JPH11230436A - 溶接レス継手 - Google Patents

溶接レス継手

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JPH11230436A
JPH11230436A JP10032590A JP3259098A JPH11230436A JP H11230436 A JPH11230436 A JP H11230436A JP 10032590 A JP10032590 A JP 10032590A JP 3259098 A JP3259098 A JP 3259098A JP H11230436 A JPH11230436 A JP H11230436A
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pipe
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pipes
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憲一 五島
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 締め付けに要するトルクを小さくすることに
よって、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換な
どの作業性に優れた溶接レス継手を提供すること。 【解決手段】 溶接レス継手1では、継手本体14の内
部において、2本のパイプ12A、12Bが回転するこ
となくその軸方向上で移動することができる。そして、
継手本体14の内部に螺合する締付部材13を締め付け
ると、2本のパイプ12A、12Bは互いの方向に向か
って移動し圧接するので、2本のパイプ12A、12B
を溶接することなく接続することができる。このとき、
継手本体14の内部に有したパッキン17A、17B
は、2本のパイプ12A、12Bの接続面からの漏れを
防いでいるが、さらに、継手本体14の内部から外部へ
の漏れも防いでいる。そして、継手本体14の内部から
外部への漏れは、継手本体14とその内部に螺合する締
付部材13の間で起こることから、本溶接レス継手1に
おいては、継締付部材13の周囲にパッキン(シール部
材)を設ける必要がない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造ライン
の作用ガス配管系において使用される溶接レス継手に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体製造ラインにおいては、作
用ガスとしてシランガス等の毒性の強いガスが使われて
いる。また、かかる半導体製造ラインに接続される各種
の接続機器については、その性能を確保するために、そ
の内部が大気に触れないように保管・交換されることが
多い。
【0003】そこで、例えば、図9に示すパージ用継手
100を半導体製造ラインに設けることにより、毒性の
強い作用ガスを内部に残留させることなく不活性ガスに
置換していた。また、各種の接続機器をその内部が大気
に触れることなく交換していた。
【0004】ここでは、かかるパージ用継手100につ
いて、図9、図10に基づいて説明する。図9(a)
は、図9(b)の側面図であり、図9(b)は、パージ
用継手100の断面図である。また、図10は、パージ
用継手100の分解断面図である。図9に示すように、
パージ用継手100は、2本のパイプ112A、112
Bを接続するための溶接レス継手である。
【0005】パージ用継手100の本体である継手ボデ
ィ114には、その右端面に、6つのスパナ掛け孔11
4dが形成されている。また、その右端面中央に形成さ
れた孔から継手ボディ114の内部空間114bに向か
って、右側のパイプ112Aが挿入されている。
【0006】かかるパイプ112Aの外周には、パイプ
溝が形成されている。そして、そのパイプ溝には、断面
がくさび形状のインナーフェルール116Aが嵌合され
ている。このとき、インナーフェルール116Aは、そ
の周囲に形成された複数の溝を広げながらパイプ溝に装
着されているので、パイプ112Aと一体となってパイ
プの軸線方向に動くことができる。
【0007】また、インナーフェルール116Aの右側
には、アウターフェルール115Aが、インナーフェル
ール116Aのくさびと組み合わされてセットされてい
る。そして、アウターフェルール115Aの右端面には
スラスト軸受が組み込まれており、継手ボディ114を
回転させてもパイプ112Aが回転しない構造となって
いる。
【0008】一方、内部空間114bは、継手ボディ1
14の左端面まで貫通しており、また、左端面近くは段
差が付いて大径になっており、その大径部内周には雌ね
じ114aが形成されている。かかる雌ねじ114aに
は、ナット部材113の外側に形成された雄ねじ113
aがねじ込まれている。また、ナット部材113の中心
には孔が形成され、その孔から左側のパイプ112Bが
内部空間114bに向かって挿入されている。また、ナ
ット部材113の左端面には、6つのスパナ掛け孔11
3bが形成されている。
【0009】かかるパイプ112Bの外周にも、パイプ
溝が形成されている。そして、そのパイプ溝には、断面
がくさび形状のインナーフェルール116Bが嵌合され
ている。このとき、インナーフェルール116Bは、そ
の周囲に形成された複数の溝を広げながらパイプ溝と嵌
合しているので、パイプ112Bと一体となってパイプ
の軸線方向に動くことができる。
【0010】また、インナーフェルール116Bの左側
にも、アウターフェルール115Bが組み合わされてセ
ットされている。そして、アウターフェルール115B
の左端面には、スラスト軸受が組み込まれており、ナッ
ト部材113を回転してもパイプ112Bが回転しない
構造となっている。
【0011】また、アウターフェルール115Bの左端
面は、ナット部材113の右端面に当接している。ま
た、パイプ112Bの先端には、中央部に孔が形成され
たガスケット119が装着されている。ガスケット11
9は、軟金属製でありパイプ112Aとパイプ112B
とで挟まれて、押圧されつぶされてガス漏れを防止する
シールの役割を果たす。
【0012】また、パイプ112Aとパイプ112Bと
の接続する位置、すなわち両者の間隙の位置に、外部開
口114Cが形成されている。そして、図9(a)に示
すように、外部開口114Cは、外部継手118の中央
に形成された外部開口118aに接続している。外部継
手118の外周には、雄ねじが形成されている。
【0013】次に、図9に示すパージ用継手100を使
用して、パイプ112Aとパイプ112Bとを接続する
手順について説明する。図10は、パイプ112Aとパ
イプ112Bとが分離された状態である。この図10の
状態から、パイプ112Aとパイプ112Bとを接続す
るには、パイプ112Aとパイプ112Bをガスケット
119を挟んで当接させ、継手ボディ114に対してナ
ット部材113をねじ込んでゆくことより行う。尚、継
手ボディ114に対するナット部材113にねじ込み
は、スパナ掛け孔113b及びスパナ掛け孔114dに
より行われる。
【0014】このとき、ナット部材113が継手ボディ
114にねじ込まれることにより、アウターフェルール
115Bが右方向に押圧される。そして、アウターフェ
ルール115Bがくさびによりインナーフェルール11
6Bを右方向に押圧し、インナーフェルール116Bが
パイプ溝を介してパイプ112Bを右方向に押圧する。
従って、パイプ112Bは、ガスケット119を介して
パイプ112Aと当接され、さらに押圧される。尚、上
述したように、スラスト軸受が設けられていることか
ら、ナット部材113がアウターフェルール115Bを
押圧している場合でも、パイプ112Bは回転しないで
移動する。
【0015】一方、パイプ112Aは、パイプ溝を介し
てインナーフェルール116Aを右方向に押圧する。イ
ンナーフェルール116Aの押圧力は、アウターフェル
ール115Aを介して継手ボディ114により受けられ
る。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられてい
ることから、アウターフェルール115Aが継手ボディ
114を押圧している場合でも、パイプ112Aは回転
しないで移動する。
【0016】従って、ナット部材113を継手ボディ1
14にねじ込むことにより、パイプ112Bとパイプ1
12Aとで、両側からガスケット119を挟んで押圧で
き、ガスケット119を押しつぶしてシールすることが
できる。このとき、パイプ112Aとパイプ112Bと
が当接する位置、すなわちガスケット119の位置は、
常に所定の位置となり、その位置に対応して、外部開口
114Cが形成されている。
【0017】よって、継手ボディ114に対するナット
部材113のねじ込みを緩めることより、パイプ112
Aとパイプ112Bの間隙を、外部開口114Cに対応
して位置に形成することができる。ここで、外部開口1
14Cを介して、真空排気とパージを繰り返すことによ
り、パイプ112Aとパイプ112Bの内部を不活性ガ
スに置き換えることができる。従って、図9に示すパー
ジ用継手100は、外部継手118をパージポートとす
る溶接レス継手でもある。
【0018】さらに、継手ボディ114に対するナット
部材113をねじ込むことより、パイプ112Aとパイ
プ112Bを接続させれば、パイプ112Aとパイプ1
12Bの内部には大気が混入することがないので、パイ
プ112Aやパイプ112Bに接続された各種の接続機
器を、その内部が大気に触れることなく交換することが
できる。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図9に
示すパージ用継手100においては、継手ボディ114
の内部空間114bを大気と遮断するために、Oリング
117をナット部材113に嵌合していた。従って、継
手ボディ114に対するナット部材113のねじ込みに
おいては、継手ボディ114とナット部材113の間に
Oリング117が介在するため、締め付けに要するトル
クが大きなものとなっていた。
【0020】そこで、本発明は、上述した問題点を解決
するためになされたものであり、締め付けに要するトル
クを小さくすることによって、不活性ガスへの置換、各
種の接続機器の交換などの作業性に優れた溶接レス継手
を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に成された請求項1に係る溶接レス継手は、継手本体の
内部を無転状態で移動する2本のパイプを、前記継手本
体の内部に螺合する締付部材によって接続させるととも
に、前記パイプの接続面からの漏れを防ぐために前記継
手本体の内部にパッキンを有する溶接レス継手であっ
て、前記継手本体の内部から外部への漏れも前記パッキ
ンで防ぐことを特徴とする。
【0022】また、請求項2に係る溶接レス継手は、請
求項1に記載する溶接レス継手であって、前記パッキン
は前記継手本体の内部の部品と一体化されていることを
特徴とする。
【0023】また、請求項3に係る溶接レス継手は、請
求項2に記載する溶接レス継手であって、前記パイプの
離間とともに前記パッキンは分割することを特徴とす
る。
【0024】また、請求項4に係る溶接レス継手は、請
求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載する溶接レス
継手であって、前記継手本体にパージポートが設けられ
たことを特徴とする。
【0025】また、請求項5に係る溶接レス継手は、請
求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載する溶接レス
継手であって、前記パイプは作用ガス配管系に使用され
るものであることを特徴とする。
【0026】また、請求項6に係る溶接レス継手は、請
求項5に記載する溶接レス継手であって、前記パイプの
一方が前記作用ガス配管系の接続機器の接続ポートであ
ることを特徴とする。
【0027】このような構成を有する本発明の溶接レス
継手では、継手本体の内部において、2本のパイプが回
転することなくその軸方向上で移動することができる。
そして、継手本体の内部に螺合する締付部材を締め付け
ると、2本のパイプは互いの方向に向かって移動し圧接
するので、2本のパイプを溶接することなく接続するこ
とができる。
【0028】このとき、継手本体の内部に有したパッキ
ンは、2本のパイプの接続面からの漏れを防いでいる
が、さらに、継手本体の内部から外部への漏れも防いで
いる。そして、継手本体の内部から外部への漏れは、継
手本体とその内部に螺合する締付部材の間で起こること
から、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がな
い。
【0029】すなわち、本発明の溶接レス継手において
は、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないの
で、継手本体とその内部に螺合する締付部材の間にシー
ル部材が介在することがなく、締付部材の締め付けに要
するトルクを小さくすることができる。
【0030】また、締付部材の周囲にシール部材を設け
る必要がないことから、締付部材の周囲において、シー
ル部材の設置スペースを省略することができるので、溶
接レス継手を小型化することができる。
【0031】また、2本のパイプの接続面からの漏れを
防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐ
パッキンが、継手本体の内部の部品と一体化されている
と、溶接レス継手の組立や分解が容易になるとともに、
かかるパッキンが紛失するおそれもない。
【0032】また、2本のパイプの接続面からの漏れを
防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐ
パッキンが、2本のパイプの離間とともに分離するよう
に、継手本体の内部の部品と一体化されていると、2本
のパイプを圧接する際において、かかるパッキンは2本
のパイプの接続面を確実にシールすることができる。ま
た、継手本体にパージポートを設けることにより、本発
明の溶接レス継手をパージ継手として使用することがで
きる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用した
り、作用ガス配管系の接続機器の接続ポートをパイプの
一方として使用すれば、不活性ガスへの置換、各種の接
続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【0033】
【発明の実施の形態】以下、本実施の形態の溶接レス継
手について、図面に基づいて説明する。図1、図2は、
溶接レス継手1の断面図である。継手本体14には、そ
の左端面の中央に形成された孔から継手本体14の内部
空間に向かって、左側のパイプ12Bが挿入されてい
る。
【0034】かかるパイプ12Bの外周には、パイプ溝
が形成されている。そして、図5や図6に示すように、
冶具30を用いて、パイプ12Bの先端からインナーフ
ェルール16Bをはめこむことより、かかるパイプ溝に
は、断面がくさび形状のインナーフェルール16Bが嵌
合されている。
【0035】ここで、インナーフェルール16Bの分解
斜視図を図4に示す。図4に示すように、インナーフェ
ルール16Bのパイプ12Bの先端側には、パッキン1
7Bがライニングされている。また、図4に示すよう
に、インナーフェルール16Bは、その周囲に形成され
た複数のくさび部材18Bを広げながらパイプ溝に装着
されているので、パイプ12Bと一体となってパイプの
軸線方向に無回転状態で動くことができる。
【0036】図1に戻り、インナーフェルール16Bの
左側には、アウターフェルール15Bが、インナーフェ
ルール16Bのくさび材18Bと組み合わされてセット
されている。そして、アウターフェルール15Bの左端
面にはスラスト軸受が組み込まれており、継手本体14
を回転させてもパイプ12Bが回転しない構造となって
いる。尚、図3に、アウターフェルール15Bが組み合
わされた配管12Bの斜視図を示す。
【0037】図1に戻り、継手本体14の内部空間は、
継手ボディ14の右端面まで貫通しており、また、右端
面近くは段差が付くことなくストレート状になってお
り、その内部の内周には雌ねじ20が形成されている。
かかる雌ねじ20には、ナット状の締付部材13の外側
に形成された雄ねじ21がねじ込まれている。また、締
付部材13の中心には孔が形成され、その孔から右側の
パイプ12Aが内部空間に向かって挿入されている。
【0038】かかるパイプ12Aの外周にも、パイプ溝
が形成されている。そして、図5や図6に示すように、
冶具30を用いて、パイプ12Aの先端からインナーフ
ェルール16Aをはめこむことより、かかるパイプ溝に
は、断面がくさび形状のインナーフェルール16Aが嵌
合されている。
【0039】ここで、インナーフェルール16Aの分解
斜視図を図4に示す。図4に示すように、インナーフェ
ルール16Aのパイプ12Aの先端側には、パッキン1
7Aがライニングされている。また、図4に示すよう
に、インナーフェルール16Aは、その周囲に形成され
た複数のくさび部材18Aを広げながらパイプ溝に装着
されているので、パイプ12Aと一体となってパイプの
軸線方向に無回転状態で動くことができる。
【0040】また、インナーフェルール16Aの右側に
も、アウターフェルール15Aが組み合わされてセット
されている。そして、アウターフェルール15Aの右端
面には、スラスト軸受が組み込まれており、締付部材1
3を回転してもパイプ12Aが回転しない構造となって
いる。また、アウターフェルール15Aの右端面は、締
付部材13の左端面に当接している。
【0041】また、2本のパイプ12A、12Bがイン
ナーフェルール16A、16Bを装着することによっ
て、それぞれの先端に設けられたパッキン17A、17
Bは、2本のパイプ12A、12Bが圧接されることに
よって、押圧されて、2本のパイプ12A、12Bの接
続面からのガス漏れを防止するシールの役割を果たす。
また、図1、図2に示すように、パイプ12Aとパイプ
12Bとの接続する位置、すなわち両者の間隙の位置
に、パージポート3が形成されている。そして、パージ
ポート3は、継手本体14の内部空間まで達している。
【0042】次に、図、図2に示す溶接レス継手1を使
用して、パイプ12Aとパイプ12Bとを接続する手順
について説明する。図1は、パイプ12Aとパイプ12
Bとが分離された状態である。この図1の状態から、パ
イプ12Aとパイプ12Bとを接続するには、パイプ1
2Aとパイプ12Bを当接させ、継手本体14の内部に
対して締付部材13をねじ込んでゆくことより行う。
【0043】このとき、締付部材13が継手本体14の
内部にねじ込まれることにより、アウターフェルール1
5Aが左方向に押圧される。そして、アウターフェルー
ル15Aがくさび材18Aによりインナーフェルール1
6Aを左方向に押圧し、インナーフェルール16Aがパ
イプ溝を介してパイプ12Aを左方向に押圧する。従っ
て、パイプ12Aは、パッキン17A、17Bを介して
パイプ12Bと当接され、さらに押圧される。尚、上述
したように、スラスト軸受が設けられていることから、
締付部材13がアウターフェルール15Aを押圧してい
る場合でも、パイプ12Aは回転しないで移動する。
【0044】一方、パイプ12Bは、パイプ溝を介して
インナーフェルール16Bを右方向に押圧する。インナ
ーフェルール16Bの押圧力は、アウターフェルール1
5Bを介して継手本体14により受けられる。尚、上述
したように、スラスト軸受が設けられていることから、
アウターフェルール15Bが継手本体14を押圧してい
る場合でも、パイプ12Bは回転しないで移動する。
【0045】従って、締付部材13を継手本体14にね
じ込むことにより、パイプ12Bとパイプ12Aとで、
両側からパッキン17A、17Bを押しつぶしてシール
することができる。このとき、パイプ12Aとパイプ1
2Bとが当接する位置、すなわちパッキン17A、17
Bの位置は、常に所定の位置となり、その位置に対応し
て、パージポート3が形成されている。
【0046】よって、継手本体14に対する締付部材1
3のねじ込みを緩めることより、パイプ12Aとパイプ
12Bの間隙を、パージポート3に対応して位置に形成
することができる。ここで、パージポート3を介して、
真空排気とパージを繰り返すことにより、パイプ12A
とパイプ12Bの内部を不活性ガスに置き換えることが
できる。
【0047】さらに、継手本体14に対する締付部材1
3をねじ込むことより、パイプ12Aとパイプ12Bを
接続させれば、パイプ12Aとパイプ12Bの内部には
大気が混入することがないので、パイプ12Aやパイプ
12Bに接続された各種の接続機器を、その内部が大気
に触れることなく交換することができる。
【0048】その一例として、半導体製造ラインの作用
ガス配管系において、その接続機器であるピュリアファ
イヤーF1の交換について、図8に基づいて説明する。
ピュリアファイヤーF1を、その内部が大気に触れるこ
となく交換するためには、図8に示すように、ピュリア
ファイヤーF1の両端にそれぞれ一対のバルブを設け
る。そして、ピュリアファイヤーF1の一端に設けられ
た一対のバルブV1、V2の間において、本実施の形態
の溶接レス継手1を設ける。同様にして、ピュリアファ
イヤーF1の他端に設けられた一対のバルブV3、V4
の間においても、本実施の形態の溶接レス継手1を設け
る。さらに、各溶接レス継手1のパージポート3に接続
されたチューブP1、P2は、パージコントローラNに
接続される。
【0049】そして、先ず、それぞれの溶接レス継手1
において、継手本体14に対する締付部材13のねじ込
みを緩めることより、パイプ12Aとパイプ12Bの間
隙設ける(図1の状態)。このとき、ピュリアファイヤ
ーF1が設けられた作用ガス配管系の内部は、パージポ
ート3に接続されたチューブP1、P2を介して、パー
ジコントローラNに接続される。そこで、かかるパージ
コントローラNによって、真空排気と不活性ガスのパー
ジを繰り返す行うことにより、ピュリアファイヤーF1
が設けられた作用ガス配管系の内部を不活性ガスで十分
に置換する。
【0050】その後、それぞれの溶接レス継手1におい
て、継手本体14に対する締付部材13のねじ込むこと
より、パイプ12Aとパイプ12Bを圧接して接続させ
る(図2の状態)。また、バルブV1、V2、V3、V
4を全て閉じ、ピュリアファイヤーF1を新たなものと
交換する。このとき、バルブV1、V2、V3、V4は
全て閉じられているものの、ピュリアファイヤーF1が
設けられた作用ガス配管系の内部に大気が混入すること
は避けられない。
【0051】そこで、再び、それぞれの溶接レス継手1
において、継手本体14に対する締付部材13のねじ込
みを緩めることより、パイプ12Aとパイプ12Bの間
隙設ける(図1の状態)。そして、パージコントローラ
Nによって、真空排気と不活性ガスのパージを再び繰り
返す行うことにより、ピュリアファイヤーF1が設けら
れた作用ガス配管系の内部を不活性ガスで十分に置換す
る。
【0052】最後に、それぞれの溶接レス継手1におい
て、継手本体14に対する締付部材13のねじ込むこと
より、パイプ12Aとパイプ12Bを圧接して接続させ
る(図2の状態)。これにより、半導体製造ラインの作
用ガス配管系において、その接続機器であるピュリアフ
ァイヤーF1を、その内部が大気に触れることなく交換
することができる。
【0053】以上詳細に説明したように、本実施の形態
の溶接レス継手1では、継手本体14の内部において、
2本のパイプ12A、12Bが回転することなくその軸
方向上で移動することができる。そして、継手本体14
の内部に螺合する締付部材13を締め付けると、2本の
パイプ12A、12Bは互いの方向に向かって移動し圧
接するので、2本のパイプ12A、12Bを溶接するこ
となく接続することができる(図1、図2参照参照)。
【0054】このとき、図1、図2に示すように、継手
本体14の内部に有したパッキン17A、17Bは、2
本のパイプ12A、12Bの接続面からの漏れを防いで
いるが、さらに、継手本体14の内部から外部への漏れ
も防いでいる。そして、継手本体14の内部から外部へ
の漏れは、継手本体14とその内部に螺合する締付部材
13の間で起こることから、本実施の形態の溶接レス継
手1においては、継締付部材13の周囲にパッキン(シ
ール部材)を設けていない。
【0055】すなわち、本実施の形態の溶接レス継手1
においては、締付部材13の周囲にパッキン(シール部
材)を設けていないので、継手本体14とその内部に螺
合する締付部材13の間にパッキン(シール部材)が介
在することがなく、締付部材13の締め付けに要するト
ルクを小さくすることができる。
【0056】また、締付部材13の周囲にパッキン(シ
ール部材)を設ける必要がないことから、締付部材13
の周囲において、パッキン(シール部材)の設置スペー
スを省略することができるので、溶接レス継手1を小型
化することができる。
【0057】また、2本のパイプ12A、12Bの接続
面からの漏れを防ぐとともに、継手本体14の内部から
外部への漏れも防ぐパッキン17A、17Bが、図4に
示すように、継手本体1の内部の部品であるインナーフ
ェルール16A、16Bと一体化されているので、溶接
レス継手1の組立や分解が容易になるとともに、かかる
パッキンが17A、17B紛失するおそれもない。
【0058】また、2本のパイプ12A、12Bの接続
面からの漏れを防ぐとともに、継手本体14の内部から
外部への漏れも防ぐパッキン17A、17Bが、2本の
パイプ12A、12Bの離間とともに分離するように、
継手本体14の内部の部品と一体化されているので、2
本のパイプ12A、12Bを圧接する際において、かか
るパッキン17A、17Bは2本のパイプ12A、12
Bの接続面を確実にシールすることができる。
【0059】また、継手本体14にパージポート3を設
けることにより、図8に示す一例のように、本実施の形
態の溶接レス継手1をパージ継手として使用することが
できる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用し
ているので、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交
換などの作業性に優れたものとなる。
【0060】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。
【0061】例えば、図7に示すように、作用ガス配管
系の接続機器F2の接続ポートをパイプ12A、12B
の一方として使用しても、不活性ガスへの置換、各種の
接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【0062】
【発明の効果】本実施の形態の溶接レス継手において
は、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないの
で、継手本体とその内部に螺合する締付部材の間にシー
ル部材が介在することがなく、締付部材の締め付けに要
するトルクを小さくすることができる。
【0063】また、締付部材の周囲にシール部材を設け
る必要がないことから、締付部材の周囲において、シー
ル部材の設置スペースを省略することができるので、溶
接レス継手を小型化することができる。
【0064】また、2本のパイプの接続面からの漏れを
防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐ
パッキンが、継手本体の内部の部品と一体化されている
と、溶接レス継手の組立や分解が容易になるとともに、
かかるパッキンが紛失するおそれもない。
【0065】また、2本のパイプの接続面からの漏れを
防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐ
パッキンが、2本のパイプの離間とともに分離するよう
に、継手本体の内部の部品と一体化されていると、2本
のパイプを圧接する際において、かかるパッキンは2本
のパイプの接続面を確実にシールすることができる。ま
た、継手本体にパージポートを設けることにより、本発
明の溶接レス継手をパージ継手として使用することがで
きる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用した
り、作用ガス配管系の接続機器の接続ポートをパイプの
一方として使用すれば、不活性ガスへの置換、各種の接
続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る溶接レス継手の断面図である。
【図2】本発明に係る溶接レス継手の断面図である。
【図3】パイプにアウターフェルールとインナーフェル
ールを組み付ける際の分解斜視図である。
【図4】インナーフェルールの分解斜視図である。
【図5】パイプにインナーフェルールを組み付ける際の
分解断面図である。
【図6】パイプにインナーフェルールを組み付ける際の
分解断面図である。
【図7】本発明に係る溶接レス継手のその他の実施形態
を示した図である。
【図8】半導体製造ラインの作用ガス配管系の一部の斜
視図であって、その接続機器であるピュリアファイヤー
の交換について説明する際に使用するものである。
【図9】従来技術に係る溶接レス継手の断面図である。
【図10】従来技術に係る溶接レス継手の断面図であ
る。
【符号の説明】
1 溶接レス継手 3 パージポート 12A、12B パイプ 14 継手本体 16A、16B インナーフェルール 17A、17B パッキン F2 接続機器

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 継手本体の内部を無転状態で移動する2
    本のパイプを、前記継手本体の内部に螺合する締付部材
    によって接続させるとともに、前記パイプの接続面から
    の漏れを防ぐために前記継手本体の内部にパッキンを有
    する溶接レス継手において、 前記継手本体の内部から外部への漏れも前記パッキンで
    防ぐことを特徴とする溶接レス継手。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載する溶接レス継手におい
    て、 前記パッキンは前記継手本体の内部の部品と一体化され
    ていることを特徴とする溶接レス継手。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載する溶接レス継手におい
    て、 前記パイプの離間とともに前記パッキンは分割すること
    を特徴とする溶接レス継手。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれか一つに
    記載する溶接レス継手において、 前記継手本体にパージポートが設けられたことを特徴と
    する溶接レス継手。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至請求項4のいずれか一つに
    記載する溶接レス継手において、 前記パイプは作用ガス配管系に使用されるものであるこ
    とを特徴とする溶接レス継手。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載する溶接レス継手におい
    て、 前記パイプの一方が前記作用ガス配管系の接続機器の接
    続ポートであることを特徴とする溶接レス継手。
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