JPH11224617A - 画像表示装置 - Google Patents
画像表示装置Info
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- JPH11224617A JPH11224617A JP33463498A JP33463498A JPH11224617A JP H11224617 A JPH11224617 A JP H11224617A JP 33463498 A JP33463498 A JP 33463498A JP 33463498 A JP33463498 A JP 33463498A JP H11224617 A JPH11224617 A JP H11224617A
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Abstract
極を備えることによって、電子ビームの集束および偏向
を的確に制御し、電子ビームのランディング位置のずれ
および他色打ち等を防止して、良好な画像と高い解像度
とを有する画像表示装置を得る。 【解決手段】 真空容器10,14中に、蛍光体層15
と、電子放出源11cと、電子放出源11cから放出さ
れた電子ビームを制御する電極11,12,13とを備
える。電極11,12,13は、弾性体からなる枠体1
1a,12a,13aにワイヤ11b,12b,13
b,13cを架張して構成され、ワイヤ11b,12
b,13b,13cが架張されている枠体11a,12
a,13aは、その対向2辺が平板で、同一平面をなす
ように形成される。
Description
し、詳しくは、映像機器等に用いられる薄型の画像表示
装置に関するものである。
のディスプレイ(画像表示装置)としては、陰極線管
(Cathode Ray Tube)が主流であっ
た。ところが近年は、画像表示装置に省スペース化、携
帯性等の向上が求められるようになり、それに応じて、
様々な薄型の画像表示装置の開発、製品化が進められて
いる。
な薄型の画像表示装置の研究開発がなされており、その
中でも液晶ディスプレイおよびプラズマディスプレイの
開発が盛んである。液晶ディスプレイは、携帯型パソコ
ン、携帯型テレビ、ビデオカメラおよびカーナビゲーシ
ョン等の様々な製品に応用されている。また、プラズマ
ディスプレイも、20インチあるいは40インチ級の大
型ディスプレイ等の製品に応用されている。
角が狭く、応答性能が遅いという問題点を抱えており、
プラズマディスプレイも、高輝度が得にくく、消費電力
が大きい等の問題点を抱えている。そこで、これらの問
題を解決する薄型の画像表示装置として、常温で真空中
に電子が放出される電界放出(Field Emiss
ion)という現象を応用した画像表示装置(以下「電
界放出型画像表示装置」という)が注目されている。こ
の電界放出型画像表示装置は、自発光タイプであるた
め、広い視野角および高輝度を得ることが可能であり、
また、自発光タイプでバックライトが不要であるため、
消費電力を小さくすることができる。
異なるが、線状の熱陰極を用いた高画質の自発光型の平
板ディスプレイとしては、例えば、特開平2−3383
9号公報等に開示されているものがある。
解斜視図を示したものである。この画像表示装置は、背
面電極100、線陰極101、電子ビーム引き出し電極
102、制御電極103、第一集束電極104、第二集
束電極105、水平偏向電極106、垂直偏向電極10
7、内面に蛍光体層108を有する前側ガラス容器10
9a、および後側ガラス容器109bを用いて構成され
ている。背面電極100、線陰極101、電子ビーム引
き出し電極102、制御電極103、第一集束電極10
4、第二集束電極105、水平偏向電極106および垂
直偏向電極107は、後側ガラス容器109bと前側ガ
ラス容器109a(蛍光体層108形成面)との間に収
容されており、後側ガラス容器109bと前側ガラス容
器109aとで形成された各構成要素の収容空間は、真
空に保持されている。
ば、線陰極101および電子ビーム引き出し電極102
によって電子ビームがマトリクス状に形成され、この電
子ビームが、第一集束電極104および第二集束電極1
05を用いて集束される。さらに、電子ビームは、水平
偏向電極106および垂直偏向電極107によって偏向
され、蛍光体層108の所定の位置にランディングする
こととなる。そして、制御電極103は、このような電
子ビームの経時的な制御を行い、絵素を表示するための
映像信号に応じて各電子ビームを個別に調節している。
れも薄い平板状の部品であるから、これらの各部品を組
み合わせて構成される従来技術に係る画像表示装置は、
全体として奥行きが小さく、フラットな画面を有する画
像表示装置とすることができる。
来技術に係る画像表示装置においては、電子ビームを集
束させる機能を有する第一集束電極104,第二集束電
極105が細長い貫通孔を有する導電板からなり、電子
ビームを偏向させる機能を有する水平偏向電極106,
垂直偏向電極107が、2枚の櫛歯状導電板からなって
いるので、それぞれの電極を精度良く形成することが困
難である。
集束電極105は、板状の導電板に細長い貫通孔を有し
ているので、各電極に、うねりや反りが発生する可能性
がある。また、水平偏向電極106および垂直偏向電極
107は板状部材をエッチングして形成された櫛歯状導
電板を用いて構成されているので、各櫛歯状導電板にう
ねりや反りが発生する可能性がある。さらに、各偏向電
極は2枚の櫛歯状導電板を用いて構成されているので、
各偏向電極に何らかの原因で相対的なずれが発生する可
能性もある。
積層電極が、制御電極103及び偏向電極106,10
7のように、分離された複数の導電板からなる電極を含
む場合に、導電平板をスリットパターンにエッチングす
る際、当初は連続した状態にエッチングしておき、これ
らの電極平板を複数枚所定の順序に絶縁しながら接着し
て積層固定した後に、同一平面内で絶縁を必要とする場
合は所定箇所をレーザ光等で切断して積層電極を製造す
る方法が開示されている。しかしながらこのような製造
方法には、加工上、以下のような問題もある。エッチン
グパターンでは、板厚以下の径を有する孔や残りしろの
加工が困難であるため、より要求が高まっている微細化
に対応できない。また、面を安定させるためには、接着
しろを適当な間隔で面全体に設ける必要があるので、こ
れも微細化の妨げとなる。また、面精度や剛性を得るた
めには板厚をあまり薄くできないが、厚みのある板をエ
ッチングすると、エッチング断面に形状のバラツキが生
じ、これが電子レンズの誤差になるおそれがある。さら
に、異なる形状にエッチングされた板を接着して積層し
ていくと、応力のバランスが崩れ、反りうねりを生じ
て、平面度を得ることが困難である。
置を構成する各集束電極および各偏向電極にうねりや反
り等が発生すると、電子ビームの集束および偏向に支障
を来し、電子ビームを的確に制御することが困難とな
り、電子ビームのランディング位置にずれが発生する。
そうすると、電子ビームを所定位置の蛍光体層108に
ランディングさせることが困難となるため、他色打ち等
の起こる可能性が増大して、画像表示装置の画質が悪化
し、高解像度の画像表示装置を得ることが難しくなる。
するためになされたもので、うねりや反り等のない高い
平面度を有する電極を備えることによって、電子ビーム
の集束および偏向を的確に制御し、電子ビームのランデ
ィング位置のずれおよび他色打ち等を防止して、良好な
画像と高い解像度とを有する画像表示装置を提供するこ
とを目的とする。
の本発明に係る画像表示装置は、真空に保持された真空
容器中に、蛍光体層と、電子源を有する電子放出源と、
前記電子放出源から放出された電子ビームを制御する電
極とを備え、前記電子ビームによって前記蛍光体層を発
光させる画像表示装置において、前記電極のうち少なく
とも1枚の電極が、弾性体からなる枠体にワイヤを架張
して構成され、前記ワイヤが架張されている前記枠体の
対向2辺が平板で、同一平面をなすように形成されてお
り、前記蛍光体層と前記電子放出源との間に前記電極を
配置して構成されていることを特徴とする。
枠体が、平板かつ同一平面であり、この枠体に前記ワイ
ヤを架張して前記電極を構成しているので、新たな加工
なしに高い平面度を有する電極を得ることができる。こ
のように平面度の高い電極であれば、うねりや反り等が
ないので、電子ビームを的確に制御することが可能とな
る。また、前記枠体は所定の弾性力を有しており、前記
ワイヤには前記枠体によって所定の張力が与えられてい
るので、この張力により前記ワイヤの平面度は一層効果
的に維持されることとなる。また、このような構成の電
極であれば、厚み方向が薄くなっているので、複数枚の
電極を少ない距離の間隔の中に配置することが可能とな
り、電極間の距離を設定するのに制約にならない。ま
た、前記電極が、平板状の枠体にワイヤを架張して構成
されているので、前記枠体の両面の使用が可能である。
また、対向2辺に段差を設けて前記枠体を形成すれば、
垂直方向の電極も含めてより多くのワイヤ電極を1つの
枠体に設けることができる。また、偏向等に用いられる
前記電極は、少なくとも隣り合うワイヤを絶縁して、隣
り合うワイヤに異なる電圧を印加できるような構成にす
る必要があるが、平板状の前記枠体ならば、配線パター
ンを印刷して、前記ワイヤをそこに固着するように架張
することによって、容易にその目的を達成することが可
能となる。さらに、前記電極はワイヤを用いて構成され
ているので、比較的容易に、各電極(ワイヤ)間のピッ
チを細かくすることが可能であり、その分だけ解像度を
上げることができる。したがって、本実施形態によれ
ば、平面度が高く、容易に細かいピッチを実現すること
ができる電極を用いて画像表示装置を構成しているの
で、良好な画像と高い解像度を有する画像表示装置を得
ることができる。
は、前記電子源がマトリクス状に分割して配置された電
子源であることが好ましい。また、本発明に係る画像表
示装置においては、等価的にマトリクス駆動できる電子
源を有する構成であることが好ましい。この好ましい構
成の電子源の形態は特に限定されない。例えばストライ
プ状に分割された電子源、あるいは面状に連続して形成
された電子源のいずれを用いることもできる。さらに、
この電子源は、電子ビームをマトリクス状に放出できる
ものであれば、どのような形態のものでも使用可能であ
り、例えば、SnO2(Sb)薄膜またはAu薄膜等や
その他の材料の薄膜で形成された表面伝導素子、スピン
ト型(Spindtにより考案された電界放出カソード)等の
マイクロチップ型の電界電子放出素子、MIM型若しく
はそれに類似した構造をもつ電界電子放出素子、あるい
は電子放出材料がダイアモンド、グラファイト、DLC
(Diamond Like Carbon)等のカーボン材料で形成され
た冷陰極線素子を用いて構成されるものがあげられる。
は、前記蛍光体層が形成されている部材の熱膨張係数
と、前記枠体の熱膨脹係数との差が、0〜150℃の温
度範囲内で8×10-7/℃以内であることが好ましい。
この好ましい例によれば、画像表示装置を作動させて内
部温度が上昇したとしても、画像表示装置の実動作の温
度範囲内において、前記蛍光体層が形成されている部材
の熱膨張係数と、前記枠体の熱膨脹係数との差が以上の
ように設定されているので、前記蛍光体層のストライプ
ピッチと前記ワイヤとのピッチの経時的なずれを実用上
影響のない範囲内に抑えることができる。したがって、
画像表示装置の作動時における電子ビームのランディン
グ位置のずれを効果的に防止することができる。
は、前記枠体が、第一の枠体と第二の枠体と絶縁層とを
用いて構成され、前記第一の枠体と前記第二の枠体とが
前記絶縁層を介して張り合わされおり、前記第一の枠体
および前記第二の枠体の前記絶縁層と接していない面
に、前記ワイヤが架張されていることが好ましい。この
好ましい例によれば、前記枠体が、前記絶縁層を介し
て、前記第一の枠体と前記第二の枠体とを張り合わせて
構成されているので、前記第一の枠体および前記第二の
枠体の前記絶縁層と接していないそれぞれの面に前記ワ
イヤを架張することによって、前記電子ビームを挟む絶
縁された一対の電極(ワイヤ)を容易に形成することが
できる。このような構成とすれば、特に配線を設けなく
ても、各電子ビームの制御(集束、偏向等)を行う絶縁
された各一対の電極(ワイヤ)を形成できる。
は、前記ワイヤが固着される前記枠体の対向2辺が金属
を用いて形成されており、前記対向2辺の表面に絶縁膜
が形成され、前記絶縁膜の上に導電部がパターニングさ
れ、前記導電部と導通するように前記ワイヤが架張され
ていることが好ましい。この好ましい例によれば、信号
制御電極やその他同一平面内に種々の電圧を有する電極
(例えば偏向補正電極)等を、比較的容易な方法によっ
て、精度高く形成することが可能となる。
は、前記絶縁膜が、アルミナ溶射によるアルミナ層とガ
ラスフリットとを用いて形成されており、前記導電部
が、銀ペーストを用いて形成されていることが好まし
い。
は、前記真空容器の内面に前記蛍光体層が形成されてい
ることが好ましい。この好ましい例によれば、前記真空
容器と前記蛍光体層とが一体的に構成されていることに
より、製造工程が簡略化され、工数を削減することがで
きる。
て、図面を用いて説明する。
の実施形態に係る画像表示装置の分解斜視図を示したも
のである。図1に示すように、本実施形態に係る画像表
示装置は、後側容器10と、内面に蛍光体層15を有す
る前側ガラス容器14との間に、第一の電極部11と、
第二の電極部12と、第三の電極部13とを収容し、こ
れらを積層して構成されている。また、後側容器10と
前側ガラス容器14とで形成された各構成要素の収容空
間は、1×10-6〜1×10-8torr程度の真空度に
保持されている。
一対の下部枠体11a1と対向して配置された一対の上
部枠体11a2とからなる第一の枠体11a上に、カソ
ード(電子源)として機能するワイヤ11bと、垂直偏
向電極として機能するワイヤ11cとを交互に配置して
構成されている。具体的には、カソード11bと垂直偏
向電極11cとは、一対の下部枠体11a1を跨ぐよう
に架張して、それぞれ平行になるように配置して構成さ
れている。このようにカソード11bと垂直偏向電極1
1cをワイヤを用いて構成し、これらを架張して設置す
ることにより、カソード11bと垂直偏向電極11cの
それぞれの接着しろや給電回路を画像エリア内に形成す
る必要がない。この結果、垂直偏向電極11cをカソー
ド11bと同一平面内に設けることができる。従って、
電子ビームの初速の段階から、効率のよい偏向を行うこ
とができる。
一対の下部枠体12a1と対向して配置された一対の上
部枠体12a2とからなる第二の枠体12a上に、電子
ビーム引き出し電極(以下「引出電極」という)として
機能するワイヤ12bと、不必要な電子ビームをカット
して適切な電子ビームを形成させる機能を有するととも
に電子レンズとしても機能するリボン電極12cとを配
置して構成されている。具体的には、引出電極12b
は、一対の下部枠体12a1を跨ぐように架張して、そ
れぞれのワイヤが平行になるように配置して構成され、
リボン電極12cは、一対の上部枠体12a2を跨ぐよ
うに架張して、それぞれ平行になるように配置して構成
されている。ここで、引出電極12bとリボン電極12
cとは、非接触状態で互いに直交するように構成されて
いる。
下部枠体13a2と絶縁層13a3とからなる第三の枠体
13aの上面(上部枠体13a1側)に水平偏向電極と
して機能するワイヤ13bを配置し、第三の枠体13a
の下面(下部枠体13a2側)に信号電極(制御電極)
として機能するワイヤ13cを配置して構成されてい
る。具体的には、水平偏向電極13bと信号電極13c
は、上部枠体13a1と下部枠体13a2の、それぞれ絶
縁層13a3に接しない側に、各ワイヤ間に適切な間隔
をもたせて架張し、それぞれのワイヤが平行になるよう
に配置して構成されている。
は、それぞれ、枠体11a,12a,13aを用いて構
成されている。これらの枠体11a,12a,13a
は、枠体の対向2辺がそれぞれ平板で、同一平面をなす
ように形成されている。したがって、これらの枠体11
a,12a,13aにワイヤを架張して構成されている
各電極部11,12,13は、高い平面度を有し、うね
りや反り等のない電極部とすることができる。そして、
本実施形態においては、ワイヤのメリットである各ワイ
ヤ間の絶縁の容易さを利用して、各電極部のそれぞれの
機能に応じて、各枠体11a,12a,13a上に適宜
配線を行っている。例えば、引出電極12bについて
は、望むラスタ位置に電子ビームを引き出せるような配
線を、一対の下部枠体12a1上に行っている。また、
以上の各電極部11,12,13は、絶縁部材を介し
て、所定間隔をおいて積層される。絶縁部材は枠体とは
別部材であっても枠体の表面に形成したアルミナ等によ
る絶縁膜であってもよい。また、積層はネジ等のファス
ナーを使った固定でも、接着による固定でもよい。この
ように本実施の形態では、絶縁を保ちながら接着をする
ような特別のスペーサは必要としないので、これらを絶
縁、接着する際のスペーサの厚さに拘束されず、電極部
間距離は各電極部の効果が最も大きくなるように構成さ
れている。
カソード11b、引出電極12bおよびリボン電極12
cによって、電子ビームがマトリクス状に形成される。
そして、この電子ビームが、垂直偏向電極11c、リボ
ン電極12c、水平偏向電極13bおよび信号電極13
cを用いて適宜制御され、蛍光体層15の所定の位置に
ランディングさせられることによって、画像の表示が行
われる。
状の部品であるから、複数枚の電極部を少ない距離の間
隔の中に容易に配置することが可能となり、電極部間の
距離を設定するのに制約にならないので、これらの各部
品を組み合わせて構成される本実施形態に係る画像表示
装置は、全体として奥行きが小さく、フラットな画面を
有する薄型の画像表示装置とすることができる。
成している第三の電極部13の斜視図を示したものであ
る。図2に示したように、第三の電極部13は、上部枠
体13a1と下部枠体13a2と絶縁層13a3とからな
る第三の枠体13aと、水平偏向電極として機能するワ
イヤ13bと、信号電極(制御電極)として機能するワ
イヤ13cとを用いて構成されている。上述したよう
に、水平偏向電極13bと信号電極13cは、上部枠体
13a1と下部枠体13a2の、それぞれ絶縁層13a3
に接しない側に、各ワイヤ間に適切な間隔をもたせて架
張し、それぞれのワイヤが平行になるように配置して構
成されている。
て説明する。
42−6合金(42−Ni,6−Cr,Fe合金)、ス
テンレス鋼等の弾性と耐熱性とを有し、真空中で使用可
能な材料に、絶縁膜を形成することによって構成されて
いる。即ち、上記した材料を用いた基板上に、アルミナ
溶射によるアルミナ層を形成させ、さらにその上にガラ
スフリットを塗布して絶縁膜を形成して、絶縁層13a
3を構成している。アルミナを溶射すれば十分な耐圧を
有する絶縁膜を簡単に形成することができるが、アルミ
ナ膜はポーラスなので銀ペーストのような印刷できる配
線材料は染み込みやすく安定した配線を行うことができ
ない。そこで、本実施形態においては、アルミナ溶射後
にガラスフリットを塗布して焼成し、絶縁膜を形成して
いる。こうすれば、緻密で安定した絶縁膜を得ることが
できる。
下部枠体13a2とは、絶縁層13a 3の両面に、例えば
銀ペーストを用いて形成されている。すなわち、第三の
枠体13aは、絶縁層13a3を介して、上部枠体13
a1と下部枠体13a2とを張り合わせて構成されてい
る。第三の枠体13aは、ワイヤ13b,13cを架張
した状態で平面状に維持できることが可能な形状に形成
されており、例えば、中央部分が貫通して四方の縁のみ
で構成されたロ字形状に形成されている。
インバー材、42−6合金(42−Ni,6−Cr,F
e合金)、ステンレス鋼等の弾性と耐熱性とを有し真空
中で使用可能な材料であって、10〜100μmの線材
にしたもの、または、線材として入手が容易なタングス
テンやニッケル等であって、鋼線と同程度の直径を有す
る線材が用いられる。ワイヤ13bは、上部枠体13a
1の絶縁層13a3と接していない面における対面した縁
部の間に、架張した状態で保持されている。ワイヤ13
cは、下部枠体13a2の絶縁層13a3と接していない
面における対面した縁部の間であって、ワイヤ13bと
平行となる位置に、架張した状態で保持されている。ワ
イヤ13b,13cは、このように架張された状態で保
持され、全てが直線となっているので、第三の枠体13
a面(上部枠体13a1および下部枠体13a2の絶縁層
13a3との非接触面)上におけるワイヤ13b,13
cの平面度は、高い精度で維持されている。また、第三
の枠体13aは所定の弾性力を有しており、ワイヤ13
b,13cにはこの第三の枠体13aによって所定の張
力が与えられるので、この張力によってワイヤ13b,
13cの平面度は一層効果的に維持されることとなる。
している第三の枠体13aは、以上のように、絶縁層1
3a3をサンドイッチするように、導電部たる上部枠体
13a1および下部枠体13a2を張り合わせて構成され
ているので、この第三の枠体13aの両面にワイヤ13
b,13cを架張して、第三の枠体13a上に配線等を
行うことによって、電子ビームを効果的に制御すること
ができる電極を、容易に形成することが可能となる。ワ
イヤ13bとワイヤ13cは、第三の枠体13aの表裏
それぞれの面に、等ピッチ間隔で、架張して保持されて
いる。そして、各ワイヤ13b,13cのそれぞれに適
切な電圧を印加することによって、ワイヤ13bを水平
偏向電極として機能させ、ワイヤ13cを信号電極とし
て機能させる。
電極がワイヤ13b,13cを用いて構成されているの
で、第三の枠体13aのうねりや反り等をなくして、第
三の枠体13aの面精度(平面度)のみを適当に維持す
ることができれば、その第三の枠体13aにワイヤ13
b,13cを架張して保持することによって、ワイヤが
形成する面は平面を構成するから、高い平面度を有する
第三の電極部13を得ることができる。このような高い
平面度を有する第三の電極部13を用いて画像表示装置
を構成すれば、電子ビームを的確に制御することが可能
となり、良好な画像を表示することができる画像表示装
置を得ることができる。また、各電極がワイヤ13b,
13cを用いて形成されているので、比較的容易に、各
電極間の幅を狭くすること(各電極間のピッチを細かく
すること)が可能である。このように、各電極間のピッ
チを細かくすることが可能であれば、その分だけ解像度
を上げることができるので、高解像度を有する画像表示
装置を得ることができる。
は、前側ガラス容器14の内面に直接形成されている。
そして本実施形態においては、この前側ガラス容器14
の熱膨脹係数と、各電極部11,12,13を構成して
いる各枠体11a,12a,13aの熱膨張係数との差
が、0〜150℃の温度範囲において8×10-7/℃以
内になるように、前側ガラス容器14および各枠体11
a,12a,13aの構成要素の形成材料の選択が行わ
れている。このような構成とすれば、画像表示装置を作
動させて内部温度が上昇したとしても、画像表示装置の
実動作の温度範囲内において、蛍光体層15が形成され
ている前面ガラス容器14の熱膨脹係数と、各電極部1
1,12,13を構成している各枠体11a,12a,
13aの熱膨脹係数との差が(上記のように)小さく設
定されているので、蛍光体層15のストライプピッチ
と、各枠体11a,12a,13aに架張されているワ
イヤのピッチとの経時的なずれを実用上影響のない範囲
内に抑えることができる。
置を構成している電極のすべて(リボン電極は除く)を
ワイヤで形成している場合について説明したが、本発明
はこの構成に限定されるものではなく、例えば、精度や
微細化が特に必要な電極のみをワイヤ電極とし、残りの
電極を従来技術に係る電極(エッチング電極)として、
それらを組み合わせて画像表示装置を構成してもよい。
このような構成としても、ワイヤ電極を有することによ
って、上述した所定の効果を得ることができる。
の実施形態に係る画像表示装置の分解斜視図を示したも
のである。本実施形態に係る画像表示装置は、図3に示
すように、複数の電子源51aをマトリクス状に配置し
て形成されている電子放出源51と、この電子放出源5
1から放出される電子ビームを偏向・集束させる機能を
有する電極56と、電子ビームによって励起されて光を
放出する蛍光体層58と、これら電子放出源51、電極
56および蛍光体層58を内部に収容して、その内部を
真空状態に保持する真空容器59とを用いて構成されて
いる。電極56は、電子放出源51と蛍光体層58との
間に配置され、蛍光体層58は、真空容器59の内面に
接するような位置に設けられている。そして、蛍光体層
58から発せられる光が外部から観察され得るように、
真空容器59における蛍光体層58と接する部分は、透
明な部材を用いて形成されている。真空容器59の内部
は、1×10-6〜1×10-8torr程度の真空度に保
持されている。
トリクス状に放出できるものであれば、どのような形態
のものでも使用可能であり、例えば、SnO2(Sb)
薄膜またはAu薄膜等やその他の材料の薄膜で形成され
た表面伝導素子、スピント型(Spindtにより考案された
電界放出カソード)等のマイクロチップ型の電界電子放
出素子、MIM型若しくはそれに類似した構造をもつ電
界電子放出素子、あるいは電子放出材料がダイアモン
ド、グラファイト、DLC(Diamond Like Carbon)等
のカーボン材料で形成された冷陰極線素子を用いて構成
されるものがあげられる。
成している電極56の斜視図を示したものである。図4
に示すように、本実施形態に係る電極56は、枠体42
と複数本のワイヤ41とを用いて構成され、この枠体4
2は、枠体基板42a、第一枠体部42b、第二枠体部
42c、第一導電部42dおよび第二導電部42eを用
いて構成されている。
る。枠体42を構成している枠体基板42aは、例え
ば、インバー材、42−6合金(42−Ni,6−C
r,Fe合金)、ステンレス鋼等の弾性と耐熱性とを有
し、真空中で使用可能な材料を用いて形成されている。
また、導電部を構成している各枠体部42b,42cお
よび各導電部42d,42eは、例えば銀ペーストを用
いて形成されている。そして、枠体基板42aの表面
(第一枠体部42b、第二枠体部42c、第一導電部4
2dおよび第二導電部42eと接する部分)には、絶縁
膜が形成されている。ここで絶縁膜は、第一の実施形態
の場合と同様に、例えば、アルミナ溶射によるアルミナ
層とガラスフリットとを用いて形成されている。この絶
縁膜の上に上記の導電部がパターニング形成されてい
る。
b,42cおよび各導電部42d,42eを保持し、こ
れらの各枠体部42b,42cと各導電部42d,42
eとの間に架張して保持されるワイヤ41を平面状に維
持できることが可能な形状に形成されている。例えば、
中央部分が貫通して四方の縁のみで構成されたロ字形状
等である。各枠体部42b,42cは、枠体基板42a
の対面する縁部にそれぞれ設けられている。第一導電部
42dは、第一枠体部42bが有する第一枠体導電部4
2b1との間でワイヤ41を平面状に保持することが可
能である、枠体基板42a上の所定位置に形成されてい
る。第二導電部42eは、第二枠体部42cが有する第
二枠体導電部42c1との間でワイヤ41を平面状に保
持することが可能である、枠体基板42a上の所定位置
に形成されている。以上のように、枠体基板42aがイ
ンバー材等を用いて形成され、各導電部が銀ペースト等
を用いて形成されているので、本実施形態に係る枠体4
2は、全体として所定の弾性力を有することとなる。
材、42−6合金(42−Ni,6−Cr,Fe合
金)、ステンレス鋼等の弾性と耐熱性とを有し真空中で
使用可能な材料であって、10〜100μmの線材にし
たもの、または、線材として入手が容易なタングステン
やニッケル等であって、鋼線と同程度の直径を有する線
材が用いられ、上述したように、架張した状態で各枠体
導電部42b1,42c1と各導電部42d,42eとの
間において等ピッチ間隔で保持されている。ワイヤ41
は、このように架張された状態で保持され、全てが直線
となっているので、枠体42上におけるワイヤ41の平
面度は、効果的に維持されている。また、枠体42は所
定の弾性力を有しており、ワイヤ41にはこの枠体42
によって所定の張力が与えられているので、この張力に
よってワイヤ41の平面度は一層効果的に維持されるこ
ととなる。
に、各ワイヤ41が所定の間隔を有する複数の一対の電
極として、枠体42の同一平面上に一定の間隔で配列す
る構成となる。ここで、枠体42は、各ワイヤ41を保
持するとともに、枠体42上に配置された各一対のワイ
ヤ41間を電子ビームが走査することが可能な形状に形
成されている。例えば、中央部分が貫通して四方の縁部
分のみで構成されたロ字形状等である。電子放出源51
からマトリクス状に放出される電子ビームのそれぞれ
は、各ワイヤ41で構成される一対の電極間を通った後
に、蛍光体層58にランディングするように、電子放出
源51と電極56と蛍光体層58とが構成されている。
された電子ビームの照射によって発光する蛍光体材料
を、ガラス基板等に塗布等して形成されている。ガラス
基板等に蛍光体材料を塗布等する場合には、カラー表示
が可能な蛍光体層58とするために、赤(R)、緑
(G)、青(B)の順番で、多数の蛍光体のストライプ
がガラス基板等上に形成されるように塗布等を行う。こ
のような蛍光体ストライプは、陰極線管を構成する蛍光
体層を形成する場合の工程と同様のフォトリソグラフ法
の他、印刷法、転写法等の工程によって形成することが
可能である。
な材料を用いて形成されている。画像表示装置として機
能させるためには、前述したように、真空容器59の外
部から、蛍光体層58から発せられる光が観察され得る
必要があるからである。ただし、真空容器59の全体が
透明である必要はなく、真空容器59における蛍光体層
58と接する部分(図3においては、最も面積の広い上
面部分)が透明であればよい。
空容器59とを別々に設け、これらを組み合わせて画像
表示装置を構成する場合について説明した。このような
構成には、画像表示装置(真空容器59)の耐圧設計を
蛍光体層58の形状に関係なく行うことができるという
利点や、蛍光体層を容易に形成することができるといっ
た利点がある。
においては、電子ビームの制御上、電子放出源51と蛍
光体層58との大きさは、ほぼ1:1で正対しているこ
とが望ましいが、画像表示装置をある程度大きくしてい
くと、画像表示装置の内部を真空にする必要性から、真
空容器59の耐圧設計が重要となる。ここで、仮に真空
容器の内面に蛍光体層を塗布するような構成としたなら
ば、真空容器の湾曲等を電子放出源の形状に合わせつ
つ、真空圧に耐えるための厚み等の耐圧設計をも行う必
要がある。これらの両者を満足するような設計を行うこ
とは、画像表示装置の大きさが大きくなればなるほど困
難となる。
したように蛍光体層58と真空容器59とを別々に設
け、それらを組み合わせて画像表示装置を構成してい
る。こうすることによって、真空容器59の設計を比較
的容易に行うことが可能となる。しかしながら、本発明
はこの構成に限定されるものではなく、比較的小型の画
像表示装置を構成する場合には、製造工程の簡略化およ
び工数削減等を目的として、真空容器59の内面(真空
に保持されている側)に蛍光体材料を塗布等して、真空
容器59と蛍光体層とを一体的に形成し、内部に蛍光体
層を有した真空容器59を用いて画像表示装置を構成し
てもよい。
層58および真空容器59は、いずれも薄い平板状の部
品である。したがって、電子放出源51、電極56およ
び蛍光体層58を積層した状態で真空容器59内に収容
することによって構成される本実施形態に係る画像表示
装置は、フラットな画面を有する薄型の画像表示装置と
することができる。
略構成の断面図を示したものである。この図5に示すよ
うに、電子放出源51を構成している各電子源51aか
らは、適宜電子ビームが放出される。電極56は、各電
子源51aから放出される各電子ビームが一対の電極
(ワイヤ)間を通るように、電子放出源51と蛍光体層
58との間の所定の位置に設けられている。ここでは、
一つの電子源51aから放出された電子ビーム50の動
きを例にあげて、本実施形態に係る画像表示装置の動作
および効果等を説明する。
ヤ41a,41b間を通るように電子源51aから放出
され、その際のそれぞれのワイヤ41a,41bの電位
に従って、電子ビーム50a,50b,50cのいずれ
かの状態に偏向され、蛍光体層58を構成する各蛍光体
層構成部58a,58b,58cのいずれかにランディ
ングする。ここで、一対のワイヤ41a,41bは、電
子ビーム50を水平方向に挟むように設けられており、
電子ビーム50は、ワイヤ41a,41bの電位によっ
て水平方向に3段階の偏向を行うこととなる。
せる際の、ワイヤ41a,41bに印加する電圧の波形
を示したものである。この図6においては、横軸に時
間、縦軸に電圧をとって、単位時間毎にワイヤ41aに
印加する電圧Vaと、単位時間毎にワイヤ41bに印加
する電圧Vbとを示している。
に「Va=1」の電圧が印加され、ワイヤ41bに「V
b=−1」の電圧が印加される。つまり、ワイヤ41a
に所定の値(Va=1)の電圧が印加されているのに対
して、ワイヤ41bには、ワイヤ41aに印加した電圧
と符号が異なる値(Vb=−1)の電圧が印加されてい
る。したがって、この時間t1のときには、ワイヤ41
aの方がワイヤ41bよりも電位が高くなるので、電子
ビーム50は電子ビーム50aの状態に偏向させられ、
電子ビーム50aが蛍光体層構成部58aにランディン
グすることとなる。
に「Va=0」の電圧が印加され、ワイヤ41bに「V
b=0」の電圧が印加される。つまり、ワイヤ41a,
2bの両方に所定の値(Va=Vb=0)の電圧が印加
されることとなる。したがって、この時間t2のときに
は、ワイヤ41aとワイヤ41bの電位が等しくなるの
で、電子ビーム50はそのまま進んで電子ビーム50b
の状態となり、電子ビーム50bが蛍光体層構成部58
bにランディングすることとなる。
に「Va=−1」の電圧が印加され、ワイヤ41bに
「Vb=1」の電圧が印加される。つまり、ワイヤ41
aに所定の値(Va=−1)の電圧が印加されているの
に対して、ワイヤ41bには、ワイヤ41aに印加した
電圧と符号が異なる値(Vb=1)の電圧が印加されて
いる。したがって、この時間t3のときには、ワイヤ4
1bの方がワイヤ41aよりも電位が高くなるので、電
子ビーム50は電子ビーム50cの状態に偏向させら
れ、電子ビーム50cが蛍光体層構成部58cにランデ
ィングすることとなる。
に、ワイヤ41a,41bに図6に示したような電圧を
印加することによって電子ビーム50を偏向させてお
り、この際、各時間毎のワイヤ41aとワイヤ41bと
に印加される電圧の和が、それぞれ等しくなるように設
定されている。つまり、時間t1のときの和(Va
(1)+Vb(−1))、時間t2のときの和(Va
(0)+Vb(0))、および時間t3のときの和(V
a(−1)+Vb(1))が等しくなるように、ワイヤ
41aに印加される電圧Vaとワイヤ41bに印加され
る電圧Vbとが設定されている。本実施形態によれば、
各電圧Va,Vbをこのように設定しているので、電極
56全体の電位を常に一定に保つことが可能となり、電
子ビームを駆動させる際においても電位のブレ等がな
い。したがって、より安定した映像を提供することが可
能な画像表示装置を得ることができる。
偏向作用を受けるとともに、蛍光体層58にランディン
グするまでの間に、集束作用をも受ける。本実施形態に
おいては、電子ビーム50を集束させるために、電子放
出源51から蛍光体層58までの間の電界の強さを制御
している。具体的には、蛍光体層58と電極56との間
の平均電界の強さを、電極56と電子放出源51との間
の平均電界の強さよりも大きくなるように、電極56に
供給する電位を調整している。こうすることにより、一
対の電極(ワイヤ)間に入ってきた電子ビーム50を適
宜偏向させるとともに集束させて、蛍光体層構成部58
a,58b,58cのいずれかにフォーカスを絞った状
態でランディングさせることができる。
いる電極56は、第一の実施形態に係る画像表示装置を
構成していた電極部と同様に、枠体とワイヤとを用いて
構成されているので、枠体42のうねりや反り等をなく
して、枠体42の面精度(平面度)のみを適当に維持す
ることができれば、その枠体42にワイヤ41を架張し
て保持することによって、高い平面度を有する電極56
を得ることができる。このような高い平面度を有する電
極56を用いて画像表示装置を構成すれば、第一の実施
形態と同様に、電子ビームを的確に制御することが可能
となり、良好な画像を表示することができる画像表示装
置を得ることができる。さらに、各電極がワイヤ41を
用いて形成されているので、比較的容易に、各電極間の
幅を狭くすること(各電極間のピッチを細かくするこ
と)が可能である。このように、各電極間のピッチを細
かくすることが可能であれば、その分だけ水平方向の解
像度を上げることができるので、高解像度を有する画像
表示装置を得ることができる。
明したように、電子ビーム50の偏向作用および集束作
用を制御する機能を有する平面度の高い電極56を、電
子放出源51と蛍光体層58との間に設けたものであ
る。本実施形態に係る画像表示装置によれば、この電極
56を設けたことにより、電子ビーム50を集束させて
フォーカスを絞り、さらに電子ビーム50を偏向させ
て、電子ビーム50a,50b,50cを所望の蛍光体
層構成部58a,58b,58cにランディングさせる
ことが可能となる。したがって、本実施形態によれば、
電子ビーム50のフォーカスを絞ることによって、他色
打ちを防止し、電子ビーム50を適宜偏向させることに
よって、電子放出源51の配列ピッチより小さな配列ピ
ッチを有する(電子源51aの数より多くの数を有す
る)蛍光体構成部に対して電子ビームをランディングさ
せることが可能となり、その結果、高い解像度を有する
画像表示装置を得ることができる。
50を水平方向に対して3段階に偏向させる画像表示装
置について説明したが、本発明はこの構成に限定される
ものではなく、例えば、一対の電極(ワイヤ)41a,
41b間に供給する電位をさらに細かく制御することに
より、電子ビーム50を水平方向に対して4段階以上に
偏向させるように構成した画像表示装置としてもよい。
偏向段数を上げれば上げる程、その分だけ画像表示装置
の解像度が上がることとなる。
50を水平方向に偏向させる構成の画像表示装置につい
て説明したが、本発明はこの構成に限定されるものでは
なく、例えば、電子ビーム50を垂直方向に偏向させる
ように構成した画像表示装置としてもよく、さらに、電
子ビーム50を水平方向および垂直方向の両方向に偏向
可能なように構成した画像表示装置としてもよい。電子
ビーム50を垂直方向に偏向させるように構成するため
には、電極56を構成する一対のワイヤ41a,41b
が電子ビーム50を垂直方向に挟むように、電子放出源
51と蛍光体層58との間に電極56を配置すればよ
い。電子ビーム50を水平方向および垂直方向の両方向
に偏向可能なように構成するためには、本実施形態にお
いて説明した電極56の他に、電極56と同様の構造を
有する他の電極を、他の電極を構成する各一対の電極
(ワイヤ)がそれぞれの電子ビームを垂直方向に挟むよ
うに、電子放出源51と蛍光体層58との間に配置すれ
ばよい。
成する電極は、図4に示された電極56に限定されるも
のではなく、例えば、図2で示された電極を用いても良
好な性能を有する画像表示装置を構成することができ
る。この図2に示された電極は、絶縁層13a3をサン
ドイッチするように2枚の金属を張り合わせて構成され
ているので、この第三の枠体13aの両面にワイヤ13
b,13cを架張するだけで、特に配線を設けなくて
も、電子ビームを制御(集束、偏向等)することができ
る電極を、容易に形成することが可能となる。このよう
な電極を用いて画像表示装置を構成すれば、工数の低減
等をも図ることができる。また、第一の実施形態に係る
画像表示装置を構成する電極として、図4に示された電
極を用いることも可能である。
形態と同様に、蛍光体層58が形成されている部材の熱
膨脹係数と、枠体42の熱膨脹係数との差が、0〜15
0℃の温度範囲において8×10-7/℃以内になるよう
に、各構成要素の形成材料の選択が行われている。この
ような構成とすれば、画像表示装置を作動させて内部温
度が上昇したとしても、画像表示装置の実動作の温度範
囲内において、蛍光体層58が形成されている部材の熱
膨脹係数と、各電極(ワイヤ)を保持している枠体の熱
膨脹係数との差を(上記のように)小さく設定している
ので、蛍光体層58のストライプピッチと、ワイヤのピ
ッチとの経時的なずれを実用上影響のない範囲内に抑え
ることができる。
の実施形態に係る画像表示装置の分解斜視図を示したも
のである。本実施形態に係る画像表示装置は、基本的に
は前記第二の実施形態に係る画像表示装置(図3参照)
と同様の構成を有している。唯一異なる点は、電子放出
源の構造である。即ち、図7に示すように、制御電極6
1を別部材として設け、また、絶縁性基板51’上の電
子源51bのパターン形状を変更している。
分割され、所定の電子ビームが通過する位置に孔62を
設け、電子が通過できるようにしている。基板51’上
の電子源51bは制御電極61の分割方向と垂直方向
に、同様にストライプ状にパターニングされ、それぞれ
が電気的に分離されている。さらに、通常の電子を放出
しない状態では制御電極61のストライプ状の電子源5
1bに対する電位が負、ないしは両者の電位差が低い状
態にある。
位を正にし、選択的に一部のストライプ状の電子源51
bの電位を負にすると、選択されたそれぞれの交点の電
位差だけが大きくなり、電子源51bのその交点部分か
ら電子が放出される(電子の引き出し)。選択された交
点から引き出された電子は、制御電極61に設けられた
孔62を通過して(選択透過)、蛍光体層58の方向に
流れていく。その後の動作については上記第二の実施形
態と同様であるのでその説明は省略する。
以上のような構成と作用により、実質的に同一面上に電
子源をマトリクス状に配置しない場合でも、別部材とし
て制御電極61を設けることによりマトリクス動作可能
な電子源として利用することができる。つまり、以上の
構成の制御電極61と電子源51bを一体としてマトリ
クス状に配置された電子源を有する電子放出源とみなす
ことができる。
極61は一面に形成されている場合で説明したが、電子
を電位差で引き出す作用と選択透過する作用を2本以上
の電極に分担させ、例えば、電子源の電子が放出される
方向に複数本の電極を設けることもでき、上記と同様の
効果を奏する。
こともできる。
の実施形態に係る画像表示装置の分解斜視図を示したも
のである。本実施形態に係る画像表示装置は、基本的に
は前記第二の実施形態に係る画像表示装置(図3参照)
と同様の構成を有している。唯一異なる点は、電子放出
源の構造である。即ち、図8に示すように、同一面上の
全面に電子源51cを配置し、かつ、電子源51c上
に、電子源51cから電子を放出するための制御電極6
4,65をそれぞれ複数枚設けている。
イプ状に電気的に分割され、所定の電子ビームが通過す
る位置に孔66を設け、電子が通過できるようにしてい
る。制御電極65は、同様にストライプ状に電気的に分
割され、孔66に対応する位置に孔67を設け、孔66
を通過した電子が通過できるようにしている。そして、
制御電極64と制御電極65のそれぞれの分割方向が直
交するように、制御電極64,65を配置している。絶
縁性基板51’上の電子源51cは面状に連続した電子
源である。さらに、通常の電子を放出しない状態では制
御電極64の面状の電子源51cに対する電位が負、な
いしは両者の電位差が低い状態にある。
位を正にすると、選択された制御電極64に対応するス
トライプ部分の電位差だけが大きくなり、この部分から
電子が放出される(電子の引き出し)。選択されたスト
ライプ部分から放出された電子は、選択された制御電極
64に設けられた全ての孔66を通過する。次に、選択
的に一部の制御電極65の電位を正電位とし、その他の
制御電極65の電位をカットオフ電位とすると、孔66
を通過した電子のうち、選択された制御電極64と選択
された制御電極65の交点部分の電子だけが制御電極6
5の孔67を通過して(選択透過)、蛍光体層58の方
向に流れていく。その後の動作については上記第二の実
施形態と同様であるのでその説明は省略する。
以上のような構成と作用により、連続した面状の一の電
子源51cであっても、2枚の制御電極64,65を設
けることにより、マトリクス動作可能な電子源として利
用することができる。つまり、以上の構成の制御電極6
4,65と電子源51cとを一体としてマトリクス状に
配置された電子源を有する電子放出源とみなすことがで
きる。
極は2組で形成されている場合で説明したが、電子を電
位差で引き出すだけの機能を有する電極を別に設け、選
択透過する機能を2組の制御電極に分担させ、合計3組
以上の電極を設けることもでき、上記と同様の効果を奏
する。
こともできる。
いては、電子放出源、各種電極および蛍光体層の位置合
わせが正確に行われている画像表示装置である場合につ
いて説明した。しかしながら、実際に画像表示装置を構
成する場合には、それぞれの部品の製造誤差および組立
時の組立製造誤差等によって、電子ビームの蛍光体層上
におけるランディング位置にずれが発生する場合もあ
る。もちろん、このようなランディング位置のずれがな
いように、設計時および製造時において細心の注意を払
ってはいるが、このようなずれを全く無くすることは非
常に困難である。そして、このような電子ビームのラン
ディング位置のずれが発生すると、他色打ち等の起こる
可能性が増大して、画像表示装置の画質が悪化し、高解
像度の画像表示装置を得ることは難しくなる。
示装置においては、電子ビームの蛍光体層上におけるラ
ンディング位置のずれのデータを記憶する位置ずれ記憶
手段と、このデータに基づいて電子ビームのランディン
グ位置のずれの補正を行うようなオフセット電圧を各種
電極の電子ビームを挟む一対の電極間に印加する補正手
段とを設けることとした。このような構成の画像表示装
置とすれば、画像表示装置を組立てた際に、組立誤差等
による電子ビームと蛍光体層のランディング位置とのず
れが発生していても、各種電極にオフセット電圧を印加
することによってそのずれを補正することができる。し
たがって、電子ビームのランディング位置のずれに起因
する他色打ち等を防止することが可能となり、高い解像
度を有する画像表示装置を得ることができる。
装置を構成している各種電極においては、各電子ビーム
を挟む一対の電極のそれぞれが分割されており、全ての
電極が独立して設けられてもよい。また、いくつかの電
子ビーム毎のブロック単位に対応して、各一対の電極が
ブロック単位で分割されていてもよい。電極をこのよう
な構成とすれば、電子ビームのそれぞれに対して、ある
いはブロック毎に分割された電子ビームに対して、異な
る独立した電位差を与えることができる。
像表示装置を組立てた際の組立誤差等によって、電子ビ
ームのランディング位置がそれぞれバラツキを有してず
れていた場合において、それぞれの電子ビーム、あるい
はブロック毎に分割された電子ビームに対して、オフセ
ット電圧を独立して印加することが可能となるので、そ
れぞれの電子ビーム、あるいはブロック毎に分割された
電子ビームのランディング位置のずれを独立して効果的
に補正することができる。
うねりや反り等のない高い平面度を有する電極を備える
ことによって、電子ビームの集束および偏向を的確に制
御し、電子ビームのランディング位置のずれおよび他色
打ち等を防止して、良好な画像と高い解像度とを有する
画像表示装置を得ることができる。
分解斜視図
部の電極部の斜視図
分解斜視図
極の斜視図
た断面図
る際に電極に印加する電圧の波形図
分解斜視図
分解斜視図
Claims (9)
- 【請求項1】 真空に保持された真空容器中に、蛍光体
層と、電子源を有する電子放出源と、前記電子放出源か
ら放出された電子ビームを制御する電極とを備え、前記
電子ビームによって前記蛍光体層を発光させる画像表示
装置において、 前記電極のうち少なくとも1枚の電極が、弾性体からな
る枠体にワイヤを架張して構成され、前記ワイヤが架張
されている前記枠体の対向2辺が平板で、同一平面をな
すように形成されており、前記蛍光体層と前記電子放出
源との間に前記電極を配置して構成されていることを特
徴とする画像表示装置。 - 【請求項2】 前記電子源がマトリクス状に分割された
電子源である請求項1に記載の画像表示装置。 - 【請求項3】 前記電子源がストライプ状に分割された
電子源である請求項1に記載の画像表示装置。 - 【請求項4】 前記電子源が面状に連続した電子源であ
る請求項1に記載の画像表示装置。 - 【請求項5】 前記蛍光体層が形成されている部材の熱
膨張係数と、前記枠体の熱膨脹係数との差が、0〜15
0℃の温度範囲内で8×10-7/℃以内である請求項1
〜4のいずれか1項に記載の画像表示装置。 - 【請求項6】 前記枠体が、第一の枠体と第二の枠体と
絶縁層とを用いて構成され、前記第一の枠体と前記第二
の枠体とが前記絶縁層を介して張り合わされおり、前記
第一の枠体および前記第二の枠体の前記絶縁層と接して
いない面に、前記ワイヤが架張されている請求項1〜5
のいずれか1項に記載の画像表示装置。 - 【請求項7】 前記ワイヤが固着される前記枠体の対向
2辺が金属を用いて形成されており、前記対向2辺の表
面に絶縁膜が形成され、前記絶縁膜の上に導電部がパタ
ーニングされ、前記導電部と導通するように前記ワイヤ
が架張されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の
画像表示装置。 - 【請求項8】 前記絶縁膜が、アルミナ溶射によるアル
ミナ層とガラスフリットとを用いて形成されており、前
記導電部が、銀ペーストを用いて形成されている請求項
7に記載の画像表示装置。 - 【請求項9】 前記真空容器の内面に前記蛍光体層が形
成されている請求項1〜8のいずれか1項に記載の画像
表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33463498A JP3976424B2 (ja) | 1997-12-01 | 1998-11-25 | 画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-330633 | 1997-12-01 | ||
| JP33063397 | 1997-12-01 | ||
| JP33463498A JP3976424B2 (ja) | 1997-12-01 | 1998-11-25 | 画像表示装置 |
Publications (2)
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| JP2011221259A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Noritake Co Ltd | 絶縁膜組成物 |
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