JPH11228262A

JPH11228262A - 金属−セラミックス複合材料及びその製造方法

Info

Publication number: JPH11228262A
Application number: JP3657798A
Authority: JP
Inventors: Hiromasa Shimojima; 浩正下嶋; Mitsuyoshi Kimura; 光良木村; Kazunari Naito; 一成内藤; Mutsuo Hayashi; 睦夫林; Heishiro Takahashi; 平四郎高橋; Takeshi Higuchi; 毅樋口; Tomikazu Koyama; 富和小山
Original assignee: SERANKUSU KK; Taiheiyo Cement Corp
Current assignee: SERANKUSU KK; Taiheiyo Cement Corp
Priority date: 1998-02-04
Filing date: 1998-02-04
Publication date: 1999-08-24

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の金属−セラミックス複合材料は、耐熱
性に劣っていた。【解決手段】セラミックス粉末が、ＳｉＣ、Ａｌ₂Ｏ₃
またはＡｌＮ粉末から成り、金属が、Ｔｉ、Ｃｒまたは
Ｍｎを含むアルミニウム合金から成ることとした金属−
セラミックス複合材料。セラミックス粉末から成るプリ
フォームに、あるいは型枠内に充填したセラミックス粉
末にＴｉ、ＣｒまたはＭｎを含むアルミニウム合金を浸
透させることとした金属−セラミックス複合材料の製造
方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属に強化材を複
合させた金属−セラミックス複合材料及びその製造方法
に関し、特に耐熱性を向上させた金属−セラミックス複
合材料及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】セラミックス繊維または粒子で強化され
たセラミックスと金属の複合材料は、セラミックスと金
属の両方の特性を兼ね備えており、例えばこの複合材料
は、高剛性、低熱膨張性、耐摩耗性等のセラミックスの
優れた特性と、延性、高靱性、高熱伝導性等の金属の優
れた特性を備えている。このように、従来から難しいと
されていたセラミックスと金属の両方の特性を備えてい
るため、機械装置メーカ等の業界から次世代の材料とし
て注目されている。

【０００３】この複合材料、特に金属としてアルミニウ
ムをマトリックスとする複合材料の製造方法は、粉末冶
金法、高圧鋳造法、真空鋳造法等の方法が従来から知ら
れている。しかし、これらの方法は、強化材であるセラ
ミックスの含有量を多くできない、あるいは大型の加圧
装置が必要である、もしくはニアネット成形が困難であ
る、コストが極めて高いなどの理由により、いずれも満
足できるものではなかった。

【０００４】そこで最近では、上記問題を解決する製造
方法として、米国ランクサイド社が開発した非加圧金属
浸透法が特に注目されている。この方法は、ＳｉＣやＡ
ｌ₂Ｏ₃などのセラミックス粉末で形成されたプリフォー
ムに、Ｍｇを含むアルミニウムインゴットを接触させ、
これをＮ₂雰囲気中で７００〜９００℃に加熱して溶融
したアルミニウム合金をプリフォームに含浸させる方法
である。これは、ＭｇとＮ₂との化学反応を利用してセ
ラミックス粉末への溶融金属の濡れ性を改善することに
より、加圧しなくても金属をプリフォームに含浸できる
ようにした優れた方法である。

【０００５】また、この方法では、セラミックスの含有
率を３０〜８５ｖｏｌ％と広く、かつ高い範囲まで変え
ることができ、しかも、この方法で形成されたプリフォ
ームは、その形状の自由度が高いので、かなり複雑な形
状をニアネットで作ることも可能である。このようにこ
の方法は、加圧装置が不要であり、セラミックスの含有
率を高くすることができ、ニアネット成形も可能となる
方法であるので、前記した問題が解決される優れた方法
である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法で作製した複合材料は、耐熱性に劣ることに問題があ
った。それは、一つは、Ｍｇを含むＡｌ−Ｍｇ系の合金
は、Ｍｇが３５．０％のところに４５０℃の共晶点があ
るため融点が低いことであり、この合金はＡｌ−５Ｍｇ
で５７０℃程度、Ａｌ−１０Ｍｇで５００℃程度である
ため、変形を起こさずに使える温度は、荷重によっても
異なるが最高４５０〜５００℃程度であり、融点が６７
０℃程度であるＡｌに比べて１００℃以上も低くなるこ
とである。

【０００７】また、二つ目は、蒸気圧が極めて低く、揮
発し易いことであり、そのため、４００℃以上の温度下
では、高真空度を達成するのが難しく、かつ常圧に戻し
た際に揮発したＭｇが凝固し、ダストとして発生してし
まうことである。さらに、三つ目は、セラミックス粉末
がＳｉＣの場合、ＡｌとＳｉＣが反応して炭化アルミニ
ウム（Ａｌ₄Ｃ₃）を生成し、このＡｌ₄Ｃ₃が常温で空気
中の水分と容易に反応して水酸化アルミニウムとなり、
複合材料の物理的特性を著しく劣化させることであり、
それを防ぐためにアルミニウム金属中には必ずＳｉの含
有が必要であった。そして、Ａｌ−Ｓｉ系においてＳｉ
が１１．６％のところに５７７℃の共晶点があるため融
点がさらに低くなり、Ａｌ−５Ｍｇ−１２Ｓｉで４５０
℃程度にすぎなかった。

【０００８】この耐熱性を改善するため、発明者等はア
ルミニウム合金中のＳｉやＭｇの含有量を極力減らすこ
とで対応してきた。しかし、Ｍｇを少なくすると当然金
属の浸透時間が長くなるという問題があり、また、浸透
時間が長くなると複合材料中にポアや未浸透部分が発生
し易いという問題もあった。

【０００９】本発明は、上述したセラミックスと金属の
複合材料が有する課題に鑑みなされたものであって、そ
の目的は、耐熱性を改善することのできる金属−セラミ
ックス複合材料を提供しその製造方法をも提供すること
にある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するため鋭意研究した結果、マトリックスである
アルミニウム合金中にＴｉ、ＣｒまたはＭｎを含有させ
れば、耐熱性を改善することのできる金属−セラミック
ス複合材料が得られるとの知見を得て本発明を完成する
に至った。

【００１１】即ち本発明は、（１）セラミックス粉末に
金属を浸透させた金属−セラミックス複合材料におい
て、該セラミックス粉末が、ＳｉＣ、Ａｌ₂Ｏ₃またはＡ
ｌＮ粉末から成り、該金属が、Ｔｉ、ＣｒまたはＭｎを
含むアルミニウム合金から成ることを特徴とする金属−
セラミックス複合材料（請求項１）とし、また、（２）
アルミニウム合金が、Ｔｉ、ＣｒまたはＭｎを０．５〜
２０重量％含むアルミニウム合金であることを特徴とす
る請求項１記載の金属−セラミックス複合材料（請求項
２）とし、さらに、（３）セラミックス粉末に金属を浸
透させる金属−セラミックス複合材料の製造方法におい
て、先ずセラミックス粉末を用意し、そのセラミックス
粉末でプリフォームを形成した後、該プリフォームの上
面にＭｇまたはＡｌ−Ｍｇ、Ｍｇ₂Ｓｉ等のＭｇ含有金
属粉末を薄く敷き、その上にＭｇを含まずＴｉ、Ｃｒま
たはＭｎを含むアルミニウム合金を載せた後、該プリフ
ォームにアルミニウム合金を７００〜１０００℃の温度
で浸透させることを特徴とする金属−セラミックス複合
材料の製造方法（請求項３）とし、さらにまた、（４）
セラミックス粉末に金属を浸透させる金属−セラミック
ス複合材料の製造方法において、先ず含浸促進材を混合
したセラミックス粉末を用意し、そのセラミックス粉末
を型枠内に充填し、そのセラミックス粉末の上にＭｇを
含まずＴｉ、ＣｒまたはＭｎを含むアルミニウム合金を
載せた後、該セラミックス粉末にアルミニウム合金を７
００〜１０００℃の温度で浸透させることを特徴とする
金属−セラミックス複合材料の製造方法（請求項４）と
し、そしてまた、（５）セラミックス粉末に金属を浸透
させる金属−セラミックス複合材料の製造方法におい
て、先ずセラミックス粉末を用意し、そのセラミックス
粉末でプリフォームを形成した後、あるいはそのセラミ
ックス粉末を型枠内に充填した後、そのプリフォームま
たはセラミックス粉末の上にＭｇを含み、かつＴｉ、Ｃ
ｒまたはＭｎを含むアルミニウム合金を載せた後、該プ
リフォームまたはセラミックス粉末に７００〜１０００
℃の温度でアルミニウム合金を浸透させることを特徴と
する金属−セラミックス複合材料の製造方法（請求項
５）とし、そしてさらにまた、（６）アルミニウム合金
が、Ｔｉ、ＣｒまたはＭｎを０．５〜２０重量％含むア
ルミニウム合金であることを特徴とする請求項３、４ま
たは５記載の金属−セラミックス複合材料の製造方法
（請求項６）とすることを要旨とする。以下さらに詳細
に説明する。

【００１２】上記複合材料中のセラミックス粉末として
は、ＳｉＣ、Ａｌ₂Ｏ₃またはＡｌＮ粉末から成るとし、
そのセラミックス粉末に浸透させた金属としては、Ｔ
ｉ、ＣｒまたはＭｎを含むアルミニウム合金から成るこ
ととする金属−セラミックス複合材料とした（請求項
１）。セラミックス粉末をＳｉＣ、Ａｌ₂Ｏ₃またはＡｌ
Ｎ粉末としたのは、これら粉末が金属に浸透され易いこ
とによる。また、浸透させた金属をＴｉ、ＣｒまたはＭ
ｎを含むアルミニウム合金としたのは、Ｔｉ、Ｃｒまた
はＭｎがＡｌと共晶点を作らず、またＡｌより融点が高
いので、これら金属が加わると必ずＡｌより高い融点に
なり耐熱性が向上することによる。これは、耐熱性を低
くするＭｇを多く含んでいても同様で、Ｍｇの含有量が
同じであれば必ず耐熱性が改善される。

【００１３】このＴｉ、ＣｒまたはＭｎの含有量として
は、アルミニウム合金中に０．５〜２０％重量％とした
（請求項２）。これらＴｉ、ＣｒまたはＭｎの含有量が
０．５重量％より少ないと耐熱性を向上させる効果が少
なく、２０重量％より多いと金属の浸透速度が遅くなり
工業的には適さない。これら金属による効果はほぼ同程
度であるので、要求される物理的特性ないしは経済性を
考慮して適宜選択して用いればよい。

【００１４】その複合材料の製造方法としては、浸透さ
せる金属にＭｇを含まないアルミニウム合金を用いる場
合には、先ずセラミックス粉末を用意し、そのセラミッ
クス粉末でプリフォームを形成した後、該プリフォーム
の上面にＭｇまたはＡｌ−Ｍｇ、Ｍｇ₂Ｓｉ等のＭｇ含
有金属粉末を薄く敷き、その上にＭｇを含まずＴｉ、Ｃ
ｒまたはＭｎを含むアルミニウム合金を載せた後、該プ
リフォームに７００〜１０００℃の温度でアルミニウム
合金を浸透させることとする金属−セラミックス複合材
料の製造方法とした（請求項３）。

【００１５】この製造方法は、形成されたプリフォーム
と浸透させる金属との間にＭｇを含む金属粉末を敷くこ
とで金属を浸透させるもので、このＭｇを含む金属粉末
を敷いてないと、溶融金属がプリフォームに浸透されな
い。その金属粉末の平均粒径としては、１〜３００μｍ
が好ましく、１μｍより細かいと大気中の水分と反応し
てしまいＭｇ（ＯＨ）₂となり好ましくなく、３００μ
ｍより粗いと混合が不均一となり浸透が進まない部分が
生じる。また、その金属粉末のプリフォーム上面に敷く
量としては、耐熱性を向上させるためには全金属中のＭ
ｇ含有量が１％以下となる量とする必要がある。それを
敷く方法としては、篩などを用いてできるだけ均一に振
り撒くことが望ましい。量が足りなくて均一に振り撒く
ことができない場合には、Ａｌ₂Ｏ₃等のセラミックス粉
末と充分混合し、増量したものを用いてもよい。

【００１６】Ｍｇを含まないアルミニウム合金を用いる
場合の他の製造方法としては、先ず含浸促進材を混合し
たセラミックス粉末を用意し、そのセラミックス粉末を
型枠内に充填し、そのセラミックス粉末の上にＭｇを含
まずＴｉ、ＣｒまたはＭｎを含むアルミニウム合金を載
せた後、該セラミックス粉末に７００〜１０００℃の温
度でアルミニウム合金を浸透させることとする金属−セ
ラミックス複合材料の製造方法とした（請求項４）。

【００１７】この製造方法は、強化材であるセラミック
ス粉末にＭｇを含む金属粉末から成る含浸促進材を混ぜ
型枠内に充填するもので、含浸促進材がセラミックス粉
末に含まれていないと、前記したと同様溶融金属がセラ
ミックス粉末に浸透されない。その金属粉末の平均粒径
としては、これも前記したと同様１〜３００μｍが好ま
しい。またその量としては、これも全アルミニウム合金
中のＭｇ含有量が１％以下となるように調整する必要が
ある。

【００１８】一方、浸透させる金属にＭｇを含むアルミ
ニウム合金を用いる場合には、先ずセラミックス粉末を
用意し、そのセラミックス粉末でプリフォームを形成し
た後、あるいはそのセラミックス粉末を型枠内に充填し
た後、そのプリフォームまたはセラミックス粉末の上に
Ｍｇを含み、かつＴｉ、ＣｒまたはＭｎを含むアルミニ
ウム合金を載せた後、該プリフォームまたはセラミック
ス粉末に７００〜１０００℃の温度でアルミニウム合金
を浸透させることとする金属−セラミックス複合材料の
製造方法とした（請求項５）。

【００１９】この製造方法は、浸透させる金属にＭｇを
含んでいることから、プリフォームの上面にＭｇを含む
金属粉末を敷く必要はなく、あるいは型枠内に充填する
セラミックス粉末に含浸促進材を混ぜる必要もなく、浸
透させるアルミニウム合金にＴｉ、ＣｒまたはＭｎが含
まれていることを除けば従来通りの方法で製造できる。
そして、Ｍｇを含まないアルミニウム合金を浸透させる
方法で作製された複合材料より耐熱性には劣るが、浸透
時間がはるかに短い利点がある。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の製造方法をさらに詳しく
述べると、先ず強化材としてＳｉＣ、Ａｌ₂Ｏ₃またはＡ
ｌＮ粉末を用意する。プリフォームを作製する場合に
は、これら粉末に無機バインダーを、必要があれば有機
バインダーも加えて混合する。混合方法は均一に混合で
きればどんな方法でも構わない。

【００２１】得られた混合物を成形する。成形方法は、
沈降成形、射出成形、ＣＩＰ成形などがあるが、いずれ
の方法でも構わない。要は非加圧で金属を浸透するのに
プリフォームの形態を保つことができ、かつ浸透を阻害
しない方法であれば何でもよい。得られた成形体は、９
００〜１１００℃の温度で焼成してプリフォームを形成
する。Ｍｇを含まないアルミニウム合金を浸透させる場
合には、形成したプリフォームの上面に１〜３００μｍ
の平均粒径を有するＭｇを含む金属粉末を篩等を用いて
振り撒いて薄く敷き、その上にＴｉ、ＣｒまたはＭｎを
含むアルミニウム合金を置いた後、あるいはＭｇを含む
アルミニウム合金を浸透させる場合には、プリフォーム
の上に金属粉末を敷くことなくそのままＴｉ、Ｃｒまた
はＭｎを含むアルミニウム合金を置いた後、窒素気流中
で非加圧で７００〜１０００℃の温度でアルミニウム合
金を浸透させ、冷却して複合材料を作製する。

【００２２】一方、型枠に充填する場合には、Ｍｇを含
まないアルミニウム合金を浸透させるときは、前記した
セラミックス粉末に含浸促進材である１〜３００μｍの
平均粒径を有するＭｇを含む金属粉末を加え、乾式で混
合し、その混合粉末を型枠に充填した後、あるいはＭｇ
を含むアルミニウム合金を浸透させるときには、セラミ
ックス粉末をそのまま型枠内に充填した後、充填したセ
ラミックス粉末に型枠上部から前記したプリフォームの
場合と同様金属を浸透させる。型枠に用いる材料として
は、グラフォイル等溶融金属との濡れ性が悪く、浸透を
阻害するものがよく、浸透後の脱型が容易になる。

【００２３】以上の方法で金属−セラミックス複合材料
を作製すれば、耐熱性を改善することのできる金属−セ
ラミックス複合材料を得ることができる。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の実施例を具体的に挙げ、本発
明をより詳細に説明する。

【００２５】（実施例１）（１）プリフォームの形成強化材として１６μｍの平均粒径を有するシリカコーテ
ィングしたＡｌＮ粉末（ダウケミカル社製）を用い、そ
れにバインダーとしてコロイダルシリカ液をそのシリカ
固形分がセラミックス粉末１００重量部に対し２重量部
になる量を添加し、さらにイオン交換水を３０重量部加
え、媒体を入れてないポットミルで１６時間混合した。
得られたスラリーを８０×８０×厚さ２０ｍｍの成形体
が得られるシリコーンゴム型に流し込んでセディメント
キャスト（沈降成形）を行ない、−３０℃に冷却して冷
凍品を得た。得られた冷凍品を７００℃で５時間焼成し
て４枚のプリフォーム板を形成した。

【００２６】（２）複合材料の作製プリフォームの上面にＡｌ₂Ｏ₃粉末と１５０μｍアンダ
ーのＭｇ粉末とを重量比９：１で混合した粉末２００ｇ
を篩を用いて薄く敷き、さらにその上に１，２倍量の純
Ａｌ、Ａｌ−５Ｔｉ組成、Ａｌ−５Ｃｒ組成、Ａｌ−５
Ｍｎ組成の板を各々のプリフォーム板の上に置き、窒素
雰囲気中で８７５℃の温度で４５時間非加圧浸透させた
後、冷却して金属−セラミックス複合材料を作製した。

【００２７】（３）評価得られた複合材料から長さ８０×幅２０×厚さ４ｍｍの
試験片を切り出し、その試験片を大気中で６２０℃の温
度で２時間保持した後、その表面を目視観察した。その
結果、純Ａｌを浸透させた試験片では表面に球滴状の溶
融合金が付着しているのが観察されたが、Ｔｉ、Ｃｒま
たはＭｎを含むアルミニウム合金を浸透させた試験片で
は全く溶融した形跡がみられなかった。このことは、Ａ
ｌにＴｉ、ＣｒまたはＭｎを含ませれば、Ａｌより耐熱
性が改善されることを示している。

【００２８】（実施例２）（１）プリフォームの形成強化材として＃１８０（平均粒径６６μｍ）の市販Ｓｉ
Ｃ粉末７０重量部と＃８００（平均粒径１４μｍ）の市
販ＳｉＣ粉末３０重量部に対し、バインダーとしてコロ
イダルシリカ液をそのシリカ固形分がセラミックス粉末
１００重量部に対し２重量部になる量を添加し、それに
消泡剤としてフォーマスタＶＬ（サンノブコ社製）を
０．２重量部加え、それにさらにイオン交換水を２４重
量部加え、媒体を入れてないポットミルで１２時間混合
した。得られたスラリーを８０×８０×厚さ２０ｍｍの
成形体が得られるシリコーンゴム型に流し込んでセディ
メントキャスト（沈降成形）を行ない、−３０℃に冷却
して冷凍品を得た。得られた冷凍品を１０５０℃で３時
間焼成して４枚のプリフォーム板を形成した。

【００２９】（２）複合材料の作製プリフォームの上面に市販のＡＣ８Ｂ組成（Ａｌ−Ｓｉ
−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｍｇ系）にＭｇを３重量％添加したもの
（以下ＡＣ８Ｂ−３Ｍｇと略記）、それにＴｉ、Ｃｒま
たはＭｎを１重量％添加したものをプリフォームの１．
０倍量それぞれ置き、窒素雰囲気中で８２５℃の温度で
２４時間非加圧浸透させた後、冷却して金属−セラミッ
クス複合材料を作製した。

【００３０】（３）評価得られた複合材料から長さ８０×幅２０×厚さ４ｍｍの
試験片を切り出し、その試験片を大気中で５５０℃の温
度に設定した電気炉内に入れ、２時間保持した後、その
表面を目視観察した。その結果、ＡＣ８Ｂ−３Ｍｇを浸
透させた試験片では表面に球滴状の溶融合金が付着して
いるのが観察されたが、ＡＣ８Ｂ−３ＭｇにＴｉ、Ｃｒ
またはＭｎを含む合金を浸透させた試験片では全く溶融
した形跡がみられなかった。このことは、アルミニウム
合金にＴｉ、ＣｒまたはＭｎを含ませれば、Ｍｇを同じ
量含むものより耐熱性が改善されることを示している。

【００３１】

【発明の効果】以上の通り、本発明の金属−セラミック
ス複合材料であれば、Ｍｇを含まないものは勿論Ｍｇを
含んでも耐熱性を改善することのできる金属−セラミッ
クス複合材料とすることができるようになった。このこ
とにより、従来欠点であった耐熱性の低さを大幅に改善
することができるようになり、特に強化材にＡｌＮ粉末
を用いたものは、耐熱性が６００℃より高く、軽量、高
剛性を兼ね備えながらこれほどの高温に耐えられる材料
は他になく半導体製造装置の部材用などを中心に幅広い
応用が期待できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者林睦夫埼玉県浦和市大牧560 (72)発明者高橋平四郎千葉県松戸市松戸新田314−１ (72)発明者樋口毅東京都東久留米市氷川台１−３−９ (72)発明者小山富和東京都北区浮間１−３−１−805

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミックス粉末に金属を浸透させた金
属−セラミックス複合材料において、該セラミックス粉
末が、ＳｉＣ、Ａｌ₂Ｏ₃またはＡｌＮ粉末から成り、該
金属が、Ｔｉ、ＣｒまたはＭｎを含むアルミニウム合金
から成ることを特徴とする金属−セラミックス複合材
料。
【請求項２】アルミニウム合金が、Ｔｉ、Ｃｒまたは
Ｍｎを０．５〜２０重量％含むアルミニウム合金である
ことを特徴とする請求項１記載の金属−セラミックス複
合材料。
【請求項３】セラミックス粉末に金属を浸透させる金
属−セラミックス複合材料の製造方法において、先ずセ
ラミックス粉末を用意し、そのセラミックス粉末でプリ
フォームを形成した後、該プリフォームの上面にＭｇま
たはＡｌ−Ｍｇ、Ｍｇ₂Ｓｉ等のＭｇ含有金属粉末を薄
く敷き、その上にＭｇを含まずＴｉ、ＣｒまたはＭｎを
含むアルミニウム合金を載せた後、該プリフォームにア
ルミニウム合金を７００〜１０００℃の温度で浸透させ
ることを特徴とする金属−セラミックス複合材料の製造
方法。
【請求項４】セラミックス粉末に金属を浸透させる金
属−セラミックス複合材料の製造方法において、先ず含
浸促進材を混合したセラミックス粉末を用意し、そのセ
ラミックス粉末を型枠内に充填し、そのセラミックス粉
末の上にＭｇを含まずＴｉ、ＣｒまたはＭｎを含むアル
ミニウム合金を載せた後、該セラミックス粉末にアルミ
ニウム合金を７００〜１０００℃の温度で浸透させるこ
とを特徴とする金属−セラミックス複合材料の製造方
法。
【請求項５】セラミックス粉末に金属を浸透させる金
属−セラミックス複合材料の製造方法において、先ずセ
ラミックス粉末を用意し、そのセラミックス粉末でプリ
フォームを形成した後、あるいはそのセラミックス粉末
を型枠内に充填した後、そのプリフォームまたはセラミ
ックス粉末の上にＭｇを含み、かつＴｉ、ＣｒまたはＭ
ｎを含むアルミニウム合金を載せた後、該プリフォーム
またはセラミックス粉末に７００〜１０００℃の温度で
アルミニウム合金を浸透させることを特徴とする金属−
セラミックス複合材料の製造方法。
【請求項６】アルミニウム合金が、Ｔｉ、Ｃｒまたは
Ｍｎを０．５〜２０重量％含むアルミニウム合金である
ことを特徴とする請求項３、４または５記載の金属−セ
ラミックス複合材料の製造方法。