JPH11225476A - 直流高圧電源装置 - Google Patents
直流高圧電源装置Info
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- JPH11225476A JPH11225476A JP10041135A JP4113598A JPH11225476A JP H11225476 A JPH11225476 A JP H11225476A JP 10041135 A JP10041135 A JP 10041135A JP 4113598 A JP4113598 A JP 4113598A JP H11225476 A JPH11225476 A JP H11225476A
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- JP
- Japan
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- coil
- pressure tank
- booster
- power supply
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Links
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 7
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Rectifiers (AREA)
- Power Conversion In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各高周波電極と接地電位部との間にそれぞれ
形成される静電容量のアンバランスを簡単に解消して、
より安定度の高い直流出力電圧を得る。 【解決手段】 昇圧コイル４の二次コイル６の両外側の
端面６ａに間をあけてそれぞれ対向するように圧力タン
ク２８内に収納されていて電気的に接地された二つのア
ース板３２と、この各アース板３２とそれに対向する二
次コイル６の端面６ａとの間の距離Ｍ1 、Ｍ2 をそれぞ
れ調整する二つの距離調整機構３４とを設けた。
形成される静電容量のアンバランスを簡単に解消して、
より安定度の高い直流出力電圧を得る。 【解決手段】 昇圧コイル４の二次コイル６の両外側の
端面６ａに間をあけてそれぞれ対向するように圧力タン
ク２８内に収納されていて電気的に接地された二つのア
ース板３２と、この各アース板３２とそれに対向する二
次コイル６の端面６ａとの間の距離Ｍ1 、Ｍ2 をそれぞ
れ調整する二つの距離調整機構３４とを設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばイオン注
入装置、電子線照射装置、その他の加速器等に用いられ
るシェンケル形の直流高圧電源装置に関し、より具体的
には、一対の高周波電極と接地電位部との間にそれぞれ
形成される静電容量のアンバランスを解消して、より安
定度の高い直流出力電圧を得る手段に関する。
入装置、電子線照射装置、その他の加速器等に用いられ
るシェンケル形の直流高圧電源装置に関し、より具体的
には、一対の高周波電極と接地電位部との間にそれぞれ
形成される静電容量のアンバランスを解消して、より安
定度の高い直流出力電圧を得る手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の直流高圧電源装置の一例が実公
平８−１１０６４号公報に開示されている。それを以下
に簡単に説明する。
平８−１１０６４号公報に開示されている。それを以下
に簡単に説明する。
【０００３】図３に示す直流高圧電源装置は、一次コイ
ル５および中性点８が接地された二次コイル６を有する
昇圧コイル４と、この昇圧コイル４の二次コイル６の両
端部にそれぞれ接続され、かつ半円筒形をしていて互い
に向かい合うように配置された一対の高周波電極１０
と、この一対の高周波電極１０の間に設けられていて複
数のキャパシタ電極１２および複数の整流器１４を多段
に接続して成る直流昇圧部２６とを備えており、これら
を絶縁ガス（例えばＳＦ6 ガス）が充填されかつ電気的
に接地された円筒形の圧力タンク２８内に収納して成
る。昇圧コイル４の一次コイル５には、高周波電源２か
ら例えば１０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚ、０〜１０ｋＶ程度
の高周波電力が供給される。
ル５および中性点８が接地された二次コイル６を有する
昇圧コイル４と、この昇圧コイル４の二次コイル６の両
端部にそれぞれ接続され、かつ半円筒形をしていて互い
に向かい合うように配置された一対の高周波電極１０
と、この一対の高周波電極１０の間に設けられていて複
数のキャパシタ電極１２および複数の整流器１４を多段
に接続して成る直流昇圧部２６とを備えており、これら
を絶縁ガス（例えばＳＦ6 ガス）が充填されかつ電気的
に接地された円筒形の圧力タンク２８内に収納して成
る。昇圧コイル４の一次コイル５には、高周波電源２か
ら例えば１０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚ、０〜１０ｋＶ程度
の高周波電力が供給される。
【０００４】直流昇圧部２６の構成はこの例では次のと
おりである。即ち、各高周波電極１０との間に隙間をあ
けて対向するように、半円筒形で互いにほぼ同一寸法の
複数のキャパシタ電極１２を、互いの間に隙間をあける
と共に左右で高さ位置を揃えて対称形に、それぞれ多段
に積み重ね、かつ昇圧コイル４の二次コイル６の中性点
８と左右の１段目のキャパシタ電極１２とを上向きの整
流器１４を介してそれぞれ接続し、更に左右のキャパシ
タ電極１２間を、１段ずつずらせて、上向きの整流器１
４を介してそれぞれ接続している。そして、左右の最上
（最終）段のキャパシタ電極１２間に２個の整流器１４
を突き合わせて接続し、この突き合わせ接続点２４を、
この例ではコイル１６を介して半球状の直流出力端子１
８に接続している。
おりである。即ち、各高周波電極１０との間に隙間をあ
けて対向するように、半円筒形で互いにほぼ同一寸法の
複数のキャパシタ電極１２を、互いの間に隙間をあける
と共に左右で高さ位置を揃えて対称形に、それぞれ多段
に積み重ね、かつ昇圧コイル４の二次コイル６の中性点
８と左右の１段目のキャパシタ電極１２とを上向きの整
流器１４を介してそれぞれ接続し、更に左右のキャパシ
タ電極１２間を、１段ずつずらせて、上向きの整流器１
４を介してそれぞれ接続している。そして、左右の最上
（最終）段のキャパシタ電極１２間に２個の整流器１４
を突き合わせて接続し、この突き合わせ接続点２４を、
この例ではコイル１６を介して半球状の直流出力端子１
８に接続している。
【０００５】上記構成によれば、左右の高周波電極１０
と各キャパシタ電極１２との間にそれぞれ同一容量の静
電容量Ｃ0 が形成されるので、昇圧コイル４の二次コイ
ル６の両端には、これらの複数の静電容量Ｃ0 の一端を
互いに並列接続して成る静電容量群の共通接続部側がそ
れぞれ接続されたのと等価になり、対称形（バランス
形）のシェンケル回路が構成される。
と各キャパシタ電極１２との間にそれぞれ同一容量の静
電容量Ｃ0 が形成されるので、昇圧コイル４の二次コイ
ル６の両端には、これらの複数の静電容量Ｃ0 の一端を
互いに並列接続して成る静電容量群の共通接続部側がそ
れぞれ接続されたのと等価になり、対称形（バランス
形）のシェンケル回路が構成される。
【０００６】昇圧コイル４の二次コイル６の中性点８の
左右に波高値Ｅの二次電圧ｅがそれぞれ出力されるとす
ると、上記シェンケル回路によって、簡単に言えば、直
流出力端子１８に約７Ｅの直流出力電圧が得られる。例
えば、波高値Ｅを５００ｋＶとすると、３．５ＭＶが得
られる。
左右に波高値Ｅの二次電圧ｅがそれぞれ出力されるとす
ると、上記シェンケル回路によって、簡単に言えば、直
流出力端子１８に約７Ｅの直流出力電圧が得られる。例
えば、波高値Ｅを５００ｋＶとすると、３．５ＭＶが得
られる。
【０００７】直流昇圧部２６は、この例のように対称形
にせずに、図４に示す例のように非対称形にする場合も
ある。但し、図３の例のように対称形にする方が、昇圧
コイル４の二次コイル６から突き合わせ接続点２４に至
る系統が２系統並列に、しかも対称形に存在することに
なるので、内部抵抗が下がり、負荷を取ったときの出力
電圧降下やリップル電圧が小さくなる。また、回路が対
称形であるので、左右の高周波電極１０側から直流回路
への高周波成分の静電誘導が互いに相殺され、当該静電
誘導による出力電圧のリップルも減少する。
にせずに、図４に示す例のように非対称形にする場合も
ある。但し、図３の例のように対称形にする方が、昇圧
コイル４の二次コイル６から突き合わせ接続点２４に至
る系統が２系統並列に、しかも対称形に存在することに
なるので、内部抵抗が下がり、負荷を取ったときの出力
電圧降下やリップル電圧が小さくなる。また、回路が対
称形であるので、左右の高周波電極１０側から直流回路
への高周波成分の静電誘導が互いに相殺され、当該静電
誘導による出力電圧のリップルも減少する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記昇圧コイル４にお
いては、昇圧効率を高める等のために、通常は共振を利
用しており、高周波電源２から昇圧コイル４に供給する
高周波電力の周波数は、昇圧コイル４の中性点８の左右
の二次コイル６のインダクタンスＬと、左右の高周波電
極１０と接地電位部（この例では圧力タンク２８）との
間にそれぞれ形成される静電容量Ｃ1 とによって決まる
共振周波数に設定される。
いては、昇圧効率を高める等のために、通常は共振を利
用しており、高周波電源２から昇圧コイル４に供給する
高周波電力の周波数は、昇圧コイル４の中性点８の左右
の二次コイル６のインダクタンスＬと、左右の高周波電
極１０と接地電位部（この例では圧力タンク２８）との
間にそれぞれ形成される静電容量Ｃ1 とによって決まる
共振周波数に設定される。
【０００９】ところが、上記左右の高周波電極１０と接
地電位部との間にそれぞれ形成される静電容量Ｃ1 は、
通常、各高周波電極１０の製作上の不揃いや取付上の不
揃い等によって、不可避的にアンバランスが生じる。即
ち、一方の静電容量をＣ1 とすると、他方の静電容量は
Ｃ2 （≠Ｃ1 ）となる。
地電位部との間にそれぞれ形成される静電容量Ｃ1 は、
通常、各高周波電極１０の製作上の不揃いや取付上の不
揃い等によって、不可避的にアンバランスが生じる。即
ち、一方の静電容量をＣ1 とすると、他方の静電容量は
Ｃ2 （≠Ｃ1 ）となる。
【００１０】その結果、左右の高周波電極１０にそれぞ
れ誘起される高周波電圧にもアンバランスが生じ、リ
ップル電圧が増大して直流出力電圧の安定度が低下す
る、一方の高周波電極１０に誘起される高周波電圧が
他方よりも低下するので直流出力電圧が低下する、等の
問題が生じる。
れ誘起される高周波電圧にもアンバランスが生じ、リ
ップル電圧が増大して直流出力電圧の安定度が低下す
る、一方の高周波電極１０に誘起される高周波電圧が
他方よりも低下するので直流出力電圧が低下する、等の
問題が生じる。
【００１１】このような問題は、上記図３および図４の
どららの直流高圧電源装置にも存在する。
どららの直流高圧電源装置にも存在する。
【００１２】そこでこの発明は、各高周波電極と接地電
位部との間にそれぞれ形成される静電容量のアンバラン
スを簡単に解消して、より安定度の高い直流出力電圧を
得ることができる直流高圧電源装置を提供することを主
たる目的とする。
位部との間にそれぞれ形成される静電容量のアンバラン
スを簡単に解消して、より安定度の高い直流出力電圧を
得ることができる直流高圧電源装置を提供することを主
たる目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明の直流高圧電源
装置は、前記昇圧コイルの二次コイルの両側の端面に間
をあけてそれぞれ対向するように前記圧力タンク内に収
納されていて電気的に接地された二つのアース板と、こ
の各アース板とそれに対向する前記昇圧コイルの端面と
の間の距離をそれぞれ調整する二つの距離調整機構とを
備えることを特徴としている。
装置は、前記昇圧コイルの二次コイルの両側の端面に間
をあけてそれぞれ対向するように前記圧力タンク内に収
納されていて電気的に接地された二つのアース板と、こ
の各アース板とそれに対向する前記昇圧コイルの端面と
の間の距離をそれぞれ調整する二つの距離調整機構とを
備えることを特徴としている。
【００１４】上記構成によれば、昇圧コイルの二次コイ
ルの両端部と各アース板との間には、静電容量Ｃ3 およ
びＣ4 （図１参照）がそれぞれ形成され、この静電容量
は、等価的に、各高周波電極と圧力タンクとの間にそれ
ぞれ形成される前述した静電容量Ｃ1 およびＣ2 にそれ
ぞれ電気的に並列接続された状態になる。
ルの両端部と各アース板との間には、静電容量Ｃ3 およ
びＣ4 （図１参照）がそれぞれ形成され、この静電容量
は、等価的に、各高周波電極と圧力タンクとの間にそれ
ぞれ形成される前述した静電容量Ｃ1 およびＣ2 にそれ
ぞれ電気的に並列接続された状態になる。
【００１５】そしてこの静電容量Ｃ3 およびＣ4 の大き
さは、各アース板と昇圧コイルの二次コイルの端面との
間の距離を各距離調整機構によってそれぞれ調整するこ
とによって、互いに独立して、しかも簡単に調整するこ
とができる。
さは、各アース板と昇圧コイルの二次コイルの端面との
間の距離を各距離調整機構によってそれぞれ調整するこ
とによって、互いに独立して、しかも簡単に調整するこ
とができる。
【００１６】その結果、各高周波電極と接地電位部との
間にそれぞれ形成される静電容量（Ｃ1 ＋Ｃ3 ）および
（Ｃ2 ＋Ｃ4 ）間のアンバランスを簡単に解消すること
ができる。
間にそれぞれ形成される静電容量（Ｃ1 ＋Ｃ3 ）および
（Ｃ2 ＋Ｃ4 ）間のアンバランスを簡単に解消すること
ができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る直流高圧
電源装置の昇圧コイル周りの一例を示す断面図である。
直流高圧電源装置全体としての構成は前述した図３また
は図４を参照するものとする。
電源装置の昇圧コイル周りの一例を示す断面図である。
直流高圧電源装置全体としての構成は前述した図３また
は図４を参照するものとする。
【００１８】前述した昇圧コイル４は、例えば、円板状
に巻かれたコイルを複数個積み重ねて互いに接続した構
造をしており、その全体は円柱状をしている。
に巻かれたコイルを複数個積み重ねて互いに接続した構
造をしており、その全体は円柱状をしている。
【００１９】この昇圧コイル４の二次コイル６の左右両
外側の端面６ａに間をあけてそれぞれ対向するように、
二つのアース板３２を前述した圧力タンク２８内に収納
している。各アース板３２は、この例では後述する距離
調整機構３４を経由して圧力タンク２８に電気的に接続
されていて、共に電気的に接地されている。各アース板
３２は、例えば円板状をしている。
外側の端面６ａに間をあけてそれぞれ対向するように、
二つのアース板３２を前述した圧力タンク２８内に収納
している。各アース板３２は、この例では後述する距離
調整機構３４を経由して圧力タンク２８に電気的に接続
されていて、共に電気的に接地されている。各アース板
３２は、例えば円板状をしている。
【００２０】更にこの例では、圧力タンク２８内に、各
アース板３２とそれに対向する昇圧コイル４の二次コイ
ル６の端面６ａとの間の距離Ｍ1 、Ｍ2 を手作業によっ
てそれぞれ調整する二つの距離調整機構３４を設けてい
る。各距離調整機構３４は、この例では、アース板３２
に立設されたボルト３６と、圧力タンク２８の内壁に取
り付けられていてこのボルト３６が貫通している固定板
３８と、ボルト３６の固定位置を調整する二つのナット
４０、４２とを備えている。
アース板３２とそれに対向する昇圧コイル４の二次コイ
ル６の端面６ａとの間の距離Ｍ1 、Ｍ2 を手作業によっ
てそれぞれ調整する二つの距離調整機構３４を設けてい
る。各距離調整機構３４は、この例では、アース板３２
に立設されたボルト３６と、圧力タンク２８の内壁に取
り付けられていてこのボルト３６が貫通している固定板
３８と、ボルト３６の固定位置を調整する二つのナット
４０、４２とを備えている。
【００２１】圧力タンク２８には、この例では、各距離
調整機構３４の外側に位置する部分に蓋３０がそれぞれ
設けられており、この蓋３０を開けて各距離調整機構３
４のナット４０、４２を回すことによって、各アース板
３２を矢印Ｄに示すように上下動させて、上記距離
Ｍ1 、Ｍ2 を互いに独立して調整することができる。
調整機構３４の外側に位置する部分に蓋３０がそれぞれ
設けられており、この蓋３０を開けて各距離調整機構３
４のナット４０、４２を回すことによって、各アース板
３２を矢印Ｄに示すように上下動させて、上記距離
Ｍ1 、Ｍ2 を互いに独立して調整することができる。
【００２２】このような構造にすると、昇圧コイル４の
二次コイル６の両端部と各アース板３２との間には、静
電容量Ｃ3 およびＣ4 がそれぞれ形成される。昇圧コイ
ル４の二次コイル６の両端部には、前述したように各高
周波電極１０がそれぞれ接続されているので、この静電
容量Ｃ3 およびＣ4 は、等価的に、各高周波電極１０と
圧力タンク２８との間にそれぞれ形成される前述した静
電容量Ｃ1 およびＣ2にそれぞれ電気的に並列接続され
た状態になる。従って、各高周波電極１０と接地電位部
との間には、等価的に、Ｃ1 ＋Ｃ3 の静電容量とＣ2 ＋
Ｃ4 の静電容量とがそれぞれ形成されることになる。
二次コイル６の両端部と各アース板３２との間には、静
電容量Ｃ3 およびＣ4 がそれぞれ形成される。昇圧コイ
ル４の二次コイル６の両端部には、前述したように各高
周波電極１０がそれぞれ接続されているので、この静電
容量Ｃ3 およびＣ4 は、等価的に、各高周波電極１０と
圧力タンク２８との間にそれぞれ形成される前述した静
電容量Ｃ1 およびＣ2にそれぞれ電気的に並列接続され
た状態になる。従って、各高周波電極１０と接地電位部
との間には、等価的に、Ｃ1 ＋Ｃ3 の静電容量とＣ2 ＋
Ｃ4 の静電容量とがそれぞれ形成されることになる。
【００２３】その内、静電容量Ｃ3 およびＣ4 の大きさ
は、前述したように各アース板３２と昇圧コイル４の端
面６ａとの間の距離Ｍ1 、Ｍ2 を各距離調整機構３４に
よってそれぞれ調整することによって、互いに独立し
て、しかも簡単に調整することができる。それによっ
て、上記静電容量Ｃ1 とＣ2 間にアンバランスが生じて
いても、各高周波電極１０と接地電位部との間にそれぞ
れ形成される静電容量（Ｃ1 ＋Ｃ3 ）と静電容量（Ｃ2
＋Ｃ4 ）との間のアンバランスを簡単に解消して、両静
電容量を互いに等しくすることができる。
は、前述したように各アース板３２と昇圧コイル４の端
面６ａとの間の距離Ｍ1 、Ｍ2 を各距離調整機構３４に
よってそれぞれ調整することによって、互いに独立し
て、しかも簡単に調整することができる。それによっ
て、上記静電容量Ｃ1 とＣ2 間にアンバランスが生じて
いても、各高周波電極１０と接地電位部との間にそれぞ
れ形成される静電容量（Ｃ1 ＋Ｃ3 ）と静電容量（Ｃ2
＋Ｃ4 ）との間のアンバランスを簡単に解消して、両静
電容量を互いに等しくすることができる。
【００２４】その結果、各高周波電極１０に誘起される
高周波電圧のアンバランスを解消することができるの
で、リップル電圧を小さく抑えてより安定度の高い直流
出力電圧を得ることができる。かつ、両方の高周波電極
１０に誘起される高周波電圧を共に高くすることができ
るので、直流出力電圧を効率良く高めることができる。
高周波電圧のアンバランスを解消することができるの
で、リップル電圧を小さく抑えてより安定度の高い直流
出力電圧を得ることができる。かつ、両方の高周波電極
１０に誘起される高周波電圧を共に高くすることができ
るので、直流出力電圧を効率良く高めることができる。
【００２５】このような効果は、直流昇圧部２６が図３
に示した対称形、図４に示した非対称形のいずれであっ
ても得られるけれども、図３に示した直流昇圧部２６は
バランスによる高安定化を特徴としているので、そのよ
うな直流昇圧部２６と上記構造とを組み合わせる方が、
高安定化の効果は一層大きくなる。
に示した対称形、図４に示した非対称形のいずれであっ
ても得られるけれども、図３に示した直流昇圧部２６は
バランスによる高安定化を特徴としているので、そのよ
うな直流昇圧部２６と上記構造とを組み合わせる方が、
高安定化の効果は一層大きくなる。
【００２６】なお、上記距離調整機構３４は電動式にし
ても良い。その一例を図２に示す。この距離調整機構３
４は、圧力タンク２８（より具体的にはその蓋３０）を
貫通して前記アース板３２を支持するねじ棒４４と、圧
力タンク２８に固定されていてねじ棒４４と螺合するナ
ット部４６と、ねじ棒４４を矢印Ｅに示すように左右に
回転させる可逆転式のモータ４８とを備えている。アー
ス板３２は、この例でも、この距離調整機構３４を経由
して電気的に接地されている。モータ４８を駆動するこ
とによって、アース板３２を矢印Ｄに示すように上下動
させて、前述した距離Ｍ1 、Ｍ2 を調整することができ
る。
ても良い。その一例を図２に示す。この距離調整機構３
４は、圧力タンク２８（より具体的にはその蓋３０）を
貫通して前記アース板３２を支持するねじ棒４４と、圧
力タンク２８に固定されていてねじ棒４４と螺合するナ
ット部４６と、ねじ棒４４を矢印Ｅに示すように左右に
回転させる可逆転式のモータ４８とを備えている。アー
ス板３２は、この例でも、この距離調整機構３４を経由
して電気的に接地されている。モータ４８を駆動するこ
とによって、アース板３２を矢印Ｄに示すように上下動
させて、前述した距離Ｍ1 、Ｍ2 を調整することができ
る。
【００２７】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、各アー
ス板と昇圧コイルの二次コイルの端面との間の距離を各
距離調整機構によってそれぞれ調整することによって、
各高周波電極と接地電位部との間にそれぞれ形成される
静電容量のアンバランスを簡単に解消することができ
る。その結果、各高周波電極に誘起される高周波電圧の
アンバランスを解消することができるので、リップル電
圧を小さく抑えてより安定度の高い直流出力電圧を得る
ことができる。かつ、両方の高周波電極に誘起される高
周波電圧を共に高くすることができるので、直流出力電
圧を効率良く高めることができる。
ス板と昇圧コイルの二次コイルの端面との間の距離を各
距離調整機構によってそれぞれ調整することによって、
各高周波電極と接地電位部との間にそれぞれ形成される
静電容量のアンバランスを簡単に解消することができ
る。その結果、各高周波電極に誘起される高周波電圧の
アンバランスを解消することができるので、リップル電
圧を小さく抑えてより安定度の高い直流出力電圧を得る
ことができる。かつ、両方の高周波電極に誘起される高
周波電圧を共に高くすることができるので、直流出力電
圧を効率良く高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る直流高圧電源装置の昇圧コイル
周りの一例を示す断面図である。
周りの一例を示す断面図である。
【図２】距離調整機構の他の例を示す断面図である。
【図３】従来の直流高圧電源装置の一例を示す概略構成
図である。
図である。
【図４】従来の直流高圧電源装置の他の例を示す概略構
成図である。
成図である。
２ 高周波電源 ４ 昇圧コイル ５ 一次コイル ６ 二次コイル １０ 高周波電極 ２６ 直流昇圧部 ２８ 圧力タンク ３２ アース板 ３４ 距離調整機構
Claims (1)
- 【請求項１】 一次コイルおよび中性点が接地された二
次コイルを有する昇圧コイルと、この昇圧コイルの二次
コイルの両端部にそれぞれ接続された一対の高周波電極
と、この一対の高周波電極の間に設けられていて複数の
キャパシタ電極および複数の整流器を多段に接続して成
る直流昇圧部とを、絶縁ガスが充填されかつ電気的に接
地された圧力タンク内に収納し、かつ前記昇圧コイルの
一次コイルに高周波電力を供給する高周波電源を備えて
いて、シェンケル回路を形成している直流高圧電源装置
において、前記昇圧コイルの二次コイルの両外側の端面
に間をあけてそれぞれ対向するように前記圧力タンク内
に収納されていて電気的に接地された二つのアース板
と、この各アース板とそれに対向する前記昇圧コイルの
端面との間の距離をそれぞれ調整する二つの距離調整機
構とを備えることを特徴とする直流高圧電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10041135A JPH11225476A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直流高圧電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10041135A JPH11225476A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直流高圧電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11225476A true JPH11225476A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12600005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10041135A Pending JPH11225476A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直流高圧電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11225476A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010098842A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Nhv Corporation | シェンケル型直流高圧電源 |
| JPWO2021070223A1 (ja) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | ||
| JP7797069B1 (ja) * | 2025-09-24 | 2026-01-13 | 株式会社Ｎｈｖコーポレーション | 電子線照射装置の組立用治具 |
| US12525883B2 (en) | 2020-07-22 | 2026-01-13 | Hitachi High-Tech Corporation | DC high-voltage source device including plurality of variable DC voltage sources and plurality of switching circuits, and charged particle beam device including the DC high-voltage source device |
-
1998
- 1998-02-06 JP JP10041135A patent/JPH11225476A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010098842A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Nhv Corporation | シェンケル型直流高圧電源 |
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| KR20220051241A (ko) | 2019-10-07 | 2022-04-26 | 주식회사 히타치하이테크 | 전원 공급 모듈 및 하전 입자 빔 장치 |
| GB2602906A (en) * | 2019-10-07 | 2022-07-20 | Hitachi High Tech Corp | Power supply module and charged particle beam device |
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| GB2602906B (en) * | 2019-10-07 | 2024-11-27 | Hitachi High Tech Corp | Power supply module and charged particle beam device |
| US12525883B2 (en) | 2020-07-22 | 2026-01-13 | Hitachi High-Tech Corporation | DC high-voltage source device including plurality of variable DC voltage sources and plurality of switching circuits, and charged particle beam device including the DC high-voltage source device |
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