JPH1122699A

JPH1122699A - エゼクタ装置

Info

Publication number: JPH1122699A
Application number: JP18005197A
Authority: JP
Inventors: Shigekazu Nagai; 茂和永井; Hiroshi Matsushima; 宏松島
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1997-07-04
Filing date: 1997-07-04
Publication date: 1999-01-26

Abstract

(57)【要約】【課題】エゼクタ装置と切換弁とを一体化し、装置全体
が占有するスペースを小さくすると共に、製造コストを
低廉化させることが可能なエゼクタ装置を提供する。【解決手段】切換弁１６０が一方に変位すると、入力ポ
ート６１と第１の出力ポート６２が連通し、管継手２０
に接続された圧縮空気供給源からエゼクタ１５０のノズ
ル１４４に圧縮空気が導入され、該圧縮空気はデフュー
ザ１４８から管継手２４に接続された排気管に排出され
る。このとき、負圧発生室１４６に負圧が発生し、管継
手２２に接続された真空用機器１６４に負圧が出力され
る。前記切換弁１６０が他方に変位すると、前記入力ポ
ート６１と第２の出力ポート６８とが連通し、圧縮空気
はニードル弁３９を介して前記真空用機器１６４に導入
され、該真空用機器１６４の真空破壊が施される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、負圧を発生させる
エゼクタ装置に関し、一層詳細には、切換弁と一体的に
構成されることにより占有スペースを小さくして製造コ
ストを低廉化することが可能なエゼクタ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、真空用機器の負圧発生源としてエ
ゼクタ装置が広範に使用されている。この種のエゼクタ
装置では、該エゼクタ装置に別体で構成された切換弁を
接続し、この切換弁を制御することにより圧力流体をエ
ゼクタ装置に導入して負圧を発生させ、この負圧を前記
真空用機器に出力するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記のように、従来の
エゼクタ装置では、エゼクタ装置と切換弁とが別体で構
成されているため、両者を管路で接続する必要があり、
装置全体としての占有スペースが大きくなるという欠点
があった。また、エゼクタ装置と切換弁には前記管路を
接続するための継手が必要であり、このため、前記エゼ
クタ装置の部品点数が増加して製造コストが高騰すると
いう問題があった。

【０００４】本発明は前記の課題を解決すべくなされた
ものであって、エゼクタ装置と切換弁とを一体化し、該
エゼクタ装置が占有するスペースを小さくすると共に、
製造コストを低廉化させることが可能なエゼクタ装置を
提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、ノズルに導入された圧力流体がデフュ
ーザから導出されることにより前記ノズルと前記デフュ
ーザとの間に形成された負圧発生室に負圧を発生させる
エゼクタ装置において、前記エゼクタ装置には切換弁が
一体的に設けられ、前記切換弁は、圧力流体供給源が接
続される入力ポートと、前記ノズルに連通する出力ポー
トとを備え、前記切換弁を付勢することにより、前記入
力ポートと前記出力ポートとを連通または遮断して前記
負圧発生室の負圧発生を制御することを特徴とする。

【０００６】本発明によれば、圧力流体供給源が付勢さ
れ、前記切換弁の付勢作用下に前記入力ポートと前記出
力ポートとが連通すると、前記出力ポートから前記エゼ
クタ部のノズルに圧力流体が導入されて該圧力流体は前
記デフューザから導出される。このとき、前記負圧発生
室に負圧が発生し、この負圧が前記負圧発生室に連通す
る真空用機器に出力される。

【０００７】この場合、前記出力ポートが第１の出力ポ
ートと第２の出力ポートとからなり、前記第１の出力ポ
ートは前記ノズルに圧力流体を供給し、一方、前記第２
の出力ポートは前記負圧発生室に連通し、前記切換弁の
付勢作用下に前記入力ポートと前記第２の出力ポートと
が連通すると、前記負圧発生室に圧力流体が供給されて
前記負圧発生室の真空破壊が施され、該負圧発生室に連
通する真空用機器の真空状態を解除することができ、好
適である。

【０００８】また、この場合、前記切換弁が、スプール
弁と、前記スプール弁の端部に固着されたピストンと、
前記ピストンが変位するシリンダ室に圧力流体を導入す
る電磁弁と、を備え、前記電磁弁の付勢作用下に前記ス
プール弁が変位して前記入力ポートと前記出力ポートと
が連通または遮断されると、スプール弁が変位する際、
入力ポートおよび出力ポートの圧力流体の圧力によりス
プール弁の変位が阻害されることがなく、入力ポートと
出力ポートとを確実に連通または遮断することができ、
一層好適である。

【０００９】さらに、この場合、前記切換弁に、手動で
駆動され、前記シリンダ室に圧力流体を導入する弁部材
が設けられ、前記弁部材を手動で駆動することにより前
記スプール弁が変位して前記入力ポートと前記出力ポー
トとが連通または遮断されると、前記エゼクタ装置を手
動で駆動することができ、一層好ましい。

【００１０】さらにまた、この場合、前記負圧発生室に
は該負圧発生室が所定の圧力となったことを検出して信
号を発生する真空スイッチが設けられると、この真空ス
イッチに接続される制御装置は該真空スイッチから発生
する信号に基づいて、所定の圧力が真空用機器に出力さ
れているときに該真空用機器等を制御することができ、
好ましい。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明に係るエゼクタ装置につい
て、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。

【００１２】図１および図２において、参照符号１０
は、本発明の第１の実施の形態に係るエゼクタ装置を示
す。このエゼクタ装置１０はマニホールドブロック１２
を備え、該マニホールドブロック１２の下面にはレール
１４の一対の縁部にそれぞれ係合自在な爪部１６ａ、１
６ｂが形成される。前記一方の爪部１６ａは弾性的且つ
撓曲自在に形成され、該爪部１６ａは前記レール１４を
押圧して前記マニホールドブロック１２を該レール１４
に保持する作用を営む（図３参照）。前記マニホールド
ブロック１２の一方の側面には複数の突部１９、１９が
形成され、該突部１９、１９は他のマニホールドブロッ
ク１２や図示しないエンドブロック等の機器に形成され
た凹部に係合可能であり、また、前記マニホールドブロ
ック１２の他方の側面には、図示しないが、複数の凹部
が形成され、該凹部には前記他の機器に形成された前記
突部１９、１９と同様の突部が係合可能である。従っ
て、前記レール１４に他の機器を複数組み付けてこのエ
ゼクタ装置１０を含む所望の空気圧機器を構成すること
が可能である。さらに、図示しないが、前記突部１９や
凹部に圧縮空気供給通路を設け、該圧縮空気供給通路か
ら前記エゼクタ装置１０や該エゼクタ装置１０に組み付
けられた他の機器等に圧縮空気を供給する構成とするこ
とも可能である。

【００１３】前記マニホールドブロック１２の一端部に
は管継手２０、２２、２４が設けられ、該管継手２０、
２２、２４の内部には、図３、図４に示すように、前記
マニホールドブロック１２内に形成された通路３０、３
２、３４が連通し、それぞれの通路３０、３２、３４は
前記マニホールドブロック１２内で屈曲して該マニホー
ルドブロック１２の上部に開口する。前記通路３２には
通路３３が連通し、該通路３３は前記マニホールドブロ
ック１２の上部に開口する。また、前記マニホールドブ
ロック１２の上部には通路３５が該マニホールドブロッ
ク１２の短手方向に延在して画成され、さらに、前記マ
ニホールドブロック１２の短手方向の長さが前記通路３
５より短い通路３７が画成される（図２参照）。

【００１４】前記マニホールドブロック１２の一端部に
はニードル弁（調整部材）３９が設けられる。該ニード
ル弁３９は、前記マニホールドブロック１２に固着され
たニードルブッシュ３６を備え、該ニードルブッシュ３
６の孔部を形成する壁部には雌ねじ３８が螺刻される。
該雌ねじ３８には前記ニードル弁３９を構成するニード
ル４０の雄ねじ４２が螺合し、該ニードル４０の一端部
に形成された把持部４４を回転させることによって、前
記ニードル４０は矢印ＡまたはＢ方向に変位する。前記
ニードルブッシュ３６には貫通孔３６ａが画成され、該
貫通孔３６ａには平行ピン４１が挿入される。該平行ピ
ン４１は前記ニードル４０に周回して形成された溝部４
３に係合し、このため、前記ニードル４０は前記ニード
ルブッシュ３６から抜け止めされる。前記ニードル４０
の雄ねじ４２には該ニードル４０を位置決めするための
ロックナット４５が螺合する。前記ニードル４０の先端
部４０ａは通路４６、４８に臨み、前記ニードル４０が
矢印Ａ方向に変位すると、その先端部４０ａは前記通路
４６と４８とを連通させる孔部４９を閉塞し、一方、前
記ニードル４０が矢印Ｂ方向に変位すると、それぞれの
通路４６と４８は互いに連通する。前記通路４６、４８
は前記マニホールドブロック１２の上部に開口する。

【００１５】前記マニホールドブロック１２の他端部に
はブロックキャップ５０、５２が固着され（図２、図３
参照）、一方のブロックキャップ５０には前記レール１
４に沿って連結される他の機器の着脱を制御する着脱ス
イッチ５４が矢印Ａ、Ｂ方向に変位自在に設けられる
（図３参照）。該着脱スイッチ５４にはばね状部５６が
形成される。当該着脱スイッチ５４を該ばね状部５６に
よって矢印Ａ方向に付勢するためである。前記着脱スイ
ッチ５４には長方形の孔部５８ａ、５８ｂが画成され
（図２参照）、隣接して連結される他の機器に形成され
た爪部が前記孔部５８ａ、５８ｂを形成する壁部に係合
することにより、前記他の機器が抜け止めされる。

【００１６】前記マニホールドブロック１２の上部には
エゼクタボデイ６０が固着され、該エゼクタボデイ６０
は切換弁部６０ａ（図３参照）とエゼクタ部６０ｂ（図
４参照）とを含む。先ず、切換弁部６０ａについて、図
５を参照して説明すると、前記エゼクタボデイ６０の下
部には入力ポート６１と、第１の出力ポート６２と、第
２の出力ポート６８とが画成され、それぞれのポート６
１、６２、６８は前記マニホールドブロック１２の通路
３０、３５、４８に連通する。また、前記エゼクタボデ
イ６０の下部には前記通路３７、４６に連通する通路６
４、６６が画成される。前記それぞれのポート６１、６
２、６８は、前記エゼクタボデイ６０内に長手方向に沿
って画成された室７０に連通する。

【００１７】前記室７０にはスプール弁７４が摺動自在
に設けられる。該スプール弁７４の外周には複数の対か
らなるフランジ部７６ａ〜７６ｄが形成され、それぞれ
のフランジ部７６ａ〜７６ｂには溝部７８ａ〜７８ｄが
スプール弁本体７４ａを周回するように画成される。こ
の場合、溝部７８ｂ、７８ｃにはパッキン８０ａ、８０
ｂが装着される。前記室７０は前記入力ポート６１の上
方に画成された通路７１を介して当該室７０と平行に画
成された通路７２に連通する。

【００１８】前記エゼクタボデイ６０の一方の端部には
スペーサ８２が固着され、該スペーサ８２には前記通路
７２に連通する通路８３が画成されている。また、前記
スペーサ８２には前記室７０に連通し、且つその軸芯を
一致させるとともに、該室７０より拡径した室８４が画
成される。該室８４には前記スプール弁本体７４ａの一
端部が挿通されるリング状の着座部材８６ａ、８６ｂが
設けられる。前記着座部材８６ａと８６ｂとの間にはば
ね部材９０が設けられ、該ばね部材９０は前記着座部材
８６ａと８６ｂとが互いに離間する方向に常時付勢して
いる。前記着座部材８６ａ、８６ｂは前記スプール弁７
４の一端側に形成されたフランジ部８８ａ、８８ｂにそ
れぞれ係合可能であり、前記スプール弁７４が矢印Ａ方
向に変位すると、図５に示すように、一方のフランジ部
８８ｂが一方の着座部材８６ｂを矢印Ａ方向に変位させ
ることにより、スプール弁７４にばね部材９０の弾発力
が作用して矢印Ｂ方向に付勢され、また、スプール弁７
４が矢印Ｂ方向に変位すると、図６に示すように、他方
のフランジ部８８ａが他方の着座部材８６ａを矢印Ｂ方
向に変位させることにより、スプール弁７４にばね部材
９０の弾発力が作用して矢印Ａ方向に付勢される。

【００１９】前記エゼクタボデイ６０の一方の端部およ
び前記スペーサ８２の端部にはアダプタプレート９４
ａ、９４ｂがそれぞれ固着される。一方のアダプタプレ
ート９４ａについて説明すると、該アダプタプレート９
４ａには前記室７０に連通するシリンダ室９６ａが画成
され、該シリンダ室９６ａに前記スプール弁７４の一端
部に固着されたピストン９８ａが矢印Ａ、Ｂ方向に変位
自在に設けられる。前記アダプタプレート９４ａには前
記エゼクタボデイ６０に画成された通路７２に連通する
通路１００ａが画成され、該通路１００ａは前記アダプ
タプレート９４ａの内部に垂直方向に延在して画成され
た室１０２ａに連通する。該室１０２ａを形成する壁部
には前記シリンダ室９６ａに連通する通路１０４ａが画
成され、また、通路１０８ａおよび通路１１０ａが画成
され、該通路１０８ａおよび通路１１０ａは前記アダプ
タプレート９４ａの側面に固着された電磁弁１０６ａの
内部に連通する。該電磁弁１０６ａは、その付勢作用下
に前記通路１０８ａと１１０ａとを連通させ、あるいは
遮断するように構成される。

【００２０】前記室１０２ａの内部には円柱状の弁部材
１１２ａが、図５において、垂直方向に延在して設けら
れ、該弁部材１１２ａの下部にはフランジ部１１４ａが
形成され、該フランジ部１１４ａと前記室１０２ａの底
面との間にはばね部材１１６ａが設けられる。従って、
前記弁部材１１２ａは該ばね部材１１６ａによって常時
上方に付勢される。前記弁部材１１２ａには前記フラン
ジ部１１４ａの上部にＯリング１１８ａが設けられ、該
Ｏリング１１８ａは前記室１０２ａの内壁に摺動自在に
当接する。また、前記弁部材１１２ａの上部にはフラン
ジ部１１９ａと、該フランジ部１１９ａから所定間隔離
間してフランジ部１２０ａが形成され、それぞれのフラ
ンジ部１１９ａとフランジ部１２０ａとの間にはＯリン
グ１２２ａが設けられる。前記弁部材１１２ａの上端部
にはフランジ部１２３ａが形成される。前記室１０２ａ
の内壁にはストッパ１２６ａが突出して設けられ、該ス
トッパ１２６ａは前記フランジ部１２０ａおよびフラン
ジ部１２３ａに当接自在である。従って、前記弁部材１
１２ａは該ストッパ１２６ａによって上下方向の変位範
囲が規制される。

【００２１】他方のアダプタプレート９４ｂは、前記一
方のアダプタプレート９４ａと同様の構成であるので、
同一の参照数字に符号ａに代えて符号ｂを付し、その詳
細な説明を省略する。

【００２２】次に、前記エゼクタ部６０ｂについて説明
すると、図４に示すように、前記エゼクタボデイ６０の
一端部にはアダプタプレート１３０が固着され、該アダ
プタプレート１３０には室１３２が画成される。該室１
３２は前記アダプタプレート１３０に画成された通路１
３３、および前記エゼクタボデイ６０に画成された通路
１３４を介して前記マニホールドブロック１２に画成さ
れた通路３２に連通する。前記アダプタプレート１３０
には、保持プレート１３５を介して、前記室１３２内の
圧力が所定の圧力になると該圧力を検出して検出信号を
発生する真空スイッチ１３６が固着され、該真空スイッ
チ１３６のセンサ部１３８の端部は前記室１３２の内部
に臨む。前記真空スイッチ１３６は前記保持プレート１
３５に固着されたカバー部材１３９により覆われてい
る。

【００２３】前記エゼクタボデイ６０の一端部側には室
１４０が画成され、該室１４０は前記マニホールドブロ
ック１２に画成された通路３５に連通する。前記室１４
０の壁部にはノズル１４４が設けられ、該ノズル１４４
の一端部は前記室１４０の内部に突出し、当該ノズル１
４４の他端部は前記エゼクタボデイ６０の内部に画成さ
れた負圧発生室１４６に突出する。前記負圧発生室１４
６は前記マニホールドブロック１２に画成された通路３
３に連通すると共に、図３に示す前記通路６６に連通す
る。前記負圧発生室１４６を形成し前記ノズル１４４に
対向する壁部には前記ノズル１４４と同軸的にデフュー
ザ１４８が固着される。前記ノズル１４４および前記デ
フューザ１４８によりエゼクタ１５０が構成される。前
記エゼクタボデイ６０の他端部にはカバー部材１５２が
固着され、前記エゼクタボデイ６０と前記カバー部材１
５２との間には前記デフューザ１４８の端部が突出する
室１５４が形成される。該室１５４は前記マニホールド
ブロック１２に画成された通路３４に連通する。

【００２４】図７に第１の実施の形態に係るエゼクタ装
置１０の回路図を示す。この回路図から諒解されるよう
に、管継手２０は切換弁１６０の入力ポート６１に接続
され、前記切換弁１６０が付勢されると、前記入力ポー
ト６１は第１の出力ポート６２または第２の出力ポート
６８に連通するように構成されている。前記第１の出力
ポート６２はエゼクタ１５０のノズル１４４に接続され
（図４参照）、該エゼクタ１５０のデフューザ１４８は
管継手２４に接続される。前記エゼクタ１５０の負圧発
生室１４６は管継手２２に連通されると共にニードル弁
３９に連通し、前記ニードル弁３９は前記切換弁１６０
の第２の出力ポート６８に連通する。

【００２５】本発明の第１の実施の形態に係るエゼクタ
装置１０は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作について説明する。

【００２６】管継手２０には圧縮空気供給源１６２が接
続され、管継手２２には負圧を必要とする、例えば、吸
着用パッド等の真空用機器１６４が接続される。また、
管継手２４には排気管１６６が接続される。排気管１６
６には、図示しないが、サイレンサを取り付けることも
可能である。

【００２７】圧縮空気供給源１６２が付勢されて管継手
２０に圧縮空気が供給されると、図３に示すように、圧
縮空気は管継手２０から通路３０を経て入力ポート６１
に導入される。しかし、スプール弁７４は変位していな
いため、入力ポート６１は第１の出力ポート６２または
第２の出力ポート６８と連通せず、それぞれの出力ポー
ト６２、６８には圧縮空気は導入されない。圧縮空気は
室７０から通路７１、７２、８３、１００ａ、１００ｂ
を経てアダプタプレート９４ａ、９４ｂの室１０２ａ、
１０２ｂに導入される。このとき、入力ポート６１から
室７０に導入された圧縮空気の圧力はスプール弁７４の
フランジ部７６ｂと７６ｃに均等にかかり、従って、こ
の圧縮空気の圧力によりスプール弁７４を矢印Ａ、Ｂ方
向に変位する力が発生することがない。このため、後述
するように、スプール弁７４を変位させるときに圧縮空
気の圧力によってこの変位が阻害されることがない。

【００２８】一方の電磁弁１０６ａが付勢されると、該
電磁弁１０６ａの内部で通路１０８ａと１１０ａとが連
通する。このため、図６に示すように、圧縮空気が通路
１０４ａを介してシリンダ室９６ａに導入され、ピスト
ン９８ａがシリンダ室９６ａの内部を変位し、スプール
弁７４が矢印Ｂ方向に変位して入力ポート６１と第１の
出力ポート６２とが連通する。従って、圧縮空気が入力
ポート６１から第１の出力ポート６２、通路３５、室１
４０を経てノズル１４４に導入される（図３および図４
参照）。ノズル１４４を通った圧縮空気はデフューザ１
４８を通過して室１５４に導入され、通路３４を経て管
継手２４から排気管１６６に排出される。このとき、負
圧発生室１４６に負圧が発生し、この負圧は通路３３、
３２を介して管継手２２に出力され、該管継手２２に接
続された真空用機器１６４に出力される。すなわち、真
空用機器１６４からこのエゼクタ装置１０に空気が吸引
される。

【００２９】また、前記負圧発生室１４６で発生した負
圧は通路３３、３２から通路１３４、１３３を介して室
１３２に導入され、該室１３２内の圧力が低下する。こ
の圧力が所定の圧力値となると、真空スイッチ１３６は
この圧力を検出して図示しない制御装置に検出信号を出
力する。従って、制御装置はこの検出信号が入力される
と、真空用機器１６４（例えば、吸着パッド）によって
ワークを吸着する等、真空用機器１６４を制御すること
が可能である。

【００３０】他方の電磁弁１０６ｂが付勢されると、該
電磁弁１０６ｂの内部で通路１０８ｂと１１０ｂとが連
通する。このため、図５に示すように、室１０２ｂ内に
導入された圧縮空気がシリンダ室９６ｂに導入され、ピ
ストン９８ｂがシリンダ室９６ｂ内を変位し、スプール
弁７４が矢印Ａ方向に変位して入力ポート６１と第２の
出力ポート６８とが連通する。従って、圧縮空気が入力
ポート６１から第２の出力ポート６８、通路４８を通
り、ニードル弁３９によって流量調整されて通路４６に
導入される（図３および図４参照）。そして、通路６
６、負圧発生室１４６、通路３３、３２を経て管継手２
２に至り、真空用機器１６４に圧縮空気が導入され、真
空破壊される。このとき、圧縮空気が急激に真空用機器
１６４に導入されると衝撃が発生し、該真空用機器１６
４がこの衝撃により破損する懸念がある。ところが、本
発明では、圧縮空気は前記ニードル弁３９によって流量
が制限されて徐々に真空用機器１６４に導入されるた
め、真空用機器１６４に圧縮空気が急激に導入されるこ
とがなく、真空用機器１６４が損傷する懸念がない。

【００３１】このエゼクタ装置１０は、弁部材１１２
ａ、１１２ｂを手動で変位させることによりスプール弁
７４を変位させ、真空用機器１６４に負圧を出力するこ
とも可能である。例えば、作業者が弁部材１１２ａをば
ね部材１１６ａの弾発力に抗して、図６中、下方に変位
させると、Ｏリング１１８ａは通路１０４ａより下方に
変位し、該通路１０４ａと通路１００ａとが連通する。
このため、前述したように、入力ポート６１に導入され
た圧縮空気が通路７１、７２、１００ａ、室１０２ａお
よび通路１０４ａを介してシリンダ室９６ａの内部に導
入され、ピストン９８ａが矢印Ｂ方向に変位する。そし
て、入力ポート６１と第１の出力ポート６２とが連通
し、前述と同様にして圧縮空気がエゼクタ１５０のノズ
ル１４４に導入され、負圧発生室１４６に負圧が発生し
て管継手２２から真空用機器１６４に該負圧が出力され
る（図４参照）。

【００３２】一方、弁部材１１２ｂが、図５中、下方に
変位されると、通路１００ｂと通路１０４ｂとが連通
し、圧縮空気がシリンダ室９６ｂに導入され、ピストン
９８ｂが矢印Ａ方向に変位する。このため、圧縮空気が
入力ポート６１から第２の出力ポート６８に導入され、
前述のようにニードル弁３９によって流量制御され、真
空用機器１６４に導入されて真空破壊される。

【００３３】このように、エゼクタ装置１０を手動で駆
動することができると、例えば、このエゼクタ装置１０
が使用された真空用機器１６４の試験が必要な場合等
に、手動により簡単に試験を行うことができる。

【００３４】第１の実施の形態では、エゼクタ装置１０
をレール１４に取り付けているが、レール１４に取り付
けることなく用いてもよい。

【００３５】次に、第２の実施の形態に係るエゼクタ装
置２００について、図８を参照して説明する。なお、第
１の実施の形態のエゼクタ装置１０と同一の構成要素に
ついては同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略
する。

【００３６】このエゼクタ装置２００のマニホールドブ
ロック１２に固着されるエゼクタボデイ２０２には、ス
プール弁７４が挿通する室７０の上部に通路２０４が画
成され、該通路２０４は前記室７０と平行に画成された
通路２０６に連通する。該通路２０６は前記エゼクタボ
デイ２０２の一方の端部に開口する。また、前記エゼク
タボデイ２０２には前記通路２０６と平行に通路２０８
が画成され、該通路２０８は前記エゼクタボデイ２０２
の両端部に開口する。

【００３７】前記エゼクタボデイ２０２の一方の端部に
はアタッチメント２１０が固着され、該アタッチメント
２１０には、図９に示すように、前記室７０に連通し、
ピストン９８ａが摺動するシリンダ室２１２ａが画成さ
れる。該シリンダ室２１２ａには通路２１４が連通す
る。前記アタッチメント２１０には前記通路２０６に連
通する通路２１６、２１８、前記通路２０８に連通する
通路２２０が画成され、通路２１８、２２０は室２２２
に連通する。該室２２２には略円柱状の弁部材２２４が
摺動自在に挿入され、該弁部材２２４はばね部材２２６
によって常時上方に付勢される。前記弁部材２２４には
周回する溝部２２８が画成され、該溝部２２８には前記
アタッチメント２１０に固着されたピン部材２３０が臨
入する。該ピン部材２３０は前記溝部２２８に係合して
前記弁部材２２４の変位範囲が規制される。

【００３８】前記アタッチメント２１０にはアダプタプ
レート２３２が固着され、該アダプタプレート２３２と
前記アタッチメント２１０との間には室２３４ａ、２３
４ｂが画成される。該室２３４ａ、２３４ｂにはチェッ
ク弁として機能する弁体２３６ａ、２３６ｂが設けられ
る。前記アダプタプレート２３２には一方の室２３４ａ
に連通する通路２３８、２４０と、他方の室２３４ｂに
連通する通路２４２、２４４、２４５が画成され、通路
２４５は前記アタッチメント２１０に画成された通路２
４７を介して前記室２２２に連通する。前記通路２３８
は室２４６に連通し、該室２４６には弁部材２４８が摺
動自在に挿入され、該弁部材２４８はばね部材２５０に
よって常時上方に付勢される。前記弁部材２４８には周
回する溝部２５２が画成され、該溝部２５２には前記ア
ダプタプレート２３２に固着されたピン部材２５４が臨
入する。

【００３９】前記アダプタプレート２３２には垂直方向
に延在する通路２５６、２５８が画成され、一方の通路
２５６はアダプタプレート２３２の外部に開口するとと
もに、前記室２３４ａ、２３４ｂに連通する。また、他
方の通路２５８は前記通路２１６に連通する。該通路２
５８は栓部材２６０によって閉塞される。

【００４０】前記アダプタプレート２３２には、図８に
示すように、ケーシング２６２が固着され、該ケーシン
グ２６２の内部には電磁弁２６４ａ、２６４ｂが設けら
れる。該電磁弁２６４ａ、２６４ｂはボビン２６６ａ、
２６６ｂを有し、該ボビン２６６ａ、２６６ｂにはコイ
ル２６８ａ、２６８ｂが巻回される。前記ボビン２６６
ａ、２６６ｂの内部には変位部材２６９ａ、２６９ｂが
摺動自在に設けられ、前記コイル２６８ａ、２６８ｂが
付勢されると前記変位部材２６９ａ、２６９ｂは矢印Ａ
またはＢ方向に変位する。一方の変位部材２６９ａが矢
印Ａ方向に変位すると、図１０に示すように、前記通路
２５８と前記室２４６とが連通し、他方の変位部材２６
９ｂが矢印Ａ方向に変位すると、図９に示すように、前
記通路２５８と前記通路２４２、２４４とが連通する。

【００４１】前記エゼクタボデイ２０２の他方の端部に
はスペーサ２７０が固着され、該スペーサ２７０には前
記通路２０８に連通する通路２７２が画成されている。
前記スペーサ２７０にはエンドプレート２７４が固着さ
れ、該エンドプレート２７４には前記通路２７２に連通
する通路２７６が画成され、該通路２７６はピストン９
８ｂが摺動するシリンダ室２７８に連通する。

【００４２】本発明の第２の実施の形態に係るエゼクタ
装置２００は、基本的には以上のように構成されるもの
であり、次にその動作について説明する。

【００４３】前記第１の実施の形態に係るエゼクタ装置
１０と同様に、管継手２０には圧縮空気供給源１６２が
接続され、管継手２２には負圧を必要とする、例えば、
吸着用パッド等の真空用機器１６４が接続される。ま
た、管継手２４には排気管１６６が接続される。

【００４４】圧縮空気供給源１６２が付勢されて管継手
２０に圧縮空気が供給されると、図８に示すように、圧
縮空気は管継手２０から通路３０を経て入力ポート６１
に導入される。しかし、スプール弁７４は変位していな
いため、入力ポート６１は第１の出力ポート６２または
第２の出力ポート６８と連通せず、それぞれの出力ポー
ト６２、６８には圧縮空気は導入されない。このとき、
圧縮空気は通路２０４、２０６、２１６、２５８に導入
されるとともに、通路２１８から室２２２に導入され
る。

【００４５】一方の電磁弁２６４ａが付勢され、変位部
材２６９ａが矢印Ａ方向に変位すると、図１０に示すよ
うに、通路２５８と室２４６とが連通し、圧縮空気は室
２４６から室２３４ａ、通路２１４を経てシリンダ室２
１２ａに導入され、ピストン９８ａがシリンダ室２１２
ａの内部を変位し、スプール弁７４が矢印Ｂ方向に変位
して入力ポート６１と第１の出力ポート６２とが連通す
る。従って、圧縮空気が入力ポート６１から第１の出力
ポート６２、通路３５、室１４０を経てノズル１４４に
導入される（図４参照）。ノズル１４４を通った圧縮空
気はデフューザ１４８を通過して室１５４に導入され、
通路３４を経て管継手２４から排気管１６６に排出され
る。このとき、負圧発生室１４６には負圧が発生し、こ
の負圧は通路３３、３２を介して管継手２２に出力さ
れ、該管継手２２に接続された真空用機器１６４に出力
される。すなわち、真空用機器１６４からこのエゼクタ
装置１０に空気が吸引される。

【００４６】他方の電磁弁２６４ｂが付勢され、変位部
材２６９ｂが矢印Ａ方向に変位すると、図９に示すよう
に、通路２５８と通路２４２、２４４とが連通する。こ
のため、圧縮空気は通路２５８から室２３４ｂ、通路２
４５、２４７、室２２２、通路２２０、２０８、２７
２、２７６を介してシリンダ室２７８に導入され、ピス
トン９８ｂがシリンダ室２７８内を変位し、スプール弁
７４が矢印Ａ方向に変位して入力ポート６１と第２の出
力ポート６８とが連通する。従って、圧縮空気が入力ポ
ート６１から第２の出力ポート６８、通路４８を通り、
ニードル弁３９によって流量調整されて通路４６に導入
される（図４参照）。そして、通路６６、負圧発生室１
４６、通路３３、３２を経て管継手２２に至り、真空用
機器１６４に圧縮空気が導入され、真空破壊される。

【００４７】このエゼクタ装置２００は弁部材２２４、
２４８を手動で変位させることによりスプール弁７４を
変位させ、真空用機器１６４に負圧を出力することも可
能である。例えば、作業者が弁部材２４８をばね部材２
５０の弾発力に抗して、図１０中、下方に変位させる
と、弁部材２４８の斜面部２４８ａに押圧されて変位部
材２６９ａが矢印Ａ方向に変位し、通路２５８と室２４
６とが連通する。このため、前述したように、入力ポー
ト６１に導入された圧縮空気が室２３４ａ、通路２１４
を介してシリンダ室２１２ａの内部に導入され、ピスト
ン９８ａが矢印Ｂ方向に変位する。そして、入力ポート
６１と第１の出力ポート６２とが連通し、前述と同様に
して圧縮空気がエゼクタ１５０のノズル１４４に導入さ
れ、負圧発生室１４６に負圧が発生して管継手２２から
真空用機器１６４に該負圧が出力される（図４参照）。

【００４８】一方、弁部材２２４が、図９中、下方に変
位されると、通路２１８と通路２２０とが連通し、通路
２０８、２７２、２７６を介して圧縮空気がシリンダ室
２７８に導入され、ピストン９８ｂが矢印Ａ方向に変位
する。このため、圧縮空気が入力ポート６１から第２の
出力ポート６８に導入され、前述したように、ニードル
弁３９によって流量制御され、真空用機器に導入されて
真空破壊される（図４参照）。

【００４９】このように、エゼクタ装置２００を手動で
駆動することができると、例えば、このエゼクタ装置２
００が使用された真空用機器１６４の試験が必要な場合
等に、手動により簡単に試験を行うことができる。

【００５０】

【発明の効果】本発明に係るエゼクタ装置によれば、以
下のような効果ならびに利点が得られる。

【００５１】エゼクタ装置には切換弁が一体的に形成さ
れているため、エゼクタ装置と切換弁とを接続する配管
系が不要となって構造が簡素化され、装置全体としての
占有スペースが小さくなると共に、製造コストを低廉化
することが可能である。

【００５２】また、第２の出力ポートを負圧発生室に連
通させることにより、該負圧発生室の真空破壊が可能と
なり、さらに、切換弁にはスプール弁が設けられ、該ス
プール弁を変位させて入力ポートと出力ポートの連通、
遮断を制御するため、入力ポートおよび出力ポートに導
入された圧力流体の圧力によってスプール弁の変位が阻
害されることがなく、入力ポートと出力ポートとを確実
に連通または遮断することが可能な、信頼性の高いエゼ
クタ装置を得ることができる。

【００５３】さらに、切換弁に手動で駆動する弁部材を
設けることにより、真空用機器に手動で負圧を出力する
ことができ、該真空用機器の試験等が容易となる。

【００５４】さらにまた、負圧発生室には真空スイッチ
が設けられ、該真空スイッチに接続された制御装置は負
圧発生室の圧力によって真空用機器等を制御することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るエゼクタ装置
を示す斜視図である。

【図２】図１のエゼクタ装置の分解斜視図である。

【図３】図１のエゼクタ装置のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図
である。

【図４】図１のエゼクタ装置のＩＶ−ＩＶ線断面図であ
る。

【図５】図４のエゼクタ装置のスプール弁が矢印Ａ方向
に変位した状態を示す一部拡大断面図である。

【図６】図４のエゼクタ装置のスプール弁が矢印Ｂ方向
に変位した状態を示す一部拡大断面図である。

【図７】図１のエゼクタ装置の回路図である。

【図８】本発明の第２の実施の形態に係るエゼクタ装置
を示す縦断面図である。

【図９】図８のエゼクタ装置のスプール弁が矢印Ａ方向
に変位した状態を示す一部拡大断面図である。

【図１０】図８のエゼクタ装置のスプール弁が矢印Ｂ方
向に変位した状態を示す一部拡大断面図である。

【符号の説明】

１０、２００…エゼクタ装置１２…マニホールド
ブロック３９…ニードル弁６０、２０２…エゼ
クタボデイ６０ａ…切換弁部６０ｂ…エゼクタ部６１…入力ポート６２、６８…出力ポ
ート７４…スプール弁１３６…真空スイッ
チ１４４…ノズル１４６…負圧発生室１４８…デフューザ１５０…エゼクタ１６０…切換弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＦ１６Ｋ 31/06 ３１０Ｆ１６Ｋ 31/06 ３１０Ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズルに導入された圧力流体がデフューザ
から導出されることにより前記ノズルと前記デフューザ
との間に形成された負圧発生室に負圧を発生させるエゼ
クタ装置において、前記エゼクタ装置には切換弁が一体的に設けられ、前記切換弁は、圧力流体供給源が接続される入力ポート
と、前記ノズルに連通する出力ポートとを備え、前記切
換弁を付勢することにより、前記入力ポートと前記出力
ポートとを連通または遮断して前記負圧発生室の負圧発
生を制御することを特徴とするエゼクタ装置。
【請求項２】請求項１記載のエゼクタ装置において、前記出力ポートは第１の出力ポートと第２の出力ポート
とからなり、前記第１の出力ポートは前記ノズルに圧力
流体を供給し、一方、前記第２の出力ポートは前記負圧
発生室に連通し、前記切換弁の付勢作用下に前記入力ポ
ートと前記第２の出力ポートとが連通すると、前記負圧
発生室に圧力流体が供給されて前記負圧発生室の真空破
壊が施されることを特徴とするエゼクタ装置。
【請求項３】請求項１または２記載のエゼクタ装置にお
いて、前記切換弁は、スプール弁と、前記スプール弁の端部に固着されたピストンと、前記ピストンが変位するシリンダ室に圧力流体を導入す
る電磁弁と、を備え、前記電磁弁の付勢作用下に前記スプール弁が変
位して前記入力ポートと前記出力ポートとが連通または
遮断されることを特徴とするエゼクタ装置。
【請求項４】請求項３記載のエゼクタ装置において、前
記切換弁には、手動で駆動され、前記シリンダ室に圧力流体を導入する
弁部材が設けられ、前記弁部材を手動で駆動することに
より前記スプール弁が変位して前記入力ポートと前記出
力ポートとが連通または遮断されることを特徴とするエ
ゼクタ装置。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載のエ
ゼクタ装置において、前記負圧発生室には、該負圧発生室が所定の圧力となっ
たことを検出して信号を発生する真空スイッチが設けら
れることを特徴とするエゼクタ装置。