JPH11231253A - スキャナ駆動部のための方向制御システム - Google Patents
スキャナ駆動部のための方向制御システムInfo
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- JPH11231253A JPH11231253A JP10029340A JP2934098A JPH11231253A JP H11231253 A JPH11231253 A JP H11231253A JP 10029340 A JP10029340 A JP 10029340A JP 2934098 A JP2934098 A JP 2934098A JP H11231253 A JPH11231253 A JP H11231253A
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- direction control
- control system
- directional control
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 三角波に基づいて方向制御信号の有利な発生
を維持して、実際の偏向位置の正確性および偏向の線形
性が向上される、スキャナ駆動のためのレーザ走査顕微
鏡の方向制御システム。 【解決手段】 励磁電流用の修正値を見つけるための論
理ユニット１３を通じて測定値受信器を関数発生器５に
結合することによって、旋回ミラーの実際の偏向位置に
関する測定値受信器に利用可能となる情報を評価して、
論理ユニット１３を援用して修正値を見つけることが可
能とし、またこれを、偏差が減少されるかまたは完全に
除去されるように、関数発生器５から出される方向制御
周波数に影響を及ぼすために使用する。
を維持して、実際の偏向位置の正確性および偏向の線形
性が向上される、スキャナ駆動のためのレーザ走査顕微
鏡の方向制御システム。 【解決手段】 励磁電流用の修正値を見つけるための論
理ユニット１３を通じて測定値受信器を関数発生器５に
結合することによって、旋回ミラーの実際の偏向位置に
関する測定値受信器に利用可能となる情報を評価して、
論理ユニット１３を援用して修正値を見つけることが可
能とし、またこれを、偏差が減少されるかまたは完全に
除去されるように、関数発生器５から出される方向制御
周波数に影響を及ぼすために使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光線束の線形振動
偏向のために役立つ旋回ミラーを駆動するためのスイン
グ・モータと、方向制御周波数、周波数曲線、および振
幅に関して変更可能な励磁電流でスイング・モータを給
電するための方向制御ユニットと、方向制御ユニットに
結合された関数発生器と、旋回ミラーの偏向位置につい
ての情報の結果を得るための測定値受信器とを有する、
スキャナ駆動部のため、特にレーザ走査顕微鏡のための
方向制御システムに関する。
偏向のために役立つ旋回ミラーを駆動するためのスイン
グ・モータと、方向制御周波数、周波数曲線、および振
幅に関して変更可能な励磁電流でスイング・モータを給
電するための方向制御ユニットと、方向制御ユニットに
結合された関数発生器と、旋回ミラーの偏向位置につい
ての情報の結果を得るための測定値受信器とを有する、
スキャナ駆動部のため、特にレーザ走査顕微鏡のための
方向制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】この技術分野では、走査装置を有する光
学装置（以下レーザ走査顕微鏡という）が周知である。
光線源としては、特性上、光を光線経路に沿って一つの
小さな光点に一般にピクセルとして示して画面に焦点合
せする、レーザが使用される。この方式で、レーザ光の
ほとんど全部がこの単一の目標点に導かれる。
学装置（以下レーザ走査顕微鏡という）が周知である。
光線源としては、特性上、光を光線経路に沿って一つの
小さな光点に一般にピクセルとして示して画面に焦点合
せする、レーザが使用される。この方式で、レーザ光の
ほとんど全部がこの単一の目標点に導かれる。
【０００３】その上、このような装置の走査装置は、レ
ーザからくる光ならびに対象物面から反射される光を線
形に偏向し、しかも光点を画面の中および対象物面の中
で動かすために使用される。スキャナと同期して方向制
御されるラスタ走査装置は、結果として得られる検知器
出力信号を画像情報として出力する。
ーザからくる光ならびに対象物面から反射される光を線
形に偏向し、しかも光点を画面の中および対象物面の中
で動かすために使用される。スキャナと同期して方向制
御されるラスタ走査装置は、結果として得られる検知器
出力信号を画像情報として出力する。
【０００４】Ｘ軸として示されるべき軸の方向に目標点
が動かされるように、光線経路の振動偏向用に電気機械
的に駆動されるミラーを予め備えて、光線経路を偏向す
ることは周知である。この際、ミラーはレーザ束を同じ
方式で駆動される第２ミラーに向け、第２ミラーは目標
点の垂直軸方向すなわちＹ軸方向への動きを生じさせ
る。
が動かされるように、光線経路の振動偏向用に電気機械
的に駆動されるミラーを予め備えて、光線経路を偏向す
ることは周知である。この際、ミラーはレーザ束を同じ
方式で駆動される第２ミラーに向け、第２ミラーは目標
点の垂直軸方向すなわちＹ軸方向への動きを生じさせ
る。
【０００５】次に、Ｘ軸における偏向をさらに詳しく考
察する。適用される偏向ミラーは小型であり、したがっ
て質量も小さいとはいえ、短い画像形成時間で良好な画
像線形性を目的として急速で正確な動きをミラーに生じ
させるには、この種の走査装置では常に困難性がある。
この原因は、ミラーの動きと光線経路が方向制御ユニッ
トから出される駆動信号に基づいて様々な妨害影響に、
程度の差こそあれ、忠実に追従してしまうことである。
これは高性能の走査装置には十分ではなく、この場合、
高い走査頻度の要求を満たすこと、ならびに目標点が偏
向段階全体にわたって一定の速度を維持せねばならない
という必要が常にある。
察する。適用される偏向ミラーは小型であり、したがっ
て質量も小さいとはいえ、短い画像形成時間で良好な画
像線形性を目的として急速で正確な動きをミラーに生じ
させるには、この種の走査装置では常に困難性がある。
この原因は、ミラーの動きと光線経路が方向制御ユニッ
トから出される駆動信号に基づいて様々な妨害影響に、
程度の差こそあれ、忠実に追従してしまうことである。
これは高性能の走査装置には十分ではなく、この場合、
高い走査頻度の要求を満たすこと、ならびに目標点が偏
向段階全体にわたって一定の速度を維持せねばならない
という必要が常にある。
【０００６】できるだけ線形の駆動特性を偏向ミラーの
ために保持するために、方向制御ユニットにおいて三角
波を有する方向制御信号が作られる。このような方向制
御信号の位相と振幅は、偏向が時間に応じて目標点の線
形動作に近似するという、そのための基本的前提を形成
する。
ために保持するために、方向制御ユニットにおいて三角
波を有する方向制御信号が作られる。このような方向制
御信号の位相と振幅は、偏向が時間に応じて目標点の線
形動作に近似するという、そのための基本的前提を形成
する。
【０００７】三角波の結果的な近似を目的として、周知
の技術状況では調波分析、すなわちフーリェ係数による
計算が用いられる。付属の方向制御ユニットを有するこ
のような走査装置は、例えばＤＥ−ＯＳ４３２２６９４
に記載されている。この場合、方向制御信号はフーリェ
成分のうちの二つを基礎にして作られ、三角波への比較
的良好な近似という成果を伴う。しかし欠点として、こ
こに示す種類の方向制御は、スキャナの両周波数が振幅
と位相とによって区別して取り扱われるので、満足させ
るような結果には到達しない。これは、基礎周波数のさ
らなる調波がさらなる修正に使用される場合でもそうで
ある。言い換えれば、所望の線形化を実現するというこ
こに提案された解決法は適しない。
の技術状況では調波分析、すなわちフーリェ係数による
計算が用いられる。付属の方向制御ユニットを有するこ
のような走査装置は、例えばＤＥ−ＯＳ４３２２６９４
に記載されている。この場合、方向制御信号はフーリェ
成分のうちの二つを基礎にして作られ、三角波への比較
的良好な近似という成果を伴う。しかし欠点として、こ
こに示す種類の方向制御は、スキャナの両周波数が振幅
と位相とによって区別して取り扱われるので、満足させ
るような結果には到達しない。これは、基礎周波数のさ
らなる調波がさらなる修正に使用される場合でもそうで
ある。言い換えれば、所望の線形化を実現するというこ
こに提案された解決法は適しない。
【０００８】前述の開示では、Ｘ軸におけるレーザ光線
の偏向のために、二つの共振スキャナと一つのガルバノ
メータ・スキャナが計画され、ガルバノメータ・スキャ
ナは直流スイング動作を共振スキャナが供給する共振動
作に重ねるために使用される。周知のように、共振スキ
ャナのスイング動作はさらに、特にミラーの質量の動き
とこの質量が固定されている弾性部材（例えばばね）の
偏向との間のエネルギー交換に起因する。
の偏向のために、二つの共振スキャナと一つのガルバノ
メータ・スキャナが計画され、ガルバノメータ・スキャ
ナは直流スイング動作を共振スキャナが供給する共振動
作に重ねるために使用される。周知のように、共振スキ
ャナのスイング動作はさらに、特にミラーの質量の動き
とこの質量が固定されている弾性部材（例えばばね）の
偏向との間のエネルギー交換に起因する。
【０００９】走査装置の内部で複数の分離したスキャナ
がそのつど単一の共振周波数で駆動されるところのこれ
まで述べた構造とは別に、単一のスキャナを複数の共振
周波数で駆動することが知られている。この例としてＵ
Ｓ−ＰＡＴ４８５９８４６に一つのスキャナの作動方式
が記載されており、このスキャナは一つのミラーで作動
し、このスキャナのために適当な方向制御システムによ
って複数の共振周波数を作り出す。この方向制御システ
ムにおいても共振スキャナ・システムが重要である。こ
の解決法も、方向制御信号によって与えられた位置の実
際の偏向位置が、例えば外部温度の影響や材料条件上の
影響量などさまざまな妨害影響によって狂ってくるとい
う欠点を排除するためには適しない。
がそのつど単一の共振周波数で駆動されるところのこれ
まで述べた構造とは別に、単一のスキャナを複数の共振
周波数で駆動することが知られている。この例としてＵ
Ｓ−ＰＡＴ４８５９８４６に一つのスキャナの作動方式
が記載されており、このスキャナは一つのミラーで作動
し、このスキャナのために適当な方向制御システムによ
って複数の共振周波数を作り出す。この方向制御システ
ムにおいても共振スキャナ・システムが重要である。こ
の解決法も、方向制御信号によって与えられた位置の実
際の偏向位置が、例えば外部温度の影響や材料条件上の
影響量などさまざまな妨害影響によって狂ってくるとい
う欠点を排除するためには適しない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明は、
三角波に基づいて方向制御信号の有利な発生を維持し
て、実際の偏向位置の正確性および偏向の線形性が向上
されるように、前記の種類のスキャナ駆動のための方向
制御システムをさらに形成する、という課題に基づくも
のである。
三角波に基づいて方向制御信号の有利な発生を維持し
て、実際の偏向位置の正確性および偏向の線形性が向上
されるように、前記の種類のスキャナ駆動のための方向
制御システムをさらに形成する、という課題に基づくも
のである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、この課
題は、励磁電流用の修正値を見つけるための論理ユニッ
トを通じて測定値受信器を関数発生器に結合することに
よって解決される。
題は、励磁電流用の修正値を見つけるための論理ユニッ
トを通じて測定値受信器を関数発生器に結合することに
よって解決される。
【００１２】これによって旋回ミラーの実際の偏向位置
に関する測定値受信器に利用可能となる情報を評価し
て、論理ユニットを援用して修正値を見つけることが可
能となる。またこれを、偏差が減少されるかまたは完全
に除去されるようにするために、関数発生器から出され
る方向制御周波数に影響を及ぼすために使用することが
できる。その限りでは、本発明による解決法を通じて走
査動作の制御が遂行され、この制御は、方向制御周波数
によって与えられる位置からのミラーの実際の偏向位置
の偏差を把握し、旋回ミラーのさらなる方向制御に対し
て影響を与え、この場合に励磁電流が相応に変化され
る。
に関する測定値受信器に利用可能となる情報を評価し
て、論理ユニットを援用して修正値を見つけることが可
能となる。またこれを、偏差が減少されるかまたは完全
に除去されるようにするために、関数発生器から出され
る方向制御周波数に影響を及ぼすために使用することが
できる。その限りでは、本発明による解決法を通じて走
査動作の制御が遂行され、この制御は、方向制御周波数
によって与えられる位置からのミラーの実際の偏向位置
の偏差を把握し、旋回ミラーのさらなる方向制御に対し
て影響を与え、この場合に励磁電流が相応に変化され
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の有利な一実施形態では、
関数発生器の少なくとも一つの信号出力部を、参照信号
と比較信号との伝達を目的として、論理ユニットの付け
足された信号出力部に結合することが提案される。これ
によって、論理ユニットにおいて方向制御周波数も使用
可能となり、方向制御周波数は、ミラーの実際の偏向ま
たは方向制御周波数に対するミラーの応答周波数との比
較を基礎としている。
関数発生器の少なくとも一つの信号出力部を、参照信号
と比較信号との伝達を目的として、論理ユニットの付け
足された信号出力部に結合することが提案される。これ
によって、論理ユニットにおいて方向制御周波数も使用
可能となり、方向制御周波数は、ミラーの実際の偏向ま
たは方向制御周波数に対するミラーの応答周波数との比
較を基礎としている。
【００１４】論理ユニットでは、旋回ミラーの偏向位置
に関する情報を走査駆動部の振幅と位相とに転換するた
めの第１の計算回路を、複数の方向制御周波数に関連し
て組込んでである。結果をボード線図の形で表示するこ
とができる。
に関する情報を走査駆動部の振幅と位相とに転換するた
めの第１の計算回路を、複数の方向制御周波数に関連し
て組込んでである。結果をボード線図の形で表示するこ
とができる。
【００１５】さらに、論理ユニットでは、級数 ｙ＝４
／π＋［ｋ1ｓｉｎ(ｘ＋ψ1)−ｋ2ｓｉｎ(３ｘ＋ψ2）
／３2＋ｋ3ｓｉｎ(５ｘ＋ψ3)／５2−＋・・・］におけ
るフーリェ周波数のためのｋ1・・・ｋnおよびψ1・・
・ψnの値を見つけるために、第２計算回路を組込んで
ある。ただし、ｋ1からｋnまでは修正係数であり、ｘは
偏向角、そしてψ1からψnまでは位相角である。この計
算回路によって、偏向ミラーの応答動作を調波によって
分析し、フーリェ係数ｋ1からｋnまでを決定するするこ
とが可能になる。この場合、応答周波数は純正スイング
（調波スイング）の総和と一定部分とに分解される。
／π＋［ｋ1ｓｉｎ(ｘ＋ψ1)−ｋ2ｓｉｎ(３ｘ＋ψ2）
／３2＋ｋ3ｓｉｎ(５ｘ＋ψ3)／５2−＋・・・］におけ
るフーリェ周波数のためのｋ1・・・ｋnおよびψ1・・
・ψnの値を見つけるために、第２計算回路を組込んで
ある。ただし、ｋ1からｋnまでは修正係数であり、ｘは
偏向角、そしてψ1からψnまでは位相角である。この計
算回路によって、偏向ミラーの応答動作を調波によって
分析し、フーリェ係数ｋ1からｋnまでを決定するするこ
とが可能になる。この場合、応答周波数は純正スイング
（調波スイング）の総和と一定部分とに分解される。
【００１６】さらに、論理ユニットでは、実際に達成さ
れた偏向位置と所望の偏向位置との比較から修正された
方向制御関数を標準化するために、第３計算回路を組込
んである。この場合、この比較から導き出される修正値
に基づいて修正された方向制御関数の標準化が行われ
る。さらに、小さな位相誤差の場合には係数ｋ１から例
えばｋ５までが、大きな位相誤差の場合には偏差Δψ1
から例えばΔψ5までが、方向制御関数に切り替えられ
る。
れた偏向位置と所望の偏向位置との比較から修正された
方向制御関数を標準化するために、第３計算回路を組込
んである。この場合、この比較から導き出される修正値
に基づいて修正された方向制御関数の標準化が行われ
る。さらに、小さな位相誤差の場合には係数ｋ１から例
えばｋ５までが、大きな位相誤差の場合には偏差Δψ1
から例えばΔψ5までが、方向制御関数に切り替えられ
る。
【００１７】修正値を考慮して論理ユニットにおいて算
出され修正された方向制御命令は、適当なデータ・セッ
トに構成され、さらに関数発生器に導かれ、ここで先ず
記憶される。この第１共振周波数から例えば第５共振周
波数までのための修正値の考慮によって、方向制御周波
数の高度に正確な修正が保証される。
出され修正された方向制御命令は、適当なデータ・セッ
トに構成され、さらに関数発生器に導かれ、ここで先ず
記憶される。この第１共振周波数から例えば第５共振周
波数までのための修正値の考慮によって、方向制御周波
数の高度に正確な修正が保証される。
【００１８】本発明の別の好ましい一実施形態では、測
定値受信器と論理ユニットとの間の信号路においてアナ
ログ・ディジタル変換器を、また関数発生器と方向制御
ユニットとの間の信号路においてスイング駆動部の給電
のためにディジタル・アナログ変換器を準備することが
計画される。アナログ・ディジタル変換器として、ディ
ジタル信号プロセッサを挙げることができる。これによ
って、測定値受信器によって与えられるアナログ信号の
論理ユニットが必要とするディジタル信号への変換、お
よびそれに応じて、関数発生器によって与えられるディ
ジタル周波数信号の方向制御ユニットを準備するための
アナログ信号への変換が保証される。
定値受信器と論理ユニットとの間の信号路においてアナ
ログ・ディジタル変換器を、また関数発生器と方向制御
ユニットとの間の信号路においてスイング駆動部の給電
のためにディジタル・アナログ変換器を準備することが
計画される。アナログ・ディジタル変換器として、ディ
ジタル信号プロセッサを挙げることができる。これによ
って、測定値受信器によって与えられるアナログ信号の
論理ユニットが必要とするディジタル信号への変換、お
よびそれに応じて、関数発生器によって与えられるディ
ジタル周波数信号の方向制御ユニットを準備するための
アナログ信号への変換が保証される。
【００１９】さらに有利に、論理ユニット、関数発生
器、アナログ・ディジタル変換器ならびにディジタル・
アナログ変換器が、そのつどサイクル発生器に結合され
る。これによって、測定値受信器によって供給される応
答周波数の情報を論理ユニットに、また修正された方向
制御命令を関数発生器に渡し、そして次の走査過程のた
めの方向制御命令を同期して渡すことが可能となる。
器、アナログ・ディジタル変換器ならびにディジタル・
アナログ変換器が、そのつどサイクル発生器に結合され
る。これによって、測定値受信器によって供給される応
答周波数の情報を論理ユニットに、また修正された方向
制御命令を関数発生器に渡し、そして次の走査過程のた
めの方向制御命令を同期して渡すことが可能となる。
【００２０】スイング・モータとしては、ガルバニー駆
動部を組込んである。これによって、旋回ミラーの励磁
電流によって得られる決定的なスイング動作が実現可能
になる。測定値受信器としては、容量性測角システムを
組込んである。この測角システムは、両走査方向におい
て、すなわちガルバニー駆動部の前進および後退のため
に、旋回ミラーの位置値を把握するのに使用されるよう
に、組込まれている。この結果として、二方向位置値が
ディジタル信号プロセッサを通じて論理ユニットの入力
部に向かい、したがって走査過程と比較して約半分の画
像形成時間でしかもただ一つの方向で実現可能であり、
すなわちスキャナ動作の前進行程と後退行程とが実現可
能になり、場合によってはまだ存在する小さな偏差を前
進と後退とで同一にすることができる。
動部を組込んである。これによって、旋回ミラーの励磁
電流によって得られる決定的なスイング動作が実現可能
になる。測定値受信器としては、容量性測角システムを
組込んである。この測角システムは、両走査方向におい
て、すなわちガルバニー駆動部の前進および後退のため
に、旋回ミラーの位置値を把握するのに使用されるよう
に、組込まれている。この結果として、二方向位置値が
ディジタル信号プロセッサを通じて論理ユニットの入力
部に向かい、したがって走査過程と比較して約半分の画
像形成時間でしかもただ一つの方向で実現可能であり、
すなわちスキャナ動作の前進行程と後退行程とが実現可
能になり、場合によってはまだ存在する小さな偏差を前
進と後退とで同一にすることができる。
【００２１】次に、本発明を一つの実施例と添付の図面
によってさらに詳しく説明する。
によってさらに詳しく説明する。
【００２２】
【実施例】図１に示す実施例によれば、スキャナ１の中
に、ガルバニー駆動部２、機械式接続部９を通じてガル
バニー駆動部２と結合された旋回ミラー３、ガルバニー
駆動部２の制御入力部と連結している出力部を有する方
向制御ユニット４、ならびに位相によって変わるミラー
位置を探すために使用される容量性測角システム７が準
備されている。さらに、信号路１６を通じてディジタル
信号プロセッサ６の信号入力部に接続された関数発生器
５があり、ここで信号プロセッサ６の出力部は信号路１
７を通じて方向制御ユニット４の命令入力部に向かって
いる。容量性測角システム７の第１出力部は、調整路８
を通じて方向制御ユニット４の制御入力部に接続されて
いる。
に、ガルバニー駆動部２、機械式接続部９を通じてガル
バニー駆動部２と結合された旋回ミラー３、ガルバニー
駆動部２の制御入力部と連結している出力部を有する方
向制御ユニット４、ならびに位相によって変わるミラー
位置を探すために使用される容量性測角システム７が準
備されている。さらに、信号路１６を通じてディジタル
信号プロセッサ６の信号入力部に接続された関数発生器
５があり、ここで信号プロセッサ６の出力部は信号路１
７を通じて方向制御ユニット４の命令入力部に向かって
いる。容量性測角システム７の第１出力部は、調整路８
を通じて方向制御ユニット４の制御入力部に接続されて
いる。
【００２３】方向制御ユニット４は、これがガルバニー
駆動部２を励磁電流によって給電し、この励磁電流はそ
の周波数、スイング形態、および振幅に関して可変であ
るように設計されている。関数発生器５は、複数の異な
る周波数を出すことができ、これらの周波数は個々に選
択され、信号路１６、ディジタル信号プロセッサ６、お
よび信号路１７を通じて、方向制御ユニット４の中でガ
ルバニー駆動部２用の制御電圧に刻印可能であるように
設計されている。この場合、ガルバニー駆動部２が処理
することのできる周波数のみを含む合成三角電圧（図２
と図３を参照）は、制御電圧が根底となっている。具体
例として、関数発生器５において最高５ｋＨｚまでの４
２の異なる周波数が呼出し準備完了である例を挙げる。
駆動部２を励磁電流によって給電し、この励磁電流はそ
の周波数、スイング形態、および振幅に関して可変であ
るように設計されている。関数発生器５は、複数の異な
る周波数を出すことができ、これらの周波数は個々に選
択され、信号路１６、ディジタル信号プロセッサ６、お
よび信号路１７を通じて、方向制御ユニット４の中でガ
ルバニー駆動部２用の制御電圧に刻印可能であるように
設計されている。この場合、ガルバニー駆動部２が処理
することのできる周波数のみを含む合成三角電圧（図２
と図３を参照）は、制御電圧が根底となっている。具体
例として、関数発生器５において最高５ｋＨｚまでの４
２の異なる周波数が呼出し準備完了である例を挙げる。
【００２４】この配置を操作する場合、そのつど基礎周
波数およびすべての高調波が、付属の増幅と移相とによ
って変えられる応答を呼び出し、この応答は相応に変え
られる旋回ミラー３の偏向位置を表し、そのつどの偏向
位置は、Ｘ方向で走査された行を通る行程におけるレー
ザ光線の一つの位置に相当するので、ガルバニー駆動部
２は、励磁電流の中または制御電圧の中に含まれる周波
数の各々を機械式接続部９を通じて旋回ミラー３に伝達
する。模範的には、各行程においてＸ方向を通じて１２
００の偏向位置が走査され、これらの偏向位置のそれぞ
れに対象物面における一つの画像点が割り当てられる。
波数およびすべての高調波が、付属の増幅と移相とによ
って変えられる応答を呼び出し、この応答は相応に変え
られる旋回ミラー３の偏向位置を表し、そのつどの偏向
位置は、Ｘ方向で走査された行を通る行程におけるレー
ザ光線の一つの位置に相当するので、ガルバニー駆動部
２は、励磁電流の中または制御電圧の中に含まれる周波
数の各々を機械式接続部９を通じて旋回ミラー３に伝達
する。模範的には、各行程においてＸ方向を通じて１２
００の偏向位置が走査され、これらの偏向位置のそれぞ
れに対象物面における一つの画像点が割り当てられる。
【００２５】そのつど旋回ミラー３によって取り入れら
れる偏向位置は、容量性測角システム７によって示され
る位置値に相当し、この値は、調整路８を通じて再び方
向制御ユニット４に送られ、ここで、設定されまたは理
想的に所望された偏向位置からのミラー位置の目標と実
際との間に偏差がある場合にはすぐに、ガルバニー駆動
部２の後続の方向制御のための方向制御信号を修正する
ために使用される。これらの過程は周知な調整で行われ
る。
れる偏向位置は、容量性測角システム７によって示され
る位置値に相当し、この値は、調整路８を通じて再び方
向制御ユニット４に送られ、ここで、設定されまたは理
想的に所望された偏向位置からのミラー位置の目標と実
際との間に偏差がある場合にはすぐに、ガルバニー駆動
部２の後続の方向制御のための方向制御信号を修正する
ために使用される。これらの過程は周知な調整で行われ
る。
【００２６】次に、特に１秒未満の範囲の非常に短い画
像形成時間を実現できるようにするには、制御電圧の経
過に基づいて旋回ミラー３の高度に正確な偏向が保証さ
れるように、使用可能にされ、走査動作を開始させる合
成三角電圧を、非常に広範囲にスキャナの応答挙動に、
その振幅と位相とによって適合させることが問題とな
る。これは、応答動作に関する方向制御関数の伝達係数
をできるだけ値１に近づけ、これによって、方向制御関
数と応答動作との間の偏差を最少量、例えば≦０．５ピ
クセルに制限することを意味する。これを達成するため
に、方向制御周波数の調整に基づくこれまで示した方向
制御システムは、本発明により、一つの論理ユニット１
３によって補完されており、この論理ユニットの命令入
力分は、信号路１２、第２ディジタル信号プロセッサ１
１、および信号路１０を通じて、容量性測角システム７
の第２出力部に接続されている。論理ユニット１３の出
力部は、信号路１４を通じて関数発生器５の方向制御入
力部に接続されている。参照信号と比較信号とを関数発
生器５から論理ユニット１３に伝達するために、関数発
生器５と論理ユニット１３との間には信号路１５を通る
別の結合部がある。さらに、サイクル発生器１８が組込
まれており、これは信号路１９を通じて第２ディジタル
信号プロセッサ１１に、信号路２０を通じて論理ユニッ
ト１３に、信号路２４を通じて関数発生器５に、そして
信号路２１を通じて第１ディジタル信号プロセッサ６に
それぞれ接続されている。
像形成時間を実現できるようにするには、制御電圧の経
過に基づいて旋回ミラー３の高度に正確な偏向が保証さ
れるように、使用可能にされ、走査動作を開始させる合
成三角電圧を、非常に広範囲にスキャナの応答挙動に、
その振幅と位相とによって適合させることが問題とな
る。これは、応答動作に関する方向制御関数の伝達係数
をできるだけ値１に近づけ、これによって、方向制御関
数と応答動作との間の偏差を最少量、例えば≦０．５ピ
クセルに制限することを意味する。これを達成するため
に、方向制御周波数の調整に基づくこれまで示した方向
制御システムは、本発明により、一つの論理ユニット１
３によって補完されており、この論理ユニットの命令入
力分は、信号路１２、第２ディジタル信号プロセッサ１
１、および信号路１０を通じて、容量性測角システム７
の第２出力部に接続されている。論理ユニット１３の出
力部は、信号路１４を通じて関数発生器５の方向制御入
力部に接続されている。参照信号と比較信号とを関数発
生器５から論理ユニット１３に伝達するために、関数発
生器５と論理ユニット１３との間には信号路１５を通る
別の結合部がある。さらに、サイクル発生器１８が組込
まれており、これは信号路１９を通じて第２ディジタル
信号プロセッサ１１に、信号路２０を通じて論理ユニッ
ト１３に、信号路２４を通じて関数発生器５に、そして
信号路２１を通じて第１ディジタル信号プロセッサ６に
それぞれ接続されている。
【００２７】例えばレーザ走査顕微鏡における固有の走
査作業を開始する前に、方向制御システム全体をシステ
ム誤差について検査し、旋回ミラー３の高度に正確な偏
向が計画周波数に依存して可能であるように、システム
誤差を考慮して補正することは、上記の接続配置によっ
て先ず可能である。この補正として示される経過を目的
として、まず次々に、関数発生器５によって提供される
４２の周波数のすべてを呼び出して、これらの周波数に
よって走査過程を開始させる。この場合、ディジタル信
号プロセッサ６、１１、関数発生器５、ならびに論理ユ
ニット１３は、サイクル発生器１８によって同期され
る。論理ユニット１３によって取り入れられた応答は評
価され、ボード線図の形に分析され、この場合、ボード
線図はフーリェ係数の各周波数ごとに、位相角と付け足
される伝達係数の探索を可能にする。探索された位相角
と伝達係数に基づいて、方向制御関数の合成が広い範囲
の走査周波数（１／６４Ｈｚ・・・〜６００Ｈｚ）につ
いて可能であり、これらの走査周波数は、ガルバニー駆
動部２のための修正された方向制御周波数のために容量
性測角システム７の方向制御周波数とともに使用され
る。この方法で合成された三角波の振動のためのデータ
・セットは、関数発生器５の中にファイルされ、そこか
ら周期的に呼び出すことができる。この方法で、走査シ
ステムの特質を考慮するデータ・セットは、関数発生器
５における補正ステップの成果として利用可能となる。
このデータ・セットによって、所望の高度に正確な周期
的偏向を維持するために走査作業をどのように方向制御
すべきかが確定される。
査作業を開始する前に、方向制御システム全体をシステ
ム誤差について検査し、旋回ミラー３の高度に正確な偏
向が計画周波数に依存して可能であるように、システム
誤差を考慮して補正することは、上記の接続配置によっ
て先ず可能である。この補正として示される経過を目的
として、まず次々に、関数発生器５によって提供される
４２の周波数のすべてを呼び出して、これらの周波数に
よって走査過程を開始させる。この場合、ディジタル信
号プロセッサ６、１１、関数発生器５、ならびに論理ユ
ニット１３は、サイクル発生器１８によって同期され
る。論理ユニット１３によって取り入れられた応答は評
価され、ボード線図の形に分析され、この場合、ボード
線図はフーリェ係数の各周波数ごとに、位相角と付け足
される伝達係数の探索を可能にする。探索された位相角
と伝達係数に基づいて、方向制御関数の合成が広い範囲
の走査周波数（１／６４Ｈｚ・・・〜６００Ｈｚ）につ
いて可能であり、これらの走査周波数は、ガルバニー駆
動部２のための修正された方向制御周波数のために容量
性測角システム７の方向制御周波数とともに使用され
る。この方法で合成された三角波の振動のためのデータ
・セットは、関数発生器５の中にファイルされ、そこか
ら周期的に呼び出すことができる。この方法で、走査シ
ステムの特質を考慮するデータ・セットは、関数発生器
５における補正ステップの成果として利用可能となる。
このデータ・セットによって、所望の高度に正確な周期
的偏向を維持するために走査作業をどのように方向制御
すべきかが確定される。
【００２８】ここで可能性のある正確な走査作業によっ
て、さらに、レーザ光線の１２００の偏向点の個々につ
いて、容量性測角システム７を通じた返答を評価するこ
とによって、前記の補正ステップと同様に、理想偏向位
置との偏差が見つけられ、これから修正された方向制御
命令が得られ、関数発生器の中にファイルされる。ここ
から、サイクル発生器によって与えられるサイクル周波
数に応じて周期的に、修正された方向制御データ・セッ
トの試験とさらなる処理が、高度に正確な走査位置を達
成するために行われる。
て、さらに、レーザ光線の１２００の偏向点の個々につ
いて、容量性測角システム７を通じた返答を評価するこ
とによって、前記の補正ステップと同様に、理想偏向位
置との偏差が見つけられ、これから修正された方向制御
命令が得られ、関数発生器の中にファイルされる。ここ
から、サイクル発生器によって与えられるサイクル周波
数に応じて周期的に、修正された方向制御データ・セッ
トの試験とさらなる処理が、高度に正確な走査位置を達
成するために行われる。
【００２９】図３に、具体的なシステムのための修正さ
れていない制御電圧を、０．７５秒の画像形成時間を有
する走査過程のための合成三角電圧の形で示す。この場
合、長さｚはＸ方向に走査した行の測定量を示す。さら
に、方向制御電圧のための三角波２２と応答動作のため
の三角波２３とを認識すべきである。明らかに、三角波
２３はそのゼロ通過点をｚ／２には持たず、すなわち旋
回ミラー３と、これによって偏向されたレーザ光線と
は、三角波２２によって与えられる方向制御電圧に正確
には従わない。
れていない制御電圧を、０．７５秒の画像形成時間を有
する走査過程のための合成三角電圧の形で示す。この場
合、長さｚはＸ方向に走査した行の測定量を示す。さら
に、方向制御電圧のための三角波２２と応答動作のため
の三角波２３とを認識すべきである。明らかに、三角波
２３はそのゼロ通過点をｚ／２には持たず、すなわち旋
回ミラー３と、これによって偏向されたレーザ光線と
は、三角波２２によって与えられる方向制御電圧に正確
には従わない。
【００３０】図２に、修正を行った後の状況を示す。応
答動作の三角波２３は、特に側面における反転点の近く
で平滑になっており、また今度はそのゼロ通過点をちょ
うどｚ／２の位置に有する。
答動作の三角波２３は、特に側面における反転点の近く
で平滑になっており、また今度はそのゼロ通過点をちょ
うどｚ／２の位置に有する。
【００３１】この本発明による接続配置によって、高い
鏡面対称性を備え、その結果高い正確性の要件を有する
二方向走査を可能にする合成三角電圧が実現可能にな
る。
鏡面対称性を備え、その結果高い正確性の要件を有する
二方向走査を可能にする合成三角電圧が実現可能にな
る。
【図１】本発明による方向制御システムの接続図であ
る。
る。
【図２】画像形成時間を１秒未満とする修正された制御
電圧変化図である。
電圧変化図である。
【図３】画像形成時間を１秒未満とする修正されていな
い制御電圧変化図である。
い制御電圧変化図である。
１ スキャナ ２ ガルバニー駆動部 ３ 旋回ミラー ４ 方向制御ユニット ５ 関数発生器 ６ ディジタル信号プロセッサ ７ 容量性測角システム ８ 調整路 ９ 機械式接続部 １０ 信号路 １１ 第２ディジタル信号プロセッサ １２ 信号路 １３ 論理ユニット １４ 信号路 １５ 信号路 １６ 信号路 １７ 信号路 １８ サイクル発生器 １９ 信号路 ２０ 信号路 ２１ 信号路 ２２ 三角波 ２３ 三角波 ２４ 信号路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 セバスチャン ティツレ Ｄ−35043 マルブルク レントマイスタ ー ストラッセ 37
Claims (13)
- 【請求項１】 光線束の線形振動偏向のために役立つ旋
回ミラーを駆動するためのスイング・モータと、方向制
御周波数、周波数曲線、および振幅に関して変更可能な
励磁電流でスイング・モータを給電するための方向制御
ユニットと、方向制御ユニットに結合された関数発生器
と、旋回ミラーの偏向位置についての情報の結果を得る
ための測定値受信器とを有する、スキャナ駆動部、特に
レーザ走査顕微鏡のための方向制御システムであって、 測定値受信器が、励磁電流のための修正値を見つけるた
めに、論理ユニット（１３）を通じて関数発生器（５）
に結合されていることを特徴とする、スキャナ駆動部の
ための方向制御システム。 - 【請求項２】 関数発生器（５）の少なくとも一つの信
号出力部が、参照信号と比較信号との伝達のために、信
号路（１５）を通じて論理ユニット（１３）に付け足さ
れた信号入力部に結合されていることを特徴とする、請
求項１に記載のスキャナ駆動部のための方向制御システ
ム。 - 【請求項３】 論理ユニット（１３）において、旋回ミ
ラー（３）の偏向位置に関する情報をスキャナ（１）の
振幅と位相とに転換するための第１計算回路が、複数の
方向制御周波数に関連して組込まれていることを特徴と
する、前記請求項１あるいは２に記載のスキャナ駆動部
のための方向制御システム。 - 【請求項４】 論理ユニット（１３）において、級数
ｙ＝4／π［ｋ1 sin(ｘ＋ψ1)−ｋ2sin(３ｘ＋ψ2)／３
2＋ｋ3sin(５ｘ＋ψ3)／５2−＋・・・・］（ただし、
ｋ1からｋnまでは修正係数であり、ｘは偏向角、そして
ψ1からψnまでは位相角である）におけるフーリェ周波
数のためのｋ1・・・ｋnおよびψ1・・・ψnの値を見つ
けるための第２計算回路が組込まれていることを特徴と
する、前記請求項１、２あるいは３に記載のスキャナ駆
動部のための方向制御システム。 - 【請求項５】 論理ユニット（１３）において、実際に
達成された偏向位置と所望の偏向位置との比較から修正
された方向制御関数をモデル化するために、第３計算回
路が組込まれ、この場合、この比較から導き出される修
正値に基づいて修正された方向制御関数のモデル化が行
われ、また小さな位相誤差の場合には係数ｋ1から例え
ばｋ5まで、および／または個別の関数値が、大きな位
相誤差の場合には偏差Δψ1から例えばΔψ5までが、方
向制御関数に切り替えられることを特徴とする、前記請
求項１〜４の一項に記載のスキャナ駆動部のための方向
制御システム。 - 【請求項６】 第１計算回路の結果表示が，ボード線図
にて行われることを特徴とする、請求項３に記載のスキ
ャナ駆動部のための方向制御システム。 - 【請求項７】 第３計算回路が、第１調和共振周波数か
ら第２０調和共振周波数までのための修正値を見つけだ
すための回路構成要素を通じて、方向制御周波数に使用
可能であることを特徴とする、請求項５に記載のスキャ
ナ駆動部のための方向制御システム。 - 【請求項８】 測定値受信器と論理ユニット（１３）と
の間の信号路にアナログ・ディジタル変換器を、また関
数発生器と方向制御ユニットとの間の信号路に、スイン
グ・モータの給電のためにディジタル・アナログ変換器
が組込まれることを特徴とする、前記請求項１〜７の一
項に記載のスキャナ駆動部のための方向制御システム。 - 【請求項９】 アナログ・ディジタル変換器がディジタ
ル信号プロセッサ（１１）であることを特徴とする、請
求項８に記載のスキャナ駆動部のための方向制御システ
ム。 - 【請求項１０】 論理ユニット（１３）、関数発生器
（５）、アナログ・ディジタル変換器、ならびにディジ
タル・アナログ変換器が、そのつどサイクル発生器（１
８）に結合されることを特徴とする、前記請求項８に記
載のスキャナ駆動部のための方向制御システム。 - 【請求項１１】 スイング・モータとしてガルバニー駆
動部（２）が使用されることを特徴とする、前記請求項
１〜１０の一項に記載のスキャナ駆動部のための方向制
御システム。 - 【請求項１２】 測定値受信器として容量性測角システ
ム（７）が使用されることを特徴とする、前記請求項１
〜１１に記載のスキャナ駆動部のための方向制御システ
ム。 - 【請求項１３】 容量性測角システム（７）が、二方向
走査方向における旋回ミラーの位置値を把握するため
に、すなわちガルバニー駆動部（２）の前進および後退
のために設計され、二方向位置値はディジタル信号プロ
セッサ（１１）を通じて論理ユニット（５）の入力部に
向かうことを特徴とする、請求項１２に記載のスキャナ
駆動部のための方向制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02934098A JP4555905B2 (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | スキャナ駆動部のための方向制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02934098A JP4555905B2 (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | スキャナ駆動部のための方向制御システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11231253A true JPH11231253A (ja) | 1999-08-27 |
| JP4555905B2 JP4555905B2 (ja) | 2010-10-06 |
Family
ID=12273514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02934098A Expired - Lifetime JP4555905B2 (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | スキャナ駆動部のための方向制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4555905B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008010311A1 (en) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Nikon Corporation | Laser scanning apparatus and laser scanning microscope |
| JP2009276771A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Ffei Ltd | 顕微鏡レンズの位置を制御する方法及びシステム |
| JP2012503220A (ja) * | 2008-09-22 | 2012-02-02 | マイクロビジョン，インク． | スキャニングミラーの制御 |
| JP2012503794A (ja) * | 2008-09-26 | 2012-02-09 | マイクロビジョン，インク． | 最小平均自乗トーン加算器を有するスキャニングミラー制御装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161123A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | ガルバノメ−タミラ−駆動装置 |
| JPS63223613A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動ミラ−装置 |
| JPH06202023A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-07-22 | General Scanning Inc | 改善された走査機構を用いた走査型顕微鏡 |
| JPH06300974A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-28 | Kowa Co | レーザー走査型光学顕微鏡 |
| JPH07335962A (ja) * | 1994-06-13 | 1995-12-22 | Nec Corp | 光ビーム走査装置 |
| JPH1010449A (ja) * | 1996-06-24 | 1998-01-16 | Olympus Optical Co Ltd | スキャナ駆動装置 |
| US6037583A (en) * | 1997-01-27 | 2000-03-14 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Control system for a scanner drive |
-
1998
- 1998-01-27 JP JP02934098A patent/JP4555905B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161123A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | ガルバノメ−タミラ−駆動装置 |
| JPS63223613A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動ミラ−装置 |
| JPH06202023A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-07-22 | General Scanning Inc | 改善された走査機構を用いた走査型顕微鏡 |
| JPH06300974A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-28 | Kowa Co | レーザー走査型光学顕微鏡 |
| JPH07335962A (ja) * | 1994-06-13 | 1995-12-22 | Nec Corp | 光ビーム走査装置 |
| JPH1010449A (ja) * | 1996-06-24 | 1998-01-16 | Olympus Optical Co Ltd | スキャナ駆動装置 |
| US6037583A (en) * | 1997-01-27 | 2000-03-14 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Control system for a scanner drive |
| DE19702752C2 (de) * | 1997-01-27 | 2001-12-13 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Ansteuersystem für einen Scannerantrieb |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008010311A1 (en) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Nikon Corporation | Laser scanning apparatus and laser scanning microscope |
| US8159744B2 (en) | 2006-07-18 | 2012-04-17 | Nikon Corporation | Laser scanning apparatus and laser scanning microscope |
| JP2009276771A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Ffei Ltd | 顕微鏡レンズの位置を制御する方法及びシステム |
| JP2012503220A (ja) * | 2008-09-22 | 2012-02-02 | マイクロビジョン，インク． | スキャニングミラーの制御 |
| JP2012503794A (ja) * | 2008-09-26 | 2012-02-09 | マイクロビジョン，インク． | 最小平均自乗トーン加算器を有するスキャニングミラー制御装置 |
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|---|---|
| JP4555905B2 (ja) | 2010-10-06 |
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