JPH11220177A - Ｌｅｄユニットと照明装置 - Google Patents
Ｌｅｄユニットと照明装置Info
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- JPH11220177A JPH11220177A JP10022323A JP2232398A JPH11220177A JP H11220177 A JPH11220177 A JP H11220177A JP 10022323 A JP10022323 A JP 10022323A JP 2232398 A JP2232398 A JP 2232398A JP H11220177 A JPH11220177 A JP H11220177A
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- JP
- Japan
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- led
- lighting device
- led unit
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造が容易かつ安価で、しかも、均一な照明
光が得られるＬＥＤユニットと照明装置を提供する。 【解決手段】 断面コの字型で細長い直線状ケース２１
と、ケース２１の内底面に設けられ、チップ型のＬＥＤ
をライン状に配置したＬＥＤ実装基板２２と、ケース２
１の開口部に配置され、そのケースの細長い直線に沿っ
た方向にリニアなフレネルレンズ２３とを備えたＬＥＤ
ユニット２０を、複数本配置した。
光が得られるＬＥＤユニットと照明装置を提供する。 【解決手段】 断面コの字型で細長い直線状ケース２１
と、ケース２１の内底面に設けられ、チップ型のＬＥＤ
をライン状に配置したＬＥＤ実装基板２２と、ケース２
１の開口部に配置され、そのケースの細長い直線に沿っ
た方向にリニアなフレネルレンズ２３とを備えたＬＥＤ
ユニット２０を、複数本配置した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パターン形成基板
の欠陥を検査する自動パターン検査装置などの照明に好
適に使用されるＬＥＤユニットと照明装置に関するもの
である。
の欠陥を検査する自動パターン検査装置などの照明に好
適に使用されるＬＥＤユニットと照明装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図４は、自動パターン検査装置の一例を
示す図である。自動パターン検査装置４０は、図４
（ａ）に示すように、判別装置４１，ＣＣＤカメラ４
２，光学系４３などを備え、基板５１上にパターン５２
が形成されたパターン形成基板５０に、照明装置３０か
ら照明光を照射して、光学系４３を介して、ＣＣＤカメ
ラ４１によってパターン５２を撮像し、判別装置４１に
よって、撮像されたパターン５２と、予め記憶された標
準のパターンとが一致しているか否かを判別し、パター
ン形成基板５０の欠陥を検査していた。
示す図である。自動パターン検査装置４０は、図４
（ａ）に示すように、判別装置４１，ＣＣＤカメラ４
２，光学系４３などを備え、基板５１上にパターン５２
が形成されたパターン形成基板５０に、照明装置３０か
ら照明光を照射して、光学系４３を介して、ＣＣＤカメ
ラ４１によってパターン５２を撮像し、判別装置４１に
よって、撮像されたパターン５２と、予め記憶された標
準のパターンとが一致しているか否かを判別し、パター
ン形成基板５０の欠陥を検査していた。
【０００３】照明装置３０は、中央に開口部３１ａを有
し、正面側に漏斗状の取付面３１ｂが形成されたケース
３１と、その取付面３１ｂに実装された、レンズを一体
成形したランプパッケージ型のＬＥＤ（発光ダイオー
ド）３２等を備えたリング照明が使用されている。この
照明装置３０は、方向性がなく、均一な照明光を得るた
めに、ＬＥＤ３２が多数並べられており、照明するに当
たって、パターン５２に影がでることがない。
し、正面側に漏斗状の取付面３１ｂが形成されたケース
３１と、その取付面３１ｂに実装された、レンズを一体
成形したランプパッケージ型のＬＥＤ（発光ダイオー
ド）３２等を備えたリング照明が使用されている。この
照明装置３０は、方向性がなく、均一な照明光を得るた
めに、ＬＥＤ３２が多数並べられており、照明するに当
たって、パターン５２に影がでることがない。
【０００４】この自動パターン検査装置は、ＣＣＤカメ
ラ４２による撮像エリア（検出エリア）が１ｃｍ2 程度
であり、そのエリアを均一に照明するために、図４
（ｂ）のリング状の照明装置３０によって、四方八方か
らの照明光を与えて、パターン５２の影をなすくように
し、中央の開口部３１ａからＣＣＤカメラ４２によって
撮像する。ＣＣＤカメラ４２又はパターン形成基板５０
を移動することにより、パターン形成基板５０のすべて
のエリアを検査することができる。
ラ４２による撮像エリア（検出エリア）が１ｃｍ2 程度
であり、そのエリアを均一に照明するために、図４
（ｂ）のリング状の照明装置３０によって、四方八方か
らの照明光を与えて、パターン５２の影をなすくように
し、中央の開口部３１ａからＣＣＤカメラ４２によって
撮像する。ＣＣＤカメラ４２又はパターン形成基板５０
を移動することにより、パターン形成基板５０のすべて
のエリアを検査することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の照明装置は、ＬＥＤ３２がランプパッケージ型である
ので、外径５．０〜５．６ｍｍであり、装置全体が大型
になって大きくなってしまう。
の照明装置は、ＬＥＤ３２がランプパッケージ型である
ので、外径５．０〜５．６ｍｍであり、装置全体が大型
になって大きくなってしまう。
【０００６】また、通常、照明する対象物によって、ワ
ークディスタンスが決まっているので、そこに照明光が
向くように、取付面を漏斗状に傾斜（約３０°位）させ
なければならず、そこにＬＥＤ３２を取り付けるので、
実装がむずかしかった。
ークディスタンスが決まっているので、そこに照明光が
向くように、取付面を漏斗状に傾斜（約３０°位）させ
なければならず、そこにＬＥＤ３２を取り付けるので、
実装がむずかしかった。
【０００７】さらに、ＬＥＤ３２がレンズを一体成形し
たものであるので、レンズとチップとの位置関係が正確
でないと、外形基準でセットしても、光軸の向きがバラ
バラになってしまい、均一な照明光が得られなった。
たものであるので、レンズとチップとの位置関係が正確
でないと、外形基準でセットしても、光軸の向きがバラ
バラになってしまい、均一な照明光が得られなった。
【０００８】このために、ＬＥＤ３２を一個一個点灯さ
せて、光軸の向きを調整していたのでは、製造コストが
非常に高くついてしまう。このムラを解消するために、
光路上に拡散板を挿入することも考えられるが、照明光
が暗くなってしまう、という別の問題が発生する。
せて、光軸の向きを調整していたのでは、製造コストが
非常に高くついてしまう。このムラを解消するために、
光路上に拡散板を挿入することも考えられるが、照明光
が暗くなってしまう、という別の問題が発生する。
【０００９】本発明の課題は、製造が容易かつ安価で、
しかも、均一な照明光が得られるＬＥＤユニットと照明
装置を提供することである。
しかも、均一な照明光が得られるＬＥＤユニットと照明
装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、断面コの字型で細長い直線状若
しくは円弧状又は環状のケースと、前記ケースの内底面
に設けられ、チップ型のＬＥＤをライン状に配置したＬ
ＥＤ実装基板と、前記ケースの開口部に配置され、その
ケースの細長い直線若しは円弧又は環に沿った方向にリ
ニアなフレネルレンズとを備えたＬＥＤユニットであ
る。
に、請求項１の発明は、断面コの字型で細長い直線状若
しくは円弧状又は環状のケースと、前記ケースの内底面
に設けられ、チップ型のＬＥＤをライン状に配置したＬ
ＥＤ実装基板と、前記ケースの開口部に配置され、その
ケースの細長い直線若しは円弧又は環に沿った方向にリ
ニアなフレネルレンズとを備えたＬＥＤユニットであ
る。
【００１１】請求項２の発明は、請求項１に記載された
ＬＥＤユニットを用いた照明装置において、前記ＬＥＤ
ユニットは、長手方向及び／又は幅方向に複数配置され
たことを特徴とする照明装置である。
ＬＥＤユニットを用いた照明装置において、前記ＬＥＤ
ユニットは、長手方向及び／又は幅方向に複数配置され
たことを特徴とする照明装置である。
【００１２】請求項３の発明は、請求項１に記載された
ＬＥＤユニットを用いた照明装置において、前記ＬＥＤ
ユニットは、環状に及び／又は同心円状に複数配置され
たことを特徴とする照明装置である。
ＬＥＤユニットを用いた照明装置において、前記ＬＥＤ
ユニットは、環状に及び／又は同心円状に複数配置され
たことを特徴とする照明装置である。
【００１３】請求項４の発明は、請求項２又は請求項３
に記載された照明装置において、前記ＬＥＤユニット
は、ユニットごとに光軸の調整が可能であることを特徴
とする照明装置である。
に記載された照明装置において、前記ＬＥＤユニット
は、ユニットごとに光軸の調整が可能であることを特徴
とする照明装置である。
【００１４】請求項５の発明は、請求項２から請求項４
までのいずれか１項に記載された照明装置において、前
記ＬＥＤユニットは、ユニットごとに点灯が可能である
ことを特徴とする照明装置である。
までのいずれか１項に記載された照明装置において、前
記ＬＥＤユニットは、ユニットごとに点灯が可能である
ことを特徴とする照明装置である。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
の実施の形態について、さらに詳しくに説明する。 （第１実施形態）図１は、本発明によるＬＥＤユニット
とそれを用いた照明装置の第１実施形態を示す図であ
る。この照明装置１０は、ストレートタイプのものであ
り、照射口１１ａを備えた装置本体１１と、その装置本
体１１内に配置され、照明する対象物Ｏに向くように、
光軸が調整された４個のＬＥＤユニット２０−１〜２０
−４と、装置本体１１にハーフミラー１２を介して、照
射対象物Ｏに向くように配置された１個のＬＥＤユニッ
ト２０−５とを備えており、対象物Ｏの画像を中央のハ
ーフミラー１２を通して、自動パターン検査装置４０
（ミラー４４を備える以外は図４で説明したものと同様
であるので説明を省略する）に導く。
の実施の形態について、さらに詳しくに説明する。 （第１実施形態）図１は、本発明によるＬＥＤユニット
とそれを用いた照明装置の第１実施形態を示す図であ
る。この照明装置１０は、ストレートタイプのものであ
り、照射口１１ａを備えた装置本体１１と、その装置本
体１１内に配置され、照明する対象物Ｏに向くように、
光軸が調整された４個のＬＥＤユニット２０−１〜２０
−４と、装置本体１１にハーフミラー１２を介して、照
射対象物Ｏに向くように配置された１個のＬＥＤユニッ
ト２０−５とを備えており、対象物Ｏの画像を中央のハ
ーフミラー１２を通して、自動パターン検査装置４０
（ミラー４４を備える以外は図４で説明したものと同様
であるので説明を省略する）に導く。
【００１６】ＬＥＤユニット２０は、断面コの字型で細
長いアルミニウム製などの直方体状のケース２１と、ケ
ース２１の内底面に設けられ、チップ型のＬＥＤ（発光
ダイオード）をライン状に配置したＬＥＤ実装基板２２
と、ケース２１の開口部内側に形成された溝に挿入さ
れ、そのケースの長手方向にリニアなフレネルレンズ２
３等とを備えている。
長いアルミニウム製などの直方体状のケース２１と、ケ
ース２１の内底面に設けられ、チップ型のＬＥＤ（発光
ダイオード）をライン状に配置したＬＥＤ実装基板２２
と、ケース２１の開口部内側に形成された溝に挿入さ
れ、そのケースの長手方向にリニアなフレネルレンズ２
３等とを備えている。
【００１７】この実施形態では、ＬＥＤ実装基板２２
は、０．８ｍｍφのＬＥＤチップを、１．２５ｍｍピッ
チで１２０個並べて実装してある。小さなＬＥＤチップ
を狭いピッチで、多数並べてあるので、均一な光を得る
ことができる。このＬＥＤ実装基板２２は、ベアチップ
をプリント配線基板にボンディングにより平面状に実装
するので、製造が容易であり、また、チップ部品である
ので、面基準で精度よく取り付けることができる。
は、０．８ｍｍφのＬＥＤチップを、１．２５ｍｍピッ
チで１２０個並べて実装してある。小さなＬＥＤチップ
を狭いピッチで、多数並べてあるので、均一な光を得る
ことができる。このＬＥＤ実装基板２２は、ベアチップ
をプリント配線基板にボンディングにより平面状に実装
するので、製造が容易であり、また、チップ部品である
ので、面基準で精度よく取り付けることができる。
【００１８】フレネルレンズ２３は、ロッド（円柱状）
レンズと等価な集光レンズであり、ロッドレンズと比較
して、薄く軽量化できる利点がある。この照明装置１０
は、あらゆる方向からの光を１点に集めることが望まし
いが、ある程度幅をもった光を集光すると、ロッドレン
ズの場合には、その形状が光の幅以上に大きくなり、重
いものになってしまう。そこで、本実施形態では、この
フレネルレンズ２３を採用することとした。
レンズと等価な集光レンズであり、ロッドレンズと比較
して、薄く軽量化できる利点がある。この照明装置１０
は、あらゆる方向からの光を１点に集めることが望まし
いが、ある程度幅をもった光を集光すると、ロッドレン
ズの場合には、その形状が光の幅以上に大きくなり、重
いものになってしまう。そこで、本実施形態では、この
フレネルレンズ２３を採用することとした。
【００１９】この実施形態では、７５０ｍｍのＬＥＤユ
ニット２０を５本組み合わせて使用した。この場合に、
各ＬＥＤユニット２０は、さらに、長手方向に１５０ｍ
ｍのＬＥＤユニットに分割しておいてもよい。このよう
にすれば、種々の寸法，形状の照明装置に対応すること
ができる。このときに、フレネルレンズ２３は、ＬＥＤ
チップの実装方向に沿って、リニアなレンズ（シリンド
リカルレンズであり、ライン上には完全にアフォーカル
である）であるので、つなぎ目での不連続性が問題にな
らない。
ニット２０を５本組み合わせて使用した。この場合に、
各ＬＥＤユニット２０は、さらに、長手方向に１５０ｍ
ｍのＬＥＤユニットに分割しておいてもよい。このよう
にすれば、種々の寸法，形状の照明装置に対応すること
ができる。このときに、フレネルレンズ２３は、ＬＥＤ
チップの実装方向に沿って、リニアなレンズ（シリンド
リカルレンズであり、ライン上には完全にアフォーカル
である）であるので、つなぎ目での不連続性が問題にな
らない。
【００２０】図２は、第１実施形態に係るＬＥＤユニッ
トとそれを用いた照明装置の変形例を示した図である。
ＬＥＤユニット２０−１〜２０−４は、照明する対象物
によっては、図２に示すように、平行に配置してもよ
い。
トとそれを用いた照明装置の変形例を示した図である。
ＬＥＤユニット２０−１〜２０−４は、照明する対象物
によっては、図２に示すように、平行に配置してもよ
い。
【００２１】（第２実施形態）図３は、本発明によるＬ
ＥＤユニットとそれを用いた照明装置の第２実施形態を
示す図である。この実施形態の照明装置１０Ｂは、リン
グタイプのものであって、半径の異なるＬＥＤユニット
２０Ｂ−１〜２０Ｂ−３を同心円状に配置したものであ
る。各ユニット２０Ｂ−１〜２０Ｂ−３の内部構造は、
第１実施形態と同様である。
ＥＤユニットとそれを用いた照明装置の第２実施形態を
示す図である。この実施形態の照明装置１０Ｂは、リン
グタイプのものであって、半径の異なるＬＥＤユニット
２０Ｂ−１〜２０Ｂ−３を同心円状に配置したものであ
る。各ユニット２０Ｂ−１〜２０Ｂ−３の内部構造は、
第１実施形態と同様である。
【００２２】この場合にも、各ＬＥＤユニット２０Ｂ−
１〜２０Ｂ−３は、所定角度ごと（例えば、１／４ご
と）に分割するようにしてもよい。このようにすれば、
細分化された各ユニットごとに点灯の制御を行うことが
でき、以下のような用途に使用できる。
１〜２０Ｂ−３は、所定角度ごと（例えば、１／４ご
と）に分割するようにしてもよい。このようにすれば、
細分化された各ユニットごとに点灯の制御を行うことが
でき、以下のような用途に使用できる。
【００２３】（１）照明光を当てる方向によって、画像
のコントラストが変わったり、対象とするワークによっ
て、照明光をどこから当てたらよいか異なる場合が多
い。このような場合に、各ユニットを点灯制御して、種
々の方向から照明光を照射できる構造にしておけば、最
適なコントラストを得ることが可能となる。
のコントラストが変わったり、対象とするワークによっ
て、照明光をどこから当てたらよいか異なる場合が多
い。このような場合に、各ユニットを点灯制御して、種
々の方向から照明光を照射できる構造にしておけば、最
適なコントラストを得ることが可能となる。
【００２４】（２）液晶のパネルは、スペーサ（粒子）
をふりまいて、液晶材を封入するための間隙を形成する
が、この粒子をＣＣＤカメラ４２を用いてカウントする
場合がある。この場合に、封止ガラスは、素ガラスでは
なく、パターンが形成されているので、周辺から照明光
を照射すると、本来、鏡面であるので、光軸方向（受光
軸方向）には光が入ってこない。パターンには、エッジ
が存在するので、白く光ってしまい、粒子とのコントラ
ストがつきにくい。
をふりまいて、液晶材を封入するための間隙を形成する
が、この粒子をＣＣＤカメラ４２を用いてカウントする
場合がある。この場合に、封止ガラスは、素ガラスでは
なく、パターンが形成されているので、周辺から照明光
を照射すると、本来、鏡面であるので、光軸方向（受光
軸方向）には光が入ってこない。パターンには、エッジ
が存在するので、白く光ってしまい、粒子とのコントラ
ストがつきにくい。
【００２５】そこで、一方側のＬＥＤユニットを点灯さ
せ、他方側のＬＥＤユニットを消灯させるように制御す
ればよい。なお、パターンは１８０°又は９０°方向に
形成されているので、２方向からで十分であるが、３方
向、又は、４方向から照射するようにしてもよい。
せ、他方側のＬＥＤユニットを消灯させるように制御す
ればよい。なお、パターンは１８０°又は９０°方向に
形成されているので、２方向からで十分であるが、３方
向、又は、４方向から照射するようにしてもよい。
【００２６】（３）チップ部品の実装検査機において、
半田がのっているか否かを検査する場合がある。この場
合には、各ユニットごとの点灯制御によって、照射角度
を変えるようにすればよい（光を切り換えて照明す
る）。この照明装置の照射角度によって、白く見える場
合と、見えない場合の画像を撮像して、半田の三次元形
状を推定することが簡単にできる。
半田がのっているか否かを検査する場合がある。この場
合には、各ユニットごとの点灯制御によって、照射角度
を変えるようにすればよい（光を切り換えて照明す
る）。この照明装置の照射角度によって、白く見える場
合と、見えない場合の画像を撮像して、半田の三次元形
状を推定することが簡単にできる。
【００２７】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。例えば、フレネル
レンズの前に、プリズムレンズなどの他の光学系を一体
又は別に設けるようにしてもよい。また、ＬＥＤは、パ
ルス点灯せることにより、ハロゲンランプ等の使用した
場合と比較して、制御が容易である。
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。例えば、フレネル
レンズの前に、プリズムレンズなどの他の光学系を一体
又は別に設けるようにしてもよい。また、ＬＥＤは、パ
ルス点灯せることにより、ハロゲンランプ等の使用した
場合と比較して、制御が容易である。
【００２８】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、製造が容易かつ安価で、しかも、均一な照明光が
得られる、という効果がある。
れば、製造が容易かつ安価で、しかも、均一な照明光が
得られる、という効果がある。
【図１】本発明によるＬＥＤユニットとそれを用いた照
明装置の第１実施形態を示す図である。
明装置の第１実施形態を示す図である。
【図２】第１実施形態に係るＬＥＤユニットとそれを用
いた照明装置の変形例を示した図である。
いた照明装置の変形例を示した図である。
【図３】本発明によるＬＥＤユニットとそれを用いた照
明装置の第２実施形態を示す図である。
明装置の第２実施形態を示す図である。
【図４】自動パターン検査装置の一例を示す図である。
１０ 照明装置 １１ 装置本体 １２ ハーフミラー ２０ ＬＥＤユニット ２１ ケース ２２ ＬＥＤ実装基板 ２３ フレネルレンズ ４０ 自動パターン検査装置 ４２ ＣＣＤカメラ
Claims (5)
- 【請求項１】 断面コの字型で細長い直線状若しくは円
弧状又は環状のケースと、 前記ケースの内底面に設けられ、チップ型のＬＥＤをラ
イン状に配置したＬＥＤ実装基板と、 前記ケースの開口部に配置され、そのケースの細長い直
線若しは円弧又は環に沿った方向にリニアなフレネルレ
ンズとを備えたＬＥＤユニット。 - 【請求項２】 請求項１に記載されたＬＥＤユニットを
用いた照明装置において、 前記ＬＥＤユニットは、長手方向及び／又は幅方向に複
数配置されたことを特徴とする照明装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載されたＬＥＤユニットを
用いた照明装置において、 前記ＬＥＤユニットは、環状に及び／又は同心円状に複
数配置されたことを特徴とする照明装置。 - 【請求項４】 請求項２又は請求項３に記載された照明
装置において、 前記ＬＥＤユニットは、ユニットごとに光軸の調整が可
能であることを特徴とする照明装置。 - 【請求項５】 請求項２から請求項４までのいずれか１
項に記載された照明装置において、 前記ＬＥＤユニットは、ユニットごとに点灯が可能であ
ることを特徴とする照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022323A JPH11220177A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | Ｌｅｄユニットと照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022323A JPH11220177A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | Ｌｅｄユニットと照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11220177A true JPH11220177A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12079517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10022323A Pending JPH11220177A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | Ｌｅｄユニットと照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11220177A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006251571A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | アライメント用光源ユニット、アライメント装置、露光装置、デジタル露光装置、アライメント方法、露光方法及び照明装置の条件を設定する方法 |
| US7318652B2 (en) | 2001-09-07 | 2008-01-15 | Litepanels Llc | Versatile stand-mounted wide area lighting apparatus |
| US7331681B2 (en) | 2001-09-07 | 2008-02-19 | Litepanels Llc | Lighting apparatus with adjustable lenses or filters |
| US7429117B2 (en) | 2001-09-07 | 2008-09-30 | Litepanels Llc | Camera-mounted dimmable lighting apparatus |
-
1998
- 1998-02-03 JP JP10022323A patent/JPH11220177A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7318652B2 (en) | 2001-09-07 | 2008-01-15 | Litepanels Llc | Versatile stand-mounted wide area lighting apparatus |
| US7331681B2 (en) | 2001-09-07 | 2008-02-19 | Litepanels Llc | Lighting apparatus with adjustable lenses or filters |
| US7429117B2 (en) | 2001-09-07 | 2008-09-30 | Litepanels Llc | Camera-mounted dimmable lighting apparatus |
| US7510290B2 (en) | 2001-09-07 | 2009-03-31 | Litepanels Llc | Stand-mounted light panel for natural illumination in film, television or video |
| US7604361B2 (en) | 2001-09-07 | 2009-10-20 | Litepanels Llc | Versatile lighting apparatus and associated kit |
| US9097957B2 (en) | 2001-09-07 | 2015-08-04 | Litepanels, Ltd | Versatile lighting apparatus and associated kit |
| JP2006251571A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | アライメント用光源ユニット、アライメント装置、露光装置、デジタル露光装置、アライメント方法、露光方法及び照明装置の条件を設定する方法 |
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