JPH11219800A - 荷電粒子加速装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】加速器の構成要素を圧力タンクから引き出す作
業を容易にすること。 【解決手段】タンク本体５０１とタンクベース５０２と
を備えた圧力タンク５内に加速器の構成要素１５を収納
し、構成要素１５の一端をタンクベース５０２に固定す
る。タンク本体５０１の軸線方向に伸びる可動レール５
３０を、タンク本体５０１の外周部に取り付けたレール
支持装置５３１によりタンク本体の軸線方向に移動自在
に支持し、可動レール５３０の一端をタンクベース５０
２に固定する。レール支持装置５３１に設けるベアリン
グとして、ボールやローラなどの転動体を備えたスラス
トベアリングを用い、タンクベース５０２及び加速器の
構成要素１５を僅かな力で移動させることができるよう
にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、イオンや電子など
の荷電粒子を加速する荷電粒子加速装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】イオンや電子などの荷電粒子を加速する
加速装置は、多くの場合、軸線方向の少くとも一端に開
口部を有するほぼ円筒状のタンク本体と、該タンク本体
の一端側の開口部を閉じる着脱可能なタンクベースとを
有して内部に絶縁ガスが封入される圧力タンクと、該圧
力タンク内に収納されて一端がタンクベースに固定され
た加速器の構成要素とを備えていて、タンクベースをタ
ンク本体から外してタンク本体の軸線方向に移動させる
ことにより加速器の構成要素をタンクベースに片持ちで
支持した状態で外部に引き出し得るように構成されてい
る。

【０００３】図４は、一例として、イオンビームを用い
て各種の分析を行う分析装置に用いられているタンデム
加速装置を、該分析装置の全体的な構成とともに示した
ものである。

【０００４】図４に示されたタンデム加速装置は、軸線
を共有した状態で配置された低エネルギ側加速管１Ａ及
び高エネルギ側加速管１Ｂと、両加速管の間に配置され
た荷電変換器２と、荷電変換器２を囲むように設けられ
て低エネルギ側加速管１Ａ及び高エネルギ側加速管１Ｂ
の高電位側の端部に接続された高電圧ターミナル３と、
昇圧回路４とを圧力タンク５内に収納した構造を有して
いる。

【０００５】図示の昇圧回路４は、高エネルギ側加速管
１Ｂを間にして径方向に対向する対の弧状の単位電極を
軸線方向に沿って多数個並べたものからなる電極列４Ａ
と、該電極列４Ａに径方向から対向するように配置され
た高周波電極４Ｂと、電極列４Ａを構成する一連の単位
電極と高周波電極４Ｂとの間にそれぞれ形成される浮遊
静電容量とともに、ｎ倍電圧整流回路を構成するように
隣り合う単位電極間に跨がって接続されたダイオードと
を備えた周知のシェンケル回路からなっている。

【０００６】高圧タンク５の側面には分岐管部５ａ，５
ａが形成され、これらの分岐管部５ａ，５ａに高周波コ
イル収納タンク６が接続されている。高周波コイル収納
タンク６内には図示しない高周波電源とともに発振回路
を構成する高周波コイルが収納され、該高周波コイルか
ら高周波電極４Ｂと電極列４Ａとの間に高周波電圧が印
加されている。

【０００７】電極列４Ａの高電位側の端部にはターミナ
ル部４A1が設けられ、昇圧回路４の出力電圧が該ターミ
ナル部４A1を通して高電圧ターミナル３と接地間に印加
されている。

【０００８】なお７は高エネルギ側加速管１Ｂと電極列
４Ａとの間に配置されたコロナ放電防止用の電極列であ
る。

【０００９】圧力タンク５の外部の大地電位部には、負
イオン源８と質量分析電磁石９と収束レンズやスリット
を含むレンズ系１０とが配置され、負イオン源８が発生
した負イオンのうち、質量分析電磁石９により選択され
た所定の負イオンがレンズ系１０を通して低エネルギ側
加速管１Ａに導入されるようになっている。負イオン源
８から質量分析電磁石９とレンズ系１０とを通して与え
られた負イオンは、低エネルギ側加速管１Ａにより加速
された後、荷電変換器２により正イオンに変換され、該
正イオンが高エネルギ側加速管１Ｂにより再度加速され
て高エネルギのイオンビームとして外部に導出される。

【００１０】高エネルギ側加速管１Ｂから導出された高
エネルギイオンビームは、圧力タンク５の外部に配置さ
れたレンズ系１１と、偏向電磁石１２と、ビームライン
１３とを通してターゲットチャンバ１４に導かれて、該
ターゲットチャンバ１４内のターゲット（試料）に照射
される。

【００１１】図５は従来の加速装置で用いられていた圧
力タンク５を示したもので、この圧力タンクは、円筒状
に形成されたタンク本体５０１と、タンク本体５０１の
軸線方向の一端側の開口部を気密に閉じる着脱可能な円
板状のタンクベース５０２と、タンク本体５０１の軸線
方向の他端側の開口部を閉じるカップ状のエンドカバー
５０３とを備えている。タンク本体５０１は、加速装置
の設置場所の床面Ｆ上に配置された基台５０４に回動軸
５０５を介して支持されたベース板５０６の上に固定さ
れ、タンクベース５０２は車輪５０７を備えた台車５０
８に支持されている。ベース板５０６の下部には車輪５
０９が取り付けられていて、圧力タンク５をベース板５
０６とともに回動軸５０５を中心に回動させることによ
り、該圧力タンク５の向きを変えることができるように
なっている。

【００１２】圧力タンク５内には、図４に示された低エ
ネルギ側加速管１Ａ及び高エネルギ側加速管１Ｂと荷電
変換器２と高電圧ターミナル３と昇圧回路４とを含む加
速器の構成要素１５が収納され、該構成要素１５の軸線
方向の一端（タンデム加速装置の場合には高エネルギ側
加速管１Ｂの出口側の端部）がタンクベース５０２に固
定されて支持されている。エンドカバー５０３の中心部
にはレンズ系１０を接続するための接続口５１０が設け
られ、タンクベース５０２の中心部にはレンズ系１１を
接続するための接続口５１１が設けられている。

【００１３】この種の加速装置では、圧力タンク５内に
収納される加速器の構成要素１５の一端を固定したタン
クベース５０２が、構成要素１５の各部の位置出しをす
るための基準となっていて、該タンクベース５０２のフ
ランジ部のボルト挿通孔をタンク本体５０１側のフラン
ジのネジ孔に整合させて、ボルトによりタンクベース５
０２をタンク本体５０１に締結した際に、加速器の構成
要素１５の各部がタンク内で自動的に所定の位置に配置
されるようになっている。

【００１４】図４及び図５に示した加速装置において、
圧力タンク５内に収納された加速器の構成要素１５の保
守点検を行う際には、レンズ系１０とエンドカバー５０
３との結合及びレンズ系１１とタンクベース５０２との
結合を解除した後、圧力タンク５を回動軸５０５を中心
に回動させて、タンクベース５０２がレンズ系１１と干
渉しないように圧力タンクの向きを変える。そして、タ
ンクベース５０２のフランジをタンク本体５０１に結合
している多数のボルトを外した後、人力で台車５０８を
移動させることによりタンクベース５０２を加速器の構
成要素とともに直線移動させて、該構成要素をタンクの
外部に引き出す。この場合、タンク本体から引き出す構
造物の重量は通常１トン近くあるため、その引き出し作
業には大勢の人手を必要とする。またタンクベース５０
２に片持ちで支持された加速器の構成要素１５をタンク
本体５０１から引き出す際には、引き出す過程で構成要
素１５の軸線がタンク本体５０１の軸線に対して傾い
て、該構成要素１５がタンク本体５０１の内面に接触す
ることがないようにするために、構成要素１５の両側に
多くの人員を配置して構成要素１５に手を添える必要が
あるため、構成要素の引出しを行うために多くの人員を
必要とする。

【００１５】保守点検を終了した後は、上記と逆の作業
により加速器の構成要素をタンク内に収納して、タンク
ベースをタンク本体に締結する。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
加速装置では、圧力タンク内に収納された中身を引き出
す際の位置ずれの防止と、引き出した中身をタンク内に
挿入する際の位置合わせ再現とが難しく、これらの作業
に多くの人手を必要とするため、保守点検の際に多くの
手間がかかり、保守点検に要するコストが非常に高くな
るのを避けられなかった。

【００１７】また従来の加速装置では、タンクベース５
０２を支持した台車５０８を加速装置の設置場所の床面
Ｆの上で移動させる必要があったため、加速器の構成要
素をタンクベース５０２とともに、タンク本体５０１の
中心軸線に沿って円滑に引き出すことを可能にするため
に、床面Ｆを高精度で水平面とするための工事を行なう
必要があり、加速装置を設置する際に要するコストが高
くなるという問題があった。

【００１８】更に、従来の加速装置では、加速器の構成
要素をタンク本体内に挿入する際に、タンクベースを元
通りの位置に戻すことが困難であるため、加速器の構成
要素をタンク本体内に戻してタンクベースをタンク本体
にネジ結合する際には、タンクベースのフランジ部に設
けられたネジ挿通孔とタンク本体側に設けられたネジ孔
とを整合させるための位置合わせを行なう必要がある。
タンクベースと該タンクベースに固定された加速器の構
成要素とからなる構造物は相当の重量物であるため、こ
の位置合わせ作業は容易ではなかった。

【００１９】なおタンクベースの移動方向を一定とする
ために、床面Ｆにレールを敷設して、台車５０８の車輪
を該レールに沿って転動させるようにすることも考えら
れるが、床面にレールを敷設すると設備費が高くなるだ
けでなく、該レールが日常の作業時に邪魔になって、作
業者がレールにつまずくなどの問題が生じるため好まし
くない。

【００２０】上記の説明では、イオンを加速するタンデ
ム加速器を例にとったが、上記と同様の圧力タンクの構
造が採用される電子線加速装置等においても上記と同様
の問題が生じる。

【００２１】本発明の目的は、多くの人手を要すること
なく、設置場所の床面の精度の如何に係わりなく、また
床面にレールを敷設することなく、タンクベースに支持
された加速器の構成要素をタンク本体の中心軸線に沿っ
て容易に引き出すことができるようにした荷電粒子加速
装置を提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明は、軸線方向の少
くとも一端に開口部を有するほぼ円筒状のタンク本体と
該タンク本体の一端側の開口部を閉じる着脱可能なタン
クベースとを有して内部に絶縁ガスが封入される圧力タ
ンクと、該圧力タンク内に収納されて一端がタンクベー
スに固定された加速器の構成要素とを備えて、タンクベ
ースをタンク本体から外してタンク本体の軸線方向に移
動させることにより加速器の構成要素をタンクベースに
片持ちで支持した状態で外部に引き出し得るように構成
されている荷電粒子加速装置を対象とする。

【００２３】本発明においては、タンク本体の外周部付
近に該タンク本体の軸線方向に沿って伸びる可動レール
を設けて、該可動レールをタンク本体の外周部に固定さ
れたレール支持装置により該タンク本体の軸線方向に移
動自在に支持する。レール支持装置は、可動レールをタ
ンク本体の軸線方向にのみ変位させ得るように拘束した
状態でスラストベアリングを介してスライド自在に支持
するように構成する。可動レールの一端にタンクベース
を固定して、該タンクベースを可動レールとともにタン
ク本体の軸線方向に沿って往復移動させることができる
ようにする。

【００２４】なおスラストベアリングは、可動レールを
軸線方向に移動自在に支持するベアリングで、このベア
リングとしては、ボールまたはローラからなる転動体を
備えたものを用いる。

【００２５】上記のように、タンク本体の外周部付近を
該タンク本体の軸線方向に伸びる可動レールと、該可動
レールをタンク本体の軸線方向にのみ変位し得るように
拘束した状態でスラストベアリングを介して往復移動自
在に支持するレール支持装置とを設けて、該レール支持
装置により移動自在に支持された可動レールにタンクベ
ースを固定する構造にすると、タンクベースをタンク本
体から切り離した状態で、タンクベースに僅かな力を加
えるだけで、タンクベースを可動レール及び加速器の構
成要素とともに、タンク本体の軸線方向に容易に移動さ
せることができる。

【００２６】また上記のように構成すると、タンクベー
スと可動レールとの機械的な結合、及びタンクベースと
加速器の構成要素との結合を十分に強固にしておくこと
により、加速器の構成要素を引き出す際に、該構成要素
の中心軸線がタンク本体の中心軸線に対して大きく傾く
のを防ぐことができるため、加速器の構成要素を特に支
えることなく、タンク外に引き出すことができる。

【００２７】上記のように、本発明によれば、加速器の
構成要素をタンクから引き出す作業と、該構成要素をタ
ンク内に挿入する作業とを、僅かな力で行なうことがで
き、また加速器の構成要素の引き出し及び挿入を行なう
際に、該構成要素を支える必要がないため、従来よりも
大幅に少ない人員で保守点検作業を行なうことができ、
保守点検に要するコストを安くすることができる。

【００２８】またタンクベースを移動自在に支持する可
動レールは、タンク本体に設けられたレール支持装置に
より支持されるため、加速装置の設置場所の床面の精度
は可動レールの移動に影響を及ぼさない。そのため、加
速装置を設置する際に、設置場所の床面の精度を高める
ための工事を省略することができ、加速装置の設置に要
するコストの低減を図ることができる。

【００２９】上記可動レールは、１本だけ設けてもよ
く、複数本設けてもよい。可動レールを１本だけ設ける
場合には、該可動レールをタンク本体の最下部の外周に
沿って該タンク本体の軸線方向に伸びるように設けて、
該可動レールをタンク本体の下部に固定したレール支持
装置によりタンク本体の軸線方向に移動自在に支持し、
該可動レールの一端をタンクベースの下部に固定する。

【００３０】このように、可動レールを１本だけ設ける
ようにすると、タンクベースの支持機構の構成の簡素化
を図ることができる。ただし、この場合には、１本の可
動レールによりタンクベースと該タンクベースに固定さ
れた加速器の構成要素とを支えることになるので、可動
レール及びレール支持装置の機械的強度を十分に高くし
ておく必要がある。

【００３１】また本発明の好ましい態様では、タンク本
体の外周部付近を該タンク本体の軸線方向に沿って伸び
る可動レールを１対設けて、該１対の可動レールをタン
ク本体の中心軸線を含む垂直面の両側に対称に配置し、
該１対の可動レールを、タンク本体の外周部に固定した
レール支持装置により該タンク本体の軸線方向に移動自
在に支持する。この場合も、レール支持装置は、各可動
レールをタンク本体の軸線方向にのみ変位させ得るよう
に拘束した状態でベアリングを介してスライド自在に支
持するように構成し、１対の可動レールのそれぞれの一
端をタンクベースに固定する。

【００３２】上記のように、１対の可動レールを、タン
ク本体の中心軸線を含む垂直面の両側に対象に配置する
構造にすると、各可動レール及びレール支持装置の機械
的強度をそれ程高くすることなく、タンクベース及び該
タンクベースに固定された加速器の構成要素を安定に支
持することができる。

【００３３】本発明において、タンク本体の形状を「ほ
ぼ円筒状」としたのは、該タンク本体が全体として円筒
状または円筒に近い形状（円筒形をベースとした形状）
を有していればよいとの趣旨であり、該タンク本体の外
面に高周波コイルを収納したタンクを接続するための分
岐管部や吊り耳等の付属物が必要に応じて取り付けられ
た結果、該タンク本体の形状が厳密な意味での円筒形か
らは多少外れることになるのを何等妨げないとの趣旨で
ある。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下図４に示したタンデム加速装
置に本発明を適用した場合を例にとって、本発明の実施
形態を説明する。

【００３５】図１は、本発明に係わる加速装置の構成例
を示したもので、同図において、５０１は円筒状に形成
されたタンク本体、５０２は、タンク本体５０１の軸線
方向の一端側の開口部を気密に閉じる着脱可能な円板状
のタンクベース、５０３はタンク本体５０１の軸線方向
の他端側の開口部を閉じるカップ状のエンドカバーであ
る。

【００３６】タンク本体５０１は、加速装置の設置場所
の床面上に配置された基台５０４に回動軸（図１には図
示せず）を介して支持されたベース板５０６の上に固定
具５２０を介して固定されている。ベース板５０６の下
部には車輪５０９が取り付けられ、基台５０４の端部に
は、車輪５０９を支える鉄板５２１が取り付けられてい
る。タンク本体５０１を支持したベース板５０６は、車
輪５０９により支えられて、図示しない回動軸を中心に
一定の角度回動し得るようになっており、このベース板
の回動により、圧力タンク５の向きを変えることができ
るようになっている。

【００３７】図１に示した例では、タンクベース５０２
に１対の可動レール５３０，５３０が取り付けられてい
る。１対の可動レール５３０，５３０は、タンク本体５
０１の中心軸線を含む垂直面の両側に対称に配置されて
タンク本体５０１の外周部付近を該タンク本体の軸線方
向に沿って伸びるように設けられて、それぞれの一端が
タンクベース５０２に溶接などにより固定されている。
タンクベース５０２に固定された１対の可動レール５３
０，５３０は、タンク本体５０１の外周部に固定された
レール支持装置５３１，５３１によりタンク本体５０１
の軸線方向に移動自在に支持されている。

【００３８】可動レール５３０，５３０の形状は種々考
えられるが、図示の可動レール５３０，５３０は、断面
が矩形状を呈する長尺のビームからなっていて、１８０
度の角度間隔を持った対称位置に、水平方向に相対する
状態で配置されている。

【００３９】１対の可動レール５３０，５３０をそれぞ
れ支持するレール支持装置５３１，５３１は、可動レー
ル５３０，５３０と同様に、１８０度離れた対称位置に
配置されてタンク本体５０１の外周面に固定されてい
る。

【００４０】各レール支持装置５３１は、タンク本体の
軸線方向に長く伸びていて可動レール５３０を受け入れ
るように形成された溝を内部に有する長尺のガイド部材
５３１ａと、ガイド部材５３１ａの溝内に挿入された可
動レール５３０を、タンク本体の軸線方向にのみ直線変
位させように拘束した状態で該溝内でガイド部材５３１
ａに対してスライド自在に支持するスラスト軸受とを備
えたものである。可動レール５３０を僅かな力で変位さ
せることができるようにするため、スラスト軸受として
は、ボールやローラなどの転動体を備えたものを使用す
る。

【００４１】図示してないが、タンク本体５０１は、レ
ール支持装置５３１と干渉しない位置に図４に示した例
に設けられた分岐管部５ａ，５ａと同様の分岐管部を備
えていて、該分岐管部に高周波コイルを収納したタンク
６が接続されるようになっている。

【００４２】図４に示した加速管１Ａ，１Ｂ、荷電変換
器２、高電圧ターミナル３及び昇圧回路４を含む加速器
の構成要素１５は、その中心軸線をタンクベース５０２
の中心軸線に一致させた状態で配置されて、その軸線方
向の一端がタンクベース５０２に固定される。

【００４３】タンクベース５０２はその外周寄りの部分
（フランジ部）に等角度間隔で配置された多数のボルト
挿通孔ｈ1 を有し、タンク本体５０１側には、タンクベ
ース５０２が該タンク本体５０１の一端の端面に当接さ
れた際に各ボルト挿通孔ｈ1に整合するネジ孔ｈ2 が形
成されている。

【００４４】タンクベース５０２は、加速器の構成要素
１０を片持ちで支持した状態で可動レール５３０ととも
にタンク本体５０１側に移動させられて、図示しないパ
ッキンを介してタンク本体５０１の一端側の端面に当接
される。この状態で各ボルト挿通孔ｈ1 を通してネジ孔
ｈ2 にボルトが螺合されて、該ボルトによりタンクベー
ス５０２がタンク本体５０１に締結される。このように
してタンクベース５０２をタンク本体５０１に締結した
状態で、加速器の構成要素１５がタンク５内に同軸的に
配置され、該構成要素１５の軸線方向の他端側（加速器
の低電位側の端部）がエンドカバー５０３に設けられた
イオン導入部に接続される。圧力タンク５内にはＳＦ₆
ガス等の絶縁ガスが所定の圧力で封入される。

【００４５】上記の加速装置において、圧力タンク５内
に収納された加速器の構成要素１５の保守点検を行う際
には、レンズ系１０とエンドカバー５０３との結合及び
レンズ系１１とタンクベース５０２との結合を解除し、
タンク本体５０１に接続されている高周波コイル収納タ
ンク６（図４参照）を外した後、圧力タンク５を支持し
たベース板５０６を図示しない回動軸を中心に回動させ
て、タンクベースがレンズ系１１と干渉しないように圧
力タンクの向きを変える。そして、タンクベース５０２
のフランジ部をタンク本体５０１に結合している多数の
ボルトを外した後、タンクベース５０２を可動レール５
３０，５３０とともに、タンク本体５０１から離れる側
に移動させ、加速器の構成要素１５をタンクベース５０
２に片持ちで支持した状態でタンク本体５０１の外部に
引き出す。加速器の構成要素の保守点検が終了した後、
該構成要素を支持したタンクベース５０２を可動レール
５３０とともにタンク本体５０１側に移動させて、タン
ク本体５０１の端面に当接させ、タンクベース５０２を
タンク本体５０１にボルトで締結する。

【００４６】タンクベース５０２は、ボールやローラな
どの転動体を用いたスラストベアリングによりスライド
自在に支持された可動レールに取り付けられているた
め、加速器の構成要素１５を支持した状態でも、わずか
な力で動かすことができる。またタンクベースを支持し
た可動レール５３０はレール支持機構５３１により、タ
ンク本体５０１の軸線方向にのみ変位し得るように拘束
されているため、加速器の構成要素１５を引き出す過程
で、該構成要素１５の軸線がタンク本体５０１の軸線に
対して傾いてタンク本体５０１の内面に接触することは
ない。従って、タンクの中身を引き出す際に加速器の構
成要素１５に人手を添えることは必要でなくなり、その
引き出し作業は少ない人員で行うことができるようにな
る。

【００４７】このように、本発明によれば、タンクベー
スを加速器の構成要素とともに僅かな力で移動させて引
き出すことができ、また加速器の構成要素を引き出す際
に該構成要素を支える必要もないため、加速器の構成要
素を引き出す作業を少ない人員で行うことができ、保守
点検を容易にすることができる。

【００４８】なお加速器の構成要素１５を引き出す際に
は、該構成要素の引出し量（タンク本体から引き出され
た部分の長さ）を、レール支持装置５３１による可動レ
ール５３０の支持に支障を来さない範囲に制限する必要
がある。加速器の構成要素１５の引出し量の最大値は、
レール支持装置５３１の構造により異なるが、定期的に
行われる保守点検の際には、加速器の構成要素１５の全
体を引き出す必要はなく、該構成要素１５の全長のほぼ
１／２程度を引き出せば十分である。この程度の引出し
量であれば、レール支持装置による可動レールの支持に
支障を来さないので、特に問題はない。

【００４９】上記の例では、１対の可動レール５３０，
５３０を１８０度離れた対称位置に配置しているが、図
２に示したように、１対の可動レール５３０，５３０、
及び両可動レールを支持するレール支持装置５３１，５
３１を、水平方向に対して所定の角度θだけ下方に偏位
させた状態で対称配置するようにしてもよい。図２に示
した例では、可動レール５３０及びレール支持装置５３
１の水平方向に対する偏位角θを４５度としている。

【００５０】図２に示した例では、タンク本体５０１の
側面に、水平方向に突出した分岐管部５ａ，５ａが設け
られ、高周波電源を収納したタンク１６の上に支持され
た高周波コイル収納タンク６が分岐管部５ａ，５ａに接
続されている。

【００５１】図２に示した例において、高圧タンク５の
支持構造は図１に示した例と同様であり、該高圧タンク
は、基台５０４の上に回動軸５０５を介して回動可能に
支持されたベース板５０６の上に固定されている。

【００５２】図１及び図２に示したように、タンク本体
の中心軸線を含む垂直面の両側の対称位置に可動レール
を１対設けるようにすると、各可動レール及びレール支
持装置の機械的強度をそれ程高くすることなく、タンク
ベース５０２及び該タンクベースに固定された加速器の
構成要素１５を安定に支持することができる。

【００５３】上記の各例では、可動レール５３０が１対
設けられているが、図３に示したように、タンク本体５
０１の最下部の外周に沿って該タンク本体の軸線方向に
伸びる１本の可動レール５３０を設けて、該可動レール
５３０を、タンク本体の下部に固定されたレール支持装
置５３１により該タンク本体の軸線方向に移動自在に支
持するようにしてもよい。この場合も、レール支持装置
は、可動レールをタンク本体の軸線方向にのみ変位させ
得るように拘束した状態でスラストベアリングを介して
スライド自在に支持するように構成し、可動レール５３
０の一端をタンクベース５０２の下部に固定する。

【００５４】このように、可動レール５３０を１本だけ
設けるようにすると、可動レール及びレール支持装置の
機械的強度は十分に高くしておく必要があるが、タンク
ベースの支持機構の構成の簡素化を図ることができ、保
守作業を容易に行うことができるようになる。

【００５５】図１ないし図３に示した例では、タンクベ
ース５０２に台車が取り付けられていないが、図５に示
した従来例と同様に、タンクベース５０２の下部に台車
を取り付けて、タンクベース５０２をタンク本体５０１
から離れる方向に移動させる際に、タンクベース５０２
を該台車により補助的に支持するようにすることもでき
る。この場合、タンクベース５０２及び該タンクベース
に支持された重量物の重量の大部分が可動レールを介し
てレール支持装置にかかるようにしておけば、タンクベ
ースの移動の容易性が損なわれることはない。

【００５６】上記のようにタンクベース５０２に補助的
に台車を取り付ける場合、該台車の車輪を引き上げ得る
ように構成しておいて、タンクベース５０２とタンク本
体５０１との間の間隔が狭い間は台車の車輪を引き上げ
て床面に接触させないようにしておき、加速器の構成要
素１５の引き出し量が大きくなってタンクベースとタン
ク本体との間の距離が長くなった時点で該台車の車輪を
下ろしてタンクベースを該台車で支持するような使い方
をすることができる。このようにすると、保守点検の際
に引き出した加速器の構成要素を安定に支持することが
できるため、作業の安全性を確保することができる。

【００５７】なお上記のようにタンクベース５０２に台
車を取り付ける場合、該台車は補助的なものであるの
で、該台車を走行させる床面の精度は特に高くしておく
必要がない。

【００５８】上記の説明では、タンデム加速装置を例に
とったが、タンク本体を固定し、タンクベースに中身を
固定して、中身をタンクベースに片持ちで支持した状態
で引き出すことにより保守点検を行なうようにした他の
加速装置（シングルエンド型のイオンビーム加速装置や
電子線加速装置）にも本発明を適用することができるの
はもちろんである。

【００５９】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、タンク
本体の外周部付近を該タンク本体の軸線方向に伸びる可
動レールと、該可動レールをタンク本体の軸線方向にの
み変位し得るように拘束した状態でスラストベアリング
を介して往復移動自在に支持するレール支持装置とを設
けて、該レール支持装置により移動自在に支持された可
動レールにタンクベースを固定する構造にしたので、タ
ンク本体から切り離したタンクベースに僅かな力を加え
るだけで、タンクベースと該タンクベースに支持された
加速器の構成要素とをタンク本体の軸線方向に容易に移
動させることができる。また本発明によれば、加速器の
構成要素を引き出す際に、該構成要素の中心軸線がタン
ク本体の中心軸線に対して大きく傾くのを防ぐことがで
きるため、加速器の構成要素を特に支えることなく、タ
ンク外に引き出すことができる。

【００６０】従って、本発明によれば、従来よりも大幅
に少ない人員で保守点検作業を行なうことができ、保守
点検に要するコストを安くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる加速装置の構成例を示した斜視
図である。

【図２】本発明に係わる加速装置の他の構成例を示した
正面図である。

【図３】本発明に係わる加速装置の更に他の構成例を示
した正面図である。

【図４】荷電粒子加速装置の一例として、イオンビーム
分析装置に用いられているタンデム加速装置の構成例を
示した構成図である。

【図５】従来の加速装置に用いられている圧力タンクの
側面図である。

【符号の説明】

１Ａ 低エネルギ側加速管 １Ｂ 高エネルギ側加速管 ２ 荷電変換器 ３ 高電圧ターミナル ４ 昇圧コイル ５ 圧力タンク ５０１ タンク本体 ５０２ タンクベース ５３０ 可動レール ５３１ レール支持装置 １５ 加速器の構成要素

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軸線方向の少くとも一端に開口部を有す
   るほぼ円筒状のタンク本体と前記タンク本体の一端側の
   開口部を閉じる着脱可能なタンクベースとを有して内部
   に絶縁ガスが封入される圧力タンクと、前記圧力タンク
   内に収納されて一端が前記タンクベースに固定された加
   速器の構成要素とを備え、前記タンクベースをタンク本
   体から外してタンク本体の軸線方向に移動させることに
   より前記加速器の構成要素を前記タンクベースに片持ち
   で支持した状態で外部に引き出し得るように構成されて
   いる荷電粒子加速装置において、 前記タンク本体の外周部付近を該タンク本体の軸線方向
   に沿って伸びる可動レールが設けられて、該可動レール
   が前記タンク本体の外周部に固定されたレール支持装置
   によりタンク本体の軸線方向に移動自在に支持され、 前記レール支持装置は、前記可動レールを前記タンク本
   体の軸線方向にのみ変位させ得るように拘束した状態で
   スラストベアリングを介してスライド自在に支持するよ
   うに構成され、 前記可動レールの一端が前記タンクベースに固定され
   て、該タンクベースが可動レールとともにタンク本体の
   軸線方向に沿って往復移動し得るように構成されている
   ことを特徴とする荷電粒子加速装置。
2. 【請求項２】 軸線方向の少くとも一端に開口部を有す
   るほぼ円筒状のタンク本体と前記タンク本体の一端側の
   開口部を閉じる着脱可能なタンクベースとを有して内部
   に絶縁ガスが封入される圧力タンクと、前記圧力タンク
   内に収納されて一端が前記タンクベースに固定された加
   速器の構成要素とを備え、前記タンクベースをタンク本
   体から外してタンク本体の軸線方向に移動させることに
   より前記加速器の構成要素を前記タンクベースに片持ち
   で支持した状態で外部に引き出し得るように構成されて
   いる荷電粒子加速装置において、 前記タンク本体の中心軸線を含む垂直面の両側に対称に
   配置されて前記タンク本体の外周部付近を該タンク本体
   の軸線方向に沿って伸びる１対の可動レールが設けられ
   て、該１対の可動レールが、前記タンク本体の外周部に
   固定されたレール支持装置により該タンク本体の軸線方
   向に移動自在に支持され、 前記レール支持装置は、各可動レールを前記タンク本体
   の軸線方向にのみ変位させ得るように拘束した状態でス
   ラストベアリングを介してスライド自在に支持するよう
   に構成され、 前記１対の可動レールの一端が前記タンクベースに固定
   されて、該タンクベースが１対の可動レールとともにタ
   ンク本体の軸線方向に往復移動し得るように構成されて
   いることを特徴とする荷電粒子加速装置。
3. 【請求項３】 軸線方向の少くとも一端に開口部を有す
   るほぼ円筒状のタンク本体と前記タンク本体の一端側の
   開口部を閉じる着脱可能なタンクベースとを有して内部
   に絶縁ガスが封入される圧力タンクと、前記圧力タンク
   内に収納されて一端が前記タンクベースに固定された加
   速器の構成要素とを備え、前記タンクベースをタンク本
   体から外してタンク本体の軸線方向に移動させることに
   より前記加速器の構成要素を前記タンクベースに片持ち
   で支持した状態で外部に引き出し得るように構成されて
   いる荷電粒子加速装置において、 前記タンク本体の最下部の外周に沿って該タンク本体の
   軸線方向に伸びる１本の可動レールが設けられて、該可
   動レールが、前記タンク本体の下部に固定されたレール
   支持装置により該タンク本体の軸線方向に移動自在に支
   持され、 前記レール支持装置は、前記可動レールを前記タンク本
   体の軸線方向にのみ変位させ得るように拘束した状態で
   スラストベアリングを介してスライド自在に支持するよ
   うに構成され、 前記可動レールの一端が前記タンクベースの下部に固定
   されて、該タンクベースが前記可動レールとともにタン
   クベースの軸線方向に往復移動し得るように構成されて
   いることを特徴とする荷電粒子加速装置。