JPH11223461A - 乾燥炉 - Google Patents
乾燥炉Info
- Publication number
- JPH11223461A JPH11223461A JP3795898A JP3795898A JPH11223461A JP H11223461 A JPH11223461 A JP H11223461A JP 3795898 A JP3795898 A JP 3795898A JP 3795898 A JP3795898 A JP 3795898A JP H11223461 A JPH11223461 A JP H11223461A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pins
- pin
- drying
- drying furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の固定ピン上に載置した状態で基板を複
数箇所のポジションに保持し、設定時間がくると複数の
搬送ピン上に基板を移し替えポジション間を順送りして
移動させるタクト搬送方式の乾燥炉において、低コスト
で、基板に形成した塗膜の均一な乾燥ができるようにす
る。 【解決手段】 固定ピンと搬送ピンとして、基板接触部
である先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン部材９を
用いる。ピンの熱が基板に影響しにくくなり、塗膜の乾
燥ムラが軽減し、その結果、一定の膜厚の乾燥膜が形成
できる。ピン部材の形状を変えるだけなので低コストで
済む。
数箇所のポジションに保持し、設定時間がくると複数の
搬送ピン上に基板を移し替えポジション間を順送りして
移動させるタクト搬送方式の乾燥炉において、低コスト
で、基板に形成した塗膜の均一な乾燥ができるようにす
る。 【解決手段】 固定ピンと搬送ピンとして、基板接触部
である先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン部材９を
用いる。ピンの熱が基板に影響しにくくなり、塗膜の乾
燥ムラが軽減し、その結果、一定の膜厚の乾燥膜が形成
できる。ピン部材の形状を変えるだけなので低コストで
済む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板を炉内の複数
箇所に所定時間ずつ保持しながら順送りするタクト搬送
方式の乾燥炉に関するものである。
箇所に所定時間ずつ保持しながら順送りするタクト搬送
方式の乾燥炉に関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】従来より、塗膜を形成
した基板を連続投入して処理する乾燥炉としては、ロー
ラーやベルトで基板を一定スピードで搬送する連続方式
と、予め決められた複数箇所のポジションに基板を保持
し、設定時間がくるとポジション間を基板が移動するタ
クト搬送方式の２方式がある。これら２種類の乾燥炉の
うち、タクト搬送方式の乾燥炉は、基板が炉内の一定ポ
ジションに所定時間停止するため、基板の保持方式に問
題が出てくる。すなわち、停止している基板は複数のピ
ン乃至は帯状のビーム若しくは搬送ローラーによって裏
面を保持されるが、このとき基板面内が裏面から保持を
受けている部分と炉内の雰囲気に曝されている部分とに
区分けされることにより、基板保持点と非保持点で乾燥
スピードが変わり、乾燥膜の膜厚が部分的に異なってし
まうという問題点がある。ホットプレートのように定盤
上に基板を直接置くことで均一な乾燥が期待できるが、
大型基板を乾燥する装置への適用を考えると、装置コス
トのアップにつながるため現実的ではない。
した基板を連続投入して処理する乾燥炉としては、ロー
ラーやベルトで基板を一定スピードで搬送する連続方式
と、予め決められた複数箇所のポジションに基板を保持
し、設定時間がくるとポジション間を基板が移動するタ
クト搬送方式の２方式がある。これら２種類の乾燥炉の
うち、タクト搬送方式の乾燥炉は、基板が炉内の一定ポ
ジションに所定時間停止するため、基板の保持方式に問
題が出てくる。すなわち、停止している基板は複数のピ
ン乃至は帯状のビーム若しくは搬送ローラーによって裏
面を保持されるが、このとき基板面内が裏面から保持を
受けている部分と炉内の雰囲気に曝されている部分とに
区分けされることにより、基板保持点と非保持点で乾燥
スピードが変わり、乾燥膜の膜厚が部分的に異なってし
まうという問題点がある。ホットプレートのように定盤
上に基板を直接置くことで均一な乾燥が期待できるが、
大型基板を乾燥する装置への適用を考えると、装置コス
トのアップにつながるため現実的ではない。
【０００３】本発明は、上記ような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、低コスト
で、基板に形成した塗膜の均一な乾燥ができる乾燥炉を
提供することにある。
れたものであり、その目的とするところは、低コスト
で、基板に形成した塗膜の均一な乾燥ができる乾燥炉を
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ため、本発明は、複数の固定ピン上に載置した状態で基
板を複数箇所のポジションに保持し、設定時間がくると
複数の搬送ピン上に基板を移し替えポジション間を順送
りして移動させるタクト搬送方式の乾燥炉において、基
板接触部である先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン
部材を前記固定ピンと前記搬送ピンに用いたことを特徴
とするものである。
ため、本発明は、複数の固定ピン上に載置した状態で基
板を複数箇所のポジションに保持し、設定時間がくると
複数の搬送ピン上に基板を移し替えポジション間を順送
りして移動させるタクト搬送方式の乾燥炉において、基
板接触部である先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン
部材を前記固定ピンと前記搬送ピンに用いたことを特徴
とするものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明を適用する
乾燥炉の一例を示す外観全体図で、図１は上面図、図２
は側面図である。図１は中が一部見えるように一番左側
の天板が外された状態を示しており、図２は一番左の側
面パネルが一枚外された状態を示している。
乾燥炉の一例を示す外観全体図で、図１は上面図、図２
は側面図である。図１は中が一部見えるように一番左側
の天板が外された状態を示しており、図２は一番左の側
面パネルが一枚外された状態を示している。
【０００６】図１，２において、塗工を終えた基板が右
側の導入装置１１により乾燥炉１２の中に搬入され、炉
内で乾燥されてから排出コンベア１３により搬出され
る。乾燥炉１２は５つの乾燥ステージ１４〜１８が連続
して構成されており、基板が各ステージにそれぞれ所定
時間停止した状態で乾燥が行われる。図中１９は乾燥炉
内の上部に設置されたヒーターで、このヒーター１９に
より基板を温めて塗膜を乾燥させるようになっている。
２０は給気ダクトで、ここから吸い込まれた空気は各ス
テージ１４〜１８に分配され、それぞれフィルター２１
を通って炉内に達し、揮発溶剤を含んだ空気は排気ダク
ト２２を通って外部に放出される。図中２３は操作盤
で、制御盤２４を操作して一連の工程を行わせる。
側の導入装置１１により乾燥炉１２の中に搬入され、炉
内で乾燥されてから排出コンベア１３により搬出され
る。乾燥炉１２は５つの乾燥ステージ１４〜１８が連続
して構成されており、基板が各ステージにそれぞれ所定
時間停止した状態で乾燥が行われる。図中１９は乾燥炉
内の上部に設置されたヒーターで、このヒーター１９に
より基板を温めて塗膜を乾燥させるようになっている。
２０は給気ダクトで、ここから吸い込まれた空気は各ス
テージ１４〜１８に分配され、それぞれフィルター２１
を通って炉内に達し、揮発溶剤を含んだ空気は排気ダク
ト２２を通って外部に放出される。図中２３は操作盤
で、制御盤２４を操作して一連の工程を行わせる。
【０００７】図３は乾燥炉の内部を基板の搬送方向から
見た図であり、図４は１つのステージにおける固定ピン
とその固定ピンに基板を受け渡す搬送ピンの位置関係を
示す説明図である。図４の例では３つの基板サイズＡ，
Ｂ，Ｃが示されており、これらに対応させて１８本の固
定ピン１と１２本の搬送ピン２が配置されるようになっ
ている。図３に示すように、固定ピン１はそれぞれ複数
の脚部材３に支持された６本の金属製ビーム４（搬送方
向に延びる）の上面に取り付けられている。一方、搬送
ピン２はそれぞれ複数の脚部材５に支持された４本の金
属製ビーム６（搬送方向に延びる）の上面に取り付けら
れているが、このビーム６は移動フレーム７に取り付け
られていて、搬送ピン２は上下動が可能であると共に搬
送方向への往復動も可能になっている。
見た図であり、図４は１つのステージにおける固定ピン
とその固定ピンに基板を受け渡す搬送ピンの位置関係を
示す説明図である。図４の例では３つの基板サイズＡ，
Ｂ，Ｃが示されており、これらに対応させて１８本の固
定ピン１と１２本の搬送ピン２が配置されるようになっ
ている。図３に示すように、固定ピン１はそれぞれ複数
の脚部材３に支持された６本の金属製ビーム４（搬送方
向に延びる）の上面に取り付けられている。一方、搬送
ピン２はそれぞれ複数の脚部材５に支持された４本の金
属製ビーム６（搬送方向に延びる）の上面に取り付けら
れているが、このビーム６は移動フレーム７に取り付け
られていて、搬送ピン２は上下動が可能であると共に搬
送方向への往復動も可能になっている。
【０００８】そして、図３に示されるように、複数の固
定ピン１により各ステージにおける所定のポジションに
基板が図の点線で示すレベルで保持され、また複数の搬
送ピン２により基板が各ステージのポジション間を順送
りされる。すなわち、搬送ピン２が上昇した状態で移動
することにより基板を搬送し、所定位置まで移動して停
止した後、搬送ピン２が下降して固定ピン１に基板を受
け渡すことにより基板は所定のポジションに保持される
のである。そして、第１番目のステージ１４で所定時間
乾燥された後、次のステージに送られ、これを繰り返し
て順次ステージ１４〜１８にて乾燥が行われる。
定ピン１により各ステージにおける所定のポジションに
基板が図の点線で示すレベルで保持され、また複数の搬
送ピン２により基板が各ステージのポジション間を順送
りされる。すなわち、搬送ピン２が上昇した状態で移動
することにより基板を搬送し、所定位置まで移動して停
止した後、搬送ピン２が下降して固定ピン１に基板を受
け渡すことにより基板は所定のポジションに保持される
のである。そして、第１番目のステージ１４で所定時間
乾燥された後、次のステージに送られ、これを繰り返し
て順次ステージ１４〜１８にて乾燥が行われる。
【０００９】上記の固定ピン１と搬送ピン２の先端ピン
部材として、通常は図５に示すような先端に丸みのある
ピン部材８を用いているが、乾燥膜の膜厚が部分的に異
なるという問題点が発生する。そこで、本発明では図６
に示す如き先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン部材
９を用いることとしている。このピン部材９はポリイミ
ド、テフロン等の耐熱性樹脂で作製し、理想的には先端
が細い方が望ましいが、基板を支えるためにある程度の
強度が必要となるため、細くするのにも限界がある。そ
こで、先細状の先端は１〜５ｍｍ、好ましくは２ｍｍ程
度のＲ形状とする。このようなピン部材９を固定ピン１
と搬送ピン２に用いることにより、ピンの熱が基板に影
響しにくくなり、乾燥ムラが軽減して乾燥膜の膜厚が一
定となった。
部材として、通常は図５に示すような先端に丸みのある
ピン部材８を用いているが、乾燥膜の膜厚が部分的に異
なるという問題点が発生する。そこで、本発明では図６
に示す如き先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン部材
９を用いることとしている。このピン部材９はポリイミ
ド、テフロン等の耐熱性樹脂で作製し、理想的には先端
が細い方が望ましいが、基板を支えるためにある程度の
強度が必要となるため、細くするのにも限界がある。そ
こで、先細状の先端は１〜５ｍｍ、好ましくは２ｍｍ程
度のＲ形状とする。このようなピン部材９を固定ピン１
と搬送ピン２に用いることにより、ピンの熱が基板に影
響しにくくなり、乾燥ムラが軽減して乾燥膜の膜厚が一
定となった。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、基板を
固定ピンにより複数箇所のポジションに保持し、設定時
間がくると搬送ピンにより基板をポジション間を順送り
して移動させるタクト搬送方式の乾燥炉において、基板
接触部である先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン部
材を前記固定ピンと前記搬送ピンのピン部材に用いたこ
とにより、基板に形成した塗膜の乾燥ムラが軽減し、そ
の結果、一定の膜厚の乾燥膜が得られるという効果があ
り、しかもピン部材の形状を変えるだけなので低コスト
で済む。
固定ピンにより複数箇所のポジションに保持し、設定時
間がくると搬送ピンにより基板をポジション間を順送り
して移動させるタクト搬送方式の乾燥炉において、基板
接触部である先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン部
材を前記固定ピンと前記搬送ピンのピン部材に用いたこ
とにより、基板に形成した塗膜の乾燥ムラが軽減し、そ
の結果、一定の膜厚の乾燥膜が得られるという効果があ
り、しかもピン部材の形状を変えるだけなので低コスト
で済む。
【図１】本発明を適用する乾燥炉の一例を示す上面図で
ある。
ある。
【図２】本発明を適用する乾燥炉の一例を示す側面図で
ある。
ある。
【図３】乾燥炉の内部を基板の搬送方向から見た図であ
る。
る。
【図４】固定ピンと搬送ピンの配置例を示す説明図であ
る。
る。
【図５】通常用いられているピン部材を示す斜視図であ
る。
る。
【図６】本発明で使用するピン部材を示す斜視図であ
る。
る。
１ 固定ピン ２ 搬送ピン ３ 脚部材 ４ ビーム ５ 脚部材 ６ ビーム ７ 移動フレーム ８ ピン部材 ９ ピン部材 １１ 導入装置 １２ 乾燥炉 １３ 排出コンベア １４〜１８ 乾燥ステージ １９ ヒーター ２０ 給気ダクト ２１ フィルター ２２ 排気ダクト ２３ 操作盤 ２４ 制御盤
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の固定ピン上に載置した状態で基板
を複数箇所のポジションに保持し、設定時間がくると複
数の搬送ピン上に基板を移し替えポジション間を順送り
して移動させるタクト搬送方式の乾燥炉において、基板
接触部である先端をＲ加工して尖らせた先細状のピン部
材を前記固定ピンと前記搬送ピンに用いたことを特徴と
する乾燥炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3795898A JPH11223461A (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | 乾燥炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3795898A JPH11223461A (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | 乾燥炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11223461A true JPH11223461A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12512077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3795898A Pending JPH11223461A (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | 乾燥炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11223461A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115420085A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-12-02 | 肖宏意 | 一种农副产品循环烘干系统 |
-
1998
- 1998-02-05 JP JP3795898A patent/JPH11223461A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115420085A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-12-02 | 肖宏意 | 一种农副产品循环烘干系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4592787B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| KR101355278B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
| KR100664344B1 (ko) | 도포장치 | |
| JP4743716B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| KR20130014377A (ko) | 건조 장치 | |
| JP3114692B2 (ja) | 被処理物取扱方法及び被処理物取扱装置 | |
| KR100188453B1 (ko) | 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치 | |
| CN116804827B (zh) | 基板处理装置以及基板处理方法 | |
| JPH11223461A (ja) | 乾燥炉 | |
| JP2006245110A (ja) | 熱的処理装置 | |
| JPH0953881A (ja) | 硬基板のベーク装置 | |
| GB2261322A (en) | Forming electrodes on chip components | |
| JP2691908B2 (ja) | 加熱装置及び加熱処理装置及び加熱処理方法 | |
| JP3504822B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理用露光装置 | |
| JPH11223462A (ja) | 乾燥炉 | |
| JP2003068598A (ja) | ベーキング方法及びベーキング装置 | |
| JP2004079614A (ja) | ワークの処理方法及びその処理装置 | |
| JP5799304B2 (ja) | 露光ユニット及びそれを用いた露光方法 | |
| JP3093094B2 (ja) | カラーフィルタ製造装置 | |
| JP4219447B2 (ja) | 現像処理装置および現像処理方法 | |
| CN112151407A (zh) | 基板处理装置及基板处理方法 | |
| CN111822288B (zh) | 基板烘烤设备及基板烘烤方法 | |
| JP2966231B2 (ja) | レジスト薄膜形成装置 | |
| JP2926593B2 (ja) | 基板処理装置及びレジスト処理装置及び基板処理方法及びレジスト処理方法 | |
| JPH04258148A (ja) | 板状体の搬送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050128 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060915 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061002 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070705 |