JPH11233020A

JPH11233020A - プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネル

Info

Publication number: JPH11233020A
Application number: JP10029448A
Authority: JP
Inventors: Masaki Aoki; 正樹青木; Shigeo Suzuki; 茂夫鈴木; Hiroyuki Kawamura; 浩幸河村; Mitsuhiro Otani; 光弘大谷; Hiroyuki Kado; 博行加道
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1998-02-12
Filing date: 1998-02-12
Publication date: 1999-08-27

Abstract

(57)【要約】【課題】微細なセル構造の場合でも、容易に精度良く
蛍光体層を形成することができ、且つ隔壁がストライプ
状の場合に、隔壁間の溝に蛍光体層を均一的に形成する
ことができ、更に、隔壁の側面に対しても容易にこれを
形成できるＰＤＰの製造方法を提供する。【解決手段】隔壁１７がストライプ状に配設されたプ
レート（背面ガラス基板１５）において、プレートを水
平面に対して傾きθを設けて配置し、隔壁間の溝の端部
に蛍光体インキをノズル２４から連続流となるように吐
出させながら隔壁１７の間に蛍光体インキを流す方法に
より隔壁内に蛍光体層を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスに用
いるプラズマディスプレイパネルに関し、特に詳細なセ
ル構造のプラズマディスプレイパネルに適した製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品
位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、
ＣＲＴ，液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），プラズマディス
プレイパネル（Plasma Display Panel，以下ＰＤＰと記
載する）といった各ディスプレイの分野において、これ
に適したディスプレイの開発が進められている。

【０００３】従来からテレビのディスプレイとして広く
用いられているＣＲＴは、解像度・画質の点で優れてい
るが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくな
る点で４０インチ以上の大画面には不向きである。ま
た、ＬＣＤは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いとい
う優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技
術上の困難性があり、視野角にも限界がある。

【０００４】これに対して、ＰＤＰは、小さい奥行きで
大画面を実現することが可能であって、既に４０インチ
クラスの製品も開発されている。ＰＤＰは一般的に、表
面に電極を配したフロントカバープレートとバックプレ
ートとが、電極を対向した状態で平行に配され、両プレ
ート間の間隙は隔壁で仕切られ、隔壁と隔壁との間の溝
に赤，緑，青の蛍光体層が形成されると共に放電ガスが
封入された構成であって、その製造は、隔壁を配設した
バックプレートの溝に蛍光体層を形成し、その上にフロ
ントカバープレートを重ねて放電ガスを封入することに
よって行う。そして、駆動回路で電極に印加して駆動を
行うようになっている。

【０００５】ＰＤＰの発光原理は、基本的に蛍光灯と同
様であって、駆動回路が電極に電圧を印加して放電する
と、放電ガスから紫外線が放出され、蛍光体層の蛍光体
粒子（赤，緑，青）がこの紫外線を受けて励起発光する
が、放電エネルギが紫外線へ変換する効率や、蛍光体に
おける可視光への変換効率が低いので、蛍光灯のように
高い輝度を得ることは難しい現状である。

【０００６】ＰＤＰは駆動方式によって直流型（ＤＣ
型）と交流型（ＡＣ型）とに大別される。ＤＣ型では電
極が放電空間に露出しているのに対して、ＡＣ型では電
極上に誘電体ガラス層が配設されている。

【０００７】また、隔壁の形状も違いがあって、一般的
にＡＣ型では隔壁がストライプ状に配設されているのに
対して、ＤＣ型では隔壁が井桁状に配設されている。こ
の点で、ＡＣ型の方が微細なセル構造のパネルを形成す
るのに適している。

【０００８】ところで、ディスプレイの高品位化に対す
る要求が高まるにつれて、ＰＤＰにおいても微細なセル
構造のものが望まれている。

【０００９】例えば、従来のＮＴＳＣではセル数が６４
０×４８０で、４０インチクラスではセルピッチが０．
４３ｍｍ×１．２９ｍｍ、１セル面積が約０．５５ｍｍ
²であったが、フルスペックのハイビジョンテレビの画
素レベルでは、画素数が１９２０×１１２５となり、４
２インチクラスでのセルピッチは０．１５ｍｍ×０．４
８ｍｍ、１セルの面積は０．０７２ｍｍ²の細かさとな
る。

【００１０】このような詳細なセル構造のＰＤＰを実用
化するためには、従来よりもセルの発光効率を高める必
要があり、そのために、蛍光体の改良等の研究がなされ
ている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】このような背景のもと
に、蛍光体層の形成に関して以下のような課題がある。
蛍光体層を形成する方法としては、図８に示すようにス
クリーン印刷法で蛍光体ペーストを隔壁間の凹部に充填
して焼成する方法が多く用いられているが、微細なセル
構造のＰＤＰに対しては、スクリーン印刷法は適用が難
しい。

【００１２】即ち、セルピッチが０．１〜０．１５ｍｍ
程度の場合、隔壁間の溝幅は０．０８〜０．１ｍｍ程度
と非常に狭くなってしまうが、スクリーン印刷で用いる
蛍光体インキは粘度が高いので（通常、数万センチポイ
ズ）、狭い隔壁間に精度良く高速に蛍光体インキを流し
込むことは困難である。また、微細な構造のスクリーン
板を形成することも困難である。

【００１３】また、高い発光効率のＰＤＰを得るために
は、バックプレートの表面上だけでなく隔壁の側面にも
蛍光体層が配設され且つ放電空間が確保されるような構
造とすることが望ましいということができる。

【００１４】スクリーン印刷法でもってこのような望ま
しい形状の蛍光体層を形成しようとすれば、蛍光体ペー
ストの粘度等の印刷条件を調整するなどしてプレートの
表面及び隔壁の側面に蛍光体ペーストを適量づつ付着さ
せる必要があるが、好適な印刷条件に調整することは難
しく、実際にはなかなか隔壁の側面に蛍光体ペーストが
付着しにくいという問題があり、場合によっては隔壁全
面に蛍光体ペーストをうめ込み、ブラスト法によって形
状を形成することが必要となる（例えば、特開平６−５
２０５号公報）。スクリーン印刷法以外の蛍光体層の形
成方法として、フォトレジストフィルム法やインキジェ
ット法も知られている。

【００１５】フォトレジストフィルム法は、特開平６−
２７３９２５号公報に開示されているように、各色蛍光
体を含む紫外線感光性樹脂のフィルムを、隔壁と隔壁と
の間に埋め込み、該当する色の蛍光体層を形成しようと
する部分だけに露光現象を施し、露光しない部分を洗い
流す方法であって、この方法によれば、セルピッチが小
さい場合にも、ある程度精度良く隔壁間にフィルムを埋
め込むことが可能である。

【００１６】しかしながら、３色各色について、フィル
ムの埋め込み，露光現像及び洗い流しを順次行う必要が
あるため、製造工程が複雑であると共に混色が生じやす
いという問題があり、更に、蛍光体は比較的高価である
にもかかわらず洗い流された蛍光体を回収することは困
難なためコスト高になるという問題もある。

【００１７】一方、インキジェット法は、特開昭５３−
７９３７１号公報や特開平８−１６２０１９号公報に開
示されているように、蛍光体と有機バインダーからなる
インキ液を加圧してノズルから噴射させながら走査する
ことにより、所望のパターンでインキ液を絶縁基板上に
付着させる方法であって、狭い隔壁間の凹部にも精度良
くインキを塗布することが可能である。

【００１８】しかしながら、このような従来のインキジ
ェット法では、噴射された蛍光体インキが液滴となって
間欠的に付着するので、隔壁がストライプ状に配設され
ている場合、隔壁間の溝に一定の膜厚で塗布することが
難しい。また、スクリーン印刷法と同様、インキ液が凹
部の底面に集中して付着し側面には付着しにくいという
問題がある。又微細なストライプ状の溝にそってインキ
ヘッドやガラス基板を精密に操作する必要があるという
問題があった。

【００１９】本発明は、上記課題に鑑み、微細なセル構
造の場合でも、容易に精度良く蛍光体層を形成すること
が可能であって、且つ隔壁がストライプ状の場合に、隔
壁間の溝に蛍光体層を均一的に形成することのできるＰ
ＤＰの製造方法を提供することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、隔壁がストライプ状に配設された第１の
プレートにおける隔壁間の溝に蛍光体層を形成する工程
において、第１のプレートを水平面に対して傾きを設け
て配置し、隔壁間の溝の端部に蛍光体インキをノズルか
ら連続流となるよう吐出させながら隔壁に沿って蛍光体
インキを流すという方法で蛍光体インキを塗布するよう
にした。

【００２１】ここで、ノズルを隔壁の端部面に向けた状
態で蛍光体インキを噴出しながら、傾斜した第１のプレ
ート上の隔壁内に沿って蛍光体インキを流せば、目的が
達成できる。

【００２２】また、蛍光体層を形成する工程において、
隔壁がストライプ状に配設された第１のプレート上に第
３のプレート（カバープレート）をはり付けた後、ノズ
ルを隔壁端部に置いた状態で蛍光体インキに圧力を加え
て蛍光体インキを隔壁に沿って噴出させたり、または、
パネルのもう一端を真空吸引したりすることによって蛍
光体インキを隔壁内部に流し込み、乾燥後第３のプレー
トを取り除くことによって、目的が達成できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】〔実施の形態１〕（ＰＤＰの全体的な構成及び製法について）図３は、本
発明の一実施の形態に係る交流面放電型ＰＤＰの概略断
面図である。図３ではセルが１つだけ示されているが、
赤，緑，青の各色を発光するセルが交互に多数配列され
てＰＤＰが構成されている。

【００２４】このＰＤＰは、前面ガラス基板１１上に放
電電極１２（表示電極）と誘電体ガラス層１３及び誘電
体保護層１４が配された前面パネルと、背面ガラス基板
１５上にアドレス電極１６，隔壁１７，蛍光体層１８が
配された背面パネルとを張り合わせ、前面パネルと背面
パネルの間に形成される放電空間１９内に放電ガスが封
入された構成となっており、このＰＤＰは、図４に示す
駆動回路によって、放電電極１２とアドレス電極１６に
印加して駆動するようになっている。

【００２５】尚、図３では、便宜上、放電電極１２が断
面で表示されているが、実際には、放電電極１２はアド
レス電極１６と直交マトリックスを組むように、図３の
紙面に沿った方向に配設されている。

【００２６】前面パネルの作製：前面パネルは、前面ガ
ラス基板１１上に放電電極１２を形成し、その上を鉛系
の誘電体ガラス層１３で覆い、更に誘電体ガラス層１３
の表面に保護層１４を形成することによって作製する。

【００２７】放電電極１２は銀からなる電極であって、
電極用の銀ペーストをスクリーン印刷し焼成することに
よって形成する従来の方法で形成する。

【００２８】誘電体ガラス層１３は、例えば、６５重量
％の酸化鉛［ＰｂＯ］，１７重量％の酸化硼素［Ｂ
₂Ｏ₃］，１３重量％の酸化硅素［ＳiＯ₂］及び５重量％
の酸化アルミニウムと有機バインダ［α−ターピネオー
ルに１０％のエチルセルローズを溶解したもの］とを混
合してなる組成物を、スクリーン印刷法で塗布した後、
５４０℃で２０分間焼成することによって膜厚約２０μ
ｍに形成する。

【００２９】保護層１４は、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）からなるものであって、例えば、スパッタリング法
によって０．５μｍの膜厚に形成する。

【００３０】背面パネルの作製：背面ガラス基板１５上
に、放電電極１２と同様にスクリーン印刷方式を用い
て、アドレス電極１６を形成する。

【００３１】次に、フィラーを添加したガラス材料をく
り返しスクリーン印刷した後、焼成することによって隔
壁１７を形成することもできるが、本実施の形態では、
後で詳述するが、プラズマ溶射法で隔壁を作成する。

【００３２】そして、隔壁１７の間の溝に蛍光体層１８
を形成する。この蛍光体層１８の形成方法については後
で詳述するが、ノズルを隔壁端部におきノズルから、蛍
光体インキを連続的に噴射しながら蛍光体インキを隔壁
内に塗布し、焼成することによって形成する。

【００３３】尚、本実施の形態では、４０インチクラス
のハイビジョンテレビに合わせて、隔壁の高さは０．１
〜０．１５ｍｍ、隔壁のピッチは０．１５〜０．３ｍｍ
とする。

【００３４】パネル張り合わせによるＰＤＰの作製：次
に、このように作製した前面パネルと背面パネルとを封
着用ガラスを用いて張り合せると共に、隔壁１７で仕切
られた放電空間１９内を高真空（例えば８×１０^-7Ｔｏ
ｒｒ）に排気した後、放電ガス（例えばＨｅ−Ｘｅ系，
Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入するこ
とによってＰＤＰを作製する。

【００３５】次に、ＰＤＰを駆動する回路ブロックを図
４のように実装して、ＰＤＰ表示装置を作製する。

【００３６】尚、本実施の形態では、放電ガスにおける
Ｘｅの含有量を５体積％以上とし、封入圧力を５００〜
６００Ｔｏｒｒの範囲に設定する。

【００３７】（隔壁の形成方法について）図６は、溶射
法による隔壁の形成方法を示す概略工程図である。ま
ず、アドレス電極１６を形成した背面ガラス基板１５
（図６のＡ）の表面を、アクリル系感光樹脂でできたド
ライフィルム８１で覆う（図６のＢ）。

【００３８】フォトリソグラフィによって、このドライ
フィルム８１でパターニングする。即ち、ドライフィル
ム８１の上にフォトマスク８２を被せて、隔壁を形成し
ようとする部分だけに紫外光（ＵＶ）８３を照射し（図
６のＣ）、現像することによって、隔壁を形成する部分
のドライフィルム８１を除去し、隔壁を形成しない部分
だけにドライフィルム８１のマスクを形成する（図６の
Ｄ参照）。なお、現像は、１％程度のアルカリ水溶液
（具体的には炭酸ナトリウム水溶液）中で行う。

【００３９】そして、これに、隔壁の原材料であるアル
ミナ（Ａｌ₂Ｏ₃），スピネル（ＭｇＯ・Ａｌ₂Ｏ₃），チ
タニン（ＴｉＯ₂），ジルコン（ＺｒＯ₂）をプラズマ溶
射する。又ＰＤＰのコントラストを向上させるために、
アルミナ，スピネル，ジルコンの上に同じく黒色のＣｒ
₂Ｏ₃，ＴｉＯ，Ｃ₀Ｏ，Ｆｅ₂Ｏ₃，ＭｎＯ₂等の酸化物や
これらの混合物を溶射することが出来る。

【００４０】図７は、プラズマ溶射を行うプラズマ溶射
装置の構成と動作を示す図である。このプラズマ溶射装
置９０では、陰極９１と陽極９２の間に電圧を印加し
て、陰極９１の先端にアーク放電を発生させ、その中に
アルゴンガスとを送り込み、プラズマジェットを発生さ
せる。

【００４１】そして、原材料（アルミナやＣｒ₂Ｏ₃，Ｔ
ｉＯ₂等）の粉末をこの中に送り込んで、原材料をプラ
ズマジェットの中で溶融して基板１５の表面に吹き付け
る。これによって、基板１５の表面には、原材料の溶射
膜８４が形成される。

【００４２】このようにして、膜８４が形成された基板
１５（図６のＥ）を、剥離液（水酸化ナトリウム溶液）
に浸して、ドライフィルム８１のマスクを除去する（リ
フトオフ法）。これに伴って、原材料の膜８４の中、ド
ライフィルム８１のマスク上に形成された部分８４ｂは
除去され、基板１５上に直接形成された部分８４ａだけ
が残り、これが隔壁１７となる（図６のＦ）。

【００４３】そして、隔壁１７の間の溝に蛍光体層１８
を形成する。この蛍光体層１８の形成方法については後
で詳述する。

【００４４】尚、本実施の形態では、４０インチクラス
のハイビジョンテレビに合わせて、隔壁の高さは０．１
〜０．１５ｍｍ、隔壁のピッチは０．１５〜０．３ｍｍ
とする。

【００４５】なお、プラズマ溶射法による隔壁は、従来
のガラスペースト（フィラー入り）をスクリーン印刷後
焼成する工法と比較して、焼成工程が省略できること、
および高融点の酸化物を使用しているため、パネル封着
後のアウトガスが少ないことなどの利点がある。

【００４６】用いる蛍光体インキとしては、隔壁凹部の
側面１７に付着しやすいような組成とするのが好まし
く、バインダーとしてエチルセルロースを０．１〜１０
重量％用い、溶剤としてターピネオール（Ｃ₁₀Ｈ₁₈Ｏ）
を用いると比較的良好な結果を得る。

【００４７】また、これ以外に、用いる溶剤としてはジ
エチレングリコールモノメチルエーテルなどの有機溶剤
や水を挙げることができ、バインダーとしては、ＰＭＭ
Ａやポリビニルアルコールなどの高分子を挙げる事がで
きる。添加剤としては、分散剤としてグリセリルトリオ
レエート、可塑剤として、フタル酸ブチル等を用いるこ
とができる。

【００４８】（蛍光体層の形成方法について）図１は、
蛍光体層１８を形成する際に用いるインキ塗布装置２０
の概略構成図、図２は、その断面概略斜視構成図であ
る。

【００４９】図２に示されるように、インキ塗布装置２
０において、サーバ２１には蛍光体インキが貯えられて
おり、加圧ポンブ２２は、このインキを加圧してヘッダ
２３に供給する。ヘッダ２３には、インキ室２３ａおよ
びノズル２４が設けられており、加圧されたインキ室２
３ａに供給されたインキ２５は、ノズル２４から背面ガ
ラスプレート１５上の隔壁１７の間にインキが連続的に
供給されるようになっている。

【００５０】このヘッダ２３は、金属材料を機械加工並
びに放電加工することによってインキ室２３ａやノズル
２４の部分も含めて一体成形されたものである。

【００５１】又、図１において背面ガラスプレート１５
は、水平面に角度θをもって（θ＝３０〜９０度）傾け
られ、ノズルから供給されたインキが主に重力によって
下方に流れる仕組みになっている。図においては、隔壁
間に４本連続してインキを吐出させた図になっている
が、実際は青，緑，赤の３色があるので、一色で言うと
２つの溝をまたいで塗布する形態となる。

【００５２】蛍光体インキは、各色の蛍光体粒子、バイ
ンダ、溶剤成分、必要に応じて分散剤，可塑剤等が適度
な粘度となるように調合し、ボールミルや、サンドミル
で良く分散して作成されたものである。

【００５３】蛍光体インキを構成する蛍光体粒子として
は、一般的にＰＤＰの蛍光体層に使用されているものを
用いることができる。その具体例としては、「青色蛍光体」：ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺ 「緑色蛍光体」：ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：ＭｎまたはＺ
ｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ「赤色蛍光体」：（Ｙ_xＧｄ_1-X）ＢＯ₃：Ｅｕ³⁺また
はＹ₂Ｏ₃：Ｅｕ³⁺ を挙げることができる。

【００５４】ノズルの目づまりや粒子の沈澱を抑制する
ために、蛍光体インキに用いる蛍光体粒子の平均粒径は
３μｍ以下とするのがよい。また、蛍光体が良好な発光
効率を得るために、蛍光体の平均粒径は０．１μｍ以上
とするのがよい。従って、ここでは蛍光体は、０．１μ
ｍ〜３μｍ（より好ましくは０．５μｍ〜２μｍ）の範
囲にあるものを用いる。

【００５５】また、蛍光体インキの粘度は２５℃で５０
０センチポアズ以下（１０〜５００センチポアズ）の範
囲内に調整することが望ましい。

【００５６】添加剤としての分散剤（界面活性剤）や可
塑剤の、添加量は０．１〜５重量％が好ましく、更に、
分散剤を０．１〜５重量％，可塑剤を０．１〜１重量％
添加することが望ましい。

【００５７】ノズル２４の口径は、ノズルの目詰まりを
防止するために４５μｍ以上で、隔壁１７間の溝幅Ｗよ
りも小さく、通常は４５〜１４０μｍ範囲に設定するこ
とが望ましい。

【００５８】なお、サーバ２１内では、インキ中の粒子
が沈澱しないように、サーバ２１内に取り付けられた攪
拌機（不図示）でインキが混合攪拌されながら貯蔵され
ている。

【００５９】加圧ポンプ２２の加圧力は、ノズル２４か
ら噴射されるインキの流れが連続流となるように調整す
る。

【００６０】ヘッダ２３は、背面ガラス基板１５の隔壁
上端部に、画素ライン数と同じヘッドノズル穴がある場
合は固定されている（画素ライン数よりヘッドノズル穴
が少ない時は、ヘッダを線走査する。）。ヘッダ２３を
固定し、ノズル２４からインキを連続的なインキ流２５
を形成するように噴射することによって、ガラス基板上
の隔壁内にインキがライン状に均一に塗布される。

【００６１】一方、インキ塗布装置２０による蛍光体イ
ンキの塗布は、背面ガラス基板１５上を隔壁１７の一端
に沿って、赤，青，緑の各色ごとに行う。そして、赤，
緑，青の蛍光体インキを順に所定の溝に塗布して乾燥し
た後、パネルを焼成（約５００℃で１０分間）すること
によって、蛍光体層１８が形成される。

【００６２】このように、蛍光体層１８は、従来のイン
キジェット法のようにインキが液滴となって塗布される
のではなく、インキが連続的に塗布されて形成されたも
のなので、層の厚さが均一的である。

【００６３】〔実施の形態２〕本実施の形態のＰＤＰの
基本構成及び製造方法は、実施の形態１とほぼ同様であ
るが、蛍光体層の形成方法に違いがある。以下、背面ガ
ラス基板１５の隔壁間の溝への蛍光体層の形成方法につ
いて説明する。

【００６４】図５は、本実施の形態で蛍光体層１８（図
２）を形成する際に用いるインキ塗布装置の概略構成図
である。このインキ塗布装置２０も、実施の形態１で用
いる装置と同様のものであって、サーバ２１（図２）に
は蛍光体インキが貯えられており、加圧ポンプ２２（図
２）は、この蛍光体インキを加圧してヘッダ２３に供給
する。またヘッダ２３には、複数のノズル２４が設けら
れており、加圧供給された蛍光体インキは、ノズル２４
に分配されて連続的に噴射されるようになっている。

【００６５】ただし、本実施の形態のインキ塗布装置２
０においては、隔壁１７上に樹脂基板２６がはり付けら
れており、隔壁間と樹脂基板２６の端面の空間にノズル
２４を設置し、ノズル２４から蛍光体インキを噴射させ
隔壁内に蛍光体インキ２５を塗布する方法である。

【００６６】尚、ノズル２４の穴（もしくは噴射孔）が
画素のライン数より少ない場合は、ノズルを横方向（隔
壁の長手方向に直角な方向、すなわち矢印の方向）に走
査するように構成すればよい。

【００６７】この製造方法においては、圧力を加えるこ
とによってストライプ状隔壁内に蛍光体インキを端面か
らもう一端の方向に流し込むことも出来るし、他端を減
圧にして、吸引しながら蛍光体インキを流し込むことも
出来る。

【００６８】そして塗布後乾燥し、次に樹脂基板２６を
取り除くと、蛍光体層１８（図２）が隔壁内に形成でき
るようになっている。

【００６９】従って、背面ガラス基板１５の隔壁間の溝
に蛍光体インキが均一的に塗布される点は実施の形態１
と同様であるが、本実施の形態では、更に隔壁１７の側
面の上部にも蛍光体インキを塗布することができるの
で、より発光面積の広い蛍光体層１８を形成することが
できる。

【００７０】又このように、実施の形態１，２の方法
は、従来例のインキジェット法のようにインキのノズル
または基板を、精密に走査する必要がないため、簡単に
ストライプ状の隔壁に蛍光体層を形成できる。

【００７１】以下、図１、図２、図５を参照しながらイ
ンキ塗布装置２０の動作及び効果について、更に具体的
に説明する。

【００７２】インキ塗布装置２０において、ヘッダ２３
は、赤，青，緑の各色ごとに備えられ、各ヘッダ２３に
開設されているノズル２４のピッチは、セルピッチの３
倍に設定されており、図１，図５に示されるようにヘッ
ダ２３は、固定しておき２つおきに蛍光体インキが充填
されるようになっている。図では４個のノズルの記載し
かないが、さらに多くの個数のノズル、例えば３の倍数
の６個や９個のノズルを用いてもよいものである。

【００７３】又、ヘッダ２３のノズル穴数が画素数より
少ない時は、矢印Ａの方向に走査しながら所定の溝に蛍
光体インキを充填する。

【００７４】以上のように、本実施の形態のＰＤＰの製
造方法によれば、蛍光体層を隔壁に沿って均一にしかも
簡単に形成することができ、且つ凹部の側面にも蛍光体
層を付着させることができる。従って、発光輝度の高い
ＰＤＰを作製することができる。

【００７５】尚、実施の形態２において、樹脂基板２６
の表面（隔壁と向き合う面）を撥水性の面とすれば、樹
脂基板２６への蛍光体インクの付着量が少なくて済み、
経済的である。

【００７６】

【実施例】（実施例１〜５）実施の形態１に基づいて実
施例１〜５のＰＤＰを作製した。（表１）に、実施例１
〜５で用いる蛍光体インキの組成並びにインキ粘度を掲
載する。実施例１〜５において、青色蛍光体としてはＢ
ａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺、緑色蛍光体としてはＺｎ₂
ＳｉＯ₄：Ｍｎ、赤色蛍光体としては（Ｙ₂Ｏ₃）：Ｅｕ
³⁺を用いた。

【００７７】

【表１】

【００７８】バインダとして用いたエチルセルローすの
分子量は５万、アクリル樹脂の分子量は１万である。

【００７９】実施例１〜５では、ノズル径５０μｍのノ
ズルを用い、ノズル先端と背面ガラス基板の隔壁間にノ
ズルをさし込んで蛍光体インキを吐出して、下記の隔壁
内に流し込んだ。また、隔壁１７の間隔（セルピッチ）
は０．１５ｍｍに設定し、高さは０．１５ｍｍに設定し
た。さらに、放電ガスは、５％のキセノン（Ｘｅ）ガス
を含むネオン（Ｎｅ）ガスを用い、封入圧力５００Ｔｏ
ｒｒとした。

【００８０】実施例６、実施例７では、ノズル径４５μ
ｍのノズルで、隔壁１７の間隔（セルピッチ）は０．１
０６ｍｍ、高さ０．１０ｍｍに設定した。また、隔壁間
にノズルをさし込んで蛍光体インキを加圧して流しなが
ら、他端を真空吸引して蛍光体インキを隔壁に流し込ん
だ。この場合の放電ガスは、５％のキセノン（Ｘｅ）ガ
スを含むネオン（Ｎｅ）ガスを用い、封入圧力６００Ｔ
ｏｒｒとした。

【００８１】実施例１〜７のＰＤＰについて、放電維持
電圧１５０Ｖ周波数３０ＫＨｚで放電させて輝度を測定
した。なお、輝度測定の条件は、以下の実施例において
も同様である。

【００８２】紫外線の波長は、１４３ｎｍの共鳴線と１
７３ｎｍを中心とする分子線による励起波長であった。
輝度の測定結果は、（表１）に示すような値であった。

【００８３】尚、実施の形態１では１つの隔壁間につい
て単一のノズルを用いたが、図９に示すように複数のノ
ズルを用いても良い。図９(A),(B) は、実施の形態１に
係る他の構成のインキ塗布装置の充填動作を示す側面図
で、図９(A) は、ノズル先端を２分岐にした構成を示
し、図９(B) は、２個のヘッダを用いた構成を示してい
る。

【００８４】いずれも、隔壁の間の溝の上端において、
蛍光体インキをノズルから連続もしくはほぼ連続して吐
出させ隔壁にそって蛍光体インキを流す点については実
施の形態１と同様であるが、隔壁の長手方向にみて中間
にあたる点、すなわち上端からＴ₁（隔壁長さが２Ｔ₁）
の隔壁の位置に他のノズル先端を配置してある。

【００８５】この構成によれば、実施の形態１と比較し
て約半分の時間で塗布が完了する。また、３分岐や３個
のヘッダなどの多数分岐や多数のヘッダ構成とすれば、
さらに蛍光体形成時間の短縮が可能となる。

【００８６】また、できるだけ隔壁の側面の上部に蛍光
体が付着するように、蛍光体インクの噴射が完了後、隔
壁の長手方向に対して直角な方向に振動を与えても良
い。この場合、インクの粘性が低いと容易に隔壁の側面
の上部に蛍光体インクが付着するが、振動の程度は隣り
の隔壁間に蛍光体インクが混色しない程度とするのが好
ましい。

【００８７】また、蛍光体インクの噴射が完了後、隔壁
の長手方向に振動を与えても良い。この場合、隔壁の長
手方向の蛍光体インクの均一性が高まる。

【００８８】また、振動を加える間は、プレートを水平
に保って行うことが好ましい。蛍光体インクがこぼれ出
る場合があるからである。

【００８９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、隔壁が
ストライプ状に配置されたプレートにおける隔壁間の溝
に蛍光体層を形成する工程において、プレートを水平面
に対して傾きを設けて配置し、蛍光体インキをノズルか
ら連続流となるよう吐出させながら隔壁内に蛍光体イン
キを塗布するようにすることによって、微細なセル構造
の場合でも、容易に精度良く蛍光体層を形成することが
可能であって、且つ隔壁がストライプ状の場合に、隔壁
間の溝に蛍光体層を均一的に形成することができる。

【００９０】また、蛍光体層を形成する工程において、
隔壁上に第３のプレートを全面にはり付けた後、隔壁と
第３のプレート間の溝に蛍光体インキを加工塗布した
り、または隔壁とパネルのもう一端から真空吸引したり
した後、第３のプレートを取り除くことによっても隔壁
の内部に容易に蛍光体層を形成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係るインキ塗布装置を
用いた充填動作を示す斜視図

【図２】実施の形態１で、蛍光体層を形成する際に用い
るインキ塗布装置の概略構成図

【図３】本発明の一実施の形態に係る交流面放電型ＰＤ
Ｐの概略断面図

【図４】本発明の一実施の形態に係るＰＤＰの概略駆動
ブロック図

【図５】実施の形態２で蛍光体層を形成する際に用いる
インキ塗布装置の概略構成図

【図６】(A)〜(F) 溶射法による隔壁の形成方法を示す
概略工程図

【図７】プラズマ溶射を行うプラズマ溶射装置の構成と
動作を示す図

【図８】(A)〜(D) 従来のスクリーン印刷法で蛍光体ペ
ーストを隔壁間の凹部に塗布する様子を示す図

【図９】(A),(B) 実施の形態１に係る他の構成のインキ
塗布装置の充填動作を示す概略側面図

【符号の説明】

１１前面ガラス基板（第２のプレート）１２放電電極１３誘電体ガラス層１４保護層１５背面ガラス基板（第１のプレート）１６アドレス電極１７隔壁１８蛍光体層１９放電空間２０インキ塗布装置２１サーバ２２加圧ポンプ２３ヘッダ２４ノズル２５蛍光体インキ流２６樹脂基板（第３のプレート）８１ドライフィルムレジスト８２フォトマスク８３紫外光（ＵＶ）８４プラズマ溶射膜９０プラズマ溶射装置９１陰極９２陽極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大谷光弘大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者加道博行大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】隔壁がストライプ状に配置された第１のプ
レートを水平面に対して傾きを設けて配置し、前記隔壁
の間の溝の上端において、蛍光体インキをノズルから吐
出させ前記隔壁にそって前記蛍光体インキを流してスト
ライプ状に蛍光体を形成する蛍光体層形成ステップと、前記第１のプレートの隔壁を配置した側に第２のプレー
トを重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ステ
ップとを少なくとも含むことを特徴とするプラズマディ
スプレイパネルの製造方法。
【請求項２】蛍光体層形成ステップでは、前記隔壁間の
溝に対して配設された２個以上のノズルから、前記隔壁
内に向けて蛍光体インキを並行して噴射しながら前記蛍
光体インキを前記隔壁に沿って流すことを特徴とする請
求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】蛍光体層形成ステップは、第１のプレート
の溝を水平面に対する傾斜角が３０度以上９０度以下で
あることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプ
レイパネルの製造方法。
【請求項４】隔壁がストライプ状に配設された第１のプ
レート上に第３のプレートを前記隔壁上にはり付けた後
前記隔壁の間の溝の一端において蛍光体インキをノズル
から圧力をかけて、吐出させ、前記隔壁と第３のプレー
トの間に蛍光体インキを流し込んだ後、前記第３のプレ
ートを取り除いてストライプ状に蛍光体層を形成する蛍
光体層形成ステップと、前記第１のプレートの隔壁を配設した側に、第２のプレ
ートを重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ス
テップとから成ることを特徴とするプラズマディスプレ
イパネルの製造方法。
【請求項５】隔壁がストライプ状に配設された第１プレ
ート上に第３のプレートを前記隔壁上にはり付けた後隔
壁との第３のプレートの間の溝の一端にノズルを向けた
状態で蛍光体インキを噴出しながら隔壁の終端部を減圧
にして、インキを隔壁内面に塗布した後、第３のプレー
トを取り除いてストライプ状に蛍光体層を形成する蛍光
体層形成ステップと、前記第１のプレートの隔壁を配設した側に第２のプレー
トを重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ステ
ップとから成ることを特徴とするプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。
【請求項６】蛍光体層形成ステップで用いる蛍光体イン
キは、平均粒径０．１μｍ〜３．０μｍの蛍光体とエチ
ルセルロースまたは、アクリル樹脂を含む溶剤および分
散剤を含みボールミルまたはサンドミルで分散され２５
℃における粘度が５００センチポアズ以下であることを
特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】蛍光体層形成ステップで用いるノズルは、
口径が４５〜１５０μｍであることを特徴とする請求項
１〜５のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル
の製造方法。
【請求項８】蛍光体層形成ステップでは、複数個のノズ
ルから複数の溝端部に対して並行して蛍光体インキを吐
出することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載
のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】一対の平行に配されたプレートの間に、電
極，誘電体層，隔壁及び蛍光体層が配設されガス媒体が
封入された放電空間が形成され、放電に伴って紫外線を
発し前記蛍光体層で可視光に変換することによって発光
するプラズマディスプレイパネルであって、前記隔壁がプラズマ溶射法にて形成され、その隔壁間に
蛍光体と、溶剤および樹脂バインダーを含む蛍光体イン
クをノズルから連続的に噴出させ、乾燥後焼成して前記
隔壁内に蛍光体層が形成されたことを特徴とするプラズ
マディスプレイパネル。
【請求項１０】プラズマ溶射法による隔壁で、下部の白
色材料が、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃），スピネル（ＭｇＯ・
Ａｌ₂Ｏ₃），チタニア（ＴｉＯ₂）のうちのいづれか一
種であることを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ル。
【請求項１１】プラズマ溶射法による隔壁で、上部の黒
色材料が、酸化クロム(Ｃｒ₂Ｏ₃），酸化クロム−酸化
鉄−酸化コバルト(Ｃｒ₂Ｏ₃−Ｆｅ₂Ｏ₃−ＣｏＯ)，酸化
クロム−酸化マンガン−酸化鉄（Ｃｒ₂Ｏ₃−ＭｎＯ₂−
Ｆｅ₂Ｏ₃），酸化クロム−酸化鉄（Ｃｒ₂Ｏ₃−Ｆｅ
₂Ｏ₃）のうちのいづれか一種であることを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル。