率膜とを被着したことに
より、図3に示すように、紫外線と赤外線を効率よく制
御できるためである。さらに両面に膜を構成したので、
透過特性及び耐久性が向上する。
の二種について、基板温度や真空圧や蒸着速度を変える
ことにより、容易に形成することができる。また上記し
た熱線カットフィルターを内部に紫外線光源を装着して
なる紫外線照射装置の前面に配置し実施すると、照射装
置の前面が高熱になることがなく、被照射物に対する熱
的悪影響が生じることがなく、さらに紫外線を効果的に
透過するので、確実に紫外線塗料やインキを硬化するこ
とができる。また従来の水冷式の装置に比べ構造が簡単
となる。
明によると、効率よく熱線をカットし、効率よく紫外線
を透過することができ、さらに容易に熱線カットフィル
ターを製造することができる特別な効果がある。
図。
特性を示す図。
透過特性を示す図。
図。
示す図。
Claims (2)
- 【請求項1】石英ガラス板の表面に、高屈折率膜と低屈
折率膜とを交互に被着し、分光特性が250nm乃至4
00nmの光を透過し、800nm乃至1200nmの
光を反射するように構成したことを特徴とする紫外線コ
ールドフィルター。 - 【請求項2】石英ガラス板の両面若しくは片面に、高屈
折率膜と低屈折率膜とを交互に被着し、また同高屈折率
膜と低屈折率膜との間に、高屈折率膜と低屈折率膜と同
じ物質で且つ同高屈折率膜と低屈折率膜より薄い膜で構
成してなる低屈折率膜と高屈折率膜を被着したことを特
徴とする請求項1記載の紫外線コールドフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03231598A JP4061441B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 紫外線コールドフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03231598A JP4061441B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 紫外線コールドフィルター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11219613A true JPH11219613A (ja) | 1999-08-10 |
| JP4061441B2 JP4061441B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
ID=12355516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03231598A Expired - Fee Related JP4061441B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 紫外線コールドフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4061441B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003045211A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-14 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線照射装置 |
| JP2005345492A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Canon Inc | 光学素子及びミラー並びに反射防止膜 |
| WO2018100991A1 (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-07 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過フィルタ |
| CN113433608A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-09-24 | 厦门中科关爱光电研究院有限公司 | 一种远紫外光(200~230nm)带通滤光片 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107843949B (zh) * | 2017-11-20 | 2020-08-14 | 北京空间机电研究所 | 一种高精度定位带有误差补偿的超精密滤光片 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP03231598A patent/JP4061441B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2005345492A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Canon Inc | 光学素子及びミラー並びに反射防止膜 |
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|---|---|
| JP4061441B2 (ja) | 2008-03-19 |
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