JPH11231276A - カラー液晶デイスプレイ製造装置および紫外線照射装置 - Google Patents
カラー液晶デイスプレイ製造装置および紫外線照射装置Info
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- JPH11231276A JPH11231276A JP10031399A JP3139998A JPH11231276A JP H11231276 A JPH11231276 A JP H11231276A JP 10031399 A JP10031399 A JP 10031399A JP 3139998 A JP3139998 A JP 3139998A JP H11231276 A JPH11231276 A JP H11231276A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明はアレイ基板に形成された配線の陰
の部分に紫外線を入り込ませて紫外線硬化型樹脂からな
るシール材を硬化させることができるカラー液晶デイス
プレイ製造装置を提供することにある。 【解決手段】 離間対向した一対の基板5、6間の周辺
部に紫外線硬化型樹脂からなるシール材7を設け、この
シール材を紫外線で照射して硬化させることで一対の基
板間の空間部をシールするカラー液晶デイスプレイ製造
装置において、上記紫外線を放射するとともに上記一対
の基板のうちの一方に対向して配置される紫外線ランプ
27およびこの紫外線ランプを覆うとともに紫外線ラン
プからの紫外線が上記一方の基板の板面の板面に対して
所定の傾斜角度で入射するよう反射させる湾曲形状の反
射面29aを有するリフレクタ29とを具備したことを
特徴とする。
の部分に紫外線を入り込ませて紫外線硬化型樹脂からな
るシール材を硬化させることができるカラー液晶デイス
プレイ製造装置を提供することにある。 【解決手段】 離間対向した一対の基板5、6間の周辺
部に紫外線硬化型樹脂からなるシール材7を設け、この
シール材を紫外線で照射して硬化させることで一対の基
板間の空間部をシールするカラー液晶デイスプレイ製造
装置において、上記紫外線を放射するとともに上記一対
の基板のうちの一方に対向して配置される紫外線ランプ
27およびこの紫外線ランプを覆うとともに紫外線ラン
プからの紫外線が上記一方の基板の板面の板面に対して
所定の傾斜角度で入射するよう反射させる湾曲形状の反
射面29aを有するリフレクタ29とを具備したことを
特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はカラー液晶デイス
プレイの一対の基板を紫外線硬化型樹脂からなるシール
材を用いて張り合わせるためのカラー液晶デイスプレイ
製造装置およびその装置に用いられる紫外線照射装置に
関する。
プレイの一対の基板を紫外線硬化型樹脂からなるシール
材を用いて張り合わせるためのカラー液晶デイスプレイ
製造装置およびその装置に用いられる紫外線照射装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】カラー液晶デイスプレイの製造工程にお
いては、配線パターンが形成されたアレイ基板と、カラ
ーフィルタおよびブラックマトリックスが設けられたフ
ィルタ基板との周辺部をシール材を用いて張り合わせる
工程がある。
いては、配線パターンが形成されたアレイ基板と、カラ
ーフィルタおよびブラックマトリックスが設けられたフ
ィルタ基板との周辺部をシール材を用いて張り合わせる
工程がある。
【0003】この張り合わせ工程ではタクトタイムを短
縮させるために、上記シール材としては秒単位で硬化す
る紫外線硬化型樹脂が用いられている。つまり、一対の
基板の一方の内面の周辺部に紫外線硬化型樹脂からなる
上記シール材を塗布し、他方の基板を上記シール材を介
して対向させ、上記シール材に紫外線を照射することで
硬化させるということが行なわれている。
縮させるために、上記シール材としては秒単位で硬化す
る紫外線硬化型樹脂が用いられている。つまり、一対の
基板の一方の内面の周辺部に紫外線硬化型樹脂からなる
上記シール材を塗布し、他方の基板を上記シール材を介
して対向させ、上記シール材に紫外線を照射することで
硬化させるということが行なわれている。
【0004】ところで、単純マトリックス型液晶デイス
プレイにおいては信号配線がITO膜であるため、紫外
線がITO膜を透過して一対の基板間に介在するシール
材を照射して硬化させることができる。
プレイにおいては信号配線がITO膜であるため、紫外
線がITO膜を透過して一対の基板間に介在するシール
材を照射して硬化させることができる。
【0005】しかしながら、アレイ基板とフィルタ基板
とからなるアクテイブマトリックス型液晶デイスプレイ
(TFT-LCD)においては、上記アレイ基板には信号配線が
十数μmピッチで並んでおり、しかも基板周辺部の外部
導出配線にはアルミニウム配線が用いられ、さらにシー
ル材を硬化させるときには紫外線をアレイ基板の上方か
らほぼ垂直に照射するようにしている。
とからなるアクテイブマトリックス型液晶デイスプレイ
(TFT-LCD)においては、上記アレイ基板には信号配線が
十数μmピッチで並んでおり、しかも基板周辺部の外部
導出配線にはアルミニウム配線が用いられ、さらにシー
ル材を硬化させるときには紫外線をアレイ基板の上方か
らほぼ垂直に照射するようにしている。
【0006】そのため、紫外線は上記アルミニウム配線
を透過せず、しかも配線とシール材とが重合する部分に
入射させることもできないから、その重合する部分のシ
ール材を紫外線で硬化させることができないということ
が生じる。
を透過せず、しかも配線とシール材とが重合する部分に
入射させることもできないから、その重合する部分のシ
ール材を紫外線で硬化させることができないということ
が生じる。
【0007】その結果、紫外線硬化型樹脂からなるシー
ル材が未硬化の状態で残ることになるから、基板が剥が
れ易くなるということがあるばかりか、シール材の樹脂
が液晶中へ染みだし、配向不良の原因ともなる。
ル材が未硬化の状態で残ることになるから、基板が剥が
れ易くなるということがあるばかりか、シール材の樹脂
が液晶中へ染みだし、配向不良の原因ともなる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このように、一対の基
板をシール材を用いて張り合わせる場合、配線の影にな
った部分に紫外線を照射することができないため、シー
ル材が未硬化の状態で残り、基板が剥がれ易くなった
り、シール材の樹脂が液晶中に染みだし、配向不良の原
因となるなどのことがあった。
板をシール材を用いて張り合わせる場合、配線の影にな
った部分に紫外線を照射することができないため、シー
ル材が未硬化の状態で残り、基板が剥がれ易くなった
り、シール材の樹脂が液晶中に染みだし、配向不良の原
因となるなどのことがあった。
【0009】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、シール材と配線とが重合
する状態であっても、その重合部分のシール材に紫外線
を確実に照射することができるようにしたカラー液晶デ
イスプレイ製造装置および紫外線照射装置を提供するこ
とにある。
で、その目的とするところは、シール材と配線とが重合
する状態であっても、その重合部分のシール材に紫外線
を確実に照射することができるようにしたカラー液晶デ
イスプレイ製造装置および紫外線照射装置を提供するこ
とにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項1に記載されたこの発明は、離間対向した一対
の基板間の周辺部に紫外線硬化型樹脂からなるシール材
を設け、このシール材を紫外線で照射して上記基板間の
空間部をシールするカラー液晶デイスプレイ製造装置に
おいて、上記紫外線を放射するとともに上記一対の基板
のうちの一方に対向して配置される紫外線ランプおよび
この紫外線ランプを覆うとともに紫外線ランプからの紫
外線が上記一方の基板の板面に対して所定の傾斜角度で
入射するよう反射させる湾曲形状の反射面を有するリフ
レクタからなる紫外線照射手段を具備したことを特徴と
する。
に請求項1に記載されたこの発明は、離間対向した一対
の基板間の周辺部に紫外線硬化型樹脂からなるシール材
を設け、このシール材を紫外線で照射して上記基板間の
空間部をシールするカラー液晶デイスプレイ製造装置に
おいて、上記紫外線を放射するとともに上記一対の基板
のうちの一方に対向して配置される紫外線ランプおよび
この紫外線ランプを覆うとともに紫外線ランプからの紫
外線が上記一方の基板の板面に対して所定の傾斜角度で
入射するよう反射させる湾曲形状の反射面を有するリフ
レクタからなる紫外線照射手段を具備したことを特徴と
する。
【0011】請求項2に記載された発明は、請求項1の
発明において、上記一対の基板は、配線が形成されたア
レイ基板と、カラーフィルタおよびブラックマトリック
スが設けられたフィルタ基板であって、上記紫外線ラン
プは上記アレイ基板側に対向して配置されることを特徴
とする。
発明において、上記一対の基板は、配線が形成されたア
レイ基板と、カラーフィルタおよびブラックマトリック
スが設けられたフィルタ基板であって、上記紫外線ラン
プは上記アレイ基板側に対向して配置されることを特徴
とする。
【0012】請求項3に記載された発明は、請求項2の
発明において、上記紫外線は、上記アレイ基板の板面に
対して30〜45度の範囲の角度で入射し、かつ上記ア
レイ基板に形成され上記シール材と重合する配線の長手
方向に対して45〜90度の範囲の角度で入射するよう
設定されることを特徴とする。
発明において、上記紫外線は、上記アレイ基板の板面に
対して30〜45度の範囲の角度で入射し、かつ上記ア
レイ基板に形成され上記シール材と重合する配線の長手
方向に対して45〜90度の範囲の角度で入射するよう
設定されることを特徴とする。
【0013】請求項4の発明は、請求項1の発明におい
て、上記リフレクタは紫外線を反射し、熱線を透過する
構造であることを特徴とする。請求項5の発明は、請求
項1または請求項4の発明において、上記紫外線ランプ
の上記リフレクタによって覆われた部分と反対側の部分
は、紫外線および熱線を反射するサブミラーによって覆
われていることを特徴とする。
て、上記リフレクタは紫外線を反射し、熱線を透過する
構造であることを特徴とする。請求項5の発明は、請求
項1または請求項4の発明において、上記紫外線ランプ
の上記リフレクタによって覆われた部分と反対側の部分
は、紫外線および熱線を反射するサブミラーによって覆
われていることを特徴とする。
【0014】請求項6の発明は、請求項2の発明におい
て、上記紫外線照射手段と上記基板との少なくともどち
らか一方は、これら基板と上記紫外線照射手段とがほぼ
平行に対向した状態で回転可能に設けられていることを
特徴とする。
て、上記紫外線照射手段と上記基板との少なくともどち
らか一方は、これら基板と上記紫外線照射手段とがほぼ
平行に対向した状態で回転可能に設けられていることを
特徴とする。
【0015】請求項7の発明は、請求項2または請求項
3の発明において、上記基板の周辺部には、上記紫外線
ランプからの上記配線の長手方向とほぼ同じ方向からの
紫外線を上記配線と交差する方向に反射させる角度の反
射面を有する補助リフレクタが配置されることを特徴と
する。
3の発明において、上記基板の周辺部には、上記紫外線
ランプからの上記配線の長手方向とほぼ同じ方向からの
紫外線を上記配線と交差する方向に反射させる角度の反
射面を有する補助リフレクタが配置されることを特徴と
する。
【0016】請求項8の発明は、紫外線硬化型樹脂を硬
化させるための紫外線照射装置において、上記紫外線を
放射する紫外線ランプと、この紫外線ランプからの紫外
線を反射し紫外線とともに放射される熱線を透過する湾
曲形状の反射面を有するリフレクタとを具備したことを
特徴とする。
化させるための紫外線照射装置において、上記紫外線を
放射する紫外線ランプと、この紫外線ランプからの紫外
線を反射し紫外線とともに放射される熱線を透過する湾
曲形状の反射面を有するリフレクタとを具備したことを
特徴とする。
【0017】請求項9の発明は、請求項8の発明におい
て、上記紫外線ランプの上記リフレクタによって覆われ
た部分と反対側の部分は、紫外線および熱線を反射する
サブミラーによって覆われていることを特徴とする。
て、上記紫外線ランプの上記リフレクタによって覆われ
た部分と反対側の部分は、紫外線および熱線を反射する
サブミラーによって覆われていることを特徴とする。
【0018】請求項1の発明によれば、紫外線ランプか
らの紫外線は、リフレクタの湾曲した反射面で反射する
ことで、基板の板面に対して所定の角度で傾斜するか
ら、配線の陰になった部分に入射し、その部分のシール
材を照射し硬化させる。
らの紫外線は、リフレクタの湾曲した反射面で反射する
ことで、基板の板面に対して所定の角度で傾斜するか
ら、配線の陰になった部分に入射し、その部分のシール
材を照射し硬化させる。
【0019】請求項2と請求項3の発明によれば、アレ
イ基板側から入射した紫外線は、アレイ基板に設けられ
た配線とフィルタ基板に設けられたブラックマトリック
スとで多重反射を繰り返すから、シール材と一対の基板
との間に設けられたシール材を照射して硬化させる。
イ基板側から入射した紫外線は、アレイ基板に設けられ
た配線とフィルタ基板に設けられたブラックマトリック
スとで多重反射を繰り返すから、シール材と一対の基板
との間に設けられたシール材を照射して硬化させる。
【0020】請求項4と請求項5の発明によれば、熱線
が基板を照射するのを防止でき、それによって基板に熱
影響を与えるのを低減できる。請求項6の発明によれ
ば、紫外線ランプと上記基板との少なくともどちらか一
方を回転させることで、基板に対する紫外線の照射方向
を変えることができる。
が基板を照射するのを防止でき、それによって基板に熱
影響を与えるのを低減できる。請求項6の発明によれ
ば、紫外線ランプと上記基板との少なくともどちらか一
方を回転させることで、基板に対する紫外線の照射方向
を変えることができる。
【0021】請求項7と請求項8の発明によれば、紫外
線ランプからの紫外線をリフレクタによって所定の傾斜
角度で傾斜させて反射させることができ、しかも上記紫
外線ランプから出射される熱線をカットすることができ
る。
線ランプからの紫外線をリフレクタによって所定の傾斜
角度で傾斜させて反射させることができ、しかも上記紫
外線ランプから出射される熱線をカットすることができ
る。
【0022】
【実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を図面を
参照して説明する。図6に示すこの発明のカラー液晶デ
イスプレイ製造装置は架台1を備えている。この架台1
の高さ方向中途部には、透光性の材料である石英ガラス
からなる載置テーブル2が保持体3を介してほぼ水平に
保持されている。
参照して説明する。図6に示すこの発明のカラー液晶デ
イスプレイ製造装置は架台1を備えている。この架台1
の高さ方向中途部には、透光性の材料である石英ガラス
からなる載置テーブル2が保持体3を介してほぼ水平に
保持されている。
【0023】この載置テーブル2の上面側にはアクテイ
ブマトリックス型の液晶デイスプレイ4(TFT-LCD )が
供給される。図5にこの液晶デイスプレイ4の概略的構
成を示す。つまり、液晶デイスプレイ4はアレイ基板5
とフィルタ基板6とを有する。これら基板5、6間の周
辺部には透光性で、紫外線よって硬化する液状樹脂から
なるシール材7が設けられている。つまり、シール材7
は一方の基板5の内面周辺部に塗布され、ついで一方の
基板5上に他方の基板6接合される。そして、上記シー
ル材7は後述するごとく紫外線によって照射されて硬化
し、それによって一対の基板5、6間の液晶が充填され
る空間部の周辺部がシールされる。
ブマトリックス型の液晶デイスプレイ4(TFT-LCD )が
供給される。図5にこの液晶デイスプレイ4の概略的構
成を示す。つまり、液晶デイスプレイ4はアレイ基板5
とフィルタ基板6とを有する。これら基板5、6間の周
辺部には透光性で、紫外線よって硬化する液状樹脂から
なるシール材7が設けられている。つまり、シール材7
は一方の基板5の内面周辺部に塗布され、ついで一方の
基板5上に他方の基板6接合される。そして、上記シー
ル材7は後述するごとく紫外線によって照射されて硬化
し、それによって一対の基板5、6間の液晶が充填され
る空間部の周辺部がシールされる。
【0024】なお、上記載置テーブル2にはシール材7
が紫外線によって硬化させられる前のデイスプレイ4が
供給される。図2に示すように、上記アレイ基板5は上
記フィルタ基板6よりも大きく形成され、それによって
アレイ基板5の二側辺部がフィルタ基板6から突出して
いる。アレイ基板5の突出した二側辺部には図示しない
ドライバが接続されるアルミニウム製の外部導出配線8
が設けられている。この外部導出配線8は図5に示すよ
うに上記アレイ基板5に形成された透明電極9に接続さ
れている。この透明電極9は配向膜9aによって覆われ
ている。
が紫外線によって硬化させられる前のデイスプレイ4が
供給される。図2に示すように、上記アレイ基板5は上
記フィルタ基板6よりも大きく形成され、それによって
アレイ基板5の二側辺部がフィルタ基板6から突出して
いる。アレイ基板5の突出した二側辺部には図示しない
ドライバが接続されるアルミニウム製の外部導出配線8
が設けられている。この外部導出配線8は図5に示すよ
うに上記アレイ基板5に形成された透明電極9に接続さ
れている。この透明電極9は配向膜9aによって覆われ
ている。
【0025】上記フィルタ基板6には、図5に示すよう
にクロム製のブラックマトリクス11とカラーフィルタ
12とが形成されている。カラーフィルタ12はオーバ
コート層13によって被覆され、このオーバコート層1
3上には透明電極14aが設けられ、この透明電極14
aは配向膜14によって覆われている。一対の基板5、
6間に設けられる上記シール材7は、部分的に上記外部
導出配線8と上記ブラックマトリクス11とに重合して
いる。
にクロム製のブラックマトリクス11とカラーフィルタ
12とが形成されている。カラーフィルタ12はオーバ
コート層13によって被覆され、このオーバコート層1
3上には透明電極14aが設けられ、この透明電極14
aは配向膜14によって覆われている。一対の基板5、
6間に設けられる上記シール材7は、部分的に上記外部
導出配線8と上記ブラックマトリクス11とに重合して
いる。
【0026】上記テーブル2の上方には保持プレート2
1が配置されている。この保持プレート21の上面には
駆動軸22が連結され、この駆動軸22は駆動源23に
よって進退駆動されるようになっている。したがって、
上記保持プレート21が下方へ駆動されることで、上記
テーブル2上の液晶デイスプレイ4を保持できるように
なっている。
1が配置されている。この保持プレート21の上面には
駆動軸22が連結され、この駆動軸22は駆動源23に
よって進退駆動されるようになっている。したがって、
上記保持プレート21が下方へ駆動されることで、上記
テーブル2上の液晶デイスプレイ4を保持できるように
なっている。
【0027】上記テーブル2の下方には、図1と図6に
示すように紫外線硬化型樹脂25(これは図3と図5に
示されている)を用いて上記シール材7を各基板4、5
に接着固定する際に、上記紫外線硬化型樹脂25を硬化
せるために用いられる紫外線照射装置26が配置されて
いる。この紫外線照射装置26は紫外線ランプ27を有
する。この紫外線ランプ27は水冷二重管28に挿通さ
れているとともに、リフレクタ29によって覆われてい
て、軸方向両端部で上記リフレクタ29と一体化されて
いる。
示すように紫外線硬化型樹脂25(これは図3と図5に
示されている)を用いて上記シール材7を各基板4、5
に接着固定する際に、上記紫外線硬化型樹脂25を硬化
せるために用いられる紫外線照射装置26が配置されて
いる。この紫外線照射装置26は紫外線ランプ27を有
する。この紫外線ランプ27は水冷二重管28に挿通さ
れているとともに、リフレクタ29によって覆われてい
て、軸方向両端部で上記リフレクタ29と一体化されて
いる。
【0028】上記リフレクタ29の反射面29aは紫外
線を反射して熱線を透過するようコーテイングされてい
る。上記紫外線ランプ27のリフレクタ29によって覆
われた部分と反対側の部分は、上記リフレクタ29に比
べて十分に小さな湾曲形状に形成されたサブミラー31
が上記紫外線ランプ27の軸方向全長にわたって配置さ
れている。このサブミラー31の反射面31aは紫外線
ランプ27から放射される紫外線および熱線を反射する
コーテイング処理が施されている。
線を反射して熱線を透過するようコーテイングされてい
る。上記紫外線ランプ27のリフレクタ29によって覆
われた部分と反対側の部分は、上記リフレクタ29に比
べて十分に小さな湾曲形状に形成されたサブミラー31
が上記紫外線ランプ27の軸方向全長にわたって配置さ
れている。このサブミラー31の反射面31aは紫外線
ランプ27から放射される紫外線および熱線を反射する
コーテイング処理が施されている。
【0029】上記リフレクタ29は上記紫外線ランプ2
7から放射された紫外線を上記載置テーブル2を介して
その上面に載置された液晶デイスプレイ4に対して所定
の角度で傾斜させて照射することができるようになって
いる。
7から放射された紫外線を上記載置テーブル2を介して
その上面に載置された液晶デイスプレイ4に対して所定
の角度で傾斜させて照射することができるようになって
いる。
【0030】つまり、上記リフレクタ29は図1に示す
ように反射面29aが放物面からなり、その反射面29
aで反射した紫外線が被照射面である、上記液晶デイス
プレイ4のアレイ基板5に30〜45度の角度で入射す
るよう、上記反射面29aの湾曲形状が設定されてい
る。
ように反射面29aが放物面からなり、その反射面29
aで反射した紫外線が被照射面である、上記液晶デイス
プレイ4のアレイ基板5に30〜45度の角度で入射す
るよう、上記反射面29aの湾曲形状が設定されてい
る。
【0031】たとえば、この発明においては、通常のリ
フレクタ軸である、放物面の軸に対してリフレクタ軸を
紫外線ランプ27に対称に約50度傾斜させる。それに
よって、紫外線照射方向と、紫外線ランプ27の発光径
から生じる見込み角αの広がりより、アレイ基板5を3
0〜45度の角度で照射できる。
フレクタ軸である、放物面の軸に対してリフレクタ軸を
紫外線ランプ27に対称に約50度傾斜させる。それに
よって、紫外線照射方向と、紫外線ランプ27の発光径
から生じる見込み角αの広がりより、アレイ基板5を3
0〜45度の角度で照射できる。
【0032】上記紫外線照射装置26のリフレクタ29
は回転体35に取り付けられている。この回転体35に
は回転アクチュエータ36が取り付けられている。この
回転アクチュエータ36は上記架台1に架設された支持
部材37に取り付けられている。したがって、上記紫外
線照射装置26を上記回転アクチュエータ36により水
平方向に回転させることで、上記液晶デイスプレイ4に
対して所定の回転角度で対向させることができるように
なっている。
は回転体35に取り付けられている。この回転体35に
は回転アクチュエータ36が取り付けられている。この
回転アクチュエータ36は上記架台1に架設された支持
部材37に取り付けられている。したがって、上記紫外
線照射装置26を上記回転アクチュエータ36により水
平方向に回転させることで、上記液晶デイスプレイ4に
対して所定の回転角度で対向させることができるように
なっている。
【0033】この実施例では、図2に実線で示すように
紫外線ランプ27の軸線が液晶デイスプレイ4の長手方
向に沿う0度の位置と、同図に鎖線で示すように0度の
位置から90度回転した位置とで位置決めできるように
なっている。
紫外線ランプ27の軸線が液晶デイスプレイ4の長手方
向に沿う0度の位置と、同図に鎖線で示すように0度の
位置から90度回転した位置とで位置決めできるように
なっている。
【0034】なお、上記回転アクチュエータ36を図示
しない揺動機構を介して上記支持部材37に設けること
で、紫外線照射装置26を回転だけでなく揺動させるこ
とができるようにし、リフレクタ29で反射した紫外線
が液晶デイスプレイ4を照射する角度を制御できるよう
にしてもよい。
しない揺動機構を介して上記支持部材37に設けること
で、紫外線照射装置26を回転だけでなく揺動させるこ
とができるようにし、リフレクタ29で反射した紫外線
が液晶デイスプレイ4を照射する角度を制御できるよう
にしてもよい。
【0035】図2に示すように、上記アレイ基板5の周
辺部の長手方向一側と短手方向一側には屏風状に折曲さ
れた補助リフレクタ41が配置される。この補助リフレ
クタ41は上記テーブル2の上面に固定されていて、そ
の反射面41aは上記アレイ基板5の周辺部から外方へ
外れた紫外線を反射させて上記アレイ基板5の周辺部へ
戻すようになっている。
辺部の長手方向一側と短手方向一側には屏風状に折曲さ
れた補助リフレクタ41が配置される。この補助リフレ
クタ41は上記テーブル2の上面に固定されていて、そ
の反射面41aは上記アレイ基板5の周辺部から外方へ
外れた紫外線を反射させて上記アレイ基板5の周辺部へ
戻すようになっている。
【0036】上記補助リフレクタ41の反射面41aで
反射した紫外線は、図2と図4に示すように外部導出配
線8の配線方向、つまり長手方向に対して45〜90度
の角度で戻るよう、上記反射面41aの角度が設定され
ている。
反射した紫外線は、図2と図4に示すように外部導出配
線8の配線方向、つまり長手方向に対して45〜90度
の角度で戻るよう、上記反射面41aの角度が設定され
ている。
【0037】つぎに、上記カラー液晶デイスプレイ4の
アレイ基板5とフィルタ基板6との周辺部に塗布された
紫外線硬化型樹脂からなるシール材7を紫外線によって
照射硬化させる場合について説明する。
アレイ基板5とフィルタ基板6との周辺部に塗布された
紫外線硬化型樹脂からなるシール材7を紫外線によって
照射硬化させる場合について説明する。
【0038】まず、カラー液晶デイスプレイ4をテーブ
ル2上にアレイ基板5を下側にして載置したならば、保
持プレート21を下降させて上記デイスプレイ4を所定
の圧力で保持する。
ル2上にアレイ基板5を下側にして載置したならば、保
持プレート21を下降させて上記デイスプレイ4を所定
の圧力で保持する。
【0039】ついで、紫外線ランプ27を図2に実線で
示すデイスプレイ4の長手方向に沿う回転方向(このと
きの回転角度を0度とする)に回転角度を設定したなら
ば、紫外線照射装置26を作動させ、その紫外線ランプ
27から紫外線を出射させる。
示すデイスプレイ4の長手方向に沿う回転方向(このと
きの回転角度を0度とする)に回転角度を設定したなら
ば、紫外線照射装置26を作動させ、その紫外線ランプ
27から紫外線を出射させる。
【0040】上記紫外線ランプ27からの紫外線は、図
3に示すように、上記テーブル2を透過してその上に載
置されたカラー液晶デイスプレイ4を直接的に照射する
紫外線Aと、サブミラー31で反射してからリフレクタ
29の反射面29aで反射して上記テーブル2を透過し
てデイスプレイ4を照射する紫外線Bおよび紫外線ラン
プ27から出射されると直ちにリフレクタ29の反射面
29aで反射し上記テーブル2を透過してデイスプレイ
4を照射する紫外線Bとに分けられる。つまり、サブミ
ラー31を配置したことで、紫外線ランプ27からの紫
外線のほとんどは、リフレクタ29の反射面29aで反
射してからデイスプレイ4を照射する紫外線Bとなる。
3に示すように、上記テーブル2を透過してその上に載
置されたカラー液晶デイスプレイ4を直接的に照射する
紫外線Aと、サブミラー31で反射してからリフレクタ
29の反射面29aで反射して上記テーブル2を透過し
てデイスプレイ4を照射する紫外線Bおよび紫外線ラン
プ27から出射されると直ちにリフレクタ29の反射面
29aで反射し上記テーブル2を透過してデイスプレイ
4を照射する紫外線Bとに分けられる。つまり、サブミ
ラー31を配置したことで、紫外線ランプ27からの紫
外線のほとんどは、リフレクタ29の反射面29aで反
射してからデイスプレイ4を照射する紫外線Bとなる。
【0041】リフレクタ29の反射面29aで反射せず
に、デイスプレイ4のアレイ基板5に入射する紫外線A
は、その入射角度がほぼ垂直に近いため、アレイ基板5
の周辺部において外部導出配線8に遮られ、シール材7
の端面と上記配線8との間に設けられたシール材7を照
射硬化させることはできない。
に、デイスプレイ4のアレイ基板5に入射する紫外線A
は、その入射角度がほぼ垂直に近いため、アレイ基板5
の周辺部において外部導出配線8に遮られ、シール材7
の端面と上記配線8との間に設けられたシール材7を照
射硬化させることはできない。
【0042】しかしながら、上記リフレクタ29の反射
面29aで反射した紫外線Bは図1と図3に示すように
上記アレイ基板5の板面に対して所定の角度で傾斜して
入射する。つまり、紫外線Bはリフレクタ29の反射面
29aの湾曲形状によってアレイ基板5の板面に対して
30度〜45度の角度で傾斜して入射する。
面29aで反射した紫外線Bは図1と図3に示すように
上記アレイ基板5の板面に対して所定の角度で傾斜して
入射する。つまり、紫外線Bはリフレクタ29の反射面
29aの湾曲形状によってアレイ基板5の板面に対して
30度〜45度の角度で傾斜して入射する。
【0043】それによって、アレイ基板5の配線8が設
けられた二側辺部のうち、紫外線ランプ27の管軸方向
と交差する方向、つまり図2のデイスプレイ4の短手方
向の側辺部においては、上記リフレクタ29の反射面2
9aで反射した紫外線Bは、図3に示すように上記アレ
イ基板5の板面に対して所定の角度で傾斜して入射す
る。つまり、紫外線Bはリフレクタ29の反射面29a
の湾曲形状によって配線8の幅方向に対して30度〜4
5度の角度で傾斜してアレイ基板5に入射する。
けられた二側辺部のうち、紫外線ランプ27の管軸方向
と交差する方向、つまり図2のデイスプレイ4の短手方
向の側辺部においては、上記リフレクタ29の反射面2
9aで反射した紫外線Bは、図3に示すように上記アレ
イ基板5の板面に対して所定の角度で傾斜して入射す
る。つまり、紫外線Bはリフレクタ29の反射面29a
の湾曲形状によって配線8の幅方向に対して30度〜4
5度の角度で傾斜してアレイ基板5に入射する。
【0044】それによって、その紫外線Bはアレイ基板
5の配線8によって覆われた部分、つまり配線8の陰と
なる部分に入り込み、シール材7を透過してフィルタ基
板6のブラックマトリクス11に入射する。このブラッ
クマトリクス11はクロムからなるから、その板面で反
射し、シール材7を透過して上記配線8の内面に入射す
る。
5の配線8によって覆われた部分、つまり配線8の陰と
なる部分に入り込み、シール材7を透過してフィルタ基
板6のブラックマトリクス11に入射する。このブラッ
クマトリクス11はクロムからなるから、その板面で反
射し、シール材7を透過して上記配線8の内面に入射す
る。
【0045】上記配線8はアルミニウムからなるから、
ここに入射した紫外線Bは反射し、シール材7を透過し
てブラックマトリクス11に入射して再度反射するとい
う、多重反射を繰り返す。つまり、30〜40度の傾斜
角度で入射した紫外線Bは配線8の幅方向全長に沿って
多重反射するから、上記配線8によって覆われた部分の
シール材7の上下端面に設けられたシール材7を紫外線
Bによって確実に照射し、硬化させることができる。し
たがって、デイスプレイ4の短手方向一側辺部におい
て、ッシール材7が未硬化の状態で残留するのを防止す
ることができる。
ここに入射した紫外線Bは反射し、シール材7を透過し
てブラックマトリクス11に入射して再度反射するとい
う、多重反射を繰り返す。つまり、30〜40度の傾斜
角度で入射した紫外線Bは配線8の幅方向全長に沿って
多重反射するから、上記配線8によって覆われた部分の
シール材7の上下端面に設けられたシール材7を紫外線
Bによって確実に照射し、硬化させることができる。し
たがって、デイスプレイ4の短手方向一側辺部におい
て、ッシール材7が未硬化の状態で残留するのを防止す
ることができる。
【0046】デイスプレイ4の長手方向に沿う側辺部に
おいては、30〜45度の角度で傾斜してアレイ基板5
に入射する紫外線Bが図2に示すように配線8の長手方
向とほぼ同方向であるため、配線8の陰の部分に入り込
むことはできない。しかしながら、アレイ基板5の長手
方向の側辺部から外れた紫外線Bはその側辺部の外方に
配置された補助リクレクタ41の反射面41aに入射
し、その反射面41aの角度に応じて反射する。
おいては、30〜45度の角度で傾斜してアレイ基板5
に入射する紫外線Bが図2に示すように配線8の長手方
向とほぼ同方向であるため、配線8の陰の部分に入り込
むことはできない。しかしながら、アレイ基板5の長手
方向の側辺部から外れた紫外線Bはその側辺部の外方に
配置された補助リクレクタ41の反射面41aに入射
し、その反射面41aの角度に応じて反射する。
【0047】そのため、補助リフレクタ41の反射面4
1aで反射した紫外線Bは上記配線8の幅方向に対して
所定の角度である、45〜90度の角度で傾斜して入射
し、多重反射することになるから、配線8の陰の部分と
なったシール材7を照射し硬化させることになる。
1aで反射した紫外線Bは上記配線8の幅方向に対して
所定の角度である、45〜90度の角度で傾斜して入射
し、多重反射することになるから、配線8の陰の部分と
なったシール材7を照射し硬化させることになる。
【0048】所定時間照射後に、回転アクチュエータ3
6を作動させ図2に鎖線で示すように紫外線照射装置2
6を90度回転させる。それによって、紫外線ランプ2
7の軸線がデイスプレイ4の短手方向に沿うことにな
る。
6を作動させ図2に鎖線で示すように紫外線照射装置2
6を90度回転させる。それによって、紫外線ランプ2
7の軸線がデイスプレイ4の短手方向に沿うことにな
る。
【0049】そのため、角度が0度のときとは逆に、ア
レイ基板5の長手方向において紫外線Bの向きが配線8
の幅方向に沿うから、その紫外線Bは配線8の陰の部分
に入り込んで多重反射を繰り返し、シール材7を照射し
て硬化させることになる。
レイ基板5の長手方向において紫外線Bの向きが配線8
の幅方向に沿うから、その紫外線Bは配線8の陰の部分
に入り込んで多重反射を繰り返し、シール材7を照射し
て硬化させることになる。
【0050】また、アレイ基板5の短手方向においては
紫外線Bの方向が配線8の長手方向とほぼ同方向になる
から、配線8の陰の部分に入り込みにくい。しかしなが
ら、短手方向の側辺部の外方に外れた紫外線Bはその部
分に配置された補助リクレクタ41の反射面41aで反
射し、上記配線8の幅方向に対して45度〜90度の角
度で戻るから、配線8の陰の部分に入り込んで多重反射
し、シール材7を照射して硬化させる。
紫外線Bの方向が配線8の長手方向とほぼ同方向になる
から、配線8の陰の部分に入り込みにくい。しかしなが
ら、短手方向の側辺部の外方に外れた紫外線Bはその部
分に配置された補助リクレクタ41の反射面41aで反
射し、上記配線8の幅方向に対して45度〜90度の角
度で戻るから、配線8の陰の部分に入り込んで多重反射
し、シール材7を照射して硬化させる。
【0051】このように、紫外線照射装置26をデイス
プレイ4に対して0度の位置と、90度の位置とに回転
させることで、リフレクタ29の反射面29aで反射し
た紫外線Bを、矩形状の上記デイスプレイ4の短手方向
と長手方向との側辺に設けられた配線8の陰の部分にそ
れぞれ入り込ませ、シール材7を照射し、硬化させるこ
とができる。
プレイ4に対して0度の位置と、90度の位置とに回転
させることで、リフレクタ29の反射面29aで反射し
た紫外線Bを、矩形状の上記デイスプレイ4の短手方向
と長手方向との側辺に設けられた配線8の陰の部分にそ
れぞれ入り込ませ、シール材7を照射し、硬化させるこ
とができる。
【0052】なお、紫外線照射装置26をデイスプレイ
4に対して0度の位置と、90度の位置とに回転させな
くとも、補助リフレクタ41が配置されていることで、
紫外線ランプからの紫外線Bの方向とほぼ同じ方向に沿
う配線8の陰の部分にも上記紫外線Bを入り込ませてシ
ール材7を照射硬化させることができる。したがって、
上記紫外線照射装置26を回転させなくとも、デイスプ
レイ4の周囲全体のシール材7を照射し、硬化させるこ
とも可能であるが、回転させた方がデイスプレイ4の両
方向においてシール材7を均一に硬化させることができ
る。
4に対して0度の位置と、90度の位置とに回転させな
くとも、補助リフレクタ41が配置されていることで、
紫外線ランプからの紫外線Bの方向とほぼ同じ方向に沿
う配線8の陰の部分にも上記紫外線Bを入り込ませてシ
ール材7を照射硬化させることができる。したがって、
上記紫外線照射装置26を回転させなくとも、デイスプ
レイ4の周囲全体のシール材7を照射し、硬化させるこ
とも可能であるが、回転させた方がデイスプレイ4の両
方向においてシール材7を均一に硬化させることができ
る。
【0053】さらに、上記紫外線照射装置26を揺動自
在に設けることで、デイスプレイ4に対する揺動方向の
角度を変えることができる。それによって、紫外線Bが
アレイ基板5に入射する角度を変えることができる。し
たがって、アレイ基板5とフィルタ基板6との間隔など
に応じて紫外線Bの入射角度を変えることで、配線8の
陰の部分に確実に入射させることが可能となる。
在に設けることで、デイスプレイ4に対する揺動方向の
角度を変えることができる。それによって、紫外線Bが
アレイ基板5に入射する角度を変えることができる。し
たがって、アレイ基板5とフィルタ基板6との間隔など
に応じて紫外線Bの入射角度を変えることで、配線8の
陰の部分に確実に入射させることが可能となる。
【0054】上記リフレクタ29の反射面29aは熱線
を透過する構造となっている。そのため、紫外線ランプ
27で発生した熱線のほとんどはカラー液晶デイスプレ
イ4を照射することがないから、アレイ基板5やフィル
タ基板6に熱による悪影響を与えるのを防止できる。
を透過する構造となっている。そのため、紫外線ランプ
27で発生した熱線のほとんどはカラー液晶デイスプレ
イ4を照射することがないから、アレイ基板5やフィル
タ基板6に熱による悪影響を与えるのを防止できる。
【0055】さらに、紫外線ランプ27のリフレクタ2
9と反対側の部分に、紫外線と熱線を反射するサブミラ
ー31を設けたから、このサブミラー31によっても熱
線がデイスプレイ4を照射しにくくなり、しかも紫外線
のほとんどはリフレクタ29で反射してデイスプレイ4
を照射することになるから、配線8の陰になる部分に入
り込む紫外線の量を増大させることができる。
9と反対側の部分に、紫外線と熱線を反射するサブミラ
ー31を設けたから、このサブミラー31によっても熱
線がデイスプレイ4を照射しにくくなり、しかも紫外線
のほとんどはリフレクタ29で反射してデイスプレイ4
を照射することになるから、配線8の陰になる部分に入
り込む紫外線の量を増大させることができる。
【0056】
【発明の効果】以上述べたように請求項1の発明によれ
ば、紫外線ランプからの紫外線を反射させるリフレクタ
を湾曲形状の反射面を有する構造とすることで、その反
射面で反射する紫外線をカラー液晶デイスプレイの基板
の板面に対して所定の傾斜角度で入射させるようにし
た。
ば、紫外線ランプからの紫外線を反射させるリフレクタ
を湾曲形状の反射面を有する構造とすることで、その反
射面で反射する紫外線をカラー液晶デイスプレイの基板
の板面に対して所定の傾斜角度で入射させるようにし
た。
【0057】そのため、基板に形成された配線の陰にな
った部分に上記紫外線を入り込ませることができるか
ら、一対の基板を紫外線硬化型樹脂からなるシール材に
よって接着固定する際、紫外線によって照射されずに未
硬化の状態で残留する樹脂を少なくすることができる。
った部分に上記紫外線を入り込ませることができるか
ら、一対の基板を紫外線硬化型樹脂からなるシール材に
よって接着固定する際、紫外線によって照射されずに未
硬化の状態で残留する樹脂を少なくすることができる。
【0058】請求項2の発明によれば、配線の陰の部分
に入り込んだ紫外線を、その配線とブラックマトリクス
とで多重反射させることができるから、上記配線の陰と
なった部分を広い範囲にわたって上記紫外線で照射し、
シール材を硬化させることができる。
に入り込んだ紫外線を、その配線とブラックマトリクス
とで多重反射させることができるから、上記配線の陰と
なった部分を広い範囲にわたって上記紫外線で照射し、
シール材を硬化させることができる。
【0059】請求項3の発明によれば、紫外線がアレイ
基板の板面に対して入射する角度と、配線の長手方向に
対する入射角度とが規定されることで、紫外線を配線の
陰の部分に効率よく入り込ませ、その部分のシール材を
確実に硬化せることができる。
基板の板面に対して入射する角度と、配線の長手方向に
対する入射角度とが規定されることで、紫外線を配線の
陰の部分に効率よく入り込ませ、その部分のシール材を
確実に硬化せることができる。
【0060】請求項4の発明によれば、リフレクタが熱
線を透過する構造であるため、紫外線ランプから発生す
る熱線が基板に与える熱影響を低減することができる。
請求項5の発明によれば、請求項1および請求項4の発
明において、紫外線ランプのリフレクタによって覆われ
た部分と反対側の部分に、紫外線および熱線を反射する
サブミラーを設けたから、紫外線ランプで発生した紫外
線は直接、基板を照射せず、リフレクタで反射してから
基板を照射するので、紫外線ランプからの紫外線のほと
んどを配線の陰の部分に入り込み易い角度にして出射で
きるばかりか、上記サブミラーで熱線が反射してリフレ
クタに戻って透過するため、基板を照射する熱線量を大
幅に低減することができる。
線を透過する構造であるため、紫外線ランプから発生す
る熱線が基板に与える熱影響を低減することができる。
請求項5の発明によれば、請求項1および請求項4の発
明において、紫外線ランプのリフレクタによって覆われ
た部分と反対側の部分に、紫外線および熱線を反射する
サブミラーを設けたから、紫外線ランプで発生した紫外
線は直接、基板を照射せず、リフレクタで反射してから
基板を照射するので、紫外線ランプからの紫外線のほと
んどを配線の陰の部分に入り込み易い角度にして出射で
きるばかりか、上記サブミラーで熱線が反射してリフレ
クタに戻って透過するため、基板を照射する熱線量を大
幅に低減することができる。
【0061】請求項6の発明によれば、紫外線照射手段
と基板のどちらか一方を基板に形成された配線の向きに
応じて回転させ、これら両者の対向状態を変えることが
できるため、上記配線の向きに応じてその陰となる部分
に紫外線を確実に入り込ませることができる。
と基板のどちらか一方を基板に形成された配線の向きに
応じて回転させ、これら両者の対向状態を変えることが
できるため、上記配線の向きに応じてその陰となる部分
に紫外線を確実に入り込ませることができる。
【0062】請求項7の発明によれば、補助リフレクタ
によって配線の長手方向とほぼ同じ方向から入射した紫
外線を、上記配線と交差する方向に反射させることがで
きるので、紫外線の入射方向と配線の長手方向とがほぼ
同じ方向であっても、その配線の陰の部分に紫外線を入
り込ませることができる。
によって配線の長手方向とほぼ同じ方向から入射した紫
外線を、上記配線と交差する方向に反射させることがで
きるので、紫外線の入射方向と配線の長手方向とがほぼ
同じ方向であっても、その配線の陰の部分に紫外線を入
り込ませることができる。
【0063】請求項8の発明によれば、紫外線ランプか
らの紫外線を所定の角度で傾斜させて出力できるばかり
か、リフレクタによって熱線を除去できる紫外線照射装
置を提供することができ、また請求項9の発明によれ
ば、サブミラーによって紫外線ランプからリフレクタと
反対方向へ出射した熱線をリフレクタへ戻すことができ
るため、熱線をさらに確実に除去することができる。
らの紫外線を所定の角度で傾斜させて出力できるばかり
か、リフレクタによって熱線を除去できる紫外線照射装
置を提供することができ、また請求項9の発明によれ
ば、サブミラーによって紫外線ランプからリフレクタと
反対方向へ出射した熱線をリフレクタへ戻すことができ
るため、熱線をさらに確実に除去することができる。
【図1】この発明の一実施の形態の概略的構成の側面
図。
図。
【図2】同じく平面図。
【図3】同じく紫外線がアレイ基板を照射する状態を説
明する側面図。
明する側面図。
【図4】同じく紫外線がアレイ基板を照射する状態を説
明する平面図。
明する平面図。
【図5】同じくカラー液晶デイスプレイの概略的構成を
示す側面図。
示す側面図。
【図6】同じくカラー液晶デイスプレイ製造装置の概略
的構成図。
的構成図。
4…液晶デイスプレイ 5…アレイ基板 6…フィルタ基板 7…シール材 8…外部導出配線 27…紫外線ランプ 29…リフレクタ 29a…反射面 31…サブミラー 31a…反射面 36…回転アクチュエータ 41…補助リフレクタ 41a…反射面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澤田 雅人 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 幸坂 宇生 東京都品川区東品川四丁目3番1号 東芝 ライテック株式会社内
Claims (9)
- 【請求項1】 離間対向した一対の基板間の周辺部に紫
外線硬化型樹脂からなるシール材を設け、このシール材
を紫外線で照射して上記基板間の空間部をシールするカ
ラー液晶デイスプレイ製造装置において、 上記紫外線を放射するとともに上記一対の基板のうちの
一方に対向して配置される紫外線ランプおよびこの紫外
線ランプを覆うとともに紫外線ランプからの紫外線が上
記一方の基板の板面に対して所定の傾斜角度で入射する
よう反射させる湾曲形状の反射面を有するリフレクタか
らなる紫外線照射手段を具備したことを特徴とするカラ
ー液晶デイスプレイ製造装置。 - 【請求項2】 上記一対の基板は、配線が形成されたア
レイ基板と、カラーフィルタおよびブラックマトリック
スが設けられたフィルタ基板であって、上記紫外線ラン
プは上記アレイ基板側に対向して配置されることを特徴
とする請求項1記載のカラー液晶デイスプレイ製造装
置。 - 【請求項3】 上記紫外線は、上記アレイ基板の板面に
対して30〜45度の範囲の角度で入射し、かつ上記ア
レイ基板に形成され上記シール材と重合する配線の長手
方向に対して45〜90度の範囲の角度で入射するよう
設定されることを特徴とする請求項2記載のカラー液晶
デイスプレイ製造装置。 - 【請求項4】 上記リフレクタは紫外線を反射し、熱線
を透過する構造であることを特徴とすると請求項1記載
のカラー液晶デイスプレイ製造装置。 - 【請求項5】 上記紫外線ランプの上記リフレクタによ
って覆われた部分と反対側の部分は、紫外線および熱線
を反射するサブミラーによって覆われていることを特徴
とする請求項1または請求項4記載のカラー液晶デイス
プレイ製造装置。 - 【請求項6】 上記紫外線照射手段と上記基板との少な
くともどちらか一方は、これら基板と上記紫外線照射手
段とがほぼ平行に対向した状態で回転可能に設けられて
いることを特徴とする請求項2記載のカラー液晶デイス
プレイ製造装置。 - 【請求項7】 上記基板の周辺部には、上記紫外線ラン
プからの上記配線の長手方向とほぼ同じ方向からの紫外
線を上記配線と交差する方向に反射させる角度の反射面
を有する補助リフレクタが配置されることを特徴とする
請求項2または請求項3記載のカラー液晶デイスプレイ
製造装置。 - 【請求項8】 紫外線硬化型樹脂を硬化させるための紫
外線照射装置において、 上記紫外線を放射する紫外線ランプと、 この紫外線ランプからの紫外線を反射し紫外線とともに
放射される熱線を透過する湾曲形状の反射面を有するリ
フレクタとを具備したことを特徴とする紫外線照射装
置。 - 【請求項9】 上記紫外線ランプの上記リフレクタによ
って覆われた部分と反対側の部分は、紫外線および熱線
を反射するサブミラーによって覆われていることを特徴
とする請求項8記載の紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10031399A JPH11231276A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | カラー液晶デイスプレイ製造装置および紫外線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10031399A JPH11231276A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | カラー液晶デイスプレイ製造装置および紫外線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11231276A true JPH11231276A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12330190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10031399A Pending JPH11231276A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | カラー液晶デイスプレイ製造装置および紫外線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11231276A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007086159A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | 表示装置、表示装置の製造方法、基板及びカラーフィルタ基板 |
| KR100863997B1 (ko) * | 2001-11-17 | 2008-10-16 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치의 제조에서 조립 기판 형성 방법 및 이를 수행하는 실런트 노광 장치 |
| US7621310B2 (en) | 2000-11-30 | 2009-11-24 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| JP2016161913A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 岩崎電気株式会社 | 光硬化システム |
-
1998
- 1998-02-13 JP JP10031399A patent/JPH11231276A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7621310B2 (en) | 2000-11-30 | 2009-11-24 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7681522B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-03-23 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7703494B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-04-27 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7819165B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-10-26 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US8128768B2 (en) | 2000-11-30 | 2012-03-06 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| KR100863997B1 (ko) * | 2001-11-17 | 2008-10-16 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치의 제조에서 조립 기판 형성 방법 및 이를 수행하는 실런트 노광 장치 |
| WO2007086159A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | 表示装置、表示装置の製造方法、基板及びカラーフィルタ基板 |
| JP2016161913A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 岩崎電気株式会社 | 光硬化システム |
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