JPH11226332A - エアフィルタ用補修材 - Google Patents
エアフィルタ用補修材Info
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- JPH11226332A JPH11226332A JP3643998A JP3643998A JPH11226332A JP H11226332 A JPH11226332 A JP H11226332A JP 3643998 A JP3643998 A JP 3643998A JP 3643998 A JP3643998 A JP 3643998A JP H11226332 A JPH11226332 A JP H11226332A
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- Japan
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- filter
- air filter
- filter material
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 欠陥部分により捕集性能が大幅に低下したエ
アフィルタを、破棄することなく再生する補修材を提供
する。 【解決手段】 フィルタ材２の表面の漏洩する粒子をろ
過するための通気部分を囲むように、エアフィルタのリ
ーク部分に貼り付けるための粘着層３を形成して補修材
１とする。
アフィルタを、破棄することなく再生する補修材を提供
する。 【解決手段】 フィルタ材２の表面の漏洩する粒子をろ
過するための通気部分を囲むように、エアフィルタのリ
ーク部分に貼り付けるための粘着層３を形成して補修材
１とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はエアフィルタ用補修
材に関するものであり、さらに詳しくはクリーンルーム
に要求されるような高度清浄環境を得るために使用され
る高性能エアフィルタを補修するための補修材に関する
ものである。
材に関するものであり、さらに詳しくはクリーンルーム
に要求されるような高度清浄環境を得るために使用され
る高性能エアフィルタを補修するための補修材に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】空気中の浮遊粒子を捕集し、清浄な環境
を得るための設備として、ユニット方式のエアフィルタ
が広く用いられている。今日、半導体製造分野で使用さ
れるエアフィルタは、要求される空気清浄度の上昇に伴
い、さらなる高効率化が求められている。上記分野で使
用されるクリーンルームの重要な構成要素である超高性
能（ＨＥＰＡ）フィルタでは、一般に粒径０．３μｍの
粒子の捕集効率が９９．９７％以上であることが要求さ
れ、さらに清浄度の高い環境で用いられる超低透過性
（ＵＬＰＡ）フィルタでは、粒径０．１μｍの粒子の捕
集効率が９９．９９９％を超えることが要求される。こ
れらの高性能エアフィルタユニットでは、ろ材（フィル
タ材）は通常折り込まれて（プリーツされて）ユニット
内に納められる。これはユニット当たりのろ材面積を増
やし、ユニットの圧力損失を下げるためである。ろ材面
積は１ユニットにつき１０〜２０ｍ2にも達する。
を得るための設備として、ユニット方式のエアフィルタ
が広く用いられている。今日、半導体製造分野で使用さ
れるエアフィルタは、要求される空気清浄度の上昇に伴
い、さらなる高効率化が求められている。上記分野で使
用されるクリーンルームの重要な構成要素である超高性
能（ＨＥＰＡ）フィルタでは、一般に粒径０．３μｍの
粒子の捕集効率が９９．９７％以上であることが要求さ
れ、さらに清浄度の高い環境で用いられる超低透過性
（ＵＬＰＡ）フィルタでは、粒径０．１μｍの粒子の捕
集効率が９９．９９９％を超えることが要求される。こ
れらの高性能エアフィルタユニットでは、ろ材（フィル
タ材）は通常折り込まれて（プリーツされて）ユニット
内に納められる。これはユニット当たりのろ材面積を増
やし、ユニットの圧力損失を下げるためである。ろ材面
積は１ユニットにつき１０〜２０ｍ2にも達する。
【０００３】このような高性能エアフィルタの素材に
は、ガラス繊維、ポリテトラフルオロエチレン（以下
「ＰＴＦＥ」という）多孔質膜等が一般的に用いられて
いる。特にＰＴＦＥ多孔質膜は、高い捕集効率、低い圧
力損失、化学的な安定性の高さといった高性能エアフィ
ルタに必要な各種の特性を兼ね備えており、広範に使用
されている。
は、ガラス繊維、ポリテトラフルオロエチレン（以下
「ＰＴＦＥ」という）多孔質膜等が一般的に用いられて
いる。特にＰＴＦＥ多孔質膜は、高い捕集効率、低い圧
力損失、化学的な安定性の高さといった高性能エアフィ
ルタに必要な各種の特性を兼ね備えており、広範に使用
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、高性能エア
フィルタの場合、ろ材のある部分に微細な欠陥があるだ
けで浮遊粒子の漏れ（リーク）が発生し、ろ過性能が低
下する。この欠陥は、通常、微細な貫通孔（ピンホー
ル）として発生する。特にＵＬＰＡフィルタの場合に
は、膜にミクロンオーダーのごく微細な貫通孔があるだ
けでその捕集効率が極端に低下する。ユニット方式の高
性能エアフィルタでは、ろ材の１点に微細な欠陥がある
だけで、１ユニット分のろ材が破棄されることになる。
従来、このようなごく微細な欠陥に起因するエアフィル
タの製造歩留まりの低下が問題となっていた。しかし、
現在までのところ、このような製造歩留まりの低下を解
決する有効な技術は提示されていない。
フィルタの場合、ろ材のある部分に微細な欠陥があるだ
けで浮遊粒子の漏れ（リーク）が発生し、ろ過性能が低
下する。この欠陥は、通常、微細な貫通孔（ピンホー
ル）として発生する。特にＵＬＰＡフィルタの場合に
は、膜にミクロンオーダーのごく微細な貫通孔があるだ
けでその捕集効率が極端に低下する。ユニット方式の高
性能エアフィルタでは、ろ材の１点に微細な欠陥がある
だけで、１ユニット分のろ材が破棄されることになる。
従来、このようなごく微細な欠陥に起因するエアフィル
タの製造歩留まりの低下が問題となっていた。しかし、
現在までのところ、このような製造歩留まりの低下を解
決する有効な技術は提示されていない。
【０００５】本発明は、このような問題に鑑みて為され
たものであり、微細な欠陥が生じたエアフィルタを再生
するという観点から、エアフィルタの欠陥部分（リーク
部分）を補修するための補修材を提供することを目的と
する。
たものであり、微細な欠陥が生じたエアフィルタを再生
するという観点から、エアフィルタの欠陥部分（リーク
部分）を補修するための補修材を提供することを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のエアフィルタ用補修材は、シート状のフィ
ルタ材と、前記フィルタ材の表面の少なくとも一部に形
成された粘着層とを備え、前記フィルタ材は、前記粘着
層により前記フィルタ材がエアフィルタのリーク部分を
覆うように貼着されたときに前記リーク部分から漏洩す
る流体をろ過する通気部分を含むことを特徴とする。
に、本発明のエアフィルタ用補修材は、シート状のフィ
ルタ材と、前記フィルタ材の表面の少なくとも一部に形
成された粘着層とを備え、前記フィルタ材は、前記粘着
層により前記フィルタ材がエアフィルタのリーク部分を
覆うように貼着されたときに前記リーク部分から漏洩す
る流体をろ過する通気部分を含むことを特徴とする。
【０００７】このようなエアフィルタ用補修材を用い
て、エアフィルタのリーク部分を補修すれば、エアフィ
ルタの通気性を大きく損なうことなくリーク部分からの
浮遊粒子を捕集することができる。プラスチック製フィ
ルム等からなる非通気性基材の表面に粘着剤が塗布され
ているような汎用の補修テープは、エアフィルタ用補修
材としては適していない。このような非通気性基材を用
いた補修テープによりリーク部分の通気を遮蔽すると、
浮遊粒子の漏洩は防止できるものの、ユニット全体の圧
力損失が上昇するという問題が生じるからである。従っ
て、本発明の補修材では、通気性のあるフィルタ材を基
材として用いることとした。
て、エアフィルタのリーク部分を補修すれば、エアフィ
ルタの通気性を大きく損なうことなくリーク部分からの
浮遊粒子を捕集することができる。プラスチック製フィ
ルム等からなる非通気性基材の表面に粘着剤が塗布され
ているような汎用の補修テープは、エアフィルタ用補修
材としては適していない。このような非通気性基材を用
いた補修テープによりリーク部分の通気を遮蔽すると、
浮遊粒子の漏洩は防止できるものの、ユニット全体の圧
力損失が上昇するという問題が生じるからである。従っ
て、本発明の補修材では、通気性のあるフィルタ材を基
材として用いることとした。
【０００８】本発明のエアフィルタ用補修材における粘
着層は、フィルタ材のろ過性能が有効に発揮されるよう
に、通気部分の周囲に配置されていることが好ましく、
特に通気部分を実質的に包囲するように配置されている
ことが好ましい。浮遊粒子を含むガス流体がエアフィル
タと補修材との間から漏れ出さないようにするためであ
る。粘着層は、具体的には、例えば多数の微小な粘着部
分が通気部分を囲むように散点状に配置されていてもよ
いが、通気部分を帯状に囲むように配置されていること
が特に好ましい。この好ましい例によれば、浮遊粒子を
確実にろ過することができる。
着層は、フィルタ材のろ過性能が有効に発揮されるよう
に、通気部分の周囲に配置されていることが好ましく、
特に通気部分を実質的に包囲するように配置されている
ことが好ましい。浮遊粒子を含むガス流体がエアフィル
タと補修材との間から漏れ出さないようにするためであ
る。粘着層は、具体的には、例えば多数の微小な粘着部
分が通気部分を囲むように散点状に配置されていてもよ
いが、通気部分を帯状に囲むように配置されていること
が特に好ましい。この好ましい例によれば、浮遊粒子を
確実にろ過することができる。
【０００９】また、本発明のエアフィルタ補修材におい
ては、フィルタ材が、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持膜
とを含むことが好ましい。
ては、フィルタ材が、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持膜
とを含むことが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明のエアフィ
ルタ用補修材の一例を示す斜視図である。図１に示すよ
うに、補修材１は、シート状のフィルタ材２の縁部表面
に帯状に粘着層３が形成されたテープ材とされている。
フィルタ材２は、エアフィルタの欠陥部分からリークす
る浮遊粒子を捕集するろ過性能と、圧力損失の過度の上
昇を抑える通気性能とを有する材料を含んでいる。図２
は、このような材料として、ＰＴＦＥ多孔質膜を用いた
補修材１の例を示す断面図である。図２に示すように、
このフィルタ材２は、通気性を有する不織布５によりＰ
ＴＦＥ多孔質膜６が挟持された積層構造を有している。
粘着層３はフィルタ材２の表面の片側の一部に形成され
ている。一方、粘着層３が形成されていないフィルタ材
の表面が通気部分として機能することになる。
施の形態について説明する。図１は、本発明のエアフィ
ルタ用補修材の一例を示す斜視図である。図１に示すよ
うに、補修材１は、シート状のフィルタ材２の縁部表面
に帯状に粘着層３が形成されたテープ材とされている。
フィルタ材２は、エアフィルタの欠陥部分からリークす
る浮遊粒子を捕集するろ過性能と、圧力損失の過度の上
昇を抑える通気性能とを有する材料を含んでいる。図２
は、このような材料として、ＰＴＦＥ多孔質膜を用いた
補修材１の例を示す断面図である。図２に示すように、
このフィルタ材２は、通気性を有する不織布５によりＰ
ＴＦＥ多孔質膜６が挟持された積層構造を有している。
粘着層３はフィルタ材２の表面の片側の一部に形成され
ている。一方、粘着層３が形成されていないフィルタ材
の表面が通気部分として機能することになる。
【００１１】フィルタ材にろ過性能を与える材料として
は、例えばガラス繊維にバインダーを加えて抄紙したろ
材を用いてもよいが、耐薬品性等に優れたＰＴＦＥ多孔
質膜を用いることが好ましい。ＰＴＦＥ多孔質膜は、エ
アフィルタ用ＰＴＦＥ多孔質膜を得るために適用されて
きた当業者に周知の製造方法により得ることができる。
このような方法としては、例えばシート状のＰＴＦＥ半
焼成体を２軸延伸して多孔質化する方法、半焼成体では
なく未焼成体のＰＴＦＥを延伸して多孔質化し、さらに
熱処理する方法を挙げることができる。
は、例えばガラス繊維にバインダーを加えて抄紙したろ
材を用いてもよいが、耐薬品性等に優れたＰＴＦＥ多孔
質膜を用いることが好ましい。ＰＴＦＥ多孔質膜は、エ
アフィルタ用ＰＴＦＥ多孔質膜を得るために適用されて
きた当業者に周知の製造方法により得ることができる。
このような方法としては、例えばシート状のＰＴＦＥ半
焼成体を２軸延伸して多孔質化する方法、半焼成体では
なく未焼成体のＰＴＦＥを延伸して多孔質化し、さらに
熱処理する方法を挙げることができる。
【００１２】ＰＴＦＥ多孔質膜は、そのままフィルタ材
として用いてもよいが、上記のように通気性を有する支
持膜と組み合わせて用いることが好ましい。強度が向上
するからである。補強材としての支持膜には、不織布、
織布、メッシュ、その他多孔質膜を用いることができ
る。具体的には、特に限定するものではないが、ポリオ
レフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ナイロ
ン、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート等）、
アラミド、これらの複合材（例えば、芯／鞘構造の繊維
からなる不織布、低融点材料と高融点材料との２層不織
布）を用いることができる。また、フッ素系多孔質膜
（例えば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン／パーフル
オロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＦＥＰ（テト
ラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合
体）、ＰＴＦＥ多孔質膜）を用いてもよい。ＰＴＦＥ多
孔質膜と支持膜とは、例えば熱圧着により積層すること
ができる。また、積層体は、図２に示したような３層構
造に限らず、２層または４層以上の構造としてもよい。
として用いてもよいが、上記のように通気性を有する支
持膜と組み合わせて用いることが好ましい。強度が向上
するからである。補強材としての支持膜には、不織布、
織布、メッシュ、その他多孔質膜を用いることができ
る。具体的には、特に限定するものではないが、ポリオ
レフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ナイロ
ン、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート等）、
アラミド、これらの複合材（例えば、芯／鞘構造の繊維
からなる不織布、低融点材料と高融点材料との２層不織
布）を用いることができる。また、フッ素系多孔質膜
（例えば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン／パーフル
オロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＦＥＰ（テト
ラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合
体）、ＰＴＦＥ多孔質膜）を用いてもよい。ＰＴＦＥ多
孔質膜と支持膜とは、例えば熱圧着により積層すること
ができる。また、積層体は、図２に示したような３層構
造に限らず、２層または４層以上の構造としてもよい。
【００１３】粘着層は、常温で粘着力を発揮する材料か
ら構成されていることが好ましく、例えばシリコーン
系、アクリル系等の材料を採用することができる。粘着
層は、このような粘着剤を塗布したテープをフィルタ材
に貼り付けて形成してもよく、ホットメルト、アクリレ
ート系、シリコーン系等の接着剤をフィルタ材に塗布し
て形成してもよい。粘着層は、フィルタ材をエアフィル
タに固着するとともに、上記のように、欠陥部分からリ
ークする浮遊粒子がろ過されずに漏洩することを防止す
る役割を担う。
ら構成されていることが好ましく、例えばシリコーン
系、アクリル系等の材料を採用することができる。粘着
層は、このような粘着剤を塗布したテープをフィルタ材
に貼り付けて形成してもよく、ホットメルト、アクリレ
ート系、シリコーン系等の接着剤をフィルタ材に塗布し
て形成してもよい。粘着層は、フィルタ材をエアフィル
タに固着するとともに、上記のように、欠陥部分からリ
ークする浮遊粒子がろ過されずに漏洩することを防止す
る役割を担う。
【００１４】このような観点からは、図１のように、フ
ィルタ材２の通気部分の外周に沿って粘着層３を環状に
設けることが好ましい。ただし、微小な島状の粘着層３
を通気部分の外周に沿って多数分散して設けることによ
り、捕集すべき浮遊粒子が実質的に漏洩しないようにし
てもよい。また、粘着層３を設けるときに、接着剤また
は粘着剤を不織布等からなる支持膜に含浸させることに
より、フィルタ材の通気部分を囲む部分の支持膜を非通
気性としてもよい。
ィルタ材２の通気部分の外周に沿って粘着層３を環状に
設けることが好ましい。ただし、微小な島状の粘着層３
を通気部分の外周に沿って多数分散して設けることによ
り、捕集すべき浮遊粒子が実質的に漏洩しないようにし
てもよい。また、粘着層３を設けるときに、接着剤また
は粘着剤を不織布等からなる支持膜に含浸させることに
より、フィルタ材の通気部分を囲む部分の支持膜を非通
気性としてもよい。
【００１５】このように、フィルタ材は、必ずしもその
全面にわたって通気性を有している必要はなく、少なく
とも、リークする浮遊粒子を捕集するための通気部分に
おいて通気性が確保されていれば足りる。
全面にわたって通気性を有している必要はなく、少なく
とも、リークする浮遊粒子を捕集するための通気部分に
おいて通気性が確保されていれば足りる。
【００１６】
【実施例】以下、非限定的な実施例により本発明をさら
に詳細に説明する。 （実施例）ＰＴＦＥ多孔質膜と不織布とを、不織布−多
孔質膜−不織布の順に重ねてラミネートし、この３層構
造の積層体の片面に両面テープを貼り付けて、補修テー
プ用フィルタ材を作製することとした。ＰＴＦＥ多孔質
膜には日東電工社製ＰＴＦＥ二軸延伸膜（厚さ１０μ
ｍ）を用いた。また不織布にはポリエステル−ポリオレ
フィン芯鞘構造繊維からなるスパンボンド不織布（ユニ
チカ製、商品名「エルベス」目付３０ｇ／ｍ2）を用い
た。ＰＴＦＥ多孔質膜とスパンボンド不織布とは熱ラミ
ネートにより圧着した。得られたフィルタ材は、厚さ２
５０μｍ、圧力損失１５ｍｍＨ2Ｏ（流速５．３ｃｍ／
秒、測定面積１００ｃｍ2）であった。
に詳細に説明する。 （実施例）ＰＴＦＥ多孔質膜と不織布とを、不織布−多
孔質膜−不織布の順に重ねてラミネートし、この３層構
造の積層体の片面に両面テープを貼り付けて、補修テー
プ用フィルタ材を作製することとした。ＰＴＦＥ多孔質
膜には日東電工社製ＰＴＦＥ二軸延伸膜（厚さ１０μ
ｍ）を用いた。また不織布にはポリエステル−ポリオレ
フィン芯鞘構造繊維からなるスパンボンド不織布（ユニ
チカ製、商品名「エルベス」目付３０ｇ／ｍ2）を用い
た。ＰＴＦＥ多孔質膜とスパンボンド不織布とは熱ラミ
ネートにより圧着した。得られたフィルタ材は、厚さ２
５０μｍ、圧力損失１５ｍｍＨ2Ｏ（流速５．３ｃｍ／
秒、測定面積１００ｃｍ2）であった。
【００１７】捕集効率測定器を用いて、このフィルタ材
の浮遊粒子の捕集効率を測定した。浮遊粒子にはＪＩＳ
Ｚ ８９０１に規定された多分散ＤＯＰエアロゾルを
用い、濃度測定にはＪＩＳ Ｂ ９２２１に規定された
光散乱式粒子計数器を用いた。測定面積１００ｃｍ2、
流速５．３ｃｍ／秒において、粒径０．３μｍの粒子の
捕集効率は９９．９９％以上であった。
の浮遊粒子の捕集効率を測定した。浮遊粒子にはＪＩＳ
Ｚ ８９０１に規定された多分散ＤＯＰエアロゾルを
用い、濃度測定にはＪＩＳ Ｂ ９２２１に規定された
光散乱式粒子計数器を用いた。測定面積１００ｃｍ2、
流速５．３ｃｍ／秒において、粒径０．３μｍの粒子の
捕集効率は９９．９９％以上であった。
【００１８】このフィルタ材を一辺７ｃｍの正方形に切
り抜き、その片面に両面テープ（日東電工社製Ｎｏ．５
０００Ｎ）を幅１ｃｍの環状に貼りつけて（図１参
照）、エアフィルタ用補修テープを作製した。
り抜き、その片面に両面テープ（日東電工社製Ｎｏ．５
０００Ｎ）を幅１ｃｍの環状に貼りつけて（図１参
照）、エアフィルタ用補修テープを作製した。
【００１９】一方、高性能エアフィルタとして、上記と
同様、日東電工社製ＰＴＦＥ多孔質膜とスパンボンド不
織布とを不織布−多孔質膜−不織布の順に重ねて熱ラミ
ネートし、３層構造のエアフィルタ用ろ材を作製した。
得られたろ材は、上記フィルタ材と同様、厚さ２５０μ
ｍ、圧力損失１５ｍｍＨ2Ｏ、粒径０．３μｍの粒子の
捕集効率９９．９９％以上であった。このろ材１ｍ2に
対してリーク試験を行なった。リーク試験法は日本空気
清浄協会の第四性能試験方法に準じた。上記光散乱式粒
子計数器を用い、流速５．３ｃｍ／秒、測定点ろ材下流
側２．５ｃｍとして、計数器の計測点を５ｃｍ／秒の速
度で走査した。リークは発見されなかった。
同様、日東電工社製ＰＴＦＥ多孔質膜とスパンボンド不
織布とを不織布−多孔質膜−不織布の順に重ねて熱ラミ
ネートし、３層構造のエアフィルタ用ろ材を作製した。
得られたろ材は、上記フィルタ材と同様、厚さ２５０μ
ｍ、圧力損失１５ｍｍＨ2Ｏ、粒径０．３μｍの粒子の
捕集効率９９．９９％以上であった。このろ材１ｍ2に
対してリーク試験を行なった。リーク試験法は日本空気
清浄協会の第四性能試験方法に準じた。上記光散乱式粒
子計数器を用い、流速５．３ｃｍ／秒、測定点ろ材下流
側２．５ｃｍとして、計数器の計測点を５ｃｍ／秒の速
度で走査した。リークは発見されなかった。
【００２０】このろ材にピンホールとして直径０．５ｍ
ｍの貫通孔を開けた。貫通孔部分の捕集効率を上記と同
様にして測定したところ、粒径０．３μｍの粒子で９９
％以下となり、貫通孔がリーク部分となっていることが
確認された。ろ材に対してリーク試験を行なったとこ
ろ、リーク部分は容易に発見できた。このリーク部分に
上記補修テープを貼り付けた。その部分の捕集効率を測
定したところ、粒径０．３μｍの粒子で９９．９９％以
上となり、リークが検出されなくなった。測定点の圧力
損失は１８ｍｍＨ2Ｏであった。
ｍの貫通孔を開けた。貫通孔部分の捕集効率を上記と同
様にして測定したところ、粒径０．３μｍの粒子で９９
％以下となり、貫通孔がリーク部分となっていることが
確認された。ろ材に対してリーク試験を行なったとこ
ろ、リーク部分は容易に発見できた。このリーク部分に
上記補修テープを貼り付けた。その部分の捕集効率を測
定したところ、粒径０．３μｍの粒子で９９．９９％以
上となり、リークが検出されなくなった。測定点の圧力
損失は１８ｍｍＨ2Ｏであった。
【００２１】（比較例）比較のために、上記ろ材のリー
ク部分に、上記補修テープと同面積の非通気性のＰＥＴ
シート（厚さ２５μｍ）を、上記実施例と同様、その周
縁部に貼り付けた日東電工社製両面テープにより貼着し
た。その部分の捕集効率を測定したところ、粒径０．３
μｍの粒子で９９．９９％以上となり、リークが検出さ
れなくなった。しかし、測定点の圧力損失は３０ｍｍＨ
2Ｏに達した。以上の結果を表１にまとめて示す。
ク部分に、上記補修テープと同面積の非通気性のＰＥＴ
シート（厚さ２５μｍ）を、上記実施例と同様、その周
縁部に貼り付けた日東電工社製両面テープにより貼着し
た。その部分の捕集効率を測定したところ、粒径０．３
μｍの粒子で９９．９９％以上となり、リークが検出さ
れなくなった。しかし、測定点の圧力損失は３０ｍｍＨ
2Ｏに達した。以上の結果を表１にまとめて示す。
【００２２】（表１） −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 捕集効率 圧力損失 圧力損失上昇率 (％) (ｍｍＨ2Ｏ) (％) −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− リーク部分 ＜９９ １５ − 実施例 ＞99.99 １８ １７ 比較例 ＞99.99 ３０ ５０ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
【００２３】以上より、実施例の補修テープによれば、
エアフィルタの圧力損失を大きく上昇させることなく、
エアフィルタのリーク部分からの浮遊粒子の漏洩を防止
できることが確認された。
エアフィルタの圧力損失を大きく上昇させることなく、
エアフィルタのリーク部分からの浮遊粒子の漏洩を防止
できることが確認された。
【００２４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、シート状のフィルタ材と、前記フィルタ材の表面
の少なくとも一部に形成された粘着層とを備え、前記フ
ィルタ材は、前記粘着層により前記フィルタ材がエアフ
ィルタのリーク部分を覆うように貼着されたときに前記
リーク部分から漏洩する流体をろ過する前記フィルタ材
の通気部分を含むエアフィルタ用補修材とすることによ
り、エアフィルタの通気性を確保しながら漏洩部分から
の浮遊粒子の漏洩を防ぐ補修材を提供することができ
る。本発明のエアフィルタ用補修材は、例えばエアフィ
ルタを製造する際に使用すれば、その製造歩留まりを向
上させることができる。
れば、シート状のフィルタ材と、前記フィルタ材の表面
の少なくとも一部に形成された粘着層とを備え、前記フ
ィルタ材は、前記粘着層により前記フィルタ材がエアフ
ィルタのリーク部分を覆うように貼着されたときに前記
リーク部分から漏洩する流体をろ過する前記フィルタ材
の通気部分を含むエアフィルタ用補修材とすることによ
り、エアフィルタの通気性を確保しながら漏洩部分から
の浮遊粒子の漏洩を防ぐ補修材を提供することができ
る。本発明のエアフィルタ用補修材は、例えばエアフィ
ルタを製造する際に使用すれば、その製造歩留まりを向
上させることができる。
【図１】 本発明によるエアフィルタ用補修材の例の斜
視図である。
視図である。
【図２】 本発明によるエアフィルタ用補修材の例の断
面図である。
面図である。
１ 補修材 ２ フィルタ材 ３ 粘着層 ５ 不織布 ６ ＰＴＦＥ多孔質膜
Claims (3)
- 【請求項１】 シート状のフィルタ材と、前記フィルタ
材の表面の少なくとも一部に形成された粘着層とを備
え、 前記フィルタ材は、前記粘着層により前記フィルタ材が
エアフィルタのリーク部分を覆うように貼着されたとき
に前記リーク部分から漏洩する流体をろ過する通気部分
を含むことを特徴とするエアフィルタ用補修材。 - 【請求項２】 粘着層が通気部分の周囲に配置されてい
る請求項１に記載のエアフィルタ用補修材。 - 【請求項３】 フィルタ材が、ポリテトラフルオロエチ
レン多孔質膜と通気性支持膜とを含む請求項１または２
に記載のエアフィルタ用補修材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3643998A JPH11226332A (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | エアフィルタ用補修材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3643998A JPH11226332A (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | エアフィルタ用補修材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11226332A true JPH11226332A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=12469852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3643998A Pending JPH11226332A (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | エアフィルタ用補修材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11226332A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2002301328A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-15 | Daikin Ind Ltd | フィルタパックの製造方法 |
| JP2002346315A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-03 | Daikin Ind Ltd | フィルタ濾材、フィルタパック及びエアフィルタユニットの製造方法 |
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-
1998
- 1998-02-18 JP JP3643998A patent/JPH11226332A/ja active Pending
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| JPWO2019026284A1 (ja) * | 2017-08-04 | 2020-07-30 | 株式会社 ギンレイラボ | 細胞培養容器、フィルター、フィルター切抜き用シート、及びフィルターの製造方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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